[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH0837441A - Piezoelectric resonator - Google Patents

Piezoelectric resonator

Info

Publication number
JPH0837441A
JPH0837441A JP17113694A JP17113694A JPH0837441A JP H0837441 A JPH0837441 A JP H0837441A JP 17113694 A JP17113694 A JP 17113694A JP 17113694 A JP17113694 A JP 17113694A JP H0837441 A JPH0837441 A JP H0837441A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
resonance
electrode
resonator
piezoelectric resonator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP17113694A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3077517B2 (en
Inventor
Hiroaki Kaida
弘明 開田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP06171136A priority Critical patent/JP3077517B2/en
Publication of JPH0837441A publication Critical patent/JPH0837441A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3077517B2 publication Critical patent/JP3077517B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the small sized piezoelectric resonator used suitably for a frequency band of 1MHz or over with an excellent energy confinement efficiency. CONSTITUTION:First and second link sections 23, 24 are linked respectively to one end of a side face of a short side of a piezoelectric board 22 having a couple of rectangular faces opposite to each other and whose planer shape is rectangular and support sections 25, 26 are linked to the outside of the 1st and 2nd link sections 23, 24. A 1st resonance electrode 28 is formed on an upper side of the piezoelectric board 22 and a 2nd resonance electrode 29 is formed on a lower side of the piezoelectric board 22. The piezoelectric board 22 is polarized uniformly in the thickness direction, and a ratio of a length of a long side (b) to a length of a short side (a) is selected to be b/a=n(0.3sigma+1.48)+ or -10%, where (n) is an integer and sigma is a poisson's ratio of a material for the piezoelectric vibrator section.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、新規な振動モードを利
用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子及びチップ型
圧電共振部品に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an energy trap type piezoelectric resonator and a chip type piezoelectric resonance component using a novel vibration mode.

【0002】[0002]

【従来の技術】図1は、従来のすべりモードを利用した
エネルギー閉じ込め型の圧電共振子を示す斜視図であ
る。圧電共振子1は、矩形板状の圧電セラミック板2を
有する。圧電セラミック板2は、一方端面2aから他方
端面2b側に向かって分極処理されている(分極方向を
矢印Pで示す。)。圧電セラミック板2の上面2c上に
は共振電極3が、下面2d上には共振電極4が形成され
ている。
2. Description of the Related Art FIG. 1 is a perspective view showing a conventional energy trap type piezoelectric resonator utilizing a sliding mode. The piezoelectric resonator 1 has a rectangular plate-shaped piezoelectric ceramic plate 2. The piezoelectric ceramic plate 2 is polarized from one end surface 2a toward the other end surface 2b (the polarization direction is indicated by an arrow P). A resonance electrode 3 is formed on the upper surface 2c of the piezoelectric ceramic plate 2, and a resonance electrode 4 is formed on the lower surface 2d.

【0003】共振電極3は、端面2b側から中央に向か
って延ばされている。共振電極4は、端面2aから中央
に向かって延ばされている。共振電極3,4は、圧電セ
ラミック板2の中央領域において、圧電セラミック板2
を介して表裏対向するように重なり合わされている。
The resonance electrode 3 extends from the end face 2b side toward the center. The resonance electrode 4 extends from the end surface 2a toward the center. The resonance electrodes 3 and 4 are arranged in the central area of the piezoelectric ceramic plate 2 so that
Are overlapped so as to face each other through.

【0004】圧電共振子1では、共振電極3,4から交
流電圧を印加することにより、共振電極3,4が重なり
合っている領域、すなわち共振部がすべりモードで励振
される。この場合、振動のエネルギーは、共振電極3,
4が重なり合っている共振部に閉じ込められ、端面2
a,2b側にはあまり漏洩しない。
In the piezoelectric resonator 1, when an alternating voltage is applied from the resonance electrodes 3 and 4, a region where the resonance electrodes 3 and 4 overlap, that is, a resonance portion is excited in a slip mode. In this case, the vibration energy is
4 is confined in the overlapping resonance part, and the end face 2
It does not leak much to the a and 2b sides.

【0005】すなわち、圧電共振子1は、すべりモード
を利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子である。
従って、端面2a,2b近傍において機械的に保持する
ことにより、ケース材や回路基板等に固定することがで
きる。
That is, the piezoelectric resonator 1 is an energy trap type piezoelectric resonator utilizing a sliding mode.
Therefore, it can be fixed to the case member, the circuit board or the like by mechanically holding it in the vicinity of the end faces 2a and 2b.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】エネルギー閉じ込め型
の圧電共振子1では、振動のエネルギーは共振部に良好
に閉じ込められることが必要である。さもないと、端面
2a,2b側の部分において機械的に保持した場合に振
動が阻害され、所望の共振特性を得ることができない。
In the energy trap type piezoelectric resonator 1, it is necessary for the vibration energy to be favorably trapped in the resonance portion. Otherwise, when mechanically holding the end faces 2a and 2b, vibration is disturbed and desired resonance characteristics cannot be obtained.

【0007】圧電共振子1において、振動エネルギーを
良好に閉じ込めるには、素子の長さLを長くする必要が
ある。また、圧電共振子1の共振周波数は、共振部の厚
み、すなわち素子の厚みtに依存する。例えば、共振周
波数が4MHzの圧電共振子1を得ようとした場合、厚
みtは0.3mm程度となり、2MHzの圧電共振子1
を得ようとした場合には厚みtは0.6mmとなる。
In the piezoelectric resonator 1, it is necessary to lengthen the element length L in order to satisfactorily trap the vibration energy. The resonance frequency of the piezoelectric resonator 1 depends on the thickness of the resonance part, that is, the thickness t of the element. For example, when trying to obtain the piezoelectric resonator 1 having a resonance frequency of 4 MHz, the thickness t becomes about 0.3 mm and the piezoelectric resonator 1 having a resonance frequency of 2 MHz is obtained.
When trying to obtain, the thickness t is 0.6 mm.

【0008】ところが、振動エネルギーを共振部に確実
に閉じ込めるには、厚みtが大きくなるにつれ、素子の
長さLを長くしなければならない。例えば、4MHzの
ときには、厚みtは0.3mmであるが、この場合共振
エネルギーを共振部に確実に閉じ込めるには、長さLを
5mm程度としなければならず、また2MHzの場合に
は厚みtは0.6mmとなるが、この場合には長さLを
10mm程度まで長くしなければならなかった。
However, in order to reliably confine the vibration energy in the resonance portion, the length L of the element must be increased as the thickness t increases. For example, the thickness t is 0.3 mm at 4 MHz, but in this case, the length L must be about 5 mm in order to reliably confine the resonance energy in the resonance portion, and the thickness t is 2 mm at 2 MHz. Becomes 0.6 mm, but in this case the length L had to be increased to about 10 mm.

【0009】その結果、すべりモードを利用したエネル
ギー閉じ込め型の圧電共振子1では、素子の長さ寸法L
が大きくならざるを得なかった。本発明の目的は、1M
Hz以上の周波数領域において好適に用いることがで
き、エネルギー閉じ込め効率を効果的に高め得る構造を
備えた新規な振動モードを利用した圧電共振子及びチッ
プ型圧電共振部品を提供することにある。
As a result, in the energy trap type piezoelectric resonator 1 utilizing the sliding mode, the element length dimension L
Was forced to grow. The object of the present invention is 1M
It is an object of the present invention to provide a piezoelectric resonator and a chip type piezoelectric resonance component that can be suitably used in a frequency range of Hz or higher and that has a structure that can effectively enhance energy trapping efficiency and that uses a novel vibration mode.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段及び作用】本発明により提
供される圧電共振子は、対向する一対の矩形の面と、一
対の矩形の面を結ぶ4つの側面とを有する圧電振動部
と、前記圧電振動部の前記一対の矩形面上に形成された
第1,第2の共振電極とを備え、前記矩形面の短辺の長
さをa、長辺の長さをb、圧電振動部を構成する材料の
ポアソン比をσとしたときに、比b/aが、
A piezoelectric resonator provided by the present invention comprises: a piezoelectric vibrating portion having a pair of opposed rectangular surfaces and four side surfaces connecting the pair of rectangular surfaces; The piezoelectric vibrating portion includes a first and a second resonance electrode formed on the pair of rectangular surfaces, the short side length of the rectangular surface is a, the long side length is b, and the piezoelectric vibrating portion is When the Poisson's ratio of the constituent materials is σ, the ratio b / a is

【0011】[0011]

【数2】 [Equation 2]

【0012】を満たす値を中心として±10%の範囲内
とされており、圧電横効果を利用して2n次(但し、n
は整数)の屈曲モードの振動を励振させる圧電共振子で
ある。
It is set within a range of ± 10% centering on a value satisfying the above condition, and the 2nth order (however, n
Is an integer) is a piezoelectric resonator that excites bending mode vibration.

【0013】すなわち、本発明は、一対の矩形面を有す
る圧電振動部の形状を上記特定の範囲とし、圧電横効果
を利用して2n次の屈曲振動モードを励振させる圧電共
振子であり、このような圧電共振子は、本願発明者によ
り初めて見いだされたものである。
That is, the present invention is a piezoelectric resonator in which the shape of a piezoelectric vibrating portion having a pair of rectangular surfaces is set to the above specific range, and a 2n-th order bending vibration mode is excited by utilizing the piezoelectric lateral effect. Such a piezoelectric resonator was first discovered by the inventor of the present application.

【0014】本発明の圧電共振子では、圧電共振子が上
記特定の形状を有するので、第1,第2の共振電極から
交流電圧を印加することにより、後述の実施例から明ら
かなように、2n次の屈曲振動モードが励振される。こ
の場合、振動のノード部は、圧電振動部の側面のうち、
上記矩形面の短辺に沿う側面の中央と、矩形面の中心と
に表れる。また、後述の実施例から明らかなように、上
記短辺に沿う側面の一端側部分に連結部を連結して機械
的に保持しても、振動が連結部にほとんど漏洩してこな
い。従って、上記側面の一方端部分を保持することによ
り、圧電共振子内に振動エネルギーを効果的に閉じ込め
ることができる。
In the piezoelectric resonator of the present invention, since the piezoelectric resonator has the above-mentioned specific shape, by applying an AC voltage from the first and second resonant electrodes, as will be apparent from the examples described later, The 2n-th order bending vibration mode is excited. In this case, the node part of the vibration is
It appears at the center of the side surface along the short side of the rectangular surface and the center of the rectangular surface. Further, as is apparent from the examples described below, even if the connecting portion is mechanically held by connecting the connecting portion to one end side portion along the short side, vibration hardly leaks to the connecting portion. Therefore, by holding the one end portion of the side surface, the vibration energy can be effectively trapped in the piezoelectric resonator.

【0015】なお、上記比b/aを、式(1)を満たす
値を中心として±10%の範囲内とする必要があるの
は、後述の実施例から明らかなように、上記範囲外では
圧電横効果を利用した2n次の屈曲振動モードを効果的
に励振することができず、従って圧電共振子を側面を利
用して保持した場合振動エネルギーを効果的に閉じ込め
得ないからである。なお、上記比b/aの範囲は、本願
発明者により実験的に確かめられたものである。
Incidentally, it is necessary to set the ratio b / a within the range of ± 10% around the value satisfying the expression (1), as will be apparent from the examples described later, outside the above range. This is because it is not possible to effectively excite the 2n-th order bending vibration mode utilizing the piezoelectric lateral effect, and thus it is not possible to effectively trap the vibration energy when the piezoelectric resonator is held by using the side surface. The range of the ratio b / a is experimentally confirmed by the inventor of the present application.

【0016】本発明の圧電共振子では、好ましくは、上
記圧電振動部の側面のうち、矩形面の短辺に沿う側面の
一端側に連結された連結部がさらに備えられる。この場
合、上記圧電横効果を利用した2n次の屈曲振動が、圧
電振動部に効果的に閉じ込められるため、連結部を利用
して圧電共振子を保持することができる。
The piezoelectric resonator of the present invention preferably further includes a connecting portion connected to one end side of the side surface of the piezoelectric vibrating portion along the short side of the rectangular surface. In this case, since the 2n-th order bending vibration utilizing the piezoelectric lateral effect is effectively confined in the piezoelectric vibrating portion, the piezoelectric resonator can be held by using the connecting portion.

