JPH0949919A - カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ - Google Patents
カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタInfo
- Publication number
- JPH0949919A JPH0949919A JP21826895A JP21826895A JPH0949919A JP H0949919 A JPH0949919 A JP H0949919A JP 21826895 A JP21826895 A JP 21826895A JP 21826895 A JP21826895 A JP 21826895A JP H0949919 A JPH0949919 A JP H0949919A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- substrate
- colors
- heads
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ３色の着弾位置をバランス良く位置合わせ
し、３色とも配置の揃ったカラーフィルタを歩留良く製
造する。 【解決手段】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記イ
ンクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成
される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板と
描画ヘッドを位置合せする位置合わせ手段とを具備する
カラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドは、
予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色を基準に、他の２色
が相対的に位置合わせされ、描画時には３色の描画ヘッ
ドが相互に固定されるようにする。
し、３色とも配置の揃ったカラーフィルタを歩留良く製
造する。 【解決手段】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記イ
ンクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成
される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板と
描画ヘッドを位置合せする位置合わせ手段とを具備する
カラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドは、
予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色を基準に、他の２色
が相対的に位置合わせされ、描画時には３色の描画ヘッ
ドが相互に固定されるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーテレビ、パーソ
ナルコンピュータ等に使用されるカラー液晶ディスプレ
イのカラーフィルタを製造する技術に関し、特にインク
ジェット記録技術を利用したものに関する。
ナルコンピュータ等に使用されるカラー液晶ディスプレ
イのカラーフィルタを製造する技術に関し、特にインク
ジェット記録技術を利用したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルタの製造方法として
は、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。
は、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等がある。
【０００３】染色法とは、ガラス基板上に染色用の材料
である水溶性の高分子材料の層を形成し、これをフォト
リソグラフィにより所望のパターンに成形し、そしてこ
のガラス基板を染色漕に浸漬して着色されたパターンを
得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返すことによ
りカラーフィルタを形成するものである。
である水溶性の高分子材料の層を形成し、これをフォト
リソグラフィにより所望のパターンに成形し、そしてこ
のガラス基板を染色漕に浸漬して着色されたパターンを
得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返すことによ
りカラーフィルタを形成するものである。
【０００４】顔料分散法とは、ガラス基板上に顔料を分
散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングする
ことにより単色のパターンを得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色
につき３回繰り返すことによりカラーフィルタを形成す
るものである。
散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングする
ことにより単色のパターンを得る工程をＲ，Ｇ，Ｂ３色
につき３回繰り返すことによりカラーフィルタを形成す
るものである。
【０００５】電着法とは、ガラス基板上に透明電極パタ
ーンを形成し、このガラス基板を顔料、樹脂、電解液等
の入った電着塗装液に浸漬して単色を電着させる工程を
Ｒ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返し、そして焼成するこ
とによりカラーフィルタを形成するものである。
ーンを形成し、このガラス基板を顔料、樹脂、電解液等
