JPH0934552A - 移動体の制御装置、位置検出装置、そして移動体装置、及びそれらの制御方法 - Google Patents
移動体の制御装置、位置検出装置、そして移動体装置、及びそれらの制御方法Info
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- JPH0934552A JPH0934552A JP18133195A JP18133195A JPH0934552A JP H0934552 A JPH0934552 A JP H0934552A JP 18133195 A JP18133195 A JP 18133195A JP 18133195 A JP18133195 A JP 18133195A JP H0934552 A JPH0934552 A JP H0934552A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 解像度が限られた撮像装置で撮像した画像か
ら、ワークの位置情報を検出し、高精度な位置検出を行
なう。 【解決手段】 大地に固定された２台のＣＣＤカメラで
ワークの形状の特徴を表わす部分（ＣＣＤカメラの視野
３０）と、他の部分（ＣＣＤカメラの視野３１）とを撮
像する。２台のＣＣＤカメラ、スケール７、スケール７
上の基準マーク２５及び２６の位置関係を予め測定して
おく（Ｘ０及びＹ０）。コーナーＣ１は、基準マーク２
５を基準に（Ｘ１，Ｙ１）、コーナーＣ２は、基準マー
ク２６を基準に（Ｘ２，Ｙ２）とし、コーナーＣ１の最
終目標位置は（Ｘ１０，Ｙ１０）とする。そして予め測
定した位置データと、２つの画像データに基づいてワー
クの位置（Ｘ１，Ｙ１）、更にＸ軸に対するチップの傾
き角θの検出を行なう。
ら、ワークの位置情報を検出し、高精度な位置検出を行
なう。 【解決手段】 大地に固定された２台のＣＣＤカメラで
ワークの形状の特徴を表わす部分（ＣＣＤカメラの視野
３０）と、他の部分（ＣＣＤカメラの視野３１）とを撮
像する。２台のＣＣＤカメラ、スケール７、スケール７
上の基準マーク２５及び２６の位置関係を予め測定して
おく（Ｘ０及びＹ０）。コーナーＣ１は、基準マーク２
５を基準に（Ｘ１，Ｙ１）、コーナーＣ２は、基準マー
ク２６を基準に（Ｘ２，Ｙ２）とし、コーナーＣ１の最
終目標位置は（Ｘ１０，Ｙ１０）とする。そして予め測
定した位置データと、２つの画像データに基づいてワー
クの位置（Ｘ１，Ｙ１）、更にＸ軸に対するチップの傾
き角θの検出を行なう。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、代表的な撮像装置
であるＣＣＤカメラ等を使用した画像処理により、ワー
クの位置情報を検出し、ワークをベース部材に位置決め
する移動体及びその制御方法に関する。
であるＣＣＤカメラ等を使用した画像処理により、ワー
クの位置情報を検出し、ワークをベース部材に位置決め
する移動体及びその制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、１０ｍｍ角程度のチップをベース
部材に位置決めする場合、１台のＣＣＤカメラが撮像し
た１つの視野を画像処理し、ＣＣＤカメラの視野に対す
るチップの位置情報Ｘ，Ｙ，θを求め、その値に従って
Ｘ軸、Ｙ軸、θ軸をそれぞれ補正動作させて必要な精度
を得ていた。このような方法として、例えば特開平３−
２２８５９１号等の提案がなされている。
部材に位置決めする場合、１台のＣＣＤカメラが撮像し
た１つの視野を画像処理し、ＣＣＤカメラの視野に対す
るチップの位置情報Ｘ，Ｙ，θを求め、その値に従って
Ｘ軸、Ｙ軸、θ軸をそれぞれ補正動作させて必要な精度
を得ていた。このような方法として、例えば特開平３−
２２８５９１号等の提案がなされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
従来の方法は、チップをベース部材に対し±１μｍ程度
の精度で位置決めするためには、Ｘ軸に対するチップの
傾き角θの測定精度として少なくとも（１）式程度の値
が必要とされる。（尚、以下Ａ∧Ｂは、ＡのＢ乗を意味
する。） （１μｍ／１０ｍｍ）ｒａｄ＝１×１０∧−４ｒａｄ ・・・・・・（１） しかし、一般的なＣＣＤカメラでは、縦横の画素の数が
それぞれ５００程度であり、得られる測定精度は、
（２）式程度でしかない。 （１／５００）ｒａｄ≒２０×１０∧−４ｒａｄ ・・・・・・・（２） 図５は、従来例１としてチップを１台のＣＣＤカメラで
撮像した場合の視野を表わす図である。
従来の方法は、チップをベース部材に対し±１μｍ程度
の精度で位置決めするためには、Ｘ軸に対するチップの
傾き角θの測定精度として少なくとも（１）式程度の値
が必要とされる。（尚、以下Ａ∧Ｂは、ＡのＢ乗を意味
する。） （１μｍ／１０ｍｍ）ｒａｄ＝１×１０∧−４ｒａｄ ・・・・・・（１） しかし、一般的なＣＣＤカメラでは、縦横の画素の数が
それぞれ５００程度であり、得られる測定精度は、
（２）式程度でしかない。 （１／５００）ｒａｄ≒２０×１０∧−４ｒａｄ ・・・・・・・（２） 図５は、従来例１としてチップを１台のＣＣＤカメラで
撮像した場合の視野を表わす図である。
【０００４】図５のように、ＣＣＤカメラの視野の領域
内にチップ全体を納めた場合、（２）式の測定精度では
不十分となる。
内にチップ全体を納めた場合、（２）式の測定精度では
不十分となる。
【０００５】図６は、従来例１としてチップを１台のＣ
ＣＤカメラで撮像した場合の視野を表わす図である。
ＣＤカメラで撮像した場合の視野を表わす図である。
【０００６】図６のように、ＣＣＤカメラの視野の領域
内にチップの一部を納めた場合、ＣＣＤカメラの画素数
に対するθの測定精度は図４の場合より高くなる。しか
し、今度はチップ全体を捉えられないことによる問題が
場合により生じることがある。
内にチップの一部を納めた場合、ＣＣＤカメラの画素数
に対するθの測定精度は図４の場合より高くなる。しか
し、今度はチップ全体を捉えられないことによる問題が
場合により生じることがある。
【０００７】また、複数個のチップを±１μｍ程度の高
精度なピッチでベース部材に貼りつける際、ベース部材
を搭載し、移動させる移動体を使用する場合は、その移
動体の位置情報についても同程度の精度で測定する必要
がある。そのためには、レーザ測長器などの高価な測定
器が必要となりコストアップの要因となる。またレーザ
測長器は、気圧などの影響も受けるので、移動体の位置
情報の算出が複雑となるという欠点もあった。
精度なピッチでベース部材に貼りつける際、ベース部材
を搭載し、移動させる移動体を使用する場合は、その移
動体の位置情報についても同程度の精度で測定する必要
がある。そのためには、レーザ測長器などの高価な測定
器が必要となりコストアップの要因となる。またレーザ
測長器は、気圧などの影響も受けるので、移動体の位置
情報の算出が複雑となるという欠点もあった。
【０００８】更に、一般的な移動体では、１００ｍｍ程
