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JPH0964579A - Electronic device - Google Patents

Electronic device

Info

Publication number
JPH0964579A
JPH0964579A JP21340695A JP21340695A JPH0964579A JP H0964579 A JPH0964579 A JP H0964579A JP 21340695 A JP21340695 A JP 21340695A JP 21340695 A JP21340695 A JP 21340695A JP H0964579 A JPH0964579 A JP H0964579A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
conductor
ground terminal
resin film
electronic component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP21340695A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Nishida
洋 西田
Tsutomu Yoshida
努 吉田
Chikafumi Kondou
親史 近藤
Sadayuki Kato
貞幸 加藤
Mitsuhiro Tada
光弘 多田
Yoshiaki Kotani
義章 小谷
Akira Imamura
彰 今村
Hitoshi Nishimura
仁 西村
Yukio Hayashi
有紀男 林
Ryosuke Sakai
亮介 坂井
Kenji Fukushima
健治 福島
Toru Watanabe
亨 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP21340695A priority Critical patent/JPH0964579A/en
Publication of JPH0964579A publication Critical patent/JPH0964579A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an electronic device in which the damage at the time of bending and the insufficient contact due to spring back can be prevented while eliminating the need of a step for shaping, e.g. the step for bending an earth terminal in order to conduct the shield part and the earth terminal, and simplifying the production process. SOLUTION: A board 14 on which a circuit element is formed is coated with a composite film 16 of an insulating resin film 16a and a conductive film 16b. The conductive film 16b on the outer surface of composite film 16 and an earth terminal 13 connected with the board 14 are conducted by inserting a conductor 17 into a through hole 19 made through the composite film.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、発振子、フィル
タ、センサなどのトランスデューサ電極部を有する電子
部品、または浮遊容量などを嫌う半導体電子部品、高周
波電子部品などの電子部品に関し、特に外装部に電磁シ
ールド部を設けた構造における該シールド部とシールド
端子との接続構造の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component having a transducer electrode portion such as an oscillator, a filter and a sensor, or a semiconductor electronic component which dislikes stray capacitance, a high frequency electronic component and the like, and particularly to an exterior portion. The present invention relates to improvement of a connection structure between a shield terminal and a shield terminal in a structure provided with an electromagnetic shield section.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の電子部品の一例として、樹脂被覆
SAW(表面弾性波)フィルタの構造を図9及び図10
に示す。図9は、従来のSAWフィルタ1の外観構造斜
視図であり、図10は、断面X−Xに沿う方向からの断
面構造図である。SAWフィルタ1は、素子基板5と、
素子基板5から各々外方に引き出された入力端子2a,
2b、出力端子3a,3b及びアース端子4を備え、素
子基板5の周囲を外装樹脂部6により被覆、封止されて
構成されている。
2. Description of the Related Art As an example of conventional electronic components, the structure of a resin-coated SAW (surface acoustic wave) filter is shown in FIGS.
Shown in FIG. 9 is a perspective view of an external structure of the conventional SAW filter 1, and FIG. 10 is a cross-sectional structure view from a direction along a section XX. The SAW filter 1 includes an element substrate 5 and
The input terminals 2a, which are respectively pulled out from the element substrate 5,
2b, output terminals 3a and 3b, and a ground terminal 4 are provided, and the periphery of the element substrate 5 is covered and sealed by an exterior resin portion 6.

【0003】SAWフィルタ素子基板5には、一対のイ
ンターデジタルトランスデューサ(IDT)が一定の間
隔を持って形成されており、この一対のIDTに挟まれ
る領域近傍がトランスデューサ部を構成する。この部分
では、表面波が一方のIDT側から他方のIDT側へ向
かって基板表面を伝搬する。従って、パッケージングさ
れた状態で、このトランスデューサ部は外装部との間に
空隙を構成するように製造されている。
A pair of interdigital transducers (IDTs) are formed on the SAW filter element substrate 5 at regular intervals, and the vicinity of the region sandwiched by the pair of IDTs constitutes a transducer section. In this portion, the surface wave propagates on the substrate surface from one IDT side to the other IDT side. Therefore, in the packaged state, the transducer part is manufactured so as to form an air gap between itself and the exterior part.

