JPH09272206A - 圧電振動子配列体 - Google Patents
圧電振動子配列体Info
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- JPH09272206A JPH09272206A JP8110381A JP11038196A JPH09272206A JP H09272206 A JPH09272206 A JP H09272206A JP 8110381 A JP8110381 A JP 8110381A JP 11038196 A JP11038196 A JP 11038196A JP H09272206 A JPH09272206 A JP H09272206A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 たわみ振動モードの圧電振動子の列に駆動信
号を確実に供給すること。 【解決手段】 少なくとも表面が電気絶縁性を備えて弾
性変形可能な振動板の表面に一定のピッチで列状に形成
された共通電極３０、３１と、振動板の表面の非振動領
域に形成されて共通電極３０、３１の一端と接続し、共
通電極３０、３１よりも厚い層として形成された共通電
極引出用電極３２と、共通電極３０、３１の表面に形成
された圧電振動子６ａ、６ｂと、その表面に形成され駆
動電極３３、３４とを備えたので、振動領域には可及的
に薄い共通電極３０、３１を形成して振動に障害を与え
ないようにして、直近の振動とは関りがない領域に導電
度を重視して形成された共通電極引出用電極３２を介し
て信号を印加する。
号を確実に供給すること。 【解決手段】 少なくとも表面が電気絶縁性を備えて弾
性変形可能な振動板の表面に一定のピッチで列状に形成
された共通電極３０、３１と、振動板の表面の非振動領
域に形成されて共通電極３０、３１の一端と接続し、共
通電極３０、３１よりも厚い層として形成された共通電
極引出用電極３２と、共通電極３０、３１の表面に形成
された圧電振動子６ａ、６ｂと、その表面に形成され駆
動電極３３、３４とを備えたので、振動領域には可及的
に薄い共通電極３０、３１を形成して振動に障害を与え
ないようにして、直近の振動とは関りがない領域に導電
度を重視して形成された共通電極引出用電極３２を介し
て信号を印加する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術の分野】本発明は、弾性変形可能な
板に複数の圧電振動子を形成した圧電振動板配列体に関
する。
板に複数の圧電振動子を形成した圧電振動板配列体に関
する。
【０００２】
【従来の技術】電子デバイス等に組み込まれる配列体
は、できる限り小型で、しかも高い信頼性を備えること
が求められる。このような要求に応えるため、圧電振動
体を弾性変形可能な板材に配列したアクチュエータが様
々な分野で利用されている。例えば、インクジェット式
記録ヘッドに組み込まれる圧電振動子配列体は、インク
滴を吐出させる圧力発生室の一部を構成している振動板
をたわませ、これにより圧力発生室内のインクに圧力を
印加してノズル開口からインクを吐出させるように機能
する。
は、できる限り小型で、しかも高い信頼性を備えること
が求められる。このような要求に応えるため、圧電振動
体を弾性変形可能な板材に配列したアクチュエータが様
々な分野で利用されている。例えば、インクジェット式
記録ヘッドに組み込まれる圧電振動子配列体は、インク
滴を吐出させる圧力発生室の一部を構成している振動板
をたわませ、これにより圧力発生室内のインクに圧力を
印加してノズル開口からインクを吐出させるように機能
する。
【０００３】ところで、このようなインクジェット式記
録ヘッドに組み込まれる配列体は、極めて微小な圧電振
動子を弾性変形可能な板材に列状に配置し、圧電振動板
の表裏に設けられた電極に印加された駆動信号によりた
わみ振動を生じるように構成されている。このように圧
電振動子のたわみ振動を利用する場合には、圧電振動子
の表面が振動板と十分に接合している必要があるため、
特開平5-267742号公報に示されたように、圧電振動板を
作り付ける基板の表面に導電性を備え、かつ圧電材料の
焼成時に十分な接合力を持つ材料で個別的に駆動信号を
供給するための駆動電極を形成し、これの表面に圧電振
動子を、さらにその表面を覆うように共通電極を形成し
たものが提案されている。
録ヘッドに組み込まれる配列体は、極めて微小な圧電振
動子を弾性変形可能な板材に列状に配置し、圧電振動板
の表裏に設けられた電極に印加された駆動信号によりた
わみ振動を生じるように構成されている。このように圧
電振動子のたわみ振動を利用する場合には、圧電振動子
の表面が振動板と十分に接合している必要があるため、
特開平5-267742号公報に示されたように、圧電振動板を
作り付ける基板の表面に導電性を備え、かつ圧電材料の
焼成時に十分な接合力を持つ材料で個別的に駆動信号を
供給するための駆動電極を形成し、これの表面に圧電振
