JPH09248739A

JPH09248739A - 稼働状況監視装置

Info

Publication number: JPH09248739A
Application number: JP5813396A
Authority: JP
Inventors: Shinichiro Yamamoto; 真一郎山元; Norio Maru; 典生丸; Takayuki Inoue; 隆行井上; Harumichi Yoshino; 晴通吉野
Original assignee: Hitachi Device Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Japan Display Inc
Priority date: 1996-03-14
Filing date: 1996-03-14
Publication date: 1997-09-22

Abstract

(57)【要約】【課題】ホストコンピュータにかかる負荷を低減させ
ると共に、装置の規模を小さくできる稼働状況監視装置
を提供すること。【解決手段】検査装置、計測装置および加工装置から
なる製造装置の複数台からなる製造ライン装置の稼働状
況を監視する稼働状況監視装置であって、前記製造装置
毎に設置され、該製造装置の稼働状況に関する情報を収
集する情報収集手段と、該情報収集手段に内蔵される前
記各製造装置の稼働状況デジタル情報を所定のデジタル
信号に変換するデジタル信号変換手段と、所定の台数の
情報収集手段毎に設置され、前記各情報収集手段が収集
した情報を収集および解析し、該解析した情報に基づい
て前記複数台の装置の稼働状況を管理および監視する第
１の監視手段と、該第１の監視手段が解析した情報を収
集し、前記製造ライン装置の稼働状況を監視する第２の
監視手段とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、稼働状況監視装置
に関し、特に、液晶基板を製造するための製造ライン装
置の各製造装置の稼働状況を監視するための稼働状況監
視装置に適用して有効な技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の稼働状況監視装置は、たとえば、
図８に示す液晶表示パネルの製造ライン装置のように、
液晶表示パネルを製造するための装置である製造装置Ａ
（１２）、製造装置Ｂ（１３）および製造装置Ｃ（１
４）と、これら各製造装置Ａ〜Ｃ（１２）〜（１４）毎
に取り付けられており、取り付けられた製造装置の稼働
状況の情報（データ）を収集する計測装置１１と、各計
測装置１１が収集した製造装置の稼働状況を収集し編集
した結果に基づいて、製造装置Ａ〜Ｃ（１２）〜（１
４）を管理および監視するホストコンピュータ１０とか
ら構成されていた。

【０００３】このとき、製造装置Ａ（１２）からは、た
とえば、稼働状況の情報として、接点データに関する情
報が１６ビットのデジタル信号で出力されていた。

【０００４】また、製造装置Ｂ（１３）からは、たとえ
ば、稼働状況の情報がアナログ信号で、製造装置Ｃ（１
４）からは稼働状況の情報が８ビットのデジタル信号で
出力されていた。

【０００５】したがって、従来の稼働状況監視装置で
は、製造ライン装置の各製造装置である製造装置Ａ〜Ｃ
（１２）〜（１４）毎に、それぞれの製造装置Ａ〜Ｃ
（１２）〜（１４）の稼働状況の情報の信号に適合する
データ入力と共に、製造装置Ａ〜Ｃ（１２）〜（１４）
から収集した稼働状況をホストコンピュータ１０に送信
するための通信手段とが必要であった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前記従来
技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。

【０００７】従来の稼働状況監視装置では、製造ライン
装置の製造装置Ａ〜Ｃ（１２）〜（１４）に設置した計
測装置１１から送信された稼働状況をホストコンピュー
タ１０が収集し編集しなければならなかったので、ホス
トコンピュータ１０にかかる負荷が大きくなってしまう
という問題があった。

【０００８】また、工場内の広範囲に設置される製造装
置の稼働状況を集中的に管理するためには、各製造装置
ごとに計測装置１１を設置する必要がある、すなわち、
監視対象とする製造装置と同じ台数の計測装置１１を設
置する必要があると共に、これら計測装置１１とホスト
コンピュータ１０とを接続するためのＬＡＮ（Ｌｏｃａ
ｌＡｒｅａＮｅｔｗｏｒｋ）等が必要となるので、
稼働状況監視装置の規模が大きくなってしまうという問
題があった。

【０００９】計測装置１１は設置された製造装置の稼働
状況を一方的に収集するのみであったため、たとえば、
製造装置を制御している制御装置に異常が発生した場
合、作業者自身が表示装置に表示されるの監視結果に基
づいて、異常が発生した装置を特定し、その装置の電源
を一旦停止した後、再び始動させるという復旧処置を行
わなければならないという問題があった。

【００１０】さらには、稼働状況監視装置が出力する稼
働状況は、計測装置１１が収集した情報に基づいている
ので、たとえば、ホストコンピュータ１０と計測装置１
１と接続するための通信系に発生した障害を復旧した場
合、製造装置を動作させ、その結果をホストコンピュー
タ１０で編集し出力させなければ、通信系の動作を確認
できないという問題があった。

