JPH0877541A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 走行性、耐久性および保存性に優れた強磁性
金属薄膜型磁気記録媒体を得る。 【構成】 非磁性支持体の少なくとも一方の面に設けた
強磁性金属薄膜からなる磁性層上に直接あるいは磁性層
上に形成した無機保護層に下記一般式（１）もしくは
（２）で示されるリン酸アルキルエステル化合物とアル
キルアミン化合物の塩およびフッ素含有カルボン酸エス
テル化合物からなる表面層を設けた磁気記録媒体であ
る。 【化１】 ただし、Ｒ¹、Ｒ²は同じもしくは互いに相違する２〜２
６の炭化水素基、またはフッ素化炭化水素基、Ｒ^A、
Ｒ^B、Ｒ^C、Ｒ^Dは水素または炭素数２６以下の炭化水素
基またはフッ素化炭化水素基、ｍは１または２である。 【効果】 あらゆる使用条件下で強固な保護膜が得られ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は強磁性金属薄膜を磁性層
とする磁気記録媒体に関し、その保護膜上に存在させる
潤滑剤の構造、組成を特定することにより、特に、走行
性、耐久性および保存性に優れた強磁性金属薄膜型磁気
記録媒体を製造することに関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気テープ、フロッピーディスク等の磁
気記録媒体においては、潤滑剤を磁性層表面に塗布する
ことによって、磁気記録媒体とヘッドとの間の潤滑性お
よび走行耐久性を改善することが行われている。特に、
磁気記録媒体では記録の高密度化により磁性層表面はよ
り平滑になり、また磁気記録媒体は様々な環境で使用さ
れ、かつ記録された情報は数年から数十年にわたって保
存される。そのため多様な環境下での走行耐久性および
保存安定性が要求されており、従来の潤滑剤では十分な
効果を発揮し得なくなっている。更に、カムコーダすな
わちカメラ一体型ビデオテープレコーダや８ミリビデオ
のような小型のビデオテープレコーダは戸外で使用され
ることが多く、磁気記録媒体には幅広い環境条件での使
用に耐える性能が必要とされている。

【０００３】また、テレビジョンの今後の高品位化、デ
ィジタル化等に対応したビデオテープや磁気ディスクへ
の磁気記録密度向上のために、高密度記録に有利であり
強磁性金属薄膜を磁性層とする金属薄膜型磁気記録媒体
が期待されているが、磁性層が極く薄い金属の酸化層で
のみ保護されているのみであるので、強磁性金属薄膜型
磁気記録媒体にあっては、走行性や耐久性を保証するだ
けではなく、保存性をも大幅に向上できる潤滑層用素材
の提供が求められている。とくに、強磁性金属薄膜型磁
気記録媒体にあっては、より高密度記録化を可能にする
ために、表面を平滑化し、磁性層の組成をＣｏＮｉ−Ｏ
系からＣｏ−Ｏ系やＣｏ−Ｏを含むＣｏ−Ｆｅ等のＣｏ
を主体とした高Ｂ_m化 の方向に改良が行われているが、
これらのコバルトの含有割合の多いものでは安定な走行
性、耐久性、耐食性を得ることが困難であった。金属薄
膜型磁気記録媒体用の潤滑剤として、さまざまな構造の
潤滑性能に優れた炭化水素系、フッ素系の潤滑剤が検討
されており、とくに分子内に親水性官能基を有する有機
フッ素化合物は、走行耐久性を大幅に改善することがで
きることが知られている。ところが、特性の優れた潤滑
剤を使用しても電磁変換特性を改善した平滑な金属薄膜
型の磁気記録媒体においては、繰り返し摺動により磁性
層上に付着した潤滑剤が徐々に失われ、特性が劣化する
という問題があった。

【０００４】そこで、分子内に各種の極性基を有する潤
滑剤を使用することによって、特性を改善することが行
われている。例えば、カルボン酸、エステル、燐酸エス
テル等が特開昭５９−１１９５３７号公報や特公平４−
５０６４４号公報等に、カルボン酸のアルキルアミン塩
やホスホン酸のアルキルアミン塩が特開平４−２７４０
１７号公報や特開平４−３７２７１６号公報に記載され
ているが、低温での繰り返し走行耐久性に乏しいという
問題があった。そこで２種類以上の潤滑剤を併用して、
特性を向上させようとする検討も数多くなされてきた。
また、カルボン酸とフッ素含有エステルを併用すること
が特開昭６２−１４１６２５号公報に記載されており、
それぞれの潤滑剤を単独で使用した場合に比べ低温での
繰り返し走行耐久性を著しく向上させることができる
が、耐食性、特に高温高湿環境下での保存性が乏しいと
いう問題があった。さらに、特開平４−２０５７１２号
公報には２種類の潤滑剤からなる層を形成して、磁性層
側及びバックコート層側の潤滑剤の量を規定する方法が
提案されているがこの方法によっても充分な潤滑性は得
られていない。

【０００５】また、磁気記録媒体の磁性層を形成した面
とは逆の面に設けたバックコート層に潤滑剤を付与し、
摺動によって失われる磁性層面の潤滑剤を随時バックコ
ート層から供給する方法が、特開昭５７−２９７６７号
公報、特開昭５８−１８８３２６号公報、特開昭６０−
６３７１１号公報、特開昭６０−６３７１２号公報、特
開昭６２−２０９７１８号公報、特開平１−２１１２１
５号公報等に記載されている。このような塗布方法によ
って繰り返し走行耐久性が改善されるものの、バックコ
ート層側にのみ潤滑剤を塗布した場合には、耐久性の確
保が困難であり、バックコート層と磁性層の両者に塗布
した場合には、磁性層上に潤滑剤が過剰に存在してしま
い静止摩擦係数が上昇して貼り付きを生じる等の問題が
あった。

【０００６】強磁性金属薄膜を磁性層とする磁気記録媒
体の実用上の問題点である耐食性の面でも、分子内に極
性基を有するフッ素系潤滑剤のみでは不充分であり、防
錆剤の併用などが提案されているが、一般に知られてい
る潤滑剤と防錆剤の併用では耐食性の確保が困難であっ
た。

