JPH09252040A

JPH09252040A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH09252040A
Application number: JP5861296A
Authority: JP
Inventors: Kenichiro Sakamoto; 研一郎坂本; Hiroyuki Ishihara; 浩之石原
Original assignee: Advanced Display Inc
Current assignee: Advanced Display Inc
Priority date: 1996-03-15
Filing date: 1996-03-15
Publication date: 1997-09-22
Anticipated expiration: 2016-03-15
Also published as: JP3319564B2

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送のロスタイムを少なくするとともに、重
量物の搬送をなくし、さらに基板周辺の雰囲気管理を厳
密に行うことにより高性能な基板を高歩留りで形成でき
る基板搬送装置を提供する。【解決手段】処理装置８との接続部３を有し、温湿度
および異物が厳密に管理された密閉構造のユニットの搬
送装置により構成された搬送路２内を基板９を１枚づつ
搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶表示
装置等に用いられるガラス基板等の搬送装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来の基板搬送は、例えば図１０、図１
１、図１２に示すようにカセットを用いて行われてい
た。図において、８は８ａ〜８ｄからなる処理装置、３
５は無人搬送車、９は基板、３６は基板９を収納するカ
セット、３７は基板９を収納したカセット３６を収容す
る保管庫、３８は無人搬送車３５と処理装置８間のカセ
ット受渡し用の移載装置である。基板９は処理装置８ａ
での処理が終了した後カセット３６に搬入され、所定枚
数の基板９が収納されたカセット３６は無人搬送車３５
に移載装置３８を用いて移載される。カセット３６を搭
載した無人搬送車３５は次工程の処理装置８ｂに移載装
置３８を用いてカセット３６を受渡す。以上のような手
順で基板９を収納したカセット３６は工程フローに従い
順次処理装置８ｃ、８ｄに搬送され基板９の処理が行わ
れる。また、処理装置間で処理待ちが生じた場合には基
板９を収納したカセット３６は保管庫３７に収容され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の基板搬送装置は
以上のように構成されていたため、基板９をカセット３
６に搬出入する時間や無人搬送車３５と処理装置８間で
カセット３６を受渡しする時間等搬送のロスタイムが生
じる問題があった。また、基板の大型化に伴い基板を収
納したカセットの重量が過大となり、無人搬送車が故障
した場合等にカセットを人手で扱うことが困難になって
いる。さらに、液晶表示装置等においては高性能化、低
価格化のための歩留り向上が望まれており、そのために
は基板製造時の基板周辺雰囲気の管理が重要であるが、
基板はクリーンルーム内をカセットに収納された状態で
搬送されるため、基板周辺の雰囲気管理が充分でないな
ど問題があった。

【０００４】本発明は、上記のような問題を解決するた
めになされたもので、搬送のロスタイムを少なくすると
ともに、重量物の搬送をなくし、さらに基板周辺の雰囲
気管理を厳密に行うことにより高性能な基板を高歩留り
で形成できる基板搬送装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明に係わる基板搬
送装置は、内部が適性雰囲気に管理された密閉構造を有
すると共に、基板を一枚づつ搬送する搬送路を備えたも
のである。また、搬送路は所定形状のユニットを自在に
組合せ接続して構成されているものである。さらに、搬
送路は他の装置との接続部を備えているものである。ま
た、接続部には基板認識装置が設置されているものであ
る。さらに、接続部は基板の向きおよび表裏を変換でき
る反転部を備えているものである。また、搬送路内は温
度、湿度および異物量が管理できるよう構成されている
ものである。さらに、搬送路内はユニットごとに温度、
湿度および異物量が管理できるよう開閉自在な仕切装置
を備えているものである。また、基板は搬送路内を浮上
搬送されるものである。また、基板は、下面側にガスが
吹き付けられることにより浮上あるいは、上面側にガス
が吹き付けられることにより吸引浮上しているものであ
る。また、基板は搬送路内を垂直に立てられた状態で搬
送されるものである。また、搬送路には基板を一時的に
収容する保管部を備えているものである。また、基板の
搬送および搬送状況はコンピュータシステムにより管理
されているものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．以下、この発明の一実施の形態である基
板搬送装置を図について説明する。図１は本発明の基板
搬送装置の平面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面
図、図３は図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図、図４は図１
のＣ−Ｃ線に沿った断面図、図５はコンピュータシステ
ムによる制御系統を説明するための模式図である。図に
おいて、１は搬送装置、１ａ〜１ｇは搬送装置の１ユニ
ットで接続することにより任意のレイアウトの搬送装置
１を構成することができる。２は搬送路、３は搬送路２
と処理装置８ａ〜８ｄの接続部、４は基板の反転部、５
は処理中基板の保管部、６は処理前基板の投入部、７は
処理済基板の払出部、８は８ａ〜８ｄからなる処理装
置、９は基板、１０は搬送路２内の基板搬送テーブル、
１０ａは搬送路２から接続部３に基板９を移送するため
水平に回転可能な基板移送テーブル、１０ｂは基板移送
テーブル１０ａ上に基板９を停止させるための可動式ス
トッパー、１１は基板搬送テーブル１０に設けられた基
板浮上搬送用エアーまたは窒素の噴出口で、基板９の搬
送方向に斜め前方にエアーまたは窒素を噴出させるべく
傾斜して設けらている。

