JPH09298227A - ウエハカセット搬送システム - Google Patents
ウエハカセット搬送システムInfo
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- JPH09298227A JPH09298227A JP8109638A JP10963896A JPH09298227A JP H09298227 A JPH09298227 A JP H09298227A JP 8109638 A JP8109638 A JP 8109638A JP 10963896 A JP10963896 A JP 10963896A JP H09298227 A JPH09298227 A JP H09298227A
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- processing
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置全体のコスト上昇をすることなく、搬送
装置と制御装置との交信量を減少することができ、さら
に搬送装置の移動時間を短縮することが可能なウエハカ
セット搬送システムを提供すること。 【解決手段】 制御装置１５は第１処理装置１１から出
力されるロット搬入要求信号及び第２処理装置１２から
出力される空カセット搬出要求信号の両方を受信した場
合にロット搬入指令信号を出力する。搬送装置２０はこ
のロット搬入指令信号を受けて第１処理装置１１の実カ
セットを第２処理装置１２に搬送するとともに、第２処
理装置１２の空カセットを空カセット置場１４に搬送す
る。
装置と制御装置との交信量を減少することができ、さら
に搬送装置の移動時間を短縮することが可能なウエハカ
セット搬送システムを提供すること。 【解決手段】 制御装置１５は第１処理装置１１から出
力されるロット搬入要求信号及び第２処理装置１２から
出力される空カセット搬出要求信号の両方を受信した場
合にロット搬入指令信号を出力する。搬送装置２０はこ
のロット搬入指令信号を受けて第１処理装置１１の実カ
セットを第２処理装置１２に搬送するとともに、第２処
理装置１２の空カセットを空カセット置場１４に搬送す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
おけるウエハカセット搬送システムに関する。
おけるウエハカセット搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、枚葉処理装置に設けられた１つの
処理室の搬入口側及び搬出口側に、ウエハを一時的に載
置するトレイを設け、上記枚葉処理装置内へのウエハカ
セットの搬送効率を改善したウエハカセット搬送システ
ムが特開平２−３９４５０号公報に開示されている。図
４は、１つの処理室が設けられた枚葉処理装置のウエハ
カセット搬送システムの概略構成を示す図である。図４
において、１は枚葉処理装置であり、第１ウエハカセッ
ト置場２ａ、第１トレイ３ａ、処理室４、第２トレイ３
ｂ、第２ウエハカセット置場２ｂが順に配置された構成
である。上記第１トレイ３ａ及び第２トレイ３ｂは未処
理のウエハ及び処理済みのウエハを一時的に載置する。
尚、以下ではウエハが格納されているウエハカセット及
びウエハが格納されていないウエハカセットをそれぞれ
実カセット及び空カセットと称する。
処理室の搬入口側及び搬出口側に、ウエハを一時的に載
置するトレイを設け、上記枚葉処理装置内へのウエハカ
セットの搬送効率を改善したウエハカセット搬送システ
ムが特開平２−３９４５０号公報に開示されている。図
４は、１つの処理室が設けられた枚葉処理装置のウエハ
カセット搬送システムの概略構成を示す図である。図４
において、１は枚葉処理装置であり、第１ウエハカセッ
ト置場２ａ、第１トレイ３ａ、処理室４、第２トレイ３
ｂ、第２ウエハカセット置場２ｂが順に配置された構成
である。上記第１トレイ３ａ及び第２トレイ３ｂは未処
理のウエハ及び処理済みのウエハを一時的に載置する。
尚、以下ではウエハが格納されているウエハカセット及
びウエハが格納されていないウエハカセットをそれぞれ
実カセット及び空カセットと称する。
【０００３】上記構成において、未処理のウエハが格納
された実カセット（図４では２つの実カセット）が搬入
されると、まず第１カセット置場２ａに搬送される。こ
れら実カセットの何れか一方に格納された未処理のウエ
ハは処理室４に移送されて処理が施され、順次第２トレ
イ３ｂに移送される。この処理が行われている間、第１
カセット置場２ａに載置された他方の実カセットから未
処理のウエハが第１トレイ３ａに移送される。上記２つ
の実カセットは格納していた未処理のウエハが移送され
て空カセットとなる。これら２つの空カセットは第２ウ
エハカセット置場２ｂに移送される。これら空カセット
の何れか一方に、第２トレイ３ｂに載置されている処理
済みのウエハが格納され、他方に第１トレイ３ａに載置
されている未処理ウエハが処理室４にロードされ、処理
された後、第２トレイ３ｂを介して他方の空カセットに
格納される。
された実カセット（図４では２つの実カセット）が搬入
されると、まず第１カセット置場２ａに搬送される。こ
れら実カセットの何れか一方に格納された未処理のウエ
ハは処理室４に移送されて処理が施され、順次第２トレ
イ３ｂに移送される。この処理が行われている間、第１
カセット置場２ａに載置された他方の実カセットから未
処理のウエハが第１トレイ３ａに移送される。上記２つ
の実カセットは格納していた未処理のウエハが移送され
て空カセットとなる。これら２つの空カセットは第２ウ
エハカセット置場２ｂに移送される。これら空カセット
の何れか一方に、第２トレイ３ｂに載置されている処理
済みのウエハが格納され、他方に第１トレイ３ａに載置
されている未処理ウエハが処理室４にロードされ、処理
された後、第２トレイ３ｂを介して他方の空カセットに
格納される。
【０００４】以上、１つの処理室の搬入口側及び搬出口
