JPH09287932A - Laser displacement meter - Google Patents
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- JPH09287932A JPH09287932A JP9976196A JP9976196A JPH09287932A JP H09287932 A JPH09287932 A JP H09287932A JP 9976196 A JP9976196 A JP 9976196A JP 9976196 A JP9976196 A JP 9976196A JP H09287932 A JPH09287932 A JP H09287932A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ変位計に関
する。例えば、路面形状計測等に適用されるものであ
る。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laser displacement meter. For example, it is applied to road surface shape measurement and the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の路面形状計測車の一例を図2に示
す。この路面形状計測車1の一つの機能は、路面評価の
対象の一つである路面の“わだち掘れ”、つまり、横断
方向の凹凸を多点非接触計測方式により計測するもので
ある。即ち、路面形状計測車1のフロントバンパーには
多数のスリット投光器2が取り付けられると共にその客
室前方には二台のラインセンサカメラ3が取り付けられ
ている。スリット投光器2は、レーザー光であるスリッ
ト光を路面に対して斜めに照射し、スリット光の数は5
4本、その幅は1〜2mmである。2. Description of the Related Art An example of a conventional road surface shape measuring vehicle is shown in FIG. One of the functions of the road surface shape measuring vehicle 1 is to measure "rut" of the road surface, which is one of the objects of road surface evaluation, that is, the unevenness in the transverse direction by the multipoint non-contact measurement method. That is, a large number of slit projectors 2 are attached to the front bumper of the road shape measuring vehicle 1, and two line sensor cameras 3 are attached to the front of the passenger compartment. The slit light projector 2 irradiates the slit light, which is a laser light, obliquely with respect to the road surface, and the number of slit light is 5
Four of them have a width of 1 to 2 mm.
【0003】ラインセンサカメラ3は、路面上に形成さ
れたスリット光を観測するものであり、二台設けたの
は、計測できる横幅を拡大するためである。従って、理
論的には、1台のラインセンサカメラ3を用いることが
できる。ラインセンサカメラ3としては、一般的に、一
次元に配置されたCCD(固体撮像素子)カメラが用い
られる。路面の横断方向の凹凸としては、三角測量の原
理に基づいて、下式(1)(2)に従いスリット光座標
(Xs,Ys)が計算される。The line sensor camera 3 observes slit light formed on the road surface, and two line sensor cameras 3 are provided for the purpose of enlarging the measurable lateral width. Therefore, theoretically, one line sensor camera 3 can be used. As the line sensor camera 3, a CCD (solid-state image sensor) camera arranged in one dimension is generally used. As the unevenness in the transverse direction of the road surface, the slit light coordinates (X s , Y s ) are calculated according to the following equations (1) and (2) based on the principle of triangulation.
【0004】[0004]
【数1】 [Equation 1]
【0005】但し、図3に示すように、(Xc,Yc)は
ラインセンサカメラ3のレンズ中心座標、(Xl,Yl)
はスリット投光器2の投光中心座標である。原点は、車
両中心で基準路面(スリット投光器2より1100mm
下方に想定した平らな路面)高さとする。座標軸は、助
手席側を+X、鉛直上向きを+Yとする。更に、θmは
ラインセンサカメラ3の観測線の観測角、θlはスリッ
ト投光器2の投光線の投光角である。角度は鉛直下向き
を0°とし、反時計回りを正とする。観測角θmは、次
式(3)により計算される。However, as shown in FIG. 3, (X c , Y c ) is the lens center coordinate of the line sensor camera 3, and (X l , Y l )
Are coordinates of the projection center of the slit projector 2. The origin is the reference road surface at the center of the vehicle (1100 mm from the slit projector 2).
Flat road surface assumed below) The coordinate axes are + X on the passenger side and + Y on the vertical side. Further, θ m is the observation angle of the observation line of the line sensor camera 3, and θ l is the projection angle of the projection light of the slit projector 2. The angle is 0 ° vertically downward and positive is counterclockwise. The observation angle θ m is calculated by the following equation (3).
【0006】[0006]
【数2】 [Equation 2]
【0007】但し、図4(b)に示すように、lcはラ
インセンサカメラ3の写像位置、Hcはラインセンサカ
メラ3とそのレンズ4との間の距離である。写像位置l
cは、次式(4)により計算される。However, as shown in FIG. 4B, l c is the mapping position of the line sensor camera 3, and H c is the distance between the line sensor camera 3 and its lens 4. Mapping position l
c is calculated by the following equation (4).
