JPH087859B2 - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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Description
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記憶装置などに用
いる磁気記録媒体及びその製造方法に関するものであ
る。
いる磁気記録媒体及びその製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録用の記録媒体としては、近年、
Ｃｏ系磁性合金等の強磁性材料を用いた連続媒体と呼ば
れる金属薄膜媒体が使われるようになってきた。しか
し、そこで使われている磁性材料は、薄膜化した時に、
それ自身では長手方向記録に適した膜面内の磁気異方性
が強くない。そこで、非磁性基板の上に非磁性下地層を
設け、その上に磁性層を形成して、面内磁気異方性を得
ている。しかしながら、そのような磁性媒体において
は、磁性層の特性が非磁性下地層の膜形状・状態によっ
て左右されるため、下地層の成膜に磁性層の成膜と同様
の注意を払わなければならず、下地層の成膜状態をコン
トロールするための工程管理が複雑になるという問題点
があった。
Ｃｏ系磁性合金等の強磁性材料を用いた連続媒体と呼ば
れる金属薄膜媒体が使われるようになってきた。しか
し、そこで使われている磁性材料は、薄膜化した時に、
それ自身では長手方向記録に適した膜面内の磁気異方性
が強くない。そこで、非磁性基板の上に非磁性下地層を
設け、その上に磁性層を形成して、面内磁気異方性を得
ている。しかしながら、そのような磁性媒体において
は、磁性層の特性が非磁性下地層の膜形状・状態によっ
て左右されるため、下地層の成膜に磁性層の成膜と同様
の注意を払わなければならず、下地層の成膜状態をコン
トロールするための工程管理が複雑になるという問題点
があった。
【０００３】一方、磁性を帯びた微細な結晶粒同士の間
で作用する交換結合に起因して、磁化遷移幅が増大し、
媒体ノイズが生じることが知られている。記録密度を上
げるためには、この媒体ノイズを抑えることが大切であ
る。そこで、特開平１−２３２５１６号及び特開平１ー
２３５１７号公報では、Ｃｏ系三元磁性合金に元素
(Ｃ，Ｐ，Ｂｉ等)を添加して新たな四元以上の合金を作
り、得られた合金を基板上で成膜することによって媒体
ノイズを低減する技術が開示されている。しかしなが
ら、磁性層内で磁性合金の結晶粒同士の結合が残ってお
り、媒体ノイズは十分に抑制されていない。また、得ら
れる保磁力は小さく、１０００(Ｏｅ)に満たない。しか
も、Ｃｒからなる下地層が必要であるという問題点は解
決されていない。
で作用する交換結合に起因して、磁化遷移幅が増大し、
媒体ノイズが生じることが知られている。記録密度を上
げるためには、この媒体ノイズを抑えることが大切であ
る。そこで、特開平１−２３２５１６号及び特開平１ー
２３５１７号公報では、Ｃｏ系三元磁性合金に元素
(Ｃ，Ｐ，Ｂｉ等)を添加して新たな四元以上の合金を作
り、得られた合金を基板上で成膜することによって媒体
ノイズを低減する技術が開示されている。しかしなが
ら、磁性層内で磁性合金の結晶粒同士の結合が残ってお
り、媒体ノイズは十分に抑制されていない。また、得ら
れる保磁力は小さく、１０００(Ｏｅ)に満たない。しか
も、Ｃｒからなる下地層が必要であるという問題点は解
決されていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、媒体ノイズが小さく、かつ高い保磁力を有す
る、長手方向記録に適した磁気記録媒体を提供すること
