JPH09232144A - 渦巻状インダクタ - Google Patents
渦巻状インダクタInfo
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- JPH09232144A JPH09232144A JP3830496A JP3830496A JPH09232144A JP H09232144 A JPH09232144 A JP H09232144A JP 3830496 A JP3830496 A JP 3830496A JP 3830496 A JP3830496 A JP 3830496A JP H09232144 A JPH09232144 A JP H09232144A
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- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L24/06—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
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- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05554—Shape in top view being square
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01004—Beryllium [Be]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 信頼性が高く、低価格でインダクタンス可変
の渦巻状インダクタを実現する。 【解決手段】 絶縁基板50上には、中心から外方向に
向いた断線部Aを有する複数ターンの渦巻状パターン5
1と、渦巻状パターン51の外側で断部分Aを延長した
位置の絶縁基板50上に中心端子53を外側端子にする
外部回路接続用端子パターン54とが形成されている。
そして、中心端子53と端子パターン54とは、断線断
部Aに形成された伝送路パターン55で電気的に接続さ
れている。伝送路パターン55を形成することで断線し
た渦巻状パターン51は、ワイヤボンディングされたワ
イヤ56で接続され、これによって渦巻状インダクタが
構成される。
の渦巻状インダクタを実現する。 【解決手段】 絶縁基板50上には、中心から外方向に
向いた断線部Aを有する複数ターンの渦巻状パターン5
1と、渦巻状パターン51の外側で断部分Aを延長した
位置の絶縁基板50上に中心端子53を外側端子にする
外部回路接続用端子パターン54とが形成されている。
そして、中心端子53と端子パターン54とは、断線断
部Aに形成された伝送路パターン55で電気的に接続さ
れている。伝送路パターン55を形成することで断線し
た渦巻状パターン51は、ワイヤボンディングされたワ
イヤ56で接続され、これによって渦巻状インダクタが
構成される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インダクタンスが
可変の渦巻状インダクタの設計と製造方法に関するもの
である。
可変の渦巻状インダクタの設計と製造方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】インダクタは、電気回路と電子回路の基
本素子のひとつである。必要に応じてインダクタはさま
ざまな形状を有することがあるが、その電気的な特性は
基本的に同じで、誘導性でなければならない。即ち、良
いインダクタの抵抗分は無視できるほど低く、リアクタ
ンス分は使用周波数に比例して高くなる。近年、表面実
装技術の進歩に伴って、立体インダクタ、つまりソレノ
イド状インダクタの代わりに、平面インダクタが多く使
用されるようになっている。平面インダクタの中には、
線状インダクタ(ミアンダインダクタ)と渦巻状インダ
クタとがある。渦巻状インダクタ以外のインダクタは二
端子素子として扱いやすいが、渦巻状インダクタも二端
子素子なのに、端子の一つは渦巻の中心に存在する。そ
のため、特殊な用途以外、その端子を渦巻の外側に導き
出す必要がある。渦巻の中心にある中心端子を渦巻の外
側に導き出すためには、いろいろな方法が用いられる
が、ここでは一番よく使われる方法を説明する。
本素子のひとつである。必要に応じてインダクタはさま
ざまな形状を有することがあるが、その電気的な特性は
基本的に同じで、誘導性でなければならない。即ち、良
いインダクタの抵抗分は無視できるほど低く、リアクタ
ンス分は使用周波数に比例して高くなる。近年、表面実
装技術の進歩に伴って、立体インダクタ、つまりソレノ
イド状インダクタの代わりに、平面インダクタが多く使
用されるようになっている。平面インダクタの中には、
線状インダクタ(ミアンダインダクタ)と渦巻状インダ
クタとがある。渦巻状インダクタ以外のインダクタは二
端子素子として扱いやすいが、渦巻状インダクタも二端
子素子なのに、端子の一つは渦巻の中心に存在する。そ
のため、特殊な用途以外、その端子を渦巻の外側に導き
出す必要がある。渦巻の中心にある中心端子を渦巻の外
側に導き出すためには、いろいろな方法が用いられる
が、ここでは一番よく使われる方法を説明する。
【0003】図2は、従来の円形渦巻状インダクタの平
面図であり、ワイヤボンディングで中心端子を外側の端
子パターンに接続するタイプを示している。このインダ
クタは、絶縁基板10の表面に形成されたものであり、
該絶縁基板10の表面に形成された抵抗率の低い金属の
渦巻状パターン11と、該渦巻状パターン11の外側端
に配置された外側端子12と、渦巻状パターン11の内
側端に配置された中心端子13と、その中心端子13を
外側端子にするための端子パターン14とを備えてい
る。中心端子13と端子パターン14とは、ワイヤ15
で接続されている。ワイヤ15は、抵抗率の低い金ワイ
ヤやアルミワイヤ等であり、その直径は用途に応じて、
直径数十ミクロンから二百ミクロン程度の太さのものが
用いられる。また、一般的に、各端子12,13と端子
パターン14も、金またはアルミでつくられることが多
い。
面図であり、ワイヤボンディングで中心端子を外側の端
子パターンに接続するタイプを示している。このインダ
クタは、絶縁基板10の表面に形成されたものであり、
該絶縁基板10の表面に形成された抵抗率の低い金属の
渦巻状パターン11と、該渦巻状パターン11の外側端
に配置された外側端子12と、渦巻状パターン11の内