【０００７】そこで近年は磁気ディスクのみならず磁気
テープにおいても磁性層上に保護膜を設けて耐久性、耐
食性を改善する試みがなされている。なかでもダイヤモ
ンド状炭素膜に代表される炭素膜は高硬度であり、さら
にあらゆる環境において摺動部材に焼き付き難いため、
最も注目されている保護膜である。しかしこの様な炭素
保護膜においても、炭素保護膜のみでは繰り返し摺動に
よって摩擦係数が上昇し、膜破断を生じてしまう。そこ
で保護膜上に極性基を有する潤滑剤を塗布する方法が一
般的である。例えば特開平５−１５１５５９号公報では
炭素保護膜上に長鎖アルキルシラン化合物を付与した磁
気記録媒体が示されている。しかし、低温低湿環境では
長鎖アルキルシラン化合物だけでは潤滑性能が不足し、
摩擦係数の上昇による保護膜の膜破断を生じやすかっ
た。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、摩擦係数が
低く安定しており、スチル耐久性及び繰り返し走行耐久
性に優れるとともに、特に高密度の磁気記録が可能な耐
食性に優れた磁気記録媒体を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の本発明の課題は、
非磁性支持体の少なくとも一方の面上に強磁性金属薄膜
からなる磁性層と、あるいは更にその上に積層された無
機保護膜を有する磁気記録媒体において、リン酸アルキ
ルエステル化合物とアルキルアミン化合物の塩、および
フッ素含有カルボン酸エステル化合物が存在する表面層
を有する磁気記録媒体により達成される。本発明の磁気
記録媒体にあって、リン酸アルキルエステル化合物とア
ルキルアミン化合物の塩は炭素等の保護膜に吸着し易
く、分子内にリン酸基を有するので厳しい摺動条件では
極圧潤滑を行うものと考えられ、耐久性と耐食性を改善
することができる。さらにリン酸アルキルエステル化合
物を使用する場合に比べ、高温高湿環境に保存した後の
走行耐久性の劣化が少なく、高い信頼性を得ることがで
きる。これはリン酸アルキルエステル化合物が高温高湿
下で加水分解を受けたとしても、アルキルアミン化合物
が分解されずに、潤滑に寄与するためと考えられる。そ
して、前記フッ素含有カルボン酸エステルを併用するこ
とにより、リン酸アルキルエステル化合物とアルキルア
ミン化合物の塩の吸着膜上の非吸着分子の挙動による流
体潤滑性を得ることができる。この効果は低温、低湿環
境で特に顕著に現れる。

【００１０】以上のように、本発明の磁気記録媒体にお
いては、リン酸アルキルエステル化合物とアルキルアミ
ン化合物の塩およびフッ素含有カルボン酸エステル化合
物を共に使用することにより、各々を単独で使用するよ
りもその利点を充分に発揮できるのである。そして、両
者単独の特性からは予期できないほどスチル耐久性や繰
り返し走行耐久性などを大きく向上させることができる
点に本発明の大きな特徴がある。

【００１１】本発明の磁気記録媒体においては、さらに
磁性層が設けられた面とは反対側の面にバックコート層
を設けて、そのバックコート層中もしくはその表面上に
前記フッ素含有カルボン酸エステルを存在させることに
より、媒体表面と磁気ヘッドやガイドポールの摺動によ
り徐々に消失してゆく潤滑剤をテープ状媒体を巻き取っ
た際にバックコートから潤滑剤を転写することにより補
充することができるので、繰り返し走行耐久性を優れた
ものにすることができるのである。従って、本発明の磁
気記録媒体はテープ状の媒体であるとその特徴を効果的
に利用することができる。さらに本発明を構成するリン
酸アルキルエステル化合物とアルキルアミン化合物の塩
およびフッ素含有カルボン酸エステルが次の構造である
場合、特に優れた走行耐久性と耐食性を達成することが
できるのである。

【００１２】

【化２】

【００１３】ただし、Ｒ¹、Ｒ²は同じ、もしくは互いに
相違する２〜２６の炭化水素基、またはフッ素化炭化水
素基、Ｒ^A、Ｒ^B、Ｒ^C、Ｒ^Dは水素または炭素数２６以下
の炭化水素基またはフッ素化炭化水素基、ｍは１または
２である。一般式（１）または（２）の化合物におい
て、Ｒ¹、Ｒ²の炭素数が、２よりも少ないと充分な耐磨
耗性が得られず、また、揮発性が高くなるため充分な特
性を発揮できない。また、２６よりも大きいと溶剤に対
する溶解性が低下したり磁性層あるいは保護膜へ吸着特
性が低下するので好ましくなく、炭素数が６〜２０であ
ることがとくに好ましい。また、Ｒ^A、Ｒ^B、Ｒ^C、Ｒ^Dは
水素もしくは炭素数２６以下の炭化水素基、フッ素化炭
化水素基であるが、好ましくは２０以下である。またこ
れらの炭化水素基は直鎖飽和炭化水素基が望ましいが、
不飽和炭化水素基を含有するものや側鎖、連結基が導入
された枝分かれ構造の炭化水素基であっても良く、一部
または全部の水素原子をフッ素原子で置換したフッ素化
炭化水素基であっても良い。これらは同一である必要は
なく、好ましくはＲ^A、Ｒ^B、Ｒ^C、Ｒ^Dのいずれかは炭素
数８〜２６の炭化水素基であって、さらに好ましくはそ
の他の炭化水素基が３以下もしくは水素である。ｍは１
または２であり、好ましくはｍは１である。このリン酸
アルキルエステル化合物とアルキルアミン化合物の塩
は、原料となるリン酸アルキルエステル化合物とアルキ
ルアミン化合物を溶解できる溶剤に双方を溶解した後に
溶剤を揮発除去することにより得ることができる。ま
た、アルキルアミン化合物を先ず磁性層面に塗布した後
に、更にその上からリン酸エステル化合物を塗布するこ
とにより磁性層の表面に表面層として存在させることも
できる。炭素数がこれより少ないと、良好な保護効果が
得られず、逆に余り多くなると結晶性が高まり、塗布が
し難くなく潤滑効果が劣化するので好ましくない。

