JPH0925878A - 医療用流体ポンプ - Google Patents
医療用流体ポンプInfo
- Publication number
- JPH0925878A JPH0925878A JP7173815A JP17381595A JPH0925878A JP H0925878 A JPH0925878 A JP H0925878A JP 7173815 A JP7173815 A JP 7173815A JP 17381595 A JP17381595 A JP 17381595A JP H0925878 A JPH0925878 A JP H0925878A
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- Japan
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- plate
- valve
- medical fluid
- fluid pump
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、信頼性の高い製造容易な医療用流
体ポンプを提供する。 【解決手段】 チタン薄板の積層構造でダイアフラム、
流路を構成し、弁部は、積層型圧電素子で駆動する能動
弁で構成する。
体ポンプを提供する。 【解決手段】 チタン薄板の積層構造でダイアフラム、
流路を構成し、弁部は、積層型圧電素子で駆動する能動
弁で構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、所定時間連続あるいは
間欠的に流体を微量吐出する、小型医療用流体ポンプに
関するものである。
間欠的に流体を微量吐出する、小型医療用流体ポンプに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の第一実施例の医療用流体ポンプの
平面図を図４に示す。図５は図４のＢーＢ´線に沿った
断面図である、図５に示すように、ステッピングモータ
４１で作動レバー４２を回転し、作動レバー４２の先端
のローラ４３でチューブ４４の中の薬液を押し出すペリ
ストリック型ポンプが実用化されている。
平面図を図４に示す。図５は図４のＢーＢ´線に沿った
断面図である、図５に示すように、ステッピングモータ
４１で作動レバー４２を回転し、作動レバー４２の先端
のローラ４３でチューブ４４の中の薬液を押し出すペリ
ストリック型ポンプが実用化されている。
【０００３】この方式では、薬液の吐出量精度と小型化
に問題があり、新タイプの医療用流体ポンプの開発が望
まれている。従来の第二の実施例として、マイクロマシ
ニーング技術を応用し、小型で精密流体制御を行う、マ
イクロポンプ及びその製造方法に関し、特開平４ー６６
７８５に開示されている。
に問題があり、新タイプの医療用流体ポンプの開発が望
まれている。従来の第二の実施例として、マイクロマシ
ニーング技術を応用し、小型で精密流体制御を行う、マ
イクロポンプ及びその製造方法に関し、特開平４ー６６
７８５に開示されている。
【０００４】図６は、従来の第二の実施例の主要部の断
面図を示しており、図６は、図７のＣーＣ´線に沿った
断面図である。Ｓｉ基板６１９は異方性エッチングでダ
イアフラム６６と弁６５と流路６１１が形成され、Ｓｉ
基板６１９を下ガラス板６１０により所定の位置に陽極
接合する。ついでＳｉ基板上面に上ガラス板６９を同様
に接合して流路６１１及びこれに連結する圧力室６１２
を形成する。この時、上ガラス板６９と下ガラス板６１
０はホウケイ酸ガラスを用い、あらかじめ下ガラス板６
１０には液体の供給口６１３、吐出口６１４となる孔
を、上ガラス板６９にはダイアフラム６６の上部位置に
バイモルフ型、あるいはユニモルフ型圧電素子板６１７
を設置する孔６１８を設ける。
面図を示しており、図６は、図７のＣーＣ´線に沿った
断面図である。Ｓｉ基板６１９は異方性エッチングでダ
イアフラム６６と弁６５と流路６１１が形成され、Ｓｉ
基板６１９を下ガラス板６１０により所定の位置に陽極
接合する。ついでＳｉ基板上面に上ガラス板６９を同様
