JPH0968474A - Air leak tester - Google Patents
Air leak testerInfo
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- JPH0968474A JPH0968474A JP24530195A JP24530195A JPH0968474A JP H0968474 A JPH0968474 A JP H0968474A JP 24530195 A JP24530195 A JP 24530195A JP 24530195 A JP24530195 A JP 24530195A JP H0968474 A JPH0968474 A JP H0968474A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、エアリークテスタ
に関し、特にエア通路に疑似洩れを発生させる疑似洩れ
発生手段の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air leak tester, and more particularly to improvement of a pseudo leak generating means for generating a pseudo leak in an air passage.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、容器(ワーク)の密閉性(孔やヒ
ビの有無)を検査するためにエアリークテスタが利用さ
れていた。このエアリークテスタでは、一端に洩れの有
無を検査すべきワークが接続され、他端にテスト圧を供
給するテスト圧源が接続されているエア通路と、このエ
ア通路に設けられたワーク用弁と、上記ワーク用弁の下
流側のエア通路に接続された圧力センサと、を備えてい
た。さらに、このエアリークテスタは、圧力センサを診
断したり、ワークの容積が変化したときでも大気圧換算
洩れ量を正確に検出するために、ワーク用弁より下流側
のエア通路に接続された疑似洩れ発生手段を備えてい
た。2. Description of the Related Art Conventionally, an air leak tester has been used for inspecting the tightness of a container (work) (presence of holes and cracks). In this air leak tester, a work to be inspected for leakage is connected to one end, and an air passage to which a test pressure source for supplying a test pressure is connected to the other end, and a work valve provided in the air passage. And a pressure sensor connected to the air passage on the downstream side of the work valve. In addition, this air leak tester uses a pseudo leak connected to the air passage downstream from the work valve in order to diagnose the pressure sensor and to accurately detect the atmospheric pressure conversion leak amount even when the work volume changes. It was equipped with a generating means.
【0003】上記疑似洩れ発生手段として、ノズル方式
のものとシリンダ方式のものとが知られている。ノズル
方式の疑似洩れ発生手段では、ワーク用弁より下流側の
エア通路に疑似漏れ用弁を介してノズルが接続されてい
る。ワークにテスト圧が供給された段階でこの疑似漏れ
用弁を開き、ワーク用弁で閉じられたエア通路からノズ
ルを介して大気中に洩れを発生させ、所定時間経過時点
で圧力変化を見る。また、シリンダ方式の疑似洩れ発生
手段では、ワーク用弁より下流側のエア通路にシリンダ
が接続されている。このシリンダに収容されたピストン
を所定距離移動させて、シリンダの容積を所定量変化さ
せることにより、ワーク用弁で閉じられたエア通路から
シリンダに向かって所定量の洩れを発生させ、これに伴
う圧力変化を見る。As the pseudo leak generating means, a nozzle type and a cylinder type are known. In the nozzle type pseudo leak generating means, the nozzle is connected to the air passage downstream of the work valve via the pseudo leak valve. When the test pressure is supplied to the work, the pseudo leak valve is opened, a leak is generated from the air passage closed by the work valve into the atmosphere through the nozzle, and the pressure change is observed when a predetermined time has elapsed. In the cylinder type pseudo leak generating means, a cylinder is connected to an air passage downstream of the work valve. By moving the piston accommodated in this cylinder by a predetermined distance and changing the volume of the cylinder by a predetermined amount, a predetermined amount of leakage is generated from the air passage closed by the work valve toward the cylinder, which is accompanied by this. See pressure changes.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ノズル
方式の疑似漏れ発生手段では、ノズルにゴミが付着する
と疑似洩れ量が変化してしまうため、ノズルの上流にフ
ィルターを装着しなければならず、定期的にフィルタを
交換する必要があった。上記シリンダ方式の疑似漏れ発
生手段では、ピストンのストロークを所定距離に設定し
ても、ストロークの誤差が発生してしまい、正確な量の
疑似洩れを発生させることができなかった。また、長期
使用した場合、ピストンとシリンダの摺動面での摩耗や
ピストンヘッドに設けられたOリングの摩耗等の経年劣
化のため、部品交換する必要があった。By the way, in the above-mentioned pseudo leak generating means of the nozzle type, if dust adheres to the nozzle, the pseudo leak amount changes, so that a filter must be installed upstream of the nozzle. It was necessary to replace the filter regularly. In the cylinder type pseudo leak generating means, even if the stroke of the piston is set to a predetermined distance, a stroke error occurs, and a precise amount of pseudo leak cannot be generated. Further, when used for a long period of time, it was necessary to replace parts due to deterioration over time such as wear on the sliding surface between the piston and the cylinder and wear on the O-ring provided on the piston head.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、一端
に洩れの有無を検査すべきワークが接続され、他端にテ
スト圧を供給するテスト圧源が接続されているエア通路
と、上記エア通路に設けられたワーク用弁と、上記ワー
ク用弁より下流側のエア通路の圧力変化を検出するため
の圧力センサと、上記ワーク用弁より下流側のエア通路
に接続されエア通路からの疑似洩れを発生させる疑似洩
れ発生手段と、を備えたエアリークテスタにおいて、上
記疑似洩れ発生手段は、上記ワーク用弁より下流側のエ
ア通路に接続されたタンクと、このエア通路とタンクと
の間に介在された疑似漏れ用弁と、タンクにテスト圧と
異なる圧力を供給する圧力供給手段と、を備えたことを
特徴とする。According to a first aspect of the present invention, an air passage is connected to one end thereof with a work to be inspected for leakage and to the other end thereof with a test pressure source for supplying a test pressure. A work valve provided in the air passage, a pressure sensor for detecting a pressure change in the air passage downstream of the work valve, and an air passage connected to the air passage downstream of the work valve In the air leak tester, the pseudo leak generating means includes a tank connected to an air passage downstream of the work valve, and the air leak and the tank. It is characterized in that it is provided with a pseudo leak valve interposed between the tank and a pressure supply means for supplying a pressure different from the test pressure to the tank.
