JPH09218066A - Flow rate sensor - Google Patents
Flow rate sensorInfo
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- JPH09218066A JPH09218066A JP8025547A JP2554796A JPH09218066A JP H09218066 A JPH09218066 A JP H09218066A JP 8025547 A JP8025547 A JP 8025547A JP 2554796 A JP2554796 A JP 2554796A JP H09218066 A JPH09218066 A JP H09218066A
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- heating resistor
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、給湯器、空調機等
に使用される流量センサに関し、詳しくは、発熱用抵抗
体に付着した異物を焼却除去するようにした流量センサ
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow rate sensor used for a water heater, an air conditioner, etc., and more particularly to a flow rate sensor for removing foreign matter adhering to a heating resistor by incineration.
【0002】[0002]
【従来の技術】給湯器、空調機等の空気の流量(流速)
を測定する流量センサとして、発熱させた抵抗体を流体
の流れにさらし、その放熱作用の大きさから流体の流量
を検出するようにした熱式の流量センサがある。2. Description of the Related Art Flow rate (flow velocity) of air from a water heater, air conditioner, etc.
As a flow rate sensor for measuring, there is a thermal type flow rate sensor which detects a flow rate of the fluid by exposing a heat-generating resistor to the flow of the fluid and detecting the heat radiation effect.
【0003】図4は、このような流量センサのいわゆる
定温度差法と称される基本回路構成を示す図である。こ
の流量センサは、流体の流路となる管20内にセンサ素
子となる発熱用抵抗体RHと温度補償用抵抗体RTとが配
設され、抵抗R1、R2とともに抵抗ブリッジ回路が形
成され、発熱用抵抗体RHと抵抗R1との接続点と、温
度補償用抵抗体RTと抵抗R2との接続点はそれぞれ差
動増幅器(オペアンプ)OPAの入力端に接続され、差
動増幅器OPAの出力端はトランジスタTr1のベース
に接続され、トランジスタTr1のエミッタは抵抗R
1,R2の接続点に接続され、トランジスタTr1のコ
レクタに電源電圧Vccが印加されて構成されている。FIG. 4 is a diagram showing a basic circuit configuration of such a flow sensor, which is a so-called constant temperature difference method. In this flow rate sensor, a heat generating resistor RH and a temperature compensating resistor RT which are sensor elements are arranged in a tube 20 which is a fluid flow path, and a resistor bridge circuit is formed together with the resistors R1 and R2 to generate heat. The connection point between the resistor RH and the resistor R1 and the connection point between the temperature compensation resistor RT and the resistor R2 are respectively connected to the input ends of the differential amplifier (op amp) OPA, and the output end of the differential amplifier OPA is It is connected to the base of the transistor Tr1 and the emitter of the transistor Tr1 has a resistor R
It is connected to the connection point of 1 and R2, and the power supply voltage Vcc is applied to the collector of the transistor Tr1.
【0004】発熱用抵抗体RHは、流体の温度より一定
温度、たとえば自動車のエアーフローセンサでは200
℃〜250℃、給湯器や空調機等の用途では20℃〜3
0℃高くなるように加熱制御されており、温度補償用抵
抗体RTは、流体そのものの温度を検知し、流体温度の
影響を補償するためのものである。The heat-generating resistor RH has a constant temperature higher than the temperature of the fluid, for example, 200 in an air flow sensor of an automobile.
℃ to 250 ℃, 20 ℃ to 3 for applications such as water heaters and air conditioners
The temperature is controlled to be increased by 0 ° C., and the temperature compensating resistor RT detects the temperature of the fluid itself and compensates for the influence of the fluid temperature.
【0005】流量の変化による発熱用抵抗体RHの放熱
量に応じた抵抗値の変化に対して、ブリッジ回路の平衡
状態を保つようにブリッジ回路への供給電流が変化し、
差動増幅器OPAの出力端には流量に応じた出力電圧V
oが出力される。The supply current to the bridge circuit changes so as to maintain the equilibrium state of the bridge circuit with respect to the change of the resistance value according to the heat radiation amount of the heating resistor RH due to the change of the flow rate,
At the output terminal of the differential amplifier OPA, an output voltage V according to the flow rate
o is output.
