JPH09180685A - Dielectric barrier discharge lamp - Google Patents
Dielectric barrier discharge lampInfo
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- JPH09180685A JPH09180685A JP33472395A JP33472395A JPH09180685A JP H09180685 A JPH09180685 A JP H09180685A JP 33472395 A JP33472395 A JP 33472395A JP 33472395 A JP33472395 A JP 33472395A JP H09180685 A JPH09180685 A JP H09180685A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体バリア放電
を利用してエキシマ光を放出させる誘電体バリア放電ラ
ンプに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric barrier discharge lamp that emits excimer light by utilizing dielectric barrier discharge.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５に示すように、互いに対向する誘電
体よりなる一対の壁材７１，７２の各々の外面７３，７
４に一対の電極７５，７６を配置し、これらの電極７
５，７６の間に交流電圧を印加すると、壁材７１，７２
の間の放電空間に多数の針状の放電プラズマ（以下、
「マイクロプラズマ」という。）が発生することが知ら
れている。このような放電現象を誘電体バリア放電（別
名「オゾナイザ放電」あるいは「無声放電」。電気学会
発行改定新版「放電ハンドブック」平成１年６月再販７
刷発行第２６３ページ参照。）といい、この誘電体バリ
ア放電を適宜の放電用ガス中で発生させると、当該放電
用ガスの組成に固有のエキシマ光が放出されるため、こ
のような誘電体バリア放電を利用したランプすなわち誘
電体バリア放電ランプの開発が進められている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, outer surfaces 73, 7 of a pair of wall members 71, 72 made of a dielectric material facing each other.
4 has a pair of electrodes 75 and 76, and these electrodes 7
When an AC voltage is applied between 5 and 76, the wall materials 71 and 72
A large number of needle-shaped discharge plasmas (hereinafter,
It is called "microplasma". ) Is known to occur. Dielectric barrier discharge (also known as "Ozonizer discharge" or "Silent discharge". Such revised discharge "Handbook" published by The Institute of Electrical Engineers of Japan, Resale June 1991 7
See page 263 of printing. ), When this dielectric barrier discharge is generated in an appropriate discharge gas, excimer light peculiar to the composition of the discharge gas is emitted. Development of dielectric barrier discharge lamps is in progress.
【０００３】例えば、特開平２−７３５３号公報には、
少なくとも一部が誘電体により構成された放電容器内
に、希ガスまたは希ガスとハロゲンガスとの混合ガスな
どよりなる放電用ガスが充填され、誘電体バリア放電に
よってエキシマが生成されてエキシマ光が放出される誘
電体バリア放電ランプが記載されている。For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2-7353 discloses that
At least a part of the discharge vessel is composed of a dielectric, a discharge gas composed of a rare gas or a mixed gas of a rare gas and a halogen gas is filled, and excimer light is generated by excimer light generated by dielectric barrier discharge. Emitting dielectric barrier discharge lamps are described.
【０００４】図６は、従来の誘電体バリア放電ランプの
一例における構成の概略を示す説明用縦断面図である。
この図において、８０は放電容器であって、誘電体より
なる円筒状の一方の壁部８１と、この一方の壁部８１の
内側にその筒軸に沿って配置された、当該一方の壁部８
１の内径より小さい外径を有する誘電体よりなる筒状の
他方の壁部８２とを有し、一方の壁部８１および他方の
壁部８２の各々の両端が封止壁部８３，８４によって接
合され、一方の壁部８１と他方の壁部８２との間には、
円筒状の放電空間Ｓが形成されている。８６は導電性材
料よりなる網状の一方の電極であって、放電容器８０に
おける一方の壁部８１の外面８５に密接した状態に設け
られている。８８はアルミニウムよりなる膜状の他方の
電極であって、他方の壁部８２の外面８７を覆うよう設
けられている。８９は、一方の電極８６と他方の電極８
８とに接続された高周波電源である。FIG. 6 is an explanatory vertical sectional view showing the outline of the configuration of an example of a conventional dielectric barrier discharge lamp.
In this figure, reference numeral 80 denotes a discharge vessel, which is one cylindrical wall portion 81 made of a dielectric material, and one wall portion 81 disposed inside the one wall portion 81 along the cylinder axis thereof. 8
And the other cylindrical wall portion 82 made of a dielectric material having an outer diameter smaller than the inner diameter of 1. One end of each of the one wall portion 81 and the other wall portion 82 is formed by the sealing wall portions 83 and 84. It is joined, and between one wall part 81 and the other wall part 82,
A cylindrical discharge space S is formed. Reference numeral 86 denotes one mesh-like electrode made of a conductive material, and is provided in close contact with the outer surface 85 of one wall portion 81 of the discharge vessel 80. Reference numeral 88 denotes the other film-shaped electrode made of aluminum, which is provided so as to cover the outer surface 87 of the other wall portion 82. 89 is one electrode 86 and the other electrode 8
8 is a high frequency power source connected to.
【０００５】上記の誘電体バリア放電ランプにおいて
は、電源８９により、一方の電極８６と他方の電極８８
との間に高周波電圧が印加されると、放電容器８０にお
ける一方の壁部８１と他方の壁部８２との間の放電空間
Ｓにおいて、誘電体バリア放電による直径０．０２〜
０．２ｍｍ程度の多数のマイクロプラズマが発生し、こ
れにより、放電空間Ｓにおいてエキシマが生成されてエ
キシマ光が放出される。そして、このエキシマ光は、一
方の壁部８１を介して一方の電極８６の網目から外部に
放射される。In the above dielectric barrier discharge lamp, one electrode 86 and the other electrode 88 are supplied by the power source 89.
When a high-frequency voltage is applied between the wall of the discharge vessel 80 and the wall 82 of the discharge vessel 80, the diameter 0.02 of the dielectric barrier discharge is 0.02.
A large number of microplasmas of about 0.2 mm are generated, whereby excimers are generated in the discharge space S and excimer light is emitted. Then, the excimer light is radiated to the outside from the mesh of the one electrode 86 via the one wall portion 81.
【０００６】以上において、誘電体バリア放電による個
々のマイクロプラズマは、約１００ナノ秒で消滅する
が、極めて短い間隔で断続的に発生しており、見かけ上
のマイクロプラズマは連続しているので、実用上問題は
ない。然るに、見かけ上のマイクロプラズマは、放電容
器８０の壁面に沿って、１秒あたり１〜１００ｍｍ程度
の速さで移動しており、そのため、外部に放射される光
はチラツキが多くて相当な揺らぎが発生する。In the above, although individual microplasmas due to the dielectric barrier discharge are extinguished in about 100 nanoseconds, they are intermittently generated at extremely short intervals, and apparent microplasmas are continuous. There is no problem in practical use. However, the apparent microplasma moves along the wall surface of the discharge vessel 80 at a speed of about 1 to 100 mm per second, so that the light emitted to the outside is flickering and fluctuates considerably. Occurs.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
外部に放射される光の揺らぎが小さい誘電体バリア放電
ランプを提供することにある。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made based on the above circumstances, and its object is to provide:
An object of the present invention is to provide a dielectric barrier discharge lamp in which fluctuation of light emitted to the outside is small.
