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JPH0942292A - 流体軸受装置 - Google Patents

流体軸受装置

Info

Publication number
JPH0942292A
JPH0942292A JP19531595A JP19531595A JPH0942292A JP H0942292 A JPH0942292 A JP H0942292A JP 19531595 A JP19531595 A JP 19531595A JP 19531595 A JP19531595 A JP 19531595A JP H0942292 A JPH0942292 A JP H0942292A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
fluid
cooling
flow rate
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19531595A
Other languages
English (en)
Inventor
Shiro Murai
井 史 朗 村
Masaru Owada
優 大和田
Tatsuomi Nakayama
山 達 臣 中
Katsutoshi Miyahara
原 克 敏 宮
Minoru Ota
田 稔 太
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippei Toyama Corp
Nissan Motor Co Ltd
Original Assignee
Nippei Toyama Corp
Nissan Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippei Toyama Corp, Nissan Motor Co Ltd filed Critical Nippei Toyama Corp
Priority to JP19531595A priority Critical patent/JPH0942292A/ja
Publication of JPH0942292A publication Critical patent/JPH0942292A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C3/00Shafts; Axles; Cranks; Eccentrics
    • F16C3/04Crankshafts, eccentric-shafts; Cranks, eccentrics
    • F16C3/06Crankshafts
    • F16C3/16Features relating to cooling

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ocean & Marine Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mounting Of Bearings Or Others (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体軸受装置において、スピンドルとそれを
支持する軸受メタルとの間の熱膨張による相対変位量を
正確に検出して、冷却用流体の熱交換量を適正に制御す
る。 【解決手段】 軸受用流体供給装置28からスピンドル
18と軸受メタル16、17との間の軸受間隙26,2
7に軸受用流体を供給して、スピンドル18をハウジン
グ11に回転可能に支持する。スピンドル18と軸受メ
タル16,17との間で熱膨張により相対変位が生じた
とき、流量検出器31により軸受用流体の流量を検出す
る。その流量検出器31の検出結果に応じて温度調節装
置41,42及び流量調節装置43,44により、スピ
ンドル18及び固定子20を冷却する冷却用流体の温度
及び流量をそれぞれ制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、モータなどに使
用される流体軸受装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の流体軸受装置としては、例えば、
特公昭57−33139号公報に示すような構成のもの
が知られている。この従来構成においては、回転軸とそ
れを支持する軸受部材との間に、両者間の機械的な相対