の入った電着塗装液に浸漬して単色を電着させる工程を
Ｒ，Ｇ，Ｂ３色につき３回繰り返し、そして焼成するこ
とによりカラーフィルタを形成するものである。
【０００６】そして印刷法とは、熱硬化型の樹脂に顔料
を分散させたものを用いた印刷を３回繰り返すことによ
りＲ，Ｇ，Ｂ各色を塗り分け、その後、樹脂を熱硬化さ
せるものである。
を分散させたものを用いた印刷を３回繰り返すことによ
りＲ，Ｇ，Ｂ各色を塗り分け、その後、樹脂を熱硬化さ
せるものである。
【０００７】この４種の方法に共通しているのは、Ｒ，
Ｇ，Ｂ３色を着色するために同一工程を３回繰り返す必
要があり、工程数が多いために、歩留が低下し、コスト
が高くなる、等の欠点を有するということである。
Ｇ，Ｂ３色を着色するために同一工程を３回繰り返す必
要があり、工程数が多いために、歩留が低下し、コスト
が高くなる、等の欠点を有するということである。
【０００８】さらに、電着法は、形成可能なパターンの
形状が限定されるため、ＴＦＴへの適用が困難である。
また印刷法は、解像性が悪く、パターン微細化への対応
が困難である等の欠点を有する。
形状が限定されるため、ＴＦＴへの適用が困難である。
また印刷法は、解像性が悪く、パターン微細化への対応
が困難である等の欠点を有する。
【０００９】そこで、これらの欠点を補うべく、ガラス
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５、特開昭６３−２３５９０１、特開平１−２１７
３２０等）。
基板上にインクジェットを吐出させてフィルタのパター
ンを形成する技術が提案されている（特開昭５９−７５
２０５、特開昭６３−２３５９０１、特開平１−２１７
３２０等）。
【００１０】しかしながら、このインクジェットを用い
る技術においては、生産を行なっていくための機能が不
十分である。すなわち、インクの着弾位置を予め測定し
ておき、製造装置にガラス基板を装着する際にはガラス
基板を描画ヘッドに対して（あるいは、描画ヘッドをガ
ラス基板に対して）６自由度方向のアライメントを行な
い、その後、描画ヘッドとガラス基板間の隙間を一定に
保ちながら描画する、といったような機能がないため、
高精度な描画を行なうことができない。また、生産性に
ついても考慮が払われていない。
る技術においては、生産を行なっていくための機能が不
十分である。すなわち、インクの着弾位置を予め測定し
ておき、製造装置にガラス基板を装着する際にはガラス
基板を描画ヘッドに対して（あるいは、描画ヘッドをガ
ラス基板に対して）６自由度方向のアライメントを行な
い、その後、描画ヘッドとガラス基板間の隙間を一定に
保ちながら描画する、といったような機能がないため、
高精度な描画を行なうことができない。また、生産性に
ついても考慮が払われていない。
【００１１】そこで、本発明者等は、先にＲ，Ｇ，Ｂ３
色のインクジェットをそれぞれ生じさせる少なくとも１
組の描画ヘッドと、インクジェットによる描画によって
カラーフィルタが形成される基板を搭載して移動する移
動手段と、基板と描画ヘッド間の相対変位を検出する変
位検出手段と、描画ヘッドから吐出されたインクジェッ
トの基板上における着弾位置を検出する手段とを用い、
着弾位置の検出結果および相対変位検出結果に基づいて
基板および描画ヘッド間の位置合わせを行うカラーフィ
ルタ製造装置および方法を案出し、特願平７−１１８９
４０号（以下、先願という）として出願した。
色のインクジェットをそれぞれ生じさせる少なくとも１
組の描画ヘッドと、インクジェットによる描画によって
カラーフィルタが形成される基板を搭載して移動する移
動手段と、基板と描画ヘッド間の相対変位を検出する変
位検出手段と、描画ヘッドから吐出されたインクジェッ
トの基板上における着弾位置を検出する手段とを用い、
着弾位置の検出結果および相対変位検出結果に基づいて
基板および描画ヘッド間の位置合わせを行うカラーフィ
ルタ製造装置および方法を案出し、特願平７−１１８９
４０号（以下、先願という）として出願した。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この先
願の装置および方法も、カラーフィルタを安定に生産し
ていくには装置の性能等の点で未だ不十分であった。例
えば、３色のインクジェットの着弾位置をいずれも良好
に位置合わせすることは困難な場合があるという問題が
あった。
願の装置および方法も、カラーフィルタを安定に生産し
ていくには装置の性能等の点で未だ不十分であった。例
えば、３色のインクジェットの着弾位置をいずれも良好
に位置合わせすることは困難な場合があるという問題が
あった。
【００１３】本発明の目的は、かかる問題点を改善する
とともに、従来法の有する解像性等の特性を満足し、か
つインクジェット方式の特性を生かした、安価で信頼性
の高いカラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラ
ーフィルタを提供することにある。より具体的には、３
色のインクジェットの着弾位置をより容易により良好に
位置合わせすることを可能にすることにある。
とともに、従来法の有する解像性等の特性を満足し、か
つインクジェット方式の特性を生かした、安価で信頼性
の高いカラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラ
ーフィルタを提供することにある。より具体的には、３
色のインクジェットの着弾位置をより容易により良好に
位置合わせすることを可能にすることにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそ
れぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記
インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形
成される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板
と描画ヘッドを位置合せする位置合せ手段とを具備する
カラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドは、
予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色を基準に、他の２色
を相対的に位置合わせしておき、描画時には３色の描画
ヘッドを相互に固定することを特徴とする。
め、本発明では、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそ
れぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記
インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形
成される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板
と描画ヘッドを位置合せする位置合せ手段とを具備する
カラーフィルタ製造装置において、前記描画ヘッドは、
予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色を基準に、他の２色
を相対的に位置合わせしておき、描画時には３色の描画
ヘッドを相互に固定することを特徴とする。
【００１５】本発明の好ましい実施例において、前記描
画ヘッドの位置合わせは、３色のヘッド間の、描画方向
（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）および描画面（Ｘ
−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向（Ｚ方向の軸回りの
回転方向）を合わせる。あるいは、さらに、Ｘ方向、Ｚ
方向、Ｘ方向の軸回りの回転方向、Ｙ方向の軸回りの回
転方向をも含む６自由度方向の位置を合わせる。また、
前記位置合せ手段は、前記基板と描画ヘッド間の相対変
位を検出する変位検出手段と前記描画ヘッドから吐出さ
れたインクジェットの前記基板上における着弾位置を検
出する手段とを備え、前記着弾位置の検出結果および相
対変位の検出結果に基づいて前記基板および描画ヘッド
間の位置合せを行う。さらに、前記描画ヘッドはＲ，
Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれぞれ別個独立して生
じさせるものであり、前記移動手段は前記描画ヘッドと
所定距離を有する平面内を移動するものであり、前記相
対変位検出および位置合せは６自由度方向のものであ
る。
画ヘッドの位置合わせは、３色のヘッド間の、描画方向
（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）および描画面（Ｘ
−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向（Ｚ方向の軸回りの
回転方向）を合わせる。あるいは、さらに、Ｘ方向、Ｚ
方向、Ｘ方向の軸回りの回転方向、Ｙ方向の軸回りの回
転方向をも含む６自由度方向の位置を合わせる。また、
前記位置合せ手段は、前記基板と描画ヘッド間の相対変
位を検出する変位検出手段と前記描画ヘッドから吐出さ
れたインクジェットの前記基板上における着弾位置を検
出する手段とを備え、前記着弾位置の検出結果および相
対変位の検出結果に基づいて前記基板および描画ヘッド
間の位置合せを行う。さらに、前記描画ヘッドはＲ，
Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれぞれ別個独立して生
じさせるものであり、前記移動手段は前記描画ヘッドと
所定距離を有する平面内を移動するものであり、前記相
対変位検出および位置合せは６自由度方向のものであ
る。
【００１６】また、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、このようなカラーフィルタ製造装置を用い、前記基
板を移動させながら前記描画ヘッドによって前記基板上
に描画を行なうことによりカラーフィルタを形成するカ
ラーフィルタの製造方法において、前記描画ヘッドは、
予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色を基準に、他の２色
が位置合わせされ、描画時には３色の描画ヘッドが相互
に固定されていることを特徴とする。
は、このようなカラーフィルタ製造装置を用い、前記基
板を移動させながら前記描画ヘッドによって前記基板上
に描画を行なうことによりカラーフィルタを形成するカ
ラーフィルタの製造方法において、前記描画ヘッドは、
予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色を基準に、他の２色
が位置合わせされ、描画時には３色の描画ヘッドが相互
に固定されていることを特徴とする。
【００１７】
【作用】上記の構成によれば、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインク
ジェットをそれぞれ生じさせる１組の描画ヘッドは、予
め相互に位置合わせされ、相互に固定されてから、ブラ
ックマトリクスが描画されたガラス基板等の基板上に
Ｒ，Ｇ，Ｂのパターンをインクジェット方式で描画す
る。これにより、１色について着弾位置を合わせすれ
ば、他の２色も比較的良好に位置合わせでき、必要に応
じて最小自乗法等を適用することにより３色を平均的に
見て最適な位置に描画されるように位置合わせすること