【0006】請求項2の発明は、請求項1に記載のエア
リークテスタにおいて、上記圧力供給手段は、上記ワー
ク用弁と、このワーク用弁とテスト圧源との間のエア通
路に設けられた三方弁と、上記疑似漏れ用弁とを含み、
これら弁を介してタンクに大気圧が供給されることを特
徴とする。請求項3の発明は、請求項1に記載のエアリ
ークテスタにおいて、上記圧力供給手段は、タンクに接
続された補助弁を含むことを特徴とする。請求項4の発
明は、請求項3に記載のエアリークテスタにおいて、さ
らに制御手段を備え、この制御手段は、上記補助弁を閉
じ上記疑似漏れ用弁を開くことにより大気圧状態のタン
クに向かって上記疑似漏れを発生させ、次に疑似漏れ用
弁を閉じ補助弁を開いてタンクを再び大気圧にし、次に
補助弁を閉じ疑似漏れ用弁を開いて再び疑似漏れを発生
させ、このようにして疑似漏れを複数回実行することを
特徴とする。請求項5の発明は、請求項3に記載のエア
リークテスタにおいて、上記圧力供給手段は補助圧力源
を含み、この補助圧力源が上記補助弁を介してタンクに
接続されていることを特徴とする請求項3に記載のエア
リークテスタ。According to a second aspect of the present invention, in the air leak tester according to the first aspect, the pressure supply means is provided in the work valve and an air passage between the work valve and the test pressure source. Including a three-way valve and the pseudo leak valve,
It is characterized in that the atmospheric pressure is supplied to the tank through these valves. According to a third aspect of the present invention, in the air leak tester according to the first aspect, the pressure supply means includes an auxiliary valve connected to the tank. According to a fourth aspect of the present invention, in the air leak tester according to the third aspect, the air leak tester further includes control means, and the control means closes the auxiliary valve and opens the pseudo leak valve toward a tank in an atmospheric pressure state. The pseudo leak is generated, then the pseudo leak valve is closed and the auxiliary valve is opened to bring the tank to the atmospheric pressure again, then the auxiliary valve is closed and the pseudo leak valve is opened to generate the pseudo leak again. The pseudo leak is performed multiple times. According to a fifth aspect of the present invention, in the air leak tester according to the third aspect, the pressure supply means includes an auxiliary pressure source, and the auxiliary pressure source is connected to the tank via the auxiliary valve. The air leak tester according to claim 3.
【0007】[0007]
【発明の実施の形態】以下、本発明のエアリークテスタ
の一形態について図1を参照して説明する。エアリーク
テスタはエア通路1を備えている。エア通路1は共通通
路1xと、この共通通路1xから分岐した一対の分岐通
路1a,1bとを有している。共通通路1xの上流端に
は圧縮エア源2が接続されている。一方の分岐通路1a
の下流端1mには、洩れがないことが確認されているマ
スタ容器Mが着脱可能に接続され、他方の分岐通路1b
の下流端1nには洩れの有無を判定すべきワークWが着
脱可能に接続されるようになっている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the air leak tester of the present invention will be described below with reference to FIG. The air leak tester includes an air passage 1. The air passage 1 has a common passage 1x and a pair of branch passages 1a and 1b branched from the common passage 1x. The compressed air source 2 is connected to the upstream end of the common passage 1x. One branch passage 1a
A master container M, which has been confirmed to be leak-free, is detachably connected to the downstream end 1m of the other branch passage 1b.
A work W whose leakage should be determined is detachably connected to the downstream end 1n.
【0008】上記共通通路1xには、上流側から順にレ
ギュレータ3,電磁三方弁4が設けられている。上記圧
縮エア源2とレギュレータ3によりテスト圧源20が構
成されている。また、分岐通路1aには上流から順に常
開の電磁二方弁5a(マスタ用弁)と常開の手動二方弁
6aが設けられている。同様に分岐通路1bにも上流側
から順に常開の電磁二方弁5b(ワーク用弁),手動二
方弁6bが設けられている。The common passage 1x is provided with a regulator 3 and an electromagnetic three-way valve 4 in this order from the upstream side. The compressed air source 2 and the regulator 3 constitute a test pressure source 20. The branch passage 1a is provided with a normally open electromagnetic two-way valve 5a (master valve) and a normally open manual two-way valve 6a in order from the upstream side. Similarly, the branch passage 1b is also provided with an electromagnetic two-way valve 5b (workpiece valve) and a manual two-way valve 6b that are normally open from the upstream side.
【0009】上記分岐通路1a,1bには、電磁二方弁
5a,5bと手動二方弁6a,6bとの間において、圧
力センサ7の一対の入力ポートがそれぞれ接続されてい
る。圧力センサ7は、ダイアフラム71を有し、分岐通
路1a,1b間の差圧によるダイアフラム71の変形量
に応じた信号を出力する。A pair of input ports of the pressure sensor 7 are connected to the branch passages 1a and 1b between the electromagnetic two-way valves 5a and 5b and the manual two-way valves 6a and 6b, respectively. The pressure sensor 7 has a diaphragm 71 and outputs a signal according to the amount of deformation of the diaphragm 71 due to the differential pressure between the branch passages 1a and 1b.
