JPH0924359A - 生ゴミ処理装置 - Google Patents
生ゴミ処理装置Info
- Publication number
- JPH0924359A JPH0924359A JP7200568A JP20056895A JPH0924359A JP H0924359 A JPH0924359 A JP H0924359A JP 7200568 A JP7200568 A JP 7200568A JP 20056895 A JP20056895 A JP 20056895A JP H0924359 A JPH0924359 A JP H0924359A
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- JP
- Japan
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- stirring blade
- stirring
- container
- medium
- handle
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- Pending
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- Mixers Of The Rotary Stirring Type (AREA)
- Processing Of Solid Wastes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 撹拌羽根を簡単な形状で形成して成形を容易
にするとともに手動撹拌が容易で駆動系を排除できる生
ゴミ処理装置を提供することを目的とする。 【構成】 ハンドル12によって回転される撹拌翼15
を回転軸16と撹拌羽根17で構成し、該撹拌羽根17
を回転軸16に対して垂直で且つ幅方向が軸方向と直交
するように取り付けた。
にするとともに手動撹拌が容易で駆動系を排除できる生
ゴミ処理装置を提供することを目的とする。 【構成】 ハンドル12によって回転される撹拌翼15
を回転軸16と撹拌羽根17で構成し、該撹拌羽根17
を回転軸16に対して垂直で且つ幅方向が軸方向と直交
するように取り付けた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、台所等で発生した生ゴ
ミを各家庭で処理するための生ゴミ処理装置に関するも
ので、特にバクテリア等の微生物により生ゴミを発酵分
解して処理するタイプの装置に関する。
ミを各家庭で処理するための生ゴミ処理装置に関するも
ので、特にバクテリア等の微生物により生ゴミを発酵分
解して処理するタイプの装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、家庭で発生した生ゴミを各家庭で
処理する装置の需要が高まり、各種の生ゴミ処理装置が
提案されている。中でもバクテリア等の微生物の力を借
りて生ゴミを発酵分解し、分解後のゴミを堆肥化する装
置が多く実施されている。一般にこの種の装置では、発
酵に伴う悪臭の発生が少ないことから好気性菌を用いた
好気性発酵が採用されており、この好気性菌が培養しや
すいような環境の培地を作るために、撹拌手段,加熱手
段,送気手段を装備して、水分調整,温度調整,酸素供
給を行なうようになっている。
処理する装置の需要が高まり、各種の生ゴミ処理装置が
提案されている。中でもバクテリア等の微生物の力を借
りて生ゴミを発酵分解し、分解後のゴミを堆肥化する装
置が多く実施されている。一般にこの種の装置では、発
酵に伴う悪臭の発生が少ないことから好気性菌を用いた
好気性発酵が採用されており、この好気性菌が培養しや
すいような環境の培地を作るために、撹拌手段,加熱手
段,送気手段を装備して、水分調整,温度調整,酸素供
給を行なうようになっている。
【0003】このうち、培地を撹拌することは、投入さ
れた生ゴミを培地内に混合する,培地内を流動して空気
を供給し好気性菌の活動を活性化する,発酵分解時に菌
が排出する水分により培地が凝固するのを防ぐ等の目的
がある。
れた生ゴミを培地内に混合する,培地内を流動して空気
を供給し好気性菌の活動を活性化する,発酵分解時に菌
が排出する水分により培地が凝固するのを防ぐ等の目的
がある。
【0004】従来の撹拌手段としては、特開平6−29
6947号等に示されるように、容器内に配置された撹
