JPH09136046A - 気体噴射ノズルおよび基板の液切り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 帯状の気体を均一に噴射することができるよ
うにし、これによって基板の液切り処理能力を向上させ
る。 【解決手段】 基板Ｂの主面に向けて気体を噴射する気
体噴射ノズル４であって、上記気体を通過させるスリッ
ト状の開口を備えた開口部材４４と、この開口部材４４
が上記開口を確保した状態で覆われるように装着される
ノズル本体４１とからなり、上記開口部材４４は金属製
とされ、上記ノズル本体４１は合成樹脂製とされてい
る。上記ノズル本体４１は第１ノズル本体４２と第２ノ
ズル本体４３とから形成されているとともに、上記開口
部材４４は第１開口部材４５と第２開口部材４６とから
形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示器用のガ
ラス基板、半導体ウエハ基板等を対象とし、所定の処理
液が付着したこれら基板の主面（表面および裏面の内の
いずれか一方または双方）に向けて気体を噴射する気体
噴射ノズル、およびこの気体噴射ノズルを用いた基板の
液切り装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば液晶表示器を製造するに際
し、板状のガラス基板はその主面に異なった種類の処理
液が順次供給されるいわゆる湿式表面処理が施される。
この湿式表面処理は、主面に金属膜が形成された基板に
エッチング液を供給するエッチング処理や、この処理を
終えた主面に純水等の洗浄液を供給して付着しているエ
ッチング液を除去する洗浄処理等がある。

【０００３】そして、上記それぞれの湿式表面処理が施
された基板には処理液（上記エッチング液や洗浄液等）
が付着残留しているが、このような残留液はつぎの湿式
表面処理が施されるまでに除去（液切り）しておく必要
がある。そこで、従来から一連の湿式表面処理工程の適
所に液切り装置が介設され、一の湿式表面処理が施され
た直後に基板はこの液切り装置によって液切り処理が施
されるようになっている。

【０００４】かかる液切り装置としては、処理液の付着
した基板を、主面を開放状態にして所定の方向に搬送し
つつ、主面に向けて気体噴射ノズルから気体を帯状で噴
射し、これによって処理液を主面から吹き飛ばして除去
するようにしたものが一般的に採用されている。

【０００５】そして上記気体噴射ノズルとしては、実開
平３−７９８５２号公報に記載されたものが知られてい
る。この公報に記載されている気体噴射ノズルは、合成
樹脂製の２枚の板をスペーサーを介して積層し、ネジ止
めして形成されたものであり、上記スペーサーによって
２枚の板の対向部に長手方向の全長に亘るスリット状の
開口が形成されている。この開口の幅寸法は０．１〜１
ｍｍと非常に薄く設定されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の上記
気体噴射ノズルは、例えばポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）な
どの寸法安定性の劣る合成樹脂で形成されているため加
工精度に限界があり、気体噴射ノズルの全長に亘って開
口幅寸法を０．１〜１ｍｍに設定することは非常に困難
であるという問題点を有している。そこで、ノズル本体
に調節ネジを用いた開口幅調節手段が適用され、調節ネ
ジの捩じ込み量を変えることによって開口幅寸法を調節
するようになされているが、かかる調節ネジを用いて
も、一の調節ネジと他の調節ネジとの間の板が撓むこと
によって開口幅寸法の均一化を達成することができない
という不都合が存在する。

【０００７】また近年、液晶表示器の大型化が図られ、
これによって基板サイズが略１ｍ平方の非常に大きなも
のも存在するようになっているため、かかる大型化した
基板を対象とする気体噴射ノズルは長尺のものになり、
長手方向の全長に亘り開口幅寸法を均一化することはま
すます困難になってきている。

【０００８】そして、従来の液切り装置においては、上
記のような全体が合成樹脂製の気体噴射ノズルを採用し
ていたため、長手方向に亘る開口幅寸法の不均一に起因
して気体の噴射状態が不均一になることから、１台の気
体噴射ノズルでは基板に付着した処理液を確実に除去す
ることができず、従って複数の気体噴射ノズルが基板の
搬送方向に並設されていた。

【０００９】しかしながら、複数の気体噴射ノズルを設
けると、装置構成が複雑になるとともに複数のノズルの
設置空間を確保しなければならず、設備コストが増加す
るという不都合が存在する。この不都合を解消するため
に気体噴射ノズルからの噴射圧を高め、これによってノ
ズルの数を減らすことが考えられるが、噴射圧を高くす
ると、ノズル本体が合成樹脂製品であることから、スリ
ット状の開口部分が変形して広がり、これによって噴射
気流の不均一がさらに助長されるという新たな問題点が
発生する。

【００１０】そこで、上記変形を防止するために、ノズ
ル本体そのものを全体的に金属製にすることが考えられ
るが、例えばエッチング処理を終えた基板には酸性の処
理液が付着しているため、ノズル本体がこの酸性の処理
液の影響を受けて腐食し易くなるという問題点が提起さ
れる。

【００１１】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、帯状の気体を均一に噴射す
ることが可能であり、これによって基板の液切り処理能
力を向上させ得る気体噴射ノズルを提供することを目的
としている。