に接合して流路６１１及びこれに連結する圧力室６１２
を形成する。この時、上ガラス板６９と下ガラス板６１
０はホウケイ酸ガラスを用い、あらかじめ下ガラス板６
１０には液体の供給口６１３、吐出口６１４となる孔
を、上ガラス板６９にはダイアフラム６６の上部位置に
バイモルフ型、あるいはユニモルフ型圧電素子板６１７
を設置する孔６１８を設ける。
【０００５】その後、供給口６１３の下には供給チュー
ブ６１５を、吐出口６１４の下には吐出チューブ６１６
を接合する。最後に圧電素子６１７をダイアフラム６６
の上部に接着し、マイクロポンプを形成する。医療用ポ
ンプの場合、とりわけ体内埋め込み型医療用ポンプは、
薬液及び体液に反応しない材料で構成する必要があり、
構成材料は、チタン材料、Ｓｉ基板、及びシリコーンチ
ューブ等の材料を用いるか、構成部品をチタン材料で密
封する必要がある。
ブ６１５を、吐出口６１４の下には吐出チューブ６１６
を接合する。最後に圧電素子６１７をダイアフラム６６
の上部に接着し、マイクロポンプを形成する。医療用ポ
ンプの場合、とりわけ体内埋め込み型医療用ポンプは、
薬液及び体液に反応しない材料で構成する必要があり、
構成材料は、チタン材料、Ｓｉ基板、及びシリコーンチ
ューブ等の材料を用いるか、構成部品をチタン材料で密
封する必要がある。
【０００６】半導体プロセスによる異方性エッチング技
術が実用化されつつある技術背景からＳｉウエハーでダ
イヤフラム６６、弁６５及び流路６１１を形成する技術
的流れとなっていた。
術が実用化されつつある技術背景からＳｉウエハーでダ
イヤフラム６６、弁６５及び流路６１１を形成する技術
的流れとなっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の第一実施例で示
したペリスタリック型ポンプは、薬液の吐出量精度と小
型化に問題があり、その改善策として半導体プロセスに
よる異方性エッチング技術を用いたダイアフラム型マイ
クロポンプが提案されている。
したペリスタリック型ポンプは、薬液の吐出量精度と小
型化に問題があり、その改善策として半導体プロセスに
よる異方性エッチング技術を用いたダイアフラム型マイ
クロポンプが提案されている。
【０００８】しかしながら、半導体プロセス製造工程を
用いなければ従来の第二の実施例は実現出来ず製造設備
投資が膨大になり小量生産が難しいという問題がある。
さらに、構造的な課題として、弁６５は受動弁であるた
め、弁の密閉力はダイアフラムのポンプ圧力よりも小さ
くしなければならないという課題があった。
用いなければ従来の第二の実施例は実現出来ず製造設備
投資が膨大になり小量生産が難しいという問題がある。
さらに、構造的な課題として、弁６５は受動弁であるた
め、弁の密閉力はダイアフラムのポンプ圧力よりも小さ
くしなければならないという課題があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の医療用流体ポンプはダイアフラム、流路を
チタン薄板の積層構造とし、弁部は、積層型圧電素子で
駆動する能動弁とした。
に、本発明の医療用流体ポンプはダイアフラム、流路を
チタン薄板の積層構造とし、弁部は、積層型圧電素子で
駆動する能動弁とした。
【００１０】
【作用】チタン薄板の積層構造でダイヤフラム型マイク
ロポンプを実現出来たことにより、従来の機械加工設備
で製造可能となり、弁部を積層型圧電素子で駆動する能
動弁とすることにより、弁部密閉力が増し、医療用ポン
プとして必要不可欠である液漏れに対する信頼性が増し
た。
ロポンプを実現出来たことにより、従来の機械加工設備
で製造可能となり、弁部を積層型圧電素子で駆動する能
動弁とすることにより、弁部密閉力が増し、医療用ポン
プとして必要不可欠である液漏れに対する信頼性が増し
た。
【００１１】
（１）第一実施例 本発明の第一実施例を図面に基づいて説明する。図２
は、本発明の実施例の主要部の平面透視図である。図１
は、図２のＡ−Ａ´線に沿った組立断面図である。
は、本発明の実施例の主要部の平面透視図である。図１
は、図２のＡ−Ａ´線に沿った組立断面図である。
【００１２】本発明による医療用流体ポンプは、図１と