【0010】ワークW側の分岐通路1bにおいて、上記
電磁二方弁5bと手動二方弁6bとの間には、常閉の電
磁二方弁8(疑似漏れ用弁)を介してタンク9が接続さ
れている。これら電磁二方弁8とタンク9等により、疑
似漏れ発生手段30が構成されている。In the branch passage 1b on the workpiece W side, a tank 9 is provided between the electromagnetic two-way valve 5b and the manual two-way valve 6b via a normally closed electromagnetic two-way valve 8 (pseudo leak valve). It is connected. The electromagnetic two-way valve 8 and the tank 9 constitute a pseudo leak generating means 30.
【0011】さらに、エアリークテスタは、制御部10
(制御手段)を有している。この制御部10は、マイク
ロコンピュータ,入出力インターフェイス,駆動回路等
を含む。制御部10には、圧力センサ7からの検出信号
が入力される。この制御部10は、電磁三方弁4、電磁
二方弁5a、5b,8の制御,表示器(図示しない)の
制御を行うとともに、後述する演算,判断等を行う。Further, the air leak tester includes a control unit 10.
(Control means). The control unit 10 includes a microcomputer, an input / output interface, a drive circuit and the like. A detection signal from the pressure sensor 7 is input to the control unit 10. The control unit 10 controls the electromagnetic three-way valve 4, the electromagnetic two-way valves 5a, 5b, 8 and the display (not shown), and also performs calculations and determinations described later.
【0012】上記構成のリークテスタにより、以下のリ
ークテストが行われる。図1は初期状態を示す。マスタ
容器MとワークWを分岐通路1a,1bの下流端1m,
1nにそれぞれ接続した状態で、電磁三方弁4をオンす
ることによりテスト圧源20と分岐通路1a,1bを連
通させ、テスト圧PTをマスタ容器MとワークWに供給
する。この後で、電磁二方弁5a、5bを閉じ、マスタ
側回路とワーク側回路との差圧を、圧力センサ7で検出
する。この時のマスタ側回路は、電磁二方弁5aより下
流側の分岐回路1aとマスタ容器Mを含む。またワーク
側回路は、電磁二方弁5bより下流側の分岐回路1bと
ワークWを含む。この差圧は、ワーク側回路での圧力変
化を表している。ワークWに傷等がなくマスタ容器Mと
同様にエアの漏れが生じない時には、差圧すなわち上記
ワーク側回路の圧力変化ΔPTはゼロである。ワークW
に傷等があり、エアの漏れが生じている時には、圧力変
化ΔPTが生じる。制御部10では、上記圧力センサ7
からの圧力変化ΔPTに基づいて大気圧換算漏れ量VLを
演算し、この大気圧換算漏れ量VLが閾値未満の時に良
品と判断し、閾値を越えた時に不良品と判断する。The following leak test is performed by the leak tester having the above configuration. FIG. 1 shows an initial state. The master container M and the work W are connected to the downstream ends 1m of the branch passages 1a and 1b,
The test pressure source 20 and the branch passages 1a and 1b are made to communicate by turning on the electromagnetic three-way valve 4 in a state where they are respectively connected to 1n, and the test pressure P T is supplied to the master container M and the work W. Thereafter, the electromagnetic two-way valves 5a and 5b are closed, and the pressure difference between the master side circuit and the work side circuit is detected by the pressure sensor 7. The master side circuit at this time includes a branch circuit 1a downstream of the electromagnetic two-way valve 5a and a master container M. The work side circuit includes a branch circuit 1b downstream of the electromagnetic two-way valve 5b and a work W. This differential pressure represents a pressure change in the work side circuit. When the work W is not damaged and air does not leak like the master container M, the differential pressure, that is, the pressure change ΔP T in the work side circuit is zero. Work W
When there is a scratch or the like and air leakage occurs, a pressure change ΔP T occurs. In the control unit 10, the pressure sensor 7
The atmospheric pressure conversion leakage amount V L is calculated on the basis of the pressure change ΔP T from, and when the atmospheric pressure conversion leakage amount V L is less than the threshold value, it is judged as a good product, and when it exceeds the threshold value, it is judged as a defective product.
【0013】一般に、上記大気圧換算漏れ量VLは、ボ
イルの法則に基づいて次式で表すことができる。 VL=ΔPT・VW/P0 … (1) ただし、VWはワーク側回路の容積である。ところで、
ワークWが変わるとワーク側回路の容積VWも変化し、
上記式(1)から明らかなように、差圧ΔPTと大気圧
換算漏れ量VLとの関係も変化する。そこで、テスト対
象となるワークWが変わるたびに、容積VWに関する情
報を得る必要があり、そのために疑似漏れテストを行な
っている。Generally, the atmospheric pressure conversion leakage amount V L can be expressed by the following equation based on Boyle's law. V L = ΔP T · V W / P 0 (1) where V W is the volume of the work side circuit. by the way,
When the work W changes, the volume V W of the work side circuit also changes,
As is clear from the above equation (1), the relationship between the differential pressure ΔP T and the atmospheric pressure conversion leakage amount V L also changes. Therefore, it is necessary to obtain information on the volume V W each time the work W to be tested changes, and for that purpose, a pseudo leak test is performed.