【０００７】１２は基板浮上用エアーまたは窒素の供給
配管、１３は温湿度制御器、１４は流量制御器、１５は
異物除去用フィルター、１６は温湿度制御器１３および
フィルター１５で管理されたエアーまたは窒素の搬送路
２への供給配管、１７は供給配管１６内を圧送されたエ
アーまたは窒素の搬送路２への噴出方向、１８はエアー
または窒素の供給部、１９は搬送路２からのエアーまた
は窒素の排気部、２０は搬送路２内の処理装置８との接
続用搬送テーブル、２１は接続部３の搬送テーブル、２
２は処理装置８の搬送テーブル、２３は搬送装置１のユ
ニット間または搬送路２と接続部３および接続部３と処
理装置８との仕切り用ゲートシャッター、２４は基板認
識装置、２５は搬送装置コントローラ、２６は処理装置
コントローラ、２７は搬送装置コントローラ２５および
処理装置コントローラ２６を管理するコンピュータシス
テム装置である。

【０００８】次に本実施の形態の基板搬送装置による基
板搬送について説明する。複数の処理前基板９を投入部
６に装填することにより、基板９は１枚づつ搬送路２の
搬送テーブル１０上に配置される。搬送テーブル１０上
に配置された基板９は、図２および図４ｂに示すよう
に、搬送テーブル１０に設けられたエアー噴出口１１か
ら搬送方向に斜め上向きに噴出されたエアーにより浮上
し搬送テーブル１０と非接触で搬送される。また搬送路
２内の雰囲気は温湿度制御器１３およびフィルター１５
によりクリーンかつ一定温湿度に保持され、異物付着に
よる欠陥発生を抑制するとともに基板の加工品質を維持
することができる。

【０００９】さらに搬送路２内の雰囲気は搬送装置ユニ
ット１ａ〜１ｇごとに管理可能で、基板９の加工状態に
合わせて雰囲気を制御することができる。次に搬送ステ
ージ１０上の基板９を搬送装置ユニット１ａから１ｂお
よび接続部３を経て処理装置８ａに投入する。搬送路２
から処理装置８ａへの基板９の搬送は、図３および図４
ｃに示すように、回転可能な搬送テーブル１０ａ上に可
動式ストッパー１０ｂを用いて基板９を停止させ、搬送
テーブル１０ａを９０°回転させることにより処理装置
８ａとの接続用搬送テーブル２０に基板９を移載できる
状態にした後、接続用搬送テーブル２０から接続部３の
搬送テーブル２１、処理装置８ａの搬送テーブル２２に
基板９を順次移載することにより行われる。このときゲ
ートシャッター２３を順次開閉することにより搬送路２
内の雰囲気と処理装置８ａ内の雰囲気が混じり合うこと
を防止できる。また、接続部３に基板９上の識別記号を
読み取る認識装置２４を設置することにより基板９の処
理状況を把握することができる。また、処理装置８の構
造により基板９の向きや表裏を変える必要が生じた場合
には反転部４を接続部３に追加設置することにより対応
できる。処理装置８ａでの処理が終わった基板９は一枚
ずつ順次搬送され、定められた工程に従い処理されたの
ち払出部７に搬送される。