拌翼をモータにより回転駆動する構造になっている。ま
た、撹拌翼に形成される撹拌羽根は、回転方向に先端を
湾曲した形状で、回転軸に螺旋状に取り付けられてい
る。これにより投入された生ゴミを粉砕して細分化する
効果も期待できるものである。
6947号等に示されるように、容器内に配置された撹
拌翼をモータにより回転駆動する構造になっている。ま
た、撹拌翼に形成される撹拌羽根は、回転方向に先端を
湾曲した形状で、回転軸に螺旋状に取り付けられてい
る。これにより投入された生ゴミを粉砕して細分化する
効果も期待できるものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
装置では、撹拌翼を回転するための駆動系が必要とな
り、コストアップが懸念される。また、このような形状
の撹拌羽根であると、生ゴミを噛み込みながら回転する
ので撹拌抵抗が大きくなり、また羽根自体が重たいため
手動回転するには多大な労力が必要となる。更に、羽根
の形状が複雑であり、成形上のコストも高くなるという
問題を有している。そこで、本発明は極めて単純な撹拌
羽根の形状により撹拌の目的を達成し、手動回転による
撹拌動作が容易に行なえ、しかもコストアップにならな
い生ゴミ処理装置を提供することを目的とするものであ
る。
装置では、撹拌翼を回転するための駆動系が必要とな
り、コストアップが懸念される。また、このような形状
の撹拌羽根であると、生ゴミを噛み込みながら回転する
ので撹拌抵抗が大きくなり、また羽根自体が重たいため
手動回転するには多大な労力が必要となる。更に、羽根
の形状が複雑であり、成形上のコストも高くなるという
問題を有している。そこで、本発明は極めて単純な撹拌
羽根の形状により撹拌の目的を達成し、手動回転による
撹拌動作が容易に行なえ、しかもコストアップにならな
い生ゴミ処理装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために本発明は、生ゴミが投入される処理容器と、該
容器内に形成される培地を撹拌する撹拌翼と、該撹拌翼
を回転駆動するハンドルとを備え、前記撹拌翼は前記ハ
ンドルにより回転する回転軸と、該回転軸の周面に複数
備えられる短冊薄板状の撹拌羽根からなり、該撹拌羽根
を回転軸に対して垂直で且つ幅方向が軸方向と直交する
ように形成したものである。
るために本発明は、生ゴミが投入される処理容器と、該
容器内に形成される培地を撹拌する撹拌翼と、該撹拌翼
を回転駆動するハンドルとを備え、前記撹拌翼は前記ハ
ンドルにより回転する回転軸と、該回転軸の周面に複数
備えられる短冊薄板状の撹拌羽根からなり、該撹拌羽根
を回転軸に対して垂直で且つ幅方向が軸方向と直交する
ように形成したものである。
【0007】
【作用】本発明によれば、撹拌翼をハンドルにより手動
回転させると、撹拌羽根によって培地内が撹拌され、投
入された生ゴミが培地と混合される。この時、短冊薄板
状の撹拌羽根の回転方向は、培地に対して接触面積の小
さい肉厚面になるので手動による撹拌も比較的容易に行
なうことできる。また、撹拌羽根は薄いステンレス板で
形成されているので、例えばスイカの皮のように大きく
て固いものは裁断されて培地内に混合され、キャベツの
葉のように薄くて軽いものは撹拌羽根に絡んで培地の撹
拌を助成するように作用する。更に撹拌羽根にゴミ等が
絡んだままになっても回転に方向性がないので、逆回転
させることで簡単に取り除くことができ、しかもどちら
に回転させても全く同じ撹拌が行なわれる。
回転させると、撹拌羽根によって培地内が撹拌され、投
入された生ゴミが培地と混合される。この時、短冊薄板
状の撹拌羽根の回転方向は、培地に対して接触面積の小
さい肉厚面になるので手動による撹拌も比較的容易に行
なうことできる。また、撹拌羽根は薄いステンレス板で
形成されているので、例えばスイカの皮のように大きく
て固いものは裁断されて培地内に混合され、キャベツの
葉のように薄くて軽いものは撹拌羽根に絡んで培地の撹
拌を助成するように作用する。更に撹拌羽根にゴミ等が
絡んだままになっても回転に方向性がないので、逆回転
させることで簡単に取り除くことができ、しかもどちら
に回転させても全く同じ撹拌が行なわれる。
【0008】
【実施例】以下、図面を用いて本発明一実施例について
説明する。図1,2において、1は上面を開口した箱型
の処理装置本体、2は該本体1の上面を閉塞する蓋部
材、3は本体1の内部に着脱自在に装着される処理容器
である。
説明する。図1,2において、1は上面を開口した箱型