【0004】外装樹脂部6は、絶縁性の樹脂6aと、導
電膜6b及び外装絶縁膜6cから構成されている。導電
膜6bは、高周波シールドを行うための導電層であり、
その一部がアース端子4に導通されている。
The exterior resin portion 6 is composed of an insulating resin 6a, a conductive film 6b and an exterior insulating film 6c. The conductive film 6b is a conductive layer for high frequency shielding,
Part of it is electrically connected to the ground terminal 4.

【0005】上記のようなSAWフィルタ1は、以下の
ようにして製造される。まず、入力端子2a,2b、出
力端子3a,3b及びアース端子4が素子基板5に接続
された状態で、素子基板5のIDTのトランスデューサ
部の表面にワックスを塗布し、素子基板5全体をポーラ
スな熱硬化性樹脂の中にディップし、乾燥させる。次に
熱硬化性樹脂が被覆された状態で焼き付け処理を行う。
この焼き付け処理を行うと、熱硬化性樹脂の内部に封入
されたワックスが溶融し、硬化した熱硬化性樹脂の中に
吸収され、もしくは外部に蒸発し、ワックスが塗布され
ていたIDTのトランスデューサ部の表面上に空隙部が
形成される。
The SAW filter 1 as described above is manufactured as follows. First, with the input terminals 2a and 2b, the output terminals 3a and 3b, and the ground terminal 4 connected to the element substrate 5, wax is applied to the surface of the IDT transducer portion of the element substrate 5 to make the entire element substrate 5 porous. Dip in a thermosetting resin and dry. Next, a baking process is performed with the thermosetting resin coated.
When this baking process is performed, the wax enclosed in the thermosetting resin is melted and absorbed in the cured thermosetting resin, or evaporated to the outside, and the wax is applied to the transducer section of the IDT. A void is formed on the surface of the.

【0006】さらに、アース端子4の一部を熱硬化性樹
脂の絶縁膜6aの表面側に折り曲げ、接触させる。そし
て、折り曲げたアース端子の一部の先端部分及び絶縁膜
6aのほぼ表面全体を導電性ペイントの溶液中に浸漬
し、これを乾燥、焼き付けることによって絶縁膜6aの
表面に導電膜6bを形成するとともに、この導電膜6b
とアース端子4の折り曲げ部分とを接続させる。
Further, a part of the ground terminal 4 is bent and brought into contact with the surface side of the insulating film 6a of thermosetting resin. Then, a part of the tip of the bent ground terminal and almost the entire surface of the insulating film 6a are immersed in a solution of a conductive paint, which is dried and baked to form a conductive film 6b on the surface of the insulating film 6a. Together with this conductive film 6b
And the bent portion of the ground terminal 4 are connected.

【0007】さらに、導電膜6bの上に、絶縁性の樹脂
を形成し、外装絶縁膜6cを形成する。このような工程
により、IDTのトランスデューサ部の表面上に空隙部
9を構成した状態で樹脂被覆SAWフィルタ1が完成す
る。
Further, an insulating resin is formed on the conductive film 6b to form the exterior insulating film 6c. Through these steps, the resin-coated SAW filter 1 is completed with the voids 9 formed on the surface of the transducer section of the IDT.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
高周波シールド用の導電膜6bを有するSAWフィルタ
1では、導電膜6bとアース端子4との導通を得るため
に、アース端子4の一部を折り曲げる工程が必要であ
り、この工程は機械加工を必要とするため、工程が複雑
となる。また、導電膜6bに使用している導電性ペイン
トの材料費は高価であり、製造コストが高くなるという
問題もあった。さらに、アース端子4の折り曲げ部には
スプリングバックが生じるため、導電膜6bとアース端
子4の折り曲げ部分との接触が不安定になるという問題
もあった。
However, in the conventional SAW filter 1 having the conductive film 6b for high-frequency shield, a part of the ground terminal 4 is bent in order to obtain conduction between the conductive film 6b and the ground terminal 4. A process is required, and this process requires machining, which complicates the process. Further, the material cost of the conductive paint used for the conductive film 6b is expensive, and there is also a problem that the manufacturing cost becomes high. Further, since springback occurs in the bent portion of the ground terminal 4, contact between the conductive film 6b and the bent portion of the ground terminal 4 becomes unstable.