【００１２】また、本発明は、少ない設置空間で確実に
基板の液切りを行うことができ、これによって設備コス
トの低減に寄与し得る基板の液切り装置を提供すること
を目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基板の主面に向けて気体を噴射する気体噴射ノズルであ
って、上記気体を通過させるスリット状の開口を備えた
開口部材と、この開口部材を支持するノズル本体とから
なり、上記開口部材は金属製とし、上記ノズル本体は合
成樹脂製としたことを特徴とするものである。

【００１４】この発明によれば、開口部材は金属で形成
されているため、合成樹脂製のものに比べて寸法精度が
良好であり、所望の開口幅寸法にすることが容易であ
る。しかもこの開口部材は開口が確保された状態でノズ
ル本体に覆われ、このノズル本体が補強材の役割を果た
しているため、開口部材を形成する材料を少なくするこ
とが可能になる。また、開口部材は表面がノズル本体に
被覆されているため、腐食雰囲気にあっても表面の腐食
が防止される。

【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、上記ノズル本体は、上記開口部材の開口幅
を長手方向の全長に亘って調整する開口幅調整手段を有
していることを特徴とするものである。

【００１６】この発明によれば、たとえ製作時に開口部
材の開口幅寸法に狂いが生じても、開口部材をノズル本
体に装着したのち開口幅調節手段を操作することによっ
て上記開口幅寸法が調節される。そして、開口部材は金
属製であるため、上記調節によって確実に所望の開口幅
寸法になる。

【００１７】請求項３記載の発明は、処理液が付着した
基板を搬送しつつ主面に気体を吹き付けて処理液を除去
する基板の液切り装置において、上記基板を主面が覆わ
れない状態で搬送する搬送手段と、請求項１または２記
載の気体噴射ノズルとを有していることを特徴とするも
のである。

【００１８】この発明によれば、搬送手段によって搬送
されつつある基板の主面に気体噴射ノズルからの気体を
吹き付けることによって基板に付着している処理液は吹
き飛ばされ、これによって基板は液切りが行われた状態
になる。

【００１９】そして、噴射ノズルは請求項１または２に
記載のものが採用されているため、開口部材の開口幅寸
法は、全長に亘って均一になっており、これによって開
口部材からは長手方向に亘って均等な気体流が噴射され
ることになる。従って、従来のように噴射流が不均等な
場合にそれを補うために複数の気体噴射ノズルを直列で
配設するようなことを行なう必要はなく、基板の主面に
対して１台の気体噴射ノズルで対応し得るようになる。

【００２０】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、気体噴射ノズルが待機しているときの噴射
圧を、気体噴射ノズルが基板に気体を吹き付けていると
きの噴射圧よりも小さくするように制御する制御手段を
有していることを特徴とするものである。

【００２１】この発明によれば、気体の噴射位置に基板
が存在しないときには、制御手段の制御によって気体噴
射ノズルからは少なめの気体が噴射されるため、噴射の
ための気体量が節約されるとともに、噴射用の動力コス
トも節約される。また、気体噴射ノズルに到る管路には
気体が常に流通している状態になっているため、完全に
気体の噴射を停止した状態から到達した基板に気体を噴
射するように制御する場合に比べて、気体の噴射状態が
常に安定し、気流の乱れによる基板への悪影響が防止さ
れる。

【００２２】また、液切り装置内には、上流側で基板に
供給された酸性の処理液が基板に伴って運び込まれ、装
置内が酸性雰囲気になっているが、気体噴射ノズルが待
機しているときにも気体が噴射されているため、酸性雰
囲気が気体噴射ノズル内に侵入することはなく、気体噴
射ノズルの内部の腐食が防止される。

【００２３】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る基板Ｂの液
切り装置１の一実施形態を示す一部切欠き斜視図であ
る。この図に示すように、液切り装置１は、箱型の液切
り槽２、この液切り槽２の内部に設けられた搬送手段
３、およびこの搬送手段３を横断するように設けられた
上下一対の気体噴射ノズル４を具備して形成されてい
る。液切り槽２内に導入された基板Ｂは、搬送手段３に
よって搬送されつつ、気体噴射ノズル４から噴射される
気流によって前工程で付着した処理液が吹き飛ばされ、
これによって基板Ｂの液切りが行われるようにしてい
る。

【００２４】上記液切り槽２の上流側には、エッチング
装置が設けられている。このエッチング装置内には酸性
のエッチング液をノズル３５から吐出する吐出パイプ３
４が複数本並設されている。基板Ｂはこの吐出パイプ３
４からエッチング液を散布された状態で液切り槽２内に
供給されるため、液切り槽２内は酸性雰囲気になってい
る。

【００２５】上記液切り槽２の上流側（図１の左方）に
設けられた上流壁２１には基板Ｂを液切り槽２内に受け
入れるための基板受入口２２が穿設されているととも
に、下流側に設けられた下流壁２３には基板Ｂを液切り
槽２から排出するための基板排出口２４が設けられてい
る。これら基板受入口２２および基板排出口２４は、そ
れぞれ同一高さ位置に設けられ、基板受入口２２から液
切り槽２内に導入された基板Ｂは、搬送手段３によって
液切り槽２内を水平方向に直進移動され、基板排出口２
４から排出されるようになっている。

