JPH085684A - 直流検出形静電センサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 直流ドリフトの影響を防止した直流検出形静
電センサ装置を提供する。 【構成】 発振回路１でＧHz帯の高周波数の発振周波数
信号を出力し、緩衝増幅器２で信号増幅する。信号切り
替え回路14は、低周波発振回路から加えられるスイッチ
制御信号によって信号切り替えを行い、増幅された発振
周波数信号を間欠的に共振回路３に加える。共振回路３
は検出針10で検出する外部静電容量の変化を前記発振周
波数信号を搬送波としてＡＭ変調し、検波回路５に加え
る。検波回路５はＡＭ変調信号を包絡線検波し、外部静
電容量の変化の信号を抽出する。この検波出力は低周波
増幅回路の信号増幅回路７ａで交流増幅された後第２検
波回路15で直流に変換され、信号増幅回路７ｂで直流増
幅されて所望の信号処理回路に加えられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微小静電容量の変化を
検出する直流検出形静電センサ装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図５には従来の直流検出形静電センサ装
置のブロック構成が示されている。この装置は、発振回
路１と、緩衝増幅器２と、共振回路３と、抑圧回路４
と、検波回路５と、ＡＦＣ（Automatic Frequency Cont
rol ）回路６と、信号増幅回路７と、可変容量ダイオー
ド（バラクタダイオード）８とを有して構成されてい
る。

【０００３】発振回路１は、セラミック共振器を用いた
共振回路を内蔵し、超高周波数、例えば、１ＧHz以上の
発振周波数信号を出力する。緩衝増幅器２は発振回路１
から加えられる発振周波数信号を増幅して共振回路３に
加える。なお、この緩衝増幅器２は、信号増幅の機能
と、発振回路１側と共振回路３側との信号の干渉を抑止
する機能を有する。

【０００４】共振回路３は、専用のセラミック共振器を
内蔵し、検出針10で検出される外部微小静電容量の変化
を抑圧回路４を介して取り込み、その微小静電容量の変
化の検出信号を出力する。すなわち、共振回路３の共振
周波数ｆ₀ は、図６に示すように、発振回路１の発振周
波数ｆ_OSC に対して僅かにずれた位置に設定されてお
り、この状態で、検出針10によって外部静電容量の微小
変化が検出されると、共振回路３の共振周波数ｆ₀ はΔ
ｆだけ偏倚し、共振回路３の出力電圧がΔＶだけ変化す
る。

【０００５】ここで、検出針10で検出される被検出体と
の容量変化が周波数帯域ｆ_W をもって変化するとした場
合、共振回路３は、発振回路１の発振周波数信号をキャ
リア（搬送）周波数ｆ_C とし、このキャリア周波数ｆ_C
を被検出体の静電容量変化の周波数ｆ_W でＡＭ（Amplit
ude Modulation）変調したｆ_W ×ｆ_C の信号が静電容量
の検出信号として検波回路５に加えられる。

【０００６】検波回路３では、共振回路３から加えられ
る信号を、例えば、包絡線検波し、前記検出針10で検出
する外部静電容量変化の周波数帯域ｆ_W の信号として抽
出し、この検波出力を信号増幅回路７に加える。信号増
幅回路７は通常遮断周波数が１ＫHzの直流増幅回路とし
て機能し、検波回路５から加えられる検波出力、通常、
ほぼ直流成分に近い検出針10の静電容量検出信号を増幅
して図示されていない所望の信号処理回路に送る。

【０００７】ＡＦＣ回路６は、積分器を内蔵しており、
信号増幅回路７の出力信号の一部を取り込み、積分処理
を行ってほぼ直流レベルの信号に平坦化して可変容量ダ
イオード８に印加する。可変容量ダイオード８はＡＦＣ
回路６からの印加電圧に応じて容量を変化する。このＡ
ＦＣ回路６と可変容量ダイオード８の動作により、例え
ば、湿度等の外部環境の変化により、共振回路３の共振
周波数ｆ₀ が設定位置からずれたときに、そのずれを修
正する方向に可変容量ダイオード８の容量が変化するこ
とで、発振周波数ｆ_OSC に対する共振周波数ｆ₀ の設定
位置の安定化が図られる。