【００１４】本発明の磁気記録媒体で使用できるリン酸
アルキルエステル化合物とアルキルアミン化合物の塩と
しては、具体的には、 Ｃ₁₂Ｈ₂₅ＯＰＯ₃Ｈ・Ｈ₃ＮＣ₁₈Ｈ₃₇ Ｃ₁₆Ｈ₃₃ＯＰＯ₃Ｈ・Ｈ₃ＮＣ₁₈Ｈ₃₅ Ｃ₁₈Ｈ₃₇ＯＰＯ₃Ｈ・Ｈ₃ＮＣ₁₂Ｈ₂₅ C₈Ｈ₁₇ＯＰＯ₃Ｈ・Ｈ₃Ｎ₃Ｃ₁₈Ｈ₃₇ Ｃ₈Ｆ₁₇（ＣＨ₂）₂ＯＰＯ₃Ｈ・Ｈ₃ＮＣ₁₈Ｈ₃₇ Ｃ₁₆Ｈ₃₃ＯＰＯ₃Ｈ・Ｈ₃Ｎ（ＣＨ₂）₂Ｃ₈Ｆ₁₇ Ｃ₁₂Ｈ₂₅ＯＰＯ₃・（Ｈ₃ＮＣ₁₈Ｈ₃₇）₂ Ｃ₁₆Ｈ₃₃ＯＰＯ₃・（Ｈ₃Ｎ（ＣＨ₂）₂Ｃ₈Ｆ₁₇）₂ Ｃ₁₂Ｈ₂₅ＯＰＯ₃Ｈ・Ｈ₂Ｎ（Ｃ₁₈Ｈ₃₇）₂ Ｃ₁₂Ｈ₂₅ＯＰＯ₃Ｈ・ＨＮ（Ｃ₈Ｈ₁₇）₃ Ｃ₁₂Ｈ₂₅ＯＰＯ₃Ｈ・Ｎ（Ｃ₈Ｈ₁₇）₄ （Ｃ₁₂Ｈ₂₅Ｏ）₂ＰＯ₂・Ｈ₃ＮＣ₁₈Ｈ₃₇ 等をあげることができる。

【００１５】一方、リン酸アルキルエステル化合物とア
ルキルアミン化合物の塩と併用するフッ素含有カルボン
酸エステル化合物は、カルボン酸とアルコールのエステ
ルであり、分子内にフッ素原子を含有する化合物であ
る。特に、前記一般式（３）〜（６）で表される分子構
造のものである。ただしＲ³、Ｒ⁴は同一であっても異な
っていても良く、炭素数８〜２６の炭化水素基であっ
て、少なくとも一方はその一部もしくは全部の水素原子
をフッ素原子で置換したフッ素化炭化水素基である。Ｒ
⁵は炭素数８〜２６の炭化水素基、Ｒ⁶は炭素数２〜１８
の炭化水素基、またはその一部または全部の水素原子を
フッ素原子で置換したフッ素化炭化水素基である。ま
た、Ｒ⁷ は、炭素数１〜４の直鎖または分岐のアルキレ
ン基、ｎは１〜１８であり、Ｒｆは、分子量１０００〜
３０００のパーフルオロポリエーテル基、Ｒ⁸ は、炭素
数８〜２８の炭化水素基である。

【００１６】以下それぞれのフッ素含有カルボン酸エス
テルについて記述する。一般式（３）の化合物Ｒ³−Ｃ
ＯＯ−Ｒ⁴において、Ｒ³、Ｒ⁴は同一であっても異なっ
ていても良い。炭素数８〜２６の炭化水素基であって、
その少なくとも一方はその一部もしくは全部の水素原子
をフッ素原子で置換したフッ素化炭化水素基である。炭
素数は好ましくは８〜２０、更に好ましくは８〜１８で
ある。Ｒ^３およびＲ^４の炭素数が８よりも少ないと良好
な潤滑性が得られず、また炭素数が余り多くなると結晶
性が高まり均一な塗布ができなくなるので共に好ましく
ない。さらに潤滑剤の揮発性を抑え、良好な潤滑効果を
得るためには分子中の２つの炭素鎖のうち少なくとも一
方は炭素数が１０以上のものであることが好ましい、ま
た、Ｒ³、Ｒ⁴は飽和炭化水素もしくは飽和フッ素化炭化
水素基が好ましいが、この炭素鎖中に不飽和結合や枝分
かれ構造を有していても良い。これにより融点が低下
し、流体潤滑性が向上することも期待される。

【００１７】さらに潤滑剤の揮発性を抑え、良好な潤滑
効果を得るためには分子中の２つの炭素鎖のうち少なく
とも一方は炭素数が１０以上のものであることが好まし
い。前記フッ素含有カルボン酸エステルは、具体的には Ｃ₈Ｆ₁₇ＣＯＯＣ₁₈Ｈ₃₇ Ｃ₈Ｆ₁₇（ＣＨ₂）₂ＣＯＯＣ₁₈Ｆ₃₇ Ｃ₁₇Ｆ₃₅ＣＯＯ（ＣＨ₂）₂Ｃ₈Ｆ₁₇ Ｃ₁₇Ｆ₃₃ＣＯＯ（ＣＨ₂）₂Ｃ₈Ｆ₁₇ Ｃ₁₇Ｆ₃₁ＣＯＯ（ＣＨ₂）₂Ｃ₈Ｆ₁₇ Ｃ₈Ｆ₁₇（ＣＨ₂）₁₀ＣＯＯ（ＣＨ₂）₁₀Ｃ₈Ｆ₁₇ 等が挙げられる。

【００１８】また、一般式（４）の化合物 Ｒ⁵−ＣＯ
Ｏ−（Ｒ⁷Ｏ）_n−Ｒ⁶において、Ｒ⁵は炭素数８〜２６の
炭化水素基、Ｒ⁶ は炭素数２〜１８の炭化水素基、また
はその一部または全部の水素原子をフッ素原子で置換し
たフッ素化炭化水素基、Ｒ⁷は、炭素数１〜４の直鎖ま
たは分岐のアルキレン基、ｎは１〜１８である。この化
合物は一般式（３）の化合物にアルキレンオキシド基を
導入した化合物であり、このアルキレンオキシド基によ
って融点が低下し、塗膜の均一性が向上すると同時に、
低温での走行耐久性を改善する。また一般式（３）の化
合物において炭素鎖に不飽和結合を導入した化合物はこ
の一般式（４）の化合物と同様に低温での耐久性を改善
するが、それに比べ一般式（４）の化合物は加水分解を
受け難く、保存性が良好なことが特徴である。