【００２６】また、上記液切り槽２は、その下部に延設
された下窄みのホッパー部２５、およびこのホッパー部
２５の底部に設けられたドレン管２６を有しており、基
板Ｂから取り除かれた処理液はホッパー部２５に受けら
れた後、ドレン管２６を通って系外に排出されるように
している。

【００２７】上記搬送手段３は、液切り槽２内に上流側
から下流側に向けて配設された幅方向一対のローラ支持
架台３１、これら一対のローラ支持架台３１に挟持され
た複数の基板Ｂ搬送用の搬送ローラ３２、およびこれら
搬送ローラ３２を水平軸３２ａ回りに共回りさせる駆動
機構３３を備えている。上記ローラ支持架台３１は、上
流側から下流側に亘って略等間隔で基板受入口２２およ
び基板排出口２４と同一高さ位置になるように複数の搬
送ローラ３２のそれぞれを支持している。本実施形態に
おいては、ローラ支持架台３１に６本の搬送ローラ３２
が支持されている。

【００２８】上記各搬送ローラ３２は、両側部にフラン
ジ部３２ｂと、このフランジ部３２ｂより内側の部分に
フランジ部３２ｂよりも若干小径の基板移送輪３２ｃと
を有している。上記フランジ部３２間の寸法は基板Ｂの
横幅寸法よりも若干広めに設定されているとともに、上
記基板移送輪３２ｃ間の寸法は基板Ｂの横幅寸法よりも
若干狭めに設定されている。これによって基板Ｂは基板
移送輪３２ｃ上を移送されるとともに、フランジ部３２
ｂによって横ずれが阻止されるようになっている。ま
た、基板移送輪３２ｃには滑り止めのために環状のゴム
ローラ３２ｄが外嵌されている。

【００２９】上記駆動機構３３は、ローラ支持架台３１
の外方であって、気体噴射ノズル４の直上流側に設けら
れた駆動モータ３３ａ、この駆動モータ３３ａの駆動軸
３３ｃに共回り可能に設けられた幅方向一対の押えロー
ラ３３ｂ（図１において右方の押えローラ３３ｂは省略
している）、駆動軸３３ｃの右端に設けられた駆動歯車
３３ｄ、一つがこの駆動歯車３３ｄに噛合し、他は噛合
しない複数の従動歯車３３ｅ、これらの従動歯車３３ｅ
に噛合する複数の連絡歯車３３ｆを具備して形成されて
いる。

【００３０】上記従動歯車３３ｅは、各搬送ローラ３２
に同心で固定され、一の従動歯車３３ｅと他の従動歯車
３３ｅとの間に連絡歯車３３ｆが介設されている。従っ
て、駆動モータ３３ａの駆動により、その回転は駆動軸
３３ｃおよび駆動歯車３３ｄを介して一つの従動歯車３
３ｅに伝達され、この従動歯車３３ｅの回転は、連絡歯
車３３ｆを介してつぎの従動歯車３３ｅに伝えられ、さ
らに同様に順次他の従動歯車３３ｅに伝達されるため、
すべての搬送ローラ３２が同一方向に回転し、ゴムロー
ラ３２ｄ上の基板Ｂが搬送されることになる。

【００３１】なお、上記押えローラ３３ｂは、その外周
面が角型基板Ｂの表面に緩く当接するように径寸法が設
定され、これによって搬送ローラ３２で搬送される基板
Ｂは、気体噴射ノズル４の直上流側でゴムローラ３２ｄ
と押えローラ３３ｂとに挟持された状態になり、気体噴
射ノズル４に到達した基板Ｂが、気体噴射ノズル４から
噴射されるエアーにあおられて搬送ローラ３２から上方
に浮き上がったり、振動したりするのを防止している。

【００３２】上記気体噴射ノズル４は、液切り槽２内の
下流側において搬送ローラ３２による基板Ｂの搬送通路
を挟むように上下一対が設けられている。これら気体噴
射ノズル４は、各開口４０が先端側に基板Ｂの搬送通路
を水平方向で斜めに横断するとともに、各開口４０から
の基体の噴射流が上下方向で斜めに上流側に向かうよう
に取り付けられており、これによって上下の開口４０間
を通過する基板Ｂの表裏には付着した処理液を上流側に
向かって押し出すように気流が供給されることになる。

【００３３】本実施形態においては、気体噴射ノズル４
には清浄エアーが供給されるようにしている。そのため
に清浄エアー源５が配置され、この清浄エアー源５から
の清浄エアーが所定のエアー管路を通って上下の気体噴
射ノズル４に供給されるようにしている。上記エアー管
路には制御弁５１が設けられ、この制御弁５１を後述す
る制御装置からの制御信号に基づいて開閉することによ
り、気体噴射ノズル４へのエアーの供給、遮断および供
給エアー圧の調節を行うことができるようになってい
る。