度移動させた場合、移動方向と直交する方向へのヨーイ
ングにより、数μｍ程度動いてしまいため、±１μｍ程
度の高精度を実現し、２次元の動作系で位置決めするの
は困難であった。
度移動させた場合、移動方向と直交する方向へのヨーイ
ングにより、数μｍ程度動いてしまいため、±１μｍ程
度の高精度を実現し、２次元の動作系で位置決めするの
は困難であった。
【０００９】そこで本発明の目的は、解像度が限られた
撮像装置で撮像した画像から、ワークの位置情報を検出
し、高精度な位置検出を行なうことである。
撮像装置で撮像した画像から、ワークの位置情報を検出
し、高精度な位置検出を行なうことである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めの本発明の構成として、請求項１は、ワークを撮像し
た画像データに基づいて、そのワークを目標位置へ移動
させる移動体の制御装置において、前記ワークの形状の
特徴を表わす１つ以上の部分を撮像した第１の画像デー
タを入力する入力手段と、前記ワークの形状の特徴を表
わす１つ以上の他の部分を撮像した第２の画像データを
入力する入力手段と、前記第１及び第２の画像データに
常に含まれるような１つ以上の基準点の位置、そしてそ
の基準点と前記目標位置との関係を示す位置データを予
め入力する入力手段と、その入力された位置データと、
前記第１及び第２の画像データに基づいて前記ワークの
前記目標位置までの移動量を算出する算出手段を備えた
ことを特徴とする移動体の制御装置である。
めの本発明の構成として、請求項１は、ワークを撮像し
た画像データに基づいて、そのワークを目標位置へ移動
させる移動体の制御装置において、前記ワークの形状の
特徴を表わす１つ以上の部分を撮像した第１の画像デー
タを入力する入力手段と、前記ワークの形状の特徴を表
わす１つ以上の他の部分を撮像した第２の画像データを
入力する入力手段と、前記第１及び第２の画像データに
常に含まれるような１つ以上の基準点の位置、そしてそ
の基準点と前記目標位置との関係を示す位置データを予
め入力する入力手段と、その入力された位置データと、
前記第１及び第２の画像データに基づいて前記ワークの
前記目標位置までの移動量を算出する算出手段を備えた
ことを特徴とする移動体の制御装置である。
【００１１】画像データの入力手段が２つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
【００１２】請求項２の前記ワークは、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項１記載の
移動体の制御装置である。
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項１記載の
移動体の制御装置である。
【００１３】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
【００１４】請求項３は、物体を撮像する撮像手段と、
その撮像した画像を処理する画像処理手段と、それによ
り得た画像データに基づいて物体の位置を検出する検出
手段を備えた位置検出装置において、前記物体の形状の
特徴を表わす１つ以上の部分を撮像する第１の撮像手段
と、前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の他の部分
を撮像する第２の撮像手段と、前記第１及び第２の撮像
手段により得られる２つの画像データに、常に含まれる
ような１つ以上の基準点の位置、そしてその基準点と前
記目標位置との関係を示す位置データを予め入力する入
力手段と、その入力された位置データと、前記２つの画
像データに基づいて前記物体の位置を検出する検出手段
を備えたことを特徴とする位置検出装置である。
その撮像した画像を処理する画像処理手段と、それによ
り得た画像データに基づいて物体の位置を検出する検出
手段を備えた位置検出装置において、前記物体の形状の
特徴を表わす１つ以上の部分を撮像する第１の撮像手段
と、前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の他の部分
を撮像する第２の撮像手段と、前記第１及び第２の撮像
手段により得られる２つの画像データに、常に含まれる
ような１つ以上の基準点の位置、そしてその基準点と前
記目標位置との関係を示す位置データを予め入力する入
力手段と、その入力された位置データと、前記２つの画
像データに基づいて前記物体の位置を検出する検出手段
を備えたことを特徴とする位置検出装置である。
【００１５】画像データの入力手段が２つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
【００１６】請求項４の前記物体は、矩形物体であり、
その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角
の部分を使用することを特徴とする請求項３記載の位置
検出装置である。
その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角
の部分を使用することを特徴とする請求項３記載の位置
検出装置である。
【００１７】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
【００１８】請求項５は、第１及び第２のワークを撮像
する撮像手段と、その撮像した画像を処理する画像処理
手段と、それにより得た画像データに基づいて前記第１
及び第２のワークの位置を検出する検出手段と、検出し
た前記第１及び第２のワークの位置に基づいて、前記第
２のワーク上の目標位置に前記第１のワークを移動させ
る移動手段を備えた移動体装置において、前記第１のワ
ークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像する第
１の撮像手段と、前記第１のワークの形状の特徴を表わ
す１つ以上の他の部分を撮像する第２の撮像手段と、前
記第１及び第２の撮像手段により得られる２つの画像デ
ータに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位置、
そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位置デ
ータを予め入力する入力手段と、その入力された位置デ
ータと、前記２つの画像データに基づいて前記第１及び
第２のワークの位置を検出する検出手段を備えたことを
特徴とする移動体装置である。
する撮像手段と、その撮像した画像を処理する画像処理
手段と、それにより得た画像データに基づいて前記第１
及び第２のワークの位置を検出する検出手段と、検出し
た前記第１及び第２のワークの位置に基づいて、前記第
２のワーク上の目標位置に前記第１のワークを移動させ
る移動手段を備えた移動体装置において、前記第１のワ
ークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像する第
１の撮像手段と、前記第１のワークの形状の特徴を表わ
す１つ以上の他の部分を撮像する第２の撮像手段と、前
記第１及び第２の撮像手段により得られる２つの画像デ
ータに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位置、
そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位置デ
ータを予め入力する入力手段と、その入力された位置デ
ータと、前記２つの画像データに基づいて前記第１及び
第２のワークの位置を検出する検出手段を備えたことを
特徴とする移動体装置である。
【００１９】画像データの入力手段が２つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
【００２０】請求項６の前記第１のワークは、矩形物体
であり、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として
端部の角の部分を使用することを特徴とする請求項５記
載の移動体装置である。
であり、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として
端部の角の部分を使用することを特徴とする請求項５記
載の移動体装置である。
【００２１】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
【００２２】請求項７は、前記移動手段として、前記第
１のワークを移動させる第１の移動手段と、前記第２の
ワークを移動させる第２の移動手段との２つの移動手段
を備えたことを特徴とする請求項５記載の移動体装置で
ある。
１のワークを移動させる第１の移動手段と、前記第２の
ワークを移動させる第２の移動手段との２つの移動手段
を備えたことを特徴とする請求項５記載の移動体装置で
ある。
【００２３】これにより、複数の第１のワークを同一の
第２のワークに並べて位置決めすることが容易に実現で
きた。
第２のワークに並べて位置決めすることが容易に実現で
きた。
【００２４】請求項８の前記第１及び第２の撮像手段
は、大地又は空間で固定され移動しないことを特徴とす
る請求項５記載の移動体装置である。
は、大地又は空間で固定され移動しないことを特徴とす
る請求項５記載の移動体装置である。
【００２５】位置決めの基準を確保したことにより、第
２のワークの移動による振動や撮像手段の移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。
２のワークの移動による振動や撮像手段の移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。
【００２６】同目的を達成するための本発明の他の構成
として、請求項９は、ワークを撮像した画像データに基
づいて、そのワークを目標位置へ移動させる移動体の制
御装置の制御方法において、前記ワークの形状の特徴を
表わす１つ以上の部分を撮像した第１の画像データを入
力し、前記ワークの形状の特徴を表わす１つ以上の他の
部分を撮像した第２の画像データを入力し、前記第１及
び第２の画像データに常に含まれるような１つ以上の基
準点の位置、そしてその基準点と前記目標位置との関係
を示す位置データを予め入力し、その入力された位置デ
ータと、前記第１及び第２の画像データに基づいて前記
ワークの前記目標位置までの移動量を算出することを特
徴とする移動体の制御装置の制御方法である。
として、請求項９は、ワークを撮像した画像データに基
づいて、そのワークを目標位置へ移動させる移動体の制
御装置の制御方法において、前記ワークの形状の特徴を
表わす１つ以上の部分を撮像した第１の画像データを入
力し、前記ワークの形状の特徴を表わす１つ以上の他の
部分を撮像した第２の画像データを入力し、前記第１及
び第２の画像データに常に含まれるような１つ以上の基
準点の位置、そしてその基準点と前記目標位置との関係
を示す位置データを予め入力し、その入力された位置デ
ータと、前記第１及び第２の画像データに基づいて前記
ワークの前記目標位置までの移動量を算出することを特
徴とする移動体の制御装置の制御方法である。
【００２７】画像データの入力手段が２つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
【００２８】請求項１０の前記ワークは、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項９記載の
移動体の制御装置の制御方法である。
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項９記載の
移動体の制御装置の制御方法である。
【００２９】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
【００３０】請求項１１は、物体を撮像し、その撮像し
た画像を処理し、それにより得た画像データに基づいて
物体の位置を検出する位置検出装置の制御方法におい
て、前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮
像する第１の撮像工程と、前記物体の形状の特徴を表わ
す１つ以上の他の部分を撮像する第２の撮像工程と、前
記第１及び第２の撮像工程により得られる２つの画像デ
ータに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位置、
そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位置デ
ータを予め入力する入力工程と、その入力された位置デ
ータと、前記２つの画像データに基づいて前記物体の位
置を検出する検出工程を特徴とする位置検出装置の制御
方法である。
た画像を処理し、それにより得た画像データに基づいて
物体の位置を検出する位置検出装置の制御方法におい
て、前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮
像する第１の撮像工程と、前記物体の形状の特徴を表わ
す１つ以上の他の部分を撮像する第２の撮像工程と、前
記第１及び第２の撮像工程により得られる２つの画像デ
ータに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位置、
そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位置デ
ータを予め入力する入力工程と、その入力された位置デ
ータと、前記２つの画像データに基づいて前記物体の位
置を検出する検出工程を特徴とする位置検出装置の制御
方法である。
【００３１】画像データの入力手段が２つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