側に、ウエハを一時的に載置するトレイを設け、上記枚
葉処理装置内へのウエハカセットの搬送効率を改善した
ウエハカセット搬送システムについて説明したが、次
に、複数の処理室が設けられた場合のウエハカセット搬
送システムについて説明する。図５は複数の処理室が設
けられた場合の、従来のウエハカセット搬送システムの
構成を示す図である。図５において、１１，１２，１３
はそれぞれ第１処理装置、第２処理装置、及び第３処理
装置である。
側に、ウエハを一時的に載置するトレイを設け、上記枚
葉処理装置内へのウエハカセットの搬送効率を改善した
ウエハカセット搬送システムについて説明したが、次
に、複数の処理室が設けられた場合のウエハカセット搬
送システムについて説明する。図５は複数の処理室が設
けられた場合の、従来のウエハカセット搬送システムの
構成を示す図である。図５において、１１，１２，１３
はそれぞれ第１処理装置、第２処理装置、及び第３処理
装置である。
【０００５】第１処理装置１１は搬入されるウエハカセ
ットを一時的に載置する搬入カセット載置場１１ａ、及
び、処理を行ったウエハが格納された実カセットを一時
的に載置する搬出カセット載置場１１ｂが設けられる。
この第１処理装置１１は、例えば、ストッカ、検査受入
台、洗浄装置、及びエッチング装置等の装置である。ま
た、この第１処理装置１１は、処理を終えたウエハを格
納した実カセットが搬出カセット載置場１１ｂに載置さ
れている場合には、第２処理装置１２にウエハカセット
を搬入する旨を示すロット搬出要求信号を出力する。
ットを一時的に載置する搬入カセット載置場１１ａ、及
び、処理を行ったウエハが格納された実カセットを一時
的に載置する搬出カセット載置場１１ｂが設けられる。
この第１処理装置１１は、例えば、ストッカ、検査受入
台、洗浄装置、及びエッチング装置等の装置である。ま
た、この第１処理装置１１は、処理を終えたウエハを格
納した実カセットが搬出カセット載置場１１ｂに載置さ
れている場合には、第２処理装置１２にウエハカセット
を搬入する旨を示すロット搬出要求信号を出力する。
【０００６】第２処理装置１２は、複数の処理部１２−
１〜１２−３を有する。これら処理部１２−１〜１２−
３では、例えば第１の洗浄処理、乾燥処理、及び第２の
洗浄処理等の処理が行われる。また、第２処理装置１２
は搬入されたウエハカセットを一時的に載置する搬入カ
セット載置場１２ａ、及び上記処理部１２−１〜１２−
３の各処理が全て行われたウエハが空カセットに格納さ
れて一時的に載置される搬出カセット載置場１２ｂが設
けられる。この第２処理装置１２では、搬入カセット載
置場１２ａに載置された実カセットからウエハが各処理
部１２−１〜１２−３に移送されて処理される。従っ
て、全てのウエハが移送されると上記実カセットは空カ
セットとなる。また、処理部１２−３の処理が行われて
いる場合は、処理部１２−３の処理が済んだウエハを格
納するために、予め搬出カセット載置場１２ｂに空カセ
ットを載置する必要がある。
１〜１２−３を有する。これら処理部１２−１〜１２−
３では、例えば第１の洗浄処理、乾燥処理、及び第２の
洗浄処理等の処理が行われる。また、第２処理装置１２
は搬入されたウエハカセットを一時的に載置する搬入カ
セット載置場１２ａ、及び上記処理部１２−１〜１２−
３の各処理が全て行われたウエハが空カセットに格納さ
れて一時的に載置される搬出カセット載置場１２ｂが設
けられる。この第２処理装置１２では、搬入カセット載
置場１２ａに載置された実カセットからウエハが各処理
部１２−１〜１２−３に移送されて処理される。従っ
て、全てのウエハが移送されると上記実カセットは空カ
セットとなる。また、処理部１２−３の処理が行われて
いる場合は、処理部１２−３の処理が済んだウエハを格
納するために、予め搬出カセット載置場１２ｂに空カセ
ットを載置する必要がある。
【０００７】また、この第２処理装置１２は搬入カセッ
ト載置場１２ａに載置された実カセットから全てのウエ
ハが搬入されて空カセットとなった場合には、この空カ
セットを搬出する旨を示す空カセット搬出要求信号を出
力し、搬出カセット載置場１２ｂの実カセットが搬送さ
れると、空カセットを搬出カセット載置場１２ｂに空カ
セットを搬入する旨を示す搬入カセット要求信号を出力
する。さらに、搬出カセット載置場１２ｂに載置されて
いる空カセットに、処理部１２−３の処理を終えたウエ
ハが格納され、この空カセットが実カセットとなった場
合には、第２処理装置１２はロット搬出要求信号を出力
する。
ト載置場１２ａに載置された実カセットから全てのウエ
ハが搬入されて空カセットとなった場合には、この空カ
セットを搬出する旨を示す空カセット搬出要求信号を出
力し、搬出カセット載置場１２ｂの実カセットが搬送さ
れると、空カセットを搬出カセット載置場１２ｂに空カ
セットを搬入する旨を示す搬入カセット要求信号を出力
する。さらに、搬出カセット載置場１２ｂに載置されて
いる空カセットに、処理部１２−３の処理を終えたウエ
ハが格納され、この空カセットが実カセットとなった場
合には、第２処理装置１２はロット搬出要求信号を出力
する。
【０００８】１４は第２処理装置１２の近傍に設けられ
たカセット置場であり、第２処理装置１２の搬入カセッ
ト載置場１２ａに載置された実カセット内のウエハが処
理部１２−１に全てロードされて空カセットとなった場
合に、この空カセットを一時的に載置する。このカセッ
ト置場１４には空カセット台１４ａが設けられ、ウエハ
カセットを１，２カセットを単位として、数単位載置す
ることが可能であり、管理者と後述する搬送装置１６と
の間で空カセットの受け渡しができるような構成となっ
ている。
たカセット置場であり、第２処理装置１２の搬入カセッ
ト載置場１２ａに載置された実カセット内のウエハが処
理部１２−１に全てロードされて空カセットとなった場
合に、この空カセットを一時的に載置する。このカセッ
ト置場１４には空カセット台１４ａが設けられ、ウエハ
カセットを１，２カセットを単位として、数単位載置す
ることが可能であり、管理者と後述する搬送装置１６と