である。本発明の他の目的は、Ｃｏ系、Ｆｅ系またはＦ
ｅＣｏ系磁性材料を磁性層に用いる磁気記録媒体におい
て、磁性層が下地層なしで長手磁気記録に適した磁気特
性を示すようにすることである。
目的は、媒体ノイズが小さく、かつ高い保磁力を有す
る、長手方向記録に適した磁気記録媒体を提供すること
である。本発明の他の目的は、Ｃｏ系、Ｆｅ系またはＦ
ｅＣｏ系磁性材料を磁性層に用いる磁気記録媒体におい
て、磁性層が下地層なしで長手磁気記録に適した磁気特
性を示すようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、基板と、上記基板上に形成された磁性層とを具備す
る磁気記録媒体であって、上記磁性層は、Ｃｏ系、Ｆｅ
系、ＦｅＣｏ系の何れかである磁性材料と、酸化物及び
窒化物からなる群から選ばれた少なくとも１種の非磁性
化合物とが混合して成ることを特徴とする。
は、基板と、上記基板上に形成された磁性層とを具備す
る磁気記録媒体であって、上記磁性層は、Ｃｏ系、Ｆｅ
系、ＦｅＣｏ系の何れかである磁性材料と、酸化物及び
窒化物からなる群から選ばれた少なくとも１種の非磁性
化合物とが混合して成ることを特徴とする。
【０００６】Ｃｏ系磁性材料の例としては、ＣｏＮｉＣ
ｒ、ＣｏＮｉＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａが挙げ
られる。また、非磁性化合物の例としては、酸化珪素、
酸化ジルコニウム、酸化タンタル、窒化珪素、窒化硼
素、窒化チタン、窒化アルミニウムが挙げられる。
ｒ、ＣｏＮｉＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａが挙げ
られる。また、非磁性化合物の例としては、酸化珪素、
酸化ジルコニウム、酸化タンタル、窒化珪素、窒化硼
素、窒化チタン、窒化アルミニウムが挙げられる。
【０００７】上に示したような磁性材料は、単独膜では
磁気異方性が優先的に面内方向に成長しない。そのた
め、これまでは非磁性の下地層を設けることにより、磁
性層の面内異方性を得ていた。本発明では、非磁性化合
物を磁性材料と同時に成膜し、磁性層内に磁性材料と融
合していない非磁性化合物を存在させることにより、下
地層を設けずに磁性層の磁気異方性を面内に傾ける。こ
れは、非磁性化合物が、磁性材料の結晶成長の配向性を
変化させ、面内磁気記録に適した異方性を誘起するから
であると考えられる。さらに、この非磁性化合物が磁性
材料の結晶粒を孤立化・微細化させるので、高保磁力を
も実現し、媒体ノイズを低減させる。
磁気異方性が優先的に面内方向に成長しない。そのた
め、これまでは非磁性の下地層を設けることにより、磁
性層の面内異方性を得ていた。本発明では、非磁性化合
物を磁性材料と同時に成膜し、磁性層内に磁性材料と融
合していない非磁性化合物を存在させることにより、下
地層を設けずに磁性層の磁気異方性を面内に傾ける。こ
れは、非磁性化合物が、磁性材料の結晶成長の配向性を
変化させ、面内磁気記録に適した異方性を誘起するから
であると考えられる。さらに、この非磁性化合物が磁性
材料の結晶粒を孤立化・微細化させるので、高保磁力を
も実現し、媒体ノイズを低減させる。
【０００８】上記Ｃｏ系磁性合金の好適な組成は、磁気
的性質、記録再生特性、耐候性を総合的に評価して、そ
れぞれ、一般式 Ｃｏ(1-x-y)Ｎｉ(x)Ｃｒ(y) （ただし、x=0.2〜0.
4、y=0.05〜0.1) Ｃｏ(1-x-y)Ｎｉ(x)Ｐｔ(y) （ただし、x=0.2〜0.
4、y=0.01〜0.2) Ｃｏ(1-x-y)Ｃｒ(x)Ｐｔ(y) （ただし、x=0.1〜0.
3、y=0.01〜0.2) Ｃｏ(1-x-y)Ｃｒ(x)Ｔａ(y) （ただし、x=0.1〜0.