【0009】従って、本発明は、より簡便な方法でシー
ルド部とアース端子との導通を図ることが可能な接続構
造を有する電子部品を提供することを目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to provide an electronic component having a connection structure capable of electrically connecting the shield portion and the ground terminal by a simpler method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明による電子部品
は、機能上、自由に振動することが可能な状態に維持さ
れるべき部分を有する電子部品素体と、基板から外方へ
引き出されたアース端子と、絶縁性樹脂フィルムと、該
絶縁性樹脂フィルムの一方面側に形成された導電膜とを
有し、少なくとも前記電子部品素体の自由に振動するこ
とが可能な状態に維持されるべき部分との間に空間が形
成されるように、かつ絶縁性樹脂フィルムが内側となる
ように電子部品素体の周囲を被覆している導電体被覆樹
脂フィルムとを備えている。導電体被覆樹脂フィルムに
は、貫通孔が形成されている。そして、該電子部品は、
導電体被覆樹脂フィルムに形成された貫通孔を通過して
おり、かつ導電体被覆樹脂フィルムの導電膜とアース端
子とを電気的に接続している導体をさらに備えている。
An electronic component according to the present invention has an electronic component element body having a portion that should be functionally kept in a state where it can freely vibrate, and an electronic component substrate that is drawn outward from a substrate. It has a ground terminal, an insulating resin film, and a conductive film formed on one surface side of the insulating resin film, and is maintained in a state in which at least the electronic component body can freely vibrate. And a conductor-covered resin film that covers the periphery of the electronic component body such that a space is formed between the electronic component body and the insulating film. Through holes are formed in the conductor-coated resin film. And the electronic component is
A conductor that passes through the through hole formed in the conductor-covered resin film and electrically connects the conductive film of the conductor-covered resin film to the ground terminal is further provided.

【0011】ここで、電子部品素体とは、発振子、フィ
ルタ、センサなどのトランスデューサ電極部を有する電
子部品、浮遊容量などを嫌う半導体電子部品、あるいは
高周波電子部品など種々の電子部品において、リード端
子や配線などが接続される前の状態にある部品の主要部
を指すものである。また、導電体被覆樹脂フィルムは、
ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタ
レートなどの樹脂フィルムと、アルミニウム、銅、銀、
金などの導電膜との2層膜から構成されるが、あるいは
さらに耐熱フィルムなどを積層してなる3以上の多層膜
から構成されていてもよい。
Here, the electronic component body refers to a lead in various electronic components such as an oscillator, a filter, an electronic component having a transducer electrode portion such as a sensor, a semiconductor electronic component that dislikes stray capacitance, or a high frequency electronic component. It refers to the main part of the component in the state before the terminals and wiring are connected. Also, the conductor-coated resin film,
Resin film such as polypropylene, polyethylene, polyethylene terephthalate, aluminum, copper, silver,
Although it is composed of a two-layer film with a conductive film such as gold, it may be composed of three or more multilayer films in which a heat-resistant film or the like is further laminated.

【0012】また、本発明の限定された局面において
は、導電体被覆樹脂フィルム及び導体の外表面に絶縁性
樹脂を含む外装が施されている。
Further, in a limited aspect of the present invention, the outer surface of the conductor-covered resin film and the conductor is covered with an insulating resin.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係る電
子部品の構造について説明する。図1乃至図3は、本発
明の実施形態に係るSAWフィルタの構造を示す図であ
り、図1は、その外観構造斜視図、図2は、図1中の断
面Y−Yの断面構造図、図3は、SAWフィルタ素子1
3の構造斜視図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The structure of an electronic component according to an embodiment of the present invention will be described below. 1 to 3 are views showing a structure of a SAW filter according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a perspective view of an external structure thereof, and FIG. 2 is a cross-sectional structure view of a section YY in FIG. , FIG. 3 shows a SAW filter element 1
3 is a structural perspective view of FIG.

