JPH09221203A - 自動搬送システム - Google Patents
自動搬送システムInfo
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- JPH09221203A JPH09221203A JP5555496A JP5555496A JPH09221203A JP H09221203 A JPH09221203 A JP H09221203A JP 5555496 A JP5555496 A JP 5555496A JP 5555496 A JP5555496 A JP 5555496A JP H09221203 A JPH09221203 A JP H09221203A
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- JP
- Japan
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- box
- storage
- hands
- holding device
- boxes
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 サイズが異なる複数規格のウエハキャリアボ
ックスを搬送する。 【解決手段】 サイズが異なる複数規格のボックス1を
搬送する自動搬送システムのスタッカクレーン30は台
車32、エレベータ33で移動されるボックス保持装置
34を備え、この保持装置34はリニアモータ36で左
右対称に開閉される一対のハンド37と、両ハンドの現
在の位置を検出する一対の位置センサ38と、両位置セ
ンサからの検出信号とリニアモータ36の負荷との関係
を照合する照合装置39とを備えている。保持装置がボ
ックスを保持するに際し両ハンドはボックスの左右両脇
から同時に閉じて行き、両ハンドとボックスとの左右対
称の関係が一致した時に保持を自動的に完了する。 【効果】 ボックス保持装置は大きさが異なるボックス
を取り扱えるため、保管庫、自動搬送システムは大きさ
の規格が異なるボックスの混流を実現できる。
ックスを搬送する。 【解決手段】 サイズが異なる複数規格のボックス1を
搬送する自動搬送システムのスタッカクレーン30は台
車32、エレベータ33で移動されるボックス保持装置
34を備え、この保持装置34はリニアモータ36で左
右対称に開閉される一対のハンド37と、両ハンドの現
在の位置を検出する一対の位置センサ38と、両位置セ
ンサからの検出信号とリニアモータ36の負荷との関係
を照合する照合装置39とを備えている。保持装置がボ
ックスを保持するに際し両ハンドはボックスの左右両脇
から同時に閉じて行き、両ハンドとボックスとの左右対
称の関係が一致した時に保持を自動的に完了する。 【効果】 ボックス保持装置は大きさが異なるボックス
を取り扱えるため、保管庫、自動搬送システムは大きさ
の規格が異なるボックスの混流を実現できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動搬送システ
ム、特に、物品を保管庫に対して自動的に出し入れする
自動搬送システムに関し、例えば、半導体装置の製造工
程において、半導体ウエハを複数枚保持したキャリアが
収納されているキャリアボックスを搬送するのに利用し
て有効なものに関する。
ム、特に、物品を保管庫に対して自動的に出し入れする
自動搬送システムに関し、例えば、半導体装置の製造工
程において、半導体ウエハを複数枚保持したキャリアが
収納されているキャリアボックスを搬送するのに利用し
て有効なものに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体装置の製造工場においては
FA化が進み、半導体ウエハ(以下、ウエハという。)
の各工程への搬送についても自動搬送システムが導入さ
れている。半導体装置の製造工場におけるウエハの自動
搬送システムにおいては、ウエハは複数枚がウエハキャ
リア(ウエハカセットとも呼ばれている。)に保持され
てキャリアボックス(以下、ボックスという。)に収納
された状態で搬送され、また、保管庫に保管されるの
が、一般的である。そして、この自動搬送システムにお
ける被搬送物としてのボックスは、自動搬送システムの
天井走行形軌道式搬送台車または床上走行形無軌道台車
等に装備されている被搬送物保持装置の左右一対のハン
ドに左右両脇から挟まれて保持された状態で、搬送され
る。
FA化が進み、半導体ウエハ(以下、ウエハという。)
の各工程への搬送についても自動搬送システムが導入さ
れている。半導体装置の製造工場におけるウエハの自動
搬送システムにおいては、ウエハは複数枚がウエハキャ
リア(ウエハカセットとも呼ばれている。)に保持され
てキャリアボックス(以下、ボックスという。)に収納
された状態で搬送され、また、保管庫に保管されるの
が、一般的である。そして、この自動搬送システムにお
ける被搬送物としてのボックスは、自動搬送システムの
天井走行形軌道式搬送台車または床上走行形無軌道台車
等に装備されている被搬送物保持装置の左右一対のハン
ドに左右両脇から挟まれて保持された状態で、搬送され
る。
【0003】なお、半導体装置の製造工場における自動
搬送システムを述べてある例としては、株式会社工業調
査会1994年11月25日発行「電子材料1994年
11月号別冊」P141〜P145、がある。
搬送システムを述べてある例としては、株式会社工業調
査会1994年11月25日発行「電子材料1994年
11月号別冊」P141〜P145、がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体装置
の製造分野においては、生産効率の向上のためウエハの
大口径化が段階的に進展している。したがって、半導体
装置の製造工場においては、複数サイズのウエハが混流
する可能性が考えられる。しかし、従来の自動搬送シス
テムは、同一サイズのボックスを自動的に搬送するよう
に構築されているため、異なるサイズのウエハの混流生
産に対処することができない。
の製造分野においては、生産効率の向上のためウエハの
大口径化が段階的に進展している。したがって、半導体
装置の製造工場においては、複数サイズのウエハが混流
する可能性が考えられる。しかし、従来の自動搬送シス
テムは、同一サイズのボックスを自動的に搬送するよう
に構築されているため、異なるサイズのウエハの混流生
産に対処することができない。
【0005】本発明の目的は、サイズが異なる複数規格
の被搬送物を搬送することができる自動搬送システムを
提供することにある。
の被搬送物を搬送することができる自動搬送システムを
提供することにある。
【0006】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。
【0008】すなわち、サイズが異なる複数規格の被搬
送物を自動的に搬送する自動搬送システムには、互いに
