JPH095135A - 熱式流量計およびその測定素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】一枚のセラミック基板に形成した測定素子を用
いて、素子の強度、応答性を保ちつつ、吸入空気の一部
逆流を伴う場合においても測定誤差の回避可能な熱式流
量計を提供する。 【構成】発熱抵抗膜３、２３と温度補償抵抗膜４、２４
とを段付きの基板上に一括して形成し、発熱抵抗素子に
幅広の非発熱部５ｃと、その上流にスリットを設け、幅
広の非発熱部５ｃを流体に曝されるよう、段付き形状の
支持部材１５で保持した。 【効果】スリット設けることによる測定素子自身の折り
曲げ強度の低下を小さくでき、流速変動に対する過渡応
答性の向上が達成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱式流量計およびその
測定素子に係り、特に内燃機関の吸気量検出に好適な熱
式空気流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の熱式空気流量計は、特開昭５９ー
１５１０２０号公報の第３図に示される様に、円柱型セ
ラミックの外表面に温度依存性の抵抗体を形成した各々
独立した発熱抵抗素子および温度補償抵抗素子を段違い
に配置したもの、また、特開平２ー６７９２２号公報の
第２図に示される様に、薄板の電気絶縁性基板上に温度
依存性の抵抗膜を形成した各々独立な流速検出抵抗
体（：発熱抵抗素子）ＲＳおよび吸気温度検出抵抗
体（：温度補償抵抗素子）ＲＴをＲＴを上流側に且つ段
違いに配置しているものが知られている。すなわち、発
熱抵抗素子と温度補償抵抗素子を段違いに配置すること
は従来知られている。また、複数の素子を一枚の基板上
に形成することも知られている。

【０００３】特開平５ー１２６６１３号公報の図１に
は、一枚の電気絶縁性基板上に温度センサと補償抵抗と
加熱（および測定）抵抗を作って、且つ、温度センサよ
り補償抵抗を、補償抵抗より加熱抵抗を接触接続面（：
接続電極端子）に対し突き出した段付き形状に形成した
ものが記載されている。また、同図には補償抵抗と加熱
抵抗との間にスリットを設けることが開示されている。

【０００４】また、特開平１ー１８５４１６号公報に
は、電気絶縁性基板上に気流の方向に並んだ各々一対の
発熱抵抗体および温度補償抵抗体を一枚の基板上に形成
した素子（同公報第４図）と、逆流検知が可能な回路
（同公報第３図）が開示されている。

【０００５】一方、特開平２ー２３２５２４号等には、
測定素子を主流路の中に収納した副流路に配し、その副
流路の上流側入口開口の全周に、上流側に突出する縁を
設けて凹部からなる空気流安定手段を設け、その凹部底
部に入口開口を位置させ、且つ主流路軸に対し偏心させ
た内燃機関用熱式空気流量計の構成が開示されている。
この構成は、内燃機関の吸入空気流の平均的な正方向の
流れを精度良く測定することを目的としており、機関か
らの逆流に対してはむしろ検知しずらいような副流路構
成であり、逆流を検知してこれを補正しようとする熱式
流量計には適当な副流路構成ではない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平５ー１２６６１３号公報に記載された技術は、補償
抵抗が設けられた基板部分が、測定抵抗（および加熱抵
抗）の上流側に部分的に重なって形成されている為、加
熱抵抗の非発熱部端部に気流が当りにくく、非発熱部は
冷却されにくい。従って、スリットを電極近くまで長く
する必要があり、特に、応答性向上には流れ方向に小さ
な幅で形成したい測定抵抗（発熱抵抗素子）部分の基板
長が長くなり、強度的に問題がある。さらには、補償抵
抗の基板部分で乱された流れが測定抵抗に当たるので、
ノイズの問題が生じる。

【０００７】また、特開平１ー１８５４１６号公報本開
示例の第４図の素子では、各一対の抵抗体が上下に形成
され、且つ両者の間には断熱用のスリットが設けられて
おり、素子としてのこの様な形状は、各一対の抵抗体が
上下に形成されている為、逆流検出補正に必要な応答性
を確保するには流れ方向に小さな幅で形成したい発熱抵
抗素子を実現するには、必然的に長手方向の長さが長く
なり、強度的に問題が発生する。これは中間のスリット
も強度を一層低下させる要因になる。