【0014】SAWフィルタ10は、SAWフィルタ素
子14と、SAWフィルタ素子14に接続される入力端
子11a,11b、出力端子12a,12b及びアース
端子13と、SAWフィルタ素子14の周囲を被覆する
外装樹脂部20とから構成される。SAWフィルタ素子
14は、タンタル酸リチウムの単結晶やPZT系セラミ
ックスなどから構成される圧電基板の表面に、一対のI
DT15a,15bを有している。入力IDT15a
は、くし歯形状をした一対の電極が互いに噛み合うよう
に配置されており、各々の電極に入力端子11a,11
bが接続されている。また、同様に、出力IDT15b
は、くし歯形状を有する一対の電極が互いに噛み合うよ
うに配置されており、各々の電極には出力端子12a,
12bが接続されている。そして、この入力、出力ID
T15a,15bと、その間に位置する基板領域とがト
ランスデューサ部を構成する。この領域では、入力ID
T15a側で発生した表面波が出力IDT15b側へ向
かって伝搬する。従って、このトランスデューサ部は、
外装樹脂部20によって固定されることなく、弾性表面
波が自由に振動して伝搬し得るような状態に維持される
必要がある。
The SAW filter 10 includes a SAW filter element 14, input terminals 11a and 11b connected to the SAW filter element 14, output terminals 12a and 12b, a ground terminal 13, and a resin surrounding the SAW filter element 14. And a unit 20. The SAW filter element 14 has a pair of I on the surface of a piezoelectric substrate composed of a single crystal of lithium tantalate or PZT ceramics.
It has DTs 15a and 15b. Input IDT 15a
Is arranged such that a pair of comb-shaped electrodes mesh with each other, and the input terminals 11a and 11 are connected to the respective electrodes.
b is connected. Similarly, the output IDT 15b
Is arranged so that a pair of electrodes having a comb tooth shape mesh with each other, and each electrode has an output terminal 12a,
12b is connected. And this input and output ID
T15a and 15b and the substrate region located between them constitute a transducer section. In this area, input ID
The surface wave generated on the T15a side propagates toward the output IDT 15b side. Therefore, this transducer part
The surface acoustic waves need to be maintained in a state where they can freely vibrate and propagate without being fixed by the exterior resin portion 20.

【0015】また、SAWフィルタ素子14の基板の裏
面にはアース端子13が接続されている。図2に示すよ
うに、外装樹脂部20は、複合フィルム16と、その外
表面に形成された外装絶縁膜18とから構成されてい
る。複合フィルム16は、PP(ポリプロピレン)、P
E(ポリエチレン)、PET(ポリエチレンテレフタレ
ート)などの樹脂フィルム16aの外表面にアルミニウ
ム、銅、銀、金などの導電膜16bが被覆された複合材
から構成されている。複合フィルム16は、ある程度の
剛性を有しているため、SAWフィルタ素子14の周囲
を被覆する際、SAWフィルタ素子14のトランスデュ
ーサ部の表面上に空隙部21を形成するように成形する
ことができる。また、複合フィルム16には、アース端
子13の一部と整合する位置に貫通孔19が設けられて
いる。そして、この貫通孔19の内部には、導電ペース
トや半田などの導電材料からなる導体17が埋め込まれ
ている。導体17は、アース端子13の表面に接続され
るとともに、複合フィルム16の導電膜16bの表面に
接着されている。これによって導電膜16bとアース端
子13との電気的導通が図られている。
The ground terminal 13 is connected to the back surface of the substrate of the SAW filter element 14. As shown in FIG. 2, the exterior resin portion 20 is composed of the composite film 16 and the exterior insulating film 18 formed on the outer surface thereof. The composite film 16 is made of PP (polypropylene), P
It is composed of a composite material in which a conductive film 16b made of aluminum, copper, silver, gold or the like is coated on the outer surface of a resin film 16a made of E (polyethylene), PET (polyethylene terephthalate) or the like. Since the composite film 16 has a certain degree of rigidity, when covering the periphery of the SAW filter element 14, it can be molded so as to form the void portion 21 on the surface of the transducer portion of the SAW filter element 14. . Further, the composite film 16 is provided with a through hole 19 at a position aligned with a part of the ground terminal 13. A conductor 17 made of a conductive material such as a conductive paste or solder is embedded in the through hole 19. The conductor 17 is connected to the surface of the ground terminal 13 and adhered to the surface of the conductive film 16b of the composite film 16. As a result, electrical conduction between the conductive film 16b and the ground terminal 13 is achieved.