変位量を検出して、軸受精度を維持するために、静電容
量型検出器が配設されている。そして、回転軸がその回
転中に温度上昇したとき、検出器により回転軸と軸受部
材との熱膨張に伴う相対変位量が検出され、この検出結
果に応じて、回転軸及び軸受部材を冷却するための冷却
用流体の流量及び温度が制御される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
流体軸受装置においては、静電容量型検出器により回転
軸と軸受部材との間の変位量をダイレクトに検出するよ
うになっている。このため、回転軸の回転中に、熱膨張
とは異なった振動等の他の要因により、回転軸と軸受部
材との間に機械的な相対変位が生じた場合でも、その変
位が検出器により検出されて、冷却用流体の制御が誤っ
て行われるおそれがある。すなわち、例えば、回転軸の
振動により、その回転軸が径方向に変位した場合には、
回転軸と軸受部材との間の隙間の一部が狭くなって、検
出器が熱膨張による変位と同様な検出信号を出力するお
それがある。
【0004】このような誤動作に対応するために、前述
した従来の流体軸受装置においては、回転軸と軸受部材
との間の複数箇所に検出器を配設している。そのため、
複数の検出器から検出された相対変位量を演算処理する
ことが必要になって、検出結果の処理が繁雑になるとい
う問題があった。また、このように軸受部に対して軸受
機能に直接関与しない検出器を配設することは、軸受の
精度などに好ましくない結果をもたらすおそれがある。
【0005】しかも、前記公報の検出器は、電極や、そ
の電極を絶縁保持するための絶縁材などが組み込まれ、
複雑な構成を有するものであった。
【0006】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その主たる
目的は、冷却用流体の熱交換量を適正に制御することが
できて、軸受精度を維持でき、しかも構成が簡単なもの
となる流体軸受装置を提供することにある。
【0007】また、この発明のその他の目的は、回転部
材と静止部材との間に複数の検出器を配設する必要がな
く、検出結果の処理を容易に行うことができる流体軸受
装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1に記載の発明の流体軸受装置では、回転
部材と静止部材との間のすき間の変化による軸受用流体
の供給流量の変動を検出する検出手段と、その検出手段
の検出結果に応じて、前記すき間が常に一定になるよう
に前記冷却手段を制御し、回転部材側と静止部材側との
間で冷却用流体の熱交換量を調整する制御手段を設けた
ものである。
【0009】請求項2に記載の発明では、請求項1に記
載の発明において、前記静止部材側にはハウジングを介
してビルトインモータのステータを有するとともに、前
記冷却手段はハウジングからステータに対し冷却用流体
を供給し、前記回転部材側には前記ステータと対応する
ようにロータを有するとともに、前記冷却手段は回転部
材の内部へ冷却用流体を供給するものである。
【0010】請求項3の発明では、請求項1または2に
記載の発明において、軸受用流体の温度を一定にするた
めの温度保持手段を有するものである。
【0011】請求項4に記載の発明では、請求項1〜3
のいずれかに記載の発明において、検出手段は軸受用流
体の流量変動及び流速変動のうちから選ばれる変動を検
出するものである。
【0012】請求項5に記載の発明では、請求項1〜4
のいずれかに記載の発明において、検出手段は軸受用流
体の単位時間当たりの流量を検出するものである。
【0013】請求項6に記載の発明では、請求項1〜5
のいずれかに記載の発明において、制御手段は、冷却用
流体の温度及び単位時間当たりの流量のうちの少なくと
も一方を制御するものである。
【0014】従って、請求項1に記載の流体軸受装置に
おいては、回転部材の回転中に、回転部材及び静止部材
が温度上昇して、回転部材と静止部材との間で熱膨張に
より相対変位が生じると、検出手段により軸受用流体の
供給流量の変動が検出される。そして、この検出手段の
検出結果に応じて、制御手段により冷却用流体の熱交換
量が調節制御される。
【0015】請求項2の発明においては、回転部材の回
転中に、回転部材及びハウジングが温度上昇して、それ
らの間に相対変位が生じると、検出手段により軸受用流
体の流量変動が検出される。また、冷却手段により、ハ
ウジングからステータに対し冷却用流体が供給されると
ともに、回転部材の内部へ冷却用流体が供給される。そ
して、制御手段により冷却用流体の熱交換量が調節制御