も容易となる。
ジェットをそれぞれ生じさせる１組の描画ヘッドは、予
め相互に位置合わせされ、相互に固定されてから、ブラ
ックマトリクスが描画されたガラス基板等の基板上に
Ｒ，Ｇ，Ｂのパターンをインクジェット方式で描画す
る。これにより、１色について着弾位置を合わせすれ
ば、他の２色も比較的良好に位置合わせでき、必要に応
じて最小自乗法等を適用することにより３色を平均的に
見て最適な位置に描画されるように位置合わせすること
も容易となる。
【００１８】
【実施例１】図１〜図４は本発明の第１の実施例に係る
カラーフィルタ製造装置を示す。図１は装置外観図（斜
視図）、図２はステージ周辺の詳細図、図３は描画ヘッ
ドおよび光学系の配置図、図４はインクの吐出のイメー
ジを示す図である。
カラーフィルタ製造装置を示す。図１は装置外観図（斜
視図）、図２はステージ周辺の詳細図、図３は描画ヘッ
ドおよび光学系の配置図、図４はインクの吐出のイメー
ジを示す図である。
【００１９】これらの図において、１は装置搭載用の定
盤、２は定盤１を支持し、外部振動を遮断するための除
振台、３は定盤１上に設けられ、大ストローク移動を行
うＸＹステージ、４はＸＹステージ３上に搭載された
θ，Ｚ−チルトアライメント合わせ用のＺ−チルトステ
ージ、５はθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載されたガラ
ス基板、６はＲ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド６ａ〜６ｃからなる
描画ヘッドユニット、７は基板５のＸ，Ｙ，θ方向のア
ライメント検出用光学系、８（８ａ〜８ｃ）はＺ検出用
光学系、９は描画ヘッド６ａ〜６ｃが吐出するインクの
着弾位置検出用の光学系である。
盤、２は定盤１を支持し、外部振動を遮断するための除
振台、３は定盤１上に設けられ、大ストローク移動を行
うＸＹステージ、４はＸＹステージ３上に搭載された
θ，Ｚ−チルトアライメント合わせ用のＺ−チルトステ
ージ、５はθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載されたガラ
ス基板、６はＲ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド６ａ〜６ｃからなる
描画ヘッドユニット、７は基板５のＸ，Ｙ，θ方向のア
ライメント検出用光学系、８（８ａ〜８ｃ）はＺ検出用
光学系、９は描画ヘッド６ａ〜６ｃが吐出するインクの
着弾位置検出用の光学系である。
【００２０】図５〜７は上記描画ヘッドユニット６の上
面図、正面図および側面図である。Ｒ，Ｇ，Ｂの各描画
ヘッド６ａ〜６ｃはアーム５１ａ〜５１ｃに固定され、
アーム５１ａ〜５１ｃはそれぞれ調整板５２ａ〜５２ｃ
に固定され、調整板５２ａ〜５２ｃは固定ブロック５３
ａ，５３ｃを介して相互に固定されている。５４ａ，５
４ｃは描画ヘッド６ｂを基準として、描画ヘッド６ａ，
６ｃの描画方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）の
位置合わせを行うためのマイクロメータ、５５ａ，５５
ｃは描画ヘッド６ｂを基準として、描画面（Ｘ−Ｙ面）
と平行な平面内の回転方向の位置合わせを行うためのマ
イクロメータ、５６ａ，５６ｃは前記Ｙ方向の位置合わ
せを行った後描画ヘッド６ｂに対する描画ヘッド６ａ，
６ｃの位置を固定するためのロックネジ、５７ａ，５７
ｃは前記回転方向の位置合わせを行った後描画ヘッド６
ｂに対する描画ヘッド６ａ，６ｃの回転方向の相対位置
を固定するためのロックネジである。
面図、正面図および側面図である。Ｒ，Ｇ，Ｂの各描画
ヘッド６ａ〜６ｃはアーム５１ａ〜５１ｃに固定され、
アーム５１ａ〜５１ｃはそれぞれ調整板５２ａ〜５２ｃ
に固定され、調整板５２ａ〜５２ｃは固定ブロック５３
ａ，５３ｃを介して相互に固定されている。５４ａ，５
４ｃは描画ヘッド６ｂを基準として、描画ヘッド６ａ，
６ｃの描画方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）の
位置合わせを行うためのマイクロメータ、５５ａ，５５
ｃは描画ヘッド６ｂを基準として、描画面（Ｘ−Ｙ面）
と平行な平面内の回転方向の位置合わせを行うためのマ
イクロメータ、５６ａ，５６ｃは前記Ｙ方向の位置合わ
せを行った後描画ヘッド６ｂに対する描画ヘッド６ａ，
６ｃの位置を固定するためのロックネジ、５７ａ，５７
ｃは前記回転方向の位置合わせを行った後描画ヘッド６
ｂに対する描画ヘッド６ａ，６ｃの回転方向の相対位置
を固定するためのロックネジである。
【００２１】各アーム５１ａ〜５１ｃおよび調整板５２
ａ〜５２ｃは厚さ７ｍｍｔのステンレス板からなるが、
調整板５２ａ，５２ｃは、固定ブロック５３ａ，５３ｃ
に近い部分に溝および開口により剛性を減じた部分（ヒ
ンジ部）５８を設け、ヒンジ部５８を軸に回転可能にし
てある。調整板５２ａ，５２ｃは、さらに、図６に示す
ように、アーム５１ａ，５１ｂを取り付けるためのアー
ム取付部６１を僅かな部分（たわみ部）６２を残して開
口とスリットにより調整板５２ａ，５２ｃの他の部分か
ら分離しており、アーム取付部６１が図６の平面内で調
整板５２ａ，５２ｃの他の部分に対して移動可能にして
ある。
ａ〜５２ｃは厚さ７ｍｍｔのステンレス板からなるが、
調整板５２ａ，５２ｃは、固定ブロック５３ａ，５３ｃ
に近い部分に溝および開口により剛性を減じた部分（ヒ
ンジ部）５８を設け、ヒンジ部５８を軸に回転可能にし
てある。調整板５２ａ，５２ｃは、さらに、図６に示す
ように、アーム５１ａ，５１ｂを取り付けるためのアー
ム取付部６１を僅かな部分（たわみ部）６２を残して開
口とスリットにより調整板５２ａ，５２ｃの他の部分か