【0016】複合フィルム16の表面上には、エポキシ
系樹脂などの外装絶縁膜18が形成されている。図4〜
図8は、上記のSAWフィルタ10の主に外装樹脂部の
製造方法を説明するための説明図である。
On the surface of the composite film 16, an exterior insulating film 18 made of epoxy resin or the like is formed. Figure 4-
FIG. 8 is an explanatory view mainly for explaining a method of manufacturing the exterior resin part of the SAW filter 10.

【0017】まず、図4に示すように、例えば長方形の
複合フィルム16を用意し、所定の位置に貫通孔19を
形成する。次に、図5に示すように、SAWフィルタ素
子14に各端子11a,11b,12a,12b,13
が接続された状態で、所定の形状に成形された複合フィ
ルム16の樹脂フィルム16aの表面上に載置される。
この際、複合フィルム16に予め成形された貫通孔19
と、アース端子13の一部が整合するように位置合わせ
される。
First, as shown in FIG. 4, for example, a rectangular composite film 16 is prepared, and a through hole 19 is formed at a predetermined position. Next, as shown in FIG. 5, each terminal 11a, 11b, 12a, 12b, 13 is attached to the SAW filter element 14.
Is attached to the surface of the resin film 16a of the composite film 16 molded into a predetermined shape.
At this time, the through-hole 19 preformed in the composite film 16
And the ground terminal 13 is aligned so that a part of the ground terminal 13 is aligned.

【0018】次に、図6に示すように、複合フィルム1
6を半分に折り返し、SAWフィルタ素子14を複合フ
ィルム16により包み込む。この場合、SAWフィルタ
素子14の周囲は、その内部を密封するように、熱ゴテ
などの熱溶着手段を用いて熱圧着される。なお、この図
6は、図5におけるSAWフィルタ素子14及び複合フ
ィルム16の組み立て状態を、図示の裏面側から見た状
態を示している。従って、複合フィルム16の貫通孔1
9がアース端子13の表面上に到達している状態が示さ
れている。
Next, as shown in FIG. 6, the composite film 1
6 is folded in half, and the SAW filter element 14 is wrapped with the composite film 16. In this case, the periphery of the SAW filter element 14 is thermocompression-bonded by using a heat welding means such as a heat iron so as to seal the inside. Note that FIG. 6 shows an assembled state of the SAW filter element 14 and the composite film 16 in FIG. 5 as viewed from the back surface side in the drawing. Therefore, the through-hole 1 of the composite film 16
The state in which 9 reaches the surface of the ground terminal 13 is shown.

【0019】さらに、図7に示すように、貫通孔19の
内部に導電ペーストあるいは半田などを挿入し、複合フ
ィルム16の導電膜16bとアース端子13とを導通さ
せる。なお、図8は、この状態における断面Z−Zに沿
う方向からの断面構造を示している。図8に示すよう
に、導体17は、導電膜16bとアース端子13の一部
とを貫通孔19を通して電気的に導通させるように接続
されている。
Further, as shown in FIG. 7, a conductive paste or solder is inserted into the through hole 19 to electrically connect the conductive film 16b of the composite film 16 and the ground terminal 13. It should be noted that FIG. 8 shows a cross-sectional structure from a direction along the cross section Z-Z in this state. As shown in FIG. 8, the conductor 17 is connected so as to electrically connect the conductive film 16 b and a part of the ground terminal 13 through the through hole 19.