3、y=0.01〜0.05) で示される。（A.Terada: 日本応用磁気学会誌 Vol.13,
No.3, 493(1989)参照）
的性質、記録再生特性、耐候性を総合的に評価して、そ
れぞれ、一般式 Ｃｏ(1-x-y)Ｎｉ(x)Ｃｒ(y) （ただし、x=0.2〜0.
4、y=0.05〜0.1) Ｃｏ(1-x-y)Ｎｉ(x)Ｐｔ(y) （ただし、x=0.2〜0.
4、y=0.01〜0.2) Ｃｏ(1-x-y)Ｃｒ(x)Ｐｔ(y) （ただし、x=0.1〜0.
3、y=0.01〜0.2) Ｃｏ(1-x-y)Ｃｒ(x)Ｔａ(y) （ただし、x=0.1〜0.
3、y=0.01〜0.05) で示される。（A.Terada: 日本応用磁気学会誌 Vol.13,
No.3, 493(1989)参照）
【０００９】混合する磁性材料と非磁性化合物の全体積
に占める非磁性化合物の体積の割合（以下では、混合体
積率と呼ぶ）は、約２％以上かつ約３０％以下であるこ
とが望ましい。最大の効果は約５％で得られる。
に占める非磁性化合物の体積の割合（以下では、混合体
積率と呼ぶ）は、約２％以上かつ約３０％以下であるこ
とが望ましい。最大の効果は約５％で得られる。
【００１０】なお、Ｃｏ系合金を二元(例えばＣｏＮ
ｉ、ＣｏＰｄ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔ)または四元(例えば
ＣｏＮｉＣｒＶ、ＣｏＮｉＣｒＣｕ)以上に設定して
も、それらＣｏ系合金薄膜中の結晶粒の結合状態は三元
合金のそれと同様であるから、非磁性化合物を混合させ
ることによる効果はこれらの合金についても十分に期待
できる。同様の理由で、本発明の非磁性化合物の混合成
膜の相手となる磁性材料を、Ｆｅ系化合物(例えばγ-Ｆ
ｅ2Ｏ3)、Ｆｅ系合金(例えばＦｅＮｉ)、またはＦｅＣ
ｏ系合金(例えばＦｅＣｏＣｒ)に代えても、同様な効果
が期待できる。
ｉ、ＣｏＰｄ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔ)または四元(例えば
ＣｏＮｉＣｒＶ、ＣｏＮｉＣｒＣｕ)以上に設定して
も、それらＣｏ系合金薄膜中の結晶粒の結合状態は三元
合金のそれと同様であるから、非磁性化合物を混合させ
ることによる効果はこれらの合金についても十分に期待
できる。同様の理由で、本発明の非磁性化合物の混合成
膜の相手となる磁性材料を、Ｆｅ系化合物(例えばγ-Ｆ
ｅ2Ｏ3)、Ｆｅ系合金(例えばＦｅＮｉ)、またはＦｅＣ
ｏ系合金(例えばＦｅＣｏＣｒ)に代えても、同様な効果
が期待できる。
【００１１】同時成膜法には、蒸着法とスパッタリング
法がある。本発明では、磁性層内で磁性材料と非磁性化
合物が混合している状態を実現できればよいので、磁性
材料と非磁性化合物のそれぞれに対して、スパッタリン
グ法と蒸着法のどちらを用いてもよい。
法がある。本発明では、磁性層内で磁性材料と非磁性化
合物が混合している状態を実現できればよいので、磁性
材料と非磁性化合物のそれぞれに対して、スパッタリン
グ法と蒸着法のどちらを用いてもよい。
【００１２】
【実施例】以下、図面に基づいて実施例を説明する。図
１は、本発明の磁気記録媒体の構造を示す。非磁性ガラ
ス基板１の上に、磁性合金Ｃｏ75.5Ｃｒ12.9Ｐｔ11.6に
対してＤＣマグネトロンスパッタリング法（ただし、ア
ルゴン背圧：５mTorr）を用い、また非磁性化合物Ｓｉ
Ｏ2に対してＲＦマグネトロンスパッタリング法を用い
る同時成膜法により、磁性層２を形成した。ＳｉＯ2の
混合体積率は、５vol％に設定した。磁性層２の上に
は、非磁性保護層３としてＺｒＯ2膜（厚さ３０ｎｍ）
をＲＦスパッタリング法で成膜した。さらに、ＳｉＯ2
の代りにＳｉＮを用いた媒体とＺｒＯ2を用いた媒体
を、ＳｉＯ 2の場合と条件（磁性合金の組成、混合体積
率等）を同じにして作製した。また、比較のために、非
磁性ガラス基板１の上にＣｏ70Ｃｒ14Ｐｔ16だけからな
る膜を形成し、その他の条件は上記と同じにして、Ｃｏ