【0008】[0008]
【数3】 (Equation 3)
【0009】但し、図4(a)に示すように、Npはラ
インセンサカメラ3の画素総数、Lcはラインセンサカ
メラ3の長さ、写像位置lcにおける画素アドレスであ
る。However, as shown in FIG. 4A, N p is the total number of pixels of the line sensor camera 3, L c is the length of the line sensor camera 3, and the pixel address at the mapping position l c .
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の路面形
状計測車においては、ラインセンサカメラ3のレンズ中
心座標(Xc,Yc)、スリット投光器2の投光線の投光
角θlは固定で既知のため、ラインセンサカメラ3の観
測線の観測角θmを計測すれば、三角測量の原理に基づ
いて、上記式(1)〜(4)によりスリット光座標(X
s,Ys)である横断方向の凹凸が求められる。In the above-mentioned conventional road surface shape measuring vehicle, the lens center coordinates (X c , Y c ) of the line sensor camera 3 and the projection angle θ l of the projected light of the slit projector 2 are fixed. Therefore, if the observation angle θ m of the observation line of the line sensor camera 3 is measured, based on the principle of triangulation, the slit light coordinate (X
s , Y s ) is required for the transverse unevenness.
【0011】ここで、図11(a)(b)に示すよう
に、横断方向の凹凸として上下方向に計測できる測定レ
ンジは、スリット投光器2の配置される間隔によって、
制限を受ける。即ち、スリット投光器2の配置される間
隔を短くすればするほど、路面に斜めに照射される間隔
が短くなるため、上下方向に計測できる測定レンジは狭
くなる傾向にある。Here, as shown in FIGS. 11 (a) and 11 (b), the measurement range that can be measured in the vertical direction as the unevenness in the transverse direction depends on the interval at which the slit projector 2 is arranged.
Be restricted. That is, the shorter the interval at which the slit projector 2 is arranged, the shorter the interval at which the road surface is obliquely irradiated, and therefore the measurement range that can be measured in the vertical direction tends to become narrower.
【0012】一方、上下方向に計測できる測定レンジを
広くしようとして、スリット投光器2の配置される間隔
を長くすると、横方向における測定ピッチが荒くなり、
横断方向の凹凸の計測できる箇所が減少することとな
る。つまり、上下方向に計測できる測定レンジを広くす
ると、横断方向の凹凸の計測できる箇所が減少すること
となり精密な計測ができず、逆に、横断方向の凹凸の計
測できる箇所を増やして精密な計測をしようとすれば、
上下方向に計測できる測定レンジが狭くなり計測不能と
なる虞もある。本発明は、上記従来技術に鑑みてなされ
たものであり、上下方向に計測できる測定レンジを広く
することができ、且つ、横断方向の凹凸の計測できる箇
所を増やして、精密な計測が可能なレーザ変位計を提供
することを目的とする。On the other hand, if the interval at which the slit projectors 2 are arranged is increased in order to widen the measurement range that can be measured in the vertical direction, the measurement pitch in the horizontal direction becomes rough,
The number of measurable points of the unevenness in the transverse direction is reduced. In other words, if the measurement range that can be measured in the vertical direction is widened, the number of points that can measure unevenness in the transverse direction will decrease, and precise measurement will not be possible. If you try
There is a possibility that the measurement range that can be measured in the vertical direction becomes narrow and measurement becomes impossible. The present invention has been made in view of the above-mentioned prior art, and it is possible to widen the measurement range that can be measured in the vertical direction, and increase the number of locations where the unevenness in the transverse direction can be measured, thereby enabling precise measurement. An object is to provide a laser displacement meter.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明は、被計測面に対して、複数のスリット光をそれぞ
れ斜めに照射する一方、前記被計測面の上方からライン
センサカメラにより前記スリット光を計測して、三角測
量の原理により前記被計測面の凹凸を求めるレーザ変位
計において、前記複数のスリット光は、交互に異なる波
長の単色光であり、且つ、前記ラインセンサカメラとし
て、前記波長の異なる単色光を分離して計測できる複数
のものを用いることを特徴とする。ここで、前記ライン
センサカメラには、各波長の光を分離するための光学フ
