JPH0894446A

JPH0894446A - 波長測定方法及び装置

Info

Publication number: JPH0894446A
Application number: JP6225187A
Authority: JP
Inventors: Akira Kurosaki; 亮黒崎; Jun Kikuchi; 純菊地
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1994-09-20
Filing date: 1994-09-20
Publication date: 1996-04-12

Abstract

(57)【要約】【目的】短時間内に発生する光の波長の変化を測定す
る波長測定方法及び装置に関し、分光のための掃引時間
を必要とせず、高速で変化する波長測定を行うことがで
きる波長測定方法及び装置を提供することを目的とす
る。【構成】予め屈折率が知れている基準物質６に、照射
手段１、２、３からその基準物質を透過し、干渉性のあ
る被測定光を平行光として照射し、測定手段７、８、
９、１０は、被測定光の透過光又は反射光の強度変化に
基づいて被測定光の波長変化を測定する。分光のための
掃引時間を必要とせず、高速で変化する波長測定を行う
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光の波長を測定する波
長測定方法及び装置、特に、短時間内に発生する光の波
長の変化を測定する波長測定方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年の光学測定の分野において、短時間
内で発生する光の波長の変化を正確に測定することが求
められている。特に、レーザ光の発振波長の安定性や波
長シフト量を正確に測定したり、レーザ光の立ち上がり
時又は立ち下がり時の波長変化を正確に測定したりする
ために必要である。

【０００３】従来の波長測定方法としては、分光器や光
スペクトルアナライザのように被測定光を分光すること
により波長の測定を行う方法が一般的であった。すなわ
ち、これら方法によれば、被測定光を分光し、スペクト
ル波長を測定することにより被測定光の波長を測定して
いた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
分光法による波長測定によれば、１回の波長測定の際に
所定の波長範囲にわたって掃引する必要があり、数ｍｓ
ｅｃの掃引時間内に生じる波長変化を測定することが困
難であった。また、分光法による波長測定によれば、波
長の測定精度を向上するためには、分光後の被測定光の
光路を長くする必要があるため、波長測定装置が大型化
するという問題があった。

【０００５】本発明の目的は、分光のための掃引時間を
必要とせず、高速で変化する波長測定を行うことができ
る波長測定方法及び装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的は、予め屈折率
が知れている基準物質に前記基準物質を透過し、干渉性
のある被測定光を平行光として照射し、前記被測定光の
透過光又は反射光の強度変化に基づいて前記被測定光の
波長変化を測定することを特徴とする波長測定方法によ
って達成される。

【０００７】上述した測定方法において、前記被測定光
がレーザ光であることが望ましい。上述した測定方法に
おいて、前記被測定光がパルス状のレーザ光であること
が望ましい。上述した測定方法において、波長測定前に
光の干渉条件を変化することにより、前記透過光又は反
射光の強度変化に応じた前記波長変化の方向を予め検査
しておくことが望ましい。

【０００８】上述した測定方法において、前記基準物質
の屈折率又は厚さを変化することにより光の干渉条件を
変化することが望ましい。上述した測定方法において、
前記基準物質の温度を変化することにより屈折率又は厚
さを変化することが望ましい。上述した測定方法におい
て、前記基準物質に対する前記被測定光の入射角を変化
することにより光の干渉条件を変化することが望まし
い。

【０００９】上述した測定方法において、波長測定開始
時の前記被測定光の透過光又は反射光の強度が、その強
度変化の極大値と極小値の間の所定値であることが望ま
しい。上述した測定方法において、前記被測定光は、光
学窓を介して前記基準物質に照射され、前記光学窓の少
なくとも一面は、その面における前記被測定光の反射光
による光の干渉が生じないように、前記被測定光の光軸
に対して傾いていることが望ましい。