の間で空カセットの受け渡しができるような構成となっ
ている。
【０００９】１３は第３処理装置であり、例えば、スト
ッカ、検査受入台、洗浄装置、及びエッチング装置等の
装置である。この第３処理装置１３には、搬入されるウ
エハカセットを一時的に載置する搬入カセット載置場１
３ａ、及び、処理を行ったカセットを一時的に載置する
搬出カセット載置場１３ｂが設けられる。尚、上記第１
処理装置１１、第２処理装置１２、及び第３処理装置１
３の処理に要する時間は各々異なる。
ッカ、検査受入台、洗浄装置、及びエッチング装置等の
装置である。この第３処理装置１３には、搬入されるウ
エハカセットを一時的に載置する搬入カセット載置場１
３ａ、及び、処理を行ったカセットを一時的に載置する
搬出カセット載置場１３ｂが設けられる。尚、上記第１
処理装置１１、第２処理装置１２、及び第３処理装置１
３の処理に要する時間は各々異なる。
【００１０】１５は制御装置であり、ＣＰＵ（中央処理
装置）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及びＲＯＭ
（Read Only Memory）等を備え、ＲＯＭに格納されてい
るプログラム、及び、第１処理装置１１から出力される
ロット搬出要求信号、第２処理装置１２から出力される
空カセット搬出要求信号、ロット搬入要求信号、空カセ
ット搬入要求信号、及びロット搬出要求信号に基づいて
搬送装置１６を制御する。搬送装置１６はウエハカセッ
トを把持するアームを備え、軌条１７に沿って移動して
ウエハカセットを搬送する。この搬送装置１６は第１処
理装置１１の搬出カセット載置場１１ｂとカセット置場
１４の空カセット台１４ａとの間の移動時間がｔ1であ
り、カセット置場１４の空カセット台１４ａと第２処理
装置１２の搬入カセット載置場１２ａとの間の移動時間
がｔ2である。また、第２処理装置１２の搬入カセット
載置場１２ａと第２処理装置１２の搬出カセット載置場
１２ｂとの間の移動時間がｔ3であり、第２処理装置１
２の搬出カセット載置場１２ｂと第３処理装置１３の搬
入カセット載置場１３ａとの間の移動時間がｔ4であ
る。
装置）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及びＲＯＭ
（Read Only Memory）等を備え、ＲＯＭに格納されてい
るプログラム、及び、第１処理装置１１から出力される
ロット搬出要求信号、第２処理装置１２から出力される
空カセット搬出要求信号、ロット搬入要求信号、空カセ
ット搬入要求信号、及びロット搬出要求信号に基づいて
搬送装置１６を制御する。搬送装置１６はウエハカセッ
トを把持するアームを備え、軌条１７に沿って移動して
ウエハカセットを搬送する。この搬送装置１６は第１処
理装置１１の搬出カセット載置場１１ｂとカセット置場
１４の空カセット台１４ａとの間の移動時間がｔ1であ
り、カセット置場１４の空カセット台１４ａと第２処理
装置１２の搬入カセット載置場１２ａとの間の移動時間
がｔ2である。また、第２処理装置１２の搬入カセット
載置場１２ａと第２処理装置１２の搬出カセット載置場
１２ｂとの間の移動時間がｔ3であり、第２処理装置１
２の搬出カセット載置場１２ｂと第３処理装置１３の搬
入カセット載置場１３ａとの間の移動時間がｔ4であ
る。
【００１１】上記構成において、ウエハカセット搬送シ
ステムの動作を図６及び図７を参照して説明する。図６
は従来のウエハカセット搬送システムの搬送装置１６の
動作を説明するための図であり、図７は制御装置１５と
搬送装置１６との間の交信状況を示す図である。まず、
初期状態として、第１処理装置１１、第２処理装置１
２、及び第３処理装置１３はいずれもウエハに対する処
理を行っており、各々の処理装置の搬入カセット載置場
１１ａ，１２ａ，１３ａには、実カセットが載置されて
おり、搬出カセット載置場１１ｂ，１２ｂ，１３ｂには
空カセットが載置されているものとする。さらに、搬送
装置１６は第２処理装置１２の搬入カセット載置場１２
ａの位置で待機しているものとする。
ステムの動作を図６及び図７を参照して説明する。図６
は従来のウエハカセット搬送システムの搬送装置１６の
動作を説明するための図であり、図７は制御装置１５と
搬送装置１６との間の交信状況を示す図である。まず、
初期状態として、第１処理装置１１、第２処理装置１
２、及び第３処理装置１３はいずれもウエハに対する処
理を行っており、各々の処理装置の搬入カセット載置場
１１ａ，１２ａ，１３ａには、実カセットが載置されて
おり、搬出カセット載置場１１ｂ，１２ｂ，１３ｂには
空カセットが載置されているものとする。さらに、搬送
装置１６は第２処理装置１２の搬入カセット載置場１２
ａの位置で待機しているものとする。
【００１２】第２処理装置１２において、搬入カセット
載置場１２ａに載置された実カセットから全てのウエハ
が処理部１２−１にロードされると、第２処理装置１２
から制御装置１５に空カセット搬出要求信号が出力され
る（ステップＳＡ１）。この空カセット搬出要求信号を
受けて制御装置１５は搬送装置１６に空カセット搬出指
令信号を出力する（ステップＳＡ２）。搬送装置１６は
この空カセット搬送指令信号を受けて搬入カセット載置
場１２ａに載置されている空カセットを把持して空カセ
ット台１４ａの位置に移動し、把持している空カセット
を空カセット台１４ａに載置する。移動に要する時間は
ｔ2である。搬送装置１６はこの処理を終えると、制御
装置１５に処理完了信号を送信する（ステップＳＡ
３）。この処理を終えると搬送装置１６は次の指令信号
が制御装置１５から出力されるまで待機する。第２処理
装置１２は搬入カセット載置場１２ａから空カセットが
搬出されると、制御装置１５にロット搬入要求信号を出
力する（ステップＳＡ４）。
載置場１２ａに載置された実カセットから全てのウエハ
が処理部１２−１にロードされると、第２処理装置１２
から制御装置１５に空カセット搬出要求信号が出力され
る（ステップＳＡ１）。この空カセット搬出要求信号を
受けて制御装置１５は搬送装置１６に空カセット搬出指