左右対称に開閉する一対のハンドと、両ハンドの現在の
位置を検出する一対の位置センサと、両位置センサから
の検出信号とハンド駆動モータの負荷との関係を照合す
る照合装置とを備えている被搬送物保持装置が配備され
ている。
送物を自動的に搬送する自動搬送システムには、互いに
左右対称に開閉する一対のハンドと、両ハンドの現在の
位置を検出する一対の位置センサと、両位置センサから
の検出信号とハンド駆動モータの負荷との関係を照合す
る照合装置とを備えている被搬送物保持装置が配備され
ている。
【0009】前記した被搬送物保持装置が被搬送物を保
持するに際して、一対のハンドは被搬送物の左右両脇か
ら同時に閉じて行き、両ハンドと被搬送物との左右対称
の関係が一致した時に被搬送物の保持を自動的に完了し
た状態になる。すなわち、例えば、左側のハンドが被搬
送物に先に当接しても、左側のハンドは位置センサによ
って所定のハンド位置が検出されない限り閉じ作動を継
続する。そして、両方のハンドの所定の位置が位置セン
サによってそれぞれ検出され、かつ、両ハンドが被搬送
物を両脇から押さえた状態がハンド駆動用モータの負荷
によって検出されると、両ハンドは被搬送物の保持を完
了した状態になる。
持するに際して、一対のハンドは被搬送物の左右両脇か
ら同時に閉じて行き、両ハンドと被搬送物との左右対称
の関係が一致した時に被搬送物の保持を自動的に完了し
た状態になる。すなわち、例えば、左側のハンドが被搬
送物に先に当接しても、左側のハンドは位置センサによ
って所定のハンド位置が検出されない限り閉じ作動を継
続する。そして、両方のハンドの所定の位置が位置セン
サによってそれぞれ検出され、かつ、両ハンドが被搬送
物を両脇から押さえた状態がハンド駆動用モータの負荷
によって検出されると、両ハンドは被搬送物の保持を完
了した状態になる。
【0010】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施形態である
自動搬送システムの被搬送物保持装置を示しており、
(a)は一部省略斜視図、(b)は模式図である。図2
はそれが使用されているウエハ加工ラインを示す概略斜
視図である。図3はジョブショップを示す概略斜視図で
ある。図4は保管庫を示す概略斜視図である。図5は保
管棚を示す一部省略斜視図であり、(a)はボックスの
保管前を、(b)は保管後をそれぞれ示している。図6
は保管庫の出し入れ口を示す概略斜視図である。図7は
制御系統を示す各ブロック図であり、(a)は保管庫の
制御系統、(b)は全体の制御系統をそれぞれ示してい
る。
自動搬送システムの被搬送物保持装置を示しており、
(a)は一部省略斜視図、(b)は模式図である。図2
はそれが使用されているウエハ加工ラインを示す概略斜
視図である。図3はジョブショップを示す概略斜視図で
ある。図4は保管庫を示す概略斜視図である。図5は保
管棚を示す一部省略斜視図であり、(a)はボックスの
保管前を、(b)は保管後をそれぞれ示している。図6
は保管庫の出し入れ口を示す概略斜視図である。図7は
制御系統を示す各ブロック図であり、(a)は保管庫の
制御系統、(b)は全体の制御系統をそれぞれ示してい
る。
【0011】本実施形態において、本発明に係る自動搬
送システムは、半導体装置の製造工場においてウエハキ
ャリアを収納したボックスを自動的に搬送する自動搬送
システムとして構築されている。この自動搬送システム
における被搬送物であるボックス1は、複数枚のウエハ
8を保持したウエハキャリア9を収納するように構成さ
れているとともに、サイズが異なる複数の規格品が用意
されている。例えば、大中小の規格サイズのボックス1
は、直径が6インチのウエハを保持したウエハキャリア
を収容し得るように、直径が8インチのウエハを保持し
たウエハキャリアを収容し得るように、直径が12イン
チのウエハを保持したウエハキャリアを収納し得るよう
にそれぞれ構成されている。そして、サイズが異なる各
規格のボックス1の左右、前後および高さの寸法値は予
め求められて、自動搬送システムの各コントローラに記
録されている。
送システムは、半導体装置の製造工場においてウエハキ
ャリアを収納したボックスを自動的に搬送する自動搬送
システムとして構築されている。この自動搬送システム
における被搬送物であるボックス1は、複数枚のウエハ
8を保持したウエハキャリア9を収納するように構成さ
れているとともに、サイズが異なる複数の規格品が用意
されている。例えば、大中小の規格サイズのボックス1
は、直径が6インチのウエハを保持したウエハキャリア
を収容し得るように、直径が8インチのウエハを保持し
たウエハキャリアを収容し得るように、直径が12イン
チのウエハを保持したウエハキャリアを収納し得るよう
にそれぞれ構成されている。そして、サイズが異なる各
規格のボックス1の左右、前後および高さの寸法値は予
め求められて、自動搬送システムの各コントローラに記
録されている。
【0012】ボックス1は密閉可能な箱体に形成されて
おり、互いに略上下対称形の本体2と蓋体3とを備えて
いる。本体2および蓋体3は大径側端面が開口した台形
四角錐形状の箱体にそれぞれ形成されて、互いに開口面
同士を最中合わせにされた状態で一辺をヒンジ4によっ
て回動自在に連結されている。したがって、ボックス1
は蓋体3がヒンジ4を中心に上下方向に回動することに
よって本体2に対して開閉されるように構成されてい
る。本体2の側面上端部には把手部5が水平に突設され
ており、本体2の下面における四隅には脚部6がそれぞ
れ突設されている。ボックス1は全体的に左右および前
後対称形に構成されている。そして、ボックス1の上面
にはコントロールカード7が適宜添付されるようになっ
ている。
おり、互いに略上下対称形の本体2と蓋体3とを備えて
いる。本体2および蓋体3は大径側端面が開口した台形
四角錐形状の箱体にそれぞれ形成されて、互いに開口面
同士を最中合わせにされた状態で一辺をヒンジ4によっ
て回動自在に連結されている。したがって、ボックス1
は蓋体3がヒンジ4を中心に上下方向に回動することに
よって本体2に対して開閉されるように構成されてい
る。本体2の側面上端部には把手部5が水平に突設され
ており、本体2の下面における四隅には脚部6がそれぞ
れ突設されている。ボックス1は全体的に左右および前
後対称形に構成されている。そして、ボックス1の上面
にはコントロールカード7が適宜添付されるようになっ
ている。
【0013】半導体装置の製造工場の前工程であるウエ
ハの加工ラインは無人化を図るため、全自動化が推進さ
れており、それを実現するために自動搬送システムが採
用されている。すなわち、図2に示されているように、
ウエハの加工ライン10は、酸化・拡散、リソグラフィ
ー、イオン注入、CVD、エッチング等の複数の工程を
備えており、原則として、各工程毎にジョブショップ化
されている。図3に示されているように、各ジョブショ
ップ11にはボックス1の受け渡しおよび一時的なバッ
ファ機能を持つ保管庫(後記する。)が設備されてい