ら分離しており、アーム取付部６１が図６の平面内で調
整板５２ａ，５２ｃの他の部分に対して移動可能にして
ある。
【００２２】描画ヘッド６ａのＹ方向の位置合わせを行
うには、ロックネジ５６ａをゆるめ、マイクロメータ５
４ａを回転する。その回転方向に応じてマイクロメータ
５４ａの先端に固定されたくさび６３が調整板５２ａに
固定されたガイド６４に沿って図６中で上下（Ｚ方向）
に移動し、くさび６３の斜面と摺接している金具６５が
図６中で右または左（Ｙ方向）に移動する。金具６５は
調整板５２ａの他の部分に対してＹ方向に移動可能なア
ーム取付部６１に固定されているから、金具６５がＹ方
向に移動することにより描画ヘッド６ａは描画ヘッド６
ｂに対してＹ方向に移動し相対的に位置合わせされる。
位置合わせ後は、ロックネジ５６ａを締めて、調整板５
２ａ中のアーム取付部６１の位置を固定する。バネ６６
はくさび６３が上るときアーム取付部６１を図６中で右
方向に戻すため、金具６５を図６中で右方向に付勢して
いる。
うには、ロックネジ５６ａをゆるめ、マイクロメータ５
４ａを回転する。その回転方向に応じてマイクロメータ
５４ａの先端に固定されたくさび６３が調整板５２ａに
固定されたガイド６４に沿って図６中で上下（Ｚ方向）
に移動し、くさび６３の斜面と摺接している金具６５が
図６中で右または左（Ｙ方向）に移動する。金具６５は
調整板５２ａの他の部分に対してＹ方向に移動可能なア
ーム取付部６１に固定されているから、金具６５がＹ方
向に移動することにより描画ヘッド６ａは描画ヘッド６
ｂに対してＹ方向に移動し相対的に位置合わせされる。
位置合わせ後は、ロックネジ５６ａを締めて、調整板５
２ａ中のアーム取付部６１の位置を固定する。バネ６６
はくさび６３が上るときアーム取付部６１を図６中で右
方向に戻すため、金具６５を図６中で右方向に付勢して
いる。
【００２３】描画ヘッド６ａの描画面に平行な面内の回
転方向位置、すなわち描画ヘッド６ａと６ｂの平行出し
を行うには、ロックネジ５７ａをゆるめ、マイクロメー
タ５５ａを回転する。その回転方向に応じてマイクロメ
ータ５４ａの先端に固定されたくさび７１が調整板５２
ｂに固定されたガイド７２に沿って調整板５２ｂと平行
に図７中で上下（Ｚ方向）に移動し、くさび７１の斜面
と摺接している金具７３が図７中で右または左（Ｙ方
向）に移動する。金具７３は調整板５２ａの先端側（固
定ブロック５３と反対の側）に固定されており、調整板
５２ａは先端側が固定ブロック５３に対しヒンジ部５８
を軸に回転可能になっているから、金具７３がＸ方向に
移動することにより描画ヘッド６ａは描画ヘッド６ｂに
対してＸ−Ｙ平面と平行な平面内で回転し、回転方向の
位置合わせ、すなわち描画ヘッド６ｂとの平行出しが行
われる。位置合わせ後は、ロックネジ５７ａを締めて、
調整板５２ｂに対する調整板５２ａの前記回転方向の位
置を固定する。バネ７４はくさび７１が上るとき調整板
５２ａの先端側を調整板５２ｂ寄りに戻すためのもので
ある。
転方向位置、すなわち描画ヘッド６ａと６ｂの平行出し
を行うには、ロックネジ５７ａをゆるめ、マイクロメー
タ５５ａを回転する。その回転方向に応じてマイクロメ
ータ５４ａの先端に固定されたくさび７１が調整板５２
ｂに固定されたガイド７２に沿って調整板５２ｂと平行
に図７中で上下（Ｚ方向）に移動し、くさび７１の斜面
と摺接している金具７３が図７中で右または左（Ｙ方
向）に移動する。金具７３は調整板５２ａの先端側（固
定ブロック５３と反対の側）に固定されており、調整板
５２ａは先端側が固定ブロック５３に対しヒンジ部５８
を軸に回転可能になっているから、金具７３がＸ方向に
移動することにより描画ヘッド６ａは描画ヘッド６ｂに
対してＸ−Ｙ平面と平行な平面内で回転し、回転方向の
位置合わせ、すなわち描画ヘッド６ｂとの平行出しが行
われる。位置合わせ後は、ロックネジ５７ａを締めて、
調整板５２ｂに対する調整板５２ａの前記回転方向の位
置を固定する。バネ７４はくさび７１が上るとき調整板
５２ａの先端側を調整板５２ｂ寄りに戻すためのもので
ある。
【００２４】調整板５２ｃも調整板５２ａと同様に構成
され、調整板５２ｂに対して同様に位置合わせされる。
なお、上述においては、描画ヘッド６ａ，６ｃの描画方
向と直交する方向（Ｙ方向）の位置合わせと、描画面
（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向（Ｚ方向の軸回
り）の位置合わせについて説明したが、本実施例の描画
ヘッドユニットにおいては６自由度の位置合わせを行っ
ている。すなわち、Ｚ方向の位置合わせおよびＸ方向の
軸回りの位置合わせは、ユニット組立時、ヘッド６ａ〜
６ｃを固定したアーム５１ａ〜５１ｃを調整板に５２ａ
〜５２ｃに取り付ける際、ヘッド６ａ〜６ｃの吐出面を
超平面からなる治具に押し当てて取付ネジ６８を締める
ことにより行う。また、ロックネジ５６ａを用いてＹ方
向の位置合わせと同時に行うこともできる。Ｘ方向の位
置合わせおよびＹ方向の軸回りの位置合わせは、ロック
ネジ５７ａを用いてＺ方向の軸回りの位置合わせと同時
に行うことができる。このＸ方向の位置合わせおよびＹ
方向の軸回りの位置合わせは、電気的に、吐出タイミン
グの調整によって代替してもよい。
され、調整板５２ｂに対して同様に位置合わせされる。
なお、上述においては、描画ヘッド６ａ，６ｃの描画方
向と直交する方向（Ｙ方向）の位置合わせと、描画面
（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向（Ｚ方向の軸回
り）の位置合わせについて説明したが、本実施例の描画
ヘッドユニットにおいては６自由度の位置合わせを行っ
ている。すなわち、Ｚ方向の位置合わせおよびＸ方向の
軸回りの位置合わせは、ユニット組立時、ヘッド６ａ〜
６ｃを固定したアーム５１ａ〜５１ｃを調整板に５２ａ