【0020】この後、導電膜16bの表面上に外装絶縁
膜18を形成することにより、SAWフィルタ10が完
成する。このように、上記の実施形態では、アース端子
と外装樹脂部のシールド用の導電膜16bとが複合フィ
ルム16に形成された貫通孔19の内部に導体17を封
入することにより導通される。
After that, the SAW filter 10 is completed by forming the exterior insulating film 18 on the surface of the conductive film 16b. As described above, in the above-described embodiment, the ground terminal and the conductive film 16b for shielding the exterior resin portion are electrically connected by enclosing the conductor 17 in the through hole 19 formed in the composite film 16.

【0021】なお、上記実施形態においては、複合フィ
ルム16は、樹脂フィルム16aと導電膜16bとの2
層構造のものについて説明したが、2層以上の多層構造
のものでも構わない。すなわち、樹脂フィルムの上に断
熱フィルムをさらに装着し、この断熱フィルムの外表面
に導電膜を設けた構造のものを用いることも可能であ
る。
In the above embodiment, the composite film 16 is composed of the resin film 16a and the conductive film 16b.
Although the layer structure has been described, it may have a multilayer structure of two or more layers. That is, it is also possible to use a structure in which a heat insulating film is further mounted on the resin film and a conductive film is provided on the outer surface of this heat insulating film.

【0022】また、上記の実施形態では、SAWフィル
タ10のシールド部の導通構造について説明したが、こ
のような構造はSAWフィルタに限定されるものではな
く、電磁シールド部を有する電子部品等に広く適用する
ことができる。
Further, in the above-mentioned embodiment, the conduction structure of the shield part of the SAW filter 10 has been described, but such a structure is not limited to the SAW filter but is widely applied to electronic parts having an electromagnetic shield part. Can be applied.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上のように、本発明による電子部品
は、外表面に導電膜を形成した絶縁性樹脂フィルムを用
いて基板を被覆し、かつその一部に形成した貫通孔を通
してシールド用の導電膜とアース端子とを導通するよう
に構成したことにより、アース端子に機械的加工を施す
ことなくシールド用の導電膜とアース端子との導通を図
ることができ、これによってシールド構造を有する電子
部品の製造工程を簡略化することができる。さらに、ア
ース端子の一部を折り曲げた構造の従来例に比べ、シー
ルド部とアース端子との接続状態が安定化することによ
り、シールド用の導電膜とアース端子との導通構造の信
頼性を向上させることができる。
As described above, the electronic component according to the present invention covers the substrate with the insulating resin film having the conductive film formed on the outer surface thereof, and is used as a shield through the through hole formed in a part thereof. Since the conductive film and the ground terminal are configured to be electrically conductive, the conductive film for shielding and the ground terminal can be electrically connected to each other without performing mechanical processing on the ground terminal. The manufacturing process of parts can be simplified. Furthermore, compared to the conventional example in which a part of the ground terminal is bent, the connection between the shield and the ground terminal is stabilized, improving the reliability of the conduction structure between the conductive film for shielding and the ground terminal. Can be made.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施形態によるSAWフィルタの外観
構造斜視図。
FIG. 1 is a perspective view of an external structure of a SAW filter according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1中のY−Yに沿う方向からの断面構造図。FIG. 2 is a cross-sectional structural view from a direction along YY in FIG.

【図3】図1に示すSAWフィルタ素子14の構造を示
す構造斜視図。
3 is a structural perspective view showing the structure of a SAW filter element 14 shown in FIG.

【図4】本発明のSAWフィルタ10に用いられる複合
フィルム16の構造斜視図。
FIG. 4 is a structural perspective view of a composite film 16 used in the SAW filter 10 of the present invention.

【図5】図1に示すSAWフィルタ10の製造工程の一
工程を示す説明図。
5 is an explanatory view showing one step of a manufacturing process of the SAW filter 10 shown in FIG. 1. FIG.