の処理装置本体、2は該本体1の上面を閉塞する蓋部
材、3は本体1の内部に着脱自在に装着される処理容器
である。
【0009】蓋部材2は、排気孔4を有する固着部2a
と、該固着部2aに対して開閉自在に取り付けられる開
閉部2bから形成されており、開閉部2bは処理容器3
からの蒸気が結露水となって再び容器内に垂れることが
ないように前方に向かって傾斜した形状になっている。
また、固着部2aはフック等の係止手段によって本体1
に取り付けられており、処理容器3を本体1から取り出
す場合には、この固着部2aを外して蓋部材2を取り除
いてから行なわれる。
と、該固着部2aに対して開閉自在に取り付けられる開
閉部2bから形成されており、開閉部2bは処理容器3
からの蒸気が結露水となって再び容器内に垂れることが
ないように前方に向かって傾斜した形状になっている。
また、固着部2aはフック等の係止手段によって本体1
に取り付けられており、処理容器3を本体1から取り出
す場合には、この固着部2aを外して蓋部材2を取り除
いてから行なわれる。
【0010】処理容器3には、内部に好気性菌が培養す
る培地が収納される。本実施例では、培地として繊維質
で空気の流通性,菌の培養性に優れたピートモスを採用
している。容器3の底部中央には通気孔5が穿設され、
後述するヒータで加熱された空気が容器内に供給され、
培地の温度調整及び酸素の供給が行なわれるようになっ
ている。
る培地が収納される。本実施例では、培地として繊維質
で空気の流通性,菌の培養性に優れたピートモスを採用
している。容器3の底部中央には通気孔5が穿設され、
後述するヒータで加熱された空気が容器内に供給され、
培地の温度調整及び酸素の供給が行なわれるようになっ
ている。
【0011】6は本体1内底部で容器3の下方に備えら
れ、上面に通気孔7を開口した加熱ボックス、8は該ボ
ックス6に支持されて水平に取り付けられるヒータであ
る。ヒータ8は容器3を間接的に加温し、生ゴミの水分
や微生物の発酵分解によって生じた水分を蒸発したり、
培地の温度調整,暖気の上昇に伴う酸素供給の役割を果
たすものである。
れ、上面に通気孔7を開口した加熱ボックス、8は該ボ
ックス6に支持されて水平に取り付けられるヒータであ
る。ヒータ8は容器3を間接的に加温し、生ゴミの水分
や微生物の発酵分解によって生じた水分を蒸発したり、
培地の温度調整,暖気の上昇に伴う酸素供給の役割を果
たすものである。
【0012】9は容器3の底面に対して隙間S1が生じ
るように取り付けられる底部プレート、10,11は容
器3の両内側面に対して隙間S2が生じるように取り付
けられる側部プレートで、いずれもメッシュ状のパンチ
ングプレートで形成されている。よって容器内に収容さ
れる培地(ピートモス)は実質このプレート9,10,
11内に納められることになるので、各プレートは培地
がこぼれにくく、目詰まりを起こさないφ2mm,ピッ
チ3.5mm程度が好ましい。
るように取り付けられる底部プレート、10,11は容
器3の両内側面に対して隙間S2が生じるように取り付
けられる側部プレートで、いずれもメッシュ状のパンチ
ングプレートで形成されている。よって容器内に収容さ
れる培地(ピートモス)は実質このプレート9,10,
11内に納められることになるので、各プレートは培地
がこぼれにくく、目詰まりを起こさないφ2mm,ピッ
チ3.5mm程度が好ましい。
【0013】12は装置本体1の前面に取り付けられ起
倒自在に設けた把手13において手動回転されるハンド
ル、14は該ハンドル12の回転軸に取り付けられる従
動カップリングである。15は容器3内に収容される培
地を撹拌する撹拌翼で、容器3の内部において容器3の
前後方向を貫通するように配設される回転軸16と、該
回転軸16の周りに形成される撹拌羽根17から構成さ
れている。尚、撹拌翼15の材料として、軽量で耐久
性,防錆性に優れたステンレスで、厚さが3mm程度の
ものを採用している。
倒自在に設けた把手13において手動回転されるハンド
ル、14は該ハンドル12の回転軸に取り付けられる従
動カップリングである。15は容器3内に収容される培
地を撹拌する撹拌翼で、容器3の内部において容器3の
前後方向を貫通するように配設される回転軸16と、該
回転軸16の周りに形成される撹拌羽根17から構成さ
れている。尚、撹拌翼15の材料として、軽量で耐久
性,防錆性に優れたステンレスで、厚さが3mm程度の
ものを採用している。