【０００８】図７は、前記図５に示す回路を１チャンネ
ルの回路として、回路基板11上に複数の静電センサの回
路を配列形成して多チャンネルの静電センサ装置とした
ものである。このように、静電センサ装置を多チャンネ
ル構成とすることにより、各チャンネルのセンサ検出信
号を平行処理したり、２つのチャンネルの静電センサ回
路を１組とし、その組の一方チャンネルの回路を温度等
の補償用としてその組のセンサ検出信号の差動出力を取
り出す等の信号処理が可能となるものである。

【０００９】また、図８に示すものは、同じく多チャン
ネルの静電センサ装置としたものであるが、この静電セ
ンサ装置は、発振回路１を共通化した１個の回路で構成
し、発振回路１の発振周波数信号を緩衝増幅器２で増幅
した後、分配器12を用いて複数の各チャンネルの共振回
路３に分配供給するように構成したものである。この多
チャンネルの静電センサ装置も、各チャンネルの静電検
出信号を平行処理したり、２つのチャンネルを１組と
し、その組のチャンネルの差動出力を取り出す等の信号
処理を行うことが可能となるものである。

【００１０】前記図５、図７、図８に示した静電センサ
装置は、発振回路１と共振回路３のそれぞれに別個独立
の専用のセラミック共振器を有し、かつ、検出針10で検
出される外部静電容量の変化を共振回路３の共振点の偏
倚を利用して検出する構成としているため、10^-7ＰＦオ
ーダの微小静電容量変化を検出できるという能力を備え
たものとなり、この能力を十分に発揮することにより、
例えば、人体内の微小静電容量変化を検出したり、食品
の解凍、凍結の検出コンパクトディスク形情報媒体のト
ラッキング検出や、トンネル顕微鏡の検出針の位置検出
等の、医療、通信、情報処理、自動車、民生機器等の多
岐な分野での用途が期待される。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記セ
ラミック共振器を用いたセラミック共振形静電センサ装
置は、微小静電容量の高感度の検出能力を備えている
が、このような高感度の静電容量検出を行う場合には、
Ｓ／Ｎ比の改善が不可欠の条件となる。

【００１２】ところが、静止状態で静電容量変化を検出
する解凍センサ等では検波回路５の検波出力はほぼ直流
成分の信号となるため、信号増幅回路７によっては直流
増幅が行われることとなり、このような直流増幅回路を
用いて信号増幅を行う直流検出形静電センサ装置では、
信号増幅回路７のゲイン（増幅度）を高めると、直流増
幅器に固有な直流ドリフトの問題や不安定性に遭遇し、
高ゲインな増幅器の構成が難しくなるという問題が生じ
る。

【００１３】すなわち、ＧHz帯の発振周波数信号で動作
する発振回路１や緩衝増幅器２側の高周波回路では、浮
遊分布容量の影響や、外部からのノイズ混入による不安
定性等によって、直流成分が時間的に緩やかに変動し、
これが直流増幅回路（信号増幅回路７）で増幅されるた
めに、前記の如く、10^-7ＰＦオーダの微小な静電容量検
出に際しては、前記直流のドリフト成分が大きく影響を
及ぼし、10^-7ＰＦオーダの微小静電容量の検出能力を有
しているにもかかわらず、その能力が十分に発揮できな
くなるという問題が生じる。

【００１４】特に、図７に示すように、共通の回路基板
11上に複数チャンネルの静電センサ回路を並設形成した
構成では、各チャンネルの発振回路１の発振周波数信号
を同じに揃えるのが難しく、少しでも発振周波数信号が
ずれると、各チャンネル相互の発振周波数信号が干渉し
合い、ビート信号等の雑音を発生する。この雑音等の不
要信号は、50Hz以下の周波数を持ったり、ランダムな周
波数成分を持ち、電源回路や静電センサ装置の筐体導体
を通じて信号増幅回路７に混入し、セラミック静電セン
サが持つ基本特性を損なうという問題が生じる。