【0006】発熱用抵抗体RH及び温度補償用抵抗体RT
としては、アルミナ等の絶縁基板上に白金等の金属膜か
らなる抵抗パターンが形成された感温抵抗体が用いら
れ、上記ブリッジ回路及び差動増幅器等で構成される信
号処理回路が形成された回路基板にはんだ付け等により
取り付けられる。Heating resistor RH and temperature compensating resistor RT
As the temperature sensitive resistor, a resistance pattern made of a metal film such as platinum is formed on an insulating substrate such as alumina, and a signal processing circuit including the bridge circuit and the differential amplifier is formed. It is attached to the circuit board by soldering.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】このような流量センサ
においては、センサ素子である両抵抗体RH,RTは、常
に空気の流れの中にさらされており、使用しているうち
に、その表面に油、塵、埃等の異物が付着して、測定精
度が低下するという問題があった。特に、発熱用抵抗体
RHに異物が付着すると、発熱用抵抗体RHの空気への熱
伝達率、熱放射率及び発熱用抵抗体RHの熱容量が変化
し、流量の測定(検出)精度及び応答性が大幅に劣化す
るという問題があった。台所等で使用される給湯器、空
調機、換気扇等の用途に用いられる場合は、油分の異物
が付着やすく、これらの用途での異物付着に対する対策
が強く要求されている。In such a flow rate sensor, both resistors RH and RT, which are sensor elements, are constantly exposed to the flow of air, and their surfaces are in use during use. There has been a problem that foreign matter such as oil, dust, and dust adheres to the surface, which lowers the measurement accuracy. Particularly, when a foreign substance adheres to the heating resistor RH, the heat transfer coefficient to the air of the heating resistor RH, the thermal emissivity, and the heat capacity of the heating resistor RH change, and the flow rate measurement (detection) accuracy and response There was a problem that the property deteriorates significantly. When used in applications such as water heaters, air conditioners, and ventilation fans used in the kitchen, oily foreign matter tends to adhere, and measures against such foreign matter adhesion are strongly required.
【0008】この異物付着の対策として発熱用抵抗体R
Hを常時200℃〜250℃の高い温度に設定すれば、
異物付着はおこりにくくなるが、安全性への配慮が必要
となる、消費電力が大きくなる等の問題が生じ、さら
に、発熱用抵抗体RHの回路基板への取付部も高温にな
るため、発熱用抵抗体RHの取付(保持)方法に制約が
でき、センサー全体の小形化、低コスト化が困難である
という問題があった。As a countermeasure against the adhesion of foreign matter, the heating resistor R
If H is constantly set to a high temperature of 200 ° C to 250 ° C,
Although foreign matter is less likely to adhere, there are problems such as consideration for safety and increased power consumption. Furthermore, the temperature of the mounting part of the heating resistor RH to the circuit board also becomes high. There is a problem in that it is difficult to reduce the size and cost of the entire sensor because the method for attaching (holding) the resistor RH can be restricted.
【0009】そこで、本発明の目的は、周期的または所
望の時に発熱用抵抗体を高温に加熱することにより、発
熱用抵抗体に付着した異物を焼却除去する流量センサを
提供することにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a flow rate sensor for incinerating and removing foreign matter adhering to the heating resistor by heating the heating resistor to a high temperature periodically or at a desired time.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に係る発明は、絶縁基板上に薄膜抵抗パタ
ーンが形成された発熱用抵抗体及び温度補償用抵抗体と
を流体中に配設し、前記各抵抗体からの信号を処理する
信号処理回路とを備え、前記発熱用抵抗体の放熱を利用
して流体の流量を検知する流量センサにおいて、周期的
または所望の時に所定の時間、前記発熱用抵抗体に、直
接電源電圧を印加するスイッチング手段が設けられ、前
記発熱用抵抗体を300℃〜500℃に加熱することに
より、前記発熱用抵抗体に付着した異物を焼却除去する
ことを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 provides a heating resistor and a temperature compensating resistor, each having a thin film resistance pattern formed on an insulating substrate, in a fluid. And a signal processing circuit for processing a signal from each of the resistors, which detects the flow rate of the fluid by utilizing the heat dissipation of the heat-generating resistors. For a period of time, the heating resistor is provided with a switching means for directly applying a power supply voltage, and the heating resistor is heated to 300 ° C. to 500 ° C. to incinerate foreign matter adhering to the heating resistor. It is characterized by being removed.
【0011】請求項2に係る発明は、請求項1に係る流
量センサにおいて、 前記スイッチング手段がトランジ
スタで構成され、前記発熱用抵抗体が前記トランジスタ
を介して電源に接続されていることを特徴とするもので
ある。According to a second aspect of the present invention, in the flow sensor according to the first aspect, the switching means is composed of a transistor, and the heating resistor is connected to a power source through the transistor. To do.