【００１１】本発明の目的は、ホストコンピュータにか
かる負荷を低減させると共に、装置の規模を小さくでき
る稼働状況監視装置を提供することにある。

【００１２】本発明の他の目的は、製造装置の稼働状況
を収集するための装置に発生した動作異常を作業者自身
が復帰処理を行うことなく、正常動作に復帰させること
が可能な技術を提供することにある。

【００１３】本発明の他の目的は、優先順位の高い製造
装置の稼働状況が優先して処理することが可能な技術を
提供することにある。

【００１４】本発明の他の目的は、製造装置の制御部の
動作異常を作業者が自ら処理することなく、自動的に復
帰することが可能な技術を提供することにある。

【００１５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００１７】（１）検査装置、計測装置および加工装置
からなる製造装置の複数台からなる製造ライン装置の稼
働状況を監視する稼働状況監視装置であって、前記製造
装置毎に設置され、該製造装置の稼働状況に関する情報
を収集する情報収集手段と、該情報収集手段に内蔵され
る前記各製造装置の稼働状況デジタル情報を所定のデジ
タル信号に変換するデジタル信号変換手段と、所定の台
数の情報収集手段毎に設置され、前記各情報収集手段が
収集した情報を収集および解析し、該解析した情報に基
づいて前記複数台の装置の稼働状況を管理および監視す
る第１の監視手段と、該第１の監視手段が解析した情報
を収集し、前記製造ライン装置の稼働状況を監視する第
２の監視手段とを具備する。

【００１８】（２）前記（１）の前記各情報収集手段は
予め設定された監視情報を所定の時間毎に前記第１の監
視手段に出力する監視情報出力手段を有し、前記第１の
監視手段は前記情報収集手段が出力する情報が予め設定
された監視情報と同じであるか否かを識別する監視情報
識別手段と、該監視情報識別手段が予め設定された監視
情報と異なると判定を行った場合には、該異なると判定
がなされた情報収集手段を再起動させる手段を有する。

【００１９】（３）前記（１）もしくは（２）の前記情
報収集手段は設置される装置に予め設定される優先順位
を格納する手段を有し、前記第１の監視手段は前記優先
順位を示す情報に基づいて、前記第１の監視手段から前
記第２の監視手段への情報の伝送順番を前記優先順位の
順番で行う手段を有する。

【００２０】（４）前記（１）ないし（３）のいずれか
１項の前記情報収集手段は、当該情報収集手段が設置さ
れた製造装置から出力される正常動作を示す信号の出力
周期を監視する周期計測手段と、該周期計測手段が計測
した周期が所定の周期であるか否かを判定する判定手段
と、該判定手段が前記信号の出力周期が所定の周期でな
いと判定した場合、前記情報収集手段の動作に異常が発
生したものとし、該異常が発生したと判定された情報収
集手段の初期化を実行する初期化手段とを具備する。

【００２１】前述する（１）の手段によれば、たとえ
ば、液晶表示装置の製造工場の稼働状況を監視する稼働
状況監視装置を構築する場合、各製造ライン装置毎に第
１の監視手段を設けることにより、第１の監視手段が各
製造ライン装置毎に各製造装置の稼働状況を示す情報を
収集し、解析すると共に、解析結果を第２の監視手段に
出力する。

【００２２】したがって、液晶表示装置の製造工場の稼
働状況を監視する第２の監視手段は、各製造ライン装置
毎の稼働状況を示す情報を収集するのみで、製造工場内
の全ての製造装置の稼働状況を監視できる。

【００２３】前述するように、本発明の稼働状況監視装
置によれば、個々の製造装置の稼働状況は、第１の監視
手段が解析するので、第２の監視手段は第１の監視手段
が解析した結果に基づいて各製造装置を監視するので、
第２の監視手段にかかる負荷を大幅に低減できる。

【００２４】また、情報収集手段はデジタル信号変換手
段とアナログデジタル変換手段とを具備することによ
り、異なる出力形式の製造装置に対しても同一の情報収
集手段を用いることができるので、情報収集手段から出
力される情報の出力形式を統一するための手段が必要な
くなる。

【００２５】したがって、各情報収集手段と第１の監視
手段とを接続するための手段を別に設ける必要がなくな
るので、稼働状況監視装置の規模を小さくできる。

【００２６】前述する（２）の手段によれば、たとえ
ば、各情報収集手段から第１の監視手段に製造装置の稼
働状況を示す情報を転送するときに、この情報と共に各
情報収集手段に予め設定した監視情報を転送させ、第１
の監視手段が各稼働情報と共に転送されてくる管理情報
が予め設定された情報と一致しているかを監視すること
によって、各情報収集手段が正常に動作しているかを監
視し、異常が発生した場合には第１の監視手段が異常の
発生した情報収集手段を再起動させることによって、作
業者が自ら異常の発生した情報収集手段の再起動をする
ことなく、正常動作に復帰させることができる。