る。
ハの加工ラインは無人化を図るため、全自動化が推進さ
れており、それを実現するために自動搬送システムが採
用されている。すなわち、図2に示されているように、
ウエハの加工ライン10は、酸化・拡散、リソグラフィ
ー、イオン注入、CVD、エッチング等の複数の工程を
備えており、原則として、各工程毎にジョブショップ化
されている。図3に示されているように、各ジョブショ
ップ11にはボックス1の受け渡しおよび一時的なバッ
ファ機能を持つ保管庫(後記する。)が設備されてい
る。
【0014】各ジョブショップ11間は自動搬送システ
ムの工程間搬送装置12によって接続されている。すな
わち、各ジョブショップ11間には工程間搬送装置12
の天井走行形台車用レール13が敷設されており、天井
走行形台車用レール13には天井走行形軌道式搬送台車
(以下、天井走行形台車という。)14が設備されてい
る。この天井走行形台車14は天井走行形台車用レール
13を自動的に走行して、ボックス1を各ジョブショッ
プ11間に搬送するとともに、ボックス1を各ジョブシ
ョップ11の保管庫に自動的に搬入搬出するように構成
されている。
ムの工程間搬送装置12によって接続されている。すな
わち、各ジョブショップ11間には工程間搬送装置12
の天井走行形台車用レール13が敷設されており、天井
走行形台車用レール13には天井走行形軌道式搬送台車
(以下、天井走行形台車という。)14が設備されてい
る。この天井走行形台車14は天井走行形台車用レール
13を自動的に走行して、ボックス1を各ジョブショッ
プ11間に搬送するとともに、ボックス1を各ジョブシ
ョップ11の保管庫に自動的に搬入搬出するように構成
されている。
【0015】図3に示されているように、ジョブショッ
プ11内には、酸化・拡散装置、露光装置、イオン注入
装置、CVD装置およびエッチング装置等の半導体製造
装置15、並びに、膜圧測定装置や外観検査装置等の検
査装置16が設備されており、それらの半導体製造装置
15および検査装置16間に対してウエハキャリア9を
自動的に搬送するための工程内搬送装置としての床上走
行形無軌道台車(以下、床上走行形台車という。)17
が設備されている。また、床上走行形台車17は保管庫
からウエハ8を収容したウエハキャリア9を受け取って
半導体製造装置15に搬送するとともに、半導体製造装
置15または検査装置16からウエハキャリア9を受け
取って保管庫へ受け渡すようになっている。
プ11内には、酸化・拡散装置、露光装置、イオン注入
装置、CVD装置およびエッチング装置等の半導体製造
装置15、並びに、膜圧測定装置や外観検査装置等の検
査装置16が設備されており、それらの半導体製造装置
15および検査装置16間に対してウエハキャリア9を
自動的に搬送するための工程内搬送装置としての床上走
行形無軌道台車(以下、床上走行形台車という。)17
が設備されている。また、床上走行形台車17は保管庫
からウエハ8を収容したウエハキャリア9を受け取って
半導体製造装置15に搬送するとともに、半導体製造装
置15または検査装置16からウエハキャリア9を受け
取って保管庫へ受け渡すようになっている。
【0016】図4に示されているように、保管庫20は
フイルタユニット(図示せず)によって室内の清浄度を
維持されるクリーンチャンバ21を備えている。クリー
ンチャンバ21の室内には複数段の保管棚22が架設さ
れており、各保管棚22は複数個のボックス1を載置し
て保管するように構成されている。図5に示されている
ように、各保管棚22の各ボックス載置箇所には大中小
の正方形枠形状をなす大型用位置決め部23a、中型用
位置決め部23bおよび小型用位置決め部23cが同心
的に配されてそれぞれ突設されている。大中小用の各位
置決め部は3個で一組のアングル形状の突起が大中小の
正方形の3か所のコーナーに配されることによって構成
されている。そして、大中小用の各位置決め部は保管対
象物品であるボックス1の各規格の大きさにそれぞれ対
応されている。
フイルタユニット(図示せず)によって室内の清浄度を
維持されるクリーンチャンバ21を備えている。クリー
ンチャンバ21の室内には複数段の保管棚22が架設さ
れており、各保管棚22は複数個のボックス1を載置し
て保管するように構成されている。図5に示されている
ように、各保管棚22の各ボックス載置箇所には大中小
の正方形枠形状をなす大型用位置決め部23a、中型用
位置決め部23bおよび小型用位置決め部23cが同心
的に配されてそれぞれ突設されている。大中小用の各位
置決め部は3個で一組のアングル形状の突起が大中小の
正方形の3か所のコーナーに配されることによって構成
されている。そして、大中小用の各位置決め部は保管対
象物品であるボックス1の各規格の大きさにそれぞれ対
応されている。
【0017】また、クリーンチャンバ21の側壁におけ
る各所定位置には、天井走行形台車14に対してボック
ス1を授受するための工程間出し入れ口24と、床上走
行形台車17に対してボックスを授受するための工程内
出し入れ口25とがそれぞれ開設されている。図6に示
されているように、工程間出し入れ口24には出し入れ
対象物品であるボックス1の大きさを検出するサイズセ
ンサ26が配設されている。図6に示されているサイズ
センサ26は複数個の光学センサが上中下段に配置され
て構成されており、ボックス1の各規格の高さの違いを
検出することによって、工程間出し入れ口24に載置さ
れたボックス1のサイズを検出するように構成されてい
る。サイズセンサ26の検出結果は後記する保管庫コン
トローラに送信されるようになっている。図示および詳
細な説明は省略するが、工程内出し入れ口25にもサイ
ズセンサ26が同様に設備されている。
る各所定位置には、天井走行形台車14に対してボック
ス1を授受するための工程間出し入れ口24と、床上走
行形台車17に対してボックスを授受するための工程内
出し入れ口25とがそれぞれ開設されている。図6に示
されているように、工程間出し入れ口24には出し入れ
対象物品であるボックス1の大きさを検出するサイズセ
ンサ26が配設されている。図6に示されているサイズ
センサ26は複数個の光学センサが上中下段に配置され
て構成されており、ボックス1の各規格の高さの違いを
検出することによって、工程間出し入れ口24に載置さ
れたボックス1のサイズを検出するように構成されてい
る。サイズセンサ26の検出結果は後記する保管庫コン
トローラに送信されるようになっている。図示および詳
細な説明は省略するが、工程内出し入れ口25にもサイ
ズセンサ26が同様に設備されている。
【0018】さらに、クリーンチャンバ21の室内には
ボックス1に付されたコントロールカード7内の情報を
読み取るコントロールカード読取装置27と、後記する
保管庫内ボックス搬送装置30とが設備されている。本
実施形態において、コントロールカード7は例えばバー
コード(図示せず)が印刷されたカードにより構成され
ており、コントロールカード読取装置27はこのコント