【０００８】本発明の目的は、発熱抵抗素子と温度補償
抵抗素子との間の熱絶縁を確実にし、各素子の流体流へ
の接触を良好にして高い応答性と出力精度を実現しつ
つ、強度を高くすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的は、薄板の電気
絶縁体基板と、その表面に膜状に形成された少なくとも
各一個の発熱抵抗素子と温度補償抵抗素子と、これら発
熱抵抗素子及び温度補償抵抗素子に対応して形成された
複数の電極と、前記発熱抵抗素子及び温度補償抵抗素子
と前記電極とを接続するリード部材と、前記発熱抵抗素
子と前記温度補償抵抗素子とが流れ方向に前記発熱抵抗
素子が突出するように段差をもって前記絶縁体基板上に
形成された測定素子とを備えた熱式流量計において、前
記発熱抵抗素子が形成された基板部と流れ方向に同幅の
基板部分と、前記温度補償抵抗素子膜が形成された基板
部分と流れ方向にほぼ同段に、スリットを介して少なく
とも上流側に幅広に形成された基板部分と、前記発熱抵
抗素子が形成された基板部と同幅の基板部分およびこれ
に連続する幅広に形成された基板部分を除き、前記スリ
ットの根本部を含むように収納する収納部材と、この収
納部材を熱不良導体部材で構成し保持部材と兼用するこ
とにより達成される。

【００１０】

【作用】本発明では、一体基板が段付きで、突出し長さ
の短い温度補償素子と幅広に形成された発熱抵抗素子の
非発熱部の間に熱絶縁のためのスリットが設けられ、発
熱抵抗膜が形成された基板部と同幅の非発熱部およびこ
れに連続する幅広に形成された非発熱部の少なくとも上
流側エッジ部分を、測定する流体流にさらすように形成
した段付き形状の短い長さで設けられているので、低流
速時においてもこの部分が良く冷却され、高流速時との
温度変化が小さくなる。即ち、発熱部から基板根本方向
への伝導熱量変化を小さくでき、温度分布を平衡させる
時間が短縮され、その結果、流速変動に対する過渡応答
性の向上が達成される。一方、スリット設けたことによ
る測定素子自身の折り曲げ強度の低下については、スリ
ットの根本まで収納し、この収納部材を熱不良導体部材
で構成し、支持構造と兼用したので、強度が増強され
る。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１により説明す
る。図１は、本発明の熱式流量計の測定素子の一実施例
の平面図である。発熱抵抗素子１は、基板５の発熱部５
ａに形成された発熱抵抗素子膜３、発熱部５ａと同幅の
形成され基板部が露出している非発熱部５ｂ、および非
発熱部５ｂ部分に段差をつけて形成された幅広の非発熱
部５ｃから成る。温度補償抵抗素子２は、被測定空気流
１００に対して一番上流側の基板部分５ｄと素子膜４か
ら成る。これら発熱抵抗素子１及び温度補償抵抗素子２
は引出し電極膜１０、１１、１２、１３を介して接続端
子膜６、７、８、９に接続される。スリット１４は、発
熱素子１と温度補償素子２を熱絶縁するため設けられて
いる。

【００１２】発熱抵抗素子１の発熱部５ａは、この部分
に空気流が吹かれることにより抵抗値が変化し、この変
化を後段の演算装置（図示せず）が空気流量に変換し、
この空気流量に基づいて内燃機関の燃料噴射料を制御す
る。このため、制御精度を向上するためには、つまり、
内燃機関のレスポンスを向上するためには、発熱部５ａ
の温度変化が空気流量変化に遅れなく追従しなければな
らない。すなわち、発熱部５ａを熱的に独立させること
が必要である。このため、本実施例では、発熱部５ａと
同幅の形成され基板部が露出している非発熱部５ｂを有
し、この部分を冷却することにより発熱部５ａが発生し
た熱が発熱抵抗素子１の全体に極力広がらぬようにして
いる。

【００１３】他方、温度補償抵抗素子２は、発熱部５ａ
の出力を温度による誤差を補正するために設けられてい
るものであり、発熱部５ａと熱的に接続していると発熱
部５ａが発生した熱により正確な温度補償ができなくな
る。そこで、本実施例においては、スリット１４及び幅
広の非発熱部５ｃを設けている。もし、スリット１４が
存在しないとすると、発熱部５ａの熱伝導が高くなり温
度補償に支障を来してしまう。さらに、幅広の非発熱部
５ｃの一部を後述するように支持体５で覆わずに空気流
中にさらす上流側エッジ部とすることにより、発熱部５
ａからの熱を冷却し、温度補償抵抗素子２への熱的影響
を減少させている。