【０００８】[0008]
【問題を解決するための手段】本発明の誘電体バリア放
電ランプは、それぞれ誘電体により構成された互いに対
向する一方の壁部および他方の壁部を有し、当該一方の
壁部と当該他方の壁部との間に放電空間を形成する放電
容器と、この放電容器における一方の壁部および他方の
壁部の各々の外面に設けられた一方の電極および他方の
電極と、前記放電容器内に充填された放電用ガスとを有
し、前記放電容器における放電空間において誘電体バリ
ア放電によりエキシマが生成されてエキシマ光が放出さ
れる誘電体バリア放電ランプであって、前記一方の壁部
および他方の壁部のいずれかの内面に、当該壁部を構成
する誘電体の仕事関数より小さい仕事関数の物質よりな
る多数の易放電膜が設けられていることを特徴とする誘
電体バリア放電ランプ。DISCLOSURE OF THE INVENTION A dielectric barrier discharge lamp of the present invention has one wall portion and the other wall portion which are made of a dielectric material and which face each other, and the one wall portion and the other wall portion are opposed to each other. A discharge vessel forming a discharge space between the discharge vessel and a wall portion of the discharge vessel, and one electrode and the other electrode provided on the outer surface of each of the one wall portion and the other wall portion of the discharge vessel, and the inside of the discharge vessel. And a discharge gas filled into the discharge container, wherein a dielectric barrier discharge lamp in which excimer light is emitted by excimer generated by dielectric barrier discharge in a discharge space in the discharge container, the one wall portion and A large number of easy-discharge films made of a substance having a work function smaller than the work function of the dielectric material forming the wall portion are provided on one of the inner surfaces of the other wall portion. Flop.
【０００９】上記の誘電体バリア放電ランプにおいて
は、前記一方の壁部および前記他方の壁部の各々の内面
に易放電膜が設けられていることが好ましい。In the above dielectric barrier discharge lamp, it is preferable that an easy discharge film is provided on the inner surface of each of the one wall portion and the other wall portion.
【００１０】また、本発明の誘電体バリア放電ランプ
は、放電空間を取り囲み、誘電体により構成された壁部
を有する放電容器と、この放電容器における前記壁部の
外面に設けられた一方の電極と、前記放電容器内に、前
記壁部に対向するよう設けられた他方の電極と、前記放
電容器内に充填された放電用ガスとを有し、前記放電容
器における放電空間において誘電体バリア放電によりエ
キシマが生成されてエキシマ光が放出される誘電体バリ
ア放電ランプであって、前記放電容器における前記壁部
の内面に、当該壁部を構成する誘電体の仕事関数より小
さい仕事関数の物質よりなる多数の易放電膜が設けられ
ている特徴とする。Further, the dielectric barrier discharge lamp of the present invention includes a discharge vessel surrounding the discharge space and having a wall portion made of a dielectric material, and one electrode provided on the outer surface of the wall portion of the discharge vessel. And the other electrode provided in the discharge container so as to face the wall portion, and a discharge gas filled in the discharge container, and a dielectric barrier discharge in a discharge space of the discharge container. A dielectric barrier discharge lamp in which excimers are generated and excimer light is emitted by an inner surface of the wall portion of the discharge vessel, the material having a work function smaller than a work function of a dielectric material forming the wall portion, Is characterized in that a large number of easy discharge films are provided.
【００１１】本発明の誘電体バリア放電ランプにおいて
は、個々の易放電膜は、その形状が点状であって互いに
離間して配置されていることが好ましい。また、個々の
易放電膜は、その形状が線状であって互いに離間して配
置されていてもよい。In the dielectric barrier discharge lamp of the present invention, it is preferable that each of the easy-discharge films has a dot shape and is arranged apart from each other. In addition, each of the easy-discharge films may have a linear shape and may be arranged apart from each other.
【００１２】また、易放電膜は、酸化マグネシウム（Ｍ
ｇＯ）、酸化ランタン（Ｌａ2 Ｏ3）、酸化セリウム
（ＣｅＯ2 ）、酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）、酸化ジ
ルコニウム（ＺｒＯ2 ）およびホウ化ランタン（ＬａＢ
6 ）よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属化合
物により構成されていることが好ましい。また、放電容
器における誘電体により構成された壁部が円筒状である
ことが好ましい。The easy discharge film is made of magnesium oxide (M
gO), lanthanum oxide (La 2 O 3 ), cerium oxide (CeO 2 ), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ) and lanthanum boride (LaB).
It is preferably composed of at least one metal compound selected from the group consisting of 6 ). Further, it is preferable that the wall portion formed of the dielectric material in the discharge container has a cylindrical shape.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の誘電体バリア放電
ランプについて詳細に説明する。図１は、本発明の誘電
体バリア放電ランプの一例における構成を示す説明図で
あって、（イ）は縦断正面図、（ロ）は縦断側面図であ
る。この誘電体バリア放電ランプにおいては、誘電体よ
りなる円筒状の一方の壁部１１と、この一方の壁部１１
内にその筒軸に沿って設けられた、当該一方の壁部１１
の内径より小さい外径を有する誘電体よりなる円筒状の
他方の壁部１２とを有する密閉型の放電容器１０が設け
られている。この放電容器１０においては、一方の壁部
１１および他方の壁部１２の各々の両端部分が封止壁部
１３，１４によって接合され、一方の壁部１１と他方の
壁部１２との間に円筒状の放電空間Ｓが形成されてお
り、当該放電容器１０には、放電用ガスとして例えばキ
セノンガスが充填されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The dielectric barrier discharge lamp of the present invention will be described in detail below. 1A and 1B are explanatory views showing a configuration in an example of a dielectric barrier discharge lamp of the present invention, wherein (A) is a vertical sectional front view and (B) is a vertical sectional side view. In this dielectric barrier discharge lamp, one cylindrical wall portion 11 made of a dielectric material and this one wall portion 11 are formed.
The one wall portion 11 provided inside along the cylinder axis.
There is provided a closed type discharge vessel 10 having the other cylindrical wall portion 12 made of a dielectric material having an outer diameter smaller than the inner diameter. In this discharge container 10, both end portions of one wall portion 11 and the other wall portion 12 are joined by sealing wall portions 13 and 14, and one wall portion 11 and the other wall portion 12 are connected to each other. A cylindrical discharge space S is formed, and the discharge vessel 10 is filled with, for example, xenon gas as a discharge gas.
【００１４】また、図示の例では、放電容器１０におけ
る一方の壁部１１の一端側には、周方向に沿って内方に
突出する変形部１５が形成されており、これにより、こ
の変形部１５と封止壁部１３との間に、放電空間Ｓに連
通するゲッタ収容室Ｋが形成され、このゲッタ収容室Ｋ
内にバリウム合金よりなるゲッタＧが収納されている。
このゲッタＧは例えば外部より作用される高周波により
加熱され、これにより、ゲッタ収容室Ｋ内の壁面にバリ
ウムよりなる薄膜が形成される。Further, in the illustrated example, a deforming portion 15 is formed at one end of one wall portion 11 of the discharge vessel 10 so as to project inward along the circumferential direction. A getter accommodating chamber K communicating with the discharge space S is formed between the seal wall portion 15 and the sealing wall portion 13.