【0014】上記疑似漏れテストは、次のようにして実
行される。まず、分岐通路1bに洩れのないワークWを
接続し、分岐通路1aにマスタ容器Mを接続する。次
に、電磁二方弁8をオンにして開き、タンク9を、電磁
二方弁5b,電磁三方弁4を介して大気に連通し、その
内部空間を大気圧P0にする。このように、弁4,5
b,8は、タンク9に大気圧を供給する圧力供給手段3
5としての役割を担う。The pseudo leak test is performed as follows. First, the leak-free work W is connected to the branch passage 1b, and the master container M is connected to the branch passage 1a. Next, the electromagnetic two-way valve 8 is turned on and opened, the tank 9 is communicated with the atmosphere through the electromagnetic two-way valve 5b and the electromagnetic three-way valve 4, and the internal space thereof is brought to the atmospheric pressure P 0 . Thus, valves 4, 5
b and 8 are pressure supply means 3 for supplying atmospheric pressure to the tank 9.
Play the role of 5.
【0015】次に、上記電磁二方弁8をオフにして閉
じ、タンク9をワーク側回路から遮断する。次に、電磁
三方弁4をオンして、分岐通路1a,1bにテスト圧P
Tを供給する。次に、電磁二方弁5a、5bを閉じてワ
ーク側回路とマスタ回路を閉鎖系にする。次に、上記電
磁二方弁8を開にして上記タンク9を分岐通路1bと連
通させ、ワーク側回路からタンク9へ圧縮エアの一部を
流出させる(疑似漏れ)。そして、この疑似漏れ後の差
圧ΔPX、すなわち疑似漏れ前後のワーク側回路の圧力
変化を、上記圧力センサ7により検出する。この圧力変
化ΔPXと上記ワーク側回路の容積VWは、ボイルの法則
により次の関係を有している。 VW=V0・(PT−P0)/ΔPX … (2) ここで、V0はタンク9の内容積(厳密には電磁二方弁
8の下流側の通路の容積とタンク9の内容積の和)であ
る。Next, the electromagnetic two-way valve 8 is turned off and closed to disconnect the tank 9 from the work side circuit. Next, the electromagnetic three-way valve 4 is turned on, and the test pressure P is applied to the branch passages 1a and 1b.
Supply T. Next, the electromagnetic two-way valves 5a and 5b are closed to close the work side circuit and the master circuit. Next, the electromagnetic two-way valve 8 is opened to communicate the tank 9 with the branch passage 1b, and a part of the compressed air flows out from the work side circuit to the tank 9 (pseudo leak). Then, the pressure sensor 7 detects the differential pressure ΔP X after the pseudo leak, that is, the pressure change in the work side circuit before and after the pseudo leak. This pressure change ΔP X and the volume V W of the work side circuit have the following relationship according to Boyle's law. V W = V 0 · (P T −P 0 ) / ΔP X (2) Here, V 0 is the internal volume of the tank 9 (strictly speaking, the volume of the passage on the downstream side of the electromagnetic two-way valve 8 and the tank 9). Is the sum of the internal volume of).
【0016】上記(1)式に上記(2)式を代入するこ
とにより、次式が得られる。 VL=V0・(ΔPT/ΔPX)・(PT−P0)/P0 … (3) 制御部10では、予め疑似漏れテストを実行し圧力変化
ΔPXを検出してこれを記憶しておき、リークテストに
際しては、検出された圧力変化ΔPTと、記憶されてい
る疑似漏れテストでの圧力変化ΔPXから、上記(3)
式に基づいて大気圧換算漏れ量VLを演算する。なお、
(3)式において、タンク容積V0,大気圧P0,テスト
圧PTは既知である。By substituting the above equation (2) into the above equation (1), the following equation is obtained. V L = V 0 · (ΔP T / ΔP X ) · (P T −P 0 ) / P 0 (3) In the control unit 10, a pseudo leak test is executed in advance to detect the pressure change ΔP X. It is memorized, and in the leak test, from the detected pressure change ΔP T and the stored pressure change ΔP X in the pseudo leak test, the above (3)
The atmospheric pressure conversion leak amount VL is calculated based on the equation. In addition,
In the equation (3), the tank volume V 0 , the atmospheric pressure P 0 , and the test pressure P T are known.
【0017】ところで、マスタ側回路とワーク側回路の
差圧は、圧力センサ7のダイヤフラム71の変形をもた
らすが、この変形は、上記(3)式に基づく大気圧換算
漏れ量VLの演算に殆ど影響を与えない。これは、リー
クテスト時に検出される差圧(圧力変化)ΔPTと、疑
似漏れテスト時に検出される差圧ΔPXがともに、ダイ
ヤフラム71の変形に起因するファクタを含んでおり、
このファクタが(3)式での大気圧換算漏れ量VLの演
算においてほぼキャンセルされるからである。By the way, the differential pressure between the master side circuit and the work side circuit causes the diaphragm 71 of the pressure sensor 7 to be deformed. This deformation is caused in the calculation of the atmospheric pressure conversion leakage amount V L based on the above equation (3). Has almost no effect. This is because the differential pressure (pressure change) ΔP T detected during the leak test and the differential pressure ΔP X detected during the pseudo leak test both include factors due to the deformation of the diaphragm 71.
This is because this factor is almost canceled in the calculation of the atmospheric pressure conversion leak amount VL in the equation (3).