動子を、さらにその表面を覆うように共通電極を形成し
たものが提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】これによれば、基板の
表面に形成れた共通電極を同じく基板の表面に形成され
た共通電極引出用電極を介して外部駆動回路に接続する
関係上、共通電極引出用電極に大きな電流が流れること
になり、例えば多数の圧電振動子を配列する必要がある
ライン記録ヘッドにあっては、電圧降下による信号レベ
ルの低下やまたジュール熱による発熱が生じて、圧電振
動子の圧電特性に影響を与える等の問題がある。
表面に形成れた共通電極を同じく基板の表面に形成され
た共通電極引出用電極を介して外部駆動回路に接続する
関係上、共通電極引出用電極に大きな電流が流れること
になり、例えば多数の圧電振動子を配列する必要がある
ライン記録ヘッドにあっては、電圧降下による信号レベ
ルの低下やまたジュール熱による発熱が生じて、圧電振
動子の圧電特性に影響を与える等の問題がある。
【０００５】特に、インクジェットプリンタなどのよう
に圧電振動子が１００μｍ程度と極めて高い密度で、し
かも多数個が作り付けられている場合には、上述の問題
は、圧電振動子の動作に極めて重大な悪影響を与えるこ
とになる。
に圧電振動子が１００μｍ程度と極めて高い密度で、し
かも多数個が作り付けられている場合には、上述の問題
は、圧電振動子の動作に極めて重大な悪影響を与えるこ
とになる。
【０００６】本発明はこれらの問題に鑑みてなされたも
のであって、その目的とするところは、高密度配列され
た圧電振動子に対して駆動信号の低下を招くこと無く、
同一の基板に多数配列された個々の圧電振動子に確実に
駆動信号を供給することができる新規な圧電振動子配列
体を提供することである。
のであって、その目的とするところは、高密度配列され
た圧電振動子に対して駆動信号の低下を招くこと無く、
同一の基板に多数配列された個々の圧電振動子に確実に
駆動信号を供給することができる新規な圧電振動子配列
体を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、少なくとも表面が電気絶縁
性を備えて弾性変形可能な板材と、該板材の表面に一定
のピッチで列状に形成された共通電極と、前記板材の表
面の非振動領域に形成されて前記共通電極の一端と接続
し、前記共通電極よりも厚い層として形成された共通電
極引出用電極と、前記共通電極の表面に形成された圧電
振動子と、前記圧電振動子の表面に形成され、一端が前
記板材の表面に延長された駆動電極とを備えるようにし
た。
るために本発明においては、少なくとも表面が電気絶縁
性を備えて弾性変形可能な板材と、該板材の表面に一定
のピッチで列状に形成された共通電極と、前記板材の表
面の非振動領域に形成されて前記共通電極の一端と接続
し、前記共通電極よりも厚い層として形成された共通電
極引出用電極と、前記共通電極の表面に形成された圧電
振動子と、前記圧電振動子の表面に形成され、一端が前
記板材の表面に延長された駆動電極とを備えるようにし
た。
【０００８】
【作用】振動領域には圧電振動子に信号を印加できる導
電度で、かつ振動に障害を来さない厚さで形成された共
通電極に、振動とは関わりがない領域の導電度を重視し
て形成された共通電極引出用電極を介して信号を印加す
る。
電度で、かつ振動に障害を来さない厚さで形成された共
通電極に、振動とは関わりがない領域の導電度を重視し
て形成された共通電極引出用電極を介して信号を印加す
る。
【０００９】
【発明の実施の態様】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は、それぞ
れ本発明の圧電振動子配列体が使用されたインクジェッ
ト式記録ヘッドの一実施例を示す分解斜視図と、圧力発
生室での断面構造を示す図であって、図中符号１、１、
１は、それぞれ本発明の圧電振動子配列体で、この実施
例ではインクジェット記録ヘッドを構成するスペーサ２
に固定されている。
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は、それぞ
れ本発明の圧電振動子配列体が使用されたインクジェッ
ト式記録ヘッドの一実施例を示す分解斜視図と、圧力発
生室での断面構造を示す図であって、図中符号１、１、
１は、それぞれ本発明の圧電振動子配列体で、この実施
例ではインクジェット記録ヘッドを構成するスペーサ２
に固定されている。
【００１０】圧電振動子配列体１は、少なくとも表面が
電気絶縁性を備えた振動板５、この実施例では１０μｍ
のジルコニアの薄板の表面に、一定ピッチで共通電極３
１、３２を形成し、これの表面に圧電振動子６ａ、６
ａ、６ａ‥‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥を、この実施例で
は２列を形成して構成されている。これら共通電極３