ィルタが装着されることを特徴とする。According to the present invention for achieving such an object, a plurality of slit lights are radiated obliquely to a surface to be measured, and a line sensor camera is used to detect the slit light from above the surface to be measured. In the laser displacement meter which measures the slit light and obtains the irregularities of the surface to be measured by the principle of triangulation, the plurality of slit lights are monochromatic light of different wavelengths alternately, and as the line sensor camera, It is characterized in that a plurality of monochromatic lights having different wavelengths can be separated and measured. Here, the line sensor camera is equipped with an optical filter for separating light of each wavelength.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】図1に示すように、異なる波長の
単色光を照射することのできる二種類のスリット投光器
2′,2″を交互に配置して、被計側面に対して、図中
破線及び実線で示すよう波長の光を斜めに照射する一
方、被計測面の上方から、光学フィルタ5を装着した二
つのラインセンサカメラ3′、3″により、被計測面上
のスリット光を計測する。光学フィルタ5は、二種類の
スリット投光器2′,2″より照射される異なる波長の
単色光を分離して計測するためのものである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As shown in FIG. 1, two kinds of slit projectors 2 ', 2 "capable of irradiating monochromatic light of different wavelengths are alternately arranged, and the slit side projector 2', 2 ' While irradiating the light of the wavelength obliquely as indicated by the middle broken line and the solid line, the slit light on the measured surface is projected from above the measured surface by the two line sensor cameras 3 ′ and 3 ″ equipped with the optical filter 5. measure. The optical filter 5 is for separating and measuring monochromatic light of different wavelengths emitted from the two types of slit projectors 2'and 2 ".
【0015】従って、ラインセンサカメラ3′により、
図中実線で示される単色光のスリットが観測されるとす
ると、ラインセンサカメラ3′に関して、スリット光を
投光するスリット投光器はスリット投光器2′のみであ
り、スリット投光器2″は無関係となる。逆に、ライン
センサカメラ3″により、図中破線で示される単色光の
スリットが観測されるとすると、ラインセンサカメラ
3″に関して、スリット光を投光するスリット投光器は
スリット投光器2″のみであり、スリット投光器2′は
無関係となる。Therefore, by the line sensor camera 3 ',
If the monochromatic light slit shown by the solid line in the figure is observed, the slit projector 2'is the only slit projector that projects the slit light with respect to the line sensor camera 3 ', and the slit projector 2 "is irrelevant. On the contrary, if the line sensor camera 3 ″ observes a slit of monochromatic light shown by a broken line in the figure, the slit projector 2 ″ is the only slit projector that projects the slit light in the line sensor camera 3 ″. , The slit projector 2'is irrelevant.
【0016】つまり、本発明では、波長の異なるスリッ
ト光を交互に照射して、各波長毎をラインセンサカメラ
3′,3″で分離して独立して計測するするため、上下
方向に計測できる測定レンジを広くすることができ、且
つ、各波長毎の計測される横方向の凹凸を組み合わせる
ことができるため、結果として、横断方向の凹凸の計測
できる箇所を増やして、精密な計測が可能なレーザ変位
計を提供することが可能となる。That is, according to the present invention, since slit lights having different wavelengths are alternately irradiated and each wavelength is separately measured by the line sensor cameras 3'and 3 ", the wavelengths can be measured vertically. Since the measurement range can be widened and the lateral unevenness measured for each wavelength can be combined, as a result, the number of locations where the lateral unevenness can be measured can be increased and precise measurement can be performed. It is possible to provide a laser displacement meter.
【0017】[0017]
【実施例】以下、本発明について、図面に示す実施例を
参照して詳細に説明する。図5〜図9に本発明の一実施
例に係るレーザ変位計を示す。本実施例は、図2に示す
路面形状計測車1に適用されるものでる。同図に示すよ
うに、基準路面より1100mmの高さには、多数のス
リット投光器2が基準路面に対して傾斜して取り付けら
れている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings. 5 to 9 show a laser displacement meter according to an embodiment of the present invention. The present embodiment is applied to the road surface shape measuring vehicle 1 shown in FIG. As shown in the figure, at a height of 1100 mm from the reference road surface, a large number of slit projectors 2 are attached so as to be inclined with respect to the reference road surface.