〜５２ｃに取り付ける際、ヘッド６ａ〜６ｃの吐出面を
超平面からなる治具に押し当てて取付ネジ６８を締める
ことにより行う。また、ロックネジ５６ａを用いてＹ方
向の位置合わせと同時に行うこともできる。Ｘ方向の位
置合わせおよびＹ方向の軸回りの位置合わせは、ロック
ネジ５７ａを用いてＺ方向の軸回りの位置合わせと同時
に行うことができる。このＸ方向の位置合わせおよびＹ
方向の軸回りの位置合わせは、電気的に、吐出タイミン
グの調整によって代替してもよい。
【００２５】上述のように組み立ておよび位置合わせし
た描画ヘッドユニット６は、図１〜図４に示すカラーフ
ィルタ製造装置のヘッドステージ１０に、図５のネジ穴
５９および６０を用いて吊り下げ固定される。ヘッドス
テージ１０は４本の柱１１により定盤１上にリジッドに
取り付けられている。
た描画ヘッドユニット６は、図１〜図４に示すカラーフ
ィルタ製造装置のヘッドステージ１０に、図５のネジ穴
５９および６０を用いて吊り下げ固定される。ヘッドス
テージ１０は４本の柱１１により定盤１上にリジッドに
取り付けられている。
【００２６】図１〜図４に示すカラーフィルタ製造装置
において、装置の組立調整時等にはダミー基板（不図
示）を搭載し、アライメント検出系７で基板のＸ，Ｙ，
θ方向のアライメントを行い、描画ヘッド６ａ〜６ｃで
評価用のパターンを描画する。さらに、ＸＹステージ３
を移動し、着弾位置検出系９により着弾位置を測定す
る。このことによりアライメント検出系７の座標と描画
ヘッド６ａ〜６ｃの着弾位置の座標を正確に測定するこ
とができる。なお、この座標値は、別の基板を搭載して
も変化しないので、装置組立時、描画ヘッド交換時等の
システムパラメータが変化した時に行えば良い。着弾位
置は、他の装置で測定しておき、この測定値がカラーフ
ィルタ製造装置に再現されるようにしても良い。
において、装置の組立調整時等にはダミー基板（不図
示）を搭載し、アライメント検出系７で基板のＸ，Ｙ，
θ方向のアライメントを行い、描画ヘッド６ａ〜６ｃで
評価用のパターンを描画する。さらに、ＸＹステージ３
を移動し、着弾位置検出系９により着弾位置を測定す
る。このことによりアライメント検出系７の座標と描画
ヘッド６ａ〜６ｃの着弾位置の座標を正確に測定するこ
とができる。なお、この座標値は、別の基板を搭載して
も変化しないので、装置組立時、描画ヘッド交換時等の
システムパラメータが変化した時に行えば良い。着弾位
置は、他の装置で測定しておき、この測定値がカラーフ
ィルタ製造装置に再現されるようにしても良い。
【００２７】カラーフィルタの製造時には、描画用のガ
ラス基板５をθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載すると、
アライメント検出系７によりガラス基板５と描画ヘッド
６ａ〜６ｃとのＸ，Ｙ，θ３方向のズレ量を検出する。
この検出結果に基づき、θ成分のズレはθ，Ｚ−チルト
ステージ４により補正し、Ｘ方向のズレはＸＹステージ
３のＸ位置を合わせることにより補正する。また、Ｙ方
向のズレ（印字走査方向）はＸＹステージ３のＹ位置合
わせ、あるいは描画ヘッド６ａ〜６ｃからの吐出タイミ
ング制御により行う。さらに、図４に示すように、ガラ
ス基板５および描画ヘッド６ａ〜６ｃ間の隙間が変動す
ると着弾位置が変動する。したがって、Ｚ検出系８ａ〜
８ｃによりそれらの間の隙間および傾きを求め、隙間が
一定となるよう制御しながら描画ヘッド６ａ〜６ｃで描
画する。精度によってはガラス基板搭載時に測定、補正
して描画中は固定でも良い。
ラス基板５をθ，Ｚ−チルトステージ４に搭載すると、
アライメント検出系７によりガラス基板５と描画ヘッド
６ａ〜６ｃとのＸ，Ｙ，θ３方向のズレ量を検出する。
この検出結果に基づき、θ成分のズレはθ，Ｚ−チルト
ステージ４により補正し、Ｘ方向のズレはＸＹステージ
３のＸ位置を合わせることにより補正する。また、Ｙ方
向のズレ（印字走査方向）はＸＹステージ３のＹ位置合
わせ、あるいは描画ヘッド６ａ〜６ｃからの吐出タイミ
ング制御により行う。さらに、図４に示すように、ガラ
ス基板５および描画ヘッド６ａ〜６ｃ間の隙間が変動す
ると着弾位置が変動する。したがって、Ｚ検出系８ａ〜
８ｃによりそれらの間の隙間および傾きを求め、隙間が
一定となるよう制御しながら描画ヘッド６ａ〜６ｃで描
画する。精度によってはガラス基板搭載時に測定、補正
して描画中は固定でも良い。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、予
め描画ヘッドユニットで３色の描画ヘッドのうちの１色
を基準として他の２色の位置合わせを行い、描画時は固
定するようにしたため、３色の着弾位置をバランス良く
位置合わせすることができ、３色とも配置の揃ったカラ
ーフィルタを歩留良く製造することができる。
め描画ヘッドユニットで３色の描画ヘッドのうちの１色
を基準として他の２色の位置合わせを行い、描画時は固
定するようにしたため、３色の着弾位置をバランス良く
位置合わせすることができ、３色とも配置の揃ったカラ
ーフィルタを歩留良く製造することができる。
【図１】 本発明の第１の実施例に係る装置外観図（斜
視図）である。
視図）である。
【図２】 図１の装置のステージ詳細図である。
【図３】 図１の装置のヘッド、光学系の配置図であ
る。
る。
【図４】 図１の装置のインクの吐出イメージである。
【図５〜７】 それぞれ図１の装置の描画ヘッドユニッ
トの上面図、正面図および側面図である。
トの上面図、正面図および側面図である。
１：定盤、２：除振台、３：ＸＹステージ、４：θ、Ｚ
−チルトステージ、５：ガラス基板、６：描画ヘッドユ
ニット、６ａ〜６ｃ：Ｒ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド、７：アラ