【００３２】請求項１２の前記物体は、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項１１記載
の位置検出装置の制御方法である。
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項１１記載
の位置検出装置の制御方法である。
【００３３】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
【００３４】請求項１３は、第１及び第２のワークを撮
像し、その撮像した画像を処理し、それにより得た画像
データに基づいて前記第１及び第２のワークの位置を検
出し、検出した前記第１及び第２のワークの位置に基づ
いて、前記第２のワーク上の目標位置に前記第１のワー
クを移動させる移動体装置の制御方法において、前記第
１のワークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像
する第１の撮像工程と、前記第１のワークの形状の特徴
を表わす１つ以上の他の部分を撮像する第２の撮像工程
と、前記第１及び第２の撮像工程により得られる２つの
画像データに、常に含まれるような１つ以上の基準点の
位置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す
位置データを予め入力する入力工程と、その入力された
位置データと、前記２つの画像データに基づいて前記第
１及び第２のワークの位置を検出する検出工程を備えた
ことを特徴とする移動体装置の制御方法である。
像し、その撮像した画像を処理し、それにより得た画像
データに基づいて前記第１及び第２のワークの位置を検
出し、検出した前記第１及び第２のワークの位置に基づ
いて、前記第２のワーク上の目標位置に前記第１のワー
クを移動させる移動体装置の制御方法において、前記第
１のワークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像
する第１の撮像工程と、前記第１のワークの形状の特徴
を表わす１つ以上の他の部分を撮像する第２の撮像工程
と、前記第１及び第２の撮像工程により得られる２つの
画像データに、常に含まれるような１つ以上の基準点の
位置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す
位置データを予め入力する入力工程と、その入力された
位置データと、前記２つの画像データに基づいて前記第
１及び第２のワークの位置を検出する検出工程を備えた
ことを特徴とする移動体装置の制御方法である。
【００３５】画像データの入力手段が２つであることに
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
より、画像データの限られた解像度による測定精度の制
限を受けない高精度の測定を実現する。更に基準点と目
標位置との関係を予め入力するので画像データの領域に
ワークの全体が収まりきらない場合でも正確な位置検出
ができる。
【００３６】請求項１４の前記第１のワークは、矩形物
体であり、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分とし
て端部の角の部分を使用することを特徴とする請求項１
３記載の移動体装置の制御方法である。
体であり、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分とし
て端部の角の部分を使用することを特徴とする請求項１
３記載の移動体装置の制御方法である。
【００３７】最も特徴の有る部分を使用することにより
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
画像処理の構成を比較的簡単にできる。
【００３８】請求項１５は、前記第１のワークを移動さ
せる第１の移動工程と、前記第２のワークを移動させる
第２の移動工程との２つの移動工程を備えたことを特徴
とする請求項１３記載の移動体装置の制御方法である。
せる第１の移動工程と、前記第２のワークを移動させる
第２の移動工程との２つの移動工程を備えたことを特徴
とする請求項１３記載の移動体装置の制御方法である。
【００３９】これにより、複数の第１のワークを同一の
第２のワークに並べて位置決めすることが容易に実現で
きた。
第２のワークに並べて位置決めすることが容易に実現で
きた。
【００４０】請求項１６の前記第１及び第２の撮像工程
は、大地又は空間で固定して移動しないことを特徴とす
る請求項１３記載の移動体装置の制御方法である。
は、大地又は空間で固定して移動しないことを特徴とす
る請求項１３記載の移動体装置の制御方法である。
【００４１】位置決めの基準を確保したことにより、第
２のワークの移動による振動や撮像手段の移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。
２のワークの移動による振動や撮像手段の移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。
【００４２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態を図面を参照して説明する。
態を図面を参照して説明する。
【００４３】はじめに、本発明を適用した移動体であ
り、ワークをベース部材に貼り合わせる装置について図
１〜図３を参照して説明する。
り、ワークをベース部材に貼り合わせる装置について図
１〜図３を参照して説明する。
【００４４】図１は、本発明の一実施形態としてのチッ
プ貼り付け装置の構成の概略図である。
プ貼り付け装置の構成の概略図である。
【００４５】図中、チップ貼り付け装置は、天井部のフ
ィンガ３、θステージ４、Ｙステージ５、そしてＺステ
ージ６を備え、更に基部のＸステージ９、ＣＣＤカメラ
１０及びＣＣＤカメラ１１を備えており、ワークである
チップ１をベース部材２に順次張り付けるように制御装
置１４によって制御されている。Ｘステージ９、Ｙステ
ージ５、及びＺステージ６は、それぞれ直交した方向に
配置されている。
ィンガ３、θステージ４、Ｙステージ５、そしてＺステ
ージ６を備え、更に基部のＸステージ９、ＣＣＤカメラ
１０及びＣＣＤカメラ１１を備えており、ワークである
チップ１をベース部材２に順次張り付けるように制御装
置１４によって制御されている。Ｘステージ９、Ｙステ
ージ５、及びＺステージ６は、それぞれ直交した方向に
配置されている。
【００４６】天井部において、チップ１を保持するフィ
ンガ（バキュームフィンガ）３は、図１の前後方向であ
るＹ軸方向に移動可能なＹステージ５、図１の上下方向
であるＺ軸方向に移動可能なＺステージ６、そしてＹス
テージ５上でＺ軸と平行な軸廻りに回転可能なθステー
ジ４により移動及び回転可能に取り付けられている。
ンガ（バキュームフィンガ）３は、図１の前後方向であ
るＹ軸方向に移動可能なＹステージ５、図１の上下方向
であるＺ軸方向に移動可能なＺステージ６、そしてＹス