【0018】スリット投光器2は、図中実線で示す可視
光を照射するもの、図中破線で示す赤外光を照射するも
のとが交互に配列している。スリット投光器2は、図
7、図8に示すように、路面に対する傾斜角は45°の
ものが44個、路面に対する傾斜角が55.5°のもの
が10個であり、また、スリット投光器2は中央部分で
は2列に配列し、外側部分では3列に配列している。The slit projectors 2 are arranged alternately with those for irradiating visible light indicated by solid lines in the figure and those for irradiating infrared light indicated by broken lines in the figure. As shown in FIGS. 7 and 8, there are 44 slit projectors with an inclination angle of 45 ° with respect to the road surface and 10 with an inclination angle of 55.5 ° with respect to the road surface. Are arranged in two rows in the central part and three rows in the outer part.
【0019】更に、基準路面より2588mmの高さに
は、2箇所に2台のラインセンサカメラ3が配設されて
いる。つまり、本実施例では、合計4台のラインセンサ
カメラ3が配置されている。そして、各箇所におけるラ
インセンサカメラ3には可視光用のフィルタと、赤外光
用のフィルタがそれぞれ取り付けられている。Further, two line sensor cameras 3 are provided at two locations at a height of 2588 mm from the reference road surface. That is, in this embodiment, a total of four line sensor cameras 3 are arranged. A filter for visible light and a filter for infrared light are attached to the line sensor camera 3 at each location.
【0020】従って、選択波長の異なるフィルタを取り
付けられたラインセンサカメラ3は、スリット投光器2
より照射されたスリット光のうち赤外光又は可視光の何
れかを分離して選択的に観測することとなる。従って、
一方のラインセンサカメラ3により、赤外光のスリット
光のみが観測されるとすると、一方のラインセンサカメ
ラ3に関して、スリット光は一つおきに存在することに
なり、同様に、他方のラインセンサカメラ3により、可
視光のスリット光のみが観測されるとすると、他方のラ
インセンサカメラ3に関しても、スリット光は一つおき
に存在することになる。Accordingly, the line sensor camera 3 to which the filters having different selected wavelengths are attached is the slit projector 2
Either infrared light or visible light of the slit light emitted from the device is separated and selectively observed. Therefore,
If only the slit light of infrared light is observed by one of the line sensor cameras 3, then there will be every other slit light of one of the line sensor cameras 3, and similarly, the other line sensor. If only the slit light of the visible light is observed by the camera 3, the slit light exists in every other line sensor camera 3 as well.
【0021】つまり、異なる波長のスリット光毎に、ス
リット投光器2の配置される間隔を考えれば、実効的
に、スリット投光器2の配置される間隔が長くなり、上
下方向に計測できる測定レンジが広くなる。しかも、実
際には、スリット投光器2の配置される間隔は、波長の
種類を考えなければ、スリット投光器2の配置される間
隔が長くなるわけではないから、横断方向の凹凸の計測
できる箇所が減少するわけではない。That is, considering the intervals at which the slit light projectors 2 are arranged for the slit light beams of different wavelengths, the intervals at which the slit light projectors 2 are arranged are effectively long, and the vertical measurement range is wide. Become. Moreover, in practice, the interval at which the slit light projector 2 is arranged does not become long unless the type of wavelength is taken into consideration, so the number of locations where the unevenness in the transverse direction can be measured is reduced. It doesn't.
【0022】このように、本実施例では、赤外光又は可
視光のみを照射することのできる二種類のスリット投光
器2を交互に配置して、路面に対して、異なる単色光を
斜めに照射する一方、路面の上方から、光学フィルタを
装着した二つのラインセンサカメラ3により、波長毎に
分離して路面上のスリット光を計測するすることによ
り、横方向の測定ピッチを細かく保ちながら、高さ方向
の計測レンジを拡大することができる利点がある。As described above, in this embodiment, two kinds of slit projectors 2 capable of irradiating only infrared light or visible light are alternately arranged, and different monochromatic light is obliquely applied to the road surface. On the other hand, by measuring the slit light on the road surface separately from above the road surface by the two line sensor cameras 3 equipped with optical filters, it is possible to maintain a high lateral pitch. There is an advantage that the measurement range in the vertical direction can be expanded.
【0023】各ラインセンサカメラ3には、図9に示す
ように、その前面にレンズ4が取り付けられており、そ
のレンズ4には一般に光学的歪が伴う。そのため、図1
0に示すように、レンズ4の光学的歪により、ラインセ
ンサカメラ3の観測角θmがずれてθm′として観測さ
れ、ラインセンサカメラの写像位置lcもずれ、その写
像位置lcを示す画素アドレスNも、次式(5)のよう
に、理論値Ntから実測値Nmへと誤差ΔNを生じること
となる。As shown in FIG. 9, a lens 4 is attached to the front surface of each line sensor camera 3, and the lens 4 is generally accompanied by optical distortion. Therefore, FIG.