される。
【0016】請求項3の発明においては、温度保持手段
により軸受用流体の温度が一定に保持される。
【0017】請求項4の発明においては、検出手段によ
り軸受用流体の変動が検出される。
【0018】請求項5の発明においては、検出手段によ
り軸受用流体の変動に際して、軸受用流体の単位時間当
たりの流量が検出される。
【0019】請求項6の発明においては、冷却用流体の
熱交換率の制御に際して、冷却用流体の温度及び単位時
間当たりの流量のうちの少なくとも一方が制御される。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態を、
図1及び図2に基づいて詳細に説明する。
【0021】図1に示すように、モータのハウジング1
1は円筒状に形成され、その両端には端板12,13及
び軸受装置14,15が取り付けられている。各軸受装
置14,15は軸受メタル16,17を備え、この軸受
メタル16,17間にはスピンドル18が回転可能に支
持されている。このスピンドル18の前端部にフランジ
19を有し、このフランジ19の周りでスラスト軸受が
形成されている。
【0022】固定子(ステータ)20は前記ハウジング
11内に固定配置され、この固定子20にはコイル21
が巻装されて、そのコイル21の一部が固定子20の両
端に突出されている。回転子(ロータ)22は固定子2
0に対応してスピンドル18の外周に同心上に配設さ
れ、コイル21への通電により、この回転子22がスピ
ンドル18と一体的に回転される。そして、前記ハウジ
ング11、固定子20及び軸受メタル16,17によっ
て静止部材が構成され、スピンドル18及び回転子22
によって回転部材が構成されている。
【0023】一対の円環状の供給通路23は前記各軸受
メタル16,17の外周面に対向するように、ケーシン
グ11及び端板13にそれぞれ形成され、それらの一部
には導入口24が連通形成されている。絞り(噴出口)
25は軸受メタル16,17にそれぞれ形成され、それ
らは各供給通路23に連通されるとともに、スピンドル
18と軸受メタル16,17との間のすき間を構成する
軸受間隙26,27に開口されている。
【0024】第1供給手段としての軸受用流体供給装置
28は供給路29を介して前記両導入口24に接続さ
れ、その供給路29の途中には冷却装置30が介装され
ている。そして、この軸受用流体供給装置28から圧送
される軸受用流体が、冷却装置30により冷却されて、
一定温度にされた後に各供給通路23内に導入され、複
数の絞り(噴出口)25を通して各軸受間隙26,27
内に供給される。これにより、スピンドル18の両端が
流体膜を介して軸受メタル16,17内に回転可能に支
持される。
【0025】検出手段としての流量検出器31は前記冷
却装置30と導入口24との間に位置するように、軸受
用流体の供給路29に接続されている。そして、前記コ
イル21への通電に伴って、回転子22がスピンドル1
8とともに回転されるとき、軸受用流体供給装置28か
ら各軸受間隙26,27に供給される軸受用流体の単位
時間当たりの流量が、この流量検出器31によって検出
される。従って、回転子22の回転中に、固定子20を
含む静止部材及び回転子22を含む回転部材が温度上昇
し、スピンドル18と軸受メタル16,17とが熱膨張
により相対変位して、軸受間隙26,27が変化したと
き、その変化量が軸受用流体の流量変動として、流量検
出器31からの検出結果に表れる。
【0026】第1冷却通路32は前記スピンドル18の
内部に軸線方向へ延びるように形成されている。導入パ
イプ33はスピンドル18の後端部から第1冷却通路3
2内の軸線上に挿入配設され、その内端が第1冷却通路
32の奥部に向かって開口されるとともに、外端はハウ
ジング11内に固定的に設けられた導入口34に連結さ
れている。すなわち、導入パイプ33から噴出された冷
却用流体は、第1冷却通路32の奥部ではねかえって第
1冷却通路32の内周面を伝って流動し、外部へ排出さ
れる。螺旋状の第2冷却通路35は固定子20の外周面
に対向するようにハウジング11の内周面に形成され、
その両端には導入口36及び排出口37が連通形成され
ている。
【0027】第2供給手段としての冷却用流体供給装置
38は供給路39,40を介して前記両導入口34,3
6にそれぞれ接続され、各供給路39,40の途中には
制御手段としての温度調節装置41,42及び流量調節
装置43,44が介装されている。そして、この冷却用
流体供給装置38から圧送される冷却用流体としての冷