【0017】また、本発明のより限定的な局面では、上
記圧電振動部の矩形面の短辺に沿う第1の側面と、上記
第1の側面と対向する第2の側面とに、それぞれ、第
1,第2の連結部が連結される。第1の連結部は、第1
の側面の一端側部分に連結され、第2の連結部は、第1
の連結部分が連結されている部分と対角線方向において
反対側となるように、第2の側面の一端側の部分に連結
される。このように、第1,第2の連結部を用いて圧電
振動部を保持した場合には、圧電振動部がその両側で保
持されるため、より安定な特性の圧電共振子を得ること
ができる。
Further, in a more limited aspect of the present invention, a first side surface along a short side of a rectangular surface of the piezoelectric vibrating portion and a second side surface facing the first side surface are respectively provided. The first and second connecting portions are connected. The first connecting portion is the first
Is connected to one end side portion of the side surface of the
Is connected to a portion on the one end side of the second side surface so that the connecting portion is opposite to the connected portion in the diagonal direction. As described above, when the piezoelectric vibrating portion is held by using the first and second connecting portions, the piezoelectric vibrating portion is held on both sides of the piezoelectric vibrating portion, so that the piezoelectric resonator having more stable characteristics can be obtained. .

【0018】さらに、上記連結部が備えられた圧電共振
子では、好ましくは、連結部の外側に保持部が連結され
る。この保持部は、好ましくは、連結部より大きな面積
を有するように構成され、それによって保持部を利用す
ることにより圧電共振子を外部に対してより安定に固定
することができる。
Further, in the piezoelectric resonator provided with the connecting portion, the holding portion is preferably connected to the outside of the connecting portion. The holding portion is preferably configured to have a larger area than the connecting portion, so that by using the holding portion, the piezoelectric resonator can be more stably fixed to the outside.

【0019】また、より好ましくは、上記保持部には、
引き出し電極が形成され、該引き出し電極は共振電極と
電気的に接続される。すなわち、保持部に設けられた引
き出し電極を利用して、外部との電気的接続を容易とす
ることができる。より好ましくは、上記引き出し電極
は、保持部の外周縁に至るように構成され、それによっ
て圧電共振子の外周縁において外部との電気的接続を果
たすことができる。
Further, more preferably, the holding portion is
An extraction electrode is formed, and the extraction electrode is electrically connected to the resonance electrode. That is, it is possible to facilitate electrical connection to the outside by using the extraction electrode provided in the holding portion. More preferably, the extraction electrode is configured so as to reach the outer peripheral edge of the holding portion, whereby the outer peripheral edge of the piezoelectric resonator can be electrically connected to the outside.

【0020】また、上記第1,第2の連結部が連結され
ている構造においては、上記第1,第2の共振電極は、
第1,第2の連結部が連結されていない側の一対のコー
ナー部を結ぶ対角線に沿うように圧電振動部の矩形面上
に形成され、それによって圧電横効果を利用した2n次
の屈曲振動が効果的に励振される。
In the structure in which the first and second connecting portions are connected, the first and second resonant electrodes are
The first and second connecting portions are formed on the rectangular surface of the piezoelectric vibrating portion along a diagonal line connecting the pair of corner portions on the non-connected side, whereby the 2n-th order bending vibration utilizing the piezoelectric lateral effect Is effectively excited.

【0021】また、上記振動を効果的に励振するために
は、第1,第2の共振電極は、第1,第2の連結部が連
結されている部分近傍において、それぞれ、上記矩形面
上に形成されていてもよい。
Further, in order to effectively excite the vibration, the first and second resonant electrodes are respectively provided on the rectangular surface in the vicinity of the portion where the first and second connecting portions are connected. It may be formed in.

【0022】また、本発明の圧電共振子においては、上
記連結部と保持部との間に、動吸振部が備えられていて
もよく、それによって、連結部に漏洩してきたわずかな
振動が、動吸振現象により該動吸振部によって抑制され
る。従って、保持部を利用して機械的に支持した場合、
エネルギー閉じ込め効率が一層優れている圧電共振子を
実現することができる。
Further, in the piezoelectric resonator of the present invention, a dynamic vibration absorbing portion may be provided between the connecting portion and the holding portion, whereby a slight vibration leaking to the connecting portion can be prevented. It is suppressed by the dynamic vibration absorbing part due to the dynamic vibration absorbing phenomenon. Therefore, when mechanically supporting using the holding part,
It is possible to realize a piezoelectric resonator having a further excellent energy trapping efficiency.

【0023】本発明のチップ型圧電共振部品は、上述し
た本発明の圧電共振子と、圧電共振子の振動部分の振動
を妨げないための空間を有するようにして上記圧電共振
子の上下に貼り合わされた第1,第2のケース基板とを
備える。上記振動を妨げないための空間は、第1,第2
のケース基板に、それぞれ、圧電共振子側に開いた凹部
を形成することによって構成してもよく、あるいは、第
1,第2のケース基板と、圧電共振子との間に矩形枠状
のスペーサを介在させることにより構成してもよい。な
お、このスペーサは、第1,第2のケース基板を貼り合
わせるための接着剤により構成してもよい。
The chip-type piezoelectric resonance component of the present invention has the above-described piezoelectric resonator of the present invention and a space for not disturbing the vibration of the vibrating portion of the piezoelectric resonator, and is attached above and below the piezoelectric resonator. And a combined first and second case substrate. The space for not hindering the vibration is the first and second spaces.
May be formed by forming recesses open to the piezoelectric resonator side in each of the case substrates, or a rectangular frame-shaped spacer between the first and second case substrates and the piezoelectric resonator. You may comprise by interposing. The spacer may be made of an adhesive for bonding the first and second case substrates together.

【0024】好ましくは、本発明のチップ型圧電共振部
品では、上記圧電共振子は、圧電振動部の短辺側の両側
に連結された第1,第2の連結部及び第1,第2の保持
部を有し、この保持部に、上記第1,第2のケース基板
が接着される。
Preferably, in the chip-type piezoelectric resonance component of the present invention, the piezoelectric resonator has first and second connecting portions and first and second connecting portions which are connected to both sides of the piezoelectric vibrating portion on the short side. A holding portion is provided, and the first and second case substrates are bonded to the holding portion.

【0025】また、上記圧電共振子の圧電振動部の長辺
側の両側に、圧電振動部の振動を妨げないための空隙を
隔てて第1,第2のスペーサ板が接合されてもよい。第
1,第2のスペーサ板を接合することにより、圧電共振
子の側方の空間を封止することができる。
Further, the first and second spacer plates may be joined to both sides of the piezoelectric resonator of the piezoelectric resonator on the long side of the piezoelectric resonator with a gap for preventing vibration of the piezoelectric resonator. By joining the first and second spacer plates, the space on the side of the piezoelectric resonator can be sealed.

【0026】上記圧電共振子及び第1,第2のスペーサ
板は、一体の部材で構成されていてもよく、それによっ
て、圧電共振子の側方の空間の封止を、確実なものとす
ることができる。
The piezo-resonator and the first and second spacer plates may be formed of an integral member, which ensures the sealing of the lateral space of the piezo-resonator. be able to.

【0027】また、本発明の圧電共振子の特定的な局面
では、上記第1の共振電極が一対の電極により構成さ
れ、それによって単一モード圧電フィルタとしての圧電
共振子が提供される。この場合、上記一対の電極の一方
が入力電極、他方が出力電極とされる。
Further, according to a specific aspect of the piezoelectric resonator of the present invention, the first resonant electrode is composed of a pair of electrodes, whereby a piezoelectric resonator as a single mode piezoelectric filter is provided. In this case, one of the pair of electrodes serves as an input electrode and the other serves as an output electrode.

【0028】また、本発明の圧電共振子は、第1,第2
の圧電振動部、すなわち2個の圧電振動部を有するよう
に構成してもよい。第1,第2の圧電振動部を有する構
成においては、第1,第2の圧電振動部の上記矩形面の
短辺に沿う側面同士を連結部により連結し、それによっ
て2重モード圧電フィルタを構成することができる。
Further, the piezoelectric resonator of the present invention includes the first and second
The piezoelectric vibrating section, that is, two piezoelectric vibrating sections may be provided. In the configuration including the first and second piezoelectric vibrating portions, the side surfaces of the first and second piezoelectric vibrating portions along the short sides of the rectangular surface are connected to each other by the connecting portion, whereby the dual mode piezoelectric filter is formed. Can be configured.

【0029】また、上記2重モード圧電フィルタを構成
した構造においては、圧電共振子の矩形面の一対の長辺
側の側面の外側に、それぞれ、振動部分の振動を妨げな
いための空隙を隔てて第1,第2のスペーサ板を接合
し、さらに、上下に振動部分の振動を妨げないための空
間を構成するようにして第1,第2のケース基板を貼り
合わせることにより、チップ型の圧電部品として上記2
重モード圧電フィルタを構成することも可能である。
In addition, in the structure having the double mode piezoelectric filter, a gap is formed on the outside of the pair of long sides of the rectangular surface of the piezoelectric resonator so as not to interfere with the vibration of the vibrating portion. By joining the first and second spacer plates together, and further by bonding the first and second case substrates so as to form a space for not disturbing the vibration of the vibrating portion in the vertical direction, 2 as the piezoelectric component
It is also possible to construct a double mode piezoelectric filter.

【0030】なお、本発明で用いられる一対の矩形面を
有する圧電振動部を構成する圧電材料としては、チタン
酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミック
ス、LiTaO3 もしくはLiNbO3 などの圧電単結
晶が挙げられる。また、上記圧電振動部は、一対の矩形
面を有する金属や半導体からなる部材の該矩形面上に、
圧電セラミックスや圧電性を示す合成樹脂よりなる圧電
薄膜を形成した構造を用いて構成することも可能であ
る。
The piezoelectric material forming the piezoelectric vibrating portion having a pair of rectangular surfaces used in the present invention includes piezoelectric ceramics such as lead zirconate titanate-based ceramics and piezoelectric single crystals such as LiTaO 3 or LiNbO 3. Is mentioned. Further, the piezoelectric vibrating portion, on the rectangular surface of the member made of metal or semiconductor having a pair of rectangular surfaces,
It is also possible to use a structure in which a piezoelectric thin film made of piezoelectric ceramics or a synthetic resin exhibiting piezoelectricity is formed.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明の圧電共振子では、圧電振動部
が、上記比b/aが、式(1)を満たす値を中心として
±10%の範囲内とされている形状を有する。従って、
一対の矩形面上に形成された第1,第2の共振電極から
交流電圧を印加することにより、圧電横効果を利用した
2n次の屈曲振動モードが強く励振される。また、この
振動は、圧電振動部の矩形面の短辺に沿う側面の一方端
に連結部を連結しても該連結部にほとんど漏洩しない。
従って、上記連結部までの部分に、振動エネルギーを効
果的に閉じ込めることができる。上記2n次の屈曲振動
モードは、1MHz以上の周波数領域で用いるのに適し
た振動モードであり、従って、本発明によれば、エネル
ギー閉じ込め効率に優れた1MHz以上の周波数帯で用
い得る新規な圧電共振子を提供することができる。
According to the piezoelectric resonator of the present invention, the piezoelectric vibrating portion has a shape in which the ratio b / a is within a range of ± 10% around a value satisfying the expression (1). Therefore,
By applying an AC voltage from the first and second resonance electrodes formed on the pair of rectangular surfaces, the 2n-th order bending vibration mode utilizing the piezoelectric lateral effect is strongly excited. Further, even if the connecting portion is connected to one end of the side surface along the short side of the rectangular surface of the piezoelectric vibrating portion, this vibration hardly leaks to the connecting portion.
Therefore, the vibration energy can be effectively trapped in the portion up to the connecting portion. The 2n-th order bending vibration mode is a vibration mode suitable for use in a frequency range of 1 MHz or higher. Therefore, according to the present invention, a novel piezoelectric that can be used in a frequency band of 1 MHz or higher with excellent energy trapping efficiency. A resonator can be provided.