１、３２はそれぞれ中央部側の一端を後述する共通電極
引出用電極３３に接続されている。一方、圧電振動子配
列体１をインクジェット式記録ヘッドに適用する場合に
被駆動体となるスペーサ２は、深さ１５０μｍ程度の厚
みのジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板に圧
力発生室５０、５１をそれぞれ列状に穿設して構成され
ている。
電気絶縁性を備えた振動板５、この実施例では１０μｍ
のジルコニアの薄板の表面に、一定ピッチで共通電極３
１、３２を形成し、これの表面に圧電振動子６ａ、６
ａ、６ａ‥‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥を、この実施例で
は２列を形成して構成されている。これら共通電極３
１、３２はそれぞれ中央部側の一端を後述する共通電極
引出用電極３３に接続されている。一方、圧電振動子配
列体１をインクジェット式記録ヘッドに適用する場合に
被駆動体となるスペーサ２は、深さ１５０μｍ程度の厚
みのジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板に圧
力発生室５０、５１をそれぞれ列状に穿設して構成され
ている。
【００１１】図中符号７は、スペーサ２の他面に一体に
貼着される蓋板で、この実施例では厚さ１５０μｍのジ
ルコニアの薄板からなり、ノズル開口２１、２１、２１
‥‥、２２、２２、２２‥‥と圧力発生室５０、５０、
５０‥‥、５１、５１、５１‥‥とを接続する通孔８、
９と、１２、１２、１２‥‥、１３、１３、１３‥‥
と、後述するリザーバ５３、５４と圧力発生室５０、５
１とを接続するインク供給口１２、１３を設けて構成さ
れている。
貼着される蓋板で、この実施例では厚さ１５０μｍのジ
ルコニアの薄板からなり、ノズル開口２１、２１、２１
‥‥、２２、２２、２２‥‥と圧力発生室５０、５０、
５０‥‥、５１、５１、５１‥‥とを接続する通孔８、
９と、１２、１２、１２‥‥、１３、１３、１３‥‥
と、後述するリザーバ５３、５４と圧力発生室５０、５
１とを接続するインク供給口１２、１３を設けて構成さ
れている。
【００１２】１５は、インク供給流路構成板で、インク
流路を構成するに適した例えば１５０μｍのステンレス
鋼などの耐蝕性を備えた板材に、リザーバ５３、５４
と、圧力発生室５０、５１とノズル開口２１、２１、２
１‥‥、２２、２２、２２‥‥とを結ぶノズル連通孔１
６、１７を穿設して構成されている。
流路を構成するに適した例えば１５０μｍのステンレス
鋼などの耐蝕性を備えた板材に、リザーバ５３、５４
と、圧力発生室５０、５１とノズル開口２１、２１、２
１‥‥、２２、２２、２２‥‥とを結ぶノズル連通孔１
６、１７を穿設して構成されている。
【００１３】２０は、ノズルプレートで、直径４０μｍ
のノズル開口２１、２１、２１‥‥、２２、２２、２２
‥‥を穿設するのに適した厚さ６０μｍのステンレス鋼
板からなり、各ノズル開口は２１、２１、２１‥‥、２
２、２２、２２‥‥、それぞれ蓋板７の通孔８、９、イ
ンク流路構成板１５の通孔１６、１７を介してに対向す
る圧力発生室５０、５０、５０‥‥、５１、５１、５１
‥‥に連通されている。なお、図中符号２３は、共通の
インク室５３、５４に外部からインクを供給するための
通孔を示す。
のノズル開口２１、２１、２１‥‥、２２、２２、２２
‥‥を穿設するのに適した厚さ６０μｍのステンレス鋼
板からなり、各ノズル開口は２１、２１、２１‥‥、２
２、２２、２２‥‥、それぞれ蓋板７の通孔８、９、イ
ンク流路構成板１５の通孔１６、１７を介してに対向す
る圧力発生室５０、５０、５０‥‥、５１、５１、５１
‥‥に連通されている。なお、図中符号２３は、共通の
インク室５３、５４に外部からインクを供給するための
通孔を示す。
【００１４】これら各部材１、７、１５、２０は、それ
ぞれ積層されて、構成されている材料に適した接合方法
で接合されてインクジェット式記録ヘッドに纏められて
いる。
ぞれ積層されて、構成されている材料に適した接合方法
で接合されてインクジェット式記録ヘッドに纏められて
いる。
【００１５】図３は、振動子配列体１の振動板５の表面
に作り付けられた前述の圧電振動子６ａ、６ａ、６ａ‥
‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥を中心として示すものであっ
て、図中符号３０、３０、３０‥‥は、一方の列の被駆
動体、この実施例では圧力発生室５０、５０、５０‥‥
に対向して形成された共通電極であり、また３１、３
１、３１‥‥は、他の被駆動体である圧力発生室５１、
５１、５１‥‥に対向させて形成された共通電極で、そ
れぞれ中央部側が共通電極引出用電極３２に接続されて
いる。
に作り付けられた前述の圧電振動子６ａ、６ａ、６ａ‥
‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥を中心として示すものであっ