【００１９】一般式（４）の化合物としては Ｃ₈Ｆ₁₇ＣＯＯ（ＣＨ₂ＣＨ₂Ｏ）₂Ｃ₁₂Ｈ₂₅ Ｃ₆Ｆ₁₃Ｃ₈Ｈ₁₆ＣＯＯ（ＣＨ₂ＣＨ₂Ｏ）₆Ｃ₂Ｈ₄Ｃ₄Ｆ₉ Ｃ₈Ｆ₁₇Ｃ₁₄Ｈ₂₉ＣＯＯ（Ｃ₆ Ｈ₁₂Ｏ）Ｃ₈Ｈ₁₇ Ｃ₈Ｆ₁₇ＣＯＯ（Ｃ₄Ｈ₈Ｏ）Ｃ₄Ｈ₈ＣＨ（ＣＨ₃）Ｃ₈Ｈ
₁₇ （ＣＦ₃）₂ＣＦＣ₁₀Ｈ₂₀ＣＯＯ（Ｃ₆Ｈ₁₂Ｏ）₄Ｃ₁₄Ｈ₂₉ Ｃ₈Ｆ₁₇Ｃ₂Ｈ₄ＣＯＯ（Ｃ₈Ｈ₁₆Ｏ）₂Ｃ₅Ｈ₁₀ＣＦ（ＣＦ
₃）₂ が挙げられる。

【００２０】一般式（５）および（６） Ｒｆ−ＣＯＯ−Ｒ⁸ …（５） Ｒ⁸−ＣＯＯ−ＣＨ₂−Ｒｆ …（６） の化合物において、Ｒｆは、分子量１０００〜３０００
のパーフルオロポリエーテル基、Ｒ⁸ は、炭素数８〜２
８の炭化水素基である。分子量がこれより少なくなると
パーフルオロポリエーテル特有の優れた流体潤滑性が得
られなくなり、また、これより多くなると静止摩擦係数
の上昇をひきおこして、走行停止やヘッドクラッシュを
生じやすくなる。そして、Ｒｆはパーフルオロメチレン
オキシド重合体（ＣＦ₂Ｏ）_n、パーフルオロエチレンオ
キシド重合体（ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_n、パーフルオロ−ｎ−
プロピレンオキシド重合体（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_n、パ
ーフルオロイソプロピレンオキシド重合体（ＣＦ（ＣＦ
₃）ＣＦ₂Ｏ）_nまたはこれらの共重合体等が挙げられ
る。具体的にはデュポン社製ＫＲＹＴＯＸ、モンテフル
オス社製ＦＯＭＢＬＩＮ、ダイキン社製デムナム等が使
用できる。一般式（５）の化合物は末端にカルボキシル
基を有するパーフルオロポリエーテルと脂肪族アルコー
ルのエステル化物、一般式（６）の化合物は脂肪酸と末
端にヒドロキシル基を有するパーフルオロポリエーテル
のエステル化物である。

【００２１】以上のエステルは製造費用や環境保護の立
場からは、通常の有機溶剤に溶解することが好ましく、
そのためにはエステル結合の一方にフッ素を含有しない
炭化水素鎖をもつ化合物を使用するか、フルオロアルキ
ル基のアルキル部とパーフルオロアルキル基の割合を溶
解性を高める方向に調整すれば良い。また結晶性が高
く、融点の高いエステルを使用すると磁性層表面やバッ
クコート層表面に析出を生じることがあるため、さらに
低温度での潤滑性を考慮するとエステルの融点は３０℃
以下のものが望ましい。

【００２２】本発明の磁気記録媒体において、磁性層あ
るいは保護膜上に本発明の化合物の表面層を形成するに
は、表面層として使用する化合物がリン酸アルキルエス
テル化合物とアルキルアミン化合物の塩およびフッ素含
有カルボン酸エステル化合物を有機溶剤に溶解した溶液
を塗布する混合塗布法、リン酸アルキルエステル化合物
とアルキルアミン化合物の塩を塗布し、その後フッ素含
有カルボン酸エステル化合物の混合物を塗布する逐次塗
布法を用いることができるが、リン酸アルキルエステル
化合物とアルキルアミン化合物の塩を磁性層もしくは保
護膜表面に蜜に配向させるため、前記塩からなる潤滑剤
層を形成した後に、フッ素含有カルボン酸エステル化合
物の潤滑剤層を形成することが好ましい。

【００２３】さらに、磁性層上に有機溶剤に溶解したリ
ン酸アルキルエステル化合物とアルキルアミン化合物の
塩を塗布乾燥した後、フッ素含有カルボン酸エステル化
合物を含有したバックコート層を形成して巻き取ること
によってバックコート層のフッ素含有カルボン酸エステ
ル化合物を保護膜表面に転写させる方法が最も好まし
い。これは、強磁性金属薄膜より、通常、はるかに空隙
がたくさんあるバックコート層により多くの潤滑剤を保
持させておくのが有利であると同時に摺動によって失わ
れる潤滑剤を巻き取り時に補給できるためである。ま
た、フッ素含有化合物を磁性層上に塗布すると、その化
合物が有機溶剤に可溶であっても、塗布後乾燥時に微細
な塗布むらや化合物の析出が起こることがあったが、バ
ックコート層から転写する方法では、フッ素含有脂肪酸
エステル化合物からなる潤滑剤をバックコート層に混合
あるいは塗布し、バックコート層から巻取り時の接触に
より磁性層側に転写されるので、磁性層上に直接に塗布
する場合よりも塗布むらが発生しにくく、また潤滑剤の
析出も起こりにくいので、使用することができる潤滑剤
の種類が多くなるという利点もある。バックコート層
は、非磁性粉末と結合剤樹脂から構成され、非磁性粉末
としては、各種の無機顔料やカーボンブラックを使用す
ることができ、また結合剤樹脂としてはニトロセルロー
ス、フェノキシ樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリウレタン
等の塗布型磁性層用の結合剤樹脂として使用されている
各種のものを使用することができる。

【００２４】本発明の潤滑剤用化合物は、アセトン、メ
チルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘ
キサノン、メタノール、エタノール及びイソプロパノー
ル等から選ばれる炭化水素系溶剤を主成分とする有機溶
剤に溶解するので、フッ素系の有機溶剤を使用すること
なく塗布して乾燥することによって磁気記録媒体を製造
することができる。このように、炭化水素系溶剤に溶解
できるので、従来のフッ素系化合物のようにフッ素系溶
剤の使用によるオゾン層の破壊という環境問題を起こす
恐れがないという実用上極めて大きな特徴を有してい
る。