系磁性合金層４を有する媒体も作製した（図２）。
１は、本発明の磁気記録媒体の構造を示す。非磁性ガラ
ス基板１の上に、磁性合金Ｃｏ75.5Ｃｒ12.9Ｐｔ11.6に
対してＤＣマグネトロンスパッタリング法（ただし、ア
ルゴン背圧：５mTorr）を用い、また非磁性化合物Ｓｉ
Ｏ2に対してＲＦマグネトロンスパッタリング法を用い
る同時成膜法により、磁性層２を形成した。ＳｉＯ2の
混合体積率は、５vol％に設定した。磁性層２の上に
は、非磁性保護層３としてＺｒＯ2膜（厚さ３０ｎｍ）
をＲＦスパッタリング法で成膜した。さらに、ＳｉＯ2
の代りにＳｉＮを用いた媒体とＺｒＯ2を用いた媒体
を、ＳｉＯ 2の場合と条件（磁性合金の組成、混合体積
率等）を同じにして作製した。また、比較のために、非
磁性ガラス基板１の上にＣｏ70Ｃｒ14Ｐｔ16だけからな
る膜を形成し、その他の条件は上記と同じにして、Ｃｏ
系磁性合金層４を有する媒体も作製した（図２）。
【００１３】図３は、それぞれの媒体について、磁性層
２または４の膜厚を変化させて保磁力を測定した結果を
示す。図より、全膜厚領域において、非磁性化合物を混
合させることにより、磁気特性が大きく向上しているこ
とがわかる。特に、低膜厚での向上が著しい。なお、図
３の中には、それぞれ１点ずつではあるけれども、Ｓｉ
Ｏ2の代りにＢＮを用いた媒体、ＴａＯ2を用いた媒体、
ＴｉＮを用いた媒体、及びＡｌＮを用いた媒体について
測定された保磁力の値を示してある。これらの媒体の作
製条件（磁性合金の組成、混合体積率等）は、ＳｉＯ2
を用いた媒体と同じである。その他、磁性合金として二
元合金であるＣｏ80Ｎｉ20を用い、非磁性化合物として
ＳｉＯ2を用い、同時成膜にあたって前者にはＤＣマグ
ネトロンスパッタリング法を適用し、後者にはＲＦマグ
ネトロンスパッタリング法を適用し、その他の条件（混
合体積率等）はＳｉＯ2の場合と同じにして、媒体を作
成した。１点だけではあるけれども、その媒体について
得られた保磁力の測定値を図３に示す。
２または４の膜厚を変化させて保磁力を測定した結果を
示す。図より、全膜厚領域において、非磁性化合物を混
合させることにより、磁気特性が大きく向上しているこ
とがわかる。特に、低膜厚での向上が著しい。なお、図
３の中には、それぞれ１点ずつではあるけれども、Ｓｉ
Ｏ2の代りにＢＮを用いた媒体、ＴａＯ2を用いた媒体、
ＴｉＮを用いた媒体、及びＡｌＮを用いた媒体について
測定された保磁力の値を示してある。これらの媒体の作
製条件（磁性合金の組成、混合体積率等）は、ＳｉＯ2
を用いた媒体と同じである。その他、磁性合金として二
元合金であるＣｏ80Ｎｉ20を用い、非磁性化合物として
ＳｉＯ2を用い、同時成膜にあたって前者にはＤＣマグ
ネトロンスパッタリング法を適用し、後者にはＲＦマグ
ネトロンスパッタリング法を適用し、その他の条件（混
合体積率等）はＳｉＯ2の場合と同じにして、媒体を作
成した。１点だけではあるけれども、その媒体について
得られた保磁力の測定値を図３に示す。
【００１４】次に、上述のようにして作製された試料の
うち、磁性層がＣｏ75.5Ｃｒ12.9Ｐｔ11.6とＳｉＯ2と
の混合膜である試料（混合体積率は５vol％）とＣｏ
75.5Ｃｒ12.9Ｐｔ11.6だけからなる膜である試料につい
て、トルク磁力計により面内方向のトルクの大きさをそ
れぞれ測定した。磁性層の膜厚はどちらも８５ｎｍであ
った。測定結果を表１に示す。これから、ＳｉＯ2と混
合した方がより大きな面内異方性を示すことがわかる。
うち、磁性層がＣｏ75.5Ｃｒ12.9Ｐｔ11.6とＳｉＯ2と
の混合膜である試料（混合体積率は５vol％）とＣｏ
75.5Ｃｒ12.9Ｐｔ11.6だけからなる膜である試料につい
て、トルク磁力計により面内方向のトルクの大きさをそ
れぞれ測定した。磁性層の膜厚はどちらも８５ｎｍであ
った。測定結果を表１に示す。これから、ＳｉＯ2と混
合した方がより大きな面内異方性を示すことがわかる。
【表１】