図２に示すように、ピン１２６が打ち込み固定されたベ
ース板１１の上に、シリコンパッキン１３がはめ込まれ
た流路スペーサ板１２を重ね、流路孔１７、流路孔１８
が形成され、さらに吸入口パイプ１５、吐出口パイプ１
６が打ち込み結合された流路形成板１４を重ね、ポンプ
室形成板１９を配し、ポンプ室形成板１９の外側側面に
シリコンパッキン１１２を配する。
図２に示すように、ピン１２６が打ち込み固定されたベ
ース板１１の上に、シリコンパッキン１３がはめ込まれ
た流路スペーサ板１２を重ね、流路孔１７、流路孔１８
が形成され、さらに吸入口パイプ１５、吐出口パイプ１
６が打ち込み結合された流路形成板１４を重ね、ポンプ
室形成板１９を配し、ポンプ室形成板１９の外側側面に
シリコンパッキン１１２を配する。
【００１３】吸入弁１１０、吐出弁１１１が接合された
チタン材薄板のダイアフラム板１１６は、吸入弁１１０
と吐出弁１１１との反対面に、圧電アクチュエータ１１
９、１２０、１２１が接合固定されている。図１の様に
ダイアフラム板１１６を配し、その上部にダイアフラム
押さえ板１１７、ケース１１８を重ね、複数の止めネジ
１２５で全体を締結固定する構成となっている。
チタン材薄板のダイアフラム板１１６は、吸入弁１１０
と吐出弁１１１との反対面に、圧電アクチュエータ１１
９、１２０、１２１が接合固定されている。図１の様に
ダイアフラム板１１６を配し、その上部にダイアフラム
押さえ板１１７、ケース１１８を重ね、複数の止めネジ
１２５で全体を締結固定する構成となっている。
【００１４】図示されていないが、吸入口パイプ１５先
端には、薬液タンクが接続固定される。吐出口パイプ１
６の先端には、人体内に薬液を吐出供給するための医療
用カテーテル等が接続される。調整止めねじ１２２は、
圧電アクチュエータ１１９に電圧印可されていない時に
吸入弁１１０と流路形成板１４の接触部に隙間が生じ
ず、吸入口パイプ１５に接続されている薬液タンク圧力
により薬液がリークしない様な適当な接触圧力となる様
に、さらに、圧電アクチュエータ１１９に電圧印可し圧
電アクチュエータ１１９が縮んだ時に吸入弁１１０が接
合されているダイアフラム板１１６を持ち上げ、吸入弁
１１０と流路形成板１４の間に隙間を生じる様に組立時
に調整固定するためのものである。
端には、薬液タンクが接続固定される。吐出口パイプ１
６の先端には、人体内に薬液を吐出供給するための医療
用カテーテル等が接続される。調整止めねじ１２２は、
圧電アクチュエータ１１９に電圧印可されていない時に
吸入弁１１０と流路形成板１４の接触部に隙間が生じ
ず、吸入口パイプ１５に接続されている薬液タンク圧力
により薬液がリークしない様な適当な接触圧力となる様
に、さらに、圧電アクチュエータ１１９に電圧印可し圧
電アクチュエータ１１９が縮んだ時に吸入弁１１０が接
合されているダイアフラム板１１６を持ち上げ、吸入弁
１１０と流路形成板１４の間に隙間を生じる様に組立時
に調整固定するためのものである。
【００１５】調整止めねじ１２４は、圧電アクチュエー
タ１２１に電圧印可されていない時に吐出弁１１１と流
路形成板１４の接触部に隙間が生じず薬液がリークせ
ず、さらに吐出口パイプ１６に接続されている医療用カ
テーテルから体液が逆流しない様な適当な接触圧力とな
る様に、さらに、圧電アクチュエータ１２１に電圧印可
し圧電アクチュエータ１２１が縮んだ時に、吐出弁１１
１が接合されているダイアフラム板１１６を持ち上げ、
吐出弁１１１と流路形成板１４の間に隙間を生じる様に
組立時に調整固定するためのものである。
タ１２１に電圧印可されていない時に吐出弁１１１と流
路形成板１４の接触部に隙間が生じず薬液がリークせ
ず、さらに吐出口パイプ１６に接続されている医療用カ
テーテルから体液が逆流しない様な適当な接触圧力とな
る様に、さらに、圧電アクチュエータ１２１に電圧印可
し圧電アクチュエータ１２１が縮んだ時に、吐出弁１１
１が接合されているダイアフラム板１１６を持ち上げ、
吐出弁１１１と流路形成板１４の間に隙間を生じる様に
組立時に調整固定するためのものである。
【００１６】圧電アクチュエータ１１９、１２０、１２