側端に配置された中心端子13と、その中心端子13を
外側端子にするための端子パターン14とを備えてい
る。中心端子13と端子パターン14とは、ワイヤ15
で接続されている。ワイヤ15は、抵抗率の低い金ワイ
ヤやアルミワイヤ等であり、その直径は用途に応じて、
直径数十ミクロンから二百ミクロン程度の太さのものが
用いられる。また、一般的に、各端子12,13と端子
パターン14も、金またはアルミでつくられることが多
い。
【0004】図3は、従来の円形渦巻状インダクタの他
の例の平面図であり、金属パターンで中心端子を外側の
端子パターンに接続するタイプを示している。このイン
ダクタも、絶縁基板20の表面に形成され、絶縁基板2
0の表面に形成された抵抗率の低い金属の渦巻状パター
ン21と、該渦巻状パターン21の外側端に配置された
外側端子22と、渦巻状パターン21の内側端に配置さ
れた中心端子23と、その中心端子23を外側端子にす
るための端子パターン24とを備えている。このインダ
クタでは、中心端子23と端子パターン24を接続する
ために、渦巻状パターン21の上を横切る伝送路パター
ン25を設けている。図3中の26で示される部分は、
伝送路パターン25を支える金属パターン用絶縁膜であ
り、その伝送路パターン25と渦巻状パターン21との
接触防止する構成である。絶縁膜26には主にSiO2
が用いられる。
の例の平面図であり、金属パターンで中心端子を外側の
端子パターンに接続するタイプを示している。このイン
ダクタも、絶縁基板20の表面に形成され、絶縁基板2
0の表面に形成された抵抗率の低い金属の渦巻状パター
ン21と、該渦巻状パターン21の外側端に配置された
外側端子22と、渦巻状パターン21の内側端に配置さ
れた中心端子23と、その中心端子23を外側端子にす
るための端子パターン24とを備えている。このインダ
クタでは、中心端子23と端子パターン24を接続する
ために、渦巻状パターン21の上を横切る伝送路パター
ン25を設けている。図3中の26で示される部分は、
伝送路パターン25を支える金属パターン用絶縁膜であ
り、その伝送路パターン25と渦巻状パターン21との
接触防止する構成である。絶縁膜26には主にSiO2
が用いられる。
【0005】図4は、従来の正四角形渦巻状インダクタ
を示す平面図であり、図2を変化させたインダクタを示
している。図5は、従来の正四角形渦巻状インダクタの
他の例を示す平面図であり、図3を変化させたインダク
タを示している。図4のインダクタは、絶縁基板30の
表面に形成されたものであり、該縁基板30の表面に
は、正四角形の渦巻状パターン31が形成されている。
この渦巻状パターン31の形状以外は、図2の構造と基
本的に同じであり、インダクタは、渦巻状パターン31
の外側端に配置された外側端子32と、渦巻状パターン
31の内側端に配置された中心端子33と、その中心端
子33を外側端子にするための端子パターン34とを備
えている。中心端子33と端子パターン34とは、ワイ
ヤ35で接続されている。
を示す平面図であり、図2を変化させたインダクタを示
している。図5は、従来の正四角形渦巻状インダクタの
他の例を示す平面図であり、図3を変化させたインダク
タを示している。図4のインダクタは、絶縁基板30の
表面に形成されたものであり、該縁基板30の表面に
は、正四角形の渦巻状パターン31が形成されている。
この渦巻状パターン31の形状以外は、図2の構造と基
本的に同じであり、インダクタは、渦巻状パターン31
の外側端に配置された外側端子32と、渦巻状パターン
31の内側端に配置された中心端子33と、その中心端
子33を外側端子にするための端子パターン34とを備
えている。中心端子33と端子パターン34とは、ワイ
ヤ35で接続されている。
【0006】図5のインダクタは、絶縁基板40の表面
に形成されたものであり、該縁基板40の表面には、正
四角形の渦巻状パターン41が形成されている。この渦
巻状パターン41の形状以外は、図3の構造と基本的に
同じであり、インダクタは、渦巻状パターン41の外側
端に配置された外側端子42と、渦巻状パターン41の
内側端に配置された中心端子43と、その中心端子43
を外側端子にするための端子パターン44とを備えてい
る。このインダクタでは、中心端子43と端子パターン
44を接続するために、渦巻状パターン41の上を横切
る伝送路パターン45を設けている。その伝送路パター
ン45と渦巻状パターン41とは、絶縁膜46で絶縁さ
れている。
に形成されたものであり、該縁基板40の表面には、正
四角形の渦巻状パターン41が形成されている。この渦
巻状パターン41の形状以外は、図3の構造と基本的に
同じであり、インダクタは、渦巻状パターン41の外側
端に配置された外側端子42と、渦巻状パターン41の
内側端に配置された中心端子43と、その中心端子43
を外側端子にするための端子パターン44とを備えてい
る。このインダクタでは、中心端子43と端子パターン
44を接続するために、渦巻状パターン41の上を横切
る伝送路パターン45を設けている。その伝送路パター
ン45と渦巻状パターン41とは、絶縁膜46で絶縁さ
れている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
渦巻状インダクタでは、次の(1)〜(3)のような課
題があった。 (1) 図2及び図4のようなインダクタでは、中心端
子13,33を外側に導き出すために、ワイヤ15,3
5で、それら中心端子13と33と外側の端子パターン
14,34とを接続しなければならない。そのために、
渦巻の巻数つまりターン数が少ない(例えば3、4ター
ン)場合には、通常のワイヤで対応できるが、より高い
インダクタンスを得るために渦巻のターン数を増やす
と、各ワイヤ15,35が長くなり、細いワイヤでは強
度も弱くなってしまう。よって、断線やショートに至る
危険性があった。これを避けるためには、特殊ワイヤの
使用やショート防止処置を講じなければならず、結局、
これがインダクタの高価格化につながっていた。 (2) 例えば、図3及び図5のような伝送パターン2
5,45を用いるインダクタでは、各中心端子23,4
3を外側に導き出すために、インダクタの渦巻状パター
ン21,41と電気的接続がないように渦巻状パターン
の上に絶縁膜26,46をそれぞれ設けなければならな
い。それら絶縁膜26,46をつくるためのプロセスを
l回以上追加する必要がある。よって、この場合もイン
ダクタの高価化が避けられない。 (3) 製造した渦巻状インダクタのインダクタンス