A getter G made of barium alloy is housed inside.
The getter G is heated by, for example, a high frequency wave applied from the outside, whereby a thin film made of barium is formed on the wall surface inside the getter housing chamber K.
【００１５】一方の壁部１１および他方の壁部１２を構
成する誘電体としては、放電空間Ｓにおいて放出される
エキシマ光に対して透過性を有するもの、例えば合成石
英ガラス、サファイア、フッ化マグネシウムなどを用い
ることができる。The dielectric material constituting the one wall portion 11 and the other wall portion 12 has a property of transmitting excimer light emitted in the discharge space S, for example, synthetic quartz glass, sapphire, magnesium fluoride. Etc. can be used.
【００１６】放電容器１０における一方の壁部１１に
は、その外周面１６に密接して、例えば金網などの導電
性材料よりなる網状の一方の電極２１が設けられ、放電
容器１０における他方の壁部１２には、その外面１７を
覆うようアルミニウムよりなる膜状の電極２２が設けら
れており、一方の電極２１および他方の電極２２は、高
周波電源２０に接続されている。One wall portion 11 of the discharge vessel 10 is provided with a mesh-shaped one electrode 21 made of a conductive material such as a wire mesh in close contact with the outer peripheral surface 16 thereof, and the other wall of the discharge vessel 10 is provided. The part 12 is provided with a film-shaped electrode 22 made of aluminum so as to cover the outer surface 17, and one electrode 21 and the other electrode 22 are connected to a high frequency power source 20.
【００１７】放電容器１０における他方の壁部１２の放
電空間Ｓに面する内面１７には、各々他方の壁部１２の
周方向に沿って伸びる多数の線状の易放電膜３０が、互
いに他方の壁部１２の軸方向に等間隔で離間するよう設
けられている。On the inner surface 17 of the other wall 12 of the discharge vessel 10 facing the discharge space S, a large number of linear easy-discharge films 30 extending along the circumferential direction of the other wall 12 are provided on the other side. The wall portions 12 are provided so as to be spaced apart at equal intervals in the axial direction.
【００１８】この易放電膜３０は、他方の壁部１２を構
成する誘電体の仕事関数より小さい仕事関数の物質によ
り構成されればよく、特に、他方の壁部１２を石英ガラ
スにより構成するときには、石英ガラスの仕事関数は約
５ｅＶであるので、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化
ランタン（Ｌａ2 Ｏ3 ）、酸化セリウム（ＣｅＯ2 ）、
酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）、酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒＯ2 ）およびホウ化ランタン（ＬａＢ6 ）よりなる群
から選ばれた少なくとも一種の金属化合物により構成さ
れていることが好ましい。上記の金属化合物の仕事関数
を示すと、文献によってその値は異なるが、酸化マグネ
シウム（ＭｇＯ）は３．１〜４．４ｅＶ、酸化ランタン
（Ｌａ2 Ｏ3 ）は２．８〜４．２ｅＶ、酸化セリウム
（ＣｅＯ2 ）は３．２ｅＶ、酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ
3 ）は２．０〜３．９ｅＶ、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ
2 ）は３．１〜４．１ｅＶ、ホウ化ランタン（Ｌａ
Ｂ6 ）は２．７ｅＶである。The easy-discharging film 30 may be made of a substance having a work function smaller than that of the dielectric material forming the other wall 12, particularly when the other wall 12 is made of quartz glass. Since the work function of quartz glass is about 5 eV, magnesium oxide (MgO), lanthanum oxide (La 2 O 3 ), cerium oxide (CeO 2 ),
Yttrium oxide (Y 2 O 3 ), Zirconium oxide (Z
It is preferably composed of at least one metal compound selected from the group consisting of rO 2 ) and lanthanum boride (LaB 6 ). When the work function of the above metal compound is shown, its value varies depending on the literature, but magnesium oxide (MgO) is 3.1 to 4.4 eV, lanthanum oxide (La 2 O 3 ) is 2.8 to 4.2 eV, Cerium oxide (CeO 2 ) is 3.2 eV, yttrium oxide (Y 2 O)
3 ) is 2.0 to 3.9 eV, zirconium oxide (ZrO
2 ) is 3.1 to 4.1 eV, lanthanum boride (La)
B 6) is 2.7eV.
【００１９】上記のような線状の易放電膜３０において
は、その幅が０．０５〜１．０ｍｍ、厚みが０．１〜１
０００μｍ、互いに隣接する易放電膜３０の間のピッチ
が２〜８ｍｍであることが好ましい。In the linear easy-discharge film 30 as described above, the width is 0.05 to 1.0 mm and the thickness is 0.1 to 1.
It is preferable that the pitch between the easy discharge films 30 adjacent to each other is 2,000 μm and 2 to 8 mm.
【００２０】易放電膜３０は、例えば以下の方法によ
り、他方の壁部１２の内面１７に形成することができ
る。易放電膜の構成材料例えば粉末状の酸化マグネシウ
ムと、バインダとしての微量の低融点ガラスと、ニトロ
セルロースと、溶剤とを混合することにより、例えばス
ラリー状の易放電膜形成材料を調製する。この易放電膜
形成材料を、スクリーン印刷などにより適宜のシリコー
ンゴム板の表面上に線状に塗布し、このシリコーンゴム
板の表面上に塗布された易放電膜形成材料が乾燥する前
に、当該シリコーンゴム板上において、他の壁部１２の
構成材料である筒材を転動させることにより、当該筒材
に易放電膜形成材料を転写し、これを約４００℃で焼成
することにより、易放電膜３０が形成される。The easy-discharge film 30 can be formed on the inner surface 17 of the other wall 12 by the following method, for example. A material for forming the easy-discharge film, for example, powdery magnesium oxide, a small amount of low melting point glass as a binder, nitrocellulose, and a solvent are mixed to prepare, for example, a slurry-like easy-discharge film forming material. This easy-discharging film forming material is linearly applied on the surface of an appropriate silicone rubber plate by screen printing or the like, and before the easy-discharging film forming material applied on the surface of the silicone rubber plate is dried, On the silicone rubber plate, the tubular material which is the constituent material of the other wall 12 is rolled to transfer the easy-discharge film forming material to the tubular material, which is then baked at about 400 ° C. The discharge film 30 is formed.
【００２１】上記の誘電体バリア放電ランプにおいて
は、一方の電極２１と他方の電極２２との間に高周波電
圧が印加されると、放電容器１０における一方の壁部１
１と他方の壁部１２との間に、誘電体バリア放電による
多数のマイクロプラズマが発生し、これにより、放電空
間Ｓにおいてキセノンによるエキシマが生成されてその
エキシマ光である真空紫外線が放出される。そして、こ
の真空紫外線は、直接または他方の電極１２に反射され
て一方の壁部１１を介して他方の電極２１の網目から外
部に放射される。In the above dielectric barrier discharge lamp, when a high frequency voltage is applied between the one electrode 21 and the other electrode 22, the one wall portion 1 of the discharge vessel 10 is formed.