ロールカード7に印刷されたバーコードを読み取るバー
コードリーダにより構成されている。
ボックス1に付されたコントロールカード7内の情報を
読み取るコントロールカード読取装置27と、後記する
保管庫内ボックス搬送装置30とが設備されている。本
実施形態において、コントロールカード7は例えばバー
コード(図示せず)が印刷されたカードにより構成され
ており、コントロールカード読取装置27はこのコント
ロールカード7に印刷されたバーコードを読み取るバー
コードリーダにより構成されている。
【0019】保管庫内ボックス搬送装置(以下、スタッ
カクレーンという。)30は、工程間出し入れ口24お
よび工程内出し入れ口25と保管棚22との間でボック
ス1を授受して搬送するように構成されている。すなわ
ち、図1に示されているように、スタッカクレーン30
はクリーンチャンバ21内の床上に敷設されたレール3
1を往復移動する台車32を備えており、台車32の上
には被搬送物としてのボックス1を左右両脇から挟んで
保持する被搬送物保持装置(以下、ボックス保持装置と
いう。)34を昇降させるためのエレベータ33が垂直
に立設されている。
カクレーンという。)30は、工程間出し入れ口24お
よび工程内出し入れ口25と保管棚22との間でボック
ス1を授受して搬送するように構成されている。すなわ
ち、図1に示されているように、スタッカクレーン30
はクリーンチャンバ21内の床上に敷設されたレール3
1を往復移動する台車32を備えており、台車32の上
には被搬送物としてのボックス1を左右両脇から挟んで
保持する被搬送物保持装置(以下、ボックス保持装置と
いう。)34を昇降させるためのエレベータ33が垂直
に立設されている。
【0020】ボックス保持装置34はエレベータ33に
よって昇降される支持台35を備えており、支持台35
には左右方向に移動する左右で一対のリニアモータ3
6、36がそれぞれ設備されており、左右のリニアモー
タ36、36には左右で一対のハンド37、37がそれ
ぞれ固定されている。左右のハンド37、37は支持台
35の前面から前方に直角かつ水平に突出されており、
ボックス1の左右の把手部5に下からそれぞれ係合する
ことによりボックス1を下から持ち上げるようになって
いる。
よって昇降される支持台35を備えており、支持台35
には左右方向に移動する左右で一対のリニアモータ3
6、36がそれぞれ設備されており、左右のリニアモー
タ36、36には左右で一対のハンド37、37がそれ
ぞれ固定されている。左右のハンド37、37は支持台
35の前面から前方に直角かつ水平に突出されており、
ボックス1の左右の把手部5に下からそれぞれ係合する
ことによりボックス1を下から持ち上げるようになって
いる。
【0021】さらに、支持台35にはハンドの位置を検
出する左右で一対の位置センサ38、38が図1(b)
に示されているようにそれぞれ配設されている。図1
(b)に示されている位置センサ38、38は複数個の
光学センサが外側中央および内側の3か所にそれぞれに
配置されて構成されており、ハンド37の現在の位置を
検出するように構成されている。位置センサ38の検出
結果は照合装置39に送信されるようになっている。照
合装置39は左右の位置センサ38、38からの検出信
号と左右のリニアモータ36、36の負荷との関係を照
合することにより左右のハンド37、37によるボック
ス1の保持状態を判定するように構成されている。図示
および詳細な説明は省略するが、ボックス保持装置34
は天井走行形台車14および床上走行形台車17にも設
備されている。
出する左右で一対の位置センサ38、38が図1(b)
に示されているようにそれぞれ配設されている。図1
(b)に示されている位置センサ38、38は複数個の
光学センサが外側中央および内側の3か所にそれぞれに
配置されて構成されており、ハンド37の現在の位置を
検出するように構成されている。位置センサ38の検出
結果は照合装置39に送信されるようになっている。照
合装置39は左右の位置センサ38、38からの検出信
号と左右のリニアモータ36、36の負荷との関係を照
合することにより左右のハンド37、37によるボック
ス1の保持状態を判定するように構成されている。図示
および詳細な説明は省略するが、ボックス保持装置34
は天井走行形台車14および床上走行形台車17にも設
備されている。
【0022】図7(a)に示されているように、保管庫
20の各構成部分は保管庫コントローラ40に通信回路
41によってそれぞれ接続されており、保管庫20にお
ける作業は保管庫コントローラ40によって統括して制
御されるようになっている。
20の各構成部分は保管庫コントローラ40に通信回路
41によってそれぞれ接続されており、保管庫20にお
ける作業は保管庫コントローラ40によって統括して制
御されるようになっている。
【0023】また、図7(b)に示されているように、
工程間搬送装置12、床上走行形台車17、保管庫20
のコントローラは自動搬送システムのホストコントロー
ラ42に通信回路43によりそれぞれ接続されており、
ホストコントローラ42の指令により所定の作業を実行
するようになっている。さらに、この通信回路43には
進度管理システムのコントローラ44が接続されてい
る。
工程間搬送装置12、床上走行形台車17、保管庫20
のコントローラは自動搬送システムのホストコントロー
ラ42に通信回路43によりそれぞれ接続されており、
ホストコントローラ42の指令により所定の作業を実行
するようになっている。さらに、この通信回路43には
進度管理システムのコントローラ44が接続されてい
る。
【0024】次に、前記構成に係る自動搬送システムに
よる搬送作業について保管庫の搬入搬出作業を主体にし
て説明する。
よる搬送作業について保管庫の搬入搬出作業を主体にし
て説明する。
【0025】まず、ボックス1が保管庫20に搬入され
る場合について説明する。ジョブショップ11において
所定の工程を終了したウエハ8はロット毎に元のウエハ
キャリア9に戻され、そのウエハキャリア9はボックス
1に収納される。処理済のウエハキャリア9を収納され
たボックス1は進度管理システムのコントローラ44お
よび自動搬送システムのホストコントローラ42の指定
に従って、工程間搬送装置12により次の工程を処理す
るジョブショップ11へ搬送され、その工程のジョブシ
ョップ11に設置された保管庫20の工程間出し入れ口
24へ搬入されて載置される。
る場合について説明する。ジョブショップ11において
所定の工程を終了したウエハ8はロット毎に元のウエハ
キャリア9に戻され、そのウエハキャリア9はボックス
1に収納される。処理済のウエハキャリア9を収納され
たボックス1は進度管理システムのコントローラ44お
よび自動搬送システムのホストコントローラ42の指定
に従って、工程間搬送装置12により次の工程を処理す
るジョブショップ11へ搬送され、その工程のジョブシ
ョップ11に設置された保管庫20の工程間出し入れ口