【００３４】上記制御弁５１は、上方の気体噴射ノズル
４に向かうエアー管路に設けられた第１制御弁５１ａ、
および下方の気体噴射ノズル４に向かうエアー管路に設
けられた第２制御弁５１ｂからなり、これら制御弁５１
ａ，５１ｂの開閉操作で基板Ｂの表裏へのエアー噴射、
および表裏の一方へのエアー噴射のいずれかを選択する
ことができるようにしている。

【００３５】図２は、本発明に係る気体噴射ノズル４の
一実施形態を示す分解斜視図である。この図に示すよう
に、気体噴射ノズル４は、合成樹脂製のノズル本体４１
と、このノズル本体４１に覆われた金属製の開口部材４
４とを備えて形成されている。

【００３６】上記ノズル本体４１は、長手方向に延びる
中央分割面を境にして幅方向に分割可能に形成され、分
割された一方で第１ノズル本体４２が、同他方で第２ノ
ズル本体４３が形成されている。また、上記開口部材４
４は、上記第１ノズル本体４２に対応した第１開口部材
４５と、上記第２ノズル本体４３に対応した第２開口部
材４６とから構成されている。これら両開口部材４５，
４６がスペーサー４７を介して積層されることにより、
両開口部材４５，４６の対向面間に隙間が形成され、こ
の隙間によって気体噴射ノズル４の開口４０（図１）が
形成されるようにしている。

【００３７】上記第１開口部材４５は、下端部が片刃の
ナイフエッジ状に形成され、これによって第２開口部材
４６に対向した面は偏平面４５ａにしてあるとともに、
第１ノズル本体４２に対向した面の下部には傾斜面４５
ｂが形成されている。また、上記偏平面４５ａの肉厚部
分には長手方向の全長に亘って凹溝４５ｃが形成されて
いる。さらに、第１開口部材４５には長手方向に複数の
ネジ孔４５ｄとネジの螺設されていない係止孔４５ｅと
が略等間隔で交互に設けられている。そして、気体噴射
ノズル４を組み付けるときには、上記ネジ孔４５ｄにジ
ャッキボルト（開口幅調整手段）４８ａが螺着されると
ともに、上記係止孔４５ｅにジャッキボルト４８ａより
も長尺の係止ボルト４８ｂが挿通される。

【００３８】上記第２開口部材４６は、上下長および長
手方向長が第１開口部材４５と同じに設定された偏平な
金属板で形成されている。この第２開口部材４６には、
上記第１開口部材４５の係止孔４５ｅに対応した複数の
係止孔４６ａが穿設されている。なお、第２開口部材４
６には上記ネジ孔４５ｄに対応した孔は設けられていな
い。従って、ネジ孔４５ｄに螺着されたジャッキボルト
４８ａは、その先端部が第２開口部材４６に当止するこ
とになる。

【００３９】上記第１開口部材４５と第２開口部材４６
との間には金属製のリング状のスペーサー４７が介在さ
れるようにしている。このスペーサー４７は、上記開口
４０（図１）の最小開口幅寸法に厚み設定されている。
従って、このスペーサー４７を挟持した状態で第１開口
部材４５と第２開口部材４６とが押圧積層されると、両
開口部材４５，４６間に最小開口幅の開口４０が形成さ
れることになる。そして、本実施形態では、上記スペー
サー４７は、係止孔４５ｅおよび係止孔４６ａに対応し
た位置に配置された状態で、上記係止ボルト４８ｂが係
止孔４５ｅ、スペーサー４７および係止孔４６ａに挿通
される。

【００４０】上記第１ノズル本体４２は、ナイフエッジ
状を呈した下窄みに形成され、下部に上記第１開口部材
４５の傾斜面４５ｂに対応した傾斜面４２ａが形成され
ているとともに、裏面には第１開口部材４５を嵌め込む
凹溝４２ｂが凹設されている。この凹溝４２ｂは、下部
が第１開口部材４５の表面の立体形状に合致するように
傾斜面を有しているとともに、第１開口部材４５が凹溝
４２ｂに嵌装された状態で上方に長手方向に延びる空間
が形成されるように形状設定されている。

【００４１】かかる第１ノズル本体４２には、上記第１
開口部材４５のネジ孔４５ｄおよび係止孔４５ｅに対応
した複数の貫通孔４２ｃが穿設されており、気体噴射ノ
ズル４を組み付けるときには、これらの貫通孔４２ｃに
ジャッキボルト４８ａおよび係止ボルト４８ｂが交互に
挿通される。また、第１ノズル本体４２の上縁部および
両側縁部には内方に向かって突出した面一状態の肉厚部
４２ｄが形成され、この肉厚部４２ｄの適所に複数の締
結孔４２ｅが穿設されている。この締結孔４２ｅには、
気体噴射ノズル４の組み付け操作時に上記係止ボルト４
８ｂと略等長の締結ボルト４８ｃが挿通される。

【００４２】かかる第１ノズル本体４２の中央頂部に
は、平面視で半円状の円弧溝４２ｆが凹設されている。
この円弧溝４２ｆの内周面には、後述する円弧溝４３ｆ
と合わされた状態において雌ネジが設けられている。