１は、積層型圧電アクチュエータである。調整止めねじ
１２３は、圧電アクチュエータ１２０に電圧印可されて
いない時にダイアフラム板１１６と流路形成板１４とで
形成されるポンプ室１１４のギャップが適正になる様に
組立時に調整固定するためのものである。
１は、積層型圧電アクチュエータである。調整止めねじ
１２３は、圧電アクチュエータ１２０に電圧印可されて
いない時にダイアフラム板１１６と流路形成板１４とで
形成されるポンプ室１１４のギャップが適正になる様に
組立時に調整固定するためのものである。
【００１７】次に、本発明による医療用流体ポンプの駆
動方法を図１により説明する。圧電アクチュエータ１１
９、１２０、１２１に電圧を印可していない状態が、本
発明の医療用流体ポンプの停止状態である。停止状態か
ら、圧電アクチュエータ１１９に、圧電アクチュエータ
１１９の縮む方向の電圧を印可し、吸入弁１１０を開
き、さらに圧電アクチュエータ１２０の縮む方向の電圧
を印可し、ダイアフラム板１１６を持ち上げ、ポンプ室
１１４の容積を膨張させ、薬液を流路孔１７を通じポン
プ室１１４に吸入する。次に圧電アクチュエータ１１９
の印可電圧を切り、吸入弁１１０を閉じる。次に、圧電
アクチュエータ１２１の縮む方向の電圧を印可し、吐出
弁１１１を開き、同時に圧電アクチュエータ１２０の伸
びる方向の電圧を印可し、ダイアフラム１１６が上方に
持ち上げられている状態から下方に押し下げ、ポンプ室
１１４内の薬液を流路孔１８を通じ強制排出する。次
に、圧電アクチュエータ１２１の電圧を切り吐出弁１１
１を閉じてから圧電アクチュエータ１２０の電圧を切
る。この一連の動作を１サイクルとする。
動方法を図１により説明する。圧電アクチュエータ１１
９、１２０、１２１に電圧を印可していない状態が、本
発明の医療用流体ポンプの停止状態である。停止状態か
ら、圧電アクチュエータ１１９に、圧電アクチュエータ
１１９の縮む方向の電圧を印可し、吸入弁１１０を開
き、さらに圧電アクチュエータ１２０の縮む方向の電圧
を印可し、ダイアフラム板１１６を持ち上げ、ポンプ室
１１４の容積を膨張させ、薬液を流路孔１７を通じポン
プ室１１４に吸入する。次に圧電アクチュエータ１１９
の印可電圧を切り、吸入弁１１０を閉じる。次に、圧電
アクチュエータ１２１の縮む方向の電圧を印可し、吐出
弁１１１を開き、同時に圧電アクチュエータ１２０の伸
びる方向の電圧を印可し、ダイアフラム１１６が上方に
持ち上げられている状態から下方に押し下げ、ポンプ室
１１４内の薬液を流路孔１８を通じ強制排出する。次
に、圧電アクチュエータ１２１の電圧を切り吐出弁１１
１を閉じてから圧電アクチュエータ１２０の電圧を切
る。この一連の動作を１サイクルとする。
【００１８】従来の実施例に対し、本発明の医療用流体
ポンプの特長の一つとして、吸入弁、吐出弁は能動型で
弁機能が確実に作用し、さらに薬液の漏れ、及び体液の
逆流を確実に防止出来ることにある。次に、本発明の医
療用流体ポンプを構成する個々の主要部品の説明をす
る。
ポンプの特長の一つとして、吸入弁、吐出弁は能動型で
弁機能が確実に作用し、さらに薬液の漏れ、及び体液の
逆流を確実に防止出来ることにある。次に、本発明の医
療用流体ポンプを構成する個々の主要部品の説明をす
る。
【００１９】ベース板１１は、ピン１２６が複数個打ち
込み固定された平板で厚さ０．５ｍｍ程度のチタン材で
ある。チタン材を使用する理由は、ベース板１１は流路
１２７を形成しており、強酸性、あるいは強アルカリ性
の薬液に対し、耐食性が要求されるためである。チタン
材は難加工材料に分類されるものであるが、この程度の
形状であれば、加工上問題はない。
込み固定された平板で厚さ０．５ｍｍ程度のチタン材で
ある。チタン材を使用する理由は、ベース板１１は流路
１２７を形成しており、強酸性、あるいは強アルカリ性
の薬液に対し、耐食性が要求されるためである。チタン
材は難加工材料に分類されるものであるが、この程度の
形状であれば、加工上問題はない。
【００２０】流路スペーサ板１２は、シリコンパッキン
１３の配設用異形窓１２８の２箇所とピン１２６が挿入
される複数の穴を有するだけの厚さ０．１ｍｍ程度のチ