イメント検出（Ｘ，Ｙ，θ検出）系、８ａ〜８ｃ：Ｚ検
出系、９：着弾位置計測系、１０：ヘッドステージ、１
１：柱、５１ａ〜５１ｃ：アーム、５２ａ〜５２ｃ：調
整板、５３ａ，５３ｃ：固定ブロック、５４ａ，５４
ｃ，５５ａ，５５ｃ：マイクロメータ、５６ａ，５６
ｃ，５７ａ，５７ｃ：ロックネジ、５８：ヒンジ部、５
９，６０：ユニット取付用ネジ穴、６１：アーム取付
部、６２：たわみ部、６３，７１：くさび、６４，７
２：ガイド、６５，７３：金具、６６，７４：バネ。
−チルトステージ、５：ガラス基板、６：描画ヘッドユ
ニット、６ａ〜６ｃ：Ｒ，Ｇ，Ｂ描画ヘッド、７：アラ
イメント検出（Ｘ，Ｙ，θ検出）系、８ａ〜８ｃ：Ｚ検
出系、９：着弾位置計測系、１０：ヘッドステージ、１
１：柱、５１ａ〜５１ｃ：アーム、５２ａ〜５２ｃ：調
整板、５３ａ，５３ｃ：固定ブロック、５４ａ，５４
ｃ，５５ａ，５５ｃ：マイクロメータ、５６ａ，５６
ｃ，５７ａ，５７ｃ：ロックネジ、５８：ヒンジ部、５
９，６０：ユニット取付用ネジ穴、６１：アーム取付
部、６２：たわみ部、６３，７１：くさび、６４，７
２：ガイド、６５，７３：金具、６６，７４：バネ。
Claims (8)
- 【請求項１】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、 前記インクジェットによる描画によってカラーフィルタ
が形成される基板を搭載して移動する移動手段と、 前記基板と描画ヘッドを位置合せする位置合わせ手段と
を具備するカラーフィルタ製造装置において、 前記描画ヘッドは、予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色
を基準に、他の２色が相対的に位置合わせされ、描画時
には３色の描画ヘッドが相互に固定されていることを特
徴とするカラーフィルタの製造装置。 - 【請求項２】 前記描画ヘッドの位置合わせは、描画と
直交する方向および描画ヘッドと平行な平面内の回転方
向を合わせることを特徴とする請求項１記載のカラーフ
ィルタ製造装置。 - 【請求項３】 前記描画ヘッドの位置合わせは、３色の
ヘッド間の６自由度方向の位置を合わせることを特徴と
する請求項１記載のカラーフィルタ製造装置。 - 【請求項４】 前記基板と描画ヘッドの位置合わせ手段
は、前記基板と描画ヘッド間の相対変位を検出する変位
検出手段と前記描画ヘッドから吐出されたインクジェッ
トの前記基板上における着弾位置を検出する手段とを備
え、前記着弾位置の検出結果および相対変位の検出結果
に基づいて前記基板および描画ヘッド間の位置合わせを
行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の
カラーフィルタ製造装置。 - 【請求項５】 前記基板と描画ヘッドの相対変位検出お
よび位置合わせは６自由度方向のものであることを特徴
とする請求項４に記載のカラーフィルタ製造装置。 - 【請求項６】 Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のインクジェットをそれ
ぞれ生じさせる少なくとも１組の描画ヘッドと、前記イ
ンクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成
される基板を搭載して移動する移動手段と、前記基板と
描画ヘッド間の位置合わせを行う位置合わせ手段とを具
備するカラーフィルタ製造装置を用い、前記基板を移動
させながら前記描画ヘッドによって前記基板上に描画を
行なうことによりカラーフィルタを形成するに際し、前
記描画ヘッドは、予め前記Ｒ，Ｇ，Ｂ３色のうち１色を
基準に、他の２色を位置合わせし、描画時には３色の描
画ヘッドを相互に固定しておくことを特徴とするカラー
フィルタの製造方法。 - 【請求項７】 前記請求項１〜５のいずれかに記載の装
置を用いて製造されたことを特徴とするカラーフィル
タ。 - 【請求項８】 前記請求項６に記載の方法により製造さ
れたことを特徴とするカラーフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21826895A JPH0949919A (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21826895A JPH0949919A (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0949919A true JPH0949919A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16717212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21826895A Pending JPH0949919A (ja) | 1995-08-04 | 1995-08-04 | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0949919A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6667795B2 (en) * | 2000-05-23 | 2003-12-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Head unit, display device panel manufacturing apparatus for manufacturing panel for display device using the head unit, manufacturing method thereof, manufacturing method of liquid crystal display device having color filter, and device having the liquid crystal display device |