【００４３】上記第２ノズル本体４３は、上記第１ノズ
ル本体４２と同様にナイフエッジ状を呈した下窄みに形
成され、表面下部に傾斜面４３ａを有し、これによって
気体噴射ノズル４が組み付けられた状態で、ノズル本体
４１の下部は、図１に示すように先細りに形成され、こ
れによって搬送手段３で搬送される基板Ｂと気体噴射ノ
ズル４とが相互に干渉し合わないようにしている。

【００４４】第２ノズル本体４３は、裏面の上部および
両側部に上記第１ノズル本体４２の肉厚部４２ｄに対向
した面一状態の肉厚部４３ｄを有し、これによって下部
が開放状態でこの肉厚部４３ｄに囲繞された凹溝４３ｂ
が形成されている。この凹溝４３ｂは、下部に溝底から
膨設された長手方向の全長に亘るデッキ部４３ｇを有し
ており、このデッキ部４３ｇに上記第２開口部材４６が
装着されるようにしている。そして、このデッキ部４３
ｇの上部には、第２開口部材４６が装着された状態で上
方に長手方向に延びる空間が形成されている。

【００４５】また、第２ノズル本体４３には、上記第２
開口部材４６の係止孔４６ａに対応した複数のネジ孔４
３ｃが螺設されており、気体噴射ノズル４を組み付ける
ときには、これらのネジ孔４３ｃに上記係止孔４５ｅ、
スペーサー４７および係止孔４６ａに挿通された係止ボ
ルト４８ｂの先端部が螺着されるようにしている。ま
た、上記肉厚部４３ｄには上記締結孔４２ｅに対応した
ネジ孔４３ｅが穿設されている。このネジ孔４３ｅに
は、気体噴射ノズル４の組み付け操作時に締結孔４２ｅ
に挿通された上記係止ボルト４８ｂの先端部が螺着さ
れ、これによって内部に第１開口部材４５の嵌装された
気体噴射ノズル４が形成される。

【００４６】かかる第２ノズル本体４３の中央頂部に
は、上記円弧溝４２ｆに対応した円弧溝４３ｆが凹設さ
れている。この円弧溝４２ｆの内周面には、上記円弧溝
４２ｆに対応した雌ネジの残りの半分が設けられ、第１
ノズル本体４２と第２ノズル本体４３とが合体され、ノ
ズル本体４１が形成された状態で内周面に雌ネジの形成
された円孔からなるジョイント部材（図３）が形成され
るようになっている。

【００４７】そして、気体噴射ノズル４を組み付けるに
際しては、ジャッキボルト４８ａおよび係止ボルト４８
ｂのいずれか一方または双方を通す挿通孔の穿設された
シール部材４９が第１ノズル本体４２の凹溝４２ｂと第
１開口部材４５との間、および第２ノズル本体４３のデ
ッキ部４３ｇと第２開口部材４６との間に装着され、こ
れらシール部材４９を介してノズル本体４１内に開口部
材４４が密着状態で装着されるようにしている。

【００４８】本実施形態においては、上記ノズル本体４
１はポリ塩化ビニルによって形成されているとともに、
上記開口部材４４およびスペーサー４７は発錆し難いス
テンレス鋼が用いられている。また、上記シール部材４
９は、柔軟で強靱であり、かつ酸性雰囲気で劣化し難い
フッ素樹脂製のシートが用いられている。

【００４９】図３は、図２に示す各部品が組み付けられ
て形成された気体噴射ノズル４の斜視図であり、図４
は、その断面図であり、（イ）はＡ−Ａ線断面図、
（ロ）はＢ−Ｂ線断面図である。また、図５は、図３に
示す気体噴射ノズルのＣ−Ｃ線断面図であり、（イ）は
開口部材の開口がスペーサーの厚み寸法に設定された状
態、（ロ）は開口部材の開口がスペーサーの厚み寸法よ
りも大きめに設定された状態をそれぞれ示している。

【００５０】図２に示す各部品が組み付けられると、図
３に示すような気体噴射ノズル４が得られる。具体的に
は、各係止孔４５ｅ，４６ａに対応させた状態で三つの
スペーサー４７を第１開口部材４５と第２開口部材４６
との間に挟持することによって開口部材４４が形成され
る。

【００５１】この開口部材４４を、各凹溝４２ｂ，４３
ｂの下部に対応させた状態で一対のシール部材４９を介
して第１ノズル本体４２と第２ノズル本体４３とで挟持
したのち、締結ボルト４８ｃを第１ノズル本体４２の締
結孔４２ｅおよびシール部材４９の孔に挿通し、その先
端を第２ノズル本体４３のネジ孔４３ｅに螺着し、さら
にジャッキボルト４８ａを貫通孔４２ｃおよびシール部
材４９の孔に挿通し、その先端をネジ孔４５ｄに螺着す
るとともに、係止ボルト４８ｂを貫通孔４２ｃ、シール
部材４９の孔、係止孔４５ｅ、前方（左方）のスペーサ
ー４７の孔、係止孔４６ａおよび後方のシール部材４９
の孔に順次挿通し、その先端をネジ孔４３ｃに螺着し、
最後に各ボルト４８ａ，４８ｂ，４８ｃを締結すること
により図３に示すような気体噴射ノズル４が完成する。