【0032】しかも、本発明の圧電共振子は、エネルギ
ー閉じ込め型の圧電共振子であるので、ばね端子などの
複雑な支持構造を必要としない。また、従来のすべりモ
ードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子のよう
に、振動部分と支持部分との間の距離を大きくする必要
がないため、圧電共振子の小型化を促進することが可能
となる。
Moreover, since the piezoelectric resonator of the present invention is an energy trap type piezoelectric resonator, it does not require a complicated support structure such as a spring terminal. Further, unlike the conventional energy trap type piezoelectric resonator utilizing the sliding mode, it is not necessary to increase the distance between the vibrating portion and the supporting portion, so that it is possible to promote miniaturization of the piezoelectric resonator. Become.

【0033】同様に、本発明のチップ型圧電共振部品
は、上記圧電共振子に対して、振動部分の振動を妨げな
いための空間を形成するようにして第1,第2のケース
基板を上下に貼り合わせるだけで構成されるため、小型
で、かつ製造容易なチップ型の圧電共振部品を提供する
ことが可能となる。
Similarly, in the chip-type piezoelectric resonance component of the present invention, the first and second case substrates are vertically arranged so as to form a space for preventing the vibration of the vibrating portion with respect to the piezoelectric resonator. It is possible to provide a chip-type piezoelectric resonance component that is small in size and easy to manufacture because it is configured only by bonding to.

【0034】さらに、本発明の圧電共振子では、第1の
共振電極を一対の電極で構成したり、第1,第2の振動
部を設けたりすることにより、単一モード圧電フィルタ
や2重モード圧電フィルタを容易に構成することができ
る。
Further, in the piezoelectric resonator of the present invention, the first resonance electrode is composed of a pair of electrodes, and the first and second vibrating portions are provided, whereby a single mode piezoelectric filter or a double-mode piezoelectric filter is provided. The mode piezoelectric filter can be easily configured.

【0035】[0035]

【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be clarified by describing embodiments with reference to the drawings.

【0036】本発明の振動モードの説明 本発明は、上述したように、本発明者により見い出され
た新しい振動モードを利用した圧電共振子である。この
新たに見い出された振動モードを、図2〜図6を参照し
て説明する。
Description of Vibration Mode of the Present Invention The present invention is a piezoelectric resonator utilizing the new vibration mode found by the present inventors as described above. This newly discovered vibration mode will be described with reference to FIGS.

【0037】今、図2に示すように、矩形の圧電板11
の両主面の全面に電極12,13を形成したモデルを考
える。圧電板11は、矩形の平面形状を有する。すなわ
ち、上面及び下面が矩形の平面形状を有する。また、圧
電板11は、厚み方向に、すなわち矢印P方向に一様に
分極処理されている。
Now, as shown in FIG. 2, the rectangular piezoelectric plate 11
Consider a model in which electrodes 12 and 13 are formed on the entire surfaces of both main surfaces. The piezoelectric plate 11 has a rectangular planar shape. That is, the upper surface and the lower surface have a rectangular planar shape. Further, the piezoelectric plate 11 is uniformly polarized in the thickness direction, that is, in the arrow P direction.

【0038】上記圧電板11を、電極12,13から交
流電圧を印加することにより振動させた場合の屈曲振動
の2次高調波を有限要素法により解析すると、圧電板1
1の平面形状がある範囲において、図3に示す振動モー
ドが励振されることがわかった。なお、図3は、有限要
素法により解析された振動モードを示し、元の形状が線
Aで示されており、ここでは、Bで示す変位状態と、B
で示す変位状態とは逆の変位状態との間で振動が繰り返
される。
When the piezoelectric plate 11 is vibrated by applying an AC voltage from the electrodes 12 and 13, the second harmonic of bending vibration is analyzed by the finite element method.
It was found that the vibration mode shown in FIG. Note that FIG. 3 shows a vibration mode analyzed by the finite element method, and the original shape is shown by a line A. Here, the displacement state shown by B and B
The vibration is repeated between the displacement state shown by and the displacement state opposite.

【0039】上記屈曲モードの2次高調波の振動が励振
される圧電板11を、一対の短辺に沿う一対の側面の各
一端側において保持した場合、図4に示すように、振動
エネルギーが閉じ込められることが確かめられた。すな
わち、図4に有限要素法により解析した変位分布を示す
ように、圧電板11の短辺側の側面11aの一端側に連
結部12を連結する。また、他方の短辺側に沿う側面1
1bの一端に連結部13を連結する。この場合、連結部
12と連結部13とは、圧電板11の上面の1つの対角
線の両端に連結されている。
When the piezoelectric plate 11 in which the vibration of the second harmonic of the bending mode is excited is held at each one end of the pair of side surfaces along the pair of short sides, as shown in FIG. It was confirmed to be confined. That is, as shown in FIG. 4 which shows the displacement distribution analyzed by the finite element method, the connecting portion 12 is connected to one end side of the side surface 11a on the short side of the piezoelectric plate 11. In addition, the side surface 1 along the other short side
The connecting portion 13 is connected to one end of 1b. In this case, the connecting portion 12 and the connecting portion 13 are connected to both ends of one diagonal line on the upper surface of the piezoelectric plate 11.

【0040】図4から明らかなように、上記連結部1
2,13を連結し、該連結部12,13により圧電板1
1を保持した場合、変位状態Cでは、連結部12,13
よりも外側の部分に変位が伝搬しないことがわかる。言
い換えれば、連結部12,13を、上記位置に連結する
ことにより、圧電板11の屈曲モードの2次高調波の振
動を連結部12,13までの部分に閉じ込め得ることが
わかる。
As is apparent from FIG. 4, the connecting portion 1 is
2 and 13 are connected, and the piezoelectric plate 1 is connected by the connecting portions 12 and 13.
1 is held, in the displacement state C, the connecting portions 12 and 13 are
It can be seen that the displacement does not propagate to the outside. In other words, it is understood that, by connecting the connecting portions 12 and 13 to the above position, the vibration of the second harmonic of the bending mode of the piezoelectric plate 11 can be confined to the connecting portions 12 and 13.

【0041】図4に示した変位状態Cにおける電荷分布
を調べたところ、図5に示す結果が得られた。すなわ
ち、圧電板11の上面において、+極性の領域が、図示
の仮想線Dに沿う方向に延び、この仮想線Dは、1つの
対角線に略沿うように延びている。また、他方の対角線
側のコーナー部分近傍に、−極性の電位の強い部分が表
れる。
When the charge distribution in the displacement state C shown in FIG. 4 was examined, the results shown in FIG. 5 were obtained. That is, on the upper surface of the piezoelectric plate 11, a + polarity region extends in the direction along the illustrated virtual line D, and the virtual line D extends substantially along one diagonal line. Further, in the vicinity of the corner portion on the other diagonal side, a portion having a strong negative polarity potential appears.

【0042】従って、上記連結部12,13を連結し
て、図4に示した変位Cと、その逆の変位状態との間で
振動する振動を強く励振させるには、図5に示した電荷
分布に応じて共振電極を形成すればよいと考えられる。
このような知見のもとに、後述の第1及び第2の圧電共
振子が考えられた。
Therefore, in order to strongly excite the vibration oscillating between the displacement C shown in FIG. 4 and the opposite displacement state by connecting the connecting portions 12 and 13, the charge shown in FIG. It is considered that the resonance electrodes may be formed according to the distribution.
Based on such knowledge, the first and second piezoelectric resonators described later were considered.

【0043】上記のように、矩形の圧電板11に連結部
12,13を連結し、両面の電極から電圧を印加して励
振させた場合に、屈曲モードの2次高調波が強く励振さ
れ、該振動のエネルギーが連結図12,13までに閉じ
込められ得る。このような効果は、圧電板11の寸法が
特定の範囲にある場合にのみ得られれることがわかっ
た。
As described above, when the connecting portions 12 and 13 are connected to the rectangular piezoelectric plate 11 and a voltage is applied from the electrodes on both sides to excite, the second harmonic of the bending mode is strongly excited, The vibrational energy can be trapped by the coupling diagrams 12, 13. It has been found that such an effect can be obtained only when the size of the piezoelectric plate 11 is within a specific range.

【0044】すなわち、本願発明者は、種々の寸法の圧
電板11を用いて、図4に示した変位状態Cと、逆の変
位状態との間で繰り返す振動を励振させたところ、圧電
板11の矩形面の長辺の長さをb、短辺の長さをaと
し、圧電板11を構成する材料のポアソン比をσとする
と、上述した式(1)を満たす値のときに上記振動が強
く励振され、かつ第1,第2の連結部12,13までの
部分に振動エネルギーが効果的に閉じ込められ得ること
がわかった。すなわち、比b/aを種々変更し、かつ種
々の圧電材料を用いて、図4に示したように有限要素法
により変位状態を解析した。その結果、上記屈曲モード
の2次高調波を効果的に連結部12,13までに閉じ込
めるには、比b/aと、圧電板11を構成する材料のポ
アソン比σとが、図6(a)に示す関係を満たせばよい
ことが確かめられた。この図6(a)の結果から、比b
/aが、
That is, the inventor of the present application excites repeated vibrations between the displacement state C shown in FIG. 4 and the reverse displacement state using the piezoelectric plates 11 of various sizes. Let b be the length of the long side of the rectangular surface, and a be the length of the short side of the rectangular surface, and let Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric plate 11 be σ. Was strongly excited, and it was found that the vibration energy can be effectively trapped in the portions up to the first and second connecting portions 12 and 13. That is, the displacement state was analyzed by the finite element method as shown in FIG. 4 by changing the ratio b / a variously and using various piezoelectric materials. As a result, in order to effectively confine the second harmonic of the bending mode to the connecting portions 12 and 13, the ratio b / a and the Poisson's ratio σ of the material forming the piezoelectric plate 11 are set as shown in FIG. It was confirmed that the relationship shown in () should be satisfied. From the result of FIG. 6A, the ratio b
/ A is

【0045】[0045]

【数3】 (Equation 3)

【0046】となるように、上記短辺の長さa及び長辺
の長さbを選択すればよいことがわかる。さらに、上記
比b/aが(0.3σ+1.48)の整数倍の場合に
も、上記と同様に、振動エネルギーが閉じ込められるこ
とを見い出した。
It is understood that the length a of the short side and the length b of the long side should be selected so that Further, it was found that vibration energy is confined in the same manner as above even when the ratio b / a is an integral multiple of (0.3σ + 1.48).

【0047】また、本願発明者は、あるポアソン比σの
圧電材料からなる圧電板を用いて、式(1)のnを、
0.85〜1.1まで変化させ、図4に示す変位量の最
も小さな点Pの変位量に対する変位量の最も大きな点Q
における変位量の比、すなわち相対変位(%)を測定し
た。結果を図6(b)に示す。
Further, the inventor of the present application uses a piezoelectric plate made of a piezoelectric material having a certain Poisson's ratio σ to calculate n in the equation (1) as
The point Q having the largest displacement amount with respect to the displacement amount of the point P having the smallest displacement amount shown in FIG. 4 is changed from 0.85 to 1.1.
The ratio of the amount of displacement at, that is, the relative displacement (%) was measured. The results are shown in Fig. 6 (b).

【0048】図6(b)から明らかなように、nの値が
0.9〜1.1の範囲であれば、上記相対変位は10%
以下であることがわかる。他方、相対変位が10%以下
の場合には、共振子を構成する場合に実質的に問題のな
いことがわかっている。従って、式(1)を満たす値か
ら±10%の範囲内であれば、圧電振動部に振動エネル
ギーを効果的に閉じ込めることができる。
As is apparent from FIG. 6B, when the value of n is 0.9 to 1.1, the relative displacement is 10%.
It can be seen that On the other hand, it has been found that when the relative displacement is 10% or less, there is substantially no problem in forming a resonator. Therefore, within the range of ± 10% from the value satisfying the expression (1), the vibration energy can be effectively trapped in the piezoelectric vibrating portion.