タン材薄板であり、従来プレス機で容易に加工出来る。
この流路スペーサ板１２の機能は、流路形成板１４とベ
ース板１１により形成される流路１２７の寸法確保のた
めである。
１３の配設用異形窓１２８の２箇所とピン１２６が挿入
される複数の穴を有するだけの厚さ０．１ｍｍ程度のチ
タン材薄板であり、従来プレス機で容易に加工出来る。
この流路スペーサ板１２の機能は、流路形成板１４とベ
ース板１１により形成される流路１２７の寸法確保のた
めである。
【００２１】シリコンパッキン１３は、流路１２７から
薬液が漏液を防止するためのものであり、流路スペーサ
板の厚みに対し約３０％程度の厚み増としている。流路
形成板１４は流路孔１７、１８と吸入口パイプ１５、吐
出口パイプ１６、ピン１２６が挿入される複数の穴を有
する厚さ０．５程度のチタン平板である。
薬液が漏液を防止するためのものであり、流路スペーサ
板の厚みに対し約３０％程度の厚み増としている。流路
形成板１４は流路孔１７、１８と吸入口パイプ１５、吐
出口パイプ１６、ピン１２６が挿入される複数の穴を有
する厚さ０．５程度のチタン平板である。
【００２２】吸入口パイプ１５、吐出口パイプ１６の材
質もチタン材を使用する。ポンプ室形成板１９は、ポン
プ室１１４、吸入弁室１１３、吐出弁室１１５の窓を有
する厚さ０．１ｍｍ程度のチタン薄板である。シリコン
パッキン１１２は、ポンプ室形成板１９が内設する異形
窓を有するシリコンシート材であり、ポンプ室形成板１
９の板厚の１０〜３０％の厚みになっている。機能とし
ては、医療用流体ポンプ外部への漏液防止である。
質もチタン材を使用する。ポンプ室形成板１９は、ポン
プ室１１４、吸入弁室１１３、吐出弁室１１５の窓を有
する厚さ０．１ｍｍ程度のチタン薄板である。シリコン
パッキン１１２は、ポンプ室形成板１９が内設する異形
窓を有するシリコンシート材であり、ポンプ室形成板１
９の板厚の１０〜３０％の厚みになっている。機能とし
ては、医療用流体ポンプ外部への漏液防止である。
【００２３】吸入弁１１０、および吐出弁１１１の形成
方法の一実施例としては、ダイアフラム板１１６の片側
表面にポリイミドをコーテングし、焼き付け、露光、現
像を経てエッチングにより吸入弁１１０、吐出弁１１１
の必要形状を形成する。他の弁形成方法として、蒸着装
置でＳｉ膜あるいは金属膜を厚膜蒸着する方法も可能で
ある。
方法の一実施例としては、ダイアフラム板１１６の片側
表面にポリイミドをコーテングし、焼き付け、露光、現
像を経てエッチングにより吸入弁１１０、吐出弁１１１
の必要形状を形成する。他の弁形成方法として、蒸着装
置でＳｉ膜あるいは金属膜を厚膜蒸着する方法も可能で
ある。
【００２４】ダイアフラム押さえ板１１７は、ポンプ室
１１４、吸入弁室１１３、吐出弁室１１５の上部で可動
するダイアフラム板１１６の可動部の支持点固定を確実
にするため、ダイアフラム板１１６をポンプ室形成板１
９とではさみこむ様になっている。ダイアフラム押さえ
板１１７は直接薬液と接触しないのでステンレス材を採
用している。
１１４、吸入弁室１１３、吐出弁室１１５の上部で可動
するダイアフラム板１１６の可動部の支持点固定を確実
にするため、ダイアフラム板１１６をポンプ室形成板１
９とではさみこむ様になっている。ダイアフラム押さえ
板１１７は直接薬液と接触しないのでステンレス材を採
用している。
【００２５】ケース１１８は、医療用流体ポンプを体内
に埋め込んだ場合、圧電アクチュエータ１１９、１２
０、１２１の耐防水性、耐湿性のためである。 （２）第二実施例 本発明の第二実施例を図３に基づいて説明する。
に埋め込んだ場合、圧電アクチュエータ１１９、１２
０、１２１の耐防水性、耐湿性のためである。 （２）第二実施例 本発明の第二実施例を図３に基づいて説明する。
【００２６】図３において、吸入口パイプ３５、吐出口
パイプ３６はベース板３１に打ち込み固定されている。
この構造は、薬液タンクがベース板３１側に配設される
場合に有効である。その他、吐出口パイプ３６について
は、第一実施例と同じように配設することも可能であ
る。
パイプ３６はベース板３１に打ち込み固定されている。