【００１４】ところで、基板５はアルミナ等のセラミッ
クよりなり、応答速度を速めるために０．１ｍｍ前後の
極めて薄い板厚としている。抵抗膜３、４は白金薄膜等
よりなり、スパッタ、蒸着等の方法により０．００２ｍ
ｍ（２ミクロン）以下の膜厚で一括して基板５上に着膜
された後、ホトエッチング等の方法によりパターン形成
される。端子電極６、７、８、９および引出し電極１
０、１１、１２、１３は、電気抵抗を下げるため、白金
薄膜３、４より厚い白金ー銀合金等の厚膜を白金薄膜上
に印刷等の方法で形成する。また、図には示さないが、
抵抗膜３、４には、素子の保護のためにガラス等の保護
膜が形成されている。

【００１５】このように基板５は極めて薄いので強度上
脆い。そこで、破線で輪郭を示した部分を、熱不良導体
部材で形成した基板５の支持体１５で覆うようにした。
発熱抵抗素子１の発熱部５ａ、非発熱部５ｂ部分と幅広
の非発熱部５ｃ部分の上流端部および温度補償抵抗素子
２が、流れ１００に対してさらされるよう、１５ａ、１
５ｂとして図示した部分で段差をもって形成されてい
る。幅広の非発熱部５ｃは、熱的にはこの部分（非発熱
部５ｂと同幅として）をなくしてスリットとすることが
有利であるが、強度的に弱くなるので幅広としたもので
ある。熱的には前述したように、幅広の非発熱部５ｃの
一部を覆わずに露出させてエッジ部を形成することによ
り解決している。また、スリット１４のつけ根は脆弱で
あるので、このスリット１４のつけ根をも熱不良導体部
材で覆った。

【００１６】この発熱抵抗素子１は、内燃機関の吸気系
のいずれかに固定しなければならない。しかし、前述し
たように基板５は弱いので、基板５を直接固定するので
はなく基板５を覆っている熱不良導体部材を支持部材と
して兼用した。

【００１７】以上のように、本実施例では、空気流量検
出精度を維持しつつこれと相反する強度の問題も解決し
ている。

【００１８】図２は、図１に示した測定素子を内燃機関
の空気流量計として構成した本発明の実施例の断面図で
ある。吸気９０の主通路１０２を形成する流量計のボデ
ィ１０１とＬ字形副流路１０４を形成する通路部材１０
３で流量計としての流路を形成している。発熱抵抗素子
１、および温度補償抵抗素子２は副通路１０４の流れに
並行な流路部分に回路ユニット１０６と一体化された支
持部材１５を介して配置され、発熱素子１の非発熱幅広
基板の上流端部分５ｃと共に、副通路１０４に流入する
気流１００にさらされるよう構成されている。１０７は
副通路１０４よりの流出流である。通路部材１０３に
は、副通路１０４の上流側開口には順流９０に対し上流
側に向かう突出する縁が全周に設けられ、凹部からなる
空気流安定手段１０５が形成されている。