【００２７】前述する（３）の手段によれば、たとえ
ば、有毒ガス等を使用しており、異常が起こった場合に
は作業者等に危険を及ぼす恐れのある製造装置に設置さ
れる情報収集手段の優先順位を高く設定しておくことに
より、優先順位の高い製造装置の稼働状況が優先して処
理されるので、リアルタイムに稼働状況を監視できる。

【００２８】前述する（４）の手段によれば、たとえ
ば、製造装置を制御する制御装置が周期的出力する信号
を周期計測手段で常時計測し、その計測結果が製造装置
の正常動作時の周期となっているかを判定手段が判定す
ることにより、製造装置が正常に動作しているかを判定
する。

【００２９】このとき、判定結果が異常と判断された場
合に、初期化手段が該当する製造装置の制御装置を初期
化すなわち再起動させるので、瞬間的な電圧異常等によ
って引き起こされた制御装置の動作異常を作業者が自ら
処理することなく、自動的に復帰できる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明について、発明の実
施の形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明
する。

【００３１】なお、発明の実施の形態を説明するための
全図において、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。

【００３２】図１は本発明の一実施の形態の稼働状況監
視装置の概略構成を示すブロック図であり、１０はホス
トコンピュータ（第２の監視手段）、２１は管理監視装
置（第１の監視手段）、２２はデータ通信路、２３は制
御部、２４はデータ取り込み部、２５は接続ケーブル、
２６は製造装置、３０はデータ収集端末Ａ、３１はデー
タ収集端末Ｂ、３２はデータ収集端末Ｃを示す。

【００３３】ホストコンピュータ１０は、たとえば、周
知の大型計算機（情報処理装置）を用いており、このホ
ストコンピュータ１０で実行されるプログラムによっ
て、管理監視装置２１から入力される製造装置２６の稼
働状況を示すデータ（情報）に基づく監視を行う。

【００３４】また、ホストコンピュータ１０は周知のよ
うに、他にも多数の処理を行っている。

【００３５】管理監視装置２１は、たとえば、周知のパ
ーソナルコンピュータを用いており、このパーソナルコ
ンピュータで実行されるプログラムによって、データ収
集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）で収集された稼働状況
を示す情報を解析し、ホストコンピュータ１０に出力す
る。

【００３６】また、管理監視装置２１とデータ収集端末
Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）とは、たとえば、後述するポ
ーリング／セレクティング方式の通信で接続され、稼働
状況を示すデータを収集している。

【００３７】データ通信路２２は管理監視装置２１とデ
ータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）とを接続するた
めの周知のデータ通信路であり、同軸ケーブル、ツイス
トペア線、光ファイバ等の有線の通信路に限定されるこ
とはなく、電波、赤外線等を用いる無線の通信路でもよ
い。

【００３８】また、このデータ通信路２２は少なくとも
１台の管理監視装置２１とデータ収集端末Ａ〜Ｃ（３
０）〜（３２）とを接続している。

【００３９】制御部２３はデータ取り込み部２４が収集
した製造装置２６の稼働状況を示すデータを、本実施の
形態の通信プロトコルであるイーサネットに変換するた
めの周知の通信インターフェース回路からなる通信制御
部と、データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の動作
を制御するための動作制御部とからなる。

【００４０】なお、動作制御部は、たとえば、、プログ
ラムによって実現できる。

【００４１】データ取り込み部２４は、製造装置２６か
らアナログデータおよびデジタルデータを取り込むと共
に、この取り込んだデータを予め設定されるデータ順番
に配列し直すという変換を図示しないデータ配列変換部
行った後、変換後のデータを制御部２３に出力するデー
タ変換手段である。

【００４２】したがって、データ取り込み部２４は、ア
ナログ信号をデジタル信号に変換するためのアナログデ
ジタル変換手段として、たとえば、図示しない８ビット
Ａ／Ｄ変換器を有している。

【００４３】また、デジタル信号の入力としては、入力
電圧２４Ｖ（ボルト）、バス幅１２８ビットのデジタル
信号入力を有している。

【００４４】なお、本実施の形態のＡ／Ｄ変換器は８ビ
ットＡ／Ｄ変換器としたが、このＡ／Ｄ変換器に限定さ
れることはなく、アナログデータをデジタルデータとし
て取り込むことができれば良く、また、分解能も８ビッ
トに限定されず、入力電圧とその電圧の変動幅から決定
すればよい。

【００４５】また、デジタル信号入力についても、１２
８ビット、２４Ｖに限定されるわけではなく、全ての製
造装置２６の測定部の出力条件を満たすことができる、
チャンネル数および入力電圧を有していればよいことは
言うまでもない。

【００４６】また、アナログおよびデジタルチャンネル
部はそれぞれ独立したデータ収集が可能であるため、た
とえば、データ測定部２９の少ない製造装置等を接続す
る場合、図２に示すように、アナログ８ビットには製造
装置２６、デジタルチャンネルの内８ビットには製造装
置２７、次のデジタル８ビットには製造装置２８をそれ
ぞれ接続する場合のように、１台のデータ収集端末３３
で複数台の製造装置２６〜２８を監視することも可能で
ある。