【００２５】本発明の磁気記録媒体においては、強磁性
金属薄膜上に保護膜が設けられる。保護膜はシリカ、ア
ルミナ、チタニア、ジルコニア、酸化コバルトなどの酸
化物、窒化チタンなどの窒化物、炭化クロム等の炭化
物、グラファイト、無定形カーボンなどの炭素からなる
保護膜である。すなわち、前記保護膜の保護作用に更に
本発明における潤滑層の効果が付加されて、苛酷な条件
での磁気ヘッドとの摺動にも充分に耐えて、媒体表面に
摩擦がなく、表面の潤滑性を長期間保持できる磁気記録
媒体とすることができる。

【００２６】したがって前記保護膜としては、ヘッド材
質と同等またはそれ以上の硬度を有する膜が好ましく、
さらに摺動中に焼き付きを生じ難く、その効果が安定し
て持続するものが最も好ましく、そのような保護膜とし
ては硬質炭素膜があげられる。硬質炭素保護膜として
は、プラズマＣＶＤ法、スパッタリング法等で作成した
アモルファス、グラファイト、ダイヤモンド構造、もし
くはこれらの混合物からなる炭素膜であり、特に好まし
くは一般にダイヤモンドライクカーボンと呼ばれる硬質
炭素膜である。この炭素膜はビッカース硬度で１０００
ｋｇ／ｍｍ² 以上、好ましくは２０００ｋｇ／ｍｍ² 以
上の硬質の炭素膜である。また、その結晶構造はアモル
ファス構造であり、かつ非導電性である。そして、本願
発明におけるダイヤモンド状炭素膜の構造をラマン光分
光分析によって測定した場合には、１５２０〜１５６０
^-1ｃｍにピークが検出されることによって確認すること
ができる。炭素膜の構造がダイヤモンド状構造からずれ
てくるとラマン光分光分析により検出されるピークが上
記範囲からずれるとともに、炭素膜の硬度も低下し、本
願発明の目的を達成するのが困難となってくる。

【００２７】本願発明におけるダイヤモンド状炭素膜の
構造は、ラマン分光法の他に、Ｘ線電子分光法（ＥＳＣ
Ａ）によっても同定することができる。特に、ＥＳＣＡ
によって同定する場合、Ｃ−１ｓのプラズモン損失エネ
ルギーが２６±１ｅＶであるとさらに良好な炭素膜とな
る。ここでいうプラズモン損失エネルギーは、炭素膜に
Ｘ線を照射して測定されるＣ−１ｓスペクトルのメイン
ピークから、プラズモン損失により生ずるピークのずれ
をＸ線電子分光装置（例えば、パーキンエルマー社製、
ＰＨＩ−５６０）により測定されるものである。炭素保
護膜の硬度が減少すると摩擦特性は改善されるが耐摩耗
性が不足し、所望の走行耐久性を得ることができない。
とくに、スチル耐久性が大幅に低下してしまう。これら
のダイヤモンド状炭素保護膜はスパッタリングやＣＶＤ
によって作製することができるが、生産性、品質の安定
性および厚み１０ｎｍ以下の超薄膜でも良好な耐摩耗性
を確保できるという点からＣＶＤによって作製すること
が好ましく、とくに高周波プラズマによって分解した化
学種を基板にバイアス電圧を印加して加速する方法が好
ましい。

【００２８】この炭素保護膜の材料となるプラズマ化さ
れる炭素化合物は、とくに制限されるものではないが、
炭化水素系、ケトン系、アルコール系の化合物が挙げら
れる。

【００２９】特に、メタン、エタン、プロパン、ブタン
等のアルカン、あるいはエチレン、プロピレン等のアル
ケン、またはアセチレン等のアルキンをはじめとした炭
素含有化合物を原料としたプラズマＣＶＤによって硬質
炭素保護膜を形成することが好ましい。

【００３０】これらの炭素含有化合物からなる原料気体
は、一般に１３．３〜０．１３３Ｎ／ｍ² 、好ましくは
６．６７〜２．６７Ｎ／ｍ² の分圧でプラズマ発生装置
内に導入される。また、前記原料気体の他に水素、アル
ゴン等の不活性気体を同時に導入することもできる。こ
の場合、望ましい混合気体としては、メタンなどの炭化
水素とアルゴンが挙げられる。この場合、その混合割合
は、一般に炭化水素：アルゴン＝６：１〜２：１が望ま
しい。

【００３１】硬質炭素保護膜の膜厚が厚いと電磁変換特
性の悪化や磁性層に対する密着性の低下が生じ、膜厚が
薄いと耐摩耗性が不足するために、膜厚２．５〜２０ｎ
ｍが好ましく、とくに好ましくは５〜１０ｎｍである。
また、この硬質炭素保護膜上に付与する潤滑剤との密着
をさらに向上させる目的で硬質炭素保護膜表面を酸化性
もしくは不活性気体によって表面処理しても良い。

【００３２】本発明の磁気記録媒体における磁性層とな
る強磁性金属薄膜は、真空蒸着法、イオンプレーティン
グ法、スパッタリング法、ＣＶＤ法等の真空成膜法にて
成膜する。成膜は、単層、平行型多層、非平行型多層等
によって形成される。また、使用される金属材料として
は、鉄、コバルト、ニッケル等の金属の他に、コバルト
−ニッケル合金、コバルト−クロム合金、コバルト−白
金合金、鉄−コバルト合金等のコバルト系合金等が挙げ
られる。コバルトを主体とした従来より公知の金属また
は合金を微量の酸素雰囲気で真空斜め蒸着法で作成され
た場合には、特に電磁変換特性を改善するため磁性層を
構成する金属原子の９０％以上はコバルトであるＣｏ−
Ｏ、Ｃｏ−Ｏを含有するＣｏ−Ｆｅ等が好ましい。ま
た、金属原子の９５％以上はコバルトであることが好ま
しく、９７％以上であることがより好ましい。磁性層の
厚みは、１００〜３００ｎｍとするのが望ましく、さら
に望ましくは１２０〜２００ｎｍである。また、強磁性
金属薄膜は電磁変換特性を改善するため重層構成とした
り、非磁性下地層や中間層を有していても良い。