A large number of microplasmas are generated by the dielectric barrier discharge between the one and the other wall portion 12, whereby excimers due to xenon are generated in the discharge space S, and the vacuum ultraviolet rays that are the excimer light are emitted. . Then, this vacuum ultraviolet ray is directly or reflected by the other electrode 12 and radiated to the outside from the mesh of the other electrode 21 through the one wall portion 11.
【００２２】上記の誘電体バリア放電ランプによれば、
放電容器１０における他方の壁部１２の内面に設けられ
た多数の易放電膜３０により、誘電体バリア放電による
マイクロプラズマの始点または終点の位置が、易放電膜
３０の各々の表面における領域すなわち他方の壁部１２
の周方向に伸びる線状の領域に拘束されるので、見かけ
上のマイクロプラズマの各々は、事実上、他方の壁部１
２の軸方向に移動することなく、その結果、外部に放射
される光の揺らぎが小さいものとなる。According to the above dielectric barrier discharge lamp,
Due to the large number of easy-discharging films 30 provided on the inner surface of the other wall portion 12 of the discharge vessel 10, the starting point or the ending point of the microplasma due to the dielectric barrier discharge is a region on each surface of the easy-discharging film 30, that is, the other side. Wall part 12
Each of the apparent microplasma is effectively bounded by a linear region extending in the circumferential direction of
2 does not move in the axial direction, and as a result, the fluctuation of the light emitted to the outside is small.
【００２３】また、易放電膜を構成する材料として特定
の金属化合物を用いることにより、当該金属化合物は、
石英ガラスの仕事関数より小さい仕事関数を有してお
り、また、誘電体バリア放電によるスパッタリングによ
って損耗することが少なく、しかも、空気中において安
定なものであるため、長い使用寿命が得られる。Further, by using a specific metal compound as a material forming the easy-discharge film, the metal compound is
It has a work function smaller than that of quartz glass, is less likely to be worn by sputtering due to dielectric barrier discharge, and is stable in air, so that a long service life can be obtained.
【００２４】また、易放電膜３０が放電容器１０におけ
る他方の壁部１２の内面に設けられており、当該他方の
壁部１２の内面の面積は、一方の壁部１１の内面の面積
より小さいため、易放電膜３０によるエキシマ光の吸収
が少なく、その結果、エキシマ光を高い効率で外部に放
射することができる。Further, the easy-discharge film 30 is provided on the inner surface of the other wall 12 of the discharge vessel 10, and the area of the inner surface of the other wall 12 is smaller than the area of the inner surface of the one wall 11. Therefore, absorption of excimer light by the easy-discharge film 30 is small, and as a result, excimer light can be radiated to the outside with high efficiency.
【００２５】また、一方の壁部１１および他方の壁部１
２の各々が円筒状であるため、これらを構成するための
材料として市販の筒材を用いることができ、これによ
り、製造コストの小さい誘電体バリア放電ランプを得る
ことができる。Further, one wall portion 11 and the other wall portion 1
Since each of 2 has a cylindrical shape, a commercially available cylindrical material can be used as a material for forming these, whereby a dielectric barrier discharge lamp with a low manufacturing cost can be obtained.
【００２６】また、易放電膜３０が他方の壁部１２の内
面に設けられているので、誘電体バリア放電ランプを製
造するに際しては、易放電膜３０を他方の壁部１２の材
料である筒材の外面に形成すればよいため、易放電膜３
０を容易に形成することができる。Further, since the easy-discharging film 30 is provided on the inner surface of the other wall 12, the easy-discharging film 30 is used as the material of the other wall 12 when manufacturing the dielectric barrier discharge lamp. Since it may be formed on the outer surface of the material, the easy-discharge film 3
0 can be easily formed.
【００２７】図２は、本発明の誘電体バリア放電ランプ
の他の例における構成を示す説明図であって、（イ）は
縦断正面図、（ロ）は縦断側面図である。この誘電体バ
リア放電ランプにおいては、多数の円形の点状の易放電
膜３０が、例えば互いに他方の壁部１２の軸方向および
周方向の各々に等間隔で離間した状態で設けられてい
る。その他の構成は、図１に示す誘電体バリア放電ラン
プと同様である。2A and 2B are explanatory views showing the constitution of another example of the dielectric barrier discharge lamp of the present invention, wherein (A) is a vertical sectional front view and (B) is a vertical sectional side view. In this dielectric barrier discharge lamp, a large number of circular dot-shaped easy discharge films 30 are provided, for example, in a state of being spaced from each other in the axial direction and the circumferential direction of the other wall portion 12 at equal intervals. Other configurations are similar to those of the dielectric barrier discharge lamp shown in FIG.
【００２８】上記のような点状の易放電膜３０において
は、その直径が０．１〜１ｍｍ（表面面積が０．００８
〜０．８ｍｍ2 ）、厚みが平均で０．１〜１０００μ
ｍ、互いに隣接する易放電膜３０の間のピッチが１．５
〜１０ｍｍであることが好ましい。In the dot-shaped easy-discharge film 30 as described above, the diameter thereof is 0.1 to 1 mm (the surface area is 0.008).
~ 0.8 mm 2 ), the average thickness is 0.1-1000μ
m, the pitch between the adjacent easy-discharge films 30 is 1.5.
It is preferably from 10 to 10 mm.
【００２９】上記の誘電体バリア放電ランプによれば、
他方の壁部１２の内面に設けられた多数の易放電膜３０
により、誘電体バリア放電によるマイクロプラズマの始
点または終点の位置が、易放電膜３０の表面における点
状の領域に拘束され、これにより、見かけ上のマイクロ
プラズマは事実上移動することがなく、その結果、外部
に放射される光の揺らぎが極めて小さいものとなる。According to the above dielectric barrier discharge lamp,
A large number of easy-discharge films 30 provided on the inner surface of the other wall 12
As a result, the position of the start point or the end point of the microplasma due to the dielectric barrier discharge is restricted to the dot-shaped region on the surface of the easy-discharge film 30, whereby the apparent microplasma practically does not move, and As a result, the fluctuation of the light emitted to the outside is extremely small.
【００３０】また、易放電膜３０の形状が点状であって
その面積が小さいため、当該易放電膜３０によるエキシ
マ光の吸収が少なく、その結果、エキシマ光を高い効率
で外部に放射することができる。Further, since the easy-discharge film 30 has a dot shape and a small area, the easy-discharge film 30 absorbs less excimer light, and as a result, excimer light is radiated to the outside with high efficiency. You can
【００３１】図３は、本発明の誘電体バリア放電ランプ
の更に他の例における構成を示す説明図であって、
（イ）は縦断正面図、（ロ）は横断側面図である。この
誘電体バリア放電ランプにおいては、円筒状の壁部４１
の両端にそれぞれ封止壁部４２，４３が形成された、ソ
ーダ石灰ガラスよりなる放電容器４０が設けられ、この
放電容器４０内には、放電用ガスとして例えばキセノン
ガスが充填されている。FIG. 3 is an explanatory view showing the constitution of still another example of the dielectric barrier discharge lamp of the present invention,
(A) is a vertical sectional front view, and (B) is a transverse side view. In this dielectric barrier discharge lamp, the cylindrical wall portion 41
A discharge vessel 40 made of soda-lime glass having sealing walls 42 and 43 formed at both ends thereof is provided, and the discharge vessel 40 is filled with, for example, xenon gas as a discharge gas.