令信号を出力する（ステップＳＡ２）。搬送装置１６は
この空カセット搬送指令信号を受けて搬入カセット載置
場１２ａに載置されている空カセットを把持して空カセ
ット台１４ａの位置に移動し、把持している空カセット
を空カセット台１４ａに載置する。移動に要する時間は
ｔ2である。搬送装置１６はこの処理を終えると、制御
装置１５に処理完了信号を送信する（ステップＳＡ
３）。この処理を終えると搬送装置１６は次の指令信号
が制御装置１５から出力されるまで待機する。第２処理
装置１２は搬入カセット載置場１２ａから空カセットが
搬出されると、制御装置１５にロット搬入要求信号を出
力する（ステップＳＡ４）。
【００１３】次に、第１処理装置１１での処理が終了
し、処理されたウエハが搬出カセット載置場１１ｂに載
置された空カセットに全て格納されて実カセットとなる
と、第１処理装置１１はロット搬出要求信号を出力す
る。このロット搬出要求信号を制御装置１５が受信する
と制御装置１５はロット搬入指令信号を搬送装置に出力
する（ステップＳＡ５）。このロット搬入指令信号を受
けると、搬送装置１６は空カセット台１４ａの位置から
第１処理装置１１の搬出カセット載置場１１ｂの位置に
移動する。移動に要する時間はｔ1である。搬送装置１
６は搬出カセット載置場１１ｂに載置されている実カセ
ットを把持して第２処理装置１２の搬入カセット載置場
１２ａに移動する。移動に要する時間はｔ1＋ｔ2であ
る。搬送装置１６は把持している実カセットを第２処理
装置１２の搬入カセット載置場１２ａに載置する。この
処理が終了すると搬送装置１６は次の指令信号が制御装
置１５から出力されるまで待機する。
し、処理されたウエハが搬出カセット載置場１１ｂに載
置された空カセットに全て格納されて実カセットとなる
と、第１処理装置１１はロット搬出要求信号を出力す
る。このロット搬出要求信号を制御装置１５が受信する
と制御装置１５はロット搬入指令信号を搬送装置に出力
する（ステップＳＡ５）。このロット搬入指令信号を受
けると、搬送装置１６は空カセット台１４ａの位置から
第１処理装置１１の搬出カセット載置場１１ｂの位置に
移動する。移動に要する時間はｔ1である。搬送装置１
６は搬出カセット載置場１１ｂに載置されている実カセ
ットを把持して第２処理装置１２の搬入カセット載置場
１２ａに移動する。移動に要する時間はｔ1＋ｔ2であ
る。搬送装置１６は把持している実カセットを第２処理
装置１２の搬入カセット載置場１２ａに載置する。この
処理が終了すると搬送装置１６は次の指令信号が制御装
置１５から出力されるまで待機する。
【００１４】第２処理装置１２では、搬入カセット載置
場１２ａに載置された実カセットに格納されたウエハが
処理部１２−１にロードされるとともに、前回搬入カセ
ット載置場１２ａに載置された実カセットから処理部１
２−１にロードされ、処理部１２−２，１２−３で処理
されたウエハが搬出カセット載置場１２ｂに載置された
空カセットに格納される。これら全てのウエハが空カセ
ットに格納されると第２処理装置１２はロット搬出要求
信号を出力する（ステップＳＡ６）。このロット搬出要
求信号をうけて制御装置１５は搬送装置１６にロット搬
出指令信号を出力し（ステップＳＡ７）、搬送装置１６
は搬出カセット載置場１２ｂに載置された実カセットを
把持し、第３処理装置１３の搬入カセット載置場１３ａ
の位置まで移動する。移動に要する時間はｔ4である。
移動が完了すると、搬送者１６は把持している実カセッ
トを搬入カセット載置場１３ａに載置する。この処理が
終了すると、第２処理装置１２から空カセット搬入要求
信号が出力される（ステップＳＡ８）。
場１２ａに載置された実カセットに格納されたウエハが
処理部１２−１にロードされるとともに、前回搬入カセ
ット載置場１２ａに載置された実カセットから処理部１
２−１にロードされ、処理部１２−２，１２−３で処理
されたウエハが搬出カセット載置場１２ｂに載置された
空カセットに格納される。これら全てのウエハが空カセ
ットに格納されると第２処理装置１２はロット搬出要求
信号を出力する（ステップＳＡ６）。このロット搬出要
求信号をうけて制御装置１５は搬送装置１６にロット搬
出指令信号を出力し（ステップＳＡ７）、搬送装置１６
は搬出カセット載置場１２ｂに載置された実カセットを
把持し、第３処理装置１３の搬入カセット載置場１３ａ
の位置まで移動する。移動に要する時間はｔ4である。
移動が完了すると、搬送者１６は把持している実カセッ
トを搬入カセット載置場１３ａに載置する。この処理が
終了すると、第２処理装置１２から空カセット搬入要求
信号が出力される（ステップＳＡ８）。
【００１５】上記空カセット搬入要求信号を受けると制
御装置１５は搬送装置１６に空カセット搬入指令信号を
送信する（ステップＳＡ９）。搬送装置１６はこの空カ
セット搬入指令信号を受けて空カセット台１４ａの位置
まで移動する。移動に要する時間はｔ2＋ｔ3＋ｔ4であ
る。搬送装置１６は空カセット台１４ａに載置されてい
る空カセットを把持し、第２処理装置１２の搬出カセッ
ト載置場１２ｂの位置まで移動し、把持している空カセ
ットを載置する。この処理が終了すると搬送装置１６は
第２処理装置１２の搬入カセット載置場１２ａの位置に
移動し、１サイクルの動作が完了する。
御装置１５は搬送装置１６に空カセット搬入指令信号を
送信する（ステップＳＡ９）。搬送装置１６はこの空カ
セット搬入指令信号を受けて空カセット台１４ａの位置
まで移動する。移動に要する時間はｔ2＋ｔ3＋ｔ4であ
る。搬送装置１６は空カセット台１４ａに載置されてい
る空カセットを把持し、第２処理装置１２の搬出カセッ
ト載置場１２ｂの位置まで移動し、把持している空カセ
ットを載置する。この処理が終了すると搬送装置１６は
第２処理装置１２の搬入カセット載置場１２ａの位置に
移動し、１サイクルの動作が完了する。
【００１６】以上説明した１サイクルの動作では、制御
装置１５から搬送装置１６に対して４回指令が出力さ
れ、搬送装置１６の移動に要する時間は、 ｔ2＋ｔ1＋（ｔ1＋ｔ2）＋ｔ3＋ｔ4＋（ｔ2＋ｔ3＋