【００１９】図３は、本発明の熱式流量計の測定素子の
第二の実施例の平面図である。図１で示した実施例との
相違点を主に説明する。発熱抵抗素子１には、順流１０
０に対して上流側抵抗膜３と下流側抵抗膜２３の二個の
抵抗膜が近接して形成されている。また、温度補償抵抗
素子２にも、上流側抵抗膜４と下流側抵抗膜２４の二個
の抵抗膜が形成されている。接続電極端子２６〜３１は
全部で６個設けられており、端子２６と２９は発熱抵抗
素子１と温度補償抵抗素子２の引出し電極が接続された
共通端子となっている。上流側抵抗膜３と下流側抵抗膜
２３の温度は、通常の定温度型熱式流量計と同様に、各
々空気温度との差が空気流速に関係なく一定値になるよ
う各一個の発熱抵抗素子膜と温度補償抵抗素子膜とで独
立に作動する駆動回路により電気加熱される。矢印１０
０に示される順方向に流れがある時は、上流側抵抗膜３
は下流側抵抗膜２３に比べて流れによる冷却が大である
ので、駆動回路からの供給電流は上流側抵抗膜３の方が
下流側抵抗膜２３の方より大となる。一方、矢印２００
に示される逆流の場合、流れによる冷却は下流側抵抗膜
２３の方が上流側抵抗膜３の方より大となり、駆動回路
からの供給電流は下流側抵抗膜２３の方が上流側抵抗膜
３の方より大となる。従って、発熱抵抗膜３と２３への
供給電流の差により、流れの方向を検知することができ
る。上流側抵抗膜３と下流側抵抗膜２３のそれぞれの流
量に応じた出力を電圧比較器により、流れの方向を検知
すると共に、スイッチ回路により出力を切り替えて逆流
分を出力しない、さらには、逆流分を差し引く等の補正
が可能になる。但し、これを精度良く行うためには、発
熱抵抗素子に高い過渡応答性が必要である。高い過渡応
答性を実現するには、基板の熱容量すなわち板厚、流れ
方向の幅を極力小さくすること、支持部への熱移動量の
低減、流速による温度分布の変化の低減等が有効であ
る。しかし、基板の板厚、流れ方向の幅を小さくするこ
とは、素子の折り曲げ強度の低下という問題を生じる。
さらに、一枚の基板に発熱抵抗素子と温度補償素子を作
りこんだ場合、両者の熱絶縁は精度向上には必須で、こ
のために両者の間にスリットを設けるのが有効である。
しかし、このスリットも強度低下の原因になることは解
る。そこで、高い過渡応答性を得るよう、発熱抵抗素子
膜３、２３を設ける基板部分５ａの流れ方向の幅は小さ
くするが、スリットを設ける部分を幅広にする、即ち５
ｃの部分を設けることで強度低下がおさえられる。さら
に、支持部への熱移動量の低減、流速による温度分布の
変化の低減を計るには、発熱抵抗素子の非発熱部の低温
化と流速変化による温度変化の低減が有効である。この
ため、発熱抵抗素子膜３、２３を設ける基板部分５ａと
同幅の非発熱部分５ｂを強度のゆるす限り長くとり、こ
の部分と前記の幅広の非発熱部分５ｃを低流速時におい
ても有効に冷却してやることが重要である。そのため、
図１で説明したと同様に、１５ａ、１５ｂで示す支持部
材１５の段差構造がとられている。

【００２０】図４は、図３で示した実施例の少変形した
実施例の平面図である。発熱抵抗素子の幅広の非発熱部
分５ｃ部分を、温度補償素子２の下端エッジより発熱抵
抗素子膜３、２３側へ延長して形成したものである。こ
れにより、発熱抵抗素子の幅広の非発熱部分５ｃ部分の
冷却がより十分に行える。

【００２１】図５は、図３で示した実施例をさらに改良
した実施例の平面図である。発熱抵抗素子１の幅広に形
成される非発熱部５ｃ、５ｅが上下流方向にほぼ均等に
形成し、且つ、発熱部の抵抗膜３、２３、接続電極端子
２６、２７、２８、２９までの引出し電極４０、４１、
４２、４３のパターンを含め、スリット１４から下流の
発熱抵抗素子１が形成された基板部分が、２個の膜状発
熱抵抗膜３、２３の分離部５ｆの中心に対し流れ方向に
ほぼ対称に形成されている。これにより、２個の発熱抵
抗素子３、２３の電気的特性を均等にでき、逆流検出補
正の精度向上が成される。次に、もう一つの変更点につ
いて述べる。

【００２２】基板５の大基板からの切出しは、レーザー
加工等の方法で行われる。段差やスリットの隅部でレー
ザーが、方向変更のため一時停止してその部分の温度が
上昇し、基板が損傷する割合が増大する。そこで、段差
の隅部１６ａ、１６ｂやスリット隅部１７を円弧などの
曲線で形成して、レーザーの動きを連続したものにする
ことで損傷率を低減できる。

【００２３】図６は、図５で示した測定素子に対し、支
持部材１８の形状を若干変えた実施例の平面図である。
発熱抵抗素子１に形成された上下流方向に均等な幅広の
非発熱部５ｃ、５ｅの両方が測定する流れに曝される
様、支持部材１８の１８ａのごとく、逆流を示す矢印２
００側にも段差を設けている。これにより、温度的な対
称性の点でも逆流検出補正の精度向上に有利となる。