24へ搬入されて載置される。
【0026】工程間出し入れ口24に載置されたボック
ス1はサイズセンサ26によって大きさを検出される。
サイズセンサ26によって検出されたボックス1の大き
さは、図7(a)に示されている通信回路41を通じて
保管庫コントローラ40に送信される。保管庫コントロ
ーラ40はサイズセンサ26からのボックス1の大きさ
についての情報に基づいて、そのボックス1に対応した
制御信号をスタッカクレーン30のコントローラ(図示
せず)に指令する。
ス1はサイズセンサ26によって大きさを検出される。
サイズセンサ26によって検出されたボックス1の大き
さは、図7(a)に示されている通信回路41を通じて
保管庫コントローラ40に送信される。保管庫コントロ
ーラ40はサイズセンサ26からのボックス1の大きさ
についての情報に基づいて、そのボックス1に対応した
制御信号をスタッカクレーン30のコントローラ(図示
せず)に指令する。
【0027】スタッカクレーン30は保管庫コントロー
ラ40からの制御信号によって工程間出し入れ口24の
ボックス1を保持する。スタッカクレーン30が被搬送
物であるボックス1を保持するに際して、左右のリニア
モータ36、36は保管庫コントローラ40からの制御
信号によって左右対称に互いに内向きにそれぞれ作動さ
れるため、左右のハンド37、37はボックス1の左右
両脇から均等に閉じて行き、左右のハンド37、37と
ボックス1との左右対称の関係が一致した時にボックス
1の保持を自動的に完了した状態になる。
ラ40からの制御信号によって工程間出し入れ口24の
ボックス1を保持する。スタッカクレーン30が被搬送
物であるボックス1を保持するに際して、左右のリニア
モータ36、36は保管庫コントローラ40からの制御
信号によって左右対称に互いに内向きにそれぞれ作動さ
れるため、左右のハンド37、37はボックス1の左右
両脇から均等に閉じて行き、左右のハンド37、37と
ボックス1との左右対称の関係が一致した時にボックス
1の保持を自動的に完了した状態になる。
【0028】すなわち、例えば、左側のハンド37がボ
ックス1の左側に先に当接しても、左側のハンド37は
保管庫コントローラ40が指定した左側の位置センサ3
8によってその位置を検出されない限り閉じ作動を継続
する。そして、保管庫コントローラ40が指定した左右
の位置センサ38、38は、互いに左右対称に閉じて来
た左右のハンド37、37を検出すると、検出信号を照
合装置39に送信する。他方、互いに左右対称に閉じて
来た左右のハンド37、37がボックス1の左右に当接
すると、互いに押し合う状態になるため、左右のハンド
37、37を駆動するリニアモータ36、36の負荷状
態は変化する。このリニアモータ36、36の負荷状態
の変化は照合装置39に送信される。照合装置39は左
右の位置センサ38、38からの検出信号と両リニアモ
ータ36、36からの信号とを照合することにより、左
右のハンド37、37がボックス1の保持を完了したこ
とを判定し、エレベータ33に持ち上げ作動を指令す
る。
ックス1の左側に先に当接しても、左側のハンド37は
保管庫コントローラ40が指定した左側の位置センサ3
8によってその位置を検出されない限り閉じ作動を継続
する。そして、保管庫コントローラ40が指定した左右
の位置センサ38、38は、互いに左右対称に閉じて来
た左右のハンド37、37を検出すると、検出信号を照
合装置39に送信する。他方、互いに左右対称に閉じて
来た左右のハンド37、37がボックス1の左右に当接
すると、互いに押し合う状態になるため、左右のハンド
37、37を駆動するリニアモータ36、36の負荷状
態は変化する。このリニアモータ36、36の負荷状態
の変化は照合装置39に送信される。照合装置39は左
右の位置センサ38、38からの検出信号と両リニアモ
ータ36、36からの信号とを照合することにより、左
右のハンド37、37がボックス1の保持を完了したこ
とを判定し、エレベータ33に持ち上げ作動を指令す
る。
【0029】以上のようにして左右のハンド37、37
が左右対称に閉じ作動してボックス1を保持するため、
ボックス保持装置34は大きさの規格が異なるボックス
1のいずれをも取り扱うことができる。したがって、保
管庫20しいては自動搬送システムは大きさの規格が異
なるボックス1の混流を実現することができる。
が左右対称に閉じ作動してボックス1を保持するため、
ボックス保持装置34は大きさの規格が異なるボックス
1のいずれをも取り扱うことができる。したがって、保
管庫20しいては自動搬送システムは大きさの規格が異
なるボックス1の混流を実現することができる。
【0030】ボックス1を保持したスタッカクレーン3
0はそのボックス1をコントロールカード読取装置27
に搬送する。コントロールカード読取装置27はボック
ス1の上面に添付されたコントロールカード7のデータ
を読み取って保管庫コントローラ40に送信する。保管
庫コントローラ40はそのデータによってそのボックス
1を保管すべき保管棚22の場所を指定し、スタッカク
レーン30に搬送指令を与える。なお、スタッカクレー
ン30のボックス保持装置34はボックス1を左右対称
形に保持しているため、コントロールカード読取装置2
7の読取ステージとして使用することもできる。すなわ
ち、スタッカクレーン30はボックス1の中心位置をコ
ントロールカード読取装置27の読取位置に位置合わせ
することができる。
0はそのボックス1をコントロールカード読取装置27
に搬送する。コントロールカード読取装置27はボック
ス1の上面に添付されたコントロールカード7のデータ
を読み取って保管庫コントローラ40に送信する。保管
庫コントローラ40はそのデータによってそのボックス
1を保管すべき保管棚22の場所を指定し、スタッカク
レーン30に搬送指令を与える。なお、スタッカクレー
ン30のボックス保持装置34はボックス1を左右対称
形に保持しているため、コントロールカード読取装置2
7の読取ステージとして使用することもできる。すなわ
ち、スタッカクレーン30はボックス1の中心位置をコ
ントロールカード読取装置27の読取位置に位置合わせ
することができる。
【0031】次いで、スタッカクレーン30は保持した
ボックス1を指定された保管棚22の保管場所に搬送し
て移載させる。ボックス1の保管棚22への移載に際し
て、スタッカクレーン30のボックス保持装置34はボ
ックス1を左右対称形に保持しているため、ボックス1
の中心位置を大中小用の位置決め部23a、23b、2
3cのいずれの中心にも位置合わせすることができる。
したがって、スタッカクレーン30はボックス1と位置
決め部とを位置合わせした後にエレベータ33を下降作
動させることより、ボックス1をその規格サイズに対応
した大中小用の位置決め部23a、23b、23cのい
ずれか位置合わせさせることができる。そして、ボック
ス保持装置34の左右のハンド37、37が各リニアモ
ータ36、36によって左右対称形に開き作動される