【図6】図5に示す製造工程の次の製造工程を説明する
ための説明図。
FIG. 6 is an explanatory view for explaining a manufacturing process subsequent to the manufacturing process shown in FIG.

【図7】図6に示す製造工程に続く製造工程を説明する
ための説明図。
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining a manufacturing process that follows the manufacturing process shown in FIG.

【図8】図7中の断面Z−Zに沿う方向からの断面構造
図。
FIG. 8 is a sectional structural view from a direction along a section ZZ in FIG.

【図9】従来のSAWフィルタの構造斜視図。FIG. 9 is a structural perspective view of a conventional SAW filter.

【図10】図9中の断面X−Xに沿う方向からの断面構
造図。
FIG. 10 is a cross-sectional structural view from a direction along a cross section XX in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…SAWフィルタ 11a,11b…入力端子 12a,12b…出力端子 13…アース端子 14…SAWフィルタ素子 16…複合フィルム 16a…樹脂フィルム 16b…導電膜 17…導通部 19…貫通孔 10 ... SAW filter 11a, 11b ... Input terminal 12a, 12b ... Output terminal 13 ... Ground terminal 14 ... SAW filter element 16 ... Composite film 16a ... Resin film 16b ... Conductive film 17 ... Conducting part 19 ... Through hole

フロントページの続き (72)発明者 加藤 貞幸 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 多田 光弘 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 小谷 義章 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 今村 彰 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 西村 仁 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 林 有紀男 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 坂井 亮介 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 福島 健治 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 渡辺 亨 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内Front page continued (72) Inventor Sadayuki Kato 2 26-10 Tenjin Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor Mitsuhiro Tada 2 26-10 Tenjin Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor Yoshiaki Otani 2-26-10 Tenjin Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor Akira Imamura 2-26-10 Tenjin Tenjin, Nagaokakyo Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Invention Hitoshi Nishimura, 26-10 Tenjin, Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture, Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Yukio Hayashi, 2-10, Tenjin, Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture (72) Inventor, Ryosuke Sakai 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Kenji Fukushima Inventor, Kenji Fukushima 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo City, Kyoto Prefecture Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Toru Watanabe, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture Tenjin 2 chome 26-10 Murata Manufacturing Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 機能上、自由に振動することが可能な状
態に維持されるべき部分を有する電子部品素体と、 前記基板から外方へ引き出されたアース端子と、 絶縁性樹脂フィルムと、該絶縁性樹脂フィルムの一方面
側に形成された導電膜とを有し、少なくとも前記電子部
品素体の自由に振動することが可能な状態に維持される
べき部分との間に空間が形成されるように、かつ前記絶
縁性樹脂フィルムが内側となるように前記電子部品素体
の周囲を被覆している導電体被覆樹脂フィルムとを備
え、 前記導電体被覆樹脂フィルムには、貫通孔が形成されて
おり、 前記導電体被覆樹脂フィルムに形成された貫通孔を通過
しており、かつ前記導電体被覆樹脂フィルムの前記導電
膜と前記アース端子とを電気的に接続している導体をさ
らに備える、電子部品。
1. An electronic component body having a portion which is functionally capable of being freely vibrated, a ground terminal drawn outward from the substrate, and an insulating resin film, A conductive film formed on one surface side of the insulating resin film, and a space is formed between at least a portion of the electronic component element body to be maintained in a freely vibrable state. And a conductor-coated resin film that covers the periphery of the electronic component body so that the insulating resin film is on the inner side, the conductor-coated resin film has a through hole formed therein. And a conductor that passes through a through hole formed in the conductor-coated resin film and electrically connects the conductive film of the conductor-coated resin film and the ground terminal. , Electronic Goods.
【請求項2】 前記導電体被覆樹脂フィルム及び前記導
体の外表面に絶縁性樹脂を含む外装が施されていること
を特徴とする、請求項1に記載の電子部品。
2. The electronic component according to claim 1, wherein the outer surface of the conductor-covered resin film and the conductor is provided with an exterior containing an insulating resin.
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