【００３３】磁性層を構成する金属原子のほとんどがコ
バルトである強磁性金属薄膜は磁気特性に優れているが
耐候性が悪く、さらに走行性、耐久性の面でも実用上問
題であった。ところが、本発明のような潤滑層を使用す
ることにより上記のようにその９０％以上がコバルトで
ある組成であっても耐食性、走行性、耐久性の面で優れ
た実用に充分耐え得る磁気記録媒体とすることができ
る。

【００３４】本発明で使用する非磁性支持体としては、
厚さ３〜１０μｍのポリエチレンテレフタレート、ポリ
エチレンナフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポリ
アミドポリイミド等のフィルムが好ましく、走行性を改
善するためその表面に粒径５〜２０ｎｍの無機フィラー
を付与したものが好ましい。また、非磁性支持体の内部
にフィラーを含有し、非磁性支持体の表面に凹凸を形成
したものでも良い。

【００３５】また、非磁性支持体の磁性層を形成した面
とは反対側の面に非磁性粉末と結合剤樹脂を主体とする
塗布膜からなるバックコート層を設けることにより本願
発明の磁気記録媒体の走行性や耐久性をさらに向上させ
ることができる。強磁性金属薄膜は、その表面もしくは
内部に潤滑剤を保持できる量が少ないので予め潤滑剤を
バックコート層中に含有させておくことにより、不足す
る潤滑剤をバックコート層側から供給することができる
ので有利である。すなわち、テープ状の磁気記録媒体が
巻き取られた状態でバックコート層と磁性層とが接する
ことにより潤滑剤が磁性層へ補給されるのでその効果を
充分に発揮させることができる。バックコート層の非磁
性粉末としては、各種の無機顔料やカーボンブラックを
使用することができ、また結合剤樹脂としてはニトロセ
ルロース、フェノキシ樹脂、塩化ビニル系樹脂、ポリウ
レタン等の塗布型磁性層用の結合剤樹脂として使用され
ている各種のものを使用することができる。

【００３６】本発明の磁気記録媒体において、潤滑剤化
合物としてさらにパーフルオロポリエーテルを併用する
こともできる。本発明で使用できるパーフルオロポリエ
ーテルとしては、パーフルオロメチレンオキシド、パー
フルオロエチレンオキシド重合体、パーフルオロ−ｎ−
プロピレンオキシド重合体（ＣＦ₂ＣＦ₂ＣＦ₂Ｏ）_n、パ
ーフルオロイソプロピレンオキシド重合体（ＣＦ（ＣＦ
₃）ＣＦ₂Ｏ）_n またはこれらの共重合体等が挙げられ、
アルコール、メチルエステル基などの極性基を含んでも
よい。具体的にはデュポン社製ＣＲＹＴＯＸ１４３Ａ
Ｚ、１５７ＳＬ、モンテフルオス社製ＦＯＭＢＬＩＮＺ
−ＤＯＬ、Ｚ−ＤＥＡＬ等が使用できる。

【００３７】パーフルオロポリエーテルを使用する場合
にはフッ素含有カルボン酸エステル化合物と同様にバッ
クコート層用の液中に混合してもよいし、あらかじめ作
成したバックコート層上にフッ素含有カルボン酸エステ
ル化合物を塗布する際に混合して塗布しても良い。

【００３８】また、本発明においては吸着性官能基を有
さない炭化水素の一部の水素原子をフッ素原子で置換し
たフッ素化炭化水素化合物を併用することも可能であ
り、これによって低温低湿環境での走行耐久性をさらに
改善することができる。このフッ素化炭化水素は、炭素
数が１４〜４０、好ましくは１６〜２８であり、更に好
ましくは１８〜２４であってその水素原子の一部をフッ
素原子で置換したものである。炭素数が余り多くなると
結晶性が高まりスチル耐久性や繰り返し走行耐久性の劣
化を招く。また余り少ないと揮発性が高くなるので特性
の経時劣化を生じることがあるので好ましくない。炭素
鎖中のフッ素原子の比率は、水素原子とフッ素原子の個
数比率で３：１〜１：２であるのが望ましい。フッ素の
比率があまり高くなるとフッ素原子を含有しない通常の
炭化水素系溶剤に対する溶解性や塗布性が損なわれるこ
とがある。本発明におけるフッ素化炭化水素は、直鎖飽
和炭化水素の片方もしくはその両方がフッ素で置換され
ているもの、または枝分かれしているもの、不飽和結合
を有するもの等種々のものが使用できる。具体的には、
ＣＦ₃（ＣＦ₂）₉（ＣＨ₂）₁₅ＣＨ₃、ＣＦ₃（ＣＦ₂）
₇（ＣＨ₂）₁₇ＣＨ₃ 、ＣＦ₃（ＣＦ₂）₇（ＣＨ₂）₆（Ｃ
Ｆ₂）₇ＣＦ₃、（ＣＦ₃）₇ＣＦ（ＣＦ₂）₄（ＣＨ₂）₁₅Ｃ
Ｈ₃、（ＣＦ₃）₂ＣＦ（ＣＦ₂）₄（ＣＨ₂）₈（ＣＦ₂）₄
ＣＦ（ＣＦ₃）₂等が挙げられる。なかでも好ましいもの
は流体潤滑性に優れる両末端にフッ素化炭化水素基、ま
たは片末端もしくは両末端に分岐フッ素化炭化水素基を
有する化合物である。

【００３９】本発明の磁気記録媒体は耐食性に優れる
が、複素環類の防錆剤を使用するとさらに耐食性を高め
ることができる。本発明で使用できる防錆剤を例示する
とベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール、プリン、
ピリミジン等の窒素含有複素環類およびこれらの母核に
アルキル側鎖等を導入した誘導体、ベンゾチアゾール、
２−メルカプトンベンゾチアゾール、テトラザインデン
環化合物、チオウラシル化合物等の窒素および硫黄含有
複素環類およびこの誘導体等が挙げられる。このような
目的で使用可能なテトラザインデン環化合物には、下記
に示すものが挙げられる。