て、図中符号３０、３０、３０‥‥は、一方の列の被駆
動体、この実施例では圧力発生室５０、５０、５０‥‥
に対向して形成された共通電極であり、また３１、３
１、３１‥‥は、他の被駆動体である圧力発生室５１、
５１、５１‥‥に対向させて形成された共通電極で、そ
れぞれ中央部側が共通電極引出用電極３２に接続されて
いる。
【００１６】共通電極引出用電極３２は、同図（ロ）に
示したように振動に関与しない領域に形成され、その厚
みｄ１は共通電極３０、３１の厚みｄ２よりも厚くされ
ていて、各圧電振動子６ａ、６ｂを同時に駆動した場合
にも駆動信号の電圧降下を可及的に低く抑えることがで
きるように構成されている。
示したように振動に関与しない領域に形成され、その厚
みｄ１は共通電極３０、３１の厚みｄ２よりも厚くされ
ていて、各圧電振動子６ａ、６ｂを同時に駆動した場合
にも駆動信号の電圧降下を可及的に低く抑えることがで
きるように構成されている。
【００１７】そして少なくとも共通電極３０、３１は、
振動板５と圧電振動子６ａ、６ｂとに対して共に強い接
合力を発揮するとともに、導電性を有する材料、例えば
白金や白金系合金などを印刷法により形成したり、蒸着
やスパッタリングすることにより構成されている。ま
た、共通電極引出電極３２は、厚膜の形成が容易な手
法、例えば銀を含む導電性塗料の塗布等により構成され
ている。
振動板５と圧電振動子６ａ、６ｂとに対して共に強い接
合力を発揮するとともに、導電性を有する材料、例えば
白金や白金系合金などを印刷法により形成したり、蒸着
やスパッタリングすることにより構成されている。ま
た、共通電極引出電極３２は、厚膜の形成が容易な手
法、例えば銀を含む導電性塗料の塗布等により構成され
ている。
【００１８】３３、３４は、それぞれ各圧電振動子６
ａ、６ａ、６ａ‥‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥の表面を個
別に覆うように形成された駆動電極で、側端側を振動板
５の表面に延長されていて接続部を形成するように、銀
等の導電塗料を印刷したり、また導電材料の蒸着や、ス
パッタリング等の膜形成手段により構成されている。
ａ、６ａ、６ａ‥‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥の表面を個
別に覆うように形成された駆動電極で、側端側を振動板
５の表面に延長されていて接続部を形成するように、銀
等の導電塗料を印刷したり、また導電材料の蒸着や、ス
パッタリング等の膜形成手段により構成されている。
【００１９】この実施例において、外部駆動回路から信
号を印加すると、選択された１つの駆動電極３３と共通
電極引出電極３２を介して各共通電極３０、３１との間
に駆動信号が印加され、これに挟まれた圧電振動子６ａ
が長手方向を軸とするように幅方向に湾曲する。この変
形は被駆動体である圧力発生室５０を収縮させてノズル
開口２１からインク滴を吐出させることになる。
号を印加すると、選択された１つの駆動電極３３と共通
電極引出電極３２を介して各共通電極３０、３１との間
に駆動信号が印加され、これに挟まれた圧電振動子６ａ
が長手方向を軸とするように幅方向に湾曲する。この変
形は被駆動体である圧力発生室５０を収縮させてノズル
開口２１からインク滴を吐出させることになる。
【００２０】このとき、共通電極引出電極３２は、厚め
に構成されていて電気抵抗が小さいため、多数の圧電振
動子がたとえ同時に駆動された場合にも信号レベルを低
下させることがなく、また共通電極引出電極３２が形成
されている領域は、圧電振動子からは離れていて、機械
的変位を生じないから、振動による曲げを受けることが
なく、また反対に導電率だけを考慮して厚く形成するこ
とによりその剛性が大きくなっても圧電振動子６ａ、６
ｂの振動を阻害ようなことにはならない。
に構成されていて電気抵抗が小さいため、多数の圧電振
動子がたとえ同時に駆動された場合にも信号レベルを低
下させることがなく、また共通電極引出電極３２が形成
されている領域は、圧電振動子からは離れていて、機械
的変位を生じないから、振動による曲げを受けることが
なく、また反対に導電率だけを考慮して厚く形成するこ
とによりその剛性が大きくなっても圧電振動子６ａ、６
ｂの振動を阻害ようなことにはならない。
【００２１】駆動信号の印加が解除されて圧電振動子６
ａが元の形状に復帰すると、圧力発生室５０の容積が膨
張して圧力発生室５０に陰圧が生じ、蓋板７のインク供
給口１２を通ってリザーバ１０から圧力発生室５０に、
消費分に相当するインクが補給される。
ａが元の形状に復帰すると、圧力発生室５０の容積が膨
張して圧力発生室５０に陰圧が生じ、蓋板７のインク供
給口１２を通ってリザーバ１０から圧力発生室５０に、
消費分に相当するインクが補給される。
【００２２】以下、共通電極３０、３０、３０‥‥、３
１、３１、３１‥‥と、インク滴を発生させるべき被駆
動体である圧力発生室５０、５０、５０‥‥、５１、５