【００４７】接続ケーブル２５は、製造装置２６の図示
しない測定部と、各データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜
（３２）のデータ取り込み部とを接続するための周知の
ケーブルであり、測定部から出力されるデータを各デー
タ取り込み部２４に入力する。

【００４８】製造装置２６は、たとえば、液晶パネルを
製造するために必要となる装置であり、基板搬送装置、
洗浄装置、スパッタ装置および露光装置等であり、各製
造装置２６には装置の稼働状況を測定するするための図
示しない測定部がある。

【００４９】データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）
は、それぞれ制御部２３およびデータ取り込み部２４を
有すると共に、通信アドレスが付与されており、管理監
視装置２１が各データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３
２）を識別できるようになっている。

【００５０】また、データ測定部２９は各製造装置毎に
設置されており、各製造装置の動作を示す信号をアナロ
グもしくはデジタルの信号で出力する。

【００５１】次に、図１に基づいて、本実施の形態の稼
働状況監視装置の動作を説明すると、測定部が測定した
製造装置２６の稼働状況は、接続ケーブル２５を介し
て、それぞれの製造装置２６に接続されるデータ収集端
末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に収集される。

【００５２】データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）
のデータ取り込み部２４に入力された製造装置２６の稼
働状況のデータは、データ取り込み部２４で予め設定さ
れたフォーマットのデジタル情報に変換される。

【００５３】このとき、計測部の出力がアナログ出力で
ある信号の場合は、図示しない８ビットＡ／Ｄ変換器で
デジタル信号に変換し、デジタル出力の信号の場合には
図示しないデータ配列変換部でデータ配列の変換を行っ
た後、制御部２３に出力される。

【００５４】制御部２３では、データ取り込み部２４か
らのデータを、後述する手順によって変換した後、デー
タ通信路２２を介して、管理監視装置２１へ転送する。

【００５５】管理監視装置２１では、各製造装置２６か
ら転送されてくる稼働状況のデータを解析することによ
って、各製造装置２６の稼働状況を計算すると共に、デ
ータ通信路２２によって接続されている製造装置２６か
ら構成される製造ライン装置の全体的な稼働状況をも計
算する。

【００５６】前述する製造装置２６毎および全体（製造
ライン装置）としての稼働状況は、図示しない表示手段
に、たとえば、棒グラフ等のグラフィカルな表示形態、
一覧表等のキャラクタベースの表示形態、あるいは、そ
の両方の表示形態で表示される。

【００５７】さらには、管理監視装置２１は、稼働状況
の解析結果をホストコンピュータ１０に転送することに
より、ホストコンピュータ１０では、この解析結果に基
づいて、各製造装置２６および製造ライン装置毎の稼働
状況を監視する。

【００５８】次に、図３に本実施の形態の稼働状況監視
装置のデータの流れを説明するための図を、図４に本実
施の形態の稼働状況監視装置のポーリング順番を説明す
るための図を示し、以下、図３および図４に基づいて本
実施の形態の稼働状況監視装置のデータの流れを説明す
る。

【００５９】まず、管理監視装置２１は、たとえば、図
３に示すように、各データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜
（３２）の制御部２３に対して、データ収集端末Ａ（３
０）を示す宛先アドレスを有するポーリングパケットを
送出することによって、データ情報端末３０にポーリン
グ（呼びかけ）動作を行う。

【００６０】このとき、前述するポーリングパケット
は、データ通信路２２を介して接続される全てのデータ
収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に対して送信され
る。

【００６１】したがって、このポーリングパケットを受
信した各データ情報端末３０〜３２の制御部２３は、ポ
ーリングパケットの宛先アドレス部を参照することによ
って、受信したポーリングパケットが自身宛のポーリン
グパケットであるかを確認する。

【００６２】この結果、自身宛のポーリングパケットで
あることが判明したデータ収集端末Ａ（３０）の制御部
２３は、データ取り込み部２４が取り込んだ稼働状況の
データをレスポンスパケットとして、管理監視装置２１
宛に転送する。

【００６３】なお、このときのレスポンスパケットのデ
ータフォーマットは、図３に示すように、データの先頭
を示すプリアンブル、通信のコマンド等を記述する部分
である制御部、データを入れる部分である情報部、デー
タパケットの終了を示すポストアンブルから構成され
る。

【００６４】ただし、情報部は必要に応じて省くことが
できる。

【００６５】また、制御部および情報部には、データの
誤りを検出、もしくは、訂正をするための周知の巡回冗
長チェックコード（ＣＲＣコード）等が用いられてい
る。

【００６６】次に、図４に基づいて、データの授受の手
順を説明すると、まず、管理監視装置２１が宛先アドレ
スがデータ収集端末Ａ（３０）のポーリングパケットを
データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に送出する
（ステップ３０１）。

【００６７】ポーリングパケットを受信したデータ収集
端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の内、宛先アドレスに相
当するデータ収集端末Ａ（３０）が、データ取り込み部
２４が取り込んだ稼働状況のデータをレスポンスパケッ
トとして、管理監視装置２１宛に転送する（ステップ３
０２）。