【００４０】

【化３】

【００４１】ここで、Ｒには、アルキル基、アルコキシ
基、アルキルアミド基から選ばれる炭化水素基である。
とくに好ましくは、炭素数３以上２０以下であり、アル
コキシ基の場合にはＲＯＣＯＣＨ₂− のＲは、Ｃ₃Ｈ
₇−、Ｃ₆Ｈ₁₃−、フェニル、またアルキル基の場合に
は、Ｃ₆Ｈ₁₃−、Ｃ₉Ｈ₁₉−、Ｃ₁₇Ｈ₃₅−が挙げられ、ア
ルキルアミド基の場合にはＲＮＨＣＯＣＨ₂− のＲはフ
ェニル基、Ｃ₃Ｈ₇−が挙げられる。また、チオウラシル
環化合物には、下記に示すものが挙げられる。

【００４２】

【化４】

【００４３】ここで、Ｒは炭素数が３以上である炭化水
素基である。防錆剤の塗布量は潤滑剤は１．０〜５０ｍ
ｇ／ｍ² に対して、０．０１〜５．０ｍｇ／ｍ² が好ま
しい。特に好ましくは潤滑剤３〜３０ｍｇ／ｍ² に対し
て防錆剤０．１〜１０ｍｇ／ｍ² である。

【００４４】

【作用】本発明の磁気記録媒体は、非磁性支持体の少な
くとも一方の面上に強磁性金属薄膜からなる磁性層と、
あるいは更にその上に積層された無機保護膜を有する磁
気記録媒体において、リン酸アルキルエステル化合物と
アルキルアミン化合物の塩、およびフッ素含有カルボン
酸エステル化合物が存在する表面層を設けたので、炭素
等の無機保護膜に吸着しやすいリン酸アルキルエステル
化合物とアルキルアミン化合物の塩は、高度な極圧潤滑
を行う結果、耐久性と耐食性を改善することができ、更
に、リン酸アルキルエステル化合物を使用する場合に比
べ、高温高湿環境に保存した後の走行耐久性の劣化が少
なく、高い信頼性を得ることができる。 フッ素含有カ
ルボン酸エステルの併用により、リン酸アルキルエステ
ル化合物とアルキルアミン化合物の塩の吸着膜上の非吸
着分子の挙動による流体潤滑性を得ることができる。こ
の効果は低温、低湿環境で特に顕著に現れる。

【００４５】

【実施例】以下に、本発明の実施例および比較例を示
し、本発明をさらに詳細に説明する。実施例及び比較例 表面に粒径１３ｎｍのシリカの球状フィラーを有する厚
さ１０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
コバルトを酸素含有雰囲気中で磁性金属蒸気流の前記ポ
リエチレンテレフタレートフィルムに対する入射角が４
５°となるようにして、７０ｎｍの厚さで２回斜め蒸着
し、全体の厚みが１４０ｎｍの２層構成の強磁性金属薄
膜を得た。なお、２層とも薄膜を構成する強磁性金属の
柱状結晶の傾きは同じ向きとなるようにした。その後熱
処理を施し、カールを修正した後、磁性層上に以下に示
すプラズマＣＶＤ法で炭素保護膜を作成した。メタンを
原料気体として流量１５０ｓｃｃｍで供給するととも
に、アルゴンをキャリアー気体として流量５０ｓｃｃｍ
の流量で供給し、６００Ｗの高周波電力を印加するとと
もに、パスローラを介して磁性層表面には−４００Ｖの
直流電圧を印加し、気体導入部に設置されたアノードに
は＋５００Ｖの直流電圧を印加し、発生したプラズマを
加速させて搬送速度５ｍ／分で温度２０℃の磁性層表面
にダイヤモンド状炭素からなる硬質炭素保護膜を形成し
た。得られた炭素保護膜は、膜厚８０ｎｍ、ラマン分光
法によって炭素保護膜がダイヤモンド状炭素であること
を確認した。また、この方法で得られた炭素保護膜のビ
ッカース硬度は２，２００ｋｇ／ｍｍ² であった。

【００４６】また、このフイルムの磁気記録媒体を形成
した面とは反対側には、以下の組成のバックコート層用
の塗布液を塗布し、厚さ０．５μｍのバックコート層を
形成した。 （バックコート層塗布液） カーボンブラック カンカルブ Ｎ−９９０ ３重量部 （カンカルブ社製 平均粒子径 ２７０ｎｍ） ブラックパール ８００ ９７重量部 （キャボット社製 平均粒子径 １７ｎｍ） ニトロセルローズ（ダイセル社製 ＲＳ１／２Ｈ） ６０重量部 ポリウレタン（日本ポリウレタン社製 Ｎ−２３０４） ６０重量部 ポリイソシアネート（日本ポリウレタン社製 コロネートＬ） ２０重量部 メチルエチルケトン １０００重量部 次いで、表１記載のリン酸アルキルエステル化合物とア
ルキルアミン化合物の塩、フッ素含有カルボン酸エステ
ルの混合エタノール溶液をワイヤーバー法によって、表
１に記載の塗布量および塗布面に塗布、乾燥した。得ら
れた原反を幅８ｍｍに裁断し、８ｍｍＶＴＲ用のカセッ
トに組み込んで評価用の試料とした。試料番号に記載の
比は、その試料番号のものが比較例であることを示す。
また、試料番号１０におけるｎは、パーフルオロポリエ
ーテル鎖の分子量で約２０００のものを示し、試料番号
２０もパーフルオロポリエーテル鎖の分子量で約２００
０のものを示し、試料番号２１は、パーフルオロポリエ
ーテル鎖の分子量で約１８００のものを示す。