【００２４】図７は、図３または図５に示した測定素子
を内燃機関の空気流量計として構成した本発明の実施例
の断面図である。吸気９０の主通路１０２を形成する流
量計のボディ１０１と副流路１１４を形成する通路部材
１１３で流量計としての流路を形成している。発熱抵抗
素子１、および温度補償抵抗素子２は副通路１１４の流
れに並行な流路部分に回路ユニット１１６と一体化され
た支持部材１５を介して配置され、発熱素子１の非発熱
幅広基板の上流端部分５ｃと共に、副通路１１４に流入
する気流１００に曝されるよう構成されている。１１７
は副通路１１４よりの流出流である。通路部材１１３に
は、副通路１１４の上流および下流側開口には各々順流
９０の上、下流に対し全周に突出する縁が設けられ、凹
部からなる空気流安定手段１１５ａおよび１１５ｂが形
成されている。矢印９１は、機関からの逆流を示し、矢
印２００は、その副通路１１４への侵入流れを示す。

【００２５】図８は、図７の順流９０側から見た正面図
である。各々図７に対応して、１は発熱抵抗素子、２は
温度補償抵抗素子、１５は支持部材、１０１はボディ、
１０２は主通路、１１６は回路ユニットである。副通路
１１４は回路ユニット１１６側の壁面が円弧で形成さ
れ、入口部に空気流安定手段１１５ａを備えている。下
流側空気流安定手段１１５ｂの正面形状も、上流側空気
流安定手段１１５ａとほぼ同等の形状を有する。空気流
安定手段１１５ａおよび１１５ｂにより正流側および逆
流側共に、流れの流速分布の影響が低減され、計測精度
の向上が達成される。

【００２６】上記したこれら実施例によれば、スリット
設けることによる測定素子自身の折り曲げ強度の低下を
小さくでき、且つ発熱部から基板根本方向への伝導熱量
変化を小さくでき、温度分布を平衡させる時間が短縮さ
れ、その結果、流速変動に対する過渡応答性の向上が達
成される。これにより、逆流補正を良好に可能にする熱
式流量計が実現する。また、スリットから下流の発熱抵
抗素子が形成された基板部分を２個の膜状発熱抵抗パタ
ーンの分離部の中心に対し対称に形成することにより、
２個の発熱抵抗素子の電気的特性を均等にでき、また、
幅広に形成した発熱抵抗素子の非発熱部上下流端を流体
流にさらされるようにして温度的な対称性を得て逆流検
出補正の精度向上が達成される。また、発熱抵抗素子の
非発熱部の段差部分の内側隅部を連続する曲線で形成す
ることで、基板をレーザを用いて切り出す場合の欠損を
少なく出来、素子製造時の低コスト化と単体強度の向上
も実現する。一方、上流側および下流側開口の全周に突
出する縁を設けて凹部からなる空気流安定手段を形成し
た副流路に測定素子を配置することで流れの流速分布の
影響が低減され、逆流補正を含めた計測精度向上が達成
される。逆流による誤差は、機関によりまた条件により
異なるが、３０〜１００％にもなる。本実施例を適用し
た逆流補正により、誤差５％以下が実現する。

【００２７】

【発明の効果】応答性を向上させることにより強度の低
下を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の熱式流量計の測定素子の第一の実施例
の平面図