【００１５】図８に示した多チャンネル形静電センサ装
置では、１個の発振回路１を各チャンネルの発振回路と
して共有させたことで、各チャンネルの発振周波数のず
れを防止することができるが、発振回路１の発振周波数
信号を緩衝増幅器２で増幅した後、分配器12を介して各
チャンネルの共振回路３に分配していく間に、各チャン
ネルへの分配経路の浮遊分布容量の影響等を受けて各チ
ャンネルの共振回路に加えられる発振周波数信号の位相
が微妙にずれたりして、ビート信号等の不要信号が発生
するという問題が生じ、このような不要信号の発生を防
止するために、各チャンネルへの分配経路中に分布容量
を調整するための可変容量コンデンサＣＶを設けること
も考えられるが、これら各経路の可変容量コンデンサＣ
Ｖの容量調整を行うことは極めて難しく、また、不要信
号の発生状況が必ずしも一定でなく、例えば、周囲の湿
度や温度の変化等に起因して変化することが想定され、
不要信号の発生を完璧に防止することは非常に困難であ
る。この不要信号のために、どうしても、静電センサ装
置の前記高分解能（高感度）の能力を十分に発揮させる
ことができなかった。

【００１６】本発明は上記解題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、不要信号がたとえ発生して
も、この不要信号の影響を除去して、微小静電容量の検
出を高分解能（高感度）のもとで検出することができる
直流検出形静電センサ装置を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、次のように構成されている。すなわち、本
発明は、発振周波数信号を出力する発振回路と、外部静
電容量の変化に対応して共振点を偏倚し前記発振周波数
信号を搬送波となして前記外部静電容量の変化で変調し
た信号を出力する共振回路とを有し、前記発振回路と共
振回路にはそれぞれ専用のセラミック共振器が備えられ
ている直流検出形静電センサ装置において、前記発振回
路と共振回路間には緩衝増幅器が挿入配設されており、
この緩衝増幅器には該緩衝増幅器の信号出力を間欠的に
切り替える信号切り替え回路が接続されていることを特
徴として構成されている。

【００１８】また、前記構成の直流検出形静電センサ装
置において、信号切り替え回路は、ＰＩＮダイオードを
用いたダイオードスイッチ回路と、このダイオードスイ
ッチ回路にスイッチ動作の制御信号を加えるスイッチ制
御回路とを有して構成されていることも本発明の特徴的
とするところである。

【００１９】

【作用】上記構成の本発明において、従来例と同様に、
発振回路から発振周波数信号が出力され、外部静電容量
の変化に対応して共振回路の共振点を偏倚し、前記発振
周波数信号を外部静電容量の変化で変調した信号が共振
回路から出力される。そして、この変調信号が検波回路
で検波されて、外部静電容量の変化帯域の信号として取
り出される。

【００２０】本発明では、発振回路から出力される発振
周波数信号は、緩衝増幅器で増幅された後、信号切り替
え回路の信号切り替え動作により、間欠的な信号として
共振回路に加えられる。このように、発振周波数信号が
間欠的な信号として加えられることで、たとえ、不要信
号の発生により、直流ノイズ成分が混入しても、発振周
波数信号が間欠的に共振回路に出力されることで、除去
されることとなり、信号の直流増幅を行っても、直流ノ
イズ成分が検出信号と共に増幅されることはなくなり、
直流ドリフトの影響を取り除いた高分解能の微小静電容
量の検出が可能となる。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来例と同一の
名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略す
る。図１には本発明の一実施例のブロック構成が示され
ている。本実施例が従来例と異なる特徴的なことは、緩
衝増幅器２と共振回路３との間に信号切り替え回路14を
設けて緩衝増幅器２で増幅された発振周波数信号を間欠
的に共振回路３に加える構成としたことと、信号増幅回
路７ａを交流増幅器として機能させ、信号増幅回路７ａ
で増幅された信号を第２検波回路15で直流信号に変換す
る構成としたことである。それ以外の構成は前記従来例
と同様であり、検出針10で検出された外部微小静電容量
の変化を共振回路３でＡＭ変調して出力する、微小静電
容量の検出動作は従来例と同様である。

【００２２】本実施例の特徴的な信号切り替え回路14
は、ダイオードスイッチ回路を備えた切り替え増幅器16
と、スイッチ制御回路として機能する低周波発振回路17
とを有して構成されている。

【００２３】図２は前記切り替え増幅器16に設けられて
いるダイオードスイッチ回路の詳細構成を示すもので、
４個のＰＩＮダイオードＤ１〜Ｄ４と、コンデンサＣ１
〜Ｃ３と、抵抗器Ｒ１〜Ｒ３，ＲＬ，ＲＶと、ＮＰＮト
ランジスタＴ_r1と、ＰＮＰトランジスタＴ_r2とを有して
構成されている。静電センサ装置の信号処理は、グラン
ド電位を基準とした不平衡信号処理が行われることか
ら、この信号切り替え回路14を不平衡回路として形成し
ている。