【００４７】

【表１】

【００４８】以上のようにして得られた各磁気記録媒体
の試料の摩擦係数、スチル耐久性、繰り返し走行耐久性
及び対腐蝕性を以下の条件で測定し、その結果を表２に
示す。 〔評価方法〕 １．摩擦係数（μ値）の測定 ２３℃７０％ＲＨの環境において磁気記録媒体とステン
レス棒（材質ＳＵＳ４２０Ｊ）とを２０ｇの張力
（Ｔ₁） で巻き付け角１８０°で接触させ、磁気テープ
を３．３ｃｍ／秒の速度で走行させるのに必要な張力
（Ｔ₂） を測定し、下記計算式により磁気テープの、摩
擦係数μを求めた。 μ＝１／π・ｌｎ（Ｔ₂／Ｔ₁） ２．スチル耐久性の測定 （Ａ条件）２３℃１０％ＲＨの環境において、８ｍｍＶ
ＴＲ（富士写真フイルム（株）製ＦＵＪＩＸ−Ｍ６）を
使用して走行テンション２０ｇでカラーバー画像を記録
した後、スチル制限機構を動作させないでスチル状態で
画像を再生し、出力が初期の−６ｄＢとなるまでの時間
を測定して評価した。 （Ｂ条件）−１０℃の環境においてスチル耐久性は市販
の８ｍｍＶＴＲ（富士写真フイルム（株）製 ＦＵＪＩ
Ｘ Ｖ−８８）でカラーバー信号を記録した後再生し、
スチル制限機構を作動させずにスチル状態で画像を再生
し、出力が初期の−６ｄＢとなるまでの時間を測定して
評価した。 （Ｃ条件）５℃１０％ＲＨの環境条件において、８ｍｍ
ＶＴＲ（ソニー（株）製 ＥＶ−Ｓ７００）を使用し
て、記録ヘッドのシリンダーの回転数が通常の回転数の
２倍の状態でカラーバー信号を記録した後再生し、スチ
ル制限機構を作動させずにスチル状態で画像を再生し、
出力が初期の−６ｄＢとなるまでの時間を測定して評価
した。

【００４９】３．繰り返し走行耐久性 ２３℃１０％ＲＨの環境条件において、８ｍｍＶＴＲ
（ソニー（株）製 ＥＶ−Ｓ１５００）を用いて、７．
６ＭＨｚの単一波信号を６０分間記録後、これを１００
回連続繰り返し再生し、１００回後の出力の変化とヘッ
ド汚れを調べた。ヘッド汚れは摺動部、非摺動部に全く
汚れが観察されないものを○、摺動部にはっきりと汚れ
が観察されるものを×、それ以外を△とした。 ４．耐腐蝕性 目視による評価 ２７℃、８０％ＲＨ、亜硫酸ガス１ｐｐｍの環境に磁気
記録媒体の表面を暴露した状態で７２時間保存し、保存
後のテープ表面を目視観察し、試験前とほとんど変化が
見られないものを○、テープ全面の金属光沢は残ってい
るものの腐食が観察されるものを△、磁性層の一部もし
くは全部が腐食により溶解したものを×とした。 μ値による保存性の評価 ６０℃、９０％ＲＨの環境に磁気記録媒体の表面を暴露
した状態で１週間保存し、保存後に前記１同様に摩擦係
数を測定した。

【００５０】

【表２】

【００５１】

【発明の効果】従来の潤滑剤では得られなかった高度な
保存性、走行性、耐久性を合わせ持つ保護層の技術が得
られ、高密度磁気記録媒体を実現した。強磁性金属薄膜
あるいはその上に積層された無機保護膜に、リン酸アル
キルエステル化合物とアルキルアミン化合物の塩、およ
びフッ素含有カルボン酸エステル化合物が存在する表面
層を形成したので、リン酸アルキルエステル化合物とア
ルキルアミン化合物の塩は炭素等の無機保護膜に吸着し
易く、分子内にリン酸基を有するので厳しい摺動条件で
は極圧潤滑を行うものと考えられ、耐久性と耐食性を改
善することができる。さらにリン酸アルキルエステル化
合物を使用する場合に比べ、高温高湿環境に保存した後
の走行耐久性の劣化が少なく、高い信頼性を得ることが
できる。これはリン酸アルキルエステル化合物が高温高
湿下で加水分解を受けたとしても、アルキルアミン化合
物が分解されずに、潤滑に寄与するためと考えられる。

【００５２】そして、前記フッ素含有カルボン酸エステ
ルを併用することにより、リン酸アルキルエステル化合
物とアルキルアミン化合物の塩の吸着膜上の非吸着分子
の挙動による流体潤滑性を得ることができる。この効果
は低温、低湿環境で特に顕著に現れるものとみられる。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性支持体の少なくとも一方の面上に
   強磁性金属薄膜からなる磁性層を有する磁気記録媒体に
   おいて、強磁性金属薄膜上に下記一般式（１）もしくは
   （２）で示されるリン酸アルキルエステル化合物とアル
   キルアミン化合物の塩およびフッ素含有カルボン酸エス
   テル化合物からなる表面層が存在することを特徴とする
   磁気記録媒体。 【化１】 ただし、Ｒ¹、Ｒ²は同じもしくは互いに相違する２〜２
   ６の炭化水素基、またはフッ素化炭化水素基、Ｒ^A、
   Ｒ^B、Ｒ^C、Ｒ^Dは水素または炭素数２６以下の炭化水素
   基またはフッ素化炭化水素基、ｍは１または２である。
2. 【請求項２】 表面層が、強磁性金属薄膜上に設けた保
   護層上に形成したものであることを特徴とする請求項１
   記載の磁気記録媒体。
3. 【請求項３】 非磁性支持体の強磁性金属薄膜を有する
   面とは反対側の面上にバックコート層があり、バックコ
   ート層中には請求項１記載のフッ素化カルボン酸エステ
   ル化合物を含有することを特徴とする請求項１もしくは
   ２に記載の磁気記録媒体。
4. 【請求項４】 フッ素含有カルボン酸エステル化合物が
   下記一般式（３）〜（６）で表されることを特徴とする
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。 Ｒ³−ＣＯＯ−Ｒ⁴ …（３） Ｒ⁵−ＣＯＯ−（Ｒ⁷Ｏ）_n−Ｒ⁶ …（４） Ｒｆ−ＣＯＯ−Ｒ⁸ …（５） Ｒ⁸−ＣＯＯ−ＣＨ₂−Ｒｆ …（６） ただしＲ³、Ｒ⁴は同一であっても異なっていても良く、
   炭素数８〜２６の炭化水素基であって、少なくともその
   一方は、その一部もしくは全部の水素原子をフッ素原子
   で置換したフッ素化炭化水素基である。Ｒ⁵は炭素数８
   〜２６の炭化水素基、Ｒ⁶は炭素数２〜１８の炭化水素
   基であって、その少なくとも一方は、その一部または全
   部の水素原子をフッ素原子で置換したフッ素化炭化水素
   基である。また、Ｒ⁷ は、炭素数１〜４の直鎖または分
   岐のアルキレン基、ｎは１〜１８であり、Ｒｆは、分子
   量１０００〜３０００のパーフルオロポリエーテル基、
   Ｒ⁸ は、炭素数８〜２８の炭化水素基である。