は、ある固定された値になり、特定の回路にしか利用で
きない。本発明は以上のような欠点を除去し、信頼性が
高く、低価格でインダクタンス可変の渦巻状インダクタ
を提供することを目的とする。
渦巻状インダクタでは、次の(1)〜(3)のような課
題があった。 (1) 図2及び図4のようなインダクタでは、中心端
子13,33を外側に導き出すために、ワイヤ15,3
5で、それら中心端子13と33と外側の端子パターン
14,34とを接続しなければならない。そのために、
渦巻の巻数つまりターン数が少ない(例えば3、4ター
ン)場合には、通常のワイヤで対応できるが、より高い
インダクタンスを得るために渦巻のターン数を増やす
と、各ワイヤ15,35が長くなり、細いワイヤでは強
度も弱くなってしまう。よって、断線やショートに至る
危険性があった。これを避けるためには、特殊ワイヤの
使用やショート防止処置を講じなければならず、結局、
これがインダクタの高価格化につながっていた。 (2) 例えば、図3及び図5のような伝送パターン2
5,45を用いるインダクタでは、各中心端子23,4
3を外側に導き出すために、インダクタの渦巻状パター
ン21,41と電気的接続がないように渦巻状パターン
の上に絶縁膜26,46をそれぞれ設けなければならな
い。それら絶縁膜26,46をつくるためのプロセスを
l回以上追加する必要がある。よって、この場合もイン
ダクタの高価化が避けられない。 (3) 製造した渦巻状インダクタのインダクタンス
は、ある固定された値になり、特定の回路にしか利用で
きない。本発明は以上のような欠点を除去し、信頼性が
高く、低価格でインダクタンス可変の渦巻状インダクタ
を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】第1の発明は、前記課題
を解決するために、渦巻状インダクタにおいて、次のよ
うな渦巻状パターン、中心端子、外部回路接続用の端子
パターン及び伝送路パターンを備えている。渦巻状パタ
ーンは、絶縁体基板上に導電性材料で形成され、中心か
ら外側に向う一方向に断線部を有し多角形または円形の
複数ターンを持つパターンである。中心端子は、絶縁体
基板上であって渦巻状パターンの内側端部に導電性材料
で形成された構成である。外部回路接続用の端子パター
ンは、断線部の方向を延長した位置の絶縁体基板上に、
導電性材料で形成されたものである。伝送路パターン
は、絶縁体基板上にその断線部を通過して導電性材料で
形成され、中心端子を外部回路接続用の端子パターンに
電気的に接続する機能を有している。そして、断線部に
よって断線した渦巻状パターン同士が、ワイヤボンディ
ングによって接続されて渦巻状インダクタが構成されて
いる。第1の発明によれば、以上のように、渦巻状イン
ダクタを構成したので、中心端子と外部回路接続用の端
子パターンとを接続する伝送路パターンが、予め絶縁基
板状に形成される。よって、中心端子と外部回路接続用
の端子パターンとの間の長い距離を接続するための、従
来では最後に実施されたワイヤボンディングが不要にな
る。且つ、渦巻状パターンの上に、金属パターン用絶縁
膜を設ける必要もない。その上、断線部によって断線し
た渦巻状パターン同士の接続の工夫で、インダクタンス
が可変になる。
を解決するために、渦巻状インダクタにおいて、次のよ
うな渦巻状パターン、中心端子、外部回路接続用の端子
パターン及び伝送路パターンを備えている。渦巻状パタ
ーンは、絶縁体基板上に導電性材料で形成され、中心か
ら外側に向う一方向に断線部を有し多角形または円形の
複数ターンを持つパターンである。中心端子は、絶縁体
基板上であって渦巻状パターンの内側端部に導電性材料
で形成された構成である。外部回路接続用の端子パター
ンは、断線部の方向を延長した位置の絶縁体基板上に、
導電性材料で形成されたものである。伝送路パターン
は、絶縁体基板上にその断線部を通過して導電性材料で
形成され、中心端子を外部回路接続用の端子パターンに
電気的に接続する機能を有している。そして、断線部に
よって断線した渦巻状パターン同士が、ワイヤボンディ
ングによって接続されて渦巻状インダクタが構成されて
いる。第1の発明によれば、以上のように、渦巻状イン
ダクタを構成したので、中心端子と外部回路接続用の端
子パターンとを接続する伝送路パターンが、予め絶縁基
板状に形成される。よって、中心端子と外部回路接続用
の端子パターンとの間の長い距離を接続するための、従
来では最後に実施されたワイヤボンディングが不要にな
る。且つ、渦巻状パターンの上に、金属パターン用絶縁
膜を設ける必要もない。その上、断線部によって断線し
た渦巻状パターン同士の接続の工夫で、インダクタンス
が可変になる。
【0009】第2の発明では、渦巻状インダクタにおい
て、次のような渦巻状パターン、中心端子、第1の端子
パターン、伝送路パターン、第2の端子パターン及びイ
ンダクタンス調整用パターンを備えている。渦巻状パタ
ーンは、絶縁体基板上に導電性材料で形成され、中心か
ら外側に向う第1方向に断線した第1の断線部とこの第
1の断線部とは異なる第2方向に部分断線または全断線
した第2の断線部とを有し、多角形または円形の複数タ
ーンを持つパターンである。中心端子は、絶縁体基板上
であってその渦巻状パターンの内側端部に導電性材料で
形成されている。第1の端子パターンは、第1の断線部
の第1方向を延長した位置の絶縁体基板上に、導電性材
料で形成されたものである。伝送路パターンは、絶縁体
基板上に第1の断線部を通過して導電性材料で形成さ
れ、中心端子を第1の端子パターンに電気的に接続する
機能を有している。第2の端子パターンは、第2の断線
部の第2方向を延長した位置の絶縁体基板上に導電性材
料で形成されている。インダクタンス調整用パターン
は、その第2の断線部の絶縁体基板上に形成されてい
る。そして、第1の断線部によって断線した渦巻状パタ
ーン同士は、ワイヤボンディングによって接続してい
る。第2の断線部によって断線した渦巻状パターンのう
ち、所望のインダクタンスを得るターン数を確保するた
めに必要なパターン同士は、ワイヤボンディングで接続
し、この接続で、中心端子から連続した一条のパターン
を形成している。この一条のパターンの外側端部が、直
接或いはそのインダクタンス調整用パターンを介して第
2の端子パターンにワイヤボンディングで接続され、渦
巻状インダクタが構成される。
て、次のような渦巻状パターン、中心端子、第1の端子
パターン、伝送路パターン、第2の端子パターン及びイ
ンダクタンス調整用パターンを備えている。渦巻状パタ
ーンは、絶縁体基板上に導電性材料で形成され、中心か