１、５１‥‥に対応する圧電振動子６ａ、６ａ、６ａ‥
‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥の駆動電極３３とに駆動信号
が印加されて印刷が実行される。
１、３１、３１‥‥と、インク滴を発生させるべき被駆
動体である圧力発生室５０、５０、５０‥‥、５１、５
１、５１‥‥に対応する圧電振動子６ａ、６ａ、６ａ‥
‥、６ｂ、６ｂ、６ｂ‥‥の駆動電極３３とに駆動信号
が印加されて印刷が実行される。
【００２３】次に上述した記録ヘッドの製造方法を図４
に基づいて説明する。少なくとも表面が電気絶縁性を備
えた振動板５の表面に、被駆動体、例えば圧力発生室５
０、５１の位置に合わせて共通電極３０、３１となるパ
ターン５５、５５、５５‥‥、５６、５６、５６‥‥
を、導電性を備え、かつ振動板５と後述する圧電材料の
グリーンシートの焼成時に強い接合力を発揮する高い材
料、例えば白金や、白金系合金、銀、銀系合金の材料を
用いて蒸着やスパッタリング、スクリーン印刷等、導電
パターン形成技術を適用して、高い効率で振動させるこ
とがきる程度の厚さ、例えば４μｍとなるように形成す
る。
に基づいて説明する。少なくとも表面が電気絶縁性を備
えた振動板５の表面に、被駆動体、例えば圧力発生室５
０、５１の位置に合わせて共通電極３０、３１となるパ
ターン５５、５５、５５‥‥、５６、５６、５６‥‥
を、導電性を備え、かつ振動板５と後述する圧電材料の
グリーンシートの焼成時に強い接合力を発揮する高い材
料、例えば白金や、白金系合金、銀、銀系合金の材料を
用いて蒸着やスパッタリング、スクリーン印刷等、導電
パターン形成技術を適用して、高い効率で振動させるこ
とがきる程度の厚さ、例えば４μｍとなるように形成す
る。
【００２４】また、中央部には導電性が高く、厚膜形成
に適した材料、例えば銀を、スパッタリング、スクリー
ン印刷等、導電パターン形成技術を適用して共通電極引
出用電極３２のパターン５７を厚さ１５μｍ程度で形成
する（図４（イ））。
に適した材料、例えば銀を、スパッタリング、スクリー
ン印刷等、導電パターン形成技術を適用して共通電極引
出用電極３２のパターン５７を厚さ１５μｍ程度で形成
する（図４（イ））。
【００２５】これら共通電極、及び共通電極引出用電極
のパターン５５、５６、５７が形成された段階で、これ
ら共通電極のパターン５５、５６の幅よりも若干大きめ
で、一方の共通電極３０のパターン５５から共通電極引
出用電極３２のパターン５７を跨ぐように覆い、他方の
共通電極３１のパターン５６の側端側にまで連続して延
びる圧電材料のパターン５８を、テンプレート等を用い
て厚膜印刷法により振動子の構成に適した材料、例えば
ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）のグリーンシートを形
成する（図４（ロ））。
のパターン５５、５６、５７が形成された段階で、これ
ら共通電極のパターン５５、５６の幅よりも若干大きめ
で、一方の共通電極３０のパターン５５から共通電極引
出用電極３２のパターン５７を跨ぐように覆い、他方の
共通電極３１のパターン５６の側端側にまで連続して延
びる圧電材料のパターン５８を、テンプレート等を用い
て厚膜印刷法により振動子の構成に適した材料、例えば
ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）のグリーンシートを形
成する（図４（ロ））。
【００２６】圧電材料が所定の乾燥度にまで乾燥した段
階で、圧電材料を焼成するのに適した温度、例えば１０
００乃至１２００°Ｃ程度で加熱する。焼成の過程にお
いても圧電材料のパターン５８は、共通電極引出用電極
３２のパターン５７上で連続しているため、端部の数が
少なく焼成時に圧電材料の端部で起こり勝ちなめくれを
防止できる。
階で、圧電材料を焼成するのに適した温度、例えば１０
００乃至１２００°Ｃ程度で加熱する。焼成の過程にお
いても圧電材料のパターン５８は、共通電極引出用電極
３２のパターン５７上で連続しているため、端部の数が
少なく焼成時に圧電材料の端部で起こり勝ちなめくれを
防止できる。
【００２７】そして圧電材料の焼成が終了した段階で、
個々の圧力発生室５０、５１に対応する圧電振動子の領
域の表面を選択的に覆い、かつ側端側が振動板５の表面
に連続して延びる例えば銀からなる駆動電極のパターン
５９、６０を膜形成手段により形成する。
個々の圧力発生室５０、５１に対応する圧電振動子の領
域の表面を選択的に覆い、かつ側端側が振動板５の表面
に連続して延びる例えば銀からなる駆動電極のパターン
５９、６０を膜形成手段により形成する。
【００２８】なお、上述の実施例においては、対向する
列の圧電振動子を連続体として形成する場合に例を採っ
て説明したが、共通電極引出用電極を跨ぐこと無く、個
々の共通電極に独立的に形成しても、少なくとも電気的
特性に関しては何等遜色がないことは明らかである。そ