ｔ4）＋ｔ2＋ｔ3＝２ｔ1＋４ｔ2＋３ｔ3＋２ｔ4 である。
装置１５から搬送装置１６に対して４回指令が出力さ
れ、搬送装置１６の移動に要する時間は、 ｔ2＋ｔ1＋（ｔ1＋ｔ2）＋ｔ3＋ｔ4＋（ｔ2＋ｔ3＋
ｔ4）＋ｔ2＋ｔ3＝２ｔ1＋４ｔ2＋３ｔ3＋２ｔ4 である。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うに従来のウエハカセット搬送システムにおいては、搬
送装置１６が実カセット又は空カセットを把持して搬送
する。第２処理装置１２に対して空カセットを搬入及び
搬出する場合には、まず、第２処理装置１２から空カセ
ット搬入要求信号及び空カセット搬出要求信号がそれぞ
れ出力され、制御装置１５から空カセット搬入指令信号
及び空カセット搬出指令信号が搬送装置１６に出力され
る。これらの信号を受けて、空カセットを第２処理装置
１２へ搬送する場合には、搬送装置１６は空カセット台
１４ａの位置まで移動し、空カセットを把持して第２処
理装置１２に搬入し、第２処理装置１２から空カセット
を搬出する場合には、第２処理装置１２内の空カセット
を空カセット台１４ａの位置まで搬送しなければならな
かった。従って、制御装置１５と搬送装置１６との間の
交信が頻発状態で生ずるとともに、搬送装置１６の移動
時間が長時間にわたるという問題があった。
うに従来のウエハカセット搬送システムにおいては、搬
送装置１６が実カセット又は空カセットを把持して搬送
する。第２処理装置１２に対して空カセットを搬入及び
搬出する場合には、まず、第２処理装置１２から空カセ
ット搬入要求信号及び空カセット搬出要求信号がそれぞ
れ出力され、制御装置１５から空カセット搬入指令信号
及び空カセット搬出指令信号が搬送装置１６に出力され
る。これらの信号を受けて、空カセットを第２処理装置
１２へ搬送する場合には、搬送装置１６は空カセット台
１４ａの位置まで移動し、空カセットを把持して第２処
理装置１２に搬入し、第２処理装置１２から空カセット
を搬出する場合には、第２処理装置１２内の空カセット
を空カセット台１４ａの位置まで搬送しなければならな
かった。従って、制御装置１５と搬送装置１６との間の
交信が頻発状態で生ずるとともに、搬送装置１６の移動
時間が長時間にわたるという問題があった。
【００１８】また、特開平７−２８３０９３号公報に
は、搬送効率の改善を図った技術が開示されている。同
公報では、各処理装置の間に空カセットが設けられてお
らず、複数の処理装置が集積化されており、且つ各処理
装置間には搬送車専用の搬送路が設けられいる。この技
術では各処理装置の処理の状況に応じてウエハカセット
が搬送路を進む。この技術では上述した空カセット置場
が設けられた場合に比べると、専用の搬送路、搬送移動
機構、及び搬送路制御機構が必要であり装置のコストが
高くなるとともに、各処理装置は上記搬送路制御機構に
適合したものでなければ使用することが不可能であると
いう問題があった。
は、搬送効率の改善を図った技術が開示されている。同
公報では、各処理装置の間に空カセットが設けられてお
らず、複数の処理装置が集積化されており、且つ各処理
装置間には搬送車専用の搬送路が設けられいる。この技
術では各処理装置の処理の状況に応じてウエハカセット
が搬送路を進む。この技術では上述した空カセット置場
が設けられた場合に比べると、専用の搬送路、搬送移動
機構、及び搬送路制御機構が必要であり装置のコストが
高くなるとともに、各処理装置は上記搬送路制御機構に
適合したものでなければ使用することが不可能であると
いう問題があった。
【００１９】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、装置全体のコスト上昇をすることなく、搬送装置
と制御装置との交信量を減少することができ、さらに搬
送装置の移動時間を短縮することが可能なウエハカセッ
ト搬送システムを提供することを目的とする。
あり、装置全体のコスト上昇をすることなく、搬送装置
と制御装置との交信量を減少することができ、さらに搬
送装置の移動時間を短縮することが可能なウエハカセッ
ト搬送システムを提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、ウエハカセットからウエハ
を導入して処理を行うとともに、該ウエハの導入を完了
した場合には導入完了信号を出力し、該ウエハの処理を
完了した場合には処理完了信号を出力する少なくとも２
つの処理装置と、異なる２つの前記処理装置からそれぞ
れ前記処理完了信号及び前記導入完了信号が出力された
場合に、搬送指令信号を出力する制御装置と、前記搬送
指令信号に基づいて、前記処理完了信号を出力した処理
装置から前記導入完了信号を出力した処理装置へウエハ
カセットを搬送する搬送装置とを具備することを特徴と
するものである。請求項２記載の発明は、請求項１記載
のウエハカセット搬送システムにおいて、前記処理装置
とは独立して設けられた空カセットを載置する空カセッ
ト置場を備え、前記搬送装置は前記処理完了信号を出力
した処理装置から前記導入完了信号を出力した処理装置
へウエハカセットを搬送した後、前記導入完了信号を出
力した処理装置から空カセットを前記空カセット置場へ
搬送することを特徴とするものである。
に、請求項１記載の発明は、ウエハカセットからウエハ
を導入して処理を行うとともに、該ウエハの導入を完了
した場合には導入完了信号を出力し、該ウエハの処理を
完了した場合には処理完了信号を出力する少なくとも２
つの処理装置と、異なる２つの前記処理装置からそれぞ
れ前記処理完了信号及び前記導入完了信号が出力された
場合に、搬送指令信号を出力する制御装置と、前記搬送
指令信号に基づいて、前記処理完了信号を出力した処理
装置から前記導入完了信号を出力した処理装置へウエハ
カセットを搬送する搬送装置とを具備することを特徴と
するものである。請求項２記載の発明は、請求項１記載
のウエハカセット搬送システムにおいて、前記処理装置
とは独立して設けられた空カセットを載置する空カセッ