As shown in 0, the observation angle θ m of the line sensor camera 3 is deviated by the optical distortion of the lens 4 and observed as θ m ′, the mapping position l c of the line sensor camera is also deviated, and the mapping position l c is changed. The pixel address N shown also causes an error ΔN from the theoretical value N t to the actual measurement value N m as in the following equation (5).
【0024】ΔN=Nt−Nm …(5) そこで、本実施例では、図6に示すように、4台のライ
ンセンサカメラ31,32,33,34について、画素アド
レス補正値ΔNを各々予め求めた。この画素アドレス補
正値ΔNは、図6に示すように0レベルで校正すること
により、レンズ4の光学的歪を除去することが可能であ
る。また、この画素アドレス補正値は、図6に示すよう
に、中央部と周辺部とでは一様ではなく、画素アドレス
に応じて変化するものであり、しかも、各ラインセンサ
カメラ3毎に異なる値となることが判る。1画素の長さ
は0.64mmである。ΔN = N t −N m (5) Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 6, pixel address correction is performed for four line sensor cameras 3 1 , 3 2 , 3 3 , 3 4. The value ΔN was obtained in advance. By correcting this pixel address correction value ΔN at the 0 level as shown in FIG. 6, it is possible to remove the optical distortion of the lens 4. Further, as shown in FIG. 6, the pixel address correction value is not uniform in the central portion and the peripheral portion and changes according to the pixel address, and the value is different for each line sensor camera 3. It turns out that The length of one pixel is 0.64 mm.
【0025】従って、図12に示すように、この画素ア
ドレス補正値ΔNを補正テーブル5として予め各ライン
センサカメラ30,31,32,33毎に記憶し、各画素位
置Nに対応した補正値ΔNを、実測値Nmに加えて理論
値Nt(=ΔN+Nm)とし、この理論値Ntを上記
(4)式の画素アドレスNとして代入することにより、
レンズの光学的歪を除去して、正確なtanθmを求めるこ
とができる。このようにして求めたtanθmを、上記
(1)(2)式に代入することにより、レンズの光学的
歪を除去して、正確なスリット光座標(Xs,Ys)を求
めることができる。Therefore, as shown in FIG. 12, this pixel address correction value ΔN is stored in advance as a correction table 5 for each line sensor camera 3 0 , 3 1 , 3 2 , 3 3 and corresponds to each pixel position N. By adding the corrected value ΔN to the measured value N m to obtain the theoretical value N t (= ΔN + N m ), and substituting the theoretical value N t as the pixel address N in the equation (4),
An accurate tan θ m can be obtained by removing the optical distortion of the lens. By substituting the tan θ m obtained in this way into the above equations (1) and (2), it is possible to remove the optical distortion of the lens and obtain an accurate slit light coordinate (X s , Y s ). it can.
【0026】このように本実施例では、4台のラインセ
ンサカメラ30,31,32,33毎に、光学レンズに対す
る四つの補正テーブル5を用意したが、各ラインセンサ
カメラ3についての光学的歪がほぼ同様である場合に
は、近似的に一つの補正テーブル5を共用することも可
能である。尚、このような補正テーブル5は必ずしも必
要ではない。例えば、各ラインセンサカメラ30,31,
32,33の光学レンズとして、複数のレンズを組み合わ
せて、光学的歪を相殺するようにしても良し、光学的歪
が無視できる程度に小さい光学レンズを選択しても良
い。As described above, in the present embodiment, four correction tables 5 for the optical lens are prepared for each of the four line sensor cameras 3 0 , 3 1 , 3 2 , 3 3 , but for each line sensor camera 3 When the optical distortions of 1 are almost the same, it is also possible to approximately share one correction table 5. Incidentally, such a correction table 5 is not always necessary. For example, each line sensor camera 3 0 , 3 1 ,
As the optical lenses 3 2 and 3 3 , a plurality of lenses may be combined to cancel the optical distortion, or an optical lens whose optical distortion is so small that it can be ignored may be selected.
