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JPH0843103A - Measuring equipment for sensitivity of angular velocity sensor - Google Patents

Measuring equipment for sensitivity of angular velocity sensor

Info

Publication number
JPH0843103A
JPH0843103A JP18012394A JP18012394A JPH0843103A JP H0843103 A JPH0843103 A JP H0843103A JP 18012394 A JP18012394 A JP 18012394A JP 18012394 A JP18012394 A JP 18012394A JP H0843103 A JPH0843103 A JP H0843103A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pulse signal
angular velocity
velocity sensor
input terminal
reverse directions
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18012394A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kokichi Terajima
厚吉 寺嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Akai Electric Co Ltd
Original Assignee
Akai Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Akai Electric Co Ltd filed Critical Akai Electric Co Ltd
Priority to JP18012394A priority Critical patent/JPH0843103A/en
Publication of JPH0843103A publication Critical patent/JPH0843103A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To execute the measurement quickly by a simple structure, to improve productivity of an angular velocity sensor and to enable reduction of the cost of production by providing a fitting base and a driving part making the fitting base rotate in normal and reverse directions repeatedly. CONSTITUTION:A fitting face 12a of a fitting base 12 of an angular velocity sensor 11 to be measured is made horizontal practically and this fitting base 12 is made to rotate at a minute angle >=theta in normal and reverse directions repeatedly by a driving part 13 around the axis 14 being parallel to the fitting face 12a. Therefore, the fitting face 12a is always directed in the vertical direction virtually. On the occasion of regulation of the sensitivity of the sensor 11 fitted on the fitting face 12a, accordingly, the operation of regulation can be executed without stopping once equipment, and execution of the regulation in a short time and consequent reduction of the cost of production are made possible. Besides, a power supply line and a signal output line can be connected to the sensor 11 without using a slip ring or the like. Accordingly, a structure can be made simple, generation of noise is eliminated, the sensitivity of the sensor 11 can be measured quickly and an improvement of the productivity of the sensor 11 and reduction of the cost of production are made possible.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、角速度センサの感度
を測定するための装置、特に、大量生産される角速度セ
ンサの検出感度を迅速に測定し得る角速度センサの感度
測定装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for measuring the sensitivity of an angular velocity sensor, and more particularly to an apparatus for measuring the sensitivity of an angular velocity sensor that can quickly measure the detection sensitivity of mass-produced angular velocity sensors.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、角速度センサの感度を測定するに
あたっては、図7に示すように、ほぼ鉛直方向の回転軸
1を中心に回転可能な円盤状の取り付け台2上に、測定
すべき角速度センサ3を取り付け、この取り付け台2を
回転軸1を中心にほぼ水平面内で、一定速度で正転また
は反転させながら、角速度センサ3の検出感度を測定す
るようにしている。
2. Description of the Related Art Conventionally, when measuring the sensitivity of an angular velocity sensor, as shown in FIG. 7, an angular velocity to be measured is mounted on a disk-shaped mount 2 which is rotatable about a rotary shaft 1 in a substantially vertical direction. The sensor 3 is attached, and the detection sensitivity of the angular velocity sensor 3 is measured while the mount 2 is rotated in the normal direction or inverted at a constant speed in a substantially horizontal plane about the rotation axis 1.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、角速度
センサの感度を測定するには、角速度センサに電源を供
給しなければならないと共に、角速度センサからの出力
を測定しなければならないため、従来のように、角速度
センサ3を取り付け台2に取り付けて回転させる場合に
は、回転による電源線および信号出力線の捩れを防止す
るために、スリップリング等を介して電源の供給および
信号出力の取り出しを行う必要がある。このため、構造
が複雑になると共に、スリップリング等による接点不良
やノイズが発生するという問題がある。
However, in order to measure the sensitivity of the angular velocity sensor, the angular velocity sensor must be supplied with power and the output from the angular velocity sensor must be measured. When the angular velocity sensor 3 is mounted on the mounting base 2 and rotated, it is necessary to supply power and take out signal output via a slip ring or the like in order to prevent twisting of the power supply line and the signal output line due to rotation. There is. For this reason, there is a problem that the structure becomes complicated and a contact failure or noise occurs due to a slip ring or the like.