【0049】上記のように、短辺の長さがa、長辺の長
さb、圧電板を構成する材料のポアソン比がσの圧電振
動部において、上記比b/aを式(1)を満たす値から
±10%の範囲内とすることにより、エネルギー閉じ込
め効率に優れた圧電共振子を提供し得ることがわかっ
た。なお、上記屈曲モードの2次高調波の振動は、圧電
板11に連結部12,13を連結しない場合には、振動
のノードは、矩形面の中央と両短辺に沿う側面の中央に
存在することが確かめられた。
As described above, in the piezoelectric vibrating portion in which the short side length is a, the long side length is b, and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric plate is σ, the ratio b / a is calculated by the equation (1). It was found that a piezoelectric resonator excellent in energy trapping efficiency can be provided by setting the value within the range of ± 10% from the value satisfying the above condition. Note that, in the case of the vibration of the second harmonic of the bending mode, when the connecting portions 12 and 13 are not connected to the piezoelectric plate 11, the nodes of the vibration exist at the center of the rectangular surface and the center of the side surfaces along both short sides. It was confirmed to do.

【0050】第1の実施例の圧電共振子 図7は、第1の実施例に係る圧電共振子の平面図であ
り、図8は、圧電板を透かして下面側の電極形状を示し
た模式的平面図である。
Piezoelectric Resonator of First Embodiment FIG. 7 is a plan view of a piezoelectric resonator according to the first embodiment, and FIG. 8 is a schematic diagram showing an electrode shape on the lower surface side through a piezoelectric plate. FIG.

【0051】第1の実施例の圧電共振子21は、矩形の
圧電板22と連結部23,24と、保持部25,26と
を有する。圧電板22は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛
系圧電セラミックスのような圧電材料により構成されて
おり、圧電セラミックスの場合には、厚み方向に一様に
分極処理されている。圧電板22は、矩形の平面形状を
有し、短辺に沿う第1の側面22aの一端側に第1の連
結部23が連結されており、短辺に沿う第2の側面22
bの一端に第2の連結部24が連結されている。また、
連結部23,24の外側には、連結部23,24よりも
面積の大きな保持部25,26が連結されている。
The piezoelectric resonator 21 of the first embodiment has a rectangular piezoelectric plate 22, connecting portions 23 and 24, and holding portions 25 and 26. The piezoelectric plate 22 is made of a piezoelectric material such as lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics. In the case of piezoelectric ceramics, the piezoelectric plate 22 is uniformly polarized in the thickness direction. The piezoelectric plate 22 has a rectangular planar shape, the first connecting portion 23 is connected to one end side of the first side surface 22 a along the short side, and the second side surface 22 along the short side.
The second connecting portion 24 is connected to one end of b. Also,
The holding portions 25, 26 having a larger area than the connecting portions 23, 24 are connected to the outside of the connecting portions 23, 24.

【0052】本実施例の圧電共振子21では、上記圧電
板22、第1,第2の連結部23,24及び第1,第2
の保持部25,26は、一枚の圧電板を用意し、該圧電
板に溝27,28を形成することにより構成されてい
る。すなわち、圧電板22、第1,第2の連結部23,
24及び保持部25,26は、同一材料により一体的に
構成されている。もっとも、圧電板22、第1,第2の
連結部23,24及び第1,第2の保持部25,26は
それぞれ別の部材で構成されていてもよく、接着剤等に
より接合されて一体化されてもよい。
In the piezoelectric resonator 21 of this embodiment, the piezoelectric plate 22, the first and second connecting portions 23 and 24, and the first and second connecting portions are formed.
The holding portions 25 and 26 are formed by preparing a single piezoelectric plate and forming grooves 27 and 28 in the piezoelectric plate. That is, the piezoelectric plate 22, the first and second connecting portions 23,
24 and the holding portions 25 and 26 are integrally formed of the same material. However, the piezoelectric plate 22, the first and second connecting portions 23 and 24, and the first and second holding portions 25 and 26 may be composed of different members, respectively, and are joined by an adhesive or the like to be integrated. It may be converted.

【0053】圧電板22は、矩形の平面形状を有し、そ
の矩形面の長辺の長さをb、短辺の長さをaとしたとき
に、比b/aは、上述した式(1)を満たす値を中心と
して±10%の範囲内とされている。
The piezoelectric plate 22 has a rectangular planar shape, and when the length of the long side of the rectangular surface is b and the length of the short side is a, the ratio b / a is expressed by the above equation ( It is set within a range of ± 10% centered on the value satisfying 1).

【0054】圧電板22の上面には、第1の共振電極2
8が形成されており、下面には、第1の共振電極28と
圧電板22を介して対向するように第2の共振電極29
が形成されている。第1,第2の共振電極28,29
は、図5に示した+の極性の領域にほぼ合致するように
形成されている。すなわち、第1,第2の共振電極2
8,29は、図5に示した仮想線Dに沿う方向に、すな
わち一方の対角線に略沿う方向に延ばされている。
On the upper surface of the piezoelectric plate 22, the first resonance electrode 2
8 is formed on the lower surface of the second resonance electrode 29 so as to face the first resonance electrode 28 via the piezoelectric plate 22.
Are formed. First and second resonance electrodes 28, 29
Are formed so as to substantially coincide with the area of positive polarity shown in FIG. That is, the first and second resonance electrodes 2
The reference numerals 8 and 29 extend in the direction along the imaginary line D shown in FIG. 5, that is, in the direction substantially along one diagonal line.

【0055】第2の保持部26上には引き出し電極30
が、第1の保持部25の下面には引き出し電極31が形
成されている。第1の共振電極28は、接続導電部32
を介して引き出し電極30に電気的に接続されており、
他方、第2の共振電極29は、接続導電部33を介して
引き出し電極31に電気的に接続されている。
An extraction electrode 30 is provided on the second holding portion 26.
However, the extraction electrode 31 is formed on the lower surface of the first holding unit 25. The first resonance electrode 28 is connected to the connection conductive portion 32.
Is electrically connected to the extraction electrode 30 via
On the other hand, the second resonance electrode 29 is electrically connected to the extraction electrode 31 via the connection conductive portion 33.

【0056】本実施例の圧電共振子21では、引き出し
電極30,31から交流電圧を印加することにより、第
1,第2の共振電極28,29間に交流電圧が印加さ
れ、それによって上述した屈曲モードの2次高調波の振
動が強く励振される。
In the piezoelectric resonator 21 of this embodiment, an AC voltage is applied between the first and second resonance electrodes 28 and 29 by applying an AC voltage from the extraction electrodes 30 and 31, and as a result, the above described. The vibration of the second harmonic of the bending mode is strongly excited.

【0057】この場合、圧電板22の長辺と短辺の長さ
の比b/aが、上述した式(1)を満たす値を中心とし
て±10%の範囲内とされているため、連結部23,2
4までの部分に振動が効果的に閉じ込められる。従っ
て、保持部25,26を利用して機械的に保持したとし
ても、共振特性の劣化が生じ難い。言い換えれば、連結
部23,24までの部分に振動エネルギーが効果的に閉
じ込められたエネルギー閉じ込め型の圧電共振子21が
提供される。
In this case, since the ratio b / a of the lengths of the long side and the short side of the piezoelectric plate 22 is within the range of ± 10% around the value satisfying the above-mentioned formula (1), Part 23, 2
Vibration is effectively trapped in the parts up to 4. Therefore, even if the holders 25 and 26 are mechanically held, the resonance characteristics are not easily deteriorated. In other words, the energy trap type piezoelectric resonator 21 in which the vibration energy is effectively trapped in the portions up to the connecting portions 23 and 24 is provided.

【0058】第2の実施例 図9は、第2の実施例の圧電共振子の平面図であり、図
10は、圧電板を透かして下面の電極形状を示した模式
的平面図である。
Second Embodiment FIG. 9 is a plan view of the piezoelectric resonator of the second embodiment, and FIG. 10 is a schematic plan view showing the electrode shape on the lower surface through the piezoelectric plate.

【0059】第2の圧電共振子41は、共振電極の形状
及び位置が異なることを除いては、第1の実施例の圧電
共振子21と同様に構成されている。従って、第1の実
施例の圧電共振子21と同一部分については、同一の参
照番号を付することにより、その説明は省略する。
The second piezoelectric resonator 41 has the same structure as the piezoelectric resonator 21 of the first embodiment except that the shape and position of the resonance electrode are different. Therefore, the same parts as those of the piezoelectric resonator 21 of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0060】圧電共振子41では、圧電板22の上面に
おいて、第1の共振電極42a,42bが、図5に示し
た−の極性の強い領域に形成されている。すなわち、第
1の共振電極42a,42bは、圧電板22の連結部2
3,24が連結されている部分近傍の領域に形成されて
いる。第1の共振電極42a,42bは、接続導電部4
4により互いに電気的に接続されている。同様に、圧電
板22の下面においても、第1の共振電極42a,42
bに圧電板22を介して対向するように第2の共振電極
43a,43bが形成されており、第2の共振電極43
a,43bが接続導電部46により電気的に接続されて
いる。
In the piezoelectric resonator 41, the first resonance electrodes 42a and 42b are formed on the upper surface of the piezoelectric plate 22 in the region having a negative polarity shown in FIG. That is, the first resonance electrodes 42 a and 42 b are connected to the connecting portion 2 of the piezoelectric plate 22.
It is formed in a region in the vicinity of the portion where 3 and 24 are connected. The first resonance electrodes 42a and 42b are connected to the connection conductive portion 4
4 are electrically connected to each other. Similarly, also on the lower surface of the piezoelectric plate 22, the first resonance electrodes 42a, 42
The second resonance electrodes 43a and 43b are formed so as to face b with the piezoelectric plate 22 interposed therebetween.
a and 43b are electrically connected by the connection conductive portion 46.

【0061】第1の共振電極42bは、接続導電部45
により引き出し電極30に電気的に接続されている。ま
た、第2の共振電極43aは、接続導電部47により引
き出し電極31に電気的に接続されている。
The first resonance electrode 42b has a connection conductive portion 45.
Is electrically connected to the extraction electrode 30. Further, the second resonance electrode 43a is electrically connected to the extraction electrode 31 by the connection conductive portion 47.

【0062】第2の実施例の圧電共振子41では、交流
電圧が上記第1の共振電極42a,42bと、第2の共
振電極43a,43bとの間の部分に印加されることに
なるため、第1の実施例の場合と同様に、但し、第1の
実施例とは逆の位相で、屈曲モードの2次高調波の振動
が励振され、該振動が、第1,第2の連結部23,24
までの部分に効果的に閉じ込められる。
In the piezoelectric resonator 41 of the second embodiment, the AC voltage is applied to the portion between the first resonance electrodes 42a and 42b and the second resonance electrodes 43a and 43b. , As in the case of the first embodiment, but with the phase opposite to that of the first embodiment, the vibration of the second harmonic of the bending mode is excited, and the vibration is coupled to the first and second couplings. Parts 23 and 24
It is effectively trapped in the part up to.

【0063】なお、接続導電部44,46は、図9及び
図10では、表裏対向するように形成されていたが、接
続導電部44,46間に発生する容量を低減するため
に、接続導電部44,46は圧電板22を介して重なり
合わない位置に形成することが好ましい。
Although the connection conductive portions 44 and 46 are formed so as to face each other in FIGS. 9 and 10, in order to reduce the capacitance generated between the connection conductive portions 44 and 46, the connection conductive portions 44 and 46 are formed. The portions 44 and 46 are preferably formed at positions where they do not overlap each other with the piezoelectric plate 22 interposed therebetween.

【0064】第3の実施例 第1,第2の実施例では、圧電板22は厚み方向に一様
に分極処理されていたが、本発明の圧電共振子では、圧
電板は一様に分極処理されていなくともよい。
Third Embodiment In the first and second embodiments, the piezoelectric plate 22 is uniformly polarized in the thickness direction, but in the piezoelectric resonator of the present invention, the piezoelectric plate is uniformly polarized. It may not be processed.