【００１０】上記目的は、予め屈折率が知れている基準
物質と、前記基準物質に前記基準物質を透過し、干渉性
のある平行光な被測定光を照射する照射手段と、前記被
測定光の透過光又は反射光の強度変化に基づいて前記被
測定光の波長変化を測定する測定手段とを備えたことを
特徴とする波長測定装置測定装置によって達成される。

【００１１】上述した測定装置において、前記被測定光
がレーザ光であることが望ましい。上述した測定装置に
おいて、前記被測定光がパルス状のレーザ光であること
が望ましい。上述した測定装置において、波長測定前に
光の干渉条件を変化することにより、前記測定手段は、
前記透過光又は反射光の強度変化に応じた前記波長変化
の方向を予め検査しておくことが望ましい。

【００１２】上述した測定装置において、前記基準物質
の屈折率又は厚さを変化することにより光の干渉条件を
変化することが望ましい。上述した測定装置において、
前記基準物質の温度を変化することにより屈折率又は厚
さを変化することが望ましい。上述した測定装置におい
て、前記照射手段により前記基準物質に対する前記被測
定光の入射角を変化することにより光の干渉条件を変化
することが望ましい。

【００１３】上述した測定装置において、波長測定開始
時の前記被測定光の透過光又は反射光の強度が、その強
度変化の極大値と極小値の間の所定値であることが望ま
しい。上述した測定装置において、前記被測定光は、光
学窓を介して前記基準物質に照射され、前記光学窓の少
なくとも一面は、その面における前記被測定光の反射光
による光の干渉が生じないように、前記被測定光の光軸
に対して傾いていることが望ましい。

【００１４】

【作用】本発明によれば、予め屈折率が知れている基準
物質に干渉性のある被測定光を照射し、被測定光の透過
光又は反射光の強度変化に基づいて被測定光の波長変化
を測定するようにしたので、分光のための掃引時間を必
要とせず、高速で変化する波長測定を行うことができ
る。

【００１５】上述した測定方法において、被測定光がレ
ーザ光や、パルス状のレーザ光であってもよい。上述し
た測定方法において、波長測定前に光の干渉条件を変化
することにより、透過光又は反射光の強度変化に応じた
波長変化の方向を予め検査するようにすれば、波長の変
化方向を併せて測定することができる。

【００１６】上述した測定方法において、基準物質の屈
折率又は厚さを変化するようにすれば、簡単に光の干渉
条件を変化することができる。上述した測定方法におい
て、基準物質の温度を変化するようにすれば、屈折率又
は厚さを変化して、簡単に光の干渉条件を変化すること
ができる。上述した測定方法において、基準物質に対す
る被測定光の入射角を変化するようにすれば、簡単に光
の干渉条件を変化することができる。

【００１７】上述した測定方法において、波長測定開始
時の被測定光の透過光又は反射光の強度を、その強度変
化の極大値と極小値の間の所定値にすれば、波長変化を
精度よく測定することができる。上述した測定方法にお
いて、被測定光が光学窓を介して基準物質に照射される
場合、光学窓の少なくとも一面を被測定光の光軸に対し
て傾けるようにすれば、、その面における被測定光の反
射光による光の干渉を抑制することができる。

【００１８】本発明によれば、予め屈折率が知れている
基準物質と、基準物質に透過可能で干渉性のある平行光
な被測定光を照射する照射手段と、被測定光の透過光又
は反射光の強度変化に基づいて被測定光の波長変化を測
定する測定手段とを設けたので、分光のための掃引時間
を必要とせず、高速で変化する波長測定を行うことがで
きる、小型の波長測定装置を実現できる。

【００１９】上述した測定装置において、被測定光がレ
ーザ光や、パルス状のレーザ光であってもよい。上述し
た測定装置において、波長測定前に光の干渉条件を変化
することにより、透過光又は反射光の強度変化に応じた
波長変化の方向を予め検査するようにすれば、波長の変
化方向を併せて測定することができる。