テージ５上でＺ軸と平行な軸廻りに回転可能なθステー
ジ４により移動及び回転可能に取り付けられている。
【００４７】基部において、チップ１を貼り付けるベー
ス部材２は、図１の左右方向に移動可能なＸステージ９
に移動可能に取り付けられている。
ス部材２は、図１の左右方向に移動可能なＸステージ９
に移動可能に取り付けられている。
【００４８】また、レンズ１９及びレンズ２０をそれぞ
れ有するＣＣＤカメラ１０及びＣＣＤカメラ１１は、そ
れぞれ撮像領域を照明するための不図示の照明装置を有
しており、反射光としてベース部材２やチップ１を撮像
する。尚、チップ１は、一方の端部がベース部材２の妻
面から飛び出す状態でベース部材２に貼り付けられるの
で、ベース部材２の下方にＣＣＤカメラを設置すること
ができる。撮像された画像は、画像処理装置１５、画像
処理装置１６により２値化され、通信用インターフェー
ス８の通信手段を介して制御装置１４に送られる。画像
処理装置１５、画像処理装置１６には、それぞれモニタ
１７、モニタ１８が接続されており、制御装置１４には
ＣＲＴ２１、キーボード２２が接続されており各装置の
プログラム、メンテナンス等に使用する。
れ有するＣＣＤカメラ１０及びＣＣＤカメラ１１は、そ
れぞれ撮像領域を照明するための不図示の照明装置を有
しており、反射光としてベース部材２やチップ１を撮像
する。尚、チップ１は、一方の端部がベース部材２の妻
面から飛び出す状態でベース部材２に貼り付けられるの
で、ベース部材２の下方にＣＣＤカメラを設置すること
ができる。撮像された画像は、画像処理装置１５、画像
処理装置１６により２値化され、通信用インターフェー
ス８の通信手段を介して制御装置１４に送られる。画像
処理装置１５、画像処理装置１６には、それぞれモニタ
１７、モニタ１８が接続されており、制御装置１４には
ＣＲＴ２１、キーボード２２が接続されており各装置の
プログラム、メンテナンス等に使用する。
【００４９】次に、ＣＣＤカメラが撮像した視野３０及
び３１、チップ１、そしてベース部材２の位置関係につ
いて図２及び図３を参照して説明する。
び３１、チップ１、そしてベース部材２の位置関係につ
いて図２及び図３を参照して説明する。
【００５０】図２は、本発明の一実施形態としてのベー
ス部材周りの位置関係を示す図である。
ス部材周りの位置関係を示す図である。
【００５１】図中、３０はＣＣＤカメラ１０が撮像した
視野、３１はＣＣＤカメラ１１が撮像した視野である。
スケール７は、ガラス等の透明な材質であり、Ｘステー
ジ９上に搭載され、ベース部材２とともに移動可能であ
り、スケール７の下面には基準マーク２５及び２６がプ
ロットされている。尚、基準マークは、実際にはスケー
ル７上に等間隔にプロットされている。ＣＣＤカメラ１
０及び１１は、チップ１の角の部分であるコーナーＣ１
及びＣ２、チップ１、そしてスケール７がそれぞれ１つ
の視野に入るように固定して配置する。制御装置１４
は、基準マーク２５及び２６に基づいて算出するチップ
１の位置情報から、Ｙステージ５、θステージ４、Ｘス
テージ９、そしてＺステージ６を制御する。更に実際に
は、図３の位置関係において処理を進める。
視野、３１はＣＣＤカメラ１１が撮像した視野である。
スケール７は、ガラス等の透明な材質であり、Ｘステー
ジ９上に搭載され、ベース部材２とともに移動可能であ
り、スケール７の下面には基準マーク２５及び２６がプ
ロットされている。尚、基準マークは、実際にはスケー
ル７上に等間隔にプロットされている。ＣＣＤカメラ１
０及び１１は、チップ１の角の部分であるコーナーＣ１
及びＣ２、チップ１、そしてスケール７がそれぞれ１つ
の視野に入るように固定して配置する。制御装置１４
は、基準マーク２５及び２６に基づいて算出するチップ
１の位置情報から、Ｙステージ５、θステージ４、Ｘス
テージ９、そしてＺステージ６を制御する。更に実際に
は、図３の位置関係において処理を進める。
【００５２】図３は、本発明の一実施形態としての２台
のＣＣＤカメラの視野の位置関係を示す図である。
のＣＣＤカメラの視野の位置関係を示す図である。
【００５３】図中、Ｘ０及びＹ０の値は、２台のＣＣＤ
カメラ、スケール７、スケール７上の基準マーク２５及
び２６の位置によるので予め測定しておく。コーナーＣ
１は、基準マーク２５を基準に（Ｘ１，Ｙ１）、そして
コーナーＣ２は、基準マーク２６を基準に（Ｘ２，Ｙ
２）とし、更にコーナーＣ１の最終目標位置は（Ｘ１
０，Ｙ１０）、Ｘ軸に対するチップの傾き角はθとす
る。
カメラ、スケール７、スケール７上の基準マーク２５及
び２６の位置によるので予め測定しておく。コーナーＣ
１は、基準マーク２５を基準に（Ｘ１，Ｙ１）、そして
コーナーＣ２は、基準マーク２６を基準に（Ｘ２，Ｙ
２）とし、更にコーナーＣ１の最終目標位置は（Ｘ１
０，Ｙ１０）、Ｘ軸に対するチップの傾き角はθとす
る。
【００５４】次に、処理の流れについて図４を参照して
説明する。
説明する。
【００５５】図４は、本発明の一実施形態としての位置
決め処理のフローチャートである。
決め処理のフローチャートである。
【００５６】図中、ステップＳ１で、チップ１を把持し
たフィンガ３をＣＣＤカメラのピントが合う位置までＺ
方向に移動させる。次にステップＳ２で、制御装置１４
から画像処理装置１５に指令を送出し（Ｘ1，Ｙ1）を算
出させ、結果を制御装置１４に送信させる。同様にステ
ップＳ３で、画像処理装置１６より（Ｘ２，Ｙ２）を得
る。ステップＳ４では、θステージのずれ量Δθを算出
する。ここでΔθは、（３）式として算出可能である。 Δθ＝ａｒｃｔａｎ（Ｙ０−Ｙ１＋Ｙ２／Ｘ０−Ｘ１＋Ｘ２） ・・（３） ステップＳ４では、このΔθの値が所定の角度範囲内か
どうかを比較し、ＮＯであればステップＳ６でθステー
ジ４を補正動作を行い、再度ステップＳ２及びステップ
Ｓ３に戻る。一方、ＹＥＳであれば、ステップＳ７で、
Ｘステージ９、Ｙステージ５の移動量ΔＸ，ΔＹを算出
する。ここで、チップのコーナＣ1の位置を基準マーク
２５に対して（Ｘ１０，Ｙ１０）に位置決めする際、Δ
Ｘ，ΔＹは、 ΔＸ＝Ｘ１０−Ｘ１ ΔＹ＝Ｙ１０−Ｙ１ で算出できる。ステップＳ８で、求めたΔＸ，ΔＹが、
所定の値の範囲内かどうかを比較し、ＮＯであれば、ス
テップＳ９でＸステージ９、Ｙステージ５を補正動作さ
せ再度確認のため、ステップＳ２及びＳ３に戻る。ＹＥ
Ｓであれば、ステップＳ１０でフィンガ３をベース部材
２の位置までＺステージ６により下降させ、ステップＳ
１１でベース部材２にチップ１を接着し、ステップＳ１
２でフィンガ３のみ上昇させ一連の動作を終了させる。
たフィンガ３をＣＣＤカメラのピントが合う位置までＺ
方向に移動させる。次にステップＳ２で、制御装置１４
から画像処理装置１５に指令を送出し（Ｘ1，Ｙ1）を算
出させ、結果を制御装置１４に送信させる。同様にステ
ップＳ３で、画像処理装置１６より（Ｘ２，Ｙ２）を得
る。ステップＳ４では、θステージのずれ量Δθを算出