【0012】請求項3に係る発明は、請求項1または請
求項2に係る流量センサにおいて、前記発熱用抵抗体の
抵抗パターン形成部の長さが前記絶縁基板の長さの1/
3以下であることを特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, in the flow sensor according to the first or second aspect, the length of the resistance pattern forming portion of the heating resistor is 1 / the length of the insulating substrate.
It is characterized by being 3 or less.
【0013】なお、上記発熱抵抗体の異物焼却のための
加熱時は、流量の検出は行われない。The flow rate is not detected during heating of the heating resistor for burning foreign matter.
【0014】上記の構成によれば、発熱用抵抗体は30
0℃〜500℃の高温に加熱されるため、発熱用抵抗体
に付着した油等の異物を焼却除去することができる。こ
の加熱は周期的あるいは所望の時に短時間行われるだけ
であり、消費電力の増加を抑えることができるととも
に、その熱による他の部品及び部材へ影響は少なく、か
つ安全性が損なわれることもない。また、発熱用抵抗体
の取付部の温度上昇を抑えることができる。According to the above construction, the heating resistor is 30
Since it is heated to a high temperature of 0 ° C to 500 ° C, it is possible to incinerate and remove foreign matter such as oil attached to the heat-generating resistor. This heating is carried out periodically or only for a short time at a desired time, so that the increase in power consumption can be suppressed, the heat has little influence on other parts and members, and the safety is not impaired. . Further, it is possible to suppress the temperature rise of the mounting portion of the heating resistor.
【0015】また、発熱用抵抗体の抵抗パターン形成部
の長さを絶縁基板の長さの1/3以下とすることによ
り、取付部の温度をはんだが溶融しない温度以下に抑え
ることが可能となる。Further, by setting the length of the resistance pattern forming portion of the heating resistor to be 1/3 or less of the length of the insulating substrate, it is possible to suppress the temperature of the mounting portion to a temperature below which the solder does not melt. Become.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施例を示す
図面に基づいて説明する。以下の図において、従来例と
同一または同一機能のものについては同一符号を付し、
その説明を省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings showing embodiments thereof. In the following figures, the same reference numerals are given to those having the same or the same functions as those of the conventional example,
The description is omitted.
【0017】図1は本発明の一実施例に係る流量センサ
の回路図である。本実施例の流量センサは、図1に示す
ように、従来例の図4で説明した基本回路にスイッチン
グ用のトランジスタTr2を付加して構成されている。
具体的には、抵抗ブリッジ回路の発熱用抵抗体RHと抵
抗R1の接続点にトランジスタTr2のコレクタが接続
され、トランジスタTr2のエミッタは電源Vccに接
続され、トランジスタTr2のベースは信号入力端aに
接続され、信号入力端aに印加されるパルス信号Psに
より、トランジスタTr2がON/OFFするように構
成されている。FIG. 1 is a circuit diagram of a flow sensor according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the flow rate sensor of the present embodiment is configured by adding a switching transistor Tr2 to the basic circuit described in FIG. 4 of the conventional example.
Specifically, the collector of the transistor Tr2 is connected to the connection point between the heating resistor RH and the resistor R1 of the resistance bridge circuit, the emitter of the transistor Tr2 is connected to the power supply Vcc, and the base of the transistor Tr2 is connected to the signal input end a. The transistor Tr2 is configured to be turned on / off by the pulse signal Ps which is connected and applied to the signal input end a.
【0018】すなわち、本実施例の流量センサでは、発
熱用抵抗体RHには、流量を検出するための信号処理回
路の電源電圧Vccとは別にトランジスタTr2を介し
て電源電圧Vccが直接印加され、トランジスタTr2
のベースにパルス信号Psが入力された時に、パルス信
号Psのパルス幅の時間だけ発熱用抵抗体RHを高温に
加熱するように構成されている。That is, in the flow rate sensor of the present embodiment, the power supply voltage Vcc is directly applied to the heating resistor RH via the transistor Tr2 separately from the power supply voltage Vcc of the signal processing circuit for detecting the flow rate. Transistor Tr2
When the pulse signal Ps is input to the base of the above, the heating resistor RH is heated to a high temperature for the duration of the pulse width of the pulse signal Ps.