【００６８】データ収集端末Ａ（３０）から転送される
レスポンスパケットを受信した管理監視装置２１は、レ
スポンスパケットより稼働状況を取り出して編集した
後、図示しない表示手段に出力すると共に、編集結果を
図示しない記憶手段に記憶（格納）する。

【００６９】次に、管理監視装置２１が宛先アドレスが
データ収集端末Ｂ（３１）のポーリングパケットをデー
タ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に送出する（ステ
ップ３０３）。

【００７０】このポーリングパケットを受信したデータ
収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の内、宛先アドレス
に相当するデータ収集端末Ｂ（３１）が、データ取り込
み部２４が取り込んだ稼働状況のデータをレスポンスパ
ケットとして、管理監視装置２１宛に転送する（ステッ
プ３０４）。

【００７１】データ収集端末Ｂ（３１）から転送される
レスポンスパケットを受信した管理監視装置２１は、レ
スポンスパケットより稼働状況を取り出して編集した
後、図示しない表示手段に出力すると共に、編集結果を
図示しない記憶手段に記憶（格納）する。

【００７２】次に、管理監視装置２１が宛先アドレスが
データ収集端末Ｃ（３２）のポーリングパケットをデー
タ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に送出する（ステ
ップ３０５）。

【００７３】このポーリングパケットを受信したデータ
収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の内、宛先アドレス
に相当するデータ収集端末Ｃ（３２）が、データ取り込
み部２４が取り込んだ稼働状況のデータをレスポンスパ
ケットとして、管理監視装置２１宛に転送する（ステッ
プ３０６）。

【００７４】データ収集端末Ｃ（３２）から転送される
レスポンスパケットを受信した管理監視装置２１は、レ
スポンスパケットより稼働状況を取り出して編集した
後、図示しない表示手段に出力すると共に、編集結果を
図示しない記憶手段に記憶（格納）する。

【００７５】次に、図５に本発明の実施の形態の稼働状
況監視装置のデータ収集端末の初期化時の動作を説明す
るための図を示し、以下、図５に基づいてデータ収集端
末の初期化時の動作を説明する。

【００７６】特に、図５（ａ）は初期化コマンド（イニ
シャライズコマンド）のパラメータを説明するための図
であり、図５（ｂ）はイニシャライズパラメータを含む
ポーリングパケットと、レスポンスパケットとのデータ
フォーマットを説明するための図である。

【００７７】図５（ａ）において、イニシャライズコマ
ンドのマスク設定４０１は、各製造装置に取り付けたデ
ータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）が製造装置２６
より情報を収集する場合、製造装置２６からの割り込み
信号により情報収集を行うが、その割り込み信号に対し
てマスクを設定するための情報である。

【００７８】たとえば、データ収集端末Ａ（３０）が接
続される製造装置２６では、この製造装置２６の割り込
み信号の内、上位４ビットのみが必要となるので、下位
４ビットに対してはマスクをするための情報をマスク設
定４０１で指定することによって、上位４ビット割り込
みが発生した場合のみ、データを取得し、管理監視装置
２１に転送させ、それ以外の割り込みに対しては、本マ
スクによって無視する。

【００７９】ＨＤＬＣアドレス４０２は、イニシャライ
ズコマンドの送出先を指定するための領域である。

【００８０】パケット作成タイマ４０３は、製造装置２
６の稼働状況の内で、アナログデータを取り込む場合の
取り込みデータの平均を取得するための時間を設定する
ための領域であり、このパケット作成タイマ４０３によ
って設定された間隔でアナログデータを取得し、データ
を積算していく。

【００８１】この場合、設定された時間間隔で管理監視
装置２１へのパケットを作成するが、アナログデータは
パケットタイマ４０３で設定された間隔で取り込んだデ
ータを取り込み回数で割った値（平均値）を算出し、デ
ータとする。

【００８２】デジタルデータはパケット作成時の状態を
そのまま取り込み、パケットとする機能を提供するもの
である。

【００８３】定期作成タイマ４０４は、データ収集端末
Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）が製造装置２６に対して、稼
働状況を見に行く（稼働状況のデータを取り込みにい
く）場合の時間間隔を指定するための領域である。

【００８４】図５（ｂ）において、ポーリングパケット
のイニシャライズパラメータ４１０は予め設定されたデ
ジタルデータであり、各データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）
〜（３２）毎に異なったデータ、もしくは、同じデータ
のどちらか一方を用いる。

【００８５】なお、各データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜
（３２）毎に異なったデータを用いた方が、より監視の
確実性が増すという効果がある。

【００８６】レスポンスパケットのイニシャライズパラ
メータ４１１は、イニシャライズパラメータ４１０を受
信したデータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）が管理
監視装置２１宛に送信したデータであり、受信したイニ
シャライズパラメータ４１０を稼働状況と共に送信す
る。