【0065】すなわち、図11に模式図で示すように、
圧電板22において、図5に示した+の極性の領域に第
1の共振電極51と、第2の共振電極52とを形成す
る。他方、図5に示した−の極性の領域において、下面
に第1の共振電極53を、上面に第2の共振電極54を
形成する。言い換えれば、第1の共振電極51及び第2
の共振電極52は、第1の実施例の第1の共振電極28
及び第2の共振電極29同様に形成される。また、第2
の共振電極54及び第1の共振電極53は、それぞれ、
第2の実施例における第1の共振電極42a,42b及
び第2の共振電極43a,43bと同様に形成される。
もっとも、接続導電部44,46は、第1の共振電極5
1及び第2の共振電極52との短絡を防止するために設
ける必要はない。
That is, as shown in the schematic view of FIG.
In the piezoelectric plate 22, the first resonance electrode 51 and the second resonance electrode 52 are formed in the area of the + polarity shown in FIG. On the other hand, in the negative polarity area shown in FIG. 5, the first resonance electrode 53 is formed on the lower surface and the second resonance electrode 54 is formed on the upper surface. In other words, the first resonance electrode 51 and the second resonance electrode 51
The resonance electrode 52 of the first embodiment is the same as the first resonance electrode 28 of the first embodiment.
And the second resonance electrode 29 as well. Also, the second
The resonance electrode 54 and the first resonance electrode 53 of
It is formed similarly to the first resonance electrodes 42a and 42b and the second resonance electrodes 43a and 43b in the second embodiment.
However, the connecting conductive portions 44 and 46 are not connected to the first resonance electrode 5
It is not necessary to provide it in order to prevent a short circuit between the first and second resonance electrodes 52.

【0066】そして、圧電板22において、上記第1,
第2の共振電極51,52が形成されている領域の分極
方向P1 としたときに、第1,第2の共振電極53,5
4が形成されている領域の分極方向を分極方向P1 とは
反対のP2 方向とすれば、効果的に上記屈曲モードの2
次高調波を励振させることができる。
Then, in the piezoelectric plate 22, the first,
When the polarization direction P 1 of the region where the second resonance electrodes 51 and 52 are formed is set, the first and second resonance electrodes 53 and 5
By setting the polarization direction of the region in which 4 is formed to be the P 2 direction opposite to the polarization direction P 1 , the bending mode 2 is effectively
The second harmonic can be excited.

【0067】第4の実施例 図12は、本発明の第4の実施例に係る圧電共振子を説
明するための平面図である。圧電共振子61は、動吸振
部62,63を有することを除いては、第1の実施例の
圧電共振子21と同様に構成されている。従って、同一
部分については、同一の参照番号を付することにより、
その説明は省略する。
Fourth Embodiment FIG. 12 is a plan view for explaining a piezoelectric resonator according to a fourth embodiment of the present invention. The piezoelectric resonator 61 has the same structure as the piezoelectric resonator 21 of the first embodiment except that it has dynamic vibration absorbing portions 62 and 63. Therefore, by assigning the same reference numbers to the same parts,
The description is omitted.

【0068】本実施例では、連結部23,24と保持部
25,26との間に動吸振部62,63が設けられてい
る。すなわち、動吸振部62,63は、連結部23,2
4よりも外側において、溝64,65を形成することに
より構成されており、該動吸振部62,63は、動吸振
現象に従って、連結部23,24から漏洩してきた振動
を抑制するように作用する。すなわち、動吸振部62,
63は、連結部23,24から漏洩してきた振動を受け
て屈曲モードで振動し、漏洩してきた振動を動吸振現象
により抑制するように作用する。この動吸振部62,6
3の寸法は、連結部23,24から漏洩してきた振動の
周波数に、動吸振部62,63の固有振動数が略一致す
るように選ばれる。動吸振部62,63は、それぞれ、
溝64,65の側方に設けられた第3,第4の連結部6
6,67を介して保持部25,26に連結されている。
In this embodiment, the dynamic vibration absorbing parts 62, 63 are provided between the connecting parts 23, 24 and the holding parts 25, 26. That is, the dynamic vibration absorbing parts 62, 63 are connected to the connecting parts 23, 2
4, the grooves 64 and 65 are formed outside, and the dynamic vibration absorbing portions 62 and 63 act to suppress the vibration leaking from the connecting portions 23 and 24 in accordance with the dynamic vibration absorbing phenomenon. To do. That is, the dynamic vibration absorbing portion 62,
63 receives the vibration leaked from the connecting portions 23 and 24, vibrates in the bending mode, and acts to suppress the leaked vibration by the dynamic vibration absorption phenomenon. The dynamic vibration absorbing parts 62, 6
The size of 3 is selected so that the natural frequencies of the dynamic vibration absorbing portions 62 and 63 substantially match the frequency of the vibration leaked from the connecting portions 23 and 24. The dynamic vibration absorbing parts 62 and 63 are respectively
Third and fourth connecting portions 6 provided on the sides of the grooves 64 and 65
It is connected to the holding portions 25 and 26 via 6, 67.

【0069】第4の実施例の圧電共振子61において
も、第1の実施例と同様に、連結部23,24までの部
分に屈曲モードの2次高調波の振動が効果的に閉じ込め
られるが、さらに、わずかに漏洩してきた振動が、上記
動吸振部62,63により抑制される。従って、保持部
25,26を用いて圧電共振子61を支持した場合、共
振特性への影響がほとんど生じない。すなわち、より一
層エネルギー閉じ込め効率に優れた圧電共振子を提供す
ることができる。
In the piezoelectric resonator 61 of the fourth embodiment as well, similarly to the first embodiment, the vibration of the second harmonic of the bending mode is effectively confined in the portions up to the connecting portions 23 and 24. Further, the slightly leaked vibration is suppressed by the dynamic vibration absorbing portions 62 and 63. Therefore, when the holding portions 25 and 26 are used to support the piezoelectric resonator 61, the resonance characteristics are hardly affected. That is, it is possible to provide a piezoelectric resonator having a further excellent energy trapping efficiency.

【0070】第5の実施例 図13は、本発明の第5の実施例に係る圧電共振子を示
す斜視図である。第1の実施例の圧電共振子21では、
板状の圧電板22を用いたが、本発明の圧電共振子にお
ける圧電振動部は、板状にものに限らない。すなわち、
図13に示す圧電共振子71のように、圧電振動部72
は、互いに対向する矩形面72a,72bを有する直方
体状の形状を有していてもよい。すなわち、矩形面72
a,72b間の距離が、矩形面72a,72bの長辺の
長さよりも長くてもよい。その他の構造については、第
1の実施例と同様であるため、同一部分については、同
一の参照番号を付することにより、その説明は省略す
る。
Fifth Embodiment FIG. 13 is a perspective view showing a piezoelectric resonator according to a fifth embodiment of the present invention. In the piezoelectric resonator 21 of the first embodiment,
Although the plate-shaped piezoelectric plate 22 is used, the piezoelectric vibrating portion in the piezoelectric resonator of the present invention is not limited to the plate-shaped one. That is,
Like the piezoelectric resonator 71 shown in FIG. 13, the piezoelectric vibrating portion 72
May have a rectangular parallelepiped shape having rectangular surfaces 72a and 72b facing each other. That is, the rectangular surface 72
The distance between a and 72b may be longer than the length of the long sides of the rectangular surfaces 72a and 72b. Since other structures are similar to those of the first embodiment, the same parts are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0071】第6の実施例 第6の実施例は、第1の実施例に係る圧電共振子を用い
たチップ型圧電共振部品についての実施例である。図1
4は、本実施例のチップ型圧電共振部品の分解斜視図で
あり、図15はその外観を示す斜視図である。
Sixth Embodiment A sixth embodiment is an embodiment of a chip type piezoelectric resonance component using the piezoelectric resonator according to the first embodiment. FIG.
4 is an exploded perspective view of the chip type piezoelectric resonance component of the present embodiment, and FIG. 15 is a perspective view showing its appearance.

【0072】本実施例では、図7に示した圧電共振子2
1が用いられる。すなわち、圧電共振子21の圧電板2
2の長辺側の側面の両側に、それぞれ、空隙81a,8
2aが形成されるように、第1,第2のスペーサ板8
1,82が圧電共振子21に接合される。スペーサ板8
1,82は、両端において、それぞれ、保持部25,2
6に接合されている。上記圧電共振子21及びスペーサ
板81,82により共振プレート83が構成されてい
る。この共振プレート83の上下に、第1,第2のケー
ス基板84,85が貼り合わされる。ケース基板85
は、中央に凹部85aを有する。凹部85aは、圧電共
振子21の振動部分の振動を妨げないための空間を圧電
共振子21の下方に設けるために形成されている。同様
に、第1のケース基板84の下面にも凹部が形成されて
いる。
In this embodiment, the piezoelectric resonator 2 shown in FIG. 7 is used.
1 is used. That is, the piezoelectric plate 2 of the piezoelectric resonator 21
On both sides of the side surface on the long side of 2, the voids 81a, 8a are formed, respectively.
2a is formed so that the first and second spacer plates 8 are formed.
1, 82 are bonded to the piezoelectric resonator 21. Spacer plate 8
1 and 82 are holding parts 25 and 2 at both ends, respectively.
It is joined to 6. The piezoelectric resonator 21 and the spacer plates 81 and 82 form a resonance plate 83. First and second case substrates 84 and 85 are attached to the upper and lower sides of the resonance plate 83. Case board 85
Has a recess 85a at the center. The recess 85 a is formed to provide a space below the piezoelectric resonator 21 so as not to disturb the vibration of the vibrating portion of the piezoelectric resonator 21. Similarly, a recess is also formed on the lower surface of the first case substrate 84.

【0073】上記第1,第2のケース基板84,85を
共振プレート83の上下に貼り合わせ、図15に示すよ
うに、外部電極86,87を、積層体の両側面に形成す
ることにより、本実施例のチップ型圧電共振部品88が
得られる。
The first and second case substrates 84 and 85 are attached to the upper and lower sides of the resonance plate 83, and external electrodes 86 and 87 are formed on both side surfaces of the laminated body as shown in FIG. The chip type piezoelectric resonance component 88 of this embodiment is obtained.

【0074】チップ型圧電共振部品88では、上記のよ
うに、圧電共振子21の圧電振動部が、積層体内に封止
されているため、圧電共振子21の耐湿性等を高めるこ
とができる。
In the chip-type piezoelectric resonance component 88, since the piezoelectric vibrating portion of the piezoelectric resonator 21 is sealed in the laminated body as described above, the moisture resistance of the piezoelectric resonator 21 can be improved.

【0075】好ましくは、上記共振プレート83を単一
の部材により、すなわち、上記第1,第2のスペーサ板
81,82及び圧電共振子21が一体化された形状を有
する圧電板に、共振電極28等を形成することにより共
振プレート83を構成してもよい。その場合には、図1
4に示す接合部分Gが存在しないため、より一層耐湿性
などに優れたチップ型圧電共振部品を提供することがで
きる。
Preferably, the resonance plate 83 is formed of a single member, that is, the first and second spacer plates 81 and 82 and the piezoelectric resonator 21 are integrated into a piezoelectric plate, and a resonance electrode is formed on the piezoelectric plate. The resonance plate 83 may be configured by forming 28 and the like. In that case,
Since the bonding portion G shown in FIG. 4 does not exist, it is possible to provide a chip-type piezoelectric resonance component having further excellent moisture resistance.

【0076】第7の実施例 第1〜第6の実施例では、圧電振動部が、圧電セラミッ
クスなどの圧電材料により構成されていたが、図16に
示すように、金属もしくは半導体等からなり、平面形状
が矩形の部材91の矩形面上に、圧電セラミックスや圧
電性を示す合成樹脂等よりなる圧電薄膜92を形成し、
該圧電薄膜92上に第1の共振電極28を形成すること
により、圧電振動部を構成してもよい。
Seventh Embodiment In the first to sixth embodiments, the piezoelectric vibrating portion was made of a piezoelectric material such as piezoelectric ceramics. However, as shown in FIG. 16, it is made of metal, semiconductor or the like. A piezoelectric thin film 92 made of piezoelectric ceramics or synthetic resin exhibiting piezoelectricity is formed on a rectangular surface of a member 91 having a rectangular planar shape,
The piezoelectric vibrating portion may be formed by forming the first resonance electrode 28 on the piezoelectric thin film 92.