【００１５】次に、図１に示す構造を有する媒体におい
て、基板１をガラス基板とし、磁性層２の膜厚を４３ｎ
ｍに固定し、保護層３を厚さ３０ｎｍのＺｒＯ2膜とし
て、非磁性化合物の混合体積率と媒体の保磁力との関係
を調べる実験を行った。結果を図４に示す。図中、黒丸
は、磁性層２の非磁性化合物がＳｉＯ2である媒体につ
いて得られたデータであり、黒ダイヤモンド印は、非磁
性化合物がＳｉＮである媒体について得られたデータで
あることを示している。この図より、非磁性化合物の混
合体積率が約２vol％以上約３０vol％以下の範囲で優れ
た特性が得られることがわかる。特に、混合体積率が約
５vol％であるときには、約２０００(Ｏｅ)の高い保磁
力が得られている。
て、基板１をガラス基板とし、磁性層２の膜厚を４３ｎ
ｍに固定し、保護層３を厚さ３０ｎｍのＺｒＯ2膜とし
て、非磁性化合物の混合体積率と媒体の保磁力との関係
を調べる実験を行った。結果を図４に示す。図中、黒丸
は、磁性層２の非磁性化合物がＳｉＯ2である媒体につ
いて得られたデータであり、黒ダイヤモンド印は、非磁
性化合物がＳｉＮである媒体について得られたデータで
あることを示している。この図より、非磁性化合物の混
合体積率が約２vol％以上約３０vol％以下の範囲で優れ
た特性が得られることがわかる。特に、混合体積率が約
５vol％であるときには、約２０００(Ｏｅ)の高い保磁
力が得られている。
【００１６】最後に、表１に示した各試料（ディスク）
について、書込み密度と媒体ノイズの関係を調べる実験
を行った。ディスク回転数は３６００rpm、記録電流は
１００mAp-pとし、ヘッドには薄膜ヘッドを用いた。１
ｍｍ当たりのフラックス・チェンジ（磁化反転）の数を
変化させて、記録特性（信号ノイズ比）を測定した。図
から、本発明に係る試料が、良好なＳ／Ｎ特性を示して
いることがわかる。
について、書込み密度と媒体ノイズの関係を調べる実験
を行った。ディスク回転数は３６００rpm、記録電流は
１００mAp-pとし、ヘッドには薄膜ヘッドを用いた。１
ｍｍ当たりのフラックス・チェンジ（磁化反転）の数を
変化させて、記録特性（信号ノイズ比）を測定した。図
から、本発明に係る試料が、良好なＳ／Ｎ特性を示して
いることがわかる。
【００１７】以上説明したように、本発明によれば、下
地層がなくても長手方向記録に適した優れた磁気特性が
得られる。しかしながら、磁性層内に磁性材料と非磁性
化合物を混在させて得られた磁気特性を調整する目的
で、基板と磁性層の間に下地層を介在させてもよく、本
発明の範囲は、そのような媒体にも及ぶ。
地層がなくても長手方向記録に適した優れた磁気特性が
得られる。しかしながら、磁性層内に磁性材料と非磁性
化合物を混在させて得られた磁気特性を調整する目的
で、基板と磁性層の間に下地層を介在させてもよく、本
発明の範囲は、そのような媒体にも及ぶ。
【００１８】また、保護膜としては、上に示したＺｒＯ
2膜の他に、アモルファス・カーボン膜、ＳｉＯ2膜等、
磁性膜の保護に適することが知られているすべての膜を
用いることができることに注意されたい。
2膜の他に、アモルファス・カーボン膜、ＳｉＯ2膜等、
磁性膜の保護に適することが知られているすべての膜を
用いることができることに注意されたい。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、媒体ノイズが小さく、
かつ高い保磁力を有する、長手方向記録に適した磁気記
録媒体を提供することができる。また、本発明によれ
ば、下地層を廃し、構造が簡単で製造工程が簡略化され
た、長手方向記録に適した磁気記録媒体を提供すること
が可能となる。
かつ高い保磁力を有する、長手方向記録に適した磁気記
録媒体を提供することができる。また、本発明によれ
ば、下地層を廃し、構造が簡単で製造工程が簡略化され
た、長手方向記録に適した磁気記録媒体を提供すること
が可能となる。
【図１】本発明による磁気記録媒体の断面図である。