【００１０】一連の処理工程途中において、搬送装置１
および処理装置８の突発的な故障や装置メンテナンス等
により一時的に基板９を保管する必要が生じた場合、搬
送装置１内に保管庫５を適宜配置しておくことにより基
板９を搬送装置１外に取り出すことなく厳密に管理され
た雰囲気内で保管することができる。また、搬送装置１
の各ユニット１ａ〜１ｇ間にゲートシャッター２３を設
置することにより、搬送装置１の故障に対しては当該ユ
ニット１ａ〜１ｇのみクリーンルーム内に開放し修理す
ることが可能で、故障の影響を最小限にすることができ
る。基板９の搬送および処理は、定められた工程に従い
コンピュータシステム装置２７から処理装置コントロー
ラー２５および搬送装置コントローラ２６への指示によ
り行われ、また、工程中の基板９は、処理装置８との接
続部３に設置された認識装置２４からの信号等によりコ
ンピュータシステム装置２７で総括的に管理される。

【００１１】この発明によれば、基板９を処理が終了し
たものから一枚ずつ次工程に搬送することにより重量物
の搬送をなくすとともに搬送のロスタイムを少なくする
ことができる。また、搬送中の基板９周辺雰囲気を異物
および温湿度において厳密に管理するとともに、基板９
を搬送テーブル１０と非接触で搬送することにより個体
接触に起因する発塵を抑制しかつ基板の破損を防止する
ことができ、さらに工程中の基板９の処理状況をコンピ
ュータシステムにより総括的に制御および管理できる構
成にしたため、高性能な基板を高歩留りで製造すること
ができる。また、処理装置８との接続部３および基板反
転部４を有することにより様々な処理装置との接続が可
能となり、さらに搬送路２のユニットごとでの雰囲気管
理や工程途中の基板９を一時的に収容する保管部５を搬
送装置１内に配置することにより故障時等への対応を容
易かつ迅速に行えるため、生産性の高い生産ラインを構
成することができる。

【００１２】実施の形態２．実施の形態１では、基板９
を水平に保持して搬送する方式を示したが、図６に示す
ように基板９を垂直にして搬送することにより、基板９
への異物付着防止に一層の効果が得られる。図におい
て、２８は縦搬送テーブル、２９は基板ホルダー、３０
は基板９の倒れ防止エアー吹き出し口、３１は倒れ防止
エアーの吹き出し方向である。基板９は本実施の形態に
よれば、基板９への異物付着による欠陥発生をさらに減
少させ歩留りを向上させるとともに、搬送装置の据え付
け床面積を最少にすることができる。

【００１３】実施の形態３．図７はこの発明の他の実施
の形態を示す基板搬送装置の断面図、図８は図７のＤ部
分の詳細図である。図において、３２は基板９の保持
部、３３は搬送装置ユニット１ａ〜１ｇ間の受渡し機、
３４はガイドレールである。基板９はベルヌーイの定理
を応用した保持部３２により加工面を下にして非接触保
持された状態で搬送装置ユニット１ａ〜１ｇ内をガイド
レール３４により搬送される。また、搬送装置ユニット
１ａ〜１ｇ間は受渡し機３３を用いて基板９を移載す
る。本実施の形態によれば、基板９への異物付着による
欠陥発生をさらに減少させ歩留りを向上させることがで
きる。

【００１４】実施の形態４．図９は実施の形態４を示す
搬送装置の平面図である。搬送装置１は所定形状のユニ
ットの搬送装置１ａ〜１ｇを接続することにより構成さ
れているため、図９に示すように各ユニットの順序を変
更する等任意のレイアウトを選択することができる。本
実施の形態によれば工程の変更等に伴うレイアウト変更
を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１による基板搬送装置
を示す平面図である。