【００８７】次に、データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜
（３２）に異常が発生した場合の回復動作を説明する
と、たとえば、各製造装置２６、管理監視装置２１およ
びホストコンピュータ１０の電源投入で、まず、管理監
視装置２１から各製造装置２６に取り付けられたデータ
収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に図５（ａ）に示す
イニシャライズコマンドを送信する。

【００８８】イニシャライズコマンドを受信したデータ
収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）は、前述するマスク
設定４０１、パケット作成タイマ４０３および定期作成
タイマ４０４で設定されるパラメータを、データ収集端
末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）内の図示しないデータバッ
ファへ格納し、イニシャライズコマンドで指定された動
作をデータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に実行さ
せる。

【００８９】このとき、データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）
〜（３２）による稼働状況の収集は、各データ収集端末
Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に設定された内容に基づい
て、たとえば、一定期間ごとに測定する場合、接続され
る製造装置２６からの信号の変化時に行われる場合、も
しくは、一定期間ごとに測定すると共に接続される製造
装置２６からの信号の変化時に行われる場合等がある。

【００９０】前述するイニシャライズが終了すると、管
理監視装置２１は図５（ｂ）に示すポーリングパケット
を図４に示す順番で各データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜
（３２）に送信する。

【００９１】一方、ポーリングパケットを受信したデー
タ収集装置３０〜３２は、イニシャライズパラメータ４
１０と共に、取り付けられた製造装置２６の稼働状況を
管理監視装置２１に送信する。

【００９２】このとき、ポーリングパケットを送信した
データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）からのレスポ
ンスパケットを受信した管理監視装置２１は、送信した
イニシャライズパラメータ４１０と受信したイニシャラ
イズパラメータ４１１とを比較し、同一のデータであっ
た場合には、データを送信したデータ収集端末Ａ〜Ｃ
（３０）〜（３２）は正常に動作しているものとして、
情報部２０３の稼働状況を編集する。

【００９３】一方、送信したイニシャライズパラメータ
４１０と受信したイニシャライズパラメータ４１１とが
異なっていた場合には、管理監視装置２１はデータを送
信したデータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）は正常
に動作していないものとし、異なるイニシャライズパラ
メータ４１１を返送（送信）したデータ収集端末Ａ〜Ｃ
（３０）〜（３２）に対して、イニシャライズコマンド
を送信することによって、データ収集端末Ａ〜Ｃ（３
０）〜（３２）の初期化すなわち再設定を行い、正常な
動作に復帰させる。

【００９４】このように、管理監視装置２１によってデ
ータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の動作を監視
し、異常と判断された場合には、管理監視装置２１によ
って異常となったデータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３
２）の初期化（再設定）を行うことによって、作業者が
データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の復帰（回
復）処理を行うことなく、異常となったデータ収集端末
Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の復帰（回復）ができるとい
う効果がある。

【００９５】次に、図６に本発明の実施の形態の稼働状
況監視装置による製造装置の監視動作を説明するための
図を示し、以下、図６に基づいて製造装置の監視動作を
説明する。

【００９６】図６において、丸５０１で囲んだ矢印の内
で製造装置２６からデータ取り込み部２４に向かう信号
は、製造装置２６が正常に動作していることを示す信号
であり、以降、ハートビート信号と記す。

【００９７】次に、この図に基づいて、製造装置２６に
異常が発生した場合の回復動作を説明すると、データ収
集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）は図示しない監視タイ
マで、たとえば、取り付けられた製造装置２６のハート
ビート信号の周期を監視する。

【００９８】このとき、前述する監視タイマには、たと
えば、ハートビート信号の周期が予め設定した周期より
短い場合、ハートビート信号の周期が予め設定した周期
より長い場合、および、ハートビート信号が停止してし
まった場合に内部割り込み処理を発生させるように設定
しておく。

【００９９】すなわち、ハートビート信号が前述する割
り込み条件となった場合には、データ収集端末Ａ〜Ｃ
（３０）〜（３２）は製造装置２６に異常が発生したも
のとみなし、内部割り込み処理によって設備異常パケッ
トを生成し、この設備異常パケットを管理監視装置２１
に送信する。

【０１００】一方、設備異常パケットを受信した管理監
視装置２１は、受信したパケットの情報に基づいて、製
造装置２６に異常が発生したことを図示しない表示手段
に表示すると共に、この情報をホストコンピュータ１０
に転送することによって、早期に、製造装置２６に発生
した異常を検知できるという効果がある。

【０１０１】このとき、ホストコンピュータ１０あるい
は管理監視装置２１から異常が発生した製造装置２６に
対して、自動復帰もしくは装置を初期化するコマンドを
送出し、ホストコンピュータ１０あるいは管理監視装置
２１から自動的に異常が発生した製造装置２６を復帰さ
せることによって、自動的に異常となった製造装置２６
の復帰（回復）ができるという効果がある。