【図２】比較のために作製した非磁性下地層のない従来
の磁気記録媒体の断面図である。
の磁気記録媒体の断面図である。
【図３】本発明による磁気記録媒体及び従来の磁気記録
媒体の磁性層の膜厚と保磁力の関係を示すグラフであ
る。
媒体の磁性層の膜厚と保磁力の関係を示すグラフであ
る。
【図４】非磁性化合物の混合体積率と保磁力の関係を示
すグラフである。
すグラフである。
【図５】本発明による磁気記録媒体及び従来の磁気記録
媒体の記録特性（信号ノイズ比）を示すグラフである。
媒体の記録特性（信号ノイズ比）を示すグラフである。
１ 基板、 ２ 磁性層、 ３ 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−138058（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−113417（ＪＰ，Ａ)
Claims (11)
- 【請求項１】基板と、上記基板上に形成された磁性層と
を具備する磁気記録媒体であって、 上記磁性層は、Ｃｏ系、Ｆｅ系、ＦｅＣｏ系の何れかで
ある磁性材料と、酸化物及び窒化物からなる群から選ば
れた少なくとも１種の非磁性化合物とが混合して成り、
混合する上記磁性材料と上記非磁性化合物の全体積に占
める上記非磁性化合物の体積の割合が、約２％以上かつ
約３０％以下であることを特徴とする、磁気記録媒体。 - 【請求項２】上記磁性層は、磁性材料と非磁性化合物の
それぞれに対して蒸着法またはスパッタリング法の何れ
かを用いる同時成膜法により形成されたものである、請
求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】上記磁性層は、上記基板上に直接形成され
ていることを特徴とする、請求項１記載の磁気記録媒
体。 - 【請求項４】上記磁性層の上に形成された保護層をさら
に具備する請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項５】上記磁性材料は、ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＮｉ
Ｐｔ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒＴａからなる群から選ば
れた三元合金であることを特徴とする、請求項１記載の
磁気記録媒体。 - 【請求項６】上記非磁性化合物は、酸化珪素、酸化ジル
コニウム、酸化タンタル、窒化珪素、窒化硼素、窒化チ
タン、窒化アルミニウムからなる群から選ばれた少なく
とも１種の化合物であることを特徴とする、請求項１記
載の磁気記録媒体。 - 【請求項７】上記Ｃｏ系三元磁性合金の組成は、下記の
式で表わされる請求項５記載の磁気記録媒体。 Ｃｏ(1-x-y)Ｎｉ(x)Ｃｒ(y) （ただし、0.2≦x≦0.4, 0.05≦y≦0.1) - 【請求項８】上記Ｃｏ系三元磁性合金の組成は、下記の
式で表わされる請求項５記載の磁気記録媒体。 Ｃｏ(1-x-y)Ｎｉ(x)Ｐｔ(y) （ただし、0.2≦x≦0.4, 0.01≦y≦0.2) - 【請求項９】上記Ｃｏ系三元磁性合金の組成は、下記の
式で表わされる請求項５記載の磁気記録媒体。 Ｃｏ(1-x-y)Ｃｒ(x)Ｐｔ(y) (ただし、0.1≦x≦0.3, 0.01≦y≦0.2) - 【請求項１０】上記Ｃｏ系三元磁性合金の組成は、下記
の式で表わされる請求項５記載の磁気記録媒体。 Ｃｏ(1-x-y)Ｃｒ(x)Ｔａ(y) (ただし、0.1≦x≦0.3, 0.01≦y≦0.05) - 【請求項１１】基板を与える工程と、 磁性材料と非磁性化合物のそれぞれに対して蒸着法また
はスパッタリング法の何れかを用いる同時成膜法によ
り、上記磁性材料と上記非磁性化合物の全体積に占める
上記非磁性化合物の体積の割合が、約２％以上かつ約３
０％以下になるように両者を混合してなる磁性層を形成