【0018】以下、ダイヤフラム71の変形の影響が無
視できる理由を詳しく説明する。疑似漏れテストにおい
て、マスタ側回路では、ボイルの法則により次式が成立
する。 PT・VM=P1・(VM+ΔV) … (4) ただし、P1は、前述したように電磁二方弁8を開いて
タンク9へ疑似漏れさせた後のマスタ側回路の圧力であ
る。ΔVは、圧力センサ7のダイヤフラム71の変形に
よるマスタ側回路の体積変化である。ワーク側回路で
は、ボイルの法則により次式が成立する。 PT・VW+P0・V0=P2(VW+V0−ΔV) … (5) ただし、P2は、電磁二方弁8を開いてタンク9へ疑似
漏れさせた後のワーク側回路の圧力である。Hereinafter, the reason why the influence of the deformation of the diaphragm 71 can be ignored will be described in detail. In the pseudo leak test, the following equation is established by the Boyle's law in the master side circuit. P T · V M = P 1 · (V M + ΔV) (4) However, P 1 is the pressure of the master side circuit after the electromagnetic two-way valve 8 is opened to cause a pseudo leak to the tank 9 as described above. Is. ΔV is the volume change of the master side circuit due to the deformation of the diaphragm 71 of the pressure sensor 7. In the work side circuit, the following equation is established according to Boyle's law. P T · V W + P 0 · V 0 = P 2 (V W + V 0 −ΔV) (5) where P 2 is the work side after the electromagnetic two-way valve 8 is opened and the tank 9 is artificially leaked. The pressure of the circuit.
【0019】マスタ容器Mの容積VMがワークWの容積
VWと等しい場合には、上記(4)式は、次式のように
書き換えることができる。 PT・VW=P1・(VW+ΔV) … (4)’ (4)’式を(5)式に代入すると次式が得られる。 P1・(VW+ΔV)=P2(VW+V0−ΔV)ーP0・V0 … (6) ここで、ダイヤフラム71の変形に伴う容積変化ΔV
は、差圧ΔPXに比例し、KΔPX(ただしKはセンサ固
有の定数)で表すことができる。また、P1,P2がほぼ
テスト圧PTにほぼ等しいとすると、上記(6)式か
ら、次式が得られる。 ΔPX=P1−P2=V0・(PT−P0)/(VW+2・K・PT) … (7)[0019] When the volume V M of the master container M is equal to the volume V W of the workpiece W, the equation (4) can be rewritten as the following equation. P T · V W = P 1 · (V W + ΔV) (4) ′ Substituting the equation (4) ′ into the equation (5) gives the following equation. P 1 · (V W + ΔV) = P 2 (V W + V 0 −ΔV) −P 0 · V 0 (6) Here, the volume change ΔV due to the deformation of the diaphragm 71.
Is proportional to the differential pressure ΔP X and can be expressed by KΔP X (where K is a constant specific to the sensor). Further, assuming that P 1 and P 2 are approximately equal to the test pressure P T , the following equation is obtained from the above equation (6). ΔP X = P 1 -P 2 = V 0 · (P T −P 0 ) / (V W + 2 · K · P T ) ... (7)
【0020】上記(7)式において、VW’=VW+2・
K・PTと置き換えると、(7)式は次式のように書き
換えることができる。 VW’=V0・(PT−P0)/ΔPX … (7)’ 上記(7)’式と、前述した(2)式を比較すれば明ら
かなように、この値VW’は、ダイヤフラムの変形を考
慮した場合にワーク側回路の内容積VWに代わって用い
られる等価内容積であることが分かる。In the above equation (7), V W '= V W + 2 ·
Substituting K · P T , the equation (7) can be rewritten as the following equation. V W '= V 0 · (P T −P 0 ) / ΔP X (7)' As is clear from comparing the above equation (7) 'with the above equation (2), this value V W ' It is understood that is the equivalent internal volume used in place of the internal volume V W of the work side circuit when the deformation of the diaphragm is taken into consideration.
【0021】次に、ダイヤフラム71の変形を考慮して
リークテストを説明する。リークテスト時のボイルの法
則は次式で表すことができる。 マスタ側:PT・V=P1’(VM+ΔVT) … (8) ワーク側:PT・V=P2’(VW−ΔVT)+P0・VL … (9) ここでP1’、P2’は閉鎖されたマスタ側回路および
ワーク側回路の圧力である。ΔVTは圧力センサ7のダ
イヤフラムの変形による体積変化を示している。ここ
で、VM=VW、PT≒P1’≒P2’、ΔVT=K・Δ
PTとした時、上記(8),(9)式から次式が得られ
る。 PXVL=ΔPT(VW+2K・PT) … (10) (10)式は次のように書き変えることができる。 VL=VW’・ΔPT/PX … (10)’ 上記(10)’式に前述した(7)’式を代入すること
により、次式が得られる。 VL=V0・(ΔPT/ΔPX)・(PT−P0)/P0 … (11)Next, the leak test will be described in consideration of the deformation of the diaphragm 71. Boyle's law at the time of the leak test can be expressed by the following equation. Master side: P T · V = P 1 '(V M + ΔV T) ... (8) work side: P T · V = P 2 ' (V W -ΔV T) + P 0 · V L ... (9) here P 1 ′ and P 2 ′ are pressures of the closed master side circuit and work side circuit. ΔV T represents the volume change due to the deformation of the diaphragm of the pressure sensor 7. Here, V M = V W , P T ≈P 1 ′ ≈P 2 ′, ΔV T = K · Δ
Assuming P T , the following equation is obtained from the above equations (8) and (9). P X V L = ΔP T (V W + 2K · P T ) (10) The formula (10) can be rewritten as follows. V L = V W '.ΔP T / P X (10)' By substituting the formula (7) 'into the formula (10)', the following formula is obtained. V L = V 0 · (ΔP T / ΔP X ) · (P T −P 0 ) / P 0 (11)