【0077】なお、図16では必ずしも明確ではない
が、平面形状が矩形の部材91の下面にも、圧電薄膜及
び第2の共振電極が形成されている。なお、上記のよう
な複合部材により圧電振動部を構成する場合には、ポア
ソン比σは、部材91のポアソン比σと、圧電薄膜92
を構成している材料のポアソン比σとを考慮して決定さ
れる。
Although not clear in FIG. 16, the piezoelectric thin film and the second resonance electrode are also formed on the lower surface of the member 91 having a rectangular planar shape. When the piezoelectric vibrating portion is composed of the composite member as described above, the Poisson's ratio σ is the Poisson's ratio σ of the member 91 and the piezoelectric thin film 92.
Is determined in consideration of the Poisson's ratio σ of the material constituting

【0078】第8の実施例 上述してきた実施例では、圧電共振子として、圧電振動
部の短辺側の側面に連結部を連結した構造を有するもの
を示したが、本発明の圧電共振子は、ばね端子等により
支持されてもよい。すなわち、図17に示すように、厚
み方向に分極処理された矩形の圧電板101の上面に、
第1の共振電極102を形成し、下面に第1の共振電極
102と対向するように第2の共振電極(図示せず)を
形成した構造において、上面及び下面から想像線で示す
ばね端子103,104を当接させてもよい。すなわ
ち、ばね端子103,104により圧電共振子105を
弾力挟持した構造であってもよい。
Eighth Embodiment In the above-described embodiments , the piezoelectric resonator has the structure in which the connecting portion is connected to the side surface on the short side of the piezoelectric vibrating portion, but the piezoelectric resonator of the present invention is shown. May be supported by spring terminals or the like. That is, as shown in FIG. 17, on the upper surface of the rectangular piezoelectric plate 101 polarized in the thickness direction,
In the structure in which the first resonance electrode 102 is formed and the second resonance electrode (not shown) is formed on the lower surface so as to face the first resonance electrode 102, the spring terminal 103 shown by imaginary lines from the upper surface and the lower surface. , 104 may be brought into contact with each other. That is, the structure may be such that the piezoelectric resonator 105 is elastically sandwiched by the spring terminals 103 and 104.

【0079】圧電共振子105では、矩形面の短辺に沿
う側面の中央部と、矩形面の中心とが振動の完全なノー
ド点となる。従って、上記のように、ばね端子103,
104を、圧電板101の主面中央に当接させて弾力挟
持することにより、圧電共振子105の共振特性を劣化
させることなく支持することができる。しかも、両短辺
に沿う側面中央に、切欠106,107を形成すること
により、周波数調整を行うことができる。すなわち、上
記切欠106,107の大きさを調整することにより、
共振周波数を調整することができ、しかも、完全なノー
ド点に溝加工するものであるため、周波数を大きく低下
させ得るとともに、波形の歪みも生じ難い。なお、本実
施例においても、圧電板101に代えて、金属板や半導
体板上に圧電薄膜を形成することにより圧電板101を
形成してもよい。
In the piezoelectric resonator 105, the central portion of the side surface along the short side of the rectangular surface and the center of the rectangular surface serve as complete node points of vibration. Therefore, as described above, the spring terminals 103,
By abutting 104 on the center of the main surface of the piezoelectric plate 101 and sandwiching it elastically, it is possible to support the piezoelectric resonator 105 without degrading the resonance characteristics. Moreover, the frequency can be adjusted by forming the notches 106 and 107 in the center of the side surface along both short sides. That is, by adjusting the size of the notches 106 and 107,
Since the resonance frequency can be adjusted and groove processing is performed at a complete node point, the frequency can be greatly reduced and waveform distortion is unlikely to occur. Also in this embodiment, instead of the piezoelectric plate 101, the piezoelectric plate 101 may be formed by forming a piezoelectric thin film on a metal plate or a semiconductor plate.

【0080】第9の実施例 第9の実施例は、単一モード圧電フィルタについての実
施例である。図18は、本発明の第9の実施例に係る圧
電フィルタを示す斜視図である。圧電フィルタ111
は、平面形状が矩形の圧電板112を用いて構成されて
いる。圧電板112の側方には、第1,第2の連結部1
13,114が連結されており、第1,第2の連結部1
13,114の外側には、第1,第2の保持部115,
116が連結されている。
Ninth Example The ninth example is an example of a single mode piezoelectric filter. FIG. 18 is a perspective view showing a piezoelectric filter according to the ninth embodiment of the present invention. Piezoelectric filter 111
Is configured using a piezoelectric plate 112 having a rectangular planar shape. The first and second connecting portions 1 are provided on the side of the piezoelectric plate 112.
13, 114 are connected to each other, and the first and second connecting portions 1
The first and second holding portions 115,
116 are connected.

【0081】本実施例では、圧電板112、第1,第2
の連結部113,114及び第1,第2の保持部11
5,116が一体の部材で構成されている。すなわち、
溝117,118を矩形の圧電板に形成することによ
り、上記圧電板112、第1,第2の連結部113,1
14及び保持部115,116が構成されている。もっ
とも、圧電板112と、第1,第2の連結部113,1
14と、保持部115,116とは別部材で構成されて
おり、これらの部材を接合することにより、一体化して
もよい。
In the present embodiment, the piezoelectric plate 112, the first and second
Connecting portions 113, 114 and the first and second holding portions 11
5, 116 are formed as an integral member. That is,
By forming the grooves 117 and 118 in a rectangular piezoelectric plate, the piezoelectric plate 112 and the first and second connecting portions 113 and 1 are formed.
14 and holding portions 115 and 116 are configured. However, the piezoelectric plate 112 and the first and second connecting portions 113, 1
14 and the holding portions 115 and 116 are formed as separate members, and these members may be joined together to be integrated.

【0082】圧電板112は、チタン酸ジルコン酸鉛系
圧電セラミックスなどの圧電セラミックスやLiTaO
3 もしくはLiNbO3 などの圧電単結晶により構成さ
れる。圧電板112は、厚み方向に一様に分極処理され
ている。
The piezoelectric plate 112 is made of piezoelectric ceramics such as lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics or LiTaO 2.
3 or a piezoelectric single crystal such as LiNbO 3 . The piezoelectric plate 112 is polarized uniformly in the thickness direction.

【0083】また、圧電板112の上面には、第1の共
振電極として、入力電極119と、出力電極120とが
形成されている。また、下面には、第2の共振電極とし
ての共通共振電極121が形成されている。
On the upper surface of the piezoelectric plate 112, an input electrode 119 and an output electrode 120 are formed as a first resonance electrode. A common resonance electrode 121 as a second resonance electrode is formed on the lower surface.

【0084】入力電極119及び出力電極120は、図
5に示した電荷分布において+の極性を有する領域を中
心として形成されている。また、共通共振電極121
は、入力電極119及び出力電極120に対して、圧電
板112を介して表裏対向するように形成されている。
The input electrode 119 and the output electrode 120 are formed centering on a region having a positive polarity in the charge distribution shown in FIG. In addition, the common resonance electrode 121
Are formed to face the input electrode 119 and the output electrode 120 with the piezoelectric plate 112 in between.

【0085】なお、保持部116の上面には、引き出し
電極122が形成されており、保持部115の上面には
引き出し電極123が形成されている。また、保持部1
15の下面には、引き出し電極124が形成されてい
る。
The lead electrode 122 is formed on the upper surface of the holding portion 116, and the lead electrode 123 is formed on the upper surface of the holding portion 115. Also, the holding unit 1
An extraction electrode 124 is formed on the lower surface of 15.

【0086】引き出し電極122〜124は、それぞ
れ、入力電極119、出力電極120及び共通共振電極
121に電気的に接続されている。本実施例において
も、圧電板112の平面形状は、比b/aが上述した式
(1)を満たす値を中心として±10%の範囲となるよ
うに、その寸法が定められている。
The extraction electrodes 122 to 124 are electrically connected to the input electrode 119, the output electrode 120 and the common resonance electrode 121, respectively. Also in this embodiment, the dimensions of the planar shape of the piezoelectric plate 112 are determined so that the ratio b / a is within a range of ± 10% centered on the value satisfying the above-mentioned formula (1).

【0087】従って、入力電極119から入力を印加し
た場合、屈曲モードの2次高調波で入力電極119と共
通共振電極121とが対向している部分が励振され、出
力が、共通共振電極121と出力電極120との間で取
り出される。すなわち、図19に回路図で示す3端子型
の単一モード圧電フィルタが構成される。
Therefore, when an input is applied from the input electrode 119, the portion where the input electrode 119 and the common resonance electrode 121 face each other is excited by the second harmonic of the bending mode, and the output is the same as the common resonance electrode 121. It is taken out with the output electrode 120. That is, the three-terminal single-mode piezoelectric filter shown in the circuit diagram of FIG. 19 is configured.

【0088】本実施例の圧電フィルタ111において
も、圧電振動部が上記のように構成されているため、振
動エネルギーは、圧電板112内に確実に閉じ込められ
る。従って、上述した圧電共振子についての実施例と同
様に、保持部115,116を用いて機械的に保持した
場合でも、フィルタ特性の劣化が生じ難い。
Also in the piezoelectric filter 111 of this embodiment, since the piezoelectric vibrating portion is constructed as described above, the vibration energy is surely confined in the piezoelectric plate 112. Therefore, similarly to the above-described embodiment of the piezoelectric resonator, deterioration of the filter characteristics does not easily occur even when mechanically holding the holding portions 115 and 116.

【0089】第10の実施例 図20は、本発明の第10の実施例に係る圧電フィルタ
を示す斜視図である。圧電フィルタ131は、両主面の
電極構造を除いては、圧電フィルタ111と同様に構成
されている。従って、同一部分については同一の参照番
号を付することにより、その説明を省略する。
Tenth Embodiment FIG. 20 is a perspective view showing a piezoelectric filter according to a tenth embodiment of the present invention. The piezoelectric filter 131 is configured similarly to the piezoelectric filter 111, except for the electrode structure on both main surfaces. Therefore, the same parts are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0090】本実施例では、圧電板112の上面に、第
1の共振電極として、電極132,133が形成されて
おり、圧電板112の下面には、電極132,133と
表裏対向するように電極134,135が、それぞれ、
形成されている。電極132〜135は、図5に示した
電荷分布における+の極性の領域に形成されている。
In this embodiment, the electrodes 132 and 133 are formed as the first resonance electrodes on the upper surface of the piezoelectric plate 112, and the lower surface of the piezoelectric plate 112 faces the electrodes 132 and 133 so as to face each other. The electrodes 134 and 135 are respectively
Is formed. The electrodes 132 to 135 are formed in a region of positive polarity in the charge distribution shown in FIG.

【0091】保持部115の上面には、引き出し電極1
36が形成されている。また、保持部116の上面に
は、引き出し電極137が形成されており、保持部11
5の下面には、引き出し電極138が、保持部116の
下面には引き出し電極139が形成されている。電極1
32〜135は、それぞれ、上記引き出し電極136〜
139に電気的に接続されている。
On the upper surface of the holding portion 115, the extraction electrode 1
36 are formed. A lead electrode 137 is formed on the upper surface of the holding portion 116, and the holding portion 11
An extraction electrode 138 is formed on the lower surface of No. 5, and an extraction electrode 139 is formed on the lower surface of the holding portion 116. Electrode 1
32 to 135 are the extraction electrodes 136 to 136, respectively.
It is electrically connected to 139.

【0092】従って、図21に示すように、各電極を接
続することにより、すなわち引き出し電極136と、引
き出し電極138とを共通接続して基準電位に接続し、
他方、引き出し電極137,139を、入力電極または
出力電極として用いることにより、差動接続型の単一モ
ード圧電フィルタを構成することができる。
Therefore, as shown in FIG. 21, by connecting the respective electrodes, that is, the extraction electrode 136 and the extraction electrode 138 are commonly connected and connected to the reference potential,
On the other hand, by using the extraction electrodes 137 and 139 as an input electrode or an output electrode, a differential connection type single mode piezoelectric filter can be configured.