と、ボックス1は保管棚22の指定された場所に移載さ
れた状態になる。
ボックス1を指定された保管棚22の保管場所に搬送し
て移載させる。ボックス1の保管棚22への移載に際し
て、スタッカクレーン30のボックス保持装置34はボ
ックス1を左右対称形に保持しているため、ボックス1
の中心位置を大中小用の位置決め部23a、23b、2
3cのいずれの中心にも位置合わせすることができる。
したがって、スタッカクレーン30はボックス1と位置
決め部とを位置合わせした後にエレベータ33を下降作
動させることより、ボックス1をその規格サイズに対応
した大中小用の位置決め部23a、23b、23cのい
ずれか位置合わせさせることができる。そして、ボック
ス保持装置34の左右のハンド37、37が各リニアモ
ータ36、36によって左右対称形に開き作動される
と、ボックス1は保管棚22の指定された場所に移載さ
れた状態になる。
【0032】なお、このボックス1の保管棚22におけ
る保管状態において、ボックス1の脚部6は大中小用の
位置決め部23a、23b、23cのいずれかに係合し
た状態になるため、ボックス1は保管棚22の指定され
た場所に位置座標を特定された状態で保管されることに
なる。この位置座標はボックス1のコードと共に保管庫
コントローラ40、自動搬送システムのホストコントロ
ーラ42および進度管理システムのコントローラ44に
記憶される。また、ボックス1の下面には脚部6が突設
されているため、ボックス1の下面に内側に位置する中
型用位置決め部23bまたは小型用位置決め部23cが
干渉することはない。
る保管状態において、ボックス1の脚部6は大中小用の
位置決め部23a、23b、23cのいずれかに係合し
た状態になるため、ボックス1は保管棚22の指定され
た場所に位置座標を特定された状態で保管されることに
なる。この位置座標はボックス1のコードと共に保管庫
コントローラ40、自動搬送システムのホストコントロ
ーラ42および進度管理システムのコントローラ44に
記憶される。また、ボックス1の下面には脚部6が突設
されているため、ボックス1の下面に内側に位置する中
型用位置決め部23bまたは小型用位置決め部23cが
干渉することはない。
【0033】次に、保管庫20に保管されたボックス1
がジョブショップ11内に投入されるべく、保管庫20
から搬出される場合について説明する。この場合、進度
管理システムのコントローラ44は自動搬送システムの
ホストコントローラ42に、搬出すべきボックス1をコ
ントロールカード7のコードによって指定して指令す
る。自動搬送システムのホストコントローラ42は保管
庫コントローラ40に搬出すべきボックス1のコードを
送信する。送信されたコードを受信した保管庫コントロ
ーラ40は、搬出すべきボックス1が保管された保管棚
22の場所を保管棚22の位置座標によってスタッカク
レーン30に指定する。
がジョブショップ11内に投入されるべく、保管庫20
から搬出される場合について説明する。この場合、進度
管理システムのコントローラ44は自動搬送システムの
ホストコントローラ42に、搬出すべきボックス1をコ
ントロールカード7のコードによって指定して指令す
る。自動搬送システムのホストコントローラ42は保管
庫コントローラ40に搬出すべきボックス1のコードを
送信する。送信されたコードを受信した保管庫コントロ
ーラ40は、搬出すべきボックス1が保管された保管棚
22の場所を保管棚22の位置座標によってスタッカク
レーン30に指定する。
【0034】スタッカクレーン30は保管庫コントロー
ラ40からの制御信号によって指定された保管場所のボ
ックス1を保持する。スタッカクレーン30がボックス
1を保持するに際して、前述と同様に、左右のリニアモ
ータ36、36は保管庫コントローラ40からの制御信
号によって左右対称に互いに内向きにそれぞれ作動され
るため、左右のハンド37、37はボックス1の左右両
脇から均等に閉じて行き、左右のハンド37、37とボ
ックス1との左右対称の関係が一致した時にボックス1
の保持を自動的に完了した状態になる。そして、この場
合にも左右のハンド37、37が左右対称に閉じ作動し
てボックス1を保持するため、ボックス保持装置34は
大きさの規格が異なるボックス1のいずれをも取り扱う
ことができる。したがって、保管庫20しいては自動搬
送システムは大きさの規格が異なるボックス1の混流を
実現することができる。
ラ40からの制御信号によって指定された保管場所のボ
ックス1を保持する。スタッカクレーン30がボックス
1を保持するに際して、前述と同様に、左右のリニアモ
ータ36、36は保管庫コントローラ40からの制御信
号によって左右対称に互いに内向きにそれぞれ作動され
るため、左右のハンド37、37はボックス1の左右両
脇から均等に閉じて行き、左右のハンド37、37とボ
ックス1との左右対称の関係が一致した時にボックス1
の保持を自動的に完了した状態になる。そして、この場
合にも左右のハンド37、37が左右対称に閉じ作動し
てボックス1を保持するため、ボックス保持装置34は
大きさの規格が異なるボックス1のいずれをも取り扱う
ことができる。したがって、保管庫20しいては自動搬
送システムは大きさの規格が異なるボックス1の混流を
実現することができる。
【0035】ボックス1を保持したスタッカクレーン3
0はそのボックス1をコントロールカード読取装置27
に搬送する。コントロールカード読取装置27はボック
ス1の上面に添付されたコントロールカード7のデータ
を読み取って保管庫コントローラ40に送信する。保管
庫コントローラ40は読み取られたコードと指定された
コードとを照合し、一致している場合には、スタッカク
レーン30に工程内出し入れ口25への搬送指令を与え
る。なお、不一致の場合には、保管庫コントローラ40
はスタッカクレーン30にやり直しを命令する。
0はそのボックス1をコントロールカード読取装置27
に搬送する。コントロールカード読取装置27はボック
ス1の上面に添付されたコントロールカード7のデータ
を読み取って保管庫コントローラ40に送信する。保管
庫コントローラ40は読み取られたコードと指定された
コードとを照合し、一致している場合には、スタッカク
レーン30に工程内出し入れ口25への搬送指令を与え
る。なお、不一致の場合には、保管庫コントローラ40
はスタッカクレーン30にやり直しを命令する。
【0036】次いで、スタッカクレーン30は保持した
ボックス1を工程内出し入れ口25に搬送して移載す
る。ボックス1の工程内出し入れ口25への移載に際し
て、スタッカクレーン30のボックス保持装置34はボ
ックス1を左右対称形に保持しているため、ボックス1
の中心位置を工程内出し入れ口25の中心に位置合わせ
することができる。したがって、スタッカクレーン30
によって工程内出し入れ口25に移載されたボックス1
は常に一定の位置を維持することができる。
ボックス1を工程内出し入れ口25に搬送して移載す
る。ボックス1の工程内出し入れ口25への移載に際し