ら外側に向う第1方向に断線した第1の断線部とこの第
1の断線部とは異なる第2方向に部分断線または全断線
した第2の断線部とを有し、多角形または円形の複数タ
ーンを持つパターンである。中心端子は、絶縁体基板上
であってその渦巻状パターンの内側端部に導電性材料で
形成されている。第1の端子パターンは、第1の断線部
の第1方向を延長した位置の絶縁体基板上に、導電性材
料で形成されたものである。伝送路パターンは、絶縁体
基板上に第1の断線部を通過して導電性材料で形成さ
れ、中心端子を第1の端子パターンに電気的に接続する
機能を有している。第2の端子パターンは、第2の断線
部の第2方向を延長した位置の絶縁体基板上に導電性材
料で形成されている。インダクタンス調整用パターン
は、その第2の断線部の絶縁体基板上に形成されてい
る。そして、第1の断線部によって断線した渦巻状パタ
ーン同士は、ワイヤボンディングによって接続してい
る。第2の断線部によって断線した渦巻状パターンのう
ち、所望のインダクタンスを得るターン数を確保するた
めに必要なパターン同士は、ワイヤボンディングで接続
し、この接続で、中心端子から連続した一条のパターン
を形成している。この一条のパターンの外側端部が、直
接或いはそのインダクタンス調整用パターンを介して第
2の端子パターンにワイヤボンディングで接続され、渦
巻状インダクタが構成される。
【0010】第2の発明によれば、中心端子を第1の端
子パターンに導く伝送路パターンが、予め絶縁体基板上
に形成される。よって、第1の発明と同様に、従来では
最後に実施されたワイヤボンディングが不要になると共
に、渦巻状パターンの上に、金属パターン用絶縁膜を設
ける必要もなくなる。さらに、この第2の発明の渦巻状
インダクタでは、第2の断線部とこの第2の断線部の絶
縁体基板上に形成されたインダクタ調整用パターンとを
有している。よって、例えば第2の断線部で接続する渦
巻状パターン同士の数を変えることで、この接続によっ
て構成される連続した一条のパターンのターン数が変化
し、インダクタンスが変化する。つまり、インダクタン
スが可変である。連続した一条のパターンの外側端部
が、例えばインダクタ調整用パターンを介して第2の端
子パターンに接続され、所望のインダクタンスを有する
渦巻状インダクタが構成される。従って、前記課題を解
決できるのである。
子パターンに導く伝送路パターンが、予め絶縁体基板上
に形成される。よって、第1の発明と同様に、従来では
最後に実施されたワイヤボンディングが不要になると共
に、渦巻状パターンの上に、金属パターン用絶縁膜を設
ける必要もなくなる。さらに、この第2の発明の渦巻状
インダクタでは、第2の断線部とこの第2の断線部の絶
縁体基板上に形成されたインダクタ調整用パターンとを
有している。よって、例えば第2の断線部で接続する渦
巻状パターン同士の数を変えることで、この接続によっ
て構成される連続した一条のパターンのターン数が変化
し、インダクタンスが変化する。つまり、インダクタン
スが可変である。連続した一条のパターンの外側端部
が、例えばインダクタ調整用パターンを介して第2の端
子パターンに接続され、所望のインダクタンスを有する
渦巻状インダクタが構成される。従って、前記課題を解
決できるのである。
【0011】
【発明の実施の形態】以下に示す第1及び第2の実施形
態では、従来の渦巻状インダクタの電気的特性を保ちつ
つ、製造方法の簡略化と信頼性の向上を実現する渦巻状
インダクタを説明する。製造方法の簡略化と信頼性の向
上を実現するために、従来では最後に実施する中心端子
を外側に導き出すためのワイヤボンディングと、伝送路
パターンを渦巻状パターンとを絶縁する金属パターン用
絶縁膜を形成するプロセスとを避け、例えば最初からイ
ンダクタの渦巻と同時に中心端子を外側に導き出すため
の伝送路をつくり、そのために断線になった渦巻のパタ
ーンをワイヤボンディングで接続させる。このようにす
ることで、従来のインダクタと比べて渦巻の巻数の制限
がなくなり、高インダクタンスのインダクタの製造が可
能になり、かつ、製造方法も簡略化される。さらに、イ
ンダクタンス自体も可変となる。
態では、従来の渦巻状インダクタの電気的特性を保ちつ
つ、製造方法の簡略化と信頼性の向上を実現する渦巻状
インダクタを説明する。製造方法の簡略化と信頼性の向
上を実現するために、従来では最後に実施する中心端子
を外側に導き出すためのワイヤボンディングと、伝送路
パターンを渦巻状パターンとを絶縁する金属パターン用
絶縁膜を形成するプロセスとを避け、例えば最初からイ
ンダクタの渦巻と同時に中心端子を外側に導き出すため
の伝送路をつくり、そのために断線になった渦巻のパタ
ーンをワイヤボンディングで接続させる。このようにす
ることで、従来のインダクタと比べて渦巻の巻数の制限
がなくなり、高インダクタンスのインダクタの製造が可
能になり、かつ、製造方法も簡略化される。さらに、イ
ンダクタンス自体も可変となる。
【0012】第1の実施形態 図1は、本発明の第1の実施形態を示す渦巻状インダク
タの平面図である。このインダクタは、絶縁基板50に
形成された円形渦巻状インダクタであり、その絶縁基板
50に形成され、一方向の断線部Aを有する複数ターン
の渦巻状パターン51を有している。この渦巻状パター
ン51は、抵抗率の低い導電性材料の、例えば金やアル
ミ等の金属で形成されている。以下、これらを低抵抗金
属と記す。断線部Aは、渦巻状パターン51の中心から
外方向に向き、断線部Aでは、渦巻状パターン51が全
断線している。渦巻状パターン51の外側端部には、外
側端子52が形成されている。渦巻状パターン51の内
側端部には、中心端子53が形成されている。渦巻状パ
ターン51の外側で断部分Aを延長した位置の絶縁基板
50上には、中心端子53を外側端子にした外部回路接
続用端子パターン54が形成されている。中心端子53
と端子パターン54とは、絶縁基板50上の断線部Aに
形成された伝送路パターン55で電気的に接続されてい
る。伝送路パターン55は、渦巻状パターン51と同様
の低抵抗金属で構成されている。同様に、外部端子5
2、中心端子53、及び端子パターン54も、低抵抗金
属で形成されている。中心端子53と端子パターン54
を電気的に接続させるために導入した伝送路路パターン
55のために、渦巻状パターン51は全部断線になった
が、渦巻状パターン51の幅も通常100μm以上ある
ので、ワイヤボンディングで断線を簡単に接続すること
が可能である。断線部Aを挟む渦巻状パターン51の対
向線が、ワイヤボンディングにより、複数のワイヤ56