ト置場を備え、前記搬送装置は前記処理完了信号を出力
した処理装置から前記導入完了信号を出力した処理装置
へウエハカセットを搬送した後、前記導入完了信号を出
力した処理装置から空カセットを前記空カセット置場へ
搬送することを特徴とするものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態によるウエハカセット搬送システムについて説
明する。図１は本発明の一実施形態によるウエハカセッ
ト搬送システムの構成を示す図であり、図５と共通する
部分には同一の符号を付しその説明を省略する。図１に
おいて、１３′は図５中の第３処理装置１３と同様の装
置であるが、搬入カセット載置場１３ａに載置された実
カセットが空カセットとなると空カセット搬出要求信号
を出力する。また、２０は搬送装置であり、ウエハカセ
ットを把持している場合には、第２処理装置１２の搬入
カセット載置場１２ａ及び第２処理装置１３′の搬入カ
セット載置場１３ａに載置されたウエハカセットを把持
するとともに、把持しているウエハカセットを載置する
ことができる。即ち、把持しているウエハカセットと、
載置されているウエハカセットとを交換することができ
る。
実施形態によるウエハカセット搬送システムについて説
明する。図１は本発明の一実施形態によるウエハカセッ
ト搬送システムの構成を示す図であり、図５と共通する
部分には同一の符号を付しその説明を省略する。図１に
おいて、１３′は図５中の第３処理装置１３と同様の装
置であるが、搬入カセット載置場１３ａに載置された実
カセットが空カセットとなると空カセット搬出要求信号
を出力する。また、２０は搬送装置であり、ウエハカセ
ットを把持している場合には、第２処理装置１２の搬入
カセット載置場１２ａ及び第２処理装置１３′の搬入カ
セット載置場１３ａに載置されたウエハカセットを把持
するとともに、把持しているウエハカセットを載置する
ことができる。即ち、把持しているウエハカセットと、
載置されているウエハカセットとを交換することができ
る。
【００２２】次に、本発明の一実施形態によるウエハカ
セット搬送システムの動作について図２及び図３を参照
して説明する。図２は本発明の一実施形態によるウエハ
カセット搬送システムの搬送装置２０動作を説明するた
めの図であり、図３は本発明の一実施形態による制御装
置１５と搬送装置２０との間の交信状況を示す図であ
る。まず、初期状態として、第１処理装置１１、第２処
理装置１２、及び第３処理装置１３′いずれもウエハに
対する処理を行っており、各々の処理装置の搬入カセッ
ト載置場１１ａ，１２ａ，１３ａには、実カセットが載
置されており、搬出カセット載置場１１ｂ，１２ｂ，１
３ｂには空カセットが載置されているものとする。さら
に、搬送装置２０は第１処理装置１１の搬出カセット載
置場１１ｂの位置で待機しているものとする。また、搬
送装置２０の移動時間は従来と同様であるとする。
セット搬送システムの動作について図２及び図３を参照
して説明する。図２は本発明の一実施形態によるウエハ
カセット搬送システムの搬送装置２０動作を説明するた
めの図であり、図３は本発明の一実施形態による制御装
置１５と搬送装置２０との間の交信状況を示す図であ
る。まず、初期状態として、第１処理装置１１、第２処
理装置１２、及び第３処理装置１３′いずれもウエハに
対する処理を行っており、各々の処理装置の搬入カセッ
ト載置場１１ａ，１２ａ，１３ａには、実カセットが載
置されており、搬出カセット載置場１１ｂ，１２ｂ，１
３ｂには空カセットが載置されているものとする。さら
に、搬送装置２０は第１処理装置１１の搬出カセット載
置場１１ｂの位置で待機しているものとする。また、搬
送装置２０の移動時間は従来と同様であるとする。
【００２３】第２処理装置１２の搬入カセット載置場１
２ａに載置された実カセットに格納されているウエハが
全て処理部１２−１にロードされると第２処理装置１２
から空カセット搬出要求信号が出力される（ステップＳ
Ｂ１）。制御装置１５はこの空カセット搬出要求信号を
受けても空カセット搬出指令信号を出力しない。次に、
第１処理装置１１において処理が終了し、処理済みのウ
エハが搬出カセット載置場１１ｂに載置された空カセッ
トに全て格納されると、第１処理装置１１からロット搬
出要求信号が出力される（ステップＳＢ２）。制御装置
１５は上述した第２処理装置１２からの空カセット搬出
要求信号と、第１処理装置１１からのロット搬出要求信
号とが出力された場合に、搬送装置２０にロット搬入指
令信号を出力する（ステップＳＢ３）。
２ａに載置された実カセットに格納されているウエハが
全て処理部１２−１にロードされると第２処理装置１２
から空カセット搬出要求信号が出力される（ステップＳ
Ｂ１）。制御装置１５はこの空カセット搬出要求信号を
受けても空カセット搬出指令信号を出力しない。次に、
第１処理装置１１において処理が終了し、処理済みのウ
エハが搬出カセット載置場１１ｂに載置された空カセッ
トに全て格納されると、第１処理装置１１からロット搬
出要求信号が出力される（ステップＳＢ２）。制御装置
１５は上述した第２処理装置１２からの空カセット搬出
要求信号と、第１処理装置１１からのロット搬出要求信
号とが出力された場合に、搬送装置２０にロット搬入指
令信号を出力する（ステップＳＢ３）。
【００２４】制御装置１５から出力されたロット搬入指
令信号により、搬送装置２０は第１処理装置１１の搬出
カセット載置場１１ｂに載置された実カセットを把持し
て第２処理装置１２の搬入カセット載置場１２ａの位置
へ移動する。移動に要する時間はｔ1＋ｔ2である。移動
後、搬送装置２０は第２処理装置１２の搬入カセット載
置場１２ａに載置されている空カセットを把持するとと
もに、第１処理装置１１から搬送してきた実カセットを
搬入カセット載置場１２ａに載置する。この処理を終了
すると、搬送装置２０は空カセット台１４ａの位置まで
移動する。移動に要する時間はｔ2である。空カセット
台１４ａの位置まで移動すると搬送装置２０は把持して