【図２】本発明の実施例による熱式流量計の断面図

【図３】本発明の熱式流量計の測定素子の第二の実施例
の平面図

【図４】本発明の熱式流量計の測定素子の第三の実施例
の平面図

【図５】本発明の熱式流量計の測定素子の第四の実施例
の平面図

【図６】本発明の熱式流量計の測定素子の第五の実施例
の平面図

【図７】本発明の実施例による熱式流量計の断面図

【図８】図７に示した本発明の実施例による熱式流量計
の正面図

【符号の説明】

１…発熱抵抗素子、２…温度補償抵抗素子、３、４、２
３、２４…抵抗膜、５…基板、５ａ…発熱抵抗膜が形成
された基板部分、５ｂ…発熱抵抗膜が形成された基板部
分と同幅の発熱抵抗素子の非発熱部、５ｃ，５ｅ…発熱
抵抗膜が形成された基板部分より幅広の発熱抵抗素子の
非発熱部、６、７、８、９、２６、２７、２８、２９、
３０、３１…接続電極端子、１４…スリット、１５、１
８…支持部材、９０、１００…順流流れ、９１、２００
…逆流流れ、１０１…ボディ、１０２…主通路、１０
４、１１４…副通路、１０５、１１５ａ，１１５ｂ…空
気流安定手段、１０６…回路ユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小渡 武彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 内山 薫 茨城県ひたちなか市大字高場2520番地 株 式会社日立製作所自動車機器事業部内 (72)発明者 渡辺 泉 茨城県ひたちなか市大字高場字鹿島谷津 2477番地３日立オートモティブエンジニア リング株式会社内 (72)発明者 磯野 忠 茨城県ひたちなか市大字高場字鹿島谷津 2477番地３日立オートモティブエンジニア リング株式会社内

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】薄板の電気絶縁体基板と、その表面に膜状
   に形成された少なくとも各一個の発熱抵抗素子と温度補
   償抵抗素子と、これら発熱抵抗素子及び温度補償抵抗素
   子に対応して形成された複数の電極と、前記発熱抵抗素
   子及び温度補償抵抗素子と前記電極とを接続するリード
   部材と、前記発熱抵抗素子と前記温度補償抵抗素子とが
   流れ方向に前記発熱抵抗素子が突出するように段差をも
   って前記絶縁体基板上に形成された測定素子とを備えた
   熱式流量計において、前記発熱抵抗素子が形成された基
   板部と流れ方向に同幅の基板部分と、前記温度補償抵抗
   素子膜が形成された基板部分と流れ方向にほぼ同段に、
   スリットを介して少なくとも上流側に幅広に形成された
   基板部分と、前記発熱抵抗素子が形成された基板部と同
   幅の基板部分およびこれに連続する幅広に形成された基
   板部分を除き、前記スリットの根本部を含むように収納
   する収納部材と、この収納部材を熱不良導体部材で構成
   し保持部材と兼用した熱式流量計。
2. 【請求項２】前記温度補償抵抗素子用膜状パターンと前
   記発熱抵抗素子用膜状パターンが各々２個づつ近接して
   形成され、一個の温度補償抵抗素子と一個の発熱抵抗素
   子が一対となって独立して駆動される定温度型駆動回路
   を有すると共に、流れに対して上下流に近接した２個の
   発熱抵抗素子の出力の大きさを比較する比較回路等を有
   し、逆流補正を可能にする請求項１に記載の熱式流量
   計。
3. 【請求項３】前記発熱抵抗素子の非発熱部が上下流方向
   に均等に幅広に形成され、且つ、発熱部の抵抗膜パター
   ン、接続電極端子までの引出し電極のパターンを含め、
   前記スリットから下流の発熱抵抗素子が形成された基板
   部分が、前記２個の膜状発熱抵抗膜パターンの分離部の
   中心に対しほぼ対称に形成されている請求項２に記載の
   熱式流量計の測定素子。
4. 【請求項４】前記幅広に形成された発熱抵抗素子の非発
   熱部上下流端が測定する流体流に曝されるよう、上下流
   に段が形成された形状の熱不良導体部材で保持した請求
   項２又は請求項３に記載の測定素子を備えた熱式流量
   計。
5. 【請求項５】少なくとも、前記発熱抵抗素子の非発熱部
   の段差部分の内側隅部が円弧などの連続する曲線で形成
   されている請求項１に記載の熱式流量計の測定素子。
6. 【請求項６】前記発熱抵抗素子の幅広に形成された非発
   熱部の下端エッジが、前記温度補償抵抗素子の下端エッ
   ジより少し突き出した３段形状とし、前記幅広の非発熱
   部の下端エッジも測定する流体流に曝されるよう構成し
   た請求項１に記載の熱式流量計。
7. 【請求項７】吸入空気を流通する主流路と、前記吸入空
   気の一部を流通し、且つ内部に測定素子を備えて吸入空
   気量を計測する主流路内に収納された副流路を有し、該
   副流路の上流側および下流側開口の全周に突出する縁を
   設けて凹部からなる空気流安定手段を形成し、該凹部の
   底部に前記副流路の上下流開口を設けると共に、該上下
   流開口を主流路軸に対し回路ユニット側に偏心して位置
   させた請求項２に記載の熱式空気流量計。