【0019】そして、この加熱により、発熱用抵抗体R
Hの抵抗パターン部に付着した油分、塵、埃等の異物は
焼却除去される。上記パルス信号Psのパルス幅すなわ
ち加熱時間は、使用される場所、付着する異物の種類を
考慮して、発熱用抵抗体RHの抵抗パターン形成部の温
度が付着した異物を焼却して飛散させることができる温
度300℃〜500℃の範囲に設定される。By this heating, the heating resistor R
Foreign matters such as oil, dust, and dust attached to the H resistance pattern portion are incinerated and removed. The pulse width of the pulse signal Ps, that is, the heating time, should be incinerated and scattered by the temperature of the resistance pattern forming portion of the heating resistor RH in consideration of the place of use and the type of foreign matter that adheres. The temperature is set in the range of 300 ° C to 500 ° C.
【0020】パルス信号Psの印加は、1日〜数日に一
回の周期でに自動的に、あるいは所望の時に手動で行わ
れる。すなわち、異物焼却の周期は使用環境に応じて設
定され、多量の異物の無機塵埃化により800℃まで焼
却温度を上昇させないと除去できない事態を回避する。Application of the pulse signal Ps is performed automatically once a day to once every several days, or manually at a desired time. That is, the cycle of incineration of foreign matter is set according to the use environment, and it is possible to avoid a situation in which a large amount of foreign matter becomes inorganic dust and cannot be removed unless the incineration temperature is raised to 800 ° C.
【0021】パルス信号Psの波形は矩形状に限定され
るものではなく、トランジスタTr2のベースにトラン
ジスタをON状態とする0.6〜0.7V以上の電圧が
所定の時間印加されるような波形であればよい。The waveform of the pulse signal Ps is not limited to a rectangular shape, and a waveform of 0.6 to 0.7 V or more for turning on the transistor Tr2 is applied to the base of the transistor Tr2 for a predetermined time. If
【0022】次に、上記回路構成を具現化した流量セン
サ及び発熱用抵抗体RHの構造を図2及び図3に示す。Next, FIGS. 2 and 3 show the structures of the flow rate sensor and the heating resistor RH embodying the above circuit configuration.
【0023】図2に示すように、この流量センサは、縦
長の窓部2が形成された回路基板1、窓部2を跨ぐよう
に実装された発熱用抵抗体RH及び温度補償用抵抗体R
T、回路基板1上に配設された差動増幅器4、電流増幅
用のトランジスタ5、ブリッジ回路等を構成する抵抗
(チップ抵抗)6・・、スイッチング用のトランジスタ
7及び入出力端子8・・を備えて構成されている。複数
の抵抗6のうち2つが図1に示す回路のR1,R2に対
応するのものであり、実際の回路においては、温度調整
用や出力オフセット調整用の抵抗等が付加される。発熱
用抵抗体RHと温度補償用抵抗体RTとは所望の熱分離を
得るために、窓部2を跨ぐようにかつ所定の距離をおい
てはんだ付けされ、実装強度を高めるためにはんだ付部
を覆うようにエポキシ樹脂等の補強材9が塗布されてい
る。As shown in FIG. 2, this flow sensor includes a circuit board 1 having a vertically long window portion 2, a heating resistor RH and a temperature compensation resistor R mounted so as to straddle the window portion 2.
T, a differential amplifier 4 arranged on the circuit board 1, a transistor 5 for current amplification, a resistor (chip resistor) 6 which constitutes a bridge circuit, etc., a switching transistor 7 and an input / output terminal 8 ... It is configured with. Two of the plurality of resistors 6 correspond to R1 and R2 of the circuit shown in FIG. 1. In an actual circuit, resistors for temperature adjustment and output offset adjustment are added. The heat-generating resistor RH and the temperature-compensating resistor RT are soldered so as to straddle the window portion 2 and at a predetermined distance in order to obtain a desired heat separation, and a soldering portion is provided to enhance mounting strength. A reinforcing material 9 such as an epoxy resin is applied so as to cover the.
【0024】発熱用抵抗体RH及び温度補償用抵抗体RT
は、図3に示すように、アルミナ等の長方形の絶縁基板
11上に白金等の金属膜からなる抵抗パターン14が形
成され、取付部となる絶縁基板11の両端側であって、
抵抗パターン14の回路上での両端部に端子電極15、
15が形成され、チップ型の感温抵抗体として構成され
ている。抵抗パターン14は絶縁基板11の長手方向の
中央部の金属膜12をエッチング、レーザートリマー等
で削除して溝13を形成することにより形成されてい
る。Heating resistor RH and temperature compensating resistor RT
As shown in FIG. 3, a resistance pattern 14 made of a metal film of platinum or the like is formed on a rectangular insulating substrate 11 made of alumina or the like, and on both sides of the insulating substrate 11 to be a mounting portion,
Terminal electrodes 15 are formed on both ends of the resistance pattern 14 on the circuit,
15 is formed and configured as a chip type temperature sensitive resistor. The resistance pattern 14 is formed by etching the metal film 12 in the central portion of the insulating substrate 11 in the longitudinal direction and removing the metal film 12 with a laser trimmer to form a groove 13.