【0004】また、測定中に角速度センサ3の感度を調
整する場合には、取り付け台2の回転を一旦停止して、
例えば、角速度センサ3に設けられている検出アンプの
増幅度を、検出アンプに組み込まれているボリウム等に
より変更し、その後、再び取り付け台2を回転させて測
定を行う必要があるため、調整に長時間を要することに
なる。このため、角速度センサの生産性が低下して、生
産コストが上昇するという問題がある。
When adjusting the sensitivity of the angular velocity sensor 3 during measurement, the rotation of the mounting base 2 is temporarily stopped and
For example, it is necessary to change the amplification degree of the detection amplifier provided in the angular velocity sensor 3 by a volume or the like incorporated in the detection amplifier, and then rotate the mounting base 2 again to perform the measurement. It will take a long time. Therefore, there is a problem that the productivity of the angular velocity sensor is reduced and the production cost is increased.

【0005】この発明は、このような従来の問題点に着
目してなされたもので、簡単な構造で、迅速に測定で
き、したがって角速度センサの生産性を向上でき、生産
コストの低下が図れるよう適切に構成した角速度センサ
の感度測定装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made by paying attention to such a conventional problem, and has a simple structure and can perform quick measurement. Therefore, the productivity of the angular velocity sensor can be improved and the production cost can be reduced. An object of the present invention is to provide an appropriately configured angular velocity sensor sensitivity measuring device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の角速度センサの感度測定装置は、測定す
べき角速度センサを取り付けるほぼ水平な取り付け面を
有する取り付け台と、この取り付け台を前記取り付け面
とほぼ平行な軸を中心に正逆方向に反復回動させる駆動
部とを有することを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the sensitivity measuring device for an angular velocity sensor according to the present invention comprises a mounting base having a substantially horizontal mounting surface for mounting an angular velocity sensor to be measured, and the mounting base described above. And a drive unit that repeatedly rotates in forward and reverse directions about an axis substantially parallel to the mounting surface.

【0007】前記駆動部は、前記取り付け台を正逆方向
に反復回動させる回転機と、周波数掃引する第1のパル
ス信号を発生する第1のパルス信号発生器と、前記第1
のパルス信号よりも高周波数の第2のパルス信号を発生
する第2のパルス信号発生器とを有し、前記第1のパル
ス信号に基づいて前記回転機による前記取り付け台の正
逆方向の回動方向および周期を制御し、前記第2のパル
ス信号に基づいて前記回転機による前記取り付け台の回
動速度を制御するよう構成したことを特徴とするもので
ある。
The drive unit includes a rotating machine that repeatedly rotates the mounting table in forward and reverse directions, a first pulse signal generator that generates a first pulse signal for frequency sweeping, and the first unit.
A second pulse signal generator for generating a second pulse signal having a higher frequency than that of the pulse signal, and based on the first pulse signal, rotation of the mounting table in the forward and reverse directions by the rotating machine. The moving direction and the cycle are controlled, and the rotation speed of the mounting table by the rotating machine is controlled based on the second pulse signal.

【0008】前記駆動部は、前記取り付け台を正逆方向
に反復回動させる正転入力端子および逆転入力端子を有
する回転機と、周波数掃引する第1のパルス信号を発生
する第1のパルス信号発生器と、前記第1のパルス信号
よりも高周波数の第2のパルス信号を発生する第2のパ
ルス信号発生器と、前記第1のパルス信号と前記第2の
パルス信号とを合成する第1の合成回路と、前記第1の
パルス信号を反転する反転回路と、この反転回路の出力
信号と前記第2のパルス信号とを合成する第2の合成回
路とを有し、前記第1の合成回路の出力を、前記回転機
の前記正転入力端子または逆転入力端子に供給し、前記
第2の合成回路の出力を、前記回転機の前記逆転入力端
子または正転入力端子に供給して、前記回転機を正逆方
向に反復回動させるよう構成したことを特徴とするもの
である。
The drive unit includes a rotating machine having a forward rotation input terminal and a reverse rotation input terminal for repeatedly rotating the mounting base in forward and reverse directions, and a first pulse signal for generating a first pulse signal for frequency sweeping. A generator, a second pulse signal generator that generates a second pulse signal having a higher frequency than the first pulse signal, and a first pulse signal that combines the first pulse signal and the second pulse signal A first synthesizing circuit, an inverting circuit that inverts the first pulse signal, and a second synthesizing circuit that synthesizes the output signal of the inverting circuit and the second pulse signal. The output of the synthesis circuit is supplied to the forward rotation input terminal or the reverse rotation input terminal of the rotating machine, and the output of the second synthesis circuit is supplied to the reverse rotation input terminal or the forward rotation input terminal of the rotating machine. , Repeatedly rotating the rotating machine in forward and reverse directions It is characterized in that it has configured.