する。ここでΔθは、（３）式として算出可能である。 Δθ＝ａｒｃｔａｎ（Ｙ０−Ｙ１＋Ｙ２／Ｘ０−Ｘ１＋Ｘ２） ・・（３） ステップＳ４では、このΔθの値が所定の角度範囲内か
どうかを比較し、ＮＯであればステップＳ６でθステー
ジ４を補正動作を行い、再度ステップＳ２及びステップ
Ｓ３に戻る。一方、ＹＥＳであれば、ステップＳ７で、
Ｘステージ９、Ｙステージ５の移動量ΔＸ，ΔＹを算出
する。ここで、チップのコーナＣ1の位置を基準マーク
２５に対して（Ｘ１０，Ｙ１０）に位置決めする際、Δ
Ｘ，ΔＹは、 ΔＸ＝Ｘ１０−Ｘ１ ΔＹ＝Ｙ１０−Ｙ１ で算出できる。ステップＳ８で、求めたΔＸ，ΔＹが、
所定の値の範囲内かどうかを比較し、ＮＯであれば、ス
テップＳ９でＸステージ９、Ｙステージ５を補正動作さ
せ再度確認のため、ステップＳ２及びＳ３に戻る。ＹＥ
Ｓであれば、ステップＳ１０でフィンガ３をベース部材
２の位置までＺステージ６により下降させ、ステップＳ
１１でベース部材２にチップ１を接着し、ステップＳ１
２でフィンガ３のみ上昇させ一連の動作を終了させる。
【００５７】Ｘステージ９を一定ピッチで移動する度
に、前述の一連の動作を再度行うことにより、複数のチ
ップを高精度でベース部材２に貼り付けることが可能と
なる。 ＜実施形態の変形例＞ （１）前述の実施形態は２つの基準マークを使用した
が、２台のＣＣＤカメラ、スケール７、スケール７上の
基準マークの位置関係は予め分かるので、片方の基準マ
ークで行ってもよい。それ以外の構成は前述の実施形態
と同様である。 （２）前述の実施形態は位置決めのフローチャートにお
いて、θの補正動作と、Ｘ，Ｙの補正動作を別々に行っ
ているが、θ軸の回転中心位置がわかっていれば、Δ
θ，ΔＸ，ΔＹの値を同時に求め、２軸同時に補正動作
を行う事も可能である。それ以外の構成は前述の実施形
態と同様である。 （３）前述の実施形態は位置情報として、チップ１の２
コーナーを用いたが、チップ上のパターン等の物体上の
画像認識可能な２ヶ所の位置情報でもよい。それ以外の
構成は前述の実施形態と同様である。 （４）前述の実施形態は２台のＣＣＤカメラを基部に固
定し、チップ１やベース部材２を下部から撮像したが、
天井部のフィンガ３、θステージ４、Ｙステージ５、そ
してＺステージ６の動作に干渉しないように固定すれ
ば、チップ１やベース部材２を上部から撮像してもよ
い。この場合、チップ１の貼り付け位置は、ベース部材
２から前述の実施形態のように一部飛び出す状態でなく
ても本発明を適用できるという利点がある。
に、前述の一連の動作を再度行うことにより、複数のチ
ップを高精度でベース部材２に貼り付けることが可能と
なる。 ＜実施形態の変形例＞ （１）前述の実施形態は２つの基準マークを使用した
が、２台のＣＣＤカメラ、スケール７、スケール７上の
基準マークの位置関係は予め分かるので、片方の基準マ
ークで行ってもよい。それ以外の構成は前述の実施形態
と同様である。 （２）前述の実施形態は位置決めのフローチャートにお
いて、θの補正動作と、Ｘ，Ｙの補正動作を別々に行っ
ているが、θ軸の回転中心位置がわかっていれば、Δ
θ，ΔＸ，ΔＹの値を同時に求め、２軸同時に補正動作
を行う事も可能である。それ以外の構成は前述の実施形
態と同様である。 （３）前述の実施形態は位置情報として、チップ１の２
コーナーを用いたが、チップ上のパターン等の物体上の
画像認識可能な２ヶ所の位置情報でもよい。それ以外の
構成は前述の実施形態と同様である。 （４）前述の実施形態は２台のＣＣＤカメラを基部に固
定し、チップ１やベース部材２を下部から撮像したが、
天井部のフィンガ３、θステージ４、Ｙステージ５、そ
してＺステージ６の動作に干渉しないように固定すれ
ば、チップ１やベース部材２を上部から撮像してもよ
い。この場合、チップ１の貼り付け位置は、ベース部材
２から前述の実施形態のように一部飛び出す状態でなく
ても本発明を適用できるという利点がある。
【００５８】尚、本発明は、複数の機器から構成される
システムに適用しても、１つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明はシステム或は装置にプログ
ラムを供給することによって達成される場合にも適用で
きることはいうまでもない。この場合、本発明に係るプ
ログラムを格納した記憶媒体が、本発明を構成すること
になる。そして、該記憶媒体からそのプログラムをシス
テム或いは装置に読み出すことにより、そのシステム或
いは装置が、予め定められたし方で動作することが可能
となる。
システムに適用しても、１つの機器から成る装置に適用
しても良い。また、本発明はシステム或は装置にプログ
ラムを供給することによって達成される場合にも適用で
きることはいうまでもない。この場合、本発明に係るプ
ログラムを格納した記憶媒体が、本発明を構成すること
になる。そして、該記憶媒体からそのプログラムをシス
テム或いは装置に読み出すことにより、そのシステム或
いは装置が、予め定められたし方で動作することが可能
となる。
【００５９】＜実施形態の効果＞ （１）２台の画像処理装置１５及び１６により取り込ま
れる、矩形状物体の２つのコーナーＣ１及びＣ２の位置
情報によりθの回転量を算出すると共に、それぞれの視
野に入る基準マーク２５及び２６の位置情報によりＸＹ
平面の移動量を算出した。これにより、チップ１の全体
形状も把握しながら、画像処理装置の限られた解像度の
環境下で必要とする測定精度を得ることが可能となり、
高精度な位置決めを容易に実現することができた。 （２）ベース部材２をＸステージ９と共に移動可能とす
ることにより、複数のチップ部材を同一のベース部材２
に並べて位置決めすることが容易に実現できた。 （３）ＣＣＤカメラ１０及び１１を基部に固定すること
により、位置決めの基準を確保したことにより、Ｘステ
ージ９の移動による振動やＣＣＤカメラの移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。 （４）前記の実施形態の効果（１）で測定精度を確保
し、Ｘステージ９上のスケール７に等間隔でプロットし
た基準マークを基準とした。これにより、複数のチップ
を貼り合わせるためのＸステージ９の位置決めのため
に、新たにレーザ測長器等の高額な測定器を備えること
なく高精度な位置決めを容易に実現することができた。
れる、矩形状物体の２つのコーナーＣ１及びＣ２の位置
情報によりθの回転量を算出すると共に、それぞれの視
野に入る基準マーク２５及び２６の位置情報によりＸＹ
平面の移動量を算出した。これにより、チップ１の全体
形状も把握しながら、画像処理装置の限られた解像度の
環境下で必要とする測定精度を得ることが可能となり、
高精度な位置決めを容易に実現することができた。 （２）ベース部材２をＸステージ９と共に移動可能とす
ることにより、複数のチップ部材を同一のベース部材２
に並べて位置決めすることが容易に実現できた。 （３）ＣＣＤカメラ１０及び１１を基部に固定すること
により、位置決めの基準を確保したことにより、Ｘステ
ージ９の移動による振動やＣＣＤカメラの移動に伴うヨ