【００３２】放電容器４０における壁部４１には、例え
ば酸化インジウム、酸化鉛などの透明導電膜よりなる一
方の電極５１が、当該壁部４１の外面４４を覆うよう設
けられ、放電容器４０における一方の封止壁部４２に
は、放電容器４０の筒軸に沿って一方の封止壁部４２を
貫通して放電空間Ｓに伸びるよう、鉄・ニッケル合金よ
りなる棒状の他方の電極５２が設けられている。One electrode 51 made of a transparent conductive film such as indium oxide or lead oxide is provided on the wall portion 41 of the discharge vessel 40 so as to cover the outer surface 44 of the wall portion 41. On the sealing wall portion 42, the other rod-shaped electrode 52 made of an iron-nickel alloy is provided so as to penetrate the one sealing wall portion 42 along the cylinder axis of the discharge vessel 40 and extend to the discharge space S. Has been.
【００３３】放電容器４０における壁部４１の内面４５
には、各々壁部４１の軸方向に沿って伸びる多数の線状
の易放電膜３０が、互いに壁部４１の周方向に等間隔で
離間するよう設けられており、この易放電膜３０の表面
および放電空間Ｓに露出した壁部４１の内面４５の全体
を覆うよう蛍光体５５が設けられている。４６は排気管
残部である。Inner surface 45 of wall 41 of discharge vessel 40
Is provided with a large number of linear easy-discharge films 30 each extending along the axial direction of the wall portion 41 so as to be spaced apart from each other in the circumferential direction of the wall portion 41 at equal intervals. A phosphor 55 is provided so as to cover the entire surface and the inner surface 45 of the wall portion 41 exposed to the discharge space S. 46 is the remaining portion of the exhaust pipe.
【００３４】上記の誘電体バリア放電ランプにおいて
は、一方の電極５１と他方の電極５２との間に高周波電
圧が印加されると、壁部４１と他方の電極５２との間
に、誘電体バリア放電による多数のマイクロプラズマが
発生し、これにより、放電空間Ｓにおいてキセノンによ
るエキシマが生成されてそのエキシマ光である真空紫外
線が放出される。そして、この真空紫外線が蛍光体５５
に照射されることにより、当該蛍光体５５から可視光線
が放出され、この可視光線は、放電容器４０における壁
部４１および一方の電極５１を介して外部に放射され
る。In the above-mentioned dielectric barrier discharge lamp, when a high frequency voltage is applied between the one electrode 51 and the other electrode 52, the dielectric barrier is generated between the wall portion 41 and the other electrode 52. A large number of microplasmas are generated by the discharge, whereby excimers of xenon are generated in the discharge space S, and the vacuum ultraviolet rays that are the excimer light are emitted. Then, this vacuum ultraviolet ray emits phosphor 55.
The visible light is emitted from the phosphor 55 by irradiating the fluorescent substance 55, and the visible light is emitted to the outside through the wall portion 41 of the discharge container 40 and the one electrode 51.
【００３５】上記の誘電体バリア放電ランプによれば、
放電容器４０における壁部４１の内面に設けられた多数
の易放電膜３０により、誘電体バリア放電によるマイク
ロプラズマの始点または終点の位置が、易放電膜３０の
表面における領域すなわち壁部４１の軸方向の線状の領
域に拘束され、これにより、見かけ上のマイクロプラズ
マは、事実上、壁部４１の周方向に移動することがな
く、その結果、外部に放射される光の揺らぎが小さいも
のとなる。According to the above dielectric barrier discharge lamp,
Due to the large number of easy-discharging films 30 provided on the inner surface of the wall 41 of the discharge container 40, the position of the starting point or the ending point of the microplasma due to the dielectric barrier discharge is the region on the surface of the easy-discharging film 30, that is, the axis of the wall 41. Constrained to a linear region of the direction, whereby the apparent microplasma practically does not move in the circumferential direction of the wall portion 41, and as a result, fluctuations of light emitted to the outside are small. Becomes
【００３６】以上、本発明の誘電体バリア放電ランプの
実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限定される
ものではなく、種々の変更が可能である。Although the embodiments of the dielectric barrier discharge lamp of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these and various modifications can be made.
【００３７】例えば、放電容器の形状は、それぞれ誘電
体により構成された壁部を有するものであれば、箱状、
平板状、その他の形状であってもよい。また、放電用ガ
スとしては、キセノンガス以外の希ガス、例えばクリプ
トン、アルゴンなどを用いることができる。特に、図１
および図２に示す誘電体バリア放電ランプにおいては、
電極が放電容器内に存在しないため、希ガスとハロゲン
ガスとの混合ガスを用いることができる。For example, the shape of the discharge vessel is box-shaped if it has walls each made of a dielectric material,
It may have a flat plate shape or another shape. As the discharge gas, a rare gas other than xenon gas, such as krypton or argon, can be used. In particular, FIG.
And in the dielectric barrier discharge lamp shown in FIG.
Since the electrode does not exist in the discharge vessel, a mixed gas of a rare gas and a halogen gas can be used.
【００３８】易放電膜は、放電容器における誘電体バリ
ア放電を発生させるための壁部の内面の一部のみに設け
られていてもよく、この場合には、当該壁部の両端部分
の内面に設けられていることが好ましい。これは、誘電
体バリア放電を発生させるための壁部の外面の両端部に
は、電極の両端部が配置されるため、電界強度が空間的
に変化しており、マイクロプラズマが移動しやすいから
である。このような誘電体バリア放電ランプによれば、
易放電膜によるエキシマ光の吸収が少ないため、高い光
の利用率が得られる。The easy-discharge film may be provided only on a part of the inner surface of the wall portion for generating a dielectric barrier discharge in the discharge container. In this case, the easy-discharge film is formed on the inner surface of both end portions of the wall portion. It is preferably provided. This is because both ends of the electrode are arranged at both ends of the outer surface of the wall portion for generating the dielectric barrier discharge, so that the electric field strength is spatially changed and the microplasma easily moves. Is. According to such a dielectric barrier discharge lamp,
Since the excimer light is hardly absorbed by the easy-discharge film, a high light utilization rate can be obtained.
【００３９】図１および図２に示す誘電体バリア放電ラ
ンプにおいては、一方の電極としてアルミニウムよりな
る金属膜を用いると共に、封止壁部１３の代わりに、透
光性材料よりなる光取り出し窓部材を設けることによ
り、放電容器の端面から光を取り出す構成としてもよ
い。In the dielectric barrier discharge lamp shown in FIGS. 1 and 2, a metal film made of aluminum is used as one electrode, and instead of the sealing wall portion 13, a light extraction window member made of a translucent material is used. By providing the above, the light may be extracted from the end surface of the discharge container.