【００２０】上述した測定装置において、基準物質の屈
折率又は厚さを変化するようにすれば、簡単に光の干渉
条件を変化することができる。上述した測定装置におい
て、基準物質の温度を変化するようにすれば、屈折率又
は厚さを変化して、簡単に光の干渉条件を変化すること
ができる。上述した測定装置において、基準物質に対す
る被測定光の入射角を変化するようにすれば、簡単に光
の干渉条件を変化することができる。

【００２１】上述した測定装置において、波長測定開始
時の被測定光の透過光又は反射光の強度を、その強度変
化の極大値と極小値の間の所定値にすれば、波長変化を
精度よく測定することができる。上述した測定装置にお
いて、被測定光が光学窓を介して基準物質に照射される
場合、光学窓の少なくとも一面を被測定光の光軸に対し
て傾けるようにすれば、、その面における被測定光の反
射光による光の干渉を抑制することができる。

【００２２】

【実施例】本発明の第１実施例による波長測定装置を図
１乃至図４を用いて説明する。図１に本実施例による波
長測定装置の構成を示す。本実施例の波長測定装置で
は、半導体レーザから出射されるレーザ光の波長変化を
測定する。測定される半導体レーザ１として、例えば、
ＮＥＣ製ＮＤＬ５６００（１３１０ｎｍ光ファイバ通信
用のＩｎＧａＡｓＰ位相シフト型ＤＦＢ−ＤＣ−ＰＢＨ
レーザダイオード；出力約０．５ｍＷ）を用いた。な
お、半導体レーザ１として、１０Ｈｚ以上のパルス発振
が可能なＡＰＣ付の半導体レーザを用いた。

【００２３】半導体レーザ１から出射されたレーザ光
は、光ファイバ２を介してコリメート光学部３に導かれ
る。レーザ光は、コリメート光学部３により平行光線束
とされ、基準物質６に照射される。レーザ光の波長は、
前もって或いは測定時に分光計によって測定する。ま
た、レーザ光の光量変化は測定時にフォトダイオードな
どによって測定する。

【００２４】基準物質６は波長測定の基準となるもので
あって、その屈折率ｎと厚さＬは前もって別の方法によ
り精密に測定しておく。基準物質６としては、正確な屈
折率ｎと厚さＬがわかっている物質であって十分な強度
の透過光が得られるものであれば、いかなる物質でもよ
いが、上面及び下面が鏡面仕上げされていることが望ま
しい。例えば、シリコン基板や、ＧａＡｓ基板、ＩｎＰ
基板等の半導体基板を用いてもよい。

【００２５】また、基準物質６としては単体の物質であ
る必要はなく、図２（ａ）に示すように、所定距離Ｌを
隔てて２枚の平板６ａ、６ｂを設け、これら平板６ａ、
６ｂ間に既知の屈折率ｎの物質６ｃを充填するようにし
てもよい。物質６ｃは固体でも液体でも気体でもよく、
気体として大気を用いてもよい。更に、基準物質６とし
て、図２（ｂ）に示すように、平板の代わりに薄い膜６
ｄを用い、その薄い膜６ｄ内に物質６ｃを充填するよう
にしてもよい。

【００２６】基準物質６を透過した透過光は、光受光器
７により受光される。光受光器７として、浜松ホトニク
ス社製Ｂ４２４６（Ｇｅ光起電力型素子）を使用した。
なお、光受光器７としては、立ち上がり時間が５０μｓ
以下であることが望ましい。光受光器７により受光され
た受光信号は、データ通信部８を介してＡ／Ｄ変換ユニ
ット９に伝送される。Ａ／Ｄ変換ユニットはアナログ信
号である受光信号をデジタル信号に変換し、コンピュー
タ１０に出力する。