却油が、温度調節装置41,42により冷却されるとと
もに、流量調節装置43,44により単位時間当たりの
所定流量に調節されて、各冷却通路32,35内に供給
される。これにより、回転子22を含む回転部材が第1
冷却通路32の冷却油にて冷却されるとともに、固定子
20を含む静止部材が第2冷却通路35の冷却油にて冷
却される。そして、これらの冷却用流体としての冷却油
は適宜循環使用される。
【0028】次に、前記のように構成されたモータの制
御回路について説明する。
【0029】図2に示すように、CPU(中央処理装
置)45はモータ全体の動作を制御する。ROM(リー
ドオンリメモリ)46は全体の動作を制御するためのプ
ログラムを内蔵している。RAM(ランダムアクセスメ
モリ)47は、軸受間隙26,27に供給される軸受用
流体の流量検出値と、各冷却通路32,35へ供給する
冷却油の調節温度及び調節流量との対照データを記憶し
ている。そして、CPU45は回転子22の回転中に、
流量検出器31から軸受用流体の流量検出信号を入力す
ると、RAM47に記憶された対照データに基づいて、
各供給パイプ39,40中の温度調節装置41,42及
び流量調節装置43,44に対し、冷却油の調節温度及
び調節流量の指令信号を出力する。
【0030】次に、前記のように構成されたモータにつ
いて動作を説明する。
【0031】さて、このモータにおいて、コイル21に
通電されると、回転子22がスピンドル18と一体的に
回転される。この回転子22の回転中には、軸受用流体
供給装置28から冷却装置30を介して両軸受装置1
4,15の軸受間隙26,27内に、一定温度の軸受用
流体が供給される。これにより、スピンドル18の両端
が軸受用流体の膜を介して軸受メタル16,17内に回
転可能に支持される。
【0032】また、冷却用流体供給装置38から温度調
節装置41,42及び流量調節装置43,44を介して
両冷却通路32,35内に、冷却用流体としての冷却油
が供給される。これにより、回転子22を含む回転部材
が第1冷却通路32の冷却油にてスピンドル18の中心
側から冷却されるとともに、固定子20を含む静止部材
が第2冷却通路35の冷却油にてハウジング11側から
冷却される。
【0033】さらに、この回転子22の回転中には、軸
受用流体供給装置28から各軸受間隙26,27に供給
される軸受用流体の流量が、流量検出器31によって検
出されて、その検出信号がCPU45に入力される。こ
のため、回転子22の回転に伴い、固定子20を含む静
止部材及び回転子22を含む回転部材が温度上昇し、ス
ピンドル18と軸受メタル16,17とが熱膨張により
相対変位して、軸受間隙26,27が変化すると、その
変化量が軸受用流体の流量変動として、流量検出器31
により検出される。
【0034】そして、この流量検出器31からの検出信
号に応じて、CPU45から各温度調節装置41,42
及び流量調節装置43,44に指令信号が出力され、各
冷却通路32,35に供給される冷却油の温度及び流量
が調節設定される。これにより、両冷却通路32,35
への冷却油の熱交換率が変化して、固定子20を含む静
止部材及び回転子22を含む回転部材が適切に冷却さ
れ、両軸受装置14,15の軸受間隙26,27が一定
に保たれる。
【0035】以上のように構成されたこの実施形態のモ
ータは、以下のような利点を有する。
【0036】 回転子22を含む回転部材と、固定子
20を含む静止部材との間の熱膨張による相対変位量
を、振動等の他の要因による相対変位に影響されること
なく正確に検出することができる。すなわち、スピンド
ル18が振動などにより径方向に変位しても、スピンド
ル18と軸受メタル16との間のすき間のボリウムは変
化しない。従って、誤検出が行われることがなく、正確
な検出結果に応じて、冷却用流体としての冷却油の熱交
換量を適正に制御することができる。このため、結果と
して、スピンドル18と軸受メタル16との間の相対変
位を抑制できて、高い回転精度を維持できる。
【0037】 また、この実施形態のモータでは、従
来装置のように回転部材と静止部材との間に、機械的な
相対変位量を検出するための複数の検出器を配設する必
要がなく、軸受用流体としての潤滑油の供給経路中に、
潤滑油の流量変動を検出する1つの流量検出器31を設
ければよい。このため、検出結果の処理を容易に行うこ
とができるとともに、軸受機能が低下するおそれを防止
することができる。
【0038】 軸受メタル16の電極や絶縁材を設け
る必要がないため、構成が簡単である。