【００５２】このようにして気体噴射ノズル４が組み付
けられた状態では、ノズル本体４１の中央頂部には、図
３に示すように、各円弧溝４２ｆ，４３ｆが相互に当接
することによって内周面に雌ネジの形成されたジョイン
ト部４２３ｆが形成される。このジョイント部４２３ｆ
は、清浄エアー源５からの配管４２０をノズル本体４１
に接続するためのものである。

【００５３】そして、図４の（イ）に示すように、係止
ボルト４８ｂを締め付けることにより、開口部材４４が
第１ノズル本体４２と第２ノズル本体４３とによって押
圧挟持された状態になり、しかもスペーサー４７の存在
によって第１開口部材４５と第２開口部材４６との間に
開口４０が形成された状態になる。この状態でジャッキ
ボルト４８ａは、図４の（ロ）に示すように、その先端
が第２開口部材４６の表面に当接している。

【００５４】従って、気体噴射ノズル４が清浄エアー源
５からの配管に接続された状態で、気体噴射ノズル４内
に供給された清浄エアーは、帯状の気流になって上記開
口４０から外部に噴射されることになる。なお、開口４
０から噴射されるエアーは、噴射前に第１開口部材４５
に設けられた凹溝４５ｃ内で一旦拡散し、これによって
帯状の気流の長手方向全長に亘る均等化が図られる。

【００５５】図４の（イ）および（ロ）におけるジャッ
キボルト４８ａおよび係止ボルト４８ｂの相対位置関係
を示すのが図５の（イ）であり、この図に示すように、
係止ボルト４８ｂは固く締結されているのに対し、ジャ
ッキボルト４８ａはその先端が第２開口部材４６に当接
しているだけである。

【００５６】つぎに、ノズル本体４１の開口４０を拡幅
するときは、係止ボルト４８ｂを弛緩するとともに、ジ
ャッキボルト４８ａの締結を強めるようにする。そうす
ると、ジャッキボルト４８ａは第１開口部材４５のネジ
孔４５ｄに捩じ込まれた状態になり、これによってジャ
ッキボルト４８ａの先端が第２開口部材４６の表面を押
圧することになるため、図５の（ロ）に示すように、第
１開口部材４５と第２開口部材４６とをの隙間が拡幅さ
れる。従って、係止ボルト４８ｂの弛緩量およびジャッ
キボルト４８ａの締結量を適宜調節することにより、開
口部材４４の開口４０の幅寸法を、スペーサー４７の厚
み寸法よりも大きな所望のものにすることが可能にな
る。

【００５７】図６は、本発明に係る基板の液切り装置１
の制御の一実施形態を示すブロック図である。この図に
示すように液切り装置１の近傍には清浄エアー源５から
第１ノズル本体４２供給されるエアーの圧力を制御する
制御装置６が設けられているとともに、気体噴射ノズル
４の直上流側には搬送手段３によって液切り装置１内を
搬送される基板Ｂの存否を検出する基板存否センサ６１
が設けられている。

【００５８】上記基板存否センサ６１は、液切り装置１
の稼働中は搬送手段３によって搬送されてくる基板Ｂの
存否を常に検出し、検出結果を制御装置６に常時入力す
るように設定されている。制御装置６はこの基板存否セ
ンサ６１からの検出結果を基に制御弁５１に制御信号を
出力し、この制御信号によって制御弁５１の開度が設定
されるようにしている。

【００５９】具体的には、基板存否センサ６１から基板
Ｂが搬送されてきたことを示す信号が制御装置６に入力
されると、制御装置６は、制御弁５１の開度を大きくし
て清浄エアー源５からのエアー圧力が予め設定した高圧
になるような制御信号を制御弁５１に向けて出力すると
ともに、制御装置６内に内装された図略のタイマーによ
って所定時間上記制御信号の出力が継続されるようにし
ている。上記タイマーには、基板Ｂが気体噴射ノズル４
を通過する時間が設定されている。従って、基板Ｂが気
体噴射ノズル４を通過している間は、清浄エアー源５か
らエアーが供給され、これによって基板Ｂに付着してい
る処理液が確実に除去される。

【００６０】つぎに、基板存否センサ６１が基板Ｂの存
在を検出しなかったときは、その検出信号が制御装置６
に入力され、制御装置６は制御弁５１に弁の開度を小さ
くする制御信号を出力する。これによって制御弁５１の
開度は小さくなるため、気体噴射ノズル４から吐出され
るエアー量は少なくなり、エアーの無駄な使用が確実に
抑制されることになる。

【００６１】なお、基板Ｂが存在しないときに制御弁５
１を完全に閉止しないのは、もし完全に閉止すると、基
板Ｂが第１ノズル本体４２到着したときの制御弁５１の
開弁操作によって気体噴射ノズル４から急激にエアーが
噴射されたり、逆に制御弁５１の開弁と気体噴射ノズル
４からのエアーの吐出との間にタイムラグが生じ、これ
に起因して基板Ｂに確実にエアーを噴射させることがで
きなくなる等、開弁当初に安定したエアーの吐出が行わ
れなくなるという不都合が生じるからである。これに対
し、基板Ｂが存在しないときにも気体噴射ノズル４から
少量のエアーを吐出しておくと、制御弁５１の上流側が
不必要な高圧状態にならず、また同下流側には常にエア
ーが存在した状態になっているため、上記のような不都
合が抑制されるのである。