【0014】回転軸16は、前端部に前記ハンドル12
の従動カップリング14と嵌合する受動カップリング1
8が設けられ、その後端部は軸受19により回動自在に
軸支されている。撹拌羽根17は、図3に示すように短
冊状の薄い平板により形成され、幅方向が回転軸16の
軸方向と直交するように回転軸上に垂設されるととも
に、それぞれが120°ずれるように適宜間隔を有した
状態で回転軸上に3体取り付けられる。撹拌羽根17の
先端部には、幅側に切欠部20が形成されており、撹拌
時に比較的大きな生ゴミに対して裁断効果を生じるとと
もに、キャベツの葉等の場合はこの切欠部20に絡まっ
て共周りし、培地を広範囲に撹拌する相乗効果を生じ
る。
の従動カップリング14と嵌合する受動カップリング1
8が設けられ、その後端部は軸受19により回動自在に
軸支されている。撹拌羽根17は、図3に示すように短
冊状の薄い平板により形成され、幅方向が回転軸16の
軸方向と直交するように回転軸上に垂設されるととも
に、それぞれが120°ずれるように適宜間隔を有した
状態で回転軸上に3体取り付けられる。撹拌羽根17の
先端部には、幅側に切欠部20が形成されており、撹拌
時に比較的大きな生ゴミに対して裁断効果を生じるとと
もに、キャベツの葉等の場合はこの切欠部20に絡まっ
て共周りし、培地を広範囲に撹拌する相乗効果を生じ
る。
【0015】従動カップリング14は、正方板の4隅か
ら嵌合凸部21が突設した形状をなし、受動カップリン
グ15は、円板上に嵌合孔22が穿設された形状をな
し、両者はこの嵌合凸部21及び嵌合孔22により合致
し、ハンドル12の中心部から貫通するねじ部材23で
固定されている。従って、ねじ部材23を外しハンドル
12を前方に引き出すことで、両者の嵌合状態を解除す
ることができるので、容器3を本体1から取り出すこと
が可能となる。
ら嵌合凸部21が突設した形状をなし、受動カップリン
グ15は、円板上に嵌合孔22が穿設された形状をな
し、両者はこの嵌合凸部21及び嵌合孔22により合致
し、ハンドル12の中心部から貫通するねじ部材23で
固定されている。従って、ねじ部材23を外しハンドル
12を前方に引き出すことで、両者の嵌合状態を解除す
ることができるので、容器3を本体1から取り出すこと
が可能となる。
【0016】続いて、上記実施例の使用法ならびに動作
について説明する。まず、プレート9,10,11より
容器3内に形成された区域に培地となるピートモスを入
れ、好気性菌の粉末を適量投入する。その後ハンドル1
2により撹拌翼15を回転し、ピートモスに好気性菌を
なじませる。初回の生ゴミが投入された後は、菌の活動
が活発化するまでヒータ8を駆動して培地内の温度を上
昇させ、再度ハンドル12を回して培地と生ゴミを混合
する。すると、菌は2〜3日で培養し、活発な発酵分解
を始める。
について説明する。まず、プレート9,10,11より
容器3内に形成された区域に培地となるピートモスを入
れ、好気性菌の粉末を適量投入する。その後ハンドル1
2により撹拌翼15を回転し、ピートモスに好気性菌を
なじませる。初回の生ゴミが投入された後は、菌の活動
が活発化するまでヒータ8を駆動して培地内の温度を上
昇させ、再度ハンドル12を回して培地と生ゴミを混合
する。すると、菌は2〜3日で培養し、活発な発酵分解
を始める。
【0017】ヒータ8により発生した暖気は、加熱ボッ
クス6の通気孔7から容器3の底面に開口した通気孔5
から導入され、底部プレート9を通じて培地に供給され
ることとなり、好気性菌が活動するのに必要な温度と酸
素が確保される。投入された生ゴミは、これら好気性菌
によってその有機質分が炭酸ガスと水とに発酵分解さ
れ、暖気と菌の発酵熱によってその水分が蒸気として排
出される。ここで発生した蒸気は、蓋部材2の固着部2
aに設けた排気孔4から外部に排出され、その一部が蓋
部材2の開閉部2b内面に結露し、開閉部2bの傾斜に
沿って排出されることになる。
クス6の通気孔7から容器3の底面に開口した通気孔5
から導入され、底部プレート9を通じて培地に供給され
ることとなり、好気性菌が活動するのに必要な温度と酸
素が確保される。投入された生ゴミは、これら好気性菌
によってその有機質分が炭酸ガスと水とに発酵分解さ
れ、暖気と菌の発酵熱によってその水分が蒸気として排
出される。ここで発生した蒸気は、蓋部材2の固着部2
aに設けた排気孔4から外部に排出され、その一部が蓋
部材2の開閉部2b内面に結露し、開閉部2bの傾斜に
沿って排出されることになる。