【0022】上記のようにして求められた(11)式
は、(3)式と同じである。このことから、大気圧換算
漏れ量VLの演算に際して、圧力センサ7のダイヤフラ
ム71の変形の影響をキャンセルできることを理解する
ことができ、ひいては、大気圧換算漏れ量VLが、ダイ
ヤフラム71の変形に基づく等価内容積VW’を演算す
ることなく、検出された圧力変化ΔPTとΔPXから正確
に求めることを理解することができる。The equation (11) obtained as described above is the same as the equation (3). Therefore, upon operation of the atmospheric pressure conversion leakage amount V L, it is possible to understand that can cancel the influence of the deformation of the diaphragm 71 of the pressure sensor 7, and thus, the atmospheric pressure conversion leakage amount V L is the deformation of the diaphragm 71 It can be understood that it is possible to accurately obtain from the detected pressure changes ΔP T and ΔP X without calculating the equivalent internal volume V W ′ based on
【0023】次に、圧力センサ7を含むリークテスタの
診断について述べる。この診断時には、手動二方弁6
a,6bを閉じた状態で、上述した疑似洩れテストを行
い、その圧力変化ΔPXを検出する。この時の圧力変化
ΔPXは次式で表すことができる。 ΔPx=V0・(PT−P0)/(Vset+2・K・PT) … (12) ここで、Vsetは、電磁二方弁5bと手動二方弁6b
の間のワーク側回路の容積である。制御部10では、上
記(12)式で得られる圧力変化ΔPXと、実際の検出
値の偏差が、許容値より小さい場合には、故障なしと判
断し、大きい場合には故障ありと判断する。Next, the diagnosis of the leak tester including the pressure sensor 7 will be described. At the time of this diagnosis, the manual two-way valve 6
With the a and 6b closed, the pseudo leak test described above is performed to detect the pressure change ΔP X. The pressure change ΔP X at this time can be expressed by the following equation. ΔPx = V 0 · (P T −P 0 ) / (Vset + 2 · K · P T ) ... (12) Here, Vset is the electromagnetic two-way valve 5 b and the manual two-way valve 6 b.
It is the volume of the work side circuit between. The control unit 10 determines that there is no failure when the deviation between the pressure change ΔP X obtained by the above equation (12) and the actual detected value is smaller than the allowable value, and determines that there is a failure when it is larger. .
【0024】前述したように、本実施例では、電磁二方
弁8を開にするだけでタンク9をワーク側回路に連通さ
せて疑似漏れを行うことができ、しかも、確実に所定量
の容積変化を発生させることができる。また、タンク9
は摩耗やゴミ等の付着による不具合が発生しないため、
長期にわたって安定した疑似洩れを発生させることがで
き、部品の交換等の面倒もない。As described above, in this embodiment, the tank 9 can be communicated with the circuit on the work side to perform the pseudo leak simply by opening the electromagnetic two-way valve 8, and the volume of the predetermined amount can be reliably ensured. Changes can occur. In addition, tank 9
Does not cause problems due to wear or dust,
It is possible to generate stable leaks over a long period of time without the hassle of replacing parts.
【0025】図2は他の実施例をなすリークテスタを示
す。この実施例のリークテスタは、タンク9に電磁二方
弁11(補助弁)を接続した点で図1の実施例と異な
る。制御部10(図1参照)は、疑似漏れを複数回にわ
たって実行する。詳述すると、まず、電磁二方弁8,1
1のいずれかが開いてタンク9を大気圧にする。次に、
電磁二方弁8,11を閉じた状態で、電磁三方弁4をオ
ンにして分岐回路1a,1bにテスト圧を供給する。次
に、電磁二方弁5a,5bを閉じた後、電磁二方弁8を
開いて前実施例と同様の疑似漏れを発生させる。そし
て、圧力センサ7でワーク側回路の圧力変化を検出した
後、電磁二方弁8を一旦閉じ、それから電磁二方弁11
を開いてタンク9を大気解放する。そして、再び電磁二
方弁11を閉じた後に電磁二方弁8を開いて同様の疑似
漏れを発生させる。この実施例では、テスト圧が大気圧
P0に近い圧力である場合や、タンク9の容積が小さい
場合に特に有効である。この実施例では、大気圧換算漏
れ量VLは次式によって表すことができる。 VL=N・V0・(ΔPT/ΔPX)・(PT−P0)/P0 … (13) ここでNは、疑似漏れの繰り返し回数である。なお、こ
の実施例で、電磁二方弁11は圧力供給手段を構成す
る。FIG. 2 shows a leak tester according to another embodiment. The leak tester of this embodiment differs from the embodiment of FIG. 1 in that an electromagnetic two-way valve 11 (auxiliary valve) is connected to the tank 9. The control unit 10 (see FIG. 1) executes the pseudo leak multiple times. More specifically, first, the electromagnetic two-way valves 8 and 1
Any one of 1 opens to bring the tank 9 to atmospheric pressure. next,
With the electromagnetic two-way valves 8 and 11 closed, the electromagnetic three-way valve 4 is turned on to supply the test pressure to the branch circuits 1a and 1b. Next, after closing the electromagnetic two-way valves 5a and 5b, the electromagnetic two-way valve 8 is opened to generate the pseudo leak as in the previous embodiment. Then, after the pressure sensor 7 detects a pressure change in the work side circuit, the electromagnetic two-way valve 8 is once closed, and then the electromagnetic two-way valve 11 is closed.