【0025】発熱用抵抗体RHの抵抗パターン形成部の
長さAは絶縁基板11の長さBの1/3以下となるよう
に形成されている。絶縁基板11の厚み0.15mm〜
0.3mm、長さ2.0mm〜3.0mm、抵抗約10
Ωの上記構成の発熱用抵抗体RHを用いて実験した結
果、電源電圧VccDC5.0Vを約1分間〜2分間印
加して、抵抗パターン形成部の温度を300℃〜500
℃に加熱した場合、端子電極15の形成部すなわち取付
部の温度をはんだの融点である約180℃以下に抑えら
れることが確認できた。The length A of the resistance pattern forming portion of the heating resistor RH is formed to be ⅓ or less of the length B of the insulating substrate 11. Insulating substrate 11 has a thickness of 0.15 mm
0.3 mm, length 2.0 mm to 3.0 mm, resistance about 10
As a result of an experiment using the heating resistor RH having the above configuration of Ω, the power supply voltage VccDC5.0V was applied for about 1 minute to 2 minutes, and the temperature of the resistance pattern forming portion was 300 ° C. to 500 ° C.
It was confirmed that the temperature of the formation portion of the terminal electrode 15, that is, the attachment portion, can be suppressed to about 180 ° C. or lower, which is the melting point of the solder, when it is heated to ℃.
【0026】上記の構成においては、発熱用抵抗体RH
に付着した異物焼却除去の加熱は周期的あるいは所望の
時に短時間(数十秒〜数分)行われるだけであり、消費
電力の増加を抑えることができるとともに、その熱によ
る他の部品及び部材へ影響は少なくかつ安全性が損なわ
れることもない。In the above construction, the heating resistor RH
The heating for incineration and removal of foreign matter adhering to is only performed for a short time (tens of seconds to several minutes) periodically or at a desired time, and it is possible to suppress an increase in power consumption, and to heat other parts and members. There is little impact on and safety is not compromised.
【0027】また、発熱用抵抗体RHの抵抗パターン形
成部の長さAを絶縁基板11の長さBの1/3以下とす
ることにより、取付部の温度の温度上昇を抑え、はんだ
の溶融や補強剤9の劣化が防止される。Further, by setting the length A of the resistance pattern forming portion of the heating resistor RH to be 1/3 or less of the length B of the insulating substrate 11, it is possible to suppress the temperature rise of the mounting portion and to melt the solder. The deterioration of the reinforcing agent 9 is prevented.
【0028】なお、上記実施例の発熱用抵抗体RHにお
いては、端子電極15は絶縁基板の両端部に配置されて
いるが、これに限るものではなく、絶縁基板11の一方
側に配置したものでもよい。この場合は、取付部の温度
をより低く抑えることができる。In the heating resistor RH of the above embodiment, the terminal electrodes 15 are arranged at both ends of the insulating substrate, but the invention is not limited to this, and the ones are arranged on one side of the insulating substrate 11. But it's okay. In this case, the temperature of the mounting portion can be further suppressed.
【0029】また、ブリッジ回路及び差動増幅器で構成
される信号処理回路も上記実施例に限定されるものでは
ない。The signal processing circuit composed of the bridge circuit and the differential amplifier is not limited to the above embodiment.
【0030】[0030]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る流量
センサによれば、発熱用抵抗体は300℃〜500℃の
高温に加熱され、発熱用抵抗体に付着した油等の異物を
焼却除去することができるので、発熱用抵抗体への異物
付着による流量検出精度の劣化を防止することができ
る。As described above, according to the flow rate sensor of the present invention, the heating resistor is heated to a high temperature of 300 ° C. to 500 ° C., and foreign matter such as oil adhered to the heating resistor is incinerated. Since it can be removed, it is possible to prevent the deterioration of the flow rate detection accuracy due to the adhesion of foreign matter to the heating resistor.
【0031】この加熱は周期的あるいは所望の時に短時
間行われるだけであり、消費電力の増加を抑えることが
できるとともに、その熱による他の部品及び部材へ影響
は少なくかつ安全性が損なわれることもない。また、発
熱用抵抗体の取付部の温度上昇を抑えることができる。This heating is carried out periodically or only for a short period of time at a desired time, so that an increase in power consumption can be suppressed, the heat has little effect on other parts and members, and the safety is impaired. Nor. Further, it is possible to suppress the temperature rise of the mounting portion of the heating resistor.