【０１０２】次に、図７に管理監視装置で編集された稼
働状況の情報がホストコンピュータに送信されるときの
動作を説明するための図を示し、以下、図７に基づいて
管理監視装置２１の動作を説明する。

【０１０３】図７において、図７（ａ）はレスポンスパ
ケットの情報部のデータフォーマットを説明するための
図をであり、図７（ｂ）は管理監視装置で編集された稼
働状況の情報のホストコンピュータへの送信順番を説明
するための図である。

【０１０４】図７（ａ）において、６０１はデータ１の
格納領域、６０２はデータ２の格納領域、６０３はデー
タ３の格納領域、６０４はデータ４の格納領域、６０５
はデータ５の格納領域を示す。

【０１０５】次に、たとえば、データ収集端末Ａ（３
０）で収集された稼働状況の各データが管理監視装置で
編集された後、ホストコンピュータに送信されるときの
動作について説明すると、データ収集端末Ａ（３０）で
収集された製造装置２６の稼働状況は、まず、データ収
集端末Ａ（３０）から管理監視装置２１に送信されるレ
スポンスパケットの情報部２０３に記述（格納）され
て、管理監視装置２１に送信される。

【０１０６】このとき、収集された稼働状況の各データ
は、図７（ａ）に示すように、データ取り込み部２４の
図示しないバッファへの格納順、すなわち、収集された
稼働状況の各データの取得順に並んで管理監視装置２１
に送信されると共に、各データの格納領域には予め設定
された優先度を示す情報が格納される。

【０１０７】管理監視装置２１では、各データと共に格
納領域６０１〜６０５に格納されている優先度を示す情
報を稼働状況のデータと共に読み出した後編集し、図示
しない格納手段に格納すると共に、ホストコンピュータ
１０に送信する。

【０１０８】このとき、管理監視装置２１は各データの
格納領域の優先度に基づき、稼働状況のデータの送信順
番を変更して送信するとことにより、先に送信された情
報を他の情報より速くホストコンピュータで処理させる
ことができるので、優先度の高い情報の処理を優先させ
ることができるという効果がある。

【０１０９】特に、データ１〜５（６０１〜６０５）
が、前述したように、１台のデータ収集端末３０に複数
台の製造装置２６〜２８が接続された時のものであった
場合、個々の製造装置の監視の重要度に応じて、監視の
優先順位を制御できるという利点がある。

【０１１０】以上説明したように、本発明の実施の形態
１の稼働状況監視装置によれば、各製造装置２６の稼働
状況を接続ケーブル２５を介して測定部から各製造装置
２６に取り付けたデータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３
２）のデータ取り込み部２４に取り込み、この情報をデ
ータ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）の制御部２３か
らデータ通信路２２を介して管理監視装置２１に転送
し、管理監視装置２１で編集し各製造装置２６の稼働状
況を監視すると共に、管理監視装置２１での稼働状況の
編集結果をホストコンピュータ１０に転送し、編集され
た稼働状況に基づいてホストコンピュータ１０で、たと
えば、工場内の全製造装置２６の稼働状況を監視するこ
とにより、従来ではホストコンピュータ１０で行ってい
た各製造装置２６の稼働状況の情報を編集するための処
理を実行する必要がないので、ホストコンピュータ１０
にかかる処理負荷を低減することができるという効果が
ある。

【０１１１】また、各データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜
（３２）から管理監視装置２１に製造装置２６の稼働状
況を送信するときに、この情報と共に各データ収集端末
Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）に予め設定したイニシャライ
ズパラメータ４１０を送信させ、管理監視装置２１が各
稼働情報と共に送信されてきたイニシャライズパラメー
タ４１１が、予め設定したイニシャライズパラメータ４
１０と一致しているかを監視することによって、各デー
タ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜（３２）が正常に動作して
いるかを監視し、異常が発生した場合には管理監視装置
２１が異常の発生したデータ収集端末を再起動させるこ
とによって、作業者が自ら異常の発生したデータ収集端
末の再起動をすることなく、正常動作に復帰させること
ができる。

【０１１２】また、データ収集端末Ａ〜Ｃ（３０）〜
（３２）から管理監視装置２１に送信するデータに優先
順位を付し、この優先順位に基づいて、管理監視装置２
１からホストコンピュータ１０に編集した後の稼働状況
を送信することにより、優先順位の高いデータが優先し
て処理されるので、優先順位を高く設定した重要なデー
タを優先して処理できる。

【０１１３】製造装置２６を制御する図示しない制御部
が周期的出力するハートビート信号を図示しない周期計
測手段で計測し、その計測結果が製造装置２６の正常動
作時の周期となっていない場合、製造装置２６に異常が
発生したものとして、製造装置２６を初期化すなわち再
起動させることにより、たとえば、瞬間的な電圧異常等
によって引き起こされた制御装置２６の動作異常を作業
者が自ら処理することなく、自動的に復帰できる。