ーイング等による画像のふらつきを容易に防止できた。 （４）前記の実施形態の効果（１）で測定精度を確保
し、Ｘステージ９上のスケール７に等間隔でプロットし
た基準マークを基準とした。これにより、複数のチップ
を貼り合わせるためのＸステージ９の位置決めのため
に、新たにレーザ測長器等の高額な測定器を備えること
なく高精度な位置決めを容易に実現することができた。
【００６０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
解像度が限られた撮像装置で撮像した画像から、ワーク
の位置情報を検出し、高精度な位置検出をすることが可
能となる。
解像度が限られた撮像装置で撮像した画像から、ワーク
の位置情報を検出し、高精度な位置検出をすることが可
能となる。
【００６１】
【図１】本発明の一実施形態としてのチップ貼り付け装
置の構成の概略図である。
置の構成の概略図である。
【図２】本発明の一実施形態としてのベース部材周りの
位置関係を示す図である。
位置関係を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態としての２台のＣＣＤカメ
ラの視野の位置関係を示す図である。
ラの視野の位置関係を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態としての位置決め処理のフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図５】従来例１としてチップを１台のＣＣＤカメラで
撮像した場合の視野を表わす図である。
撮像した場合の視野を表わす図である。
【図６】従来例１としてチップを１台のＣＣＤカメラで
撮像した場合の視野を表わす図である。
撮像した場合の視野を表わす図である。
１ チップ ２ ベース部材 ３ フィンガ ４ θステージ ５ Ｙステージ ６ Ｚステージ ７ スケール ８ 通信用インターフェース ９ Ｘステージ １０ ＣＣＤカメラ １１ ＣＣＤカメラ １４ 制御装置１４ １５ 画像処理装置 １６ 画像処理装置 １７ モニタ １８ モニタ １９ レンズ ２０ レンズ ２１ ＣＲＴ ２２ キーボード ２５ 基準マーク ２６ 基準マーク ３０ ＣＣＤカメラ１０が撮像した視野 ３１ ＣＣＤカメラ１１が撮像した視野
Claims (16)
- 【請求項１】 ワークを撮像した画像データに基づい
て、そのワークを目標位置へ移動させる移動体の制御装
置において、 前記ワークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像
した第１の画像データを入力する入力手段と、 前記ワークの形状の特徴を表わす１つ以上の他の部分を
撮像した第２の画像データを入力する入力手段と、 前記第１及び第２の画像データに常に含まれるような１
つ以上の基準点の位置、そしてその基準点と前記目標位
置との関係を示す位置データを予め入力する入力手段
と、 その入力された位置データと、前記第１及び第２の画像
データに基づいて前記ワークの前記目標位置までの移動
量を算出する算出手段を備えたことを特徴とする移動体
の制御装置。 - 【請求項２】 前記ワークは、矩形物体であり、その矩
形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部分
を使用することを特徴とする請求項１記載の移動体の制
御装置。 - 【請求項３】 物体を撮像する撮像手段と、その撮像し
た画像を処理する画像処理手段と、それにより得た画像
データに基づいて物体の位置を検出する検出手段を備え
た位置検出装置において、 前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像す
る第１の撮像手段と、 前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の他の部分を撮
像する第２の撮像手段と、 前記第１及び第２の撮像手段により得られる２つの画像
データに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力手段と、 その入力された位置データと、前記２つの画像データに
基づいて前記物体の位置を検出する検出手段を備えたこ
とを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項４】 前記物体は、矩形物体であり、その矩形
物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部分を
使用することを特徴とする請求項３記載の位置検出装
置。 - 【請求項５】 第１及び第２のワークを撮像する撮像手
段と、その撮像した画像を処理する画像処理手段と、そ
れにより得た画像データに基づいて前記第１及び第２の
ワークの位置を検出する検出手段と、検出した前記第１
及び第２のワークの位置に基づいて、前記第２のワーク
上の目標位置に前記第１のワークを移動させる移動手段
を備えた移動体装置において、 前記第１のワークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分
を撮像する第１の撮像手段と、 前記第１のワークの形状の特徴を表わす１つ以上の他の
部分を撮像する第２の撮像手段と、 前記第１及び第２の撮像手段により得られる２つの画像
データに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力手段と、 その入力された位置データと、前記２つの画像データに
基づいて前記第１及び第２のワークの位置を検出する検
出手段を備えたことを特徴とする移動体装置。 - 【請求項６】 前記第１のワークは、矩形物体であり、
その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角
の部分を使用することを特徴とする請求項５記載の移動
体装置。 - 【請求項７】 前記移動手段として、 前記第１のワークを移動させる第１の移動手段と、 前記第２のワークを移動させる第２の移動手段との２つ
の移動手段を備えたことを特徴とする請求項５記載の移
動体装置。 - 【請求項８】 前記第１及び第２の撮像手段は、大地又
は空間で固定され移動しないことを特徴とする請求項５
記載の移動体装置。 - 【請求項９】 ワークを撮像した画像データに基づい
て、そのワークを目標位置へ移動させる移動体の制御装
置の制御方法において、 前記ワークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像
した第１の画像データを入力し、 前記ワークの形状の特徴を表わす１つ以上の他の部分を
撮像した第２の画像データを入力し、 前記第１及び第２の画像データに常に含まれるような１
つ以上の基準点の位置、そしてその基準点と前記目標位
置との関係を示す位置データを予め入力し、 その入力された位置データと、前記第１及び第２の画像