【００２７】コンピュータ１０は入力されたデジタル受
光信号から、透過光による干渉光の強度変化を計算し、
その計算結果に基づいて波長変化を決定する。次に、本
実施例の波長測定装置の測定原理について図３を用いて
説明する。図３はレーザ光の波長と干渉光強度の関係を
示すグラフである。レーザ光による干渉は、レーザ光の
波長λと、基準物質６の屈折率ｎと厚さＬとに依存し、
その干渉光の強度Ｉは、基準物質６の屈折率ｎと厚さＬ
が変化しないとすると、図３に示すように、波長λの変
化に応じて極大値Ｉmax と極小値Ｉmin の間で増減を繰
り返す。

【００２８】１周期分干渉状態が変化したときの波長変
化量をｄλ、基準物質の屈折率をλ、厚さをＬ、波長変
化する前のレーザ光の波長をλとすると、次式が成立す
る。ｄλ＝λ²／（２ｎＬ＋λ）したがって、干渉光の強度Ｉの変化ΔＩを検出すること
により、図３から、レーザ光の波長変化Δλを測定する
ことができる。例えば、波長変化する前にはＩｏであっ
た干渉光の強度ＩがΔＩだけ増加したとすると、図３に
示すように、Δλだけ波長が減少したことが測定され
る。

【００２９】なお、図３から明らかなように、波長λが
増加した場合に、干渉光強度Ｉが増加する干渉状態と、
干渉光強度Ｉが減少する干渉状態が存在し、干渉光強度
Ｉの増減に応じて波長変化の増減を一意的に定めること
はできない。また、干渉光強度Ｉの極大値Ｉmax 又は極
小値Ｉmin 近傍では、波長変化があっても干渉光強度Ｉ
はほとんど変化しない。

【００３０】したがって、波長変化する前の干渉光強度
Ｉｏを極大値Ｉmax と極小値Ｉminのほぼ真ん中の値と
し、波長λが増加した場合に、干渉光強度Ｉが増加する
干渉状態なのか、干渉光強度Ｉが減少する干渉状態なの
かを予め検査しておくことが望ましい。このため、波長
変化の測定前に、干渉条件を決定する他の要因を変化さ
せて、望ましくは、１周期分の干渉状態を変化させてお
き、干渉光強度Ｉｏの極大値Ｉmax と極小値Ｉmin と共
に、現在の干渉状態を把握しておく。

【００３１】干渉状態を変化させるためには、例えば、
基準物質６の屈折率ｎ又は厚さＬを変化させること、レ
ーザ光の入射角度を変えて実質的な光路長を変化させる
こと等が考えられる。基準物質６の屈折率ｎ又は厚さＬ
を変化させる具体的な方法としては、例えば、シリコン
基板の場合、基準物質６の温度を変化させる方法が有効
である。

【００３２】また、基準物質６の断面形状をくさび形と
して、基準物質６を平行移動して厚さＬを変化させるよ
うにしてもよい。基準物質６の屈折率ｎ又は厚さＬを増
加させることによる光強度の変化は、レーザ光の波長が
短波長側に変化したことと実質的に同じであり、逆に、
基準物質６の屈折率ｎ又は厚さＬを減少させることによ
る光強度の変化は、レーザ光の波長が長波長側に変化し
たことと実質的に同じである。

【００３３】また、レーザ光の入射角度を変えて実質的
な光路長を増加させることによる光強度の変化は、レー
ザ光の波長が短波長側に変化したことと実質的に同じで
あり、逆に、レーザ光の入射角度を変えて実質的な光路
長を減少させることによる光強度の変化は、レーザ光の
波長が長波長側に変化したことと実質的に同じである。

【００３４】このように、波長変化の測定前には、干渉
条件を種々変化させて最適な干渉条件にすることが望ま
しいが、波長変化の測定時には、干渉条件を変化させる
ことなく一定に維持するようにする。図４は、基準物質
６に厚さ０．５ｍｍのシリコン基板を用い、波長１．３
μｍの半導体レーザ１からパルス幅が５０ｍｓｅｃのパ
ルス状のレーザ光を出射した場合における、干渉光強度
の時間変化を記録したグラフである。縦軸は電圧で１目
盛当り２Ｖ、横軸は時間で１目盛当り１ｍｓである。