してこの実施例によれば共通電極引出用電極と、駆動電
極とを同時に印刷法で形成することができる。
列の圧電振動子を連続体として形成する場合に例を採っ
て説明したが、共通電極引出用電極を跨ぐこと無く、個
々の共通電極に独立的に形成しても、少なくとも電気的
特性に関しては何等遜色がないことは明らかである。そ
してこの実施例によれば共通電極引出用電極と、駆動電
極とを同時に印刷法で形成することができる。
【００２９】また、上述の実施例においては、圧電振動
板を対称線を中心とするように複数列配置したものに例
を採って説明したが、１列のものに適用しても同様の作
用を奏することは明らかである。
板を対称線を中心とするように複数列配置したものに例
を採って説明したが、１列のものに適用しても同様の作
用を奏することは明らかである。
【００３０】さらに上述の実施例においてはインクジェ
ット式記録ヘッドに例を採って説明したが、他の被駆動
体に適用しても同様の作用を奏することは明らかであ
る。
ット式記録ヘッドに例を採って説明したが、他の被駆動
体に適用しても同様の作用を奏することは明らかであ
る。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
少なくとも表面が電気絶縁性を備えて弾性変形可能な板
材と、板材の表面に一定のピッチで列状に形成された共
通電極と、板材の表面の非振動領域に形成されて共通電
極の一端と接続し、共通電極よりも厚い層として形成さ
れた共通電極引出用電極と、共通電極の表面に形成され
た圧電振動子と、圧電振動子の表面に形成され、一端が
板材の表面に延長された駆動電極とを備えたので、振動
領域には可及的に薄い共通電極を形成して振動に障害を
与えないようにして、直近の振動とは関りがない領域の
導電度を重視して形成された共通電極引出用電極を介し
て信号を印加できて、各圧電振動子に供給する信号のロ
スを可及的に少なくすることができる。
少なくとも表面が電気絶縁性を備えて弾性変形可能な板
材と、板材の表面に一定のピッチで列状に形成された共
通電極と、板材の表面の非振動領域に形成されて共通電
極の一端と接続し、共通電極よりも厚い層として形成さ
れた共通電極引出用電極と、共通電極の表面に形成され
た圧電振動子と、圧電振動子の表面に形成され、一端が
板材の表面に延長された駆動電極とを備えたので、振動
領域には可及的に薄い共通電極を形成して振動に障害を
与えないようにして、直近の振動とは関りがない領域の
導電度を重視して形成された共通電極引出用電極を介し
て信号を印加できて、各圧電振動子に供給する信号のロ
スを可及的に少なくすることができる。
【図１】本発明の圧電振動子配列体の一適用例であるイ
ンクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図である。
ンクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】本発明の圧電振動子配列体の一適用例であるイ
ンクジェット式記録ヘッドの断面図である。
ンクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図３】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の圧電振
動子配列体の上面構造、Ａ−Ａ線での断面構造を示す図
である。
動子配列体の上面構造、Ａ−Ａ線での断面構造を示す図
である。
【図４】図（イ）乃至（ハ）は、それぞれ本発明の圧電
振動子配列体の製造工程を示す図である。
振動子配列体の製造工程を示す図である。
１ 圧電振動子配列体 ５ 板材 ６ａ、６ｂ 圧電振動子 ３０、３１ 共通電極 ３２ 共通電極引出用電極 ３３、３４ 駆動電極
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも表面が電気絶縁性を備えて弾
性変形可能な板材と、該板材の表面に一定のピッチで列
状に形成された共通電極と、前記板材の表面の非振動領
域に形成されて前記共通電極の一端と接続し、前記共通
電極よりも厚い層として形成された共通電極引出用電極
と、前記共通電極の表面に形成された圧電振動子と、前
記圧電振動子の表面に形成され、一端が前記板材の表面
に延長された駆動電極とからなる圧電振動子配列体。 - 【請求項２】 前記圧電振動子が前記共通電極引出用電
極を対称線とするように対向して複数列形成されている
請求項１の圧電振動板配列体。 - 【請求項３】 前記振動板は、ジルコニアからなり、ま
た共通電極は、白金、白金系合金、銀、銀系合金から選
択された材料で形成された請求項１の圧電振動板配列