【００２４】前記トランジスタＴ_r1とＴ_r2はエミッタ側
で直列に接続されており、同トランジスタＴ_r1，Ｔ_r2の
ベース側は共通に接続され、このベースに低周波発振回
路17の制御信号（スイッチ制御信号）が加えられるよう
になっている。また、トランジスタＴ_r1，Ｔ_r2のコレク
タ側は電源（図示せず）に接続されており、トランジス
タＴ_r1のコレクタ側には＋12Ｖの電圧が、トランジスタ
Ｔ_r2のコレクタ側には抵抗器ＲＶを介して−12Ｖの電圧
が印加されている。

【００２５】前記低周波発振回路17は負の電圧からパル
ス状の正の電圧が立ち上がる制御信号を発振出力してお
り、トランジスタＴ_r1，Ｔ_r2のベースにパルス状の正の
制御信号が加えられると、トランジスタＴ_r1がオンし、
抵抗器ＲＬの両端に正の電圧が発生する。この抵抗器Ｒ
Ｌからの正の電圧が加えられると、ＰＩＮダイオードＤ
１，Ｄ２，Ｄ３は逆バイアスとなり、図２の回路のｅ，
ｆ間のインピーダンスが高くなると同時に、ＰＩＮダイ
オードＤ４は順方向バイアスとなり、ｄ，ｃ間のインピ
ーダンスが低下する。この結果、ＰＩＮダイオードＤ
１，Ｄ２、コンデンサＣ１、ＰＩＮダイオードＤ４およ
び抵抗器Ｒ１の回路が閉回路となり、ダイオードスイッ
チ回路はスイッチオフ状態となり、緩衝増幅器２で増幅
された発振周波数信号は共振回路３側に加えられない。

【００２６】これに対し、低周波発振回路17からスイッ
チ制御信号として負の電圧がトランジスタＴ_r1，Ｔ_r2の
ベースに加えられると、トランジスタＴ_r2がオンし、こ
れにより、ＰＩＮダイオードＤ１〜Ｄ４の動作が逆にな
り、前記ＰＩＮダイオードＤ１，Ｄ２、コンデンサＣ
１、ダイオードＤ４、抵抗器Ｒ１からなる回路が開回路
となり、ダイオードスイッチ回路はスイッチオンの状態
となり、前記緩衝増幅器２で増幅された発振回路１の発
振周波数信号は共振回路３に加えられる。このように、
低周波発振回路17のスイッチ制御信号によって、ダイオ
ードスイッチ回路はオン、オフのスイッチ動作を行い、
緩衝増幅器２で信号増幅された発振周波数信号を間欠的
に共振回路３に加えるのである。

【００２７】共振回路３は従来例と同様に、発振周波数
信号で外部静電容量の変化をＡＭ変調し、そのＡＭ変調
信号を外部静電容量の検出信号として検波回路５に加え
る。検波回路５は従来例と同様に前記ＡＭ変調信号を検
波して、外部静電容量の変化の信号を抽出し、信号増幅
回路（低周波増幅回路）７ａに加える。

【００２８】検波回路５から信号増幅回路７ａに加えら
れる信号は、前記した如く、切り替え増幅器16から発振
周波数信号が間欠的に供給されることで、交流的な信号
となっており、信号増幅回路７ａはこの交流的な信号を
増幅し、その一部をＡＦＣ回路６に供給すると共に、他
の信号を第２検波回路15に加える。

【００２９】第２検波回路15は前記低周波発振回路17の
スイッチ制御信号に同期して、信号増幅回路７ａの信号
増幅出力を直流に同期検波し、被検出体の信号を再生し
て、これを信号増幅回路７ｂに加える。信号増幅回路７
ｂは第２検波回路15から加えられる直流の静電容量の検
出信号を直流増幅し、この増幅出力を所望の信号回路に
加える。図３および図４は本実施例の回路の各部におけ
る信号処理の動作状態を模式的な波形として示したもの
である。図３の（ａ）は発振回路１の発振周波数信号
（緩衝増幅器２の増幅出力波形も同じ）を示したもの
で、この実施例では、500 ＭHzから３ＧHzの範囲の一定
の発振周波数が用いられる。同図の（ｂ）は、低周波発
振回路17の信号によって動作する図２のダイオードスイ
ッチ回路から出力される信号を模式的に示すもので、こ
の低周波発振回路17は、回路構成に応じて、パルス状の
間欠信号や、正弦状信号を発振出力する。この低周波発
振回路17の発振の周波数は、検出針10で検出される外部
静電容量の変化の最高周波数に対してサンプリング定理
が適用できる周波数を持つと共に、発振回路１の発振周
波数に対して（１／10）以下の周波数に設定することが
好ましく、本実施例ではこの範囲の発振周波数に設定し
ている。