【0009】[0009]

【作用】この発明においては、測定すべき角速度センサ
を取り付ける取り付け台は、ほぼ水平な取り付け面を有
し、その取り付け面とほぼ平行な軸を中心に駆動部によ
って正逆方向に反復回動されることになるので、角速度
センサに電源を供給するための電源線および角速度セン
サからの出力を取り出すための信号出力線は、スリップ
リング等を介することなく、角速度センサに直接接続す
ることが可能となる。したがって、構造が簡単となり、
ノイズ等が発生することもなくなる。
In the present invention, the mounting base for mounting the angular velocity sensor to be measured has a substantially horizontal mounting surface, and is repeatedly rotated in the forward and reverse directions by the drive unit about an axis substantially parallel to the mounting surface. Therefore, the power supply line for supplying power to the angular velocity sensor and the signal output line for extracting the output from the angular velocity sensor can be directly connected to the angular velocity sensor without using a slip ring or the like. Become. Therefore, the structure becomes simple,
No noise is generated.

【0010】また、取り付け台は、ほぼ水平な取り付け
面とほぼ平行な軸を中心に正逆方向に反復回動するの
で、取り付け面は常にほぼ鉛直方向を向くことになる。
したがって、取り付け面に取り付けられた角速度センサ
の感度を調整の際、装置を一旦停止させることなく、調
整作業を行うことが可能となるので、調整を短時間でで
き、生産コストを下げることが可能となる。
Further, since the mounting base repeatedly rotates in the forward and reverse directions about an axis substantially parallel to the substantially horizontal mounting surface, the mounting surface always faces the vertical direction.
Therefore, when adjusting the sensitivity of the angular velocity sensor mounted on the mounting surface, it is possible to perform the adjustment work without temporarily stopping the device, so that the adjustment can be performed in a short time and the production cost can be reduced. Becomes

【0011】[0011]

【実施例】以下、この発明の実施例について、図面を参
照して説明する。図1(A)および(B)は、この発明
の第1実施例を示す側面図および正面図である。この実
施例は、測定すべき角速度センサ11の取り付け台12
の取り付け面12aを、ほぼ水平とし、この取り付け台
12を、取り付け面12aと平行な軸14を中心に、駆
動部13により正逆方向に微少角Δθで反復回動させる
ようにしたものである。したがって、取り付け面12a
は、常にほぼ鉛直方向を向くことになる。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 (A) and 1 (B) are a side view and a front view showing a first embodiment of the present invention. In this embodiment, the mount 12 for the angular velocity sensor 11 to be measured is used.
The mounting surface 12a is substantially horizontal, and the mounting base 12 is repeatedly rotated about the axis 14 parallel to the mounting surface 12a by the drive unit 13 in the forward and reverse directions at the minute angle Δθ. . Therefore, the mounting surface 12a
Will always face almost vertically.

【0012】図2(A)および(B)は、第1実施例の
変形例を示す側面図および正面図であり、取り付け台1
2を反復回動させた際に、角速度センサ11に遠心力が
作用するのを防止するために、取り付け台12の回動中
心軸14を、取り付け面12aに設置される角速度セン
サ11のほぼ中心を通るようにしたものである。この場
合も、取り付け面12aは、常にほぼ鉛直方向を向くこ
とになる。
2 (A) and 2 (B) are a side view and a front view showing a modified example of the first embodiment.
In order to prevent the centrifugal force from acting on the angular velocity sensor 11 when the angular velocity sensor 11 is repeatedly rotated, the rotation center shaft 14 of the mounting base 12 is set substantially at the center of the angular velocity sensor 11 installed on the mounting surface 12a. It was made to pass through. Also in this case, the mounting surface 12a always faces almost the vertical direction.