いる空カセットを空カセット台１４ａに載置する。この
処理が終了すると搬送装置２０は次の指令を受信するま
で待機する。
令信号により、搬送装置２０は第１処理装置１１の搬出
カセット載置場１１ｂに載置された実カセットを把持し
て第２処理装置１２の搬入カセット載置場１２ａの位置
へ移動する。移動に要する時間はｔ1＋ｔ2である。移動
後、搬送装置２０は第２処理装置１２の搬入カセット載
置場１２ａに載置されている空カセットを把持するとと
もに、第１処理装置１１から搬送してきた実カセットを
搬入カセット載置場１２ａに載置する。この処理を終了
すると、搬送装置２０は空カセット台１４ａの位置まで
移動する。移動に要する時間はｔ2である。空カセット
台１４ａの位置まで移動すると搬送装置２０は把持して
いる空カセットを空カセット台１４ａに載置する。この
処理が終了すると搬送装置２０は次の指令を受信するま
で待機する。
【００２５】次に、第２処理装置１２において、搬入カ
セット載置場１２ａに載置された実カセットに格納され
たウエハが、処理部１２−１にロードされるとともに、
前回搬入カセット載置場１２ａに載置された実カセット
から処理部１２−１にロードされ、処理部１２−１，１
２−２，１２−３の処理が全て行われたウエハが搬出カ
セット載置場１２ｂに載置された空カセットに格納され
る。これら全てのウエハが空カセットに格納されると第
２処理装置１２はロット搬出要求信号を出力する（ステ
ップＳＢ４）。制御装置１５は、このロット搬出要求信
号を受けてもロット搬出指令信号を出力しない。
セット載置場１２ａに載置された実カセットに格納され
たウエハが、処理部１２−１にロードされるとともに、
前回搬入カセット載置場１２ａに載置された実カセット
から処理部１２−１にロードされ、処理部１２−１，１
２−２，１２−３の処理が全て行われたウエハが搬出カ
セット載置場１２ｂに載置された空カセットに格納され
る。これら全てのウエハが空カセットに格納されると第
２処理装置１２はロット搬出要求信号を出力する（ステ
ップＳＢ４）。制御装置１５は、このロット搬出要求信
号を受けてもロット搬出指令信号を出力しない。
【００２６】第３処理装置１３′の搬入カセット載置場
１３ａに載置された実カセットに格納されたウエハが装
置内に全てロードされて空カセットになると、第３処理
装置１３′は空カセット搬出要求信号を出力する（ステ
ップＳＢ５）。制御装置１５は、第２処理装置１２から
出力された上記ロット搬出要求信号及び第３処理装置１
３′から出力された空カセット搬出要求信号の両方を受
けたとき搬送装置２０に対してロット搬出指令信号を出
力する（ステップＳＢ６）。搬送装置２０は、このロッ
ト搬出指令信号を受けて空カセット台１４の位置から空
カセット１４ａを把持し、第２処理装置の搬出カセット
載置場１２ｂの位置まで移動する。この移動に要する時
間はｔ2＋ｔ3である。
１３ａに載置された実カセットに格納されたウエハが装
置内に全てロードされて空カセットになると、第３処理
装置１３′は空カセット搬出要求信号を出力する（ステ
ップＳＢ５）。制御装置１５は、第２処理装置１２から
出力された上記ロット搬出要求信号及び第３処理装置１
３′から出力された空カセット搬出要求信号の両方を受
けたとき搬送装置２０に対してロット搬出指令信号を出
力する（ステップＳＢ６）。搬送装置２０は、このロッ
ト搬出指令信号を受けて空カセット台１４の位置から空
カセット１４ａを把持し、第２処理装置の搬出カセット
載置場１２ｂの位置まで移動する。この移動に要する時
間はｔ2＋ｔ3である。
【００２７】第２処理装置１２の搬出カセット載置場１
２ｂの位置まで移動した搬送装置２０は載置してある実
カセットを把持し、空カセットを載置する。第３処理装
置１３′の搬出カセット載置場１３ｂの位置まで移動す
る。移動に要する時間はｔ4である。移動完了した搬送
装置２０は把持している実カセットを搬入カセット載置
場１３ａに載置するとともに、搬入カセット載置場１３
ａに載置されている空カセットを把持する。以上の処理
が終了すると自動搬送装置２０は、制御装置１５から新
たな指令があるまで待機する。
２ｂの位置まで移動した搬送装置２０は載置してある実
カセットを把持し、空カセットを載置する。第３処理装
置１３′の搬出カセット載置場１３ｂの位置まで移動す
る。移動に要する時間はｔ4である。移動完了した搬送
装置２０は把持している実カセットを搬入カセット載置
場１３ａに載置するとともに、搬入カセット載置場１３
ａに載置されている空カセットを把持する。以上の処理
が終了すると自動搬送装置２０は、制御装置１５から新
たな指令があるまで待機する。
【００２８】以上、本発明の一実施形態によるウエハカ
セット搬送システムについて説明したが、１サイクルの
動作において制御装置１５は搬送装置２０に対して２回
の指令信号を発し、搬送装置２０の移動時間は、（ｔ1
＋ｔ2）＋ｔ2＋（ｔ2＋ｔ3）＋ｔ4 ＝ｔ1＋３ｔ2＋ｔ3
＋ｔ4である。従来のウエハカセット搬送システムと本
発明の一実施形態によるウエハカセット搬送システムと
を比較すると、制御装置１５から発せられる指令は４回
から２回へと半減し、搬送装置２０の移動時間は、（２
ｔ1＋４ｔ2＋３ｔ3＋２ｔ4）−（ｔ1＋３ｔ2＋ｔ3＋
ｔ4）＝ｔ1＋ｔ2＋２ｔ3だけ短縮される。ｔ1＝１５
［ｓｅｃ］、ｔ2＝５［ｓｅｃ］、ｔ3＝５［ｓｅｃ］、
ｔ4＝２０［ｓｅｃ］とすると、従来の８５［ｓｅｃ］
から５５［ｓｅｃ］へと３０［ｓｅｃ］、約３５％移動
時間は短縮される。尚、上記搬送装置２０は、軌条１７
上を走行するものに限らず、無軌条式であってもよい。
セット搬送システムについて説明したが、１サイクルの
動作において制御装置１５は搬送装置２０に対して２回
の指令信号を発し、搬送装置２０の移動時間は、（ｔ1
＋ｔ2）＋ｔ2＋（ｔ2＋ｔ3）＋ｔ4 ＝ｔ1＋３ｔ2＋ｔ3
＋ｔ4である。従来のウエハカセット搬送システムと本
発明の一実施形態によるウエハカセット搬送システムと
を比較すると、制御装置１５から発せられる指令は４回
から２回へと半減し、搬送装置２０の移動時間は、（２