この構造は、薬液タンクがベース板３１側に配設される
場合に有効である。その他、吐出口パイプ３６について
は、第一実施例と同じように配設することも可能であ
る。
【００２７】尚、３１０は吸入弁、３１１は吐出弁、３
１３は吸入弁室、３１４はポンプ室、３１５は吐出弁
室、３１６はダイアフラム板、３１７はダイアフラム押
さえ板、３１８はケースである。
１３は吸入弁室、３１４はポンプ室、３１５は吐出弁
室、３１６はダイアフラム板、３１７はダイアフラム押
さえ板、３１８はケースである。
【００２８】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の医療用流体
ポンプはの主要部品は、形状が簡単な薄板で構成され、
従来機械加工工程で実現可能となった。このことによ
り、半導体プロセス等の大がかりな設備が不要となっ
た。
ポンプはの主要部品は、形状が簡単な薄板で構成され、
従来機械加工工程で実現可能となった。このことによ
り、半導体プロセス等の大がかりな設備が不要となっ
た。
【００２９】さらに、吸入弁、吐出弁は積層型圧電アク
チュエータで駆動する能動型弁であるため弁圧力が大き
く出来、確実な動作が保障され、ポンプ機能および漏液
性の信頼性が向上した。
チュエータで駆動する能動型弁であるため弁圧力が大き
く出来、確実な動作が保障され、ポンプ機能および漏液
性の信頼性が向上した。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の図２のＡ−Ａ´線に沿った組立断面図
である。
である。
【図２】本発明の主要部の平面透視図である。
【図３】本発明の第二の実施例の組立断面図である。
【図４】従来の第一の実施例の平面図である。
【図５】図４のＢーＢ´線に沿った断面図である。
【図６】図７のＣーＣ´線に沿った断面図である。
【図７】従来の第二の実施例の主要部の平面図である。
１１、３１ ベース板 １２、３２ 流路スペーサ板 １３、１１２、３３、３１２ シリコンパッキン １４、３４ 流路形成板 １５、３５ 吸入口パイプ １６、３６ 吐出口パイプ １７、１８、３７、３８ 流路孔 １９、３９ ポンプ室形成板 ４１ ステッピングモータ ４２ 作動レバー ４３ ローラ ４４ チューブ ６５ 弁 ６６ ダイアフラム ６９ 上ガラス板 １１０、３１０ 吸入弁 １１１、３１１ 吐出弁 １１３、３１３ 吸入弁室 １１４、３１４ ポンプ室 １１５、３１５ 吐出弁室 １１６、３１６ ダイアフラム板 １１７、３１７ ダイアフラム押さえ板 １１８、３１８、４５ ケース １１９、１２０、１２１、３１９、３２０、３２１ 圧
電アクチュエータ １２２、１２３、１２４、３２２、３２３、３２４ 調
整止めねじ １２５、３２５ 止めねじ １２６ ピン １２７、６１１ 流路 ６１０ 下ガラス板 ６１２ 圧力室 ６１３ 供給口 ６１４ 吐出口 ６１５ 供給チューブ ６１６ 吐出チューブ ６１７ 圧電素子板 ６１８ 孔
電アクチュエータ １２２、１２３、１２４、３２２、３２３、３２４ 調
整止めねじ １２５、３２５ 止めねじ １２６ ピン １２７、６１１ 流路 ６１０ 下ガラス板 ６１２ 圧力室 ６１３ 供給口 ６１４ 吐出口 ６１５ 供給チューブ ６１６ 吐出チューブ ６１７ 圧電素子板 ６１８ 孔
Claims (8)
- 【請求項１】 ピン１２６が打ち込み固定されたベース
板１１、シリコンパッキン１３がはめ込まれた流路スペ
ーサ板１２、流路孔１８が形成され、さらに吸入口パイ
プ１５、吐出口パイプ１６が打ち込み接合された流路形
成板１４、ポンプ室形成板１９、シリコンパッキン１１
２、吸入弁１１０、吐出弁１１１が接合されたダイアフ
ラム板１１６、圧電アクチュエータ１１９、１２０、１
２１、ダイアフラム押さえ板１１７、ケース１１８を配
し、止めねじ１２５で締結固定された医療用流体ポン
プ。 - 【請求項２】 請求項１の医療用流体ポンプにおいて、
ベース板１１、流路スペーサ板１２、流路形成板１４、
ポンプ室形成板１９、吸入口パイプ１５、吐出口パイプ
１６、ダイアフラム板１１６は、チタン材で構成したこ
とを特徴とする医療用流体ポンプ。 - 【請求項３】 吸入弁１１０、吐出弁１１１はダイアフ