【0039】 ハウジング内に固定子及び回転子とス
ピンドルを有し、熱変形に対して精度低下しやすいビル
トインタイプのモータであっても、冷却用流体の熱交換
量の制御が適切に行われ、高精度を維持できる。
【0040】 冷却装置30により軸受用流体の温度
が一定に保持されるため、軸受用流体の温度変化に起因
した相対変位を防止して、高精度を維持できる。
【0041】 軸受用流体の変動の検出が、軸受用流
体の単位時間当たりの流量の変化として検出されるた
め、その検出を常時正確に行うことができる。
【0042】 冷却用流体がスピンドル18の内部と
固定子20の外側とに供給されるため、発熱源である固
定子20及び回転子22が内外から効率的に冷却され
る。
【0043】 冷却用流体の熱交換量の制御に際し
て、冷却用流体の温度及び単位時間当たりの流量の両方
が制御されるため、その冷却を効率的に行うことができ
る。
【0044】
【別の実施形態】次に、この発明の別の実施形態を、図
3に基づいて説明する。
【0045】この実施形態においては、第1冷却通路3
2及び第2冷却通路35に対する冷却油の供給経路に、
温度調節装置及び流量調節装置が各別に配設されること
なく、冷却用流体供給装置38からの供給路39中に、
共通の温度調節装置41及び流量調節装置43が介装さ
れている。そして、この温度調節装置41の調節温度及
び流量調節装置43の調節流量が、流量検出器31の検
出結果に応じて設定変更されるようになっている。
【0046】従って、この実施形態においては、温度調
節装置41及び流量調節装置43が一組であるため、構
成が簡単になる。
【0047】また、温度調節装置41を共通使用し、流
量調節装置43,44を別使用するようになすこともで
きる。
【0048】さらに、この発明は、次のように変更して
具体化することも可能であり、特許請求の範囲の記載に
従って種々の実施形態をとることが可能である。
【0049】(1) 前記実施形態のモータにおいて、
図2に鎖線で示すように、軸受用流体の冷却装置30を
CPU45に接続し、流量検出器31の検出結果に応じ
て、冷却装置30による軸受用流体の冷却温度も調節で
きるように構成すること。
【0050】(2) 前記実施形態における軸受用流体
の流量変動に代えて、検出手段により軸受用流体の流速
変動、圧力変動または温度変動を検出するように構成す
ること。
【0051】(3) 前記実施形態とは異なり、検出手
段の検出結果に応じて、冷却用流体の温度調節装置4
1,42による調節温度、または流量調節装置43,4
4による調節流量のいずれか一方のみを変更して、冷却
用流体の熱交換率を制御するように構成すること。
【0052】(4) 前記実施形態とは異なり、固定子
20を含む静止部材と、回転子22を含む回転部材との
いずれか一方のみに冷却用流体を供給して、一方の部材
のみを冷却するように構成すること。
【0053】(5) 軸受用流体として、エアまたは液
体を使用すること。
【0054】(6) 冷却用流体として、前記実施形態
の冷却油とは異なった液体または気体を使用すること。
【0055】また、前記実施形態より把握される技術的
思想について、以下に例示して記載する。
【0056】(イ)制御手段は、検出手段の検出結果に
応じて、回転部材と静止部材との少なくともいずれか一
方を冷却する冷却用流体の温度及び流量を調節設定する
請求項1に記載の流体軸受装置。この構成により、冷却
用流体の熱交換量を制御して軸受精度を維持することが
できる。
【0057】(ロ)前記温度保持手段を制御装置に接続
し、検出手段の検出結果に応じて、温度保持手段による
軸受用流体の温度を制御する請求項3に記載の流体軸受
装置。このように構成すれば、軸受用流体の温度が一定
に保持できるため、軸受用流体の温度変化に起因する相
対変位を防止して、軸受精度を高めることができる。
【0058】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。
【0059】請求項1及び請求項2に記載の発明によれ
ば、回転部材とそれを支持する静止部材との間の熱膨張
による相対変位量を、振動等の他の要因による相対変位
に影響されることなく正確に検出することができ、その
検出結果に応じて冷却用流体の熱交換量を適正に制御す
ることができる。
【0060】また、請求項1及び請求項2に記載の発明
によれば、複数の検出器を配設する必要がなく、軸受用
流体の変動を検出する1つの検出手段を設ければよく、
検出結果の処理を容易に行うことができるとともに、軸
受機能が低下するおそれを防止することができる。ま