て、スタッカクレーン30のボックス保持装置34はボ
ックス1を左右対称形に保持しているため、ボックス1
の中心位置を工程内出し入れ口25の中心に位置合わせ
することができる。したがって、スタッカクレーン30
によって工程内出し入れ口25に移載されたボックス1
は常に一定の位置を維持することができる。
【0037】工程内出し入れ口25に載置されたボック
ス1はサイズセンサ26によって大きさを検出される。
サイズセンサ26によって検出されたボックス1の大き
さは、保管庫コントローラ40を通じて自動搬送システ
ムのホストコントローラ42に送信される。自動搬送シ
ステムのホストコントローラ42はサイズセンサ26か
らのボックス1の大きさについての情報に基づいて、そ
のボックス1に対応した制御信号を工程内搬送装置であ
る床上走行形台車17のコントローラ(図示せず)に指
令する。
ス1はサイズセンサ26によって大きさを検出される。
サイズセンサ26によって検出されたボックス1の大き
さは、保管庫コントローラ40を通じて自動搬送システ
ムのホストコントローラ42に送信される。自動搬送シ
ステムのホストコントローラ42はサイズセンサ26か
らのボックス1の大きさについての情報に基づいて、そ
のボックス1に対応した制御信号を工程内搬送装置であ
る床上走行形台車17のコントローラ(図示せず)に指
令する。
【0038】床上走行形台車17は自動搬送システムの
ホストコントローラ42からの制御信号によって、ボッ
クス1の蓋体3を開いてボックス1内からウエハキャリ
ア9を取り出して保持する。床上走行形台車17は保持
したウエハキャリア9をジョブショップ11内の指定さ
れた半導体製造装置15または検査装置16に搬送す
る。そして、半導体製造装置15または検査装置16に
搬送されたウエハキャリア9のウエハ8は所定の処理を
実行される。
ホストコントローラ42からの制御信号によって、ボッ
クス1の蓋体3を開いてボックス1内からウエハキャリ
ア9を取り出して保持する。床上走行形台車17は保持
したウエハキャリア9をジョブショップ11内の指定さ
れた半導体製造装置15または検査装置16に搬送す
る。そして、半導体製造装置15または検査装置16に
搬送されたウエハキャリア9のウエハ8は所定の処理を
実行される。
【0039】他方、工程内出し入れ口25においてウエ
ハキャリア9を取り出された空のボックス1は、スタッ
カクレーン30によって再び保持されてコントロールカ
ード読取装置27に搬送されコントロールカード7を読
み取られた後に、元の保管棚22の指定場所に戻され
る。
ハキャリア9を取り出された空のボックス1は、スタッ
カクレーン30によって再び保持されてコントロールカ
ード読取装置27に搬送されコントロールカード7を読
み取られた後に、元の保管棚22の指定場所に戻され
る。
【0040】その後、ウエハ8に対するジョブショップ
11内における所定の工程が最終段階まで終了すると、
ウエハ8を収納したウエハキャリア9はスタッカクレー
ン30によって工程内出し入れ口25に再び搬送された
元の空ボックス1に戻される。以降、前述した作業が繰
り返されることにより、ボックス1が各工程のジョブシ
ョップ11を流れて行く。
11内における所定の工程が最終段階まで終了すると、
ウエハ8を収納したウエハキャリア9はスタッカクレー
ン30によって工程内出し入れ口25に再び搬送された
元の空ボックス1に戻される。以降、前述した作業が繰
り返されることにより、ボックス1が各工程のジョブシ
ョップ11を流れて行く。
【0041】前記実施形態によれば次の効果が得られ
る。 (1) ボックス保持装置の左右のハンドが左右対称に
閉じ作動してボックスを保持することにより、ボックス
保持装置は大きさの規格が異なるボックスのいずれをも
取り扱うことができるため、保管庫しいては自動搬送シ
ステムは大きさの規格が異なるボックスの混流を実現す
ることができる。
る。 (1) ボックス保持装置の左右のハンドが左右対称に
閉じ作動してボックスを保持することにより、ボックス
保持装置は大きさの規格が異なるボックスのいずれをも
取り扱うことができるため、保管庫しいては自動搬送シ
ステムは大きさの規格が異なるボックスの混流を実現す
ることができる。
【0042】(2) 保管庫の工程間出し入れ口や工程
内出し入れ口にボックスのサイズを検出するサイズセン
サを配備することにより、取り扱うボックスのサイズを
予め認識することができるため、ボックス保持装置は大
きさの規格が異なるボックスのいずれをも、より一層正
確かつ確実に保持することができる。
内出し入れ口にボックスのサイズを検出するサイズセン
サを配備することにより、取り扱うボックスのサイズを
予め認識することができるため、ボックス保持装置は大
きさの規格が異なるボックスのいずれをも、より一層正
確かつ確実に保持することができる。
【0043】(3) ボックス保持装置に位置センサお
よび照合装置を装備することにより、左右のハンドによ
る異なるサイズのボックスの保持作動を確実かつ安全に
実行させることができる。
よび照合装置を装備することにより、左右のハンドによ
る異なるサイズのボックスの保持作動を確実かつ安全に
実行させることができる。
【0044】(4) 大きさの規格が異なるボックスの
自動搬送を実現することにより、半導体装置の製造工場
におけるサイズの異なるウエハの混流生産を実現するこ
とができるため、半導体装置の製造工場におけるFA化
および多品種少量生産を促進することができる。
自動搬送を実現することにより、半導体装置の製造工場
におけるサイズの異なるウエハの混流生産を実現するこ
とができるため、半導体装置の製造工場におけるFA化
および多品種少量生産を促進することができる。
【0045】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0046】例えば、ウエハ加工ラインはワンフロアー
に構築するに限らず、複数階に構築してもよい。ウエハ
加工ラインが複数階に構築されている場合には、工程間
搬送装置としてはフロアー間搬送装置(リフター)も併
用されることになる。
に構築するに限らず、複数階に構築してもよい。ウエハ
加工ラインが複数階に構築されている場合には、工程間
搬送装置としてはフロアー間搬送装置(リフター)も併
用されることになる。
【0047】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
キャリアを収納したボックスの自動搬送システムに適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、サイズの異なるウエハキャリア等のサイズが異
なる複数規格の物品が混流する場合の自動搬送システム
全般に適用することができる。また、製造工場に限ら
ず、倉庫業や商品の販売業、運送業等の自動搬送システ
ムにも適用することができる。
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