でそれぞれ接続されている。ワイヤ56の材質は、渦巻
状パターン51と同じ低抵抗金属が用いられる。
タの平面図である。このインダクタは、絶縁基板50に
形成された円形渦巻状インダクタであり、その絶縁基板
50に形成され、一方向の断線部Aを有する複数ターン
の渦巻状パターン51を有している。この渦巻状パター
ン51は、抵抗率の低い導電性材料の、例えば金やアル
ミ等の金属で形成されている。以下、これらを低抵抗金
属と記す。断線部Aは、渦巻状パターン51の中心から
外方向に向き、断線部Aでは、渦巻状パターン51が全
断線している。渦巻状パターン51の外側端部には、外
側端子52が形成されている。渦巻状パターン51の内
側端部には、中心端子53が形成されている。渦巻状パ
ターン51の外側で断部分Aを延長した位置の絶縁基板
50上には、中心端子53を外側端子にした外部回路接
続用端子パターン54が形成されている。中心端子53
と端子パターン54とは、絶縁基板50上の断線部Aに
形成された伝送路パターン55で電気的に接続されてい
る。伝送路パターン55は、渦巻状パターン51と同様
の低抵抗金属で構成されている。同様に、外部端子5
2、中心端子53、及び端子パターン54も、低抵抗金
属で形成されている。中心端子53と端子パターン54
を電気的に接続させるために導入した伝送路路パターン
55のために、渦巻状パターン51は全部断線になった
が、渦巻状パターン51の幅も通常100μm以上ある
ので、ワイヤボンディングで断線を簡単に接続すること
が可能である。断線部Aを挟む渦巻状パターン51の対
向線が、ワイヤボンディングにより、複数のワイヤ56
でそれぞれ接続されている。ワイヤ56の材質は、渦巻
状パターン51と同じ低抵抗金属が用いられる。
【0013】次に、この第1の実施形態の渦巻状インダ
クタの動作を説明する。図1の渦巻状インダクタも、従
来の図2〜図5に示された渦巻状インダクタと同様な二
端子素子である。電流が渦巻状パターン51を流れると
磁場が発生する。インダクタの形状は渦巻状であるか
ら、各ターンで発生する磁束が、渦巻の中心に加算され
て集中する。したがって、このインダクタも、従来の渦
巻状インダクタと同様に高いリアクタンス分を持つこと
になる。このインダクタは、例えば共振回路、発振回
路、或いは整合回路等に一素子として組込まれ、二端子
素子とし有効に機能する。
クタの動作を説明する。図1の渦巻状インダクタも、従
来の図2〜図5に示された渦巻状インダクタと同様な二
端子素子である。電流が渦巻状パターン51を流れると
磁場が発生する。インダクタの形状は渦巻状であるか
ら、各ターンで発生する磁束が、渦巻の中心に加算され
て集中する。したがって、このインダクタも、従来の渦
巻状インダクタと同様に高いリアクタンス分を持つこと
になる。このインダクタは、例えば共振回路、発振回
路、或いは整合回路等に一素子として組込まれ、二端子
素子とし有効に機能する。
【0014】以上のように、この第1の実施形態では、
渦巻状パターン51に断線部Aを設け、その断線部Aの
絶縁基板50上に、中心端子53と端子パターン54と
を接続する伝送路パターン55を形成し、断線した渦巻
状パターン51の各ターンをワイヤ56で接続した構成
にしている。そのため、例え渦巻状パターンの巻数が多
くなっても、従来のように中心端子と外側の端子パター
ン54を接続させるワイヤが弛んで、断線やショートを
発生させる心配がない。ワイヤ56は短くてすむので、
断線やショートを起こすことはない。その上、渦巻の中
心端子53と外側の端子パターン54を接続するために
設ける金属パターン用絶縁膜をつくるプロセスも不要で
ある。よって、ターン数の制限がないので任意のインダ
クタンスを有するインダクタを自由につくることが可能
である。また、ワイヤ56の接続の工夫で、実効ターン
数を変化させることも可能である。例えば、断線した渦
巻状パターン51を接続する際に、その接続する線をず
らせば、インダクタンスが可変になる。即ち、従来の渦
巻状インダクタに比べて利用範囲が広くなる。
渦巻状パターン51に断線部Aを設け、その断線部Aの
絶縁基板50上に、中心端子53と端子パターン54と
を接続する伝送路パターン55を形成し、断線した渦巻
状パターン51の各ターンをワイヤ56で接続した構成
にしている。そのため、例え渦巻状パターンの巻数が多
くなっても、従来のように中心端子と外側の端子パター
ン54を接続させるワイヤが弛んで、断線やショートを
発生させる心配がない。ワイヤ56は短くてすむので、
断線やショートを起こすことはない。その上、渦巻の中
心端子53と外側の端子パターン54を接続するために
設ける金属パターン用絶縁膜をつくるプロセスも不要で
ある。よって、ターン数の制限がないので任意のインダ
クタンスを有するインダクタを自由につくることが可能
である。また、ワイヤ56の接続の工夫で、実効ターン
数を変化させることも可能である。例えば、断線した渦
巻状パターン51を接続する際に、その接続する線をず
らせば、インダクタンスが可変になる。即ち、従来の渦
巻状インダクタに比べて利用範囲が広くなる。
【0015】第2の実施形態 図6は、本発明の第2の実施形態を示す渦巻状インダク
タの平面図である。この渦巻状インダクタは絶縁体基板
60上に形成された円形渦巻状インダクタであり、その
絶縁基板60に形成されて、第1方向の第1の断線部B
と第2方向の第2断線部Cを持つ複数ターンの渦巻状パ
ターン61を有している。この渦巻状パターン61は、
低抵抗金属で形成されている。断線部Bは、渦巻状パタ
ーン61の中心から外方向に向き、この断線部Bでは、
渦巻状パターン51が全断線している。断線部Cは、渦
巻状パターン61の中心から断線部Bとは異なる外方向
に向き、断線部Cでは、渦巻状パターン61が中心付近
の一部を残して断線している。渦巻状パターン61の断
線部Cの方向を延長した位置には、第2の端子パターン
である外部回路接続用の端子パターン62が形成されて
いる。本実施形態では、渦巻状パターン61と端子パタ
ーン62とは直接繋がっていない。
タの平面図である。この渦巻状インダクタは絶縁体基板
60上に形成された円形渦巻状インダクタであり、その
絶縁基板60に形成されて、第1方向の第1の断線部B
と第2方向の第2断線部Cを持つ複数ターンの渦巻状パ
ターン61を有している。この渦巻状パターン61は、
低抵抗金属で形成されている。断線部Bは、渦巻状パタ
ーン61の中心から外方向に向き、この断線部Bでは、
渦巻状パターン51が全断線している。断線部Cは、渦
巻状パターン61の中心から断線部Bとは異なる外方向