【0013】図3は、この発明の第2実施例を示すもの
である。この実施例は、第1実施例において、駆動部1
3に、取り付け台12を軸14を中心に正逆方向に反復
回動させる回転機15と、周波数掃引する第1のパルス
信号を発生する第1のパルス信号発生器16と、この第
1のパルス信号よりも高周波数の第2のパルス信号を発
生する第2のパルス信号発生器17とを設け、第1のパ
ルス信号および第2のパルス信号を回転機15に供給し
て、第1のパルス信号に基づいて回転機15による取り
付け台12の正逆方向の回動方向および周期を制御し、
第2のパルス信号に基づいて回転機15による取り付け
台12の回動速度を制御するよう構成したものである。
なお、回転機15としては、例えば、サーボモータ、ス
テッピングモータ等を用い、内部に第1のパルス信号に
基づいて回動方向および周期を制御し、第2のパルス信
号に基づいて回動速度を制御する駆動回路を設ける。
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. This embodiment is similar to the first embodiment except that the drive unit 1
3, a rotary machine 15 for repeatedly rotating the mounting base 12 in forward and reverse directions about a shaft 14, a first pulse signal generator 16 for generating a first pulse signal for frequency sweeping, and a first pulse signal generator 16 for the first pulse signal. A second pulse signal generator 17 for generating a second pulse signal having a frequency higher than that of the pulse signal is provided, and the first pulse signal and the second pulse signal are supplied to the rotating machine 15 to generate the first pulse signal. The rotation direction and the cycle of the mounting base 12 by the rotating machine 15 are controlled based on the pulse signal,
The rotation speed of the mounting base 12 by the rotating machine 15 is controlled based on the second pulse signal.
As the rotating machine 15, for example, a servo motor, a stepping motor, or the like is used, and the rotation direction and cycle are internally controlled based on the first pulse signal, and the rotation speed is controlled based on the second pulse signal. A drive circuit for controlling is provided.

【0014】すなわち、この実施例では、第1のパルス
信号として、特定の時間間隔で周波数掃引が繰り返され
る信号を出力させて、その信号レベルの高低により、回
転機15の回動を正逆方向に反復させ、その反復回動の
周期を第1のパルス信号の周波数に対応させる。また、
回転機15の回動速度を、第2のパルス信号の周波数に
対応させる。
That is, in this embodiment, as the first pulse signal, a signal in which the frequency sweep is repeated at a specific time interval is output, and the rotation of the rotating machine 15 is rotated in the forward and reverse directions depending on the level of the signal level. And the cycle of the repetitive rotation is made to correspond to the frequency of the first pulse signal. Also,
The rotation speed of the rotating machine 15 is made to correspond to the frequency of the second pulse signal.

【0015】図4は、この発明の第3実施例を示すもの
である。この実施例では、第2実施例において、回転機
15として正転入力端子18および逆転入力端子19を
有する、例えばサーボモータ、ステッピングモータ等を
用いる。また、第1のパルス信号発生器16からは、図
5(A)に示すように、特定の時間間隔で周波数掃引が
繰り返される第1のパルス信号を出力させ、第2のパル
ス信号発生器17からは、図5(B)に示すように、第
1のパルス信号よりも高周波数で一定周期の第2のパル
ス信号を出力させる。
FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention. In this embodiment, for example, a servomotor, a stepping motor or the like having a forward rotation input terminal 18 and a reverse rotation input terminal 19 is used as the rotating machine 15 in the second embodiment. In addition, as shown in FIG. 5A, the first pulse signal generator 16 outputs a first pulse signal in which frequency sweep is repeated at specific time intervals, and the second pulse signal generator 17 outputs the first pulse signal. Then, as shown in FIG. 5B, a second pulse signal having a higher frequency than the first pulse signal and a constant cycle is output.

【0016】第1のパルス信号および第2のパルス信号
は、OR回路20に供給して、図5(C)に示す合成信
号を得、この合成信号を回転機15の正転入力端子18
に供給する。また、第1のパルス信号は、インバータ2
1に供給して反転し、このインバータ21の出力信号
と、第2のパルス信号とをOR回路22に供給して、図
5(D)に示す合成信号を得、この合成信号を回転機1
5の逆転入力端子19に供給する。
The first pulse signal and the second pulse signal are supplied to the OR circuit 20 to obtain a composite signal shown in FIG. 5C, and the composite signal is supplied to the normal input terminal 18 of the rotating machine 15.
Supply to. In addition, the first pulse signal is the inverter 2
1 and inverts the output signal of the inverter 21 and the second pulse signal to the OR circuit 22 to obtain the combined signal shown in FIG. 5 (D).
5 to the reverse rotation input terminal 19.