データに基づいて前記ワークの前記目標位置までの移動
量を算出することを特徴とする移動体の制御装置の制御
方法。 - 【請求項１０】 前記ワークは、矩形物体であり、その
矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部
分を使用することを特徴とする請求項９記載の移動体の
制御装置の制御方法。 - 【請求項１１】 物体を撮像し、その撮像した画像を処
理し、それにより得た画像データに基づいて物体の位置
を検出する位置検出装置の制御方法において、 前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の部分を撮像す
る第１の撮像工程と、 前記物体の形状の特徴を表わす１つ以上の他の部分を撮
像する第２の撮像工程と、 前記第１及び第２の撮像工程により得られる２つの画像
データに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力工程と、 その入力された位置データと、前記２つの画像データに
基づいて前記物体の位置を検出する検出工程を特徴とす
る位置検出装置の制御方法。 - 【請求項１２】 前記物体は、矩形物体であり、その矩
形物体の形状の特徴を表わす部分として端部の角の部分
を使用することを特徴とする請求項１１記載の位置検出
装置の制御方法。 - 【請求項１３】 第１及び第２のワークを撮像し、その
撮像した画像を処理し、それにより得た画像データに基
づいて前記第１及び第２のワークの位置を検出し、検出
した前記第１及び第２のワークの位置に基づいて、前記
第２のワーク上の目標位置に前記第１のワークを移動さ
せる移動体装置の制御方法において、 前記第１のワークの形状の特徴を表わす１つ以上の部分
を撮像する第１の撮像工程と、 前記第１のワークの形状の特徴を表わす１つ以上の他の
部分を撮像する第２の撮像工程と、 前記第１及び第２の撮像工程により得られる２つの画像
データに、常に含まれるような１つ以上の基準点の位
置、そしてその基準点と前記目標位置との関係を示す位
置データを予め入力する入力工程と、 その入力された位置データと、前記２つの画像データに
基づいて前記第１及び第２のワークの位置を検出する検
出工程を備えたことを特徴とする移動体装置の制御方
法。 - 【請求項１４】 前記第１のワークは、矩形物体であ
り、その矩形物体の形状の特徴を表わす部分として端部
の角の部分を使用することを特徴とする請求項１３記載
の移動体装置の制御方法。 - 【請求項１５】 前記第１のワークを移動させる第１の
移動工程と、 前記第２のワークを移動させる第２の移動工程との２つ
の移動工程を備えたことを特徴とする請求項１３記載の
移動体装置の制御方法。 - 【請求項１６】 前記第１及び第２の撮像工程は、大地
又は空間で固定して移動しないことを特徴とする請求項
１３記載の移動体装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18133195A JP3679460B2 (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 移動体装置及びその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18133195A JP3679460B2 (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 移動体装置及びその制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0934552A true JPH0934552A (ja) | 1997-02-07 |
| JP3679460B2 JP3679460B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=16098833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18133195A Expired - Fee Related JP3679460B2 (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | 移動体装置及びその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3679460B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1449626A1 (en) * | 2003-02-19 | 2004-08-25 | Fanuc Ltd | Workpiece conveying apparatus with visual sensor for checking the gripping state |
| JP2010120141A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Ihi Corp | バラ積みピッキング装置とその制御方法 |
| JP2012106318A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | パネルの搬送装置 |
| US9541369B2 (en) | 2011-09-08 | 2017-01-10 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Position detection device, drive device, and lens barrel |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP18133195A patent/JP3679460B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1449626A1 (en) * | 2003-02-19 | 2004-08-25 | Fanuc Ltd | Workpiece conveying apparatus with visual sensor for checking the gripping state |
| US7386367B2 (en) | 2003-02-19 | 2008-06-10 | Fanuc Ltd | Workpiece conveying apparatus |
| JP2010120141A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Ihi Corp | バラ積みピッキング装置とその制御方法 |
| JP2012106318A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | パネルの搬送装置 |
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