キャリアを収納したボックスの自動搬送システムに適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、サイズの異なるウエハキャリア等のサイズが異
なる複数規格の物品が混流する場合の自動搬送システム
全般に適用することができる。また、製造工場に限ら
ず、倉庫業や商品の販売業、運送業等の自動搬送システ
ムにも適用することができる。
【0048】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
【0049】被搬送物保持装置の左右のハンドが左右対
称に閉じ作動して被搬送物を保持することにより、被搬
送物保持装置は大きさの規格が異なる被搬送物のいずれ
をも取り扱うことができるため、自動搬送システムは大
きさの規格が異なる被搬送物の混流を実現することがで
きる。
称に閉じ作動して被搬送物を保持することにより、被搬
送物保持装置は大きさの規格が異なる被搬送物のいずれ
をも取り扱うことができるため、自動搬送システムは大
きさの規格が異なる被搬送物の混流を実現することがで
きる。
【図1】本発明の一実施形態である自動搬送システムの
被搬送物保持装置を示しており、(a)は一部省略斜視
図、(b)は模式図である。
被搬送物保持装置を示しており、(a)は一部省略斜視
図、(b)は模式図である。
【図2】それが使用されているウエハ加工ラインを示す
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図3】ジョブショップを示す概略斜視図である。
【図4】保管庫を示す概略斜視図である。
【図5】保管棚を示す各一部省略斜視図であり、(a)
はボックスの保管前を、(b)は保管後をそれぞれ示し
ている。
はボックスの保管前を、(b)は保管後をそれぞれ示し
ている。
【図6】保管庫の出し入れ口を示す概略斜視図である。
【図7】制御系統を示す各ブロック図であり、(a)は
保管庫の制御系統、(b)は全体の制御系統をそれぞれ
示している。
保管庫の制御系統、(b)は全体の制御系統をそれぞれ
示している。
1…ボックス、2…本体、3…蓋体、4…ヒンジ、5…
把手部、6…脚部、7…コントロールカード、8…ウエ
ハ、9…ウエハキャリア、10…ウエハ加工ライン、1
1…ジョブショップ、12…工程間搬送装置、13…天
井走行形台車用レール、14…天井走行形軌道式搬送台
車(天井走行形台車)、15…半導体製造装置、16…
検査装置、17…床上走行形無軌道台車(床上走行形台
車、工程内搬送装置)、20…保管庫、21…クリーン
チャンバ、22…保管棚、23a…大型用位置決め部、
23b…中型用位置決め部、23c…小型用位置決め
部、24…工程間出し入れ口、25…工程内出し入れ
口、26…サイズセンサ、27…コントロールカード読
取装置、30…保管庫内ボックス搬送装置(スタッカク
レーン)、31…レール、32…台車、33…エレベー
タ、34…被搬送物保持装置(ボックス保持装置)、3
5…支持台、36…リニアモータ、37…ハンド、38
…位置センサ、39…照合装置、40…保管庫コントロ
ーラ、41…通信回路、42…自動搬送システムのホス
トコントローラ、43…通信回路、44…進度管理シス
テムのコントローラ。
把手部、6…脚部、7…コントロールカード、8…ウエ
ハ、9…ウエハキャリア、10…ウエハ加工ライン、1
1…ジョブショップ、12…工程間搬送装置、13…天
井走行形台車用レール、14…天井走行形軌道式搬送台
車(天井走行形台車)、15…半導体製造装置、16…
検査装置、17…床上走行形無軌道台車(床上走行形台
車、工程内搬送装置)、20…保管庫、21…クリーン
チャンバ、22…保管棚、23a…大型用位置決め部、
23b…中型用位置決め部、23c…小型用位置決め
部、24…工程間出し入れ口、25…工程内出し入れ
口、26…サイズセンサ、27…コントロールカード読
取装置、30…保管庫内ボックス搬送装置(スタッカク
レーン)、31…レール、32…台車、33…エレベー
タ、34…被搬送物保持装置(ボックス保持装置)、3
5…支持台、36…リニアモータ、37…ハンド、38
…位置センサ、39…照合装置、40…保管庫コントロ
ーラ、41…通信回路、42…自動搬送システムのホス
トコントローラ、43…通信回路、44…進度管理シス
テムのコントローラ。
Claims (3)
- 【請求項1】 サイズが異なる複数規格の被搬送物を自
動的に搬送する自動搬送システムであって、 前記被搬送物を保持する被搬送物保持装置は、互いに左
右対称に開閉する一対のハンドと、両ハンドの現在の位
置を検出する一対の位置センサと、両位置センサからの
検出信号とハンド駆動用モータの負荷との関係を照合す
る照合装置とを備えていることを特徴とする自動搬送シ
ステム。 - 【請求項2】 前記被搬送物が載置される場所に被搬送
物のサイズを検出するサイズセンサが設置されているこ
とを特徴とする請求項1に記載の自動搬送システム。 - 【請求項3】 前記被搬送物を保管する保管庫の出し入
れ口に前記サイズセンサが設置されており、前記被搬送
物保持装置がこの出し入れ口と保管庫の各保管棚との間
を往復するように構成されていることを特徴とする請求
項2に記載の自動搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5555496A JPH09221203A (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | 自動搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5555496A JPH09221203A (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | 自動搬送システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH09221203A true JPH09221203A (ja) | 1997-08-26 |
Family
ID=13001928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP5555496A Pending JPH09221203A (ja) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | 自動搬送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09221203A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-02-19 JP JP5555496A patent/JPH09221203A/ja active Pending
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