【００３５】図４に示すように、パルス状のレーザ光の
立上がり直後は、干渉光強度が最も高く、その後、徐々
に減少し、約１０ｍｓｅｃ以降は安定している。したが
って、半導体レーザ１からパルス状のレーザ光を出射し
た場合、レーザ光の波長がパルスの立上がり時には約１
オングストロームだけ短くなり、その後は長くなること
がわかる。このように、本実施例により、約１０ｍｓｅ
ｃもの短時間におけるレーザ光の波長変化を正確に測定
することができた。

【００３６】以上の通り、本実施例によれば、分光のた
めの掃引時間を必要とせず、高速で変化する波長測定を
行うことができる。次に、本発明の第２実施例による波
長測定装置を図５を用いて説明する。図５に本実施例に
よる波長測定装置の構成を示す。図１に示す第１実施例
の波長測定装置と同一の構成要素には同一の符号を付し
て説明を省略又は簡略にする。

【００３７】第１実施例では基準物質６の透過光を用い
て波長測定したが、本実施例の波長測定装置では、基準
物質６の一面にレーザ光を照射し、その反射光による干
渉光の強度変化を観察することにより基準物質６の波長
変化を測定するものである。本実施例では、レーザ光を
照射するための半導体レーザ１、光ファイバ２、コリメ
ート光学部３からなる照射系と、光受光器７、データ通
信部８、コンピュータ１０からなる受光系とを、基準物
質６を挟んで左右に配置している。

【００３８】コリメート光学部３から出射されたレーザ
光が基準物質６に入射され、基準物質６での反射光によ
る干渉光が光受光器７により受光され、受光信号はデー
タ通信部８を介してコンピュータ１０に入力される。光
受光器７における干渉光の強度変化を測定することによ
りレーザ光の波長変化を測定する。本実施例の原理及び
動作については第１実施例と同様であるので説明を省略
する。

【００３９】このように本実施例によれば、第１実施例
と同様にし、分光のための掃引時間を必要とせず、高速
で変化する波長測定を行うことができる。次に、本発明
の第３実施例による波長測定装置を図６を用いて説明す
る。図１に示す第１実施例の波長測定装置と同一の構成
要素には同一の符号を付して説明を省略又は簡略にす
る。

【００４０】本実施例では、基準物質６がチャンバ４内
に収納されており、チャンバ４の光学窓１１ａ、１１ｂ
を介してレーザ光を入射又は出射している。一方の面が
傾いた形状の光学窓１１ａ、１１ｂを用い、内側の面が
レーザ光の光軸に対して傾き、外側の面がチャンバ４の
外周面と一致するようにチャンバ４の開口に対して取り
付けている。

【００４１】このため、光学窓１１ｂの内側の面で反射
したレーザ光は逸れてしまい、光学窓１１ａ、１１ｂ間
を反射しても光路ｈ２を通り、反射光により光干渉を生
ずることはない。しかも、光学窓１１ａ、１１ｂの外側
の面はチャンバ４の外周面と一致しているので、精度よ
く取り付けることができる。このように本実施例によれ
ば、光学窓間の反射光による光干渉が生じないので、干
渉光の強度のレベルが変化することなく、厳密に波長測
定することができ、より高精度な波長測定装置を実現で
きる。

【００４２】次に、本発明の第４実施例による波長測定
装置を図７を用いて説明する。図５に示す第２実施例の
波長測定装置と同一の構成要素には同一の符号を付して
説明を省略又は簡略にする。本実施例では、基準物質６
がチャンバ４内に収納されており、チャンバ４の上面の
開口に取り付けられた光学窓１２ａ、１２ｂを介してレ
ーザ光を入射又は出射している。光学窓１２ａ、１２ｂ
の各面をチャンバ４の外周面に一致するように取り付け
ることにより、光学窓１２ａ、１２ｂの各面をレーザ光
の光軸に対して傾くようにしている。