に向き、断線部Cでは、渦巻状パターン61が中心付近
の一部を残して断線している。渦巻状パターン61の断
線部Cの方向を延長した位置には、第2の端子パターン
である外部回路接続用の端子パターン62が形成されて
いる。本実施形態では、渦巻状パターン61と端子パタ
ーン62とは直接繋がっていない。
【0016】渦巻状パターン61の内側端部には、中心
端子63が形成されている。渦巻状パターン61の外側
で断線部Bの方向を延長した位置の絶縁基板60の表面
には、中心端子63を外部回路に接続するための第1の
端子パターン64が形成されている。中心端子63と端
子パターン64とは、第1の実施形態と同様に、断線部
Bの絶縁基板60の表面に形成された伝送路パターン6
5で、電気的に接続されている。一方、断線部Cには、
インダクタンス調整用パターン67が形成されている。
伝送路パターン65とインダクタンス調整用パターン6
7とは、渦巻状パターン61と同様の低抵抗金属ででき
ている。また、端子パターン62,64も、同様に、低
抵抗金属で形成されている。断線部Bを挟む渦巻状パタ
ーン61の対向線が、ワイヤボンディングによって複数
のワイヤ66でそれぞれ接続されている。断線部Cにお
いて、渦巻状パターン61の線68,69,70のう
ち、線68は断線部Cを挟んで対向する渦巻状パターン
61の線にワイヤ71で接続されている。線69はイン
ダクタンス調整用パターン67にワイヤ72で接続さ
れ、そのインダクタンス調整用パターン67が、ワイヤ
73で端子62パターンに接続されている。ワイヤ6
6,71〜73の材質は、渦巻状パターン61と同じ低
抵抗金属が用いられる。
端子63が形成されている。渦巻状パターン61の外側
で断線部Bの方向を延長した位置の絶縁基板60の表面
には、中心端子63を外部回路に接続するための第1の
端子パターン64が形成されている。中心端子63と端
子パターン64とは、第1の実施形態と同様に、断線部
Bの絶縁基板60の表面に形成された伝送路パターン6
5で、電気的に接続されている。一方、断線部Cには、
インダクタンス調整用パターン67が形成されている。
伝送路パターン65とインダクタンス調整用パターン6
7とは、渦巻状パターン61と同様の低抵抗金属ででき
ている。また、端子パターン62,64も、同様に、低
抵抗金属で形成されている。断線部Bを挟む渦巻状パタ
ーン61の対向線が、ワイヤボンディングによって複数
のワイヤ66でそれぞれ接続されている。断線部Cにお
いて、渦巻状パターン61の線68,69,70のう
ち、線68は断線部Cを挟んで対向する渦巻状パターン
61の線にワイヤ71で接続されている。線69はイン
ダクタンス調整用パターン67にワイヤ72で接続さ
れ、そのインダクタンス調整用パターン67が、ワイヤ
73で端子62パターンに接続されている。ワイヤ6
6,71〜73の材質は、渦巻状パターン61と同じ低
抵抗金属が用いられる。
【0017】次に、この第2の実施形態の渦巻状インダ
クタの動作を説明する。図6の渦巻状インダクタも、第
1の実施形態の渦巻状インダクタと同様な二端子素子で
あり、電流が渦巻状パターン61を流れると磁場が発生
する。インダクタの形状は渦巻状であるから、渦巻中心
に磁束が加算的に集中する。よって、インダクタも第1
の実施形態と同様に、高いリアクタンス分をもつことに
なり、例えば共振回路、発振回路、或いは整合回路等の
一素子として用いられる。ここで、例えば、インダクタ
ンス値が所望値より高くなったり、小さくなったりする
場合がある。このような場合、ピンセットでワイヤ7
1,72を除去し、ボンディングをやり直すと、簡単に
インダクタンス値が調整できる。
クタの動作を説明する。図6の渦巻状インダクタも、第
1の実施形態の渦巻状インダクタと同様な二端子素子で
あり、電流が渦巻状パターン61を流れると磁場が発生
する。インダクタの形状は渦巻状であるから、渦巻中心
に磁束が加算的に集中する。よって、インダクタも第1
の実施形態と同様に、高いリアクタンス分をもつことに
なり、例えば共振回路、発振回路、或いは整合回路等の
一素子として用いられる。ここで、例えば、インダクタ
ンス値が所望値より高くなったり、小さくなったりする
場合がある。このような場合、ピンセットでワイヤ7
1,72を除去し、ボンディングをやり直すと、簡単に
インダクタンス値が調整できる。
【0018】図7(a),(b)は、図6の渦巻状イン
ダクタのインダクタンスの調整を説明する図であり、同
図(a)はインダクタンスを減じた例であり、同図
(b)はインダクタンスを増加させた例を示している。
なお、図7(a),(b)において、図6と共通する要
素には、共通の符号が付されている。渦巻状インダクタ
のインダクタンスを減じたい場合、実効ターン数を減ら
せばよい。そのため、例えば線68を図7(a)のよう
に、インダクタンス調整用パターン67に接続すれば、
インダクタンスが減じられる。渦巻状インダクタのイン
ダクタンスを増加させたい場合、実効ターン数を増やせ
ば良い。よって、例えば各線68,69を、対向する渦
巻状パターン61の線にそれぞれ接続し、線70をイン
ダクタンス調整用パターン67に接続すれば、インダク
タンスが増加する。
ダクタのインダクタンスの調整を説明する図であり、同
図(a)はインダクタンスを減じた例であり、同図
(b)はインダクタンスを増加させた例を示している。
なお、図7(a),(b)において、図6と共通する要
素には、共通の符号が付されている。渦巻状インダクタ
のインダクタンスを減じたい場合、実効ターン数を減ら
せばよい。そのため、例えば線68を図7(a)のよう
に、インダクタンス調整用パターン67に接続すれば、
インダクタンスが減じられる。渦巻状インダクタのイン
ダクタンスを増加させたい場合、実効ターン数を増やせ
ば良い。よって、例えば各線68,69を、対向する渦
巻状パターン61の線にそれぞれ接続し、線70をイン
ダクタンス調整用パターン67に接続すれば、インダク
タンスが増加する。
【0019】以上のように、この第2の実施形態では、
第1の実施形態と同様に、中心端子63と外側の端子パ
ターン64を接続させるワイヤ66が弛んで断線やショ
ートする心配がなく、かつ、金属パターン用絶縁膜をつ
くるプロセスも必要ない。よって、ターン数の制限がな
いので、任意のインダクタンスをもつインダクタを自由
につくることが可能である。その上、断線部Cを設け、
そこにインダクタンス調整用パターン67とを形成して
いるので、インダクタンスを所望の値に調整することが
可能になり、渦巻状インダクタを―種類だけつくってお