| JP2008062535A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Mimaki Engineering Co Ltd | プリンタ装置 |
-
1995
- 1995-08-04 JP JP21826895A patent/JPH0949919A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6667795B2 (en) * | 2000-05-23 | 2003-12-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Head unit, display device panel manufacturing apparatus for manufacturing panel for display device using the head unit, manufacturing method thereof, manufacturing method of liquid crystal display device having color filter, and device having the liquid crystal display device |
| JP2008062535A (ja) * | 2006-09-08 | 2008-03-21 | Mimaki Engineering Co Ltd | プリンタ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6244702B1 (en) | Method and apparatus for producing color filter, color filter, liquid crystal display device and apparatus having the liquid crystal display device | |
| JP3880289B2 (ja) | ヘッドユニット、当該ヘッドユニットを用いるカラーフィルタの製造装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた液晶パネルの製造方法および液晶パネルを備えた情報処理装置の製造方法 | |
| KR100848162B1 (ko) | 잉크젯 프린팅 장치 및 헤드위치 조절방법 | |
| US5847720A (en) | Apparatuses and processes for the production and repair of color filters | |
| CN101434145B (zh) | 喷头模组及采用该喷头模组形成薄膜图案层的方法 | |
| US7422303B2 (en) | Inkjet coating method and apparatus | |
| US20060093751A1 (en) | System and methods for inkjet printing for flat panel displays | |
| JP2002189115A (ja) | カラーフィルタ製造装置及びこれを用いた製造方法 | |
| JP2015163463A (ja) | 書込ヘッドユニットの組立装置および書込ヘッドユニットの組立方法 | |
| US6702419B2 (en) | System and method for delivering droplets | |
| JPH09277571A (ja) | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ | |
| JPH0949919A (ja) | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ | |
| JPH0949920A (ja) | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ | |
| JP2021133289A (ja) | インクジェット印刷方法、およびインクジェット印刷装置 | |
| JP2002228822A (ja) | カラーフィルタ製造装置及び該装置のインクジェットヘッド位置調整方法 | |
| JPH08292317A (ja) | カラーフィルタ製造装置および方法 | |
| JPH1114816A (ja) | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ | |
| JPH11258416A (ja) | カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ | |
| JP4946129B2 (ja) | アライメント装置 | |
| JPH1164626A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタ及び表示装置及びこの表示装置を備えた装置 | |
| JP2000187115A (ja) | カラーフィルタ製造装置 | |
| JP4971560B2 (ja) | インクジェット記録装置、ヘッドユニット及びカラーフィルタ製造装置 | |
| JP2011197232A (ja) | アライメント装置 | |
| JP2003057430A (ja) | カラーフィルタ製造装置 | |
| JP2005049897A (ja) | カラーフィルタ製造装置およびカラーフィルタ |