ラム板１１６に高分子材料をラミネート処理、焼き付
け、露光、エッチング処理により形成することを特徴と
する請求項１の医療用流体ポンプ。 - 【請求項４】 吸入弁１１０、吐出弁１１１はＳｉ厚膜
蒸着で形成することを特徴とする請求項１の医療用流体
ポンプ。 - 【請求項５】 吸入弁１１０、吐出弁１１１は、金属厚
膜蒸着で形成することを特徴とする請求項１の医療用流
体ポンプ - 【請求項６】 吸入口パイプ３５、吐出口パイプ３６の
両方、あるいは吸入パイプ３５のみ、あるいは吐出口パ
イプ３６のみを、ベース板３１に打ち込み接合したこと
を特徴とする請求項１の医療用流体ポンプ。 - 【請求項７】 吸入弁１１０および吐出弁１１１の開閉
制御を圧電アクチュエータ１１９、１２１、で能動的に
行う請求項１の医療用流体ポンプ。 - 【請求項８】 圧電アクチュエータ１１９、１２０、１
２１の取付調整を調整止めねじ１２２、１２３、１２４
で行うことを特徴とする請求項１の医療用流体ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7173815A JPH0925878A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | 医療用流体ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7173815A JPH0925878A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | 医療用流体ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0925878A true JPH0925878A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=15967675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7173815A Pending JPH0925878A (ja) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | 医療用流体ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0925878A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005059157A (ja) * | 2003-08-14 | 2005-03-10 | Kobe Steel Ltd | 接続装置及びその製造方法、並びにこの接続装置を備えたマイクロ流体装置及びマイクロ流体デバイスの集積方法 |
| US7749444B2 (en) | 2004-05-13 | 2010-07-06 | Konica Minolta Sensing, Inc. | Microfluidic device, method for testing reagent and system for testing reagent |
-
1995
- 1995-07-10 JP JP7173815A patent/JPH0925878A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005059157A (ja) * | 2003-08-14 | 2005-03-10 | Kobe Steel Ltd | 接続装置及びその製造方法、並びにこの接続装置を備えたマイクロ流体装置及びマイクロ流体デバイスの集積方法 |
| US7749444B2 (en) | 2004-05-13 | 2010-07-06 | Konica Minolta Sensing, Inc. | Microfluidic device, method for testing reagent and system for testing reagent |
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