【００６２】また、上流側のエッチング処理装置の吐出
パイプ３４から基板Ｂに供給された酸性のエッチング液
が基板Ｂに伴って意に液切り槽２内に運び込まれること
によって、液切り槽２内は酸性雰囲気になっているが、
基板Ｂが存在しないときにも気体噴射ノズル４からエア
ーを噴射することにより、酸性雰囲気が気体噴射ノズル
４内に侵入することはなく、気体噴射ノズル４の内部の
腐食が確実に防止される。

【００６３】以上詳述したように、本発明の気体噴射ノ
ズル４は、合成樹脂製のノズル本体４１に金属製の開口
部材４４を開口４０が確保される状態で内装したもので
あるため、従来のすべてが合成樹脂製の気体噴射ノズル
に比べて、開口４０の非常に薄い幅寸法を長手方向の全
長に亘って均一にする上で効果が大きく、これによって
開口４０から均等に帯状の気流を噴射することが可能に
なる。従って、不均一な帯状の気流しか噴射し得なかっ
た従来の気体噴射ノズルの場合は、基板Ｂの洗浄液を確
実に除去するために、複数のノズルを直列で並設しなけ
ればならないという不都合が解消され、これによって基
板Ｂの面当り１台の気体噴射ノズル４で基板に付着して
いる処理液を確実に除去することが可能になり、設備コ
ストの低減が実現する。

【００６４】本発明は、上記の実施形態に限定されるも
のではなく、以下をも採用し得るものである。

【００６５】（１）上記実施形態では、ノズル本体４１
の中央頂部にジョイント部４２３ｆが凹設されている
が、ジョイント部４２３ｆを凹設する代りにこの部分に
雄ネジの螺設された円筒体を設け、この円筒体に清浄エ
アー源５からの配管を螺着して接続するようにしてもよ
い。

【００６６】（２）上記実施形態では、ノズル本体４１
の材質はポリ塩化ビニルにしているが、ポリプロピレ
ン、ウレタン系ポリエチレン、ポリエーテルエーテルケ
トン等を用いてもよい。

【００６７】（３）上記実施形態では、開口部材４４の
材質はステンレススチールにしているが、ステンレスス
チールの代りにチタン、チタンパラジウム合金、アルミ
ニウム合金、ハステロイＣ等を用いてもよい。

【００６８】（４）上記実施形態では、シール部材４９
はフッ素樹脂製のものが用いられているが、フッ素樹脂
としてポリテトラフルオロエチレンを用いたり、あるい
はスチレンゴム、シリコンゴム等の合成ゴム製のものを
用いてもよい。

【００６９】（５）上記実施形態では、気体噴射ノズル
４を液切り槽２内に固定し、基板Ｂを移動させるように
しているが、これとは逆に液切り槽２内で基板Ｂを停止
させ、この停止した基板Ｂに向けてエアーを噴射しつつ
気体噴射ノズル４を移動させるようにしてもよい。

【００７０】

【発明の効果】上記請求項１記載の発明は、基板の主面
に向けて気体を噴射する気体噴射ノズルであって、上記
気体を通過させるスリット状の開口を備えた開口部材
と、この開口部材を支持するノズル本体とからなり、上
記開口部材は金属製とし、上記ノズル本体は合成樹脂製
としたものであるため、従来の気体噴射ノズルが全体に
合成樹脂で形成されているものに比べて開口部分の寸法
精度を良好にすることが可能であり、開口部材の開口幅
寸法を長手方向の全長に亘って均一な所望の開口幅寸法
にすることができる。

【００７１】また、上記の開口部材は開口が確保された
状態でノズル本体に覆われ、このノズル本体が補強材の
役割を果たしているため、開口部材を形成する金属材料
を少なくすることが可能になり、設備コストの低減を図
る上で有効である。

【００７２】さらに、開口部材は表面がノズル本体に被
覆されているため、気体噴射ノズルが腐食雰囲気に設置
されても表面の腐食が確実に防止され、腐食による錆の
生成に起因したパーティクルの発生を有効に抑止するこ
とが可能であり、発錆に起因したパーティクルによる基
板の汚染を確実に防止することができる。

【００７３】上記請求項２記載の発明によれば、上記ノ
ズル本体は、上記開口部材の開口幅を長手方向の全長に
亘って調整する開口幅調整手段を有してなるものである
ため、たとえ製作時に開口部材の開口幅寸法に狂いが生
じても、開口部材をノズル本体に装着したのち開口幅調
節手段を操作することによって上記開口幅寸法が容易に
調節される。そして、開口部材は金属製であるため、上
記調節によって確実に所望の開口幅寸法にすることがで
き、開口からの気体の噴射流を均等にすることができ
る。