【0093】第11の実施例 図22は、本発明の第11の実施例に係る圧電フィルタ
を説明するための斜視図である。圧電フィルタ141
は、上面及び下面の電極形状を除いては、第9の実施例
の圧電フィルタ111と同様である。
Eleventh Embodiment FIG. 22 is a perspective view for explaining a piezoelectric filter according to an eleventh embodiment of the present invention. Piezoelectric filter 141
Is the same as the piezoelectric filter 111 of the ninth embodiment except for the electrode shapes on the upper and lower surfaces.

【0094】本実施例の圧電フィルタ141では、圧電
板112の上面において、入力電極142が形成されて
いる。入力電極142は、図5に示した電荷分布におけ
る+の極性の領域に形成されている。
In the piezoelectric filter 141 of this embodiment, the input electrode 142 is formed on the upper surface of the piezoelectric plate 112. The input electrode 142 is formed in a region of positive polarity in the charge distribution shown in FIG.

【0095】他方、圧電板112の上面において、図5
に示した電荷分布の−の極性の領域に、出力電極143
a,143bが形成されている。入力電極142は、保
持部116の上面に形成された引き出し電極144に電
気的に接続されている。また、出力電極143a,14
3bは、それぞれ、保持部115,116の上面に形成
された引き出し電極145,146に電気的に接続され
ている。
On the other hand, on the upper surface of the piezoelectric plate 112, as shown in FIG.
In the negative polarity region of the charge distribution shown in FIG.
a and 143b are formed. The input electrode 142 is electrically connected to the extraction electrode 144 formed on the upper surface of the holding unit 116. In addition, the output electrodes 143a, 14
3b is electrically connected to the extraction electrodes 145 and 146 formed on the upper surfaces of the holding portions 115 and 116, respectively.

【0096】他方、圧電板112の下面には、全面に共
通共振電極147が形成されており、共通共振電極14
7は、保持部115の下面に形成された引き出し電極1
48に電気的に接続されている。
On the other hand, on the lower surface of the piezoelectric plate 112, a common resonance electrode 147 is formed on the entire surface.
Reference numeral 7 denotes a lead electrode 1 formed on the lower surface of the holding portion 115.
It is electrically connected to 48.

【0097】本実施例の圧電フィルタ141では、図2
2に示すように、引き出し電極145と引き出し電極1
46とを共通接続し、出力端とし、引き出し電極144
を入力端とし、引き出し電極148を基準電位に接続す
る。それによって、第9の実施例の圧電フィルタ111
と同様に、3端子型の単一モード圧電フィルタとして使
用することができる。
In the piezoelectric filter 141 of this embodiment, as shown in FIG.
As shown in FIG. 2, the extraction electrode 145 and the extraction electrode 1
46 is commonly connected to serve as an output terminal, and the extraction electrode 144
Is used as an input terminal, and the extraction electrode 148 is connected to the reference potential. Thereby, the piezoelectric filter 111 of the ninth embodiment is
Similarly, can be used as a three-terminal type single mode piezoelectric filter.

【0098】第9〜第11の実施例の変形例 第9〜第11の実施例の単一モード圧電フィルタでは、
圧電板112が厚み方向に一様に分極処理されていた。
しかしながら、各圧電フィルタ111,131,141
においては、図23に模式的に示すように、圧電板11
2に、矢印P1方向に分極処理された領域と、方向P1
とは逆方向のP2 方向に分極処理された領域とを形成し
てもよい。すなわち、図5に示した電荷分布において、
+の極性の領域を例えば矢印P1 の方向に分極処理し、
−の極性の領域をP2 方向に分極処理しておいてもよ
く、そのような圧電板112を用いた場合においても、
図23に回路図で示すように、単一モード圧電フィルタ
を構成することができる。
Modifications of Ninth to Eleventh Embodiments In the single mode piezoelectric filters of the ninth to eleventh embodiments,
The piezoelectric plate 112 was uniformly polarized in the thickness direction.
However, each piezoelectric filter 111, 131, 141
23, as shown schematically in FIG.
2, a region polarized in the direction of arrow P 1 and a direction P 1
It is also possible to form a region polarized in the P 2 direction, which is the opposite direction to. That is, in the charge distribution shown in FIG.
For example, the region of positive polarity is polarized in the direction of arrow P 1 ,
The negative polarity region may be polarized in the P 2 direction, and even when such a piezoelectric plate 112 is used,
A single mode piezoelectric filter can be constructed as shown in the circuit diagram of FIG.

【0099】単一モード圧電フィルタのチップ型圧電共
振部品についての実施例 図24〜図26は、本発明の第12の実施例としてのチ
ップ型圧電フィルタを説明するための図である。
Single mode piezoelectric filter chip type piezoelectric filter
Embodiment of Vibration Parts FIGS. 24 to 26 are views for explaining a chip type piezoelectric filter as a twelfth embodiment of the present invention.

【0100】本実施例のチップ型圧電フィルタでは、図
24に示すように、圧電フィルタ111(図18参照)
及び圧電フィルタ131(図20参照)が用いられる。
すなわち、圧電フィルタ111の両側に、第1,第2の
スペーサ板151,152が接合されて、第1の共振プ
レート153が構成されている。第1の共振プレート1
53では、スペーサ板151,152を接合することに
より、空隙151a,152aが、圧電振動部の両側に
構成されている。第1,第2のスペーサ板151,15
2は、アルミナなどの絶縁性セラミックス、あるいは合
成樹脂等により構成されるが、圧電共振子112と同等
の厚みを有するように構成することが必要である。
In the chip type piezoelectric filter of this embodiment, as shown in FIG. 24, the piezoelectric filter 111 (see FIG. 18) is used.
Also, the piezoelectric filter 131 (see FIG. 20) is used.
That is, the first and second spacer plates 151 and 152 are joined to both sides of the piezoelectric filter 111 to form the first resonance plate 153. First resonance plate 1
In 53, by joining the spacer plates 151 and 152, the voids 151a and 152a are formed on both sides of the piezoelectric vibrating portion. First and second spacer plates 151, 15
Although 2 is made of insulating ceramics such as alumina, or synthetic resin, it is necessary to have a thickness equivalent to that of the piezoelectric resonator 112.

【0101】同様に、圧電共振子131の両側にも、第
1,第2のスペーサ板154,155が接合されて第2
の共振プレート156が構成されている。本実施例で
は、上記第1,第2の共振プレート153,156の間
に、図25に示す矩形枠状のスペーサ157が挿入さ
れ、第1,第2の共振プレート153,156が積層さ
れ、さらに、その上下に同じくスペーサ157を介在さ
せて、図24に示す第1,第2のケース基板158,1
59が貼り合わされる。このようにして、図26に示す
積層体160が得られる。スペーサ157としては、合
成樹脂よりなる矩形枠状の部材を用いてもよく、あるい
は上述した各部材を接合するのに用いられる接着剤を、
矩形枠状に塗布し硬化させることにより上記スペーサ1
57としてもよい。
Similarly, the first and second spacer plates 154 and 155 are joined to both sides of the piezoelectric resonator 131 to form the second spacer plate 154.
The resonance plate 156 of FIG. In this embodiment, a rectangular frame-shaped spacer 157 shown in FIG. 25 is inserted between the first and second resonance plates 153 and 156, and the first and second resonance plates 153 and 156 are laminated, Further, spacers 157 are also interposed above and below the first and second case substrates 158, 1 shown in FIG.
59 are pasted together. In this way, the laminated body 160 shown in FIG. 26 is obtained. As the spacer 157, a rectangular frame-shaped member made of synthetic resin may be used, or an adhesive used for joining the above-mentioned members may be used.
The spacer 1 is formed by applying it in a rectangular frame shape and curing it.
It may be 57.

【0102】なお、ケース基板158,159に凹部を
設けることにより、共振プレート153の上方に挿入さ
れるスペーサ157及び共振プレート156の下方に挿
入されるスペーサ157を省略してもよい。
By forming a recess in the case substrates 158 and 159, the spacer 157 inserted above the resonance plate 153 and the spacer 157 inserted below the resonance plate 156 may be omitted.

【0103】上記スペーサ157を介在させることによ
り、圧電共振子111,131の圧電振動部の振動を妨
げないための空間が、各圧電振動部の上下に構成され
る。本実施例では、図26に示すように、得られた積層
体160の両側面に、外部電極161〜164が形成さ
れる。従って、外部電極161を入力電極とし、外部電
極163を出力電極とし、外部電極162を基準電位に
接続することにより、図27に示す2素子3端子型の単
一モード圧電フィルタを構成することができる。なお、
外部電極164は、部品の対称性を高めるために設けら
れたダミーの外部電極である。
By interposing the spacer 157, a space for preventing the vibration of the piezoelectric vibrating portions of the piezoelectric resonators 111 and 131 is formed above and below each piezoelectric vibrating portion. In this example, as shown in FIG. 26, the external electrodes 161 to 164 are formed on both side surfaces of the obtained laminated body 160. Therefore, by connecting the external electrode 161 to the input electrode, the external electrode 163 to the output electrode, and connecting the external electrode 162 to the reference potential, the two-element three-terminal type single-mode piezoelectric filter shown in FIG. 27 can be configured. it can. In addition,
The external electrode 164 is a dummy external electrode provided to enhance the symmetry of the component.

【0104】第13の実施例 図28〜30は、第13の実施例に係る2重モード圧電
フィルタを説明するための図である。本実施例では、図
28(a)及び(b)において、それぞれ、平面図及び
圧電板を透かして下方の電極形状を示した模式的平面図
で示す圧電フィルタ171が用いられる。圧電フィルタ
171は、第1,第2の圧電振動部172,173を有
する。各圧電振動部172,173は、第1の実施例の
圧電フィルタ21とほぼ同様に構成されている。すなわ
ち、比b/aが、上述した式(1)を満たす値を中心と
して±10%の範囲内とされている平面形状が矩形の圧
電板174の上面に第1の共振電極175が、下面に第
2の共振電極176が形成されている。同様に、第2の
圧電振動部173においても、圧電板177の上面に第
1の共振電極178が、下面に第2の共振電極179が
形成されている。第1,第2の圧電振動部172,17
3は、連結部180を介して、連結されている。すなわ
ち、圧電板174,177の短辺側の側面において、連
結部180を介して連結されている。
Thirteenth Embodiment FIGS. 28 to 30 are views for explaining a dual mode piezoelectric filter according to a thirteenth embodiment. In this embodiment, a piezoelectric filter 171 shown in FIGS. 28A and 28B is used, which is a plan view and a schematic plan view showing the lower electrode shape through the piezoelectric plate, respectively. The piezoelectric filter 171 has first and second piezoelectric vibrating portions 172 and 173. Each of the piezoelectric vibrating portions 172 and 173 has substantially the same structure as the piezoelectric filter 21 of the first embodiment. That is, the first resonance electrode 175 is provided on the upper surface of the piezoelectric plate 174 having a rectangular planar shape in which the ratio b / a is within a range of ± 10% centered on the value satisfying the above-mentioned formula (1). A second resonance electrode 176 is formed on the. Similarly, also in the second piezoelectric vibrating portion 173, the first resonance electrode 178 is formed on the upper surface of the piezoelectric plate 177, and the second resonance electrode 179 is formed on the lower surface. First and second piezoelectric vibrating portions 172, 17
3 are connected via a connecting portion 180. That is, the side surfaces of the piezoelectric plates 174 and 177 on the short side are connected via the connecting portion 180.

【0105】他方、圧電振動部172においては、他方
の短辺側の側面の一端側において、連結部181が連結
されており、該連結部181の外側に保持部182が連
結されている。同様に、第2の圧電振動部173側にお
いては、連結部183が圧電振動板177の短辺側の側
面の一端側部分に連結されており、連結部183の外側
に保持部184が連結されている。
On the other hand, in the piezoelectric vibrating portion 172, the connecting portion 181 is connected to one end of the side surface on the other short side, and the holding portion 182 is connected to the outside of the connecting portion 181. Similarly, on the second piezoelectric vibrating portion 173 side, the connecting portion 183 is connected to one end side portion of the short side surface of the piezoelectric vibrating plate 177, and the holding portion 184 is connected to the outside of the connecting portion 183. ing.