【0017】したがって、回転機15は、正転入力端子
18に第2のパルス信号が供給されている間、その第2
のパルス信号の周波数に応じた速度で正転し、また、逆
転入力端子19に第2のパルス信号が供給されている
間、その第2のパルス信号の周波数に応じた速度で逆転
し、その正転および逆転の周期は、第1のパルス信号の
高低に同期したものとなる。
Therefore, the rotating machine 15 keeps the second input signal while the second pulse signal is being supplied to the normal input terminal 18.
Forward rotation at a speed according to the frequency of the pulse signal of, and while the second pulse signal is being supplied to the reverse input terminal 19, reverse rotation at a speed according to the frequency of the second pulse signal, The forward and reverse rotation cycles are synchronized with the height of the first pulse signal.

【0018】ここで、取り付け台12に取り付けた角速
度センサ11の感度を測定する場合には、回転機15
に、例えばエンコーダ等の回転速度検出器23を連結
し、その出力を周波数−電圧変換器(F−V)24およ
びフリップフロップ回路(FF)25に供給して、回転
速度および回転方向を検出し、これらの出力を乗算器2
6で乗算してアナログの基準出力を得る。この基準出力
は、角速度センサ11の検出出力とともに、例えばFF
Tアナライザ等よりなる振幅および位相測定器27に供
給し、ここで基準出力に対する検出出力の過不足を測定
して、角速度センサ11の検出感度を測定し、それに基
づいて感度調整を行う。図6(A)および(B)は、こ
のようにして測定した振幅特性および位相特性の測定結
果の一例を示すものである。
When measuring the sensitivity of the angular velocity sensor 11 mounted on the mounting base 12, the rotating machine 15 is used.
To a frequency-voltage converter (F-V) 24 and a flip-flop circuit (FF) 25 to detect the rotation speed and the rotation direction. , These outputs the multiplier 2
Multiply by 6 to get the analog reference output. This reference output is, for example, FF together with the detection output of the angular velocity sensor 11.
It is supplied to an amplitude and phase measuring device 27 composed of a T-analyzer or the like, where the excess or deficiency of the detection output with respect to the reference output is measured, the detection sensitivity of the angular velocity sensor 11 is measured, and the sensitivity adjustment is performed based on this. FIGS. 6A and 6B show an example of measurement results of the amplitude characteristic and the phase characteristic thus measured.

【0019】なお、図4では、OR回路20の出力を正
転入力端子18に、OR回路22の出力を逆転入力端子
19にそれぞれ供給するようにしているが、逆に、OR
回路22の出力を正転入力端子18に、OR回路20の
出力を逆転入力端子19にそれぞれ供給しても、動作は
同様である。したがって、OR回路20,22に代え
て、それぞれAND回路を用いて同様の作用を行わせる
こともできる。
In FIG. 4, the output of the OR circuit 20 is supplied to the normal input terminal 18 and the output of the OR circuit 22 is supplied to the reverse input terminal 19, respectively.
Even if the output of the circuit 22 is supplied to the normal input terminal 18 and the output of the OR circuit 20 is supplied to the reverse input terminal 19, the operation is similar. Therefore, instead of the OR circuits 20 and 22, AND circuits may be used to perform the same operation.

【0020】[0020]

【発明の効果】この発明によれば、測定すべき角速度セ
ンサを取り付けるほぼ水平な取り付け面を有する取り付
け台を、取り付け面とほぼ平行な軸を中心に正逆方向に
反復回動させるようにしたので、スリップリング等を用
いることなく、角速度センサに電源線および信号出力線
を接続することができる。したがって、構造を簡単にで
きると共に、ノイズの発生もなく、角速度センサの感度
を迅速かつ容易に測定、調整することができるので、角
速度センサの生産性を向上でき、生産コストを低下させ
ることができる。
According to the present invention, the mounting base having the substantially horizontal mounting surface for mounting the angular velocity sensor to be measured is repeatedly rotated in the forward and reverse directions about the axis substantially parallel to the mounting surface. Therefore, the power supply line and the signal output line can be connected to the angular velocity sensor without using a slip ring or the like. Therefore, the structure can be simplified, and the sensitivity of the angular velocity sensor can be measured and adjusted quickly and easily without generating noise, so that the productivity of the angular velocity sensor can be improved and the production cost can be reduced. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の第1実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】第1実施例の変形例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a modification of the first embodiment.

【図3】この発明の第2実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】同じく、第3実施例を示す図である。FIG. 4 is likewise a diagram showing a third embodiment.