けば、どのようなインダクタンス値でも対応できるよう
になる。よって、種類の数が少なくて済むから、渦巻状
インダクタの低価格化に貢献できる。
第1の実施形態と同様に、中心端子63と外側の端子パ
ターン64を接続させるワイヤ66が弛んで断線やショ
ートする心配がなく、かつ、金属パターン用絶縁膜をつ
くるプロセスも必要ない。よって、ターン数の制限がな
いので、任意のインダクタンスをもつインダクタを自由
につくることが可能である。その上、断線部Cを設け、
そこにインダクタンス調整用パターン67とを形成して
いるので、インダクタンスを所望の値に調整することが
可能になり、渦巻状インダクタを―種類だけつくってお
けば、どのようなインダクタンス値でも対応できるよう
になる。よって、種類の数が少なくて済むから、渦巻状
インダクタの低価格化に貢献できる。
【0020】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
ず、種々の変形が可能である。その変形例としては、例
えば、次のようなものがある。第1及び第2の実施形態
では、円形渦巻状インダクタの例を示しているが、渦巻
状パターン51,61の形状は円形でなく、多角形でも
よい。例えば、正四角形、正六角形、或いは正八角形等
の形状が考えられる。図8は、図1を変形した正四角形
渦巻状インダクタを示す平面図であり、図1と共通する
要素には、共通の符号が付されている。図1の渦巻き状
パターン51を正四角形の渦巻状パターン80に変更す
るだけで、正四角形渦巻状インダクタを構成することが
できる。このような正四角形渦巻状インダクタも、図1
と同様に動作し、同様の効果が得られる。
ず、種々の変形が可能である。その変形例としては、例
えば、次のようなものがある。第1及び第2の実施形態
では、円形渦巻状インダクタの例を示しているが、渦巻
状パターン51,61の形状は円形でなく、多角形でも
よい。例えば、正四角形、正六角形、或いは正八角形等
の形状が考えられる。図8は、図1を変形した正四角形
渦巻状インダクタを示す平面図であり、図1と共通する
要素には、共通の符号が付されている。図1の渦巻き状
パターン51を正四角形の渦巻状パターン80に変更す
るだけで、正四角形渦巻状インダクタを構成することが
できる。このような正四角形渦巻状インダクタも、図1
と同様に動作し、同様の効果が得られる。
【0021】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1の発明
によれば、渦巻状インダクタの中心端子を外部回路接続
用の端子パターンに導く伝送路パターンが、渦巻状パタ
ーンと同じ絶縁体基板上に形成される。そして、断線部
により切断された渦巻状パターンが、ワイヤボンディン
グで接続されて構成されている。よって、中心端子と外
部回路接続用の端子パターンをワイヤボンディングで接
続する必要がなく、渦巻状パターンのターン数にかかわ
らず、ワイヤの断線やショートがなくなる。さらに、中
心端子と外部回路接続用の端子パターン間の伝送路パタ
ーンの下には、絶縁膜等を形成する必要がなく、製造プ
ロセスが減じられる。そのうえ、断線状態の渦巻状パタ
ーンを接続する際の工夫で、インダクタンスの変更も可
能になる。第2の発明によれば、中心端子を外部回路接
続用の第1の端子パターンに導く伝送路パターンが、渦
巻状パターンと同じ絶縁体基板上に形成される。そし
て、第1の断線部により切断された渦巻状パターンが、
ワイヤボンディングで接続される。そのため、第1の発
明と同様に、ワイヤの断線やショートがなくなるととも
に、中心端子と外部回路接続用の端子パターン間の伝送
路パターンの下に絶縁膜等を形成する製造プロセスが減
じられる。そのうえ、第2の断線部を設け、そこに、イ
ンダクタンス調整用パターンを設けているので、第1の
発明の渦巻状インダクタよりも、インダクタンスを自由
に変化させることができる。よって、インダクタの種類
を減じることが可能になり、渦巻状インダクタの低価格
化に貢献できる。
によれば、渦巻状インダクタの中心端子を外部回路接続
用の端子パターンに導く伝送路パターンが、渦巻状パタ
ーンと同じ絶縁体基板上に形成される。そして、断線部
により切断された渦巻状パターンが、ワイヤボンディン
グで接続されて構成されている。よって、中心端子と外
部回路接続用の端子パターンをワイヤボンディングで接
続する必要がなく、渦巻状パターンのターン数にかかわ
らず、ワイヤの断線やショートがなくなる。さらに、中
心端子と外部回路接続用の端子パターン間の伝送路パタ
ーンの下には、絶縁膜等を形成する必要がなく、製造プ
ロセスが減じられる。そのうえ、断線状態の渦巻状パタ
ーンを接続する際の工夫で、インダクタンスの変更も可
能になる。第2の発明によれば、中心端子を外部回路接
続用の第1の端子パターンに導く伝送路パターンが、渦
巻状パターンと同じ絶縁体基板上に形成される。そし
て、第1の断線部により切断された渦巻状パターンが、
ワイヤボンディングで接続される。そのため、第1の発
明と同様に、ワイヤの断線やショートがなくなるととも
に、中心端子と外部回路接続用の端子パターン間の伝送
路パターンの下に絶縁膜等を形成する製造プロセスが減
じられる。そのうえ、第2の断線部を設け、そこに、イ
ンダクタンス調整用パターンを設けているので、第1の
発明の渦巻状インダクタよりも、インダクタンスを自由
に変化させることができる。よって、インダクタの種類
を減じることが可能になり、渦巻状インダクタの低価格
化に貢献できる。
【図1】本発明の第1の実施形態を示す渦巻状インダク
タの平面図である。
タの平面図である。
【図2】従来の円形渦巻状インダクタの平面図である。
【図3】従来の円形渦巻状インダクタの他の例の平面図
である。
である。
【図4】従来の正四角形渦巻状インダクタを示す平面図
である。
である。
【図5】従来の正四角形渦巻状インダクタの他の例を示
す平面図である。
す平面図である。
【図6】本発明の第2の実施形態を示す渦巻状インダク
タの平面図である。
タの平面図である。
【図7】図6の渦巻状インダクタのインダクタンスの調
整を説明する図である。
整を説明する図である。
【図8】図1を変形した正四角形渦巻状インダクタを示
す平面図である。
す平面図である。
51,61 渦巻状パターン 52,54,62,64 外部回路接続用端子(端子
パターン) 53,63 中心端子 55,65 伝送路パターン 56,66,71〜73 ワイヤ 67 インダクタ調整用パターン
パターン) 53,63 中心端子 55,65 伝送路パターン 56,66,71〜73 ワイヤ 67 インダクタ調整用パターン