ｔ1＋４ｔ2＋３ｔ3＋２ｔ4）−（ｔ1＋３ｔ2＋ｔ3＋
ｔ4）＝ｔ1＋ｔ2＋２ｔ3だけ短縮される。ｔ1＝１５
［ｓｅｃ］、ｔ2＝５［ｓｅｃ］、ｔ3＝５［ｓｅｃ］、
ｔ4＝２０［ｓｅｃ］とすると、従来の８５［ｓｅｃ］
から５５［ｓｅｃ］へと３０［ｓｅｃ］、約３５％移動
時間は短縮される。尚、上記搬送装置２０は、軌条１７
上を走行するものに限らず、無軌条式であってもよい。
【００２９】
【発明の効果】本発明では、空カセットの処理に対応し
た通信は行わないため、通信量は従来に対し２分の１に
減少し、制御装置や搬送装置の負担を軽減でき、効率の
良いスケジューリングを行うことができるという効果が
ある。さらに、空カセット処理のみに対応した搬送装置
の移動は行わないため、搬送装置の移動時間を３分の２
に減らすことができ搬送効率を向上することができると
いう効果がある。
た通信は行わないため、通信量は従来に対し２分の１に
減少し、制御装置や搬送装置の負担を軽減でき、効率の
良いスケジューリングを行うことができるという効果が
ある。さらに、空カセット処理のみに対応した搬送装置
の移動は行わないため、搬送装置の移動時間を３分の２
に減らすことができ搬送効率を向上することができると
いう効果がある。
【図１】本発明の一実施形態によるウエハカセット搬送
システムの構成を示す図である。
システムの構成を示す図である。
【図２】同実施形態によるウエハカセット搬送システム
の搬送装置２０の動作を説明するための図である。
の搬送装置２０の動作を説明するための図である。
【図３】同実施形態による制御装置１５と搬送装置２０
との間の交信状況を示す図である。
との間の交信状況を示す図である。
【図４】１つの処理室が設けられた枚葉処理装置のウエ
ハカセット搬送システムの概略構成を示す図である。
ハカセット搬送システムの概略構成を示す図である。
【図５】複数の処理室が設けられた場合の、従来のウエ
ハカセット搬送システムの構成を示す図である。
ハカセット搬送システムの構成を示す図である。
【図６】従来のウエハカセット搬送システムの搬送装置
１６の動作を説明するための図である。
１６の動作を説明するための図である。
【図７】制御装置１５と搬送装置１６との間の交信状況
を示す図である。
を示す図である。
１１ 第１処理装置 １２ 第２処理装置 １３ 第３処理装置 １４ 空カセット置場 １５ 制御装置 ２０ 搬送装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハカセットからウエハを導入して処
理を行うとともに、該ウエハの導入を完了した場合には
導入完了信号を出力し、該ウエハの処理を完了した場合
には処理完了信号を出力する少なくとも２つの処理装置
と、 異なる２つの前記処理装置からそれぞれ前記処理完了信
号及び前記導入完了信号が出力された場合に、搬送指令
信号を出力する制御装置と、 前記搬送指令信号に基づいて、前記処理完了信号を出力
した処理装置から前記導入完了信号を出力した処理装置
へウエハカセットを搬送する搬送装置とを具備すること
を特徴とするウエハカセット搬送システム。 - 【請求項２】 前記処理装置とは独立して設けられた空
カセットを載置する空カセット置場を備え、 前記搬送装置は前記処理完了信号を出力した処理装置か
ら前記導入完了信号を出力した処理装置へウエハカセッ
トを搬送した後、前記導入完了信号を出力した処理装置
から空カセットを前記空カセット置場へ搬送することを
特徴とする請求項１記載のウエハカセット搬送システ
ム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10963896A JP3795134B2 (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | ウエハカセット搬送システム |
| US08/791,666 US6000900A (en) | 1996-04-30 | 1997-01-30 | Wafer cassette conveying system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10963896A JP3795134B2 (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | ウエハカセット搬送システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09298227A true JPH09298227A (ja) | 1997-11-18 |
| JP3795134B2 JP3795134B2 (ja) | 2006-07-12 |
Family
ID=14515367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10963896A Expired - Lifetime JP3795134B2 (ja) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | ウエハカセット搬送システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6000900A (ja) |
| JP (1) | JP3795134B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010078287A (ko) * | 2000-02-04 | 2001-08-20 | 가네꼬 히사시 | 반도체반송설비의 특수로트반송제어시스템 및 방법과 장치및 기록매체 |
| KR100557463B1 (ko) * | 2004-12-28 | 2006-03-07 | 주식회사 테스 | 반도체 처리 장치 내의 통신 제어 방법 |
Families Citing this family (4)
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