【0018】また、ヒータによる暖気は、底部プレート
9から側部プレート10,11と容器側面との隙間S2
にも供給され、容器3側面からの放熱が防止され保温効
果が期待できる。また、側部プレート10,11からの
暖気供給と培地からの排気により対流が生じ、この付近
での菌の活動も活発化することになる。培地と各プレー
ト9,10,11との接触面積が少ないので、空気の流
通が阻害されたり、結露して固化したりすることがな
く、菌の活動はどの部分においても行なわれるものであ
る。
9から側部プレート10,11と容器側面との隙間S2
にも供給され、容器3側面からの放熱が防止され保温効
果が期待できる。また、側部プレート10,11からの
暖気供給と培地からの排気により対流が生じ、この付近
での菌の活動も活発化することになる。培地と各プレー
ト9,10,11との接触面積が少ないので、空気の流
通が阻害されたり、結露して固化したりすることがな
く、菌の活動はどの部分においても行なわれるものであ
る。
【0019】ハンドル12の回転に伴う撹拌動作は、ゴ
ミを投入する毎に行なう必要がある。これは、投入され
た生ゴミを培地内に混合するため,培地内に酸素を供給
し通気性を確保するため,水分による培地の凝固を防ぐ
ためである。この時、本発明のであれば、撹拌翼15の
撹拌羽根17は、極めて撹拌抵抗の小さい短冊薄板状に
形成されているため、手動回転により容易に撹拌するこ
とができる。しかも培地にピートモスを使用しているの
でゴミの沈み込みがよいため、15回程度の回転で十分
撹拌の目的は達成される。
ミを投入する毎に行なう必要がある。これは、投入され
た生ゴミを培地内に混合するため,培地内に酸素を供給
し通気性を確保するため,水分による培地の凝固を防ぐ
ためである。この時、本発明のであれば、撹拌翼15の
撹拌羽根17は、極めて撹拌抵抗の小さい短冊薄板状に
形成されているため、手動回転により容易に撹拌するこ
とができる。しかも培地にピートモスを使用しているの
でゴミの沈み込みがよいため、15回程度の回転で十分
撹拌の目的は達成される。
【0020】このように本発明では、ヒータとパンチン
グプレートを配するだけで、好気性菌の発酵に必要な水
分調整,温度調整及び酸素供給がスムーズに行なえ、き
わめて単純で安価な構成により最適な生ゴミ処理が行な
えるものである。すなわち、ヒータでは暖気供給に伴う
対流の発生で除水性,通気性の向上が図られ、パンチン
グプレートでは菌が活動しにくい容器の接触面での酸素
の流通,水分の除去が行なわれるようになるため生ゴミ
の処理速度も早まり、培地の交換時期を延ばすことがで
きるのである。
グプレートを配するだけで、好気性菌の発酵に必要な水
分調整,温度調整及び酸素供給がスムーズに行なえ、き
わめて単純で安価な構成により最適な生ゴミ処理が行な
えるものである。すなわち、ヒータでは暖気供給に伴う
対流の発生で除水性,通気性の向上が図られ、パンチン
グプレートでは菌が活動しにくい容器の接触面での酸素
の流通,水分の除去が行なわれるようになるため生ゴミ
の処理速度も早まり、培地の交換時期を延ばすことがで
きるのである。
【0021】また、撹拌翼15は軽量で簡単な形状であ
るから、撹拌時の労力が小さくてすみ、容器3も取り出
し易く、培地の排出も簡単に行なえるものである。
るから、撹拌時の労力が小さくてすみ、容器3も取り出
し易く、培地の排出も簡単に行なえるものである。
【0022】尚、この装置で更に良好な発酵分解を行な
わせる為に、本体1の前面を除いた3面に断熱材を設
け、容器3の保温性を向上させるようにしてもよい。ま
た、ヒータの省力化を図るために外気温或いは容器温度
を検出して、低温時はヒータ全通電,適温時はヒータ半
通電,高温時はヒータ停止等のように通電制御するのが
望ましく、季節によっての発酵のバラツキも解消され
る。
わせる為に、本体1の前面を除いた3面に断熱材を設
け、容器3の保温性を向上させるようにしてもよい。ま
た、ヒータの省力化を図るために外気温或いは容器温度
を検出して、低温時はヒータ全通電,適温時はヒータ半
通電,高温時はヒータ停止等のように通電制御するのが
望ましく、季節によっての発酵のバラツキも解消され
る。
【0023】
【発明の効果】以上のように本発明は、撹拌翼はハンド
ルにより回転する回転軸と、該回転軸の周面に複数備え
られる短冊薄板状の撹拌羽根からなり、該撹拌羽根を回
転軸に対して垂直で且つ幅方向が軸方向と直交するよう
に形成したものであるから、撹拌抵抗が小さく、手動に