【００３０】図３の（ｃ）は、前記発振回路１の発振周
波数信号と、信号切り替え回路14の間欠切り替え信号と
の関係を模式的に示すもので、間欠切り替え信号のオフ
区間では、発振回路１の発振周波数信号の出力がほぼ零
となっており、間欠切り替え信号がオンのときのみ発振
周波数信号が出力されていることがわかる。なお、この
図３の（ｃ）に示す波形は、信号切り替え回路14の抵抗
器ＲＶの抵抗常数を飽和状態に設定した事例を示してお
り、この抵抗器ＲＬの抵抗常数を変えることにより、同
図の（ｄ）に示すような信号波形が得られることとな
り、抵抗器ＲＬの抵抗常数を可変設定することにより、
図３の（ｃ）と（ｄ）の信号出力波形を選択設定するこ
とができる。

【００３１】図３の（ｅ）は、検出針10で検出される外
部静電容量の変化の信号波形を示すものである。共振回
路３は図３の（ｃ）又は（ｄ）に示す間欠発振周波数信
号を同図の（ｅ）に示される外部静電容量変化で変調し
た図４の（ｆ）又は（ｇ）のＡＭ変調信号を出力する。
図４の（ｆ）は図３の（ｃ）の信号を変調した波形であ
り、図４の（ｇ）は図３の（ｄ）の信号を変調した波形
である。図４の（ｈ）および（ｉ）は検波回路５で検波
された波形をそれぞれ示している。図４の（ｈ）は同図
の（ｇ）の信号を包絡線検波した波形であり、同図の
（ｉ）は同図の（ｆ）の信号を包絡線検波した波形を示
している。これら、検波回路５で検波された交流的な信
号は低周波増幅回路の信号増幅回路７ａで信号増幅され
た後、第２検波回路15で直流信号に変換され、次の直流
増幅回路である信号増幅回路７ｂで直流増幅されて所望
の信号処理回路に加えられる。

【００３２】本実施例によれば、信号切り替え回路14に
より、発振回路１の発振周波数信号が間欠信号に変換さ
れて共振回路３に加えられるので、発振回路１や緩衝増
幅器２等の高周波回路側で、たとえ、不要信号等に起因
して直流成分の変動、つまり、直流ドリフトが生じて
も、この直流ドリフト成分は信号切り替え回路14で間欠
信号に変換されるときに除去されることとなり、このド
リフト成分が信号増幅回路７ｂで微小静電容量の検出信
号と共に信号増幅されて出力されるというもとがなくな
る。このように、高周波回路側のインピーダンスの不整
合や不要信号の影響による直流ドリフトの問題が除去さ
れるので、直流増幅回路である信号増幅回路７ｂのゲイ
ンを高くしても、前記直流ドリフト成分の影響がなくな
り、Ｓ／Ｎ比の優れた直流増幅が達成でき、セラミック
共振形静電センサ装置が持つ微小静電容量の高分解能検
出性能を十分に発揮することができる。

【００３３】また、図７や図８に示すような多チャンネ
ル形静電センサ装置を構成した場合においても、たと
え、高周波回路側で、各チャンネルの発振周波数信号が
微妙にずれてビート信号が発生したリ、あるいは各チャ
ンネル間の高周波回路側のインピーダンスの不整合によ
りノイズ信号が発生混入して、これらが直流のノイズド
リフト成分となっても、この直流ノイズ成分は前記の如
く、信号切り替え回路14によって、発振回路１の発振周
波数信号が間欠信号に変換されるときに除去されること
となるので、従来の多チャンネル化した直流検出形静電
センサ装置の避けがたい問題点を一気に解決することが
可能となる。なお、多チャンネル形の静電センサ装置を
構成する場合には、各チャンネルの信号切り替え回路14
の信号切り替え時期をオーバーラップしないようにずら
し、あるチャンネルの信号切り替え回路14がオン状態の
ときには多のチャンネルの信号切り替え回路14はオフ動
作状態となるように低周波発振回路17から出力されるス
イッチ制御信号の動作タイミングをずらすように構成す
ることとなる。