【0032】さらに、発熱用抵抗体の抵抗パターン形成
部の長さを絶縁基板の長さの1/3以下とすることによ
り、取付部の温度をはんだが溶融しない温度以下に抑え
ることができる。Further, by setting the length of the resistance pattern forming portion of the heating resistor to be ⅓ or less of the length of the insulating substrate, the temperature of the mounting portion can be suppressed to a temperature at which the solder does not melt.
【図1】本発明の一実施例に係る流量センサの回路図で
ある。FIG. 1 is a circuit diagram of a flow sensor according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示す回路の流量センサの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a flow sensor of the circuit shown in FIG.
【図3】本発明に用いられる発熱用抵抗体の一実施例を
示す斜示図である。FIG. 3 is a perspective view showing an embodiment of a heating resistor used in the present invention.
【図4】従来の流量センサの回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of a conventional flow sensor.
1 回路基板 2 窓部 RH 発熱用抵抗体 RT 温度補償用抵抗体 4、OPA 差動増幅器 5,Tr1 トランジスタ 6,R1,R2 抵抗 7,Tr2 スイッチング用トランジスタ 8 入出力端子 9 補強剤 11 絶縁基板 12 金属膜 13 溝 14 抵抗パターン 15 端子電極 Vcc 電源(電圧) Ps パルス信号 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Circuit board 2 Window part RH Heating resistor RT Temperature compensation resistor 4, OPA Differential amplifier 5, Tr1 transistor 6, R1, R2 Resistor 7, Tr2 Switching transistor 8 Input / output terminal 9 Reinforcing agent 11 Insulating substrate 12 Metal film 13 Groove 14 Resistance pattern 15 Terminal electrode Vcc Power supply (voltage) Ps Pulse signal
Claims (3)
れた発熱用抵抗体及び温度補償用抵抗体とを流体中に配
設し、前記各抵抗体からの信号を処理する信号処理回路
とを備え、前記発熱用抵抗体の放熱を利用して流体の流
量を検知する流量センサにおいて、 周期的または所望の時に所定の時間、前記発熱用抵抗体
に、直接電源電圧を印加するスイッチング手段が設けら
れ、前記発熱用抵抗体を300℃〜500℃に加熱する
ことにより、前記発熱用抵抗体に付着した異物を焼却除
去することを特徴とする流量センサ。1. A signal processing circuit for arranging a heating resistor and a temperature compensating resistor, each having a thin film resistance pattern formed on an insulating substrate, in a fluid and processing a signal from each of the resistors. A flow rate sensor for detecting the flow rate of a fluid by utilizing heat dissipation of the heat generating resistor, provided with a switching means for directly applying a power supply voltage to the heat generating resistor for a predetermined time period periodically or at a desired time. And heating the heating resistor to 300 ° C. to 500 ° C. to incinerate and remove foreign matter attached to the heating resistor.
構成され、前記発熱用抵抗体が前記トランジスタを介し
て電源に接続されていることを特徴とする請求項1に記
載の流量センサ。2. The flow rate sensor according to claim 1, wherein the switching means is composed of a transistor, and the heating resistor is connected to a power source through the transistor.
の長さが前記絶縁基板の長さの1/3以下であることを
特徴とする請求項1または請求項2に記載の流量セン
サ。3. The flow sensor according to claim 1, wherein the length of the resistance pattern forming portion of the heating resistor is 1/3 or less of the length of the insulating substrate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8025547A JPH09218066A (en) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | Flow rate sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8025547A JPH09218066A (en) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | Flow rate sensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09218066A true JPH09218066A (en) | 1997-08-19 |
Family
ID=12169006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8025547A Pending JPH09218066A (en) | 1996-02-13 | 1996-02-13 | Flow rate sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09218066A (en) |
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JP2006502392A (en) * | 2002-10-07 | 2006-01-19 | ワグナー アラーム− ウント ジッヒャルンクスシャテム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Fluid flow parameter determination apparatus and operation method thereof |
JP2006300805A (en) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Yokogawa Electric Corp | Flow sensor and infrared gas analyzer |
JP2007057404A (en) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Yokogawa Electric Corp | Infrared gas analyzer |
-
1996
- 1996-02-13 JP JP8025547A patent/JPH09218066A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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