【0027】[0027]
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明では、波長の異なるスリット光を交互
に照射して、各波長毎をラインセンサカメラで分離して
独立して計測するするため、上下方向に計測できる測定
レンジを広くすることができ、且つ、各波長毎の計測さ
れる横方向の凹凸を組み合わせることができるため、結
果として、横断方向の凹凸の計測できる箇所を増やし
て、精密な計測が可能なレーザ変位計を提供することが
可能となる。As described above in detail with reference to the embodiments, in the present invention, slit light beams having different wavelengths are alternately irradiated, and each wavelength is separated by a line sensor camera and independently. Since it is possible to measure, it is possible to widen the measurement range that can be measured in the vertical direction, and since it is possible to combine the unevenness in the horizontal direction that is measured for each wavelength, as a result, the location where the unevenness in the transverse direction can be measured It is possible to provide a laser displacement meter capable of performing accurate measurement by increasing the number of laser beams.
【図1】本発明のレーザ変位計における実施形態を示す
説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of a laser displacement meter of the present invention.
【図2】路面形状計測車の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a road surface shape measuring vehicle.
【図3】三角測量法によるわだち掘れの測定原理を示す
説明図てある。FIG. 3 is an explanatory diagram showing the principle of measurement of rutting by the triangulation method.
【図4】ラインセンサカメラの構造図である。FIG. 4 is a structural diagram of a line sensor camera.
【図5】スリット投光器及びラインセンサカメラのレイ
アウトを示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a layout of a slit projector and a line sensor camera.
【図6】画素アドレス補正値を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing a pixel address correction value.
【図7】スリット投光器の配列を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing an array of slit projectors.
【図8】スリット投光器を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a slit projector.
【図9】ラインセンサカメラを示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram showing a line sensor camera.
【図10】レンズの光学的歪の影響を示す説明図であ
る。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an influence of optical distortion of a lens.
【図11】スリット投光器の配置と測定レンジとの関係
を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing the relationship between the arrangement of the slit projector and the measurement range.
【図12】補正テーブルを示す説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram showing a correction table.
1 路面形状計測車 2,2′,2″ スリット投光器 3,3′,3″ ラインセンサカメラ 4 レンズ 5 光学フィルタ 1 Road surface shape measurement vehicle 2, 2 ', 2 "Slit projector 3, 3', 3" Line sensor camera 4 Lens 5 Optical filter
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大貫 薫 東京都文京区湯島三丁目一番三号 東京道 路エンジニア株式会社内 (72)発明者 小野 義道 東京都文京区湯島三丁目一番三号 東京道 路エンジニア株式会社内 (72)発明者 幸田 信則 東京都文京区湯島三丁目一番三号 東京道 路エンジニア株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kaoru Onuki Kaoru Onuki 3rd 3rd Yushima, Bunkyo-ku, Tokyo Within Tokyo Road Engineer Co., Ltd. (72) Yoshimichi Ono 3rd 1st 3rd Yushima, Bunkyo-ku, Tokyo Tokyo Road Engineer Co., Ltd. (72) Inventor Shinnori Koda No.3 Yushima 3-chome, Bunkyo-ku, Tokyo Tokyo Road Engineer Co., Ltd.
Claims (2)
それぞれ斜めに照射する一方、前記被計測面の上方から
ラインセンサカメラにより前記スリット光を計測して、
三角測量の原理により前記被計測面の凹凸を求めるレー
ザ変位計において、前記複数のスリット光は、交互に異
なる波長の単色光であり、且つ、前記ラインセンサカメ
ラとして、前記波長の異なる単色光を分離して計測でき
る複数のものを用いることを特徴とするレーザ変位計。1. A plurality of slit lights are obliquely applied to a surface to be measured, and the slit light is measured from above the surface to be measured by a line sensor camera,
In the laser displacement meter for obtaining the unevenness of the measured surface by the principle of triangulation, the plurality of slit lights are monochromatic light of different wavelengths alternately, and as the line sensor camera, monochromatic light of different wavelengths. A laser displacement meter characterized by using a plurality of things that can be measured separately.
光を分離するための光学フィルタが装着されることを特
徴とする請求項1記載のレーザ変位計。2. The laser displacement meter according to claim 1, wherein the line sensor camera is equipped with an optical filter for separating light of each wavelength.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9976196A JPH09287932A (en) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | Laser displacement meter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP9976196A JPH09287932A (en) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | Laser displacement meter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09287932A true JPH09287932A (en) | 1997-11-04 |
Family
ID=14255969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9976196A Pending JPH09287932A (en) | 1996-04-22 | 1996-04-22 | Laser displacement meter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09287932A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-04-22 JP JP9976196A patent/JPH09287932A/en active Pending
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