【００４０】易放電電極３０は、一方の壁部１１の内面
に設けてもよく、一方の壁部１１の内面および他方の壁
部１２の内面の両方に設けてもよい。易放電電極３０を
一方の壁部１１の内面および他方の壁部１２の内面の両
方に設ける構成によれば、誘電体バリア放電におけるマ
イクロプラズマの始点および終点の両方の位置が規制さ
れるので、外部に放射される光の揺らぎが極めて小さい
誘電体バリア放電ランプを得ることができる。The easy-discharging electrode 30 may be provided on the inner surface of the one wall portion 11, or may be provided on both the inner surface of the one wall portion 11 and the inner surface of the other wall portion 12. According to the configuration in which the easy-discharging electrode 30 is provided on both the inner surface of the one wall portion 11 and the inner surface of the other wall portion 12, both the start point and the end point of the microplasma in the dielectric barrier discharge are regulated. It is possible to obtain a dielectric barrier discharge lamp in which fluctuation of light emitted to the outside is extremely small.
【００４１】点状の易放電膜を設ける場合には、その表
面の形状は円形に限られず自由に変更することができ、
また、易放電膜のパターン、例えば個々の易放電膜の大
きさ、ピッチなども自由に変更することができる。When the dot-shaped easy-discharge film is provided, the shape of the surface is not limited to the circular shape and can be freely changed.
Further, the pattern of the easy-discharge film, for example, the size and pitch of each easy-discharge film can be freely changed.
【００４２】[0042]
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will now be described by way of specific examples, which should not be construed as limiting the invention thereto.
【００４３】〈実施例１〉下記の条件に従って、図１に
示す構成の誘電体バリア放電ランプを作製した。 放電容器（１０）：全長約３５０ｍｍ， 一方の壁部（１１）：材質；合成石英ガラス，内径；約
２８．５ｍｍ，内径；約２６．５ｍｍ（肉厚１ｍｍ）， 他方の壁部（１２）：材質；合成石英ガラス（仕事関数
５．０ｅＶ），外径；１６ｍｍ，内径；１４ｍｍ（肉厚
１ｍｍ）， 一方の電極（２１）： 他方の電極（２２）： 易放電膜（３０）：材質；酸化マグネシウム（仕事関数
３．５ｅＶ），形状；他方の電極（２２）の周方向に沿
って伸びる線状，幅；０．３ｍｍ，厚み；２０μｍ，軸
方向におけるピッチ；５ｍｍ， 放電用ガス：キセノンガス（封入圧力４０ｋＰａ）Example 1 A dielectric barrier discharge lamp having the structure shown in FIG. 1 was produced under the following conditions. Discharge container (10): total length about 350 mm, one wall portion (11): material; synthetic quartz glass, inner diameter; about 28.5 mm, inner diameter; about 26.5 mm (thickness 1 mm), other wall portion (12) : Material; Synthetic quartz glass (work function 5.0 eV), outer diameter; 16 mm, inner diameter; 14 mm (wall thickness 1 mm), one electrode (21): the other electrode (22): easy discharge film (30): material Magnesium oxide (work function 3.5 eV), shape; linear shape extending along the circumferential direction of the other electrode (22), width; 0.3 mm, thickness; 20 μm, axial pitch; 5 mm, discharge gas: Xenon gas (filling pressure 40kPa)
【００４４】上記の誘電体バリア放電ランプを、周波数
が約２０ｋＨｚの高周波電源（２０）により、当該誘電
体バリア放電ランプの表面積１平方センチメートルあた
りの入力電力が０．２５Ｗの条件で点灯させたところ、
波長１７２ｎｍに最大値を有する真空紫外線が放射され
た。この誘電体バリア放電ランプにおいては、見かけ上
のマイクロプラズマは、他方の壁部（１２）の軸方向に
移動することがなく、外部に放射される光の揺らぎが小
さいものであった。The above dielectric barrier discharge lamp was lit by a high frequency power source (20) having a frequency of about 20 kHz under the condition that the input power per square centimeter of the surface of the dielectric barrier discharge lamp was 0.25 W.
Vacuum ultraviolet light having a maximum value at a wavelength of 172 nm was emitted. In this dielectric barrier discharge lamp, the apparent microplasma did not move in the axial direction of the other wall portion (12), and the fluctuation of the light emitted to the outside was small.
【００４５】〈実施例２〉易放電膜（３０）を下記の条
件に従って設けたこと以外は、実施例１と同様の条件に
より、図２に示す構成の誘電体バリア放電ランプを作製
した。 易放電膜（３０）：材質；酸化マグネシウム，形状；円
形の点状，直径；約０．５ｍｍ，厚み；１００μｍ，周
方向におけるピッチ；５ｍｍ，軸方向におけるピッチ；
５ｍｍExample 2 A dielectric barrier discharge lamp having the structure shown in FIG. 2 was produced under the same conditions as in Example 1 except that the easy discharge film (30) was provided under the following conditions. Easy Discharge Film (30): Material: Magnesium Oxide, Shape: Circular Dotted, Diameter: About 0.5 mm, Thickness: 100 μm, Circumferential Pitch: 5 mm, Axial Pitch;
5 mm
【００４６】上記の誘電体バリア放電ランプを、周波数
が約２０ｋＨｚの高周波電源（２０）により、当該誘電
体バリア放電ランプの表面積１平方センチメートルあた
りの入力電力が０．２５Ｗの条件で点灯させたところ、
波長１７２ｎｍに最大値を有する真空紫外線が放射され
た。この誘電体バリア放電ランプにおいては、見かけ上
のマイクロプラズマは移動することがなく、外部に放射
される光の揺らぎが極めて少ないものであった。The above dielectric barrier discharge lamp was lit by a high frequency power source (20) having a frequency of about 20 kHz under the condition that the input power per square centimeter of the dielectric barrier discharge lamp was 0.25 W.
Vacuum ultraviolet light having a maximum value at a wavelength of 172 nm was emitted. In this dielectric barrier discharge lamp, the apparent microplasma did not move, and the fluctuation of the light emitted to the outside was extremely small.
【００４７】〈実施例３〉易放電膜（３０）を、他方の
壁部（１２）の両端部分（両端から中央に向かって２０
ｍｍの範囲）の内面に設けると共に、当該他方の壁部
（１２）の両端部分に対向する一方の壁部（１１）の両
端部分に設けたこと以外は、実施例２と同様の条件によ
り、誘電体バリア放電ランプを作製した。<Embodiment 3> The easy-discharge film (30) is formed by applying the discharge film (30) to both end portions of the other wall portion (20 from both ends toward the center).
mm range) and provided on both end portions of one wall portion (11) opposite to the other end portion of the other wall portion (12), under the same conditions as in Example 2, A dielectric barrier discharge lamp was produced.
【００４８】上記の誘電体バリア放電ランプを、周波数
が約２０ｋＨｚの高周波電源（２０）により、当該誘電
体バリア放電ランプの表面積１平方センチメートルあた
りの入力電力が０．２５Ｗの条件で点灯させたところ、
波長１７２ｎｍに最大値を有する真空紫外線が放射され
た。この誘電体バリア放電ランプにおいては、放電容器
（１０）の両端側において、見かけ上のマイクロプラズ
マは移動することがなく、外部に放射される光の揺らぎ
が極めて少ないものであった。The above dielectric barrier discharge lamp was lit by a high frequency power source (20) having a frequency of about 20 kHz under the condition that the input power per square centimeter of the surface of the dielectric barrier discharge lamp was 0.25 W.