よる撹拌作業を容易に行なうことができる。また、形状
が簡素であるから成形が容易でコストアップにならな
い。
ルにより回転する回転軸と、該回転軸の周面に複数備え
られる短冊薄板状の撹拌羽根からなり、該撹拌羽根を回
転軸に対して垂直で且つ幅方向が軸方向と直交するよう
に形成したものであるから、撹拌抵抗が小さく、手動に
よる撹拌作業を容易に行なうことができる。また、形状
が簡素であるから成形が容易でコストアップにならな
い。
【図1】本発明一実施例の生ゴミ処理装置を示す側部断
面図である。
面図である。
【図2】同装置の正面部断面図である。
【図3】同装置のハンドル及び撹拌翼を示す説明図であ
る。
る。
3 処理容器 12 ハンドル 15 撹拌翼 16 回転軸 17 撹拌羽根
Claims (1)
- 【請求項1】 生ゴミが投入される処理容器と、該容器
内に形成される培地を撹拌する撹拌翼と、該撹拌翼を回
転駆動するハンドルとを備え、前記撹拌翼は前記ハンド
ルにより回転する回転軸と、該回転軸の周面に複数備え
られる短冊薄板状の撹拌羽根からなり、該撹拌羽根を回
転軸に対して垂直で且つ幅方向が軸方向と直交するよう
に形成したことを特徴とする生ゴミ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7200568A JPH0924359A (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 生ゴミ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7200568A JPH0924359A (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 生ゴミ処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0924359A true JPH0924359A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=16426495
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7200568A Pending JPH0924359A (ja) | 1995-07-12 | 1995-07-12 | 生ゴミ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0924359A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002038297A1 (fr) * | 2000-11-09 | 2002-05-16 | Daihatsu Diesel Mfg. Co., Ltd. | Equipement d'elimination des dechets |
US6712928B2 (en) | 2000-08-07 | 2004-03-30 | Hitachi, Ltd. | Method and its apparatus for detecting floating particles in a plasma processing chamber and an apparatus for processing a semiconductor device |
-
1995
- 1995-07-12 JP JP7200568A patent/JPH0924359A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6712928B2 (en) | 2000-08-07 | 2004-03-30 | Hitachi, Ltd. | Method and its apparatus for detecting floating particles in a plasma processing chamber and an apparatus for processing a semiconductor device |
WO2002038297A1 (fr) * | 2000-11-09 | 2002-05-16 | Daihatsu Diesel Mfg. Co., Ltd. | Equipement d'elimination des dechets |
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