【００７４】上記請求項３記載の発明によれば、基板の
液切り装置は、基板を主面が覆われない状態で搬送する
搬送手段と、上記請求項１または２記載の気体噴射ノズ
ルとを有してなるものであるため、開口部材の開口幅寸
法は、全長に亘って均一になっており、これによって開
口部材からは長手方向に亘って均等な気体流が噴射され
ることになる。従って、従来のように噴射流が不均等な
場合にそれを補うために複数の気体噴射ノズルを直列で
配設するようなことを行なう必要はなく、基板の主面に
対して１台の気体噴射ノズルで対応し得るようになり、
これによって気体噴射ノズルの設置空間を小容量にする
ことができ、設備コストの低減を図る上で好都合であ
る。

【００７５】上記請求項４記載の発明によれば、気体噴
射ノズルが待機しているときの噴射圧を、気体噴射ノズ
ルが基板に気体を吹き付けているときの噴射圧よりも小
さくするように制御する制御手段を有しているため、気
体の噴射位置に基板が存在しないときには、制御手段の
制御によって気体噴射ノズルからは少なめの気体が噴射
され、これによって噴射のための気体量が節約されると
ともに、噴射用の動力コストも節約され、運転コストの
低減を図る上で有効である。

【００７６】また、液切り装置内には、上流側で基板に
供給された酸性の処理液が基板に伴って運び込まれ、装
置内が酸性雰囲気になっているが、気体噴射ノズルが待
機しているときにも気体が噴射されているため、酸性雰
囲気が気体噴射ノズル内に侵入することはなく、気体噴
射ノズルの内部の腐食を確実に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板の液切り装置の一実施形態を
示す一部切欠き斜視図である。

【図２】本発明に係る気体噴射ノズルの一実施形態を示
す分解斜視図である。

【図３】図２に示す各部品が組み付けられて形成された
気体噴射ノズルを示す斜視図である。

【図４】図３に示す気体噴射ノズルの断面図であり、
（イ）はＡ−Ａ線断面図、（ロ）はＢ−Ｂ線断面図であ
る。

【図５】図３に示す気体噴射ノズルのＣ−Ｃ線断面図で
あり、（イ）は開口部材の開口がスペーサーの厚み寸法
に設定された状態、（ロ）は開口部材の開口がスペーサ
ーの厚み寸法よりも大きめに設定された状態をそれぞれ
示している。

【図６】本発明に係る基板の液切り装置の制御系の一実
施形態を示すブロック図である。

【符号の説明】

Ｂ 基板 １ 液切り装置 ２ 液切り槽 ２１ 上流壁 ２２ 基板受入口 ２３ 下流壁 ２４ 基板排出口 ２５ ホッパー部 ２６ ドレン管 ３ 搬送手段 ３１ ローラ支持架台 ３２ 搬送ローラ ３２ａ 水平軸 ３２ｂ フランジ部 ３３ 駆動機構 ３３ａ 駆動モータ ３３ｂ 押えローラ ４ 気体噴射ノズル ４０ 開口 ４１ ノズル本体 ４２ 第１ノズル本体 ４２ａ 傾斜面 ４２ｂ 凹溝 ４２ｃ 貫通孔 ４２ｄ 肉厚部 ４２ｅ 締結孔 ４３ 第２ノズル本体 ４３ａ 傾斜面 ４３ｂ 凹溝 ４３ｄ 肉厚部 ４３ｅ ネジ孔 ４３ｄ 肉厚部 ４３ｅ ネジ孔 ４２３ｆ ジョイント部 ４４ 開口部材 ４５ 第１開口部材 ４５ａ 偏平面 ４５ｂ 傾斜面 ４５ｃ 凹溝 ４５ｄ ネジ孔 ４５ｅ 係止孔 ４６ 第２開口部材 ４６ａ 係止孔 ４７ スペーサー ４８ａ ジャッキボルト ４８ｂ 係止ボルト ４８ｃ 締結ボルト ５ 清浄エアー源 ５１ 制御弁 ５１ａ 第１制御弁 ５１ｂ 第２制御弁 ６ 制御装置６ ６１ 基板存否センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小笠原 光雄 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者 松下 佳彦 滋賀県彦根市高宮町480番地の１ 大日本 スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の主面に向けて気体を噴射する気体
   噴射ノズルであって、上記気体を通過させるスリット状
   の開口を備えた開口部材と、この開口部材を支持するノ
   ズル本体とからなり、上記開口部材は金属製とし、上記
   ノズル本体は合成樹脂製としたことを特徴とする気体噴
   射ノズル。
2. 【請求項２】 請求項１記載の気体噴射ノズルにおい
   て、上記ノズル本体は、上記開口部材の開口幅を長手方
   向の全長に亘って調整する開口幅調整手段を有している
   ことを特徴とする気体噴射ノズル。
3. 【請求項３】 処理液が付着した基板を相対搬送しつつ
   主面に気体を吹き付けて処理液を除去する基板の液切り
   装置において、上記基板を主面が覆われない状態で搬送
   する搬送手段と、請求項１または２記載の気体噴射ノズ
   ルとを有していることを特徴とする基板の液切り装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の基板の液切り装置におい
   て、気体噴射ノズルが待機しているときの噴射圧を、気
   体噴射ノズルが基板に気体を吹き付けているときの噴射
   圧よりも小さくするように制御する制御手段を有してい
   ることを特徴とする基板の液切り装置。