【図5】第3実施例の各部の信号波形を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a signal waveform of each part of the third embodiment.

【図6】第3実施例による測定結果の一例を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing an example of measurement results according to a third embodiment.

【図7】従来の技術を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 角速度センサ 12 取り付け台 12a 取り付け面 13 駆動部 14 軸 15 回転機 16 第1のパルス信号発生器 17 第2のパルス信号発生器 11 Angular Velocity Sensor 12 Mounting Base 12a Mounting Surface 13 Drive Unit 14 Shaft 15 Rotating Machine 16 First Pulse Signal Generator 17 Second Pulse Signal Generator

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定すべき角速度センサを取り付けるほ
ぼ水平な取り付け面を有する取り付け台と、 この取り付け台を前記取り付け面とほぼ平行な軸を中心
に正逆方向に反復回動させる駆動部とを有することを特
徴とする角速度センサの感度測定装置。
1. A mounting base having a substantially horizontal mounting surface for mounting an angular velocity sensor to be measured, and a drive unit for repeatedly rotating the mounting base in forward and reverse directions about an axis substantially parallel to the mounting surface. An angular velocity sensor sensitivity measuring device having.
【請求項2】 前記駆動部は、 前記取り付け台を正逆方向に反復回動させる回転機と、 周波数掃引する第1のパルス信号を発生する第1のパル
ス信号発生器と、 前記第1のパルス信号よりも高周波数の第2のパルス信
号を発生する第2のパルス信号発生器とを有し、 前記第1のパルス信号に基づいて前記回転機による前記
取り付け台の正逆方向の回動方向および周期を制御し、
前記第2のパルス信号に基づいて前記回転機による前記
取り付け台の回動速度を制御するよう構成したことを特
徴とする請求項1記載の角速度センサの感度測定装置。
2. The drive unit, a rotating machine that repeatedly rotates the mounting table in forward and reverse directions, a first pulse signal generator that generates a first pulse signal for frequency sweeping, and the first A second pulse signal generator for generating a second pulse signal having a frequency higher than that of the pulse signal, and rotation of the mount in forward and reverse directions by the rotating machine based on the first pulse signal. Control direction and cycle,
The sensitivity measuring device for an angular velocity sensor according to claim 1, wherein the rotational speed of the mounting base by the rotating machine is controlled based on the second pulse signal.
【請求項3】 前記駆動部は、 前記取り付け台を正逆方向に反復回動させる正転入力端
子および逆転入力端子を有する回転機と、 周波数掃引する第1のパルス信号を発生する第1のパル
ス信号発生器と、 前記第1のパルス信号よりも高周波数の第2のパルス信
号を発生する第2のパルス信号発生器と、 前記第1のパルス信号と前記第2のパルス信号とを合成
する第1の合成回路と、 前記第1のパルス信号を反転する反転回路と、 この反転回路の出力信号と前記第2のパルス信号とを合
成する第2の合成回路とを有し、 前記第1の合成回路の出力を、前記回転機の前記正転入
力端子または逆転入力端子に供給し、前記第2の合成回
路の出力を、前記回転機の前記逆転入力端子または正転
入力端子に供給して、前記回転機を正逆方向に反復回動
させるよう構成したことを特徴とする請求項1記載の角
速度センサの感度測定装置。
3. The drive unit includes a rotating machine having a forward rotation input terminal and a reverse rotation input terminal for repeatedly rotating the mounting base in forward and reverse directions, and a first pulse signal for generating a frequency-swept first pulse signal. A pulse signal generator, a second pulse signal generator that generates a second pulse signal having a frequency higher than that of the first pulse signal, and a combination of the first pulse signal and the second pulse signal. A first synthesizing circuit, an inverting circuit that inverts the first pulse signal, and a second synthesizing circuit that synthesizes the output signal of the inverting circuit and the second pulse signal. The output of the first combination circuit is supplied to the forward rotation input terminal or the reverse rotation input terminal of the rotary machine, and the output of the second combination circuit is supplied to the reverse rotation input terminal or the forward rotation input terminal of the rotary machine. Then, the rotating machine is repeatedly rotated in the forward and reverse directions. Sensitivity measuring device of an angular velocity sensor according to claim 1, characterized by being configured so as to.
JP18012394A 1994-08-01 1994-08-01 Measuring equipment for sensitivity of angular velocity sensor Pending JPH0843103A (en)

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