【０１１４】なお、本実施の形態の稼働状況監視装置で
は、製造ライン装置の各製造装置として、製造装置Ａ〜
Ｃ（３０）〜（３２）の３台の場合でその動作および効
果を説明したが、製造装置の台数は３台に限定されるこ
とはなく、１台以上複数台の場合でも同じ効果が得られ
ることは言うまでもない。

【０１１５】また、本実施の形態の稼働状況監視装置で
は、製造ライン装置は１台の場合でその動作および効果
を説明したが、製造ライン装置の台数は１台に限定され
ることはなく、複数台の場合の方がより大きな効果が得
られる。

【０１１６】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能で
あることは勿論である。

【０１１７】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。

【０１１８】（１）本発明の稼働状況監視装置は、ホス
トコンピュータにかかる負荷を低減させると共に、装置
の規模を小さくできる。

【０１１９】（２）製造装置の稼働状況を収集するため
の装置に発生した動作異常を作業者が自身が復帰処理を
行うことなく、正常動作に復帰させることができる。

【０１２０】（３）優先順位の高い製造装置の稼働状況
が優先して処理することができる。

【０１２１】（４）製造装置の制御部の動作異常を作業
者が自ら処理することなく、自動的に復帰することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の稼働状況監視装置の概
略構成を示すブロック図である。

【図２】１台のデータ収集端末に複数台の製造装置を接
続する場合の接続例を示すブロック図である。

【図３】本実施の形態の稼働状況監視装置のデータの流
れを説明するための図である。

【図４】本実施の形態の稼働状況監視装置のポーリング
順番を説明するための図である。

【図５】本発明の実施の形態の稼働状況監視装置のデー
タ収集端末の初期化時の動作を説明するための図であ
る。

【図６】本発明の実施の形態の稼働状況監視装置による
製造装置の監視動作を説明するための図である。

【図７】管理監視装置で編集された稼働状況の情報がホ
ストコンピュータに送信されるときの動作を説明するた
めの図である。

【図８】従来の稼働状況監視装置の概略構成を示すブロ
ック図である。

【符号の説明】

１０…ホストコンピュータ、１１…計測装置、１２…製
造装置Ａ、１３…製造装置Ｂ、１４…製造装置Ｃ、２１
…管理監視装置、２２…データ通信路、２３…制御部、
２４…データ取り込み部、２５…接続ケーブル、２６，
２７，２８…製造装置、２９…データ測定部、３０…デ
ータ収集端末Ａ、３１…データ収集端末Ｂ、３２…デー
タ収集端末Ｃ、３３…データ収集端末。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/66 0360−3ＨＧ０５Ｂ 15/02 Ｚ // Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｇ０６Ｆ 15/21 Ｒ (72)発明者井上隆行千葉県茂原市早野3681番地日立デバイスエンジニアリング株式会社内 (72)発明者吉野晴通千葉県茂原市早野3300番地株式会社日立製作所電子デバイス事業部内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査装置、計測装置および加工装置から
なる製造装置の複数台からなる製造ライン装置の稼働状
況を監視する稼働状況監視装置であって、前記製造装置毎に設置され、該製造装置の稼働状況に関
する情報を収集する情報収集手段と、該情報収集手段に
内蔵される前記各製造装置の稼働状況デジタル情報を所
定のデジタル信号に変換するデジタル信号変換手段と、
所定の台数の情報収集手段毎に設置され、前記各情報収
集手段が収集した情報を収集および解析し、該解析した
情報に基づいて前記複数台の装置の稼働状況を管理およ
び監視する第１の監視手段と、該第１の監視手段が解析
した情報を収集し、前記製造ライン装置の稼働状況を監
視する第２の監視手段とを具備することを特徴とする稼
働状況監視装置。
【請求項２】前記各情報収集手段は予め設定された監
視情報を所定の時間毎に前記第１の監視手段に出力する
監視情報出力手段を有し、前記第１の監視手段は前記情
報収集手段が出力する情報が予め設定された監視情報と
同じであるか否かを識別する監視情報識別手段と、該監
視情報識別手段が予め設定された監視情報と異なると判
定を行った場合には、該異なると判定がなされた情報収
集手段を再起動させる手段を有することを特徴とする請
求項１に記載の稼働状況監視装置。
【請求項３】前記情報収集手段は設置される装置に予
め設定される優先順位を格納する手段を有し、前記第１
の監視手段は前記優先順位を示す情報に基づいて、前記
第１の監視手段から前記第２の監視手段への情報の伝送
順番を前記優先順位の順番で行う手段を有することを特
徴とする請求項１もしくは２に記載の稼働状況監視装
置。
【請求項４】前記情報収集手段は当該情報収集手段が
設置された製造装置から出力される正常動作を示す信号
の出力周期を監視する周期計測手段と、該周期計測手段
が計測した周期が所定の周期であるか否かを判定する判
定手段と、該判定手段が前記信号の出力周期が所定の周
期でないと判定した場合、前記情報収集手段の動作に異
常が発生したものとし、該異常が発生したと判定された
情報収集手段の初期化を実行する初期化手段とを具備す
ることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に
記載の稼働状況監視装置。