Vacuum ultraviolet light having a maximum value at a wavelength of 172 nm was emitted. In this dielectric barrier discharge lamp, the apparent microplasma did not move on both ends of the discharge vessel (10), and the fluctuation of light emitted to the outside was extremely small.
【００４９】〈実施例４〉易放電膜（３０）を下記の条
件に従って設けたこと以外は、実施例１と同様の条件に
より、図４に示す構成の誘電体バリア放電ランプを作製
した。 易放電膜（３０）：材質；酸化マグネシウム，形状；他
方の電極（２２）の軸方向に沿って伸びる線状，幅；
０．３ｍｍ，厚み；３００μｍｍｍ，周方向におけるピ
ッチ；５ｍｍExample 4 A dielectric barrier discharge lamp having the structure shown in FIG. 4 was produced under the same conditions as in Example 1 except that the easy discharge film (30) was provided under the following conditions. Easy discharge film (30): material; magnesium oxide, shape; linear shape, width extending along the axial direction of the other electrode (22);
0.3 mm, thickness; 300 μm mm, pitch in the circumferential direction; 5 mm
【００５０】上記の誘電体バリア放電ランプを、周波数
が約２０ｋＨｚの高周波電源（２０）により、当該誘電
体バリア放電ランプの表面積１平方センチメートルあた
りの入力電力が０．２５Ｗの条件で点灯させたところ、
波長１７２ｎｍに最大値を有する真空紫外線が放射され
た。この誘電体バリア放電ランプにおいては、見かけ上
のマイクロプラズマは、他方の壁部（１２）の周方向に
移動することがなく、外部に放射される光の揺らぎが小
さいものであった。The above dielectric barrier discharge lamp was lit by a high frequency power source (20) having a frequency of about 20 kHz under the condition that the input power per square centimeter of the dielectric barrier discharge lamp was 0.25 W.
Vacuum ultraviolet light having a maximum value at a wavelength of 172 nm was emitted. In this dielectric barrier discharge lamp, the apparent microplasma did not move in the circumferential direction of the other wall portion (12), and the fluctuation of the light emitted to the outside was small.
【００５１】〈実施例５〉下記の条件に従って、図３に
示す構成の誘電体バリア放電ランプを作製した。 壁部（４１）：材質；石英ガラス（仕事関数５．０ｅ
Ｖ），外径；約１１ｍｍ，内径；約９ｍｍ（肉厚１ｍ
ｍ）， 一方の電極（５１）：透明導電膜，材質；ＩＴＯ 他方の電極（５２）：材質；鉄・ニッケル合金，外径２
ｍｍ， 易放電膜（３０）：材質；ＬａＢ6 （仕事関数２．７ｅ
Ｖ），形状；他方の電極（１２）の周方向に沿って伸び
る線状，幅；０．３ｍｍ，厚み；２００μｍ，軸方向に
おけるピッチ；５ｍｍ， 蛍光体（５５）：材質；Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎ， 放電用ガス：キセノンガス（封入圧力４０ｋＰａ）Example 5 A dielectric barrier discharge lamp having the structure shown in FIG. 3 was produced under the following conditions. Wall (41): Material: Quartz glass (work function 5.0e
V), outer diameter; about 11 mm, inner diameter; about 9 mm (wall thickness 1 m
m), one electrode (51): transparent conductive film, material; ITO other electrode (52): material; iron-nickel alloy, outer diameter 2
mm, easy discharge film (30): material; LaB 6 (work function 2.7e
V), shape; linear shape extending along the circumferential direction of the other electrode (12), width; 0.3 mm, thickness; 200 μm, axial pitch; 5 mm, phosphor (55): material; Zn 2 SiO 4 : Mn, discharge gas: xenon gas (filling pressure 40 kPa)
【００５２】上記の誘電体バリア放電ランプを、周波数
が約３０ｋＨｚの高周波電源（２０）により、当該誘電
体バリア放電ランプの表面積１平方センチメートルあた
りの入力電力が０．２Ｗの条件で点灯させたところ、緑
色の可視光線が放射された。この誘電体バリア放電ラン
プにおいては、見かけ上のマイクロプラズマは、壁部
（４１）の周方向に移動することがなく、外部に放射さ
れる光の揺らぎが小さいものであった。The above dielectric barrier discharge lamp was lit by a high frequency power source (20) having a frequency of about 30 kHz under the condition that the input power per square centimeter of the dielectric barrier discharge lamp was 0.2 W. Green visible light was emitted. In this dielectric barrier discharge lamp, the apparent microplasma did not move in the circumferential direction of the wall portion (41), and the fluctuation of light emitted to the outside was small.
【００５３】[0053]
【発明の効果】本発明によれば、放電容器における壁部
の内面に設けられた多数の易放電膜により、誘電体バリ
ア放電によるマイクロプラズマの始点または終点の位置
が、易放電膜の各々の表面における領域に拘束されるの
で、見かけ上のマイクロプラズマは、事実上、個々の易
放電膜の表面の領域を超えて移動することがなく、その
結果、外部に放射される光の揺らぎが小さい誘電体バリ
ア放電ランプが得られる。According to the present invention, due to a large number of easy-discharging films provided on the inner surface of the wall portion of the discharge vessel, the position of the starting point or the ending point of the microplasma due to the dielectric barrier discharge is different from that of each of the easy-discharging films. Since it is confined to the area on the surface, the apparent microplasma practically does not move beyond the area of the surface of the individual dischargeable film, and as a result, the fluctuation of the light emitted to the outside is small. A dielectric barrier discharge lamp is obtained.
【００５４】また、易放電膜を構成する材料として、特
定の金属化合物を用いることにより、当該易放電膜は、
誘電体バリア放電によるスパッタリングによって損耗す
ることが少なく、しかも、空気中において安定なもので
あるため、長い使用寿命が得られる。By using a specific metal compound as a material for forming the easy-discharge film, the easy-discharge film is
Since it is less likely to be worn by sputtering due to dielectric barrier discharge and is stable in air, it has a long service life.
【図１】本発明の誘電体バリア放電ランプの一例におけ
る構成の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面
図、（ロ）横断側面図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of a configuration in an example of a dielectric barrier discharge lamp of the present invention, (a) is a vertical front view and (b) a transverse side view.
【図２】本発明の誘電体バリア放電ランプの他の例にお
ける構成の概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正
面図、（ロ）横断側面図である。FIG. 2 is an explanatory view showing the outline of the configuration of another example of the dielectric barrier discharge lamp of the present invention, (a) is a vertical sectional front view and (b) a transverse side view.
【図３】本発明の誘電体バリア放電ランプの更に他の例
における構成の概略を示す説明図であって、（イ）は縦
断正面図、（ロ）横断側面図である。FIG. 3 is an explanatory view showing the outline of the configuration of still another example of the dielectric barrier discharge lamp of the present invention, (a) is a vertical sectional front view, and (b) a transverse side view.