To open the tank 9 to the atmosphere. Then, the electromagnetic two-way valve 11 is closed again, and then the electromagnetic two-way valve 8 is opened to cause a similar pseudo leak. This embodiment is particularly effective when the test pressure is close to the atmospheric pressure P 0 or when the tank 9 has a small volume. In this embodiment, the atmospheric pressure conversion leak amount VL can be expressed by the following equation. V L = N · V 0 · (ΔP T / ΔP X ) · (P T −P 0 ) / P 0 (13) Here, N is the number of repeated pseudo leaks. In this embodiment, the solenoid two-way valve 11 constitutes pressure supply means.
【0026】図3に示すリークテスタでは、テスト圧源
20(図1)と異なる補助圧力源40が電磁二方弁11
を介してタンク9に接続されている。電磁二方弁8が閉
じた状態で電磁二方弁11が開いて、タンク9にこの補
助圧力源30の圧力が供給された後、電磁二方弁11が
閉じられる。この状態で、電磁二方弁8が開いて疑似漏
れが実行される。この補助圧力源40からタンク9への
供給圧力は、テスト圧より低いのが一般的であるが、テ
スト圧より高くてもよいし、負圧でもよい。この実施例
では、電磁二方弁11と補助圧力源40により、圧力供
給手段45が構成されている。In the leak tester shown in FIG. 3, the auxiliary pressure source 40 different from the test pressure source 20 (FIG. 1) is the electromagnetic two-way valve 11.
It is connected to the tank 9 via. The electromagnetic two-way valve 11 is opened with the electromagnetic two-way valve 8 closed, the pressure of the auxiliary pressure source 30 is supplied to the tank 9, and then the electromagnetic two-way valve 11 is closed. In this state, the electromagnetic two-way valve 8 is opened and the pseudo leak is executed. The supply pressure from the auxiliary pressure source 40 to the tank 9 is generally lower than the test pressure, but may be higher than the test pressure or may be a negative pressure. In this embodiment, the electromagnetic two-way valve 11 and the auxiliary pressure source 40 constitute pressure supply means 45.
【0027】図4に示すリークテスタでは、タンク9
は、上記電磁二方弁11,レギュレータ13を介して圧
縮エア源2に接続されている。疑似漏れ実行に先だっ
て、電磁二方弁11が開き、このレギュレータ13を介
してテスト圧と異なる圧力がタンク9に供給される。こ
のリークテスタでは、圧縮エア源とレギュレータ13に
より補助圧力源50が構成されている。In the leak tester shown in FIG. 4, the tank 9
Is connected to the compressed air source 2 via the electromagnetic two-way valve 11 and the regulator 13. Prior to the execution of the pseudo leak, the electromagnetic two-way valve 11 is opened, and a pressure different from the test pressure is supplied to the tank 9 via the regulator 13. In this leak tester, the compressed air source and the regulator 13 constitute an auxiliary pressure source 50.
【0028】なお、本発明は上記実施例に拘束されるこ
となく種々の態様が可能である。例えば、圧力センサ7
はマスタ側回路とワーク側回路の差圧を検出している
が、分岐通路1aおよび付属の弁を省略し、圧力センサ
7が上記分岐回路1bの圧力変化を検出するようにして
もよい。上述したすべての実施例の疑似漏れ手段を、マ
スタ側回路(電磁似方弁5aと手動電磁弁6aとの間)
に設けることも考えられるが、この場合には、疑似漏れ
手段は、診断のみに用いられる。また、圧縮エア源2の
代わりに負圧となる圧力源を用いてもよい。The present invention can be implemented in various modes without being restricted by the above embodiments. For example, the pressure sensor 7
Detects the differential pressure between the master side circuit and the work side circuit, but the branch passage 1a and the attached valve may be omitted and the pressure sensor 7 may detect the pressure change in the branch circuit 1b. The pseudo-leakage means of all the above-mentioned embodiments is provided with the master side circuit (between the electromagnetic similar valve 5a and the manual solenoid valve 6a).
However, in this case, the pseudo leaking means is used only for diagnosis. Further, instead of the compressed air source 2, a negative pressure source may be used.
【0029】[0029]
【発明の効果】請求項1の発明によれば、疑似洩れ用弁
を開いて、ワーク用弁で閉じられたエア通路からタンク
への疑似漏れを起こさせることにより、所定量の容積変
化による疑似漏れを確実に発生させることができる。ま
た、タンクは長期にわたって使用しても摩耗やゴミ等の
付着による不具合が発生しないため、長期にわたって安
定した疑似洩れを発生させることができ、部品の交換等
の面倒がない。請求項2の発明によれば、タンクを大気
圧にするためテスト圧源と異なる圧力源を必要とせず、
また、疑似漏れ用弁,ワーク用弁,三方弁を用いるた
め、タンクに大気解放用の弁を別個に接続せずに済むの
で、構成が簡単になる。請求項3の発明によれば、タン
クに接続された補助弁により、タンクに比較的自由にテ
スト圧と異なる圧力を供給することができる。請求項4
の発明によれば、複数回の疑似漏れを発生させることが
できるので、タンクの容積が小さくても圧力センサで疑
似漏れによる圧力変化を確実に検出することができる。
請求項5の発明によれば、大気圧と異なる圧力をタンク
に供給することができる。According to the first aspect of the present invention, the pseudo leak valve is opened to cause the pseudo leak from the air passage closed by the work valve to the tank. A leak can be generated reliably. Further, since the tank does not cause a defect due to abrasion or adhesion of dust or the like even if it is used for a long period of time, stable pseudo leak can be generated for a long period of time, and there is no trouble such as replacement of parts. According to the invention of claim 2, a pressure source different from the test pressure source is not required to bring the tank to the atmospheric pressure,
Further, since the pseudo leak valve, the work valve, and the three-way valve are used, it is not necessary to separately connect a valve for releasing the atmosphere to the tank, so that the structure is simplified. According to the third aspect of the invention, the auxiliary valve connected to the tank can relatively freely supply a pressure different from the test pressure to the tank. Claim 4
According to the invention, since the pseudo leak can be generated a plurality of times, the pressure sensor can reliably detect the pressure change due to the pseudo leak even if the volume of the tank is small.