する工程を含む、磁気記録媒体の製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3254179A JPH087859B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| TW080107220A TW209294B (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-12 | |
| CA002071348A CA2071348C (en) | 1991-09-06 | 1992-06-16 | Magnetic recording medium and its fabrication method |
| KR1019920014824A KR0147856B1 (ko) | 1991-09-06 | 1992-08-18 | 자기 기록 매체 및 그 제조방법 |
| CN92108729A CN1025522C (zh) | 1991-09-06 | 1992-08-18 | 磁性记录介质及其制造方法 |
| DE69222823T DE69222823D1 (de) | 1991-09-06 | 1992-08-25 | Magnetisches Aufzeichnungsmedium |
| SG1996000135A SG44396A1 (en) | 1991-09-06 | 1992-08-25 | Magnetic recording medium |
| EP92307745A EP0531035B1 (en) | 1991-09-06 | 1992-08-25 | Magnetic recording medium |
| US08/456,971 US5516547A (en) | 1991-09-06 | 1995-06-01 | Method for fabricating magnetic recording medium |
| US08/584,575 US5658680A (en) | 1991-09-06 | 1996-01-11 | Magnetic recording medium and its fabrication method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3254179A JPH087859B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0573880A JPH0573880A (ja) | 1993-03-26 |
| JPH087859B2 true JPH087859B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=17261332
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3254179A Expired - Fee Related JPH087859B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
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|---|---|
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| EP (1) | EP0531035B1 (ja) |
| JP (1) | JPH087859B2 (ja) |
| KR (1) | KR0147856B1 (ja) |
| CN (1) | CN1025522C (ja) |
| CA (1) | CA2071348C (ja) |
| DE (1) | DE69222823D1 (ja) |
| SG (1) | SG44396A1 (ja) |
| TW (1) | TW209294B (ja) |
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