【００３４】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
とはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記
実施例では、外部環境の変化等に起因して共振回路３の
共振点がずれるのを防止するためにＡＦＣ回路６を設け
たが、このＡＦＣ回路６はＡＧＣ（Automatic Gain Con
trol）としての機能をも有しており、ＡＦＣ回路の代わ
りに単にＡＧＣ回路を設けてもよい。また、ＡＦＣ回路
６は省略されることもある。

【００３５】また、本実施例では信号切り替え回路をＰ
ＩＮダイオードを用いたダイオードスイッチ回路で構成
したが、この信号切り替え回路は搬送波の周波数が低い
ときにはダイオード以外のスイッチ素子を用いて構成す
ることができる。ただ、本実施例のように、ＰＩＮダイ
オードを用いてスイッチ回路を構成する場合には、回路
構成が容易となり、回路コストを安価に形成できるとい
う効果が得られる。

【００３６】

【発明の効果】本発明は、発振回路の発振周波数信号を
増幅出力する緩衝増幅器に、該緩衝増幅器の信号出力を
間欠的に切り替える信号切り替え回路を接続した構成と
したものであるから、発振回路と緩衝増幅器側の高周波
回路側で、インピーダンスの不整合や不要信号のノイズ
混入等に起因して直流ノイズ成分のレベル変動（直流ド
リフト）が発生しても、信号切り替え回路により、発振
回路の発振周波数信号が間欠的に共振回路側に加えられ
ることで、前記直流ノイズ成分のレベル変動の影響が除
去されることとなり、これにより、直流ノイズ成分の影
響を受けない高分解能（高感度）のもとで微小静電容量
の変化を検出することができる。

【００３７】したがって、本発明の静電センサ装置を複
数配列配置して多チャンネル化した装置として構成した
場合においても、各チャンネルのインピーダンスの不整
合や各チャンネルの発振周波数信号の微妙なずれ等に起
因するビート等の不要信号の影響を受けて、たとえ、直
流ノイズ成分が混入しても、これら直流ノイズ成分の影
響のない多チャンネルの信号処理が可能となり、セラミ
ック形静電センサの持つ高分解能（高感度）の性能を十
分に発揮することができる高性能の画期的な直流検出形
静電センサ装置の提供が可能となる。

【００３８】上記の如く、本発明の直流検出形静電セン
サ装置は、直流増幅回路のゲインを高めても、直流ノイ
ズ成分の影響がなくなることで、交流検出形センサと同
等な微小静電容量の検出安定性が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すブロック構成図であ
る。

【図２】図１の回路の切り替え増幅器に形成されるダイ
オードスイッチ回路の詳細回路図である。

【図３】本実施例の各回路部分の波形の模式図である。

【図４】同じく本実施例の各回路部分の波形の模式図で
ある。

【図５】従来の直流検出形静電センサ装置のブロック構
成図である。

【図６】共振形静電センサ装置の微小静電容量変化の検
出原理図である。

【図７】従来の多チャンネル形静電センサ装置のブロッ
ク構成図である。

【図８】発振回路を１個のもので共通化した多チャンネ
ル形静電センサ装置のブロック構成図である。

【符号の説明】

１ 発振回路 ２ 緩衝増幅器 ３ 共振回路 10 検出針 14 信号切り替え回路 17 低周波発振回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 発振周波数信号を出力する発振回路と、
   外部静電容量の変化に対応して共振点を偏倚し前記発振
   周波数信号を搬送波となして前記外部静電容量の変化で
   変調した信号を出力する共振回路とを有し、前記発振回
   路と共振回路にはそれぞれ専用のセラミック共振器が備
   えられている直流検出形静電センサ装置において、前記
   発振回路と共振回路間には緩衝増幅器が挿入配設されて
   おり、この緩衝増幅器には該緩衝増幅器の信号出力を間
   欠的に切り替える信号切り替え回路が接続されているこ
   とを特徴とする直流検出形静電センサ装置。
2. 【請求項２】 信号切り替え回路は、ＰＩＮダイオード
   を用いたダイオードスイッチ回路と、このダイオードス
   イッチ回路にスイッチ動作の制御信号を加えるスイッチ
   制御回路とを有して構成されている請求項１記載の直流
   検出形静電センサ装置。