【００４３】このため、光学窓１２ｂの内側の面で反射
したレーザ光は逸れてしまい、光学窓１２ａ、１２ｂ間
を基準物質６を介して反射する反射光により光干渉を生
ずることはない。このように本実施例によれば、光学窓
間の反射光による光干渉が生じないので、干渉光の強度
のレベルが変化することなく、厳密に波長測定すること
ができ、より高精度な波長測定装置を実現できる。

【００４４】本発明は上記実施例に限らず種々の変形が
可能である。例えば、上記実施例ではレーザ光の波長変
化を測定したが、レーザ光に限らず干渉性のある光であ
れば波長変化を測定することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、予め屈折
率が知れている基準物質に干渉性のある被測定光を照射
し、被測定光の透過光又は反射光の強度変化に基づいて
被測定光の波長変化を測定するようにしたので、分光の
ための掃引時間を必要とせず、高速で変化する波長測定
を行うことができる。

【００４６】また、本発明によれば、予め屈折率が知れ
ている基準物質と、基準物質に干渉性のある被測定光を
照射する照射手段と、被測定光の透過光又は反射光の強
度変化に基づいて被測定光の波長変化を測定する測定手
段とを設けたので、分光のための掃引時間を必要とせ
ず、高速で変化する波長測定を行うことができる、小型
の波長測定装置を実現できる。

【００４７】上述した測定方法において、被測定光がレ
ーザ光や、パルス状のレーザ光であってもよい。上述し
た測定方法及び装置において、波長測定前に光の干渉条
件を変化することにより、透過光又は反射光の強度変化
に応じた波長変化の方向を予め検査するようにすれば、
波長の変化方向を併せて測定することができる。

【００４８】上述した測定方法及び装置において、基準
物質の屈折率又は厚さを変化するようにすれば、簡単に
光の干渉条件を変化することができる。上述した測定方
法及び装置において、基準物質の温度を変化するように
すれば、屈折率又は厚さを変化して、簡単に光の干渉条
件を変化することができる。上述した測定方法及び装置
において、基準物質に対する被測定光の入射角を変化す
るようにすれば、簡単に光の干渉条件を変化することが
できる。

【００４９】上述した測定方法及び装置において、波長
測定開始時の被測定光の透過光又は反射光の強度を、そ
の強度変化の極大値と極小値の間の所定値にすれば、波
長変化を精度よく測定することができる。上述した測定
方法及び装置において、被測定光が光学窓を介して基準
物質に照射される場合、光学窓の少なくとも一面を被測
定光の光軸に対して傾けるようにすれば、、その面にお
ける被測定光の反射光による光の干渉を抑制することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による波長測定装置の構成
図である。