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8110381A JPH09272206A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 圧電振動子配列体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8110381A JPH09272206A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 圧電振動子配列体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09272206A true JPH09272206A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=14534372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8110381A Pending JPH09272206A (ja) | 1996-04-05 | 1996-04-05 | 圧電振動子配列体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09272206A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001225477A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-21 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP2012106342A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
| JP2012166393A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Ricoh Co Ltd | インクジェットヘッド |
| JP2012171149A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、及び画像形成装置 |
| EP3235644A1 (en) * | 2016-04-20 | 2017-10-25 | Toshiba TEC Kabushiki Kaisha | Ink jet head and ink jet recording apparatus |
| JP2021107158A (ja) * | 2015-08-24 | 2021-07-29 | ローム株式会社 | 圧電素子利用装置およびその製造方法 |
| US11322679B2 (en) | 2015-08-24 | 2022-05-03 | Rohm Co., Ltd. | Device using a piezoelectric element and method for manufacturing the same |
-
1996
- 1996-04-05 JP JP8110381A patent/JPH09272206A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001225477A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-21 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
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| JP2017193108A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 |
| CN107303756A (zh) * | 2016-04-20 | 2017-10-31 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头及喷墨记录装置 |
| CN109572217A (zh) * | 2016-04-20 | 2019-04-05 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头及图像形成装置 |
| CN109572217B (zh) * | 2016-04-20 | 2020-07-10 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头及图像形成装置 |
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Legal Events
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040218 |
|
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|
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|
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