た、軸受部に電極や絶縁材を設ける必要がないため、構
成が簡単になる。
【0061】請求項3に記載の発明によれば、温度保持
手段により軸受用流体の温度が一定に保持されるため、
軸受用流体の温度変化に起因した相対変位を防止して、
高精度を維持することができる。
【0062】請求項4に記載の発明によれば、軸受用流
体の変動の検出を常時行うことができる。
【0063】請求項5に記載の発明によれば、軸受用流
体の変動の検出が、軸受用流体の単位時間当たりの流量
の変化として検出されるため、その検出を常時正確に行
うことができる。
【0064】請求項6に記載の発明によれば、冷却用流
体の熱交換量の制御に際して、冷却用流体の温度及び単
位時間当たりの流量の少なくとも一方が制御されるた
め、一方のみを制御した場合には構成が簡単になり、両
方を制御した場合には、その冷却をより一層効率的に行
うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の流体軸受装置を備えたモータの一
実施形態を示す構成図である。
【図2】 図1のモータの制御回路を示すブロック図で
ある。
【図3】 この発明の流体軸受装置を備えたモータの別
の実施形態を示す要部構成図である。
【符号の説明】
11…静止部材を構成するモータのハウジング、 14,15…軸受装置、 16,17…軸受メタル、 18…回転部材を構成するスピンドル、 20…静止部材を構成する固定子(ステータ)、 22…回転部材を構成する回転子(ロータ)、 23…供給通路、 25…噴出口、 26,27…回転部材と静止部材との間のすき間を構成
する軸受間隙、 28…第1供給手段を構成する軸受用流体供給装置、 31…検出手段を構成する流量検出器、 32…冷却手段を構成するスピンドル内の第1冷却通
路、 33…第1冷却通路内の導入パイプ、 35…冷却手段を構成するハウジング内周側の第2冷却
通路、 38…第2供給手段を構成する冷却用流体供給装置、 41,42…制御手段を構成する温度調節装置、 43,44…制御手段を構成する流量調節装置。
フロントページの続き (72)発明者 中 山 達 臣 神奈川県横浜市神奈川区宝町2番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 宮 原 克 敏 神奈川県横浜市神奈川区宝町2番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 太 田 稔 神奈川県横浜市神奈川区宝町2番地 日産 自動車株式会社内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転部材と静止部材との間のすき間に軸
    受用流体を供給して、回転部材を静止部材に回転自在に
    支持するとともに、回転部材側及び/または静止部材側
    へ冷却用流体を供給して冷却を行う冷却手段を有する流
    体軸受装置において、 前記すき間の変化による軸受用流体の供給流量の変動を
    検出する検出手段と、 その検出手段の検出結果に応じて、前記すき間が常に一
    定になるように前記冷却手段を制御し、回転部材側と静
    止部材側との間で冷却用流体の熱交換量を調整する制御
    手段、を設けた流体軸受装置。
  2. 【請求項2】 前記静止部材側にはハウジングを介して
    ビルトインモータのステータを有するとともに、前記冷
    却手段はハウジングからステータに対し冷却用流体を供
    給し、前記回転部材側には前記ステータと対応するよう
    にロータを有するとともに、前記冷却手段は回転部材の
    内部へ冷却用流体を供給する請求項1に記載の流体軸受
    装置。
  3. 【請求項3】 軸受用流体の温度を一定にするための温
    度保持手段を有する請求項1または2に記載の流体軸受
    装置。
  4. 【請求項4】 検出手段は軸受用流体の流量変動及び流
    速変動のうちから選ばれる変動を検出する請求項1〜3
    のいずれかに記載の流体軸受装置。
  5. 【請求項5】 検出手段は軸受用流体の単位時間当たり
    の流量を検出する請求項1〜4のいずれかに記載の流体
    軸受装置。
  6. 【請求項6】 制御手段は、冷却用流体の温度及び単位
    時間当たりの流量のうちの少なくとも一方を制御する請
    求項1〜5のいずれかに記載の流体軸受装置。
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