【図２】本発明の第１実施例による波長測定装置におい
て用いられる基準物質の具体例を示す図である。

【図３】本発明の第１実施例による波長測定装置の測定
原理の説明図である。

【図４】本発明の第１実施例による波長測定装置の測定
結果を示すグラフである。

【図５】本発明の第２実施例による波長測定装置の構成
図である。

【図６】本発明の第３実施例による波長測定装置の構成
図である。

【図７】本発明の第４実施例による波長測定装置の構成
図である。

【符号の説明】

１…半導体レーザ２…光ファイバ３…コリメート光学部４…チャンバ５…ヒータ６…基準物質７…光受光器８…データ通信部９…Ａ／Ｄ変換ユニット１０…コンピュータ１１ａ，１１ｂ…光学窓１２ａ，１２ｂ…光学窓ｈ１…基準物質により生じた光干渉の光路ｈ２…光学窓間により生じた光干渉の光路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】予め屈折率が知れている基準物質にその
基準物質を透過し、干渉性のある被測定光を平行光とし
て照射し、前記被測定光の透過光又は反射光の強度変化
に基づいて前記被測定光の波長変化を測定することを特
徴とする波長測定方法。
【請求項２】請求項１記載の波長測定方法において、前記被測定光がレーザ光であることを特徴とする波長測
定方法。
【請求項３】請求項２記載の波長測定方法において、前記被測定光がパルス状のレーザ光であることを特徴と
する波長測定方法。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の波長
測定方法において、波長測定前に光の干渉条件を変化することにより、前記
透過光又は反射光の強度変化に応じた前記波長変化の方
向を予め検査しておくことを特徴とする波長測定方法。
【請求項５】請求項４記載の波長測定方法において、前記基準物質の屈折率又は厚さを変化することにより光
の干渉条件を変化することを特徴とする波長測定方法。
【請求項６】請求項５記載の波長測定方法において、前記基準物質の温度を変化することにより屈折率又は厚
さを変化することを特徴とする波長測定方法。
【請求項７】請求項４記載の波長測定方法において、前記基準物質に対する前記被測定光の入射角を変化する
ことにより光の干渉条件を変化することを特徴とする波
長測定方法。
【請求項８】請求項１乃至７のいずれかに記載の波長
測定方法において、波長測定開始時の前記被測定光の透過光又は反射光の強
度が、その強度変化の極大値と極小値の間の所定値であ
ることを特徴とする波長測定方法。
【請求項９】請求項１乃至８のいずれかに記載の波長
測定方法において、前記被測定光は、光学窓を介して前記基準物質に照射さ
れ、前記光学窓の少なくとも一面は、その面における前記被
測定光の反射光による光の干渉が生じないように、前記
被測定光の光軸に対して傾いていることを特徴とする波
長測定方法。
【請求項１０】予め屈折率が知れている基準物質と、前記基準物質に前記基準物質を透過し、干渉性のある平
行光な被測定光を照射する照射手段と、前記被測定光の透過光又は反射光の強度変化に基づいて
前記被測定光の波長変化を測定する測定手段とを備えた
ことを特徴とする波長測定装置。
【請求項１１】請求項１０記載の波長測定装置におい
て、前記被測定光がレーザ光であることを特徴とする波長測
定装置。
【請求項１２】請求項１１記載の波長測定装置におい
て、前記被測定光がパルス状のレーザ光であることを特徴と
する波長測定装置。
【請求項１３】請求項１０乃至１２のいずれかに記載
の波長測定装置において、波長測定前に光の干渉条件を変化することにより、前記
測定手段は、前記透過光又は反射光の強度変化に応じた
前記波長変化の方向を予め検査しておくことを特徴とす
る波長測定方法。
【請求項１４】請求項１３記載の波長測定装置におい
て、前記基準物質の屈折率又は厚さを変化することにより光
の干渉条件を変化することを特徴とする波長測定装置。
【請求項１５】請求項１４記載の波長測定装置におい
て、前記基準物質の温度を変化することにより屈折率又は厚
さを変化することを特徴とする波長測定装置。
【請求項１６】請求項１３記載の波長測定装置におい
て、前記照射手段により前記基準物質に対する前記被測定光
の入射角を変化することにより光の干渉条件を変化する
ことを特徴とする波長測定装置。
【請求項１７】請求項１０乃至１６のいずれかに記載
の波長測定装置において、波長測定開始時の前記被測定光の透過光又は反射光の強
度が、その強度変化の極大値と極小値の間の所定値であ
ることを特徴とする波長測定装置。
【請求項１８】請求項１０乃至１７のいずれかに記載
の波長測定装置において、前記被測定光は、光学窓を介して前記基準物質に照射さ
れ、前記光学窓の少なくとも一面は、その面における前記被
測定光の反射光による光の干渉が生じないように、前記
被測定光の光軸に対して傾いていることを特徴とする波
長測定装置。