【図４】実施例に係る誘電体バリア放電ランプの構成の
概略を示す説明図であって、（イ）は縦断正面図、
（ロ）横断側面図である。FIG. 4 is an explanatory view showing the outline of the configuration of the dielectric barrier discharge lamp according to the embodiment, in which (a) is a vertical sectional front view,
(B) It is a transverse side view.
【図５】誘電体バリア放電を発生させるための原理を示
す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a principle for generating a dielectric barrier discharge.
【図６】従来の誘電体バリア放電ランプにおける一例の
構成を示す説明用縦断面ずである。FIG. 6 is a longitudinal sectional view for explanation showing an example of the configuration of a conventional dielectric barrier discharge lamp.
１０ 放電容器 １１ 一方の壁部 １２ 他方の壁部 １３，１４ 封止壁部 １５ 変形部 １６ 一方の壁部の外面 １７ 他方の壁部の外面 １８ 他方の壁部の内面 ２０ 高周波電源 ２１ 一方の電極 ２２ 他方の電極 ３０ 易放電膜 ４０ 放電容器 ４１ 壁部 ４２，４３ 封止壁部 ４４ 壁部の外面 ４５ 壁部の内面 ４６ 排気管残部 ５１ 一方の電極 ５２ 他方の電極 ５５ 蛍光体 ７１，７２ 壁材 ７３，７４ 外面 ７５，７６ 電極 ８０ 放電容器 ８１ 一方の壁部 ８２ 他方の壁部 ８３，８４ 封止壁部 ８５ 一方の壁部の外面 ８６ 一方の電極 ８７ 他方の壁部の外面 ８８ 他方の電極 ８９ 高周波電源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Discharge container 11 One wall part 12 Other wall part 13,14 Sealing wall part 15 Deformation part 16 Outer surface of one wall part 17 Outer surface of the other wall part 18 Inner surface of the other wall part 20 High frequency power supply 21 One of the Electrode 22 Other electrode 30 Easy discharge film 40 Discharge container 41 Wall part 42, 43 Sealing wall part 44 Outer surface of wall part 45 Inner surface of wall part 46 Exhaust pipe remainder 51 One electrode 52 Other electrode 55 Phosphor 71, 72 Wall material 73,74 Outer surface 75,76 Electrode 80 Discharge vessel 81 One wall portion 82 Other wall portion 83,84 Sealing wall portion 85 Outer surface of one wall portion 86 One electrode 87 Outer surface of the other wall portion 88 Other Electrode 89 High frequency power supply
Claims (7)
対向する一方の壁部および他方の壁部を有し、当該一方
の壁部と当該他方の壁部との間に放電空間を形成する放
電容器と、 この放電容器における一方の壁部および他方の壁部の各
々の外面に設けられた一方の電極および他方の電極と、 前記放電容器内に充填された放電用ガスとを有し、 前記放電容器における放電空間において誘電体バリア放
電によりエキシマが生成されてエキシマ光が放出される
誘電体バリア放電ランプであって、 少なくとも前記一方の壁部および他方の壁部のいずれか
の内面に、当該壁部を構成する誘電体の仕事関数より小
さい仕事関数の物質よりなる多数の易放電膜が設けられ
ていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。1. A discharge container having one wall portion and the other wall portion, which are made of a dielectric material and are opposed to each other, and forms a discharge space between the one wall portion and the other wall portion. And one electrode and the other electrode provided on the outer surface of each of the one wall portion and the other wall portion of the discharge vessel, and a discharge gas filled in the discharge vessel, and the discharge A dielectric barrier discharge lamp in which an excimer is generated by a dielectric barrier discharge to emit excimer light in a discharge space of a container, wherein the inner wall of at least one of the one wall portion and the other wall portion has the wall. A dielectric barrier discharge lamp comprising a large number of easy-discharge films made of a substance having a work function smaller than that of a dielectric material forming the part.
面に易放電膜が設けられていることを特徴とする請求項
１に記載の誘電体バリア放電ランプ。2. The dielectric barrier discharge lamp according to claim 1, wherein an easy discharge film is provided on the inner surface of each of the one wall portion and the other wall portion.
された壁部を有する放電容器と、 この放電容器における前記壁部の外面に設けられた一方
の電極と、 前記放電容器内に、前記壁部に対向するよう設けられた
他方の電極と、 前記放電容器内に充填された放電用ガスとを有し、 前記放電容器における放電空間において誘電体バリア放
電によりエキシマが生成されてエキシマ光が放出される
誘電体バリア放電ランプであって、 前記放電容器における前記壁部の内面に、当該壁部を構
成する誘電体の仕事関数より小さい仕事関数の物質より
なる多数の易放電膜が設けられている特徴とする誘電体
バリア放電ランプ。3. A discharge vessel surrounding a discharge space and having a wall portion made of a dielectric material, one electrode provided on an outer surface of the wall portion of the discharge vessel, and the wall inside the discharge vessel. And a discharge gas filled in the discharge vessel, the excimer light is emitted by excimer generated by dielectric barrier discharge in the discharge space of the discharge vessel. A dielectric barrier discharge lamp, wherein a large number of easy-discharge films made of a substance having a work function smaller than a work function of a dielectric material forming the wall portion are provided on an inner surface of the wall portion of the discharge vessel. Dielectric barrier discharge lamp featuring
って互いに離間して配置されていることを特徴とする請
求項１乃至請求項３のいずれかに記載の誘電体バリア放
電ランプ。4. The dielectric barrier discharge according to any one of claims 1 to 3, wherein each of the easy-discharge films has a dot shape and is arranged apart from each other. lamp.
って互いに離間して配置されていることを特徴とする請
求項１乃至請求項３のいずれかに記載の誘電体バリア放
電ランプ。5. The dielectric barrier discharge according to claim 1, wherein each of the easy discharge films has a linear shape and is arranged apart from each other. lamp.
Ｏ）、酸化ランタン（Ｌａ2 Ｏ3 ）、酸化セリウム（Ｃ
ｅＯ2 ）、酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）、酸化ジルコ
ニウム（ＺｒＯ2 ）およびホウ化ランタン（ＬａＢ6 ）
よりなる群から選ばれた少なくとも一種の金属化合物に
より構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求
項５のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ。6. The easy discharge film is made of magnesium oxide (Mg
O), lanthanum oxide (La 2 O 3 ), cerium oxide (C
eO 2 ), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), zirconium oxide (ZrO 2 ) and lanthanum boride (LaB 6 ).
The dielectric barrier discharge lamp according to any one of claims 1 to 5, which is composed of at least one metal compound selected from the group consisting of:
た壁部が円筒状であることを特徴とする請求項１乃至請
求項６のいずれかに記載の誘電体バリア放電ランプ。7. The dielectric barrier discharge lamp according to claim 1, wherein a wall portion formed of a dielectric material in the discharge container has a cylindrical shape.
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| JP2008047526A (en) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Schott Ag | External electrode fluorescent lamp with optimised efficiency |
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1995
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