According to the invention of claim 5, a pressure different from the atmospheric pressure can be supplied to the tank.
【図1】本発明の一形態をなすエアリークテスタを示す
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an air leak tester according to an embodiment of the present invention.
【図2】他の形態をなすエアリークテストの要部を示す
図である。FIG. 2 is a view showing a main part of an air leak test of another form.
【図3】さらに他の形態をなすエアリークテストの要部
を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a main part of an air leak test of still another form.
【図4】さらに他の形態をなすエアリークテストの要部
を示す図である。FIG. 4 is a view showing a main part of an air leak test of still another form.
1 エア通路 4 電磁三方弁 5b 電磁二方弁(ワーク用弁) 7 圧力センサ 8 電磁二方弁(疑似漏れ用弁) 9 タンク 10 制御部(制御手段) 11 電磁二方弁(補助弁) 20 テスト圧源 30 疑似漏れ発生手段 35 圧力供給手段 40 補助圧力源 45 圧力供給手段 50 補助圧力源 W ワーク 1 Air Passage 4 Electromagnetic Three-Way Valve 5b Electromagnetic Two-Way Valve (Work Valve) 7 Pressure Sensor 8 Electromagnetic Two-Way Valve (Pseudo Leakage Valve) 9 Tank 10 Control Unit (Control Means) 11 Electromagnetic Two-Way Valve (Auxiliary Valve) 20 Test pressure source 30 Pseudo leak generating means 35 Pressure supplying means 40 Auxiliary pressure source 45 Pressure supplying means 50 Auxiliary pressure source W Work
Claims (5)
続され、他端にテスト圧を供給するテスト圧源が接続さ
れているエア通路と、上記エア通路に設けられたワーク
用弁と、上記ワーク用弁より下流側のエア通路の圧力変
化を検出するための圧力センサと、上記ワーク用弁より
下流側のエア通路に接続されエア通路からの疑似洩れを
発生させる疑似洩れ発生手段と、を備えたエアリークテ
スタにおいて、 上記疑似洩れ発生手段は、上記ワーク用弁より下流側の
エア通路に接続されたタンクと、このエア通路とタンク
との間に介在された疑似漏れ用弁と、タンクにテスト圧
と異なる圧力を供給する圧力供給手段と、を備えたこと
を特徴とするエアリークテスタ。1. An air passage having one end connected to a work to be inspected for leakage, and the other end connected to a test pressure source for supplying a test pressure, and a work valve provided in the air passage. A pressure sensor for detecting a pressure change in the air passage downstream of the work valve, and a pseudo-leakage generating unit connected to the air passage downstream of the work valve for producing pseudo-leakage from the air passage. In the air leak tester provided with, the pseudo leak generating means is a tank connected to an air passage downstream of the work valve, and a pseudo leak valve interposed between the air passage and the tank. An air leak tester, comprising: a pressure supply unit that supplies a pressure different from the test pressure to the tank.
このワーク用弁とテスト圧源との間のエア通路に設けら
れた三方弁と、上記疑似漏れ用弁とを含み、これら弁を
介してタンクに大気圧が供給されることを特徴とする請
求項1に記載のエアリークテスタ。2. The pressure supply means includes the work valve and
A three-way valve provided in an air passage between the work valve and the test pressure source, and the pseudo leak valve, and atmospheric pressure is supplied to the tank via these valves. Item 2. The air leak tester according to item 1.
補助弁を含むことを特徴とする請求項1に記載のエアリ
ークテスタ。3. The air leak tester according to claim 1, wherein the pressure supply means includes an auxiliary valve connected to the tank.
上記補助弁を閉じ上記疑似漏れ用弁を開くことにより大
気圧状態のタンクに向かって上記疑似漏れを発生させ、
次に疑似漏れ用弁を閉じ補助弁を開いてタンクを再び大
気圧にし、次に補助弁を閉じ疑似漏れ用弁を開いて再び
疑似漏れを発生させ、このようにして疑似漏れを複数回
実行することを特徴とする請求項3に記載のエアリーク
テスタ。4. A control means is further provided, and this control means comprises:
The pseudo leak is generated toward the tank in the atmospheric pressure state by closing the auxiliary valve and opening the pseudo leak valve,
Next, close the pseudo leak valve and open the auxiliary valve to bring the tank back to atmospheric pressure, then close the auxiliary valve and open the pseudo leak valve to generate a pseudo leak again. The air leak tester according to claim 3, wherein
の補助圧力源が上記補助弁を介してタンクに接続されて
いることを特徴とする請求項3に記載のエアリークテス
タ。5. The air leak tester according to claim 3, wherein the pressure supply means includes an auxiliary pressure source, and the auxiliary pressure source is connected to the tank via the auxiliary valve.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24530195A JPH0968474A (en) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | Air leak tester |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP24530195A JPH0968474A (en) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | Air leak tester |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0968474A true JPH0968474A (en) | 1997-03-11 |
Family
ID=17131643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24530195A Pending JPH0968474A (en) | 1995-08-30 | 1995-08-30 | Air leak tester |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0968474A (en) |
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1995
- 1995-08-30 JP JP24530195A patent/JPH0968474A/en active Pending
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