【図２】この発明の実施の形態１による基板搬送装置
の図１Ａ−Ａ線に沿った断面図である。

【図３】この発明の実施の形態１による基板搬送装置
の図１Ｂ−Ｂ線に沿った断面図である。

【図４】この発明の実施の形態１による基板搬送装置
の図１Ｃ−Ｃ線に沿った断面図である。

【図５】この発明の実施の形態１による基板搬送装置
のコンピュータシステムによる制御系統を説明するため
の模式図である。

【図６】この発明の実施の形態２による基板搬送装置
を示す断面図である。

【図７】この発明の実施の形態３による基板搬送装置
を示す断面図である。

【図８】この発明の実施の形態３による基板搬送装置
の基板保持部を示す断面図である。

【図９】この発明の実施の形態４による基板搬送装置
を示す平面図である。

【図１０】従来のこの種基板搬送装置を示す平面図で
ある。

【図１１】従来の基板搬送装置のカセットを示す図で
ある。

【図１２】従来の基板搬送装置の無人搬送車を示す図
である。

【符号の説明】

１搬送装置、１ａ〜１ｇ基板搬送装置の１ユニッ
ト、２搬送路、３接続部、４反転部、５保管
部、６投入部、７払出部、８処理装置、９基
板、１０搬送テーブル、１０ａ回転可能な搬送テー
ブル、１０ｂ可動式ストッパー、１１エアー噴出
口、１２基板浮上用エアー供給配管、１３温湿度制
御器、１４流量制御器、１５異物除去用フィルタ
ー、１６搬送路へのエアー供給配管、１７噴出方
向、１８エアー供給部、１９エアー排気部、２０
接続用搬送テーブル、２１接続部搬送テーブル、２２
処理装置搬送テーブル、２３ゲートシャッター、２
５搬送装置コントローラ、２６処理装置コントロー
ラ、２７コンピュータシステム装置、２８縦搬送テ
ーブル、２９基板ホルダー、３０倒れ防止エアー吹
き出し口、３１倒れ防止エアー吹き出し方向、３２
保持部、３３受渡し機、３４ガイドレール。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部が適性雰囲気に管理された密閉構造
を有すると共に、基板を一枚づつ搬送する搬送路を備え
たことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】搬送路は、所定形状のユニットを自在に
組合せ接続して構成されていることを特徴とする請求項
１記載の基板搬送装置。
【請求項３】搬送路は、他の装置との接続部を備えて
いることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基
板搬送装置。
【請求項４】接続部には、基板認識装置が設置されて
いることを特徴とする請求項３記載の基板搬送装置。
【請求項５】接続部は、基板の向きおよび表裏を変換
できる反転部を備えていることを特徴とする請求項３ま
たは請求項４記載の基板搬送装置。
【請求項６】搬送路内は、温度、湿度および異物量が
管理できるよう構成されていることを特徴とする請求項
１〜５のいずれか一項記載の基板搬送装置。
【請求項７】搬送路内は、ユニットごとに温度、湿度
および異物量が管理できるよう開閉自在な仕切装置を備
えていることを特徴とする請求項２〜６のいずれか一項
記載の基板搬送装置。
【請求項８】基板は、搬送路内を浮上搬送されること
を特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載の基板搬
送装置。
【請求項９】基板は、下面側にガスが吹き付けられる
ことにより浮上していることを特徴とする請求項８記載
の基板搬送装置。
【請求項１０】基板は、上面側にガスが吹き付けられ
ることにより吸引浮上していることを特徴とする請求項
８記載の基板搬送装置。
【請求項１１】基板は、搬送路内を垂直に立てられた
状態で搬送されることを特徴とする請求項８記載の基板
搬送装置。
【請求項１２】搬送路には、基板を一時的に収容する
保管部を備えていることを特徴とする請求項１〜１１の
いずれか一項記載の基板搬送装置。
【請求項１３】基板の搬送および搬送状況は、コンピ
ュータシステムにより管理されていることを特徴とする
請求項１〜１２のいずれか一項記載の基板搬送装置。