Claims (2)
- 【請求項1】 絶縁体基板上に導電性材料で形成され、
中心から外側に向う一方向に断線部を有し多角形または
円形の複数ターンを持つ渦巻状パターンと、 前記絶縁体基板上であって前記渦巻状パターンの内側端
部に導電性材料で形成された中心端子と、 前記断線部の前記方向を延長した位置の前記絶縁体基板
上に導電性材料で形成された外部回路接続用の端子パタ
ーンと、 前記絶縁体基板上に前記断線部を通過して導電性材料で
形成され、前記中心端子を前記端子パターンに電気的に
接続する伝送路パターンとを備え、 前記断線部によって断線した前記渦巻状パターン同士
は、ワイヤボンディングによって接続して構成したこと
を特徴とする渦巻状インダクタ。 - 【請求項2】 絶縁体基板上に導電性材料で形成され、
中心から外側に向う第1方向に断線した第1の断線部と
該第1の断線部とは異なる第2方向に部分断線または全
断線した第2の断線部とを有し、多角形または円形の複
数ターンを持つ渦巻状パターンと、 前記絶縁体基板上であって前記渦巻状パターンの内側端
部に導電性材料で形成された中心端子と、 前記第1の断線部の第1方向を延長した位置の前記絶縁
体基板上に導電性材料で形成され、外部回路接続用の第
1の端子パターンと、 前記絶縁体基板上に前記第1の断線部を通過して導電性
材料で形成され、前記中心端子を前記第1の端子パター
ンに電気的に接続する伝送路パターンと、 前記第2の断線部の第2方向を延長した位置の前記絶縁
体基板上に導電性材料で形成された外部回路接続用の第
2の端子パターンと、 前記第2の断線部の前記絶縁体基板上に形成されたイン
ダクタンス調整用パターンとを備え、 前記第1の断線部によって断線した前記渦巻状パターン
同士は、ワイヤボンディングによって接続し、 前記第2の断線部によって断線した前記渦巻状パターン
のうち、所望のインダクタンスを得るターン数を確保す
るために必要なパターン同士は、ワイヤボンディングで
接続されて前記中心端子から連続した一条のパターンを
形成し、その一条のパターンの外側端部は、直接或いは
前記インダクタンス調整用パターンを介して前記第2の
端子パターンにワイヤボンディングで接続して構成した
ことを特徴とする渦巻状インダクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3830496A JPH09232144A (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 渦巻状インダクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3830496A JPH09232144A (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 渦巻状インダクタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09232144A true JPH09232144A (ja) | 1997-09-05 |
Family
ID=12521569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3830496A Pending JPH09232144A (ja) | 1996-02-26 | 1996-02-26 | 渦巻状インダクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09232144A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6362525B1 (en) * | 1999-11-09 | 2002-03-26 | Cypress Semiconductor Corp. | Circuit structure including a passive element formed within a grid array substrate and method for making the same |
KR100579136B1 (ko) * | 2004-12-16 | 2006-05-12 | 한국전자통신연구원 | 가변 인덕턴스를 갖는 트랜스포머 |
US7403090B2 (en) * | 2005-07-25 | 2008-07-22 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Characteristic adjustment method for inductor and variable inductor |
JP2013038881A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Yaskawa Electric Corp | 回転電機の製造方法及び回転電機の結線基板の製造方法 |
-
1996
- 1996-02-26 JP JP3830496A patent/JPH09232144A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6362525B1 (en) * | 1999-11-09 | 2002-03-26 | Cypress Semiconductor Corp. | Circuit structure including a passive element formed within a grid array substrate and method for making the same |
KR100579136B1 (ko) * | 2004-12-16 | 2006-05-12 | 한국전자통신연구원 | 가변 인덕턴스를 갖는 트랜스포머 |
US7403090B2 (en) * | 2005-07-25 | 2008-07-22 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Characteristic adjustment method for inductor and variable inductor |
JP2013038881A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Yaskawa Electric Corp | 回転電機の製造方法及び回転電機の結線基板の製造方法 |
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