【0106】また、保持部182の上面には、引き出し
電極185が形成されており、下面には、引き出し電極
186が形成されている。同様に、保持部184の上面
には、引き出し電極187が、下面には引き出し電極1
88が形成されている。引き出し電極185,186
は、それぞれ、第1,第2の共振電極175,176に
接続されており、引き出し電極187,188は、それ
ぞれ、共振電極178,179に電気的に接続されてい
る。
A lead electrode 185 is formed on the upper surface of the holding portion 182, and a lead electrode 186 is formed on the lower surface. Similarly, the extraction electrode 187 is on the upper surface of the holding portion 184, and the extraction electrode 1 is on the lower surface.
88 is formed. Extraction electrodes 185, 186
Are respectively connected to the first and second resonance electrodes 175 and 176, and the extraction electrodes 187 and 188 are electrically connected to the resonance electrodes 178 and 179, respectively.

【0107】圧電フィルタ171では、引き出し電極1
85を入力端とし、引き出し電極187を出力端とし、
引き出し電極186,188を基準電位に接続すること
により、2重モード圧電フィルタとして動作させること
ができる。
In the piezoelectric filter 171, the extraction electrode 1
85 is the input end, the extraction electrode 187 is the output end,
By connecting the extraction electrodes 186 and 188 to a reference potential, it is possible to operate as a dual mode piezoelectric filter.

【0108】この2重モード圧電フィルタ171におい
ても、各圧電振動部172,173が上記のように構成
されているため、振動エネルギーが、圧電振動部17
2,173に効果的に閉じ込められ、従って保持部18
2,184を用いて機械的に保持した場合においても、
フィルタ特性の劣化が生じ難い。図29は、上記圧電フ
ィルタ171を用いたチップ型圧電フィルタを製造する
過程を説明するための分解斜視図である。
Also in this double mode piezoelectric filter 171, since the respective piezoelectric vibrating portions 172 and 173 are configured as described above, the vibration energy is the piezoelectric vibrating portion 17.
2, 173 effectively confined and thus the holding part 18
Even when held mechanically using 2,184,
Deterioration of filter characteristics hardly occurs. FIG. 29 is an exploded perspective view for explaining a process of manufacturing a chip type piezoelectric filter using the piezoelectric filter 171.

【0109】圧電フィルタ171の各圧電振動部の長辺
側の両側に、第1,第2のスペーサ板191,192が
接合され、それによって圧電振動部172,173の両
側に空隙191a,192aが形成されている。この圧
電フィルタ171と、第1,第2のスペーサ板191,
192により、共振プレート193が構成されている。
共振プレート193の上面及び下面に、第1,第2のケ
ース基板194,195が貼り合わされる。ケース基板
195の上面には、凹部195aが形成されている。凹
部195aは、圧電フィルタ171の振動部分の振動を
妨げないための空間を確保するために設けられている。
同様に、第1のケース基板194の下面にも凹部が形成
されている。
The first and second spacer plates 191 and 192 are joined to both sides on the long side of each piezoelectric vibrating portion of the piezoelectric filter 171, so that the gaps 191a and 192a are formed on both sides of the piezoelectric vibrating portions 172 and 173. Has been formed. This piezoelectric filter 171, the first and second spacer plates 191,
The resonance plate 193 is constituted by 192.
The first and second case substrates 194 and 195 are attached to the upper surface and the lower surface of the resonance plate 193. A recess 195a is formed on the upper surface of the case substrate 195. The concave portion 195a is provided to secure a space that does not hinder the vibration of the vibrating portion of the piezoelectric filter 171.
Similarly, a recess is also formed on the lower surface of the first case substrate 194.

【0110】また、上記凹部の形成に代えて、共振プレ
ート193の上下に、矩形枠状のスペーサ部材を介在さ
せ、平面状のケース基板を上下から貼り合わせることに
よっても、共振部の振動を妨げないための空間を圧電フ
ィルタ171の上下に形成することができる。
Further, instead of forming the above-mentioned recessed portion, by interposing rectangular frame-shaped spacer members above and below the resonance plate 193 and by bonding planar case substrates from above and below, the vibration of the resonance portion is prevented. Spaces to be omitted can be formed above and below the piezoelectric filter 171.

【0111】また、接着剤を矩形枠状に塗布し、共振プ
レート193と、第1,第2のケース基板194、19
5を貼り合わせることにより、圧電フィルタ171の上
下に空間を形成してもよい。
Further, an adhesive is applied in a rectangular frame shape, and the resonance plate 193 and the first and second case substrates 194 and 19 are formed.
Spaces may be formed above and below the piezoelectric filter 171 by bonding 5 to each other.

【0112】上記のようにして得られた積層体を、図3
0に示す。積層体196の側面に、外部電極201〜2
04を形成する。この外部電極201,203を基準電
位に接続し、外部電極202,204を入出力電極とし
て用いることにより、チップ型圧電フィルタ205を、
2重モード圧電フィルタとして動作させることができ
る。
The laminated body obtained as described above is shown in FIG.
0 is shown. External electrodes 201 to 2 are provided on the side surface of the laminated body 196.
To form 04. By connecting the external electrodes 201 and 203 to a reference potential and using the external electrodes 202 and 204 as input / output electrodes, the chip-type piezoelectric filter 205 is
It can be operated as a dual mode piezoelectric filter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来のすべりモードを利用した圧電共振子を示
す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a conventional piezoelectric resonator using a sliding mode.

【図2】厚み方向に分極処理された圧電板の両面に電極
を形成したモデルを示す斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing a model in which electrodes are formed on both surfaces of a piezoelectric plate that is polarized in the thickness direction.

【図3】図2に示した圧電板の変位状態を有限要素法に
より解析した状態を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a state in which the displacement state of the piezoelectric plate shown in FIG. 2 is analyzed by a finite element method.

【図4】図3に示した圧電板に連結部を連結した場合の
変位分布を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a displacement distribution when a connecting portion is connected to the piezoelectric plate shown in FIG.

【図5】図4の変位分布に応じた電荷分布状態を示す平
面図。
5 is a plan view showing a charge distribution state according to the displacement distribution of FIG. 4. FIG.

【図6】(a)は、比b/aとポアソン比との関係を示
す図、(b)は、相対変位とnとの関係を示す図。
6A is a diagram showing a relationship between a ratio b / a and a Poisson's ratio, and FIG. 6B is a diagram showing a relationship between relative displacement and n.

【図7】第1の実施例の圧電共振子の平面図。FIG. 7 is a plan view of the piezoelectric resonator according to the first embodiment.

【図8】第1の実施例の圧電共振子において、圧電板を
透かして下方の電極形状を示す模式的平面図。
FIG. 8 is a schematic plan view showing a lower electrode shape through a piezoelectric plate in the piezoelectric resonator of the first embodiment.

【図9】第2の実施例の圧電共振子を示す平面図。FIG. 9 is a plan view showing a piezoelectric resonator according to a second embodiment.

【図10】第2の実施例において圧電板を透かして下方
の電極形状を示した模式的平面図。
FIG. 10 is a schematic plan view showing the lower electrode shape through the piezoelectric plate in the second embodiment.

【図11】第3の実施例を説明するための模式的断面
図。
FIG. 11 is a schematic sectional view for explaining a third embodiment.

【図12】第4の実施例の圧電共振子を示す平面図。FIG. 12 is a plan view showing a piezoelectric resonator according to a fourth embodiment.

【図13】第5の実施例の圧電共振子を説明するための
斜視図。
FIG. 13 is a perspective view for explaining a piezoelectric resonator according to a fifth embodiment.

【図14】第6の実施例に係るチップ型圧電共振部品の
分解斜視図。
FIG. 14 is an exploded perspective view of a chip type piezoelectric resonance component according to a sixth embodiment.

【図15】チップ型圧電共振部品を示す斜視図。FIG. 15 is a perspective view showing a chip type piezoelectric resonance component.

【図16】第7の実施例に係る圧電共振子を示す斜視
図。
FIG. 16 is a perspective view showing a piezoelectric resonator according to a seventh embodiment.

【図17】第8の実施例の圧電共振子を示す斜視図。FIG. 17 is a perspective view showing a piezoelectric resonator according to an eighth embodiment.

【図18】第9の実施例に係る圧電フィルタを示す斜視
図。
FIG. 18 is a perspective view showing a piezoelectric filter according to a ninth embodiment.

【図19】第9の実施例の圧電フィルタの回路図。FIG. 19 is a circuit diagram of a piezoelectric filter according to a ninth embodiment.

【図20】第10の実施例の圧電フィルタを示す斜視
図。
FIG. 20 is a perspective view showing a piezoelectric filter of a tenth embodiment.

【図21】図20に示した圧電フィルタの回路図。21 is a circuit diagram of the piezoelectric filter shown in FIG.

【図22】第11の実施例に係る圧電フィルタを示す斜
視図。
FIG. 22 is a perspective view showing a piezoelectric filter according to an eleventh embodiment.

【図23】圧電フィルタの他の例を示す模式的断面図。FIG. 23 is a schematic cross-sectional view showing another example of the piezoelectric filter.

【図24】第12の実施例に係るチップ型圧電フィルタ
の分解斜視図。
FIG. 24 is an exploded perspective view of a chip type piezoelectric filter according to a twelfth embodiment.

【図25】スペーサを示す斜視図。FIG. 25 is a perspective view showing a spacer.

【図26】チップ型圧電フィルタの斜視図。FIG. 26 is a perspective view of a chip type piezoelectric filter.

【図27】図26に示した圧電フィルタの回路図。27 is a circuit diagram of the piezoelectric filter shown in FIG.

【図28】(a)及び(b)は、第13の実施例に係る
2重モード圧電フィルタの平面図及び圧電板を透かして
下方の電極形状を示した模式的平面図。
28A and 28B are a plan view of a dual mode piezoelectric filter according to a thirteenth embodiment and a schematic plan view showing a lower electrode shape through a piezoelectric plate.

【図29】チップ型2重モード圧電フィルタを説明する
ための分解斜視図。
FIG. 29 is an exploded perspective view for explaining a chip double mode piezoelectric filter.

【図30】チップ型2重モード圧電フィルタを示す斜視
図。
FIG. 30 is a perspective view showing a chip type dual mode piezoelectric filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21…圧電共振子 22…圧電板 22a,22b…短辺に沿う側面 23,24…第1,第2の連結部 25,26…第1,第2の保持部 28,29…第1,第2の共振電極 30,31…引き出し電極 41…圧電共振子 42a,42b…第1の共振電極 43a,43b…第2の共振電極 51,53…第1の共振電極 52,54…第2の共振電極 61…圧電共振子 62,63…動吸振部 71…圧電共振子 72a,72b…矩形面 91…部材 92…圧電薄膜 101…圧電板 102…第1の共振電極 105…圧電共振子 111…圧電フィルタ 115,116…第1,第2の保持部 119…入力電極 120…出力電極 121…共通共振電極 122…圧電板 123,124…第1,第2の連結部 122〜124…引き出し電極 131…圧電フィルタ 132,133,134,135…電極 136〜139…引き出し電極 141…圧電フィルタ 142…入力電極 143a,143b…出力電極 147…共通共振電極 160…積層体 161〜164…外部電極 171…2重モード圧電フィルタ 172,173…第1,第2の圧電振動部 174,177…圧電板 180…連結部 181,183…第1,第2の連結部 182,184…第1,第2の保持部 185〜188…引き出し電極 175,176,178,179…共振電極 191,192…第1,第2のスペーサ 194,195…第1,第2のケース基板 205…チップ型2重モード圧電フィルタ 21 ... Piezoelectric resonator 22 ... Piezoelectric plates 22a, 22b ... Side surfaces along short sides 23, 24 ... First and second connecting portions 25, 26 ... First and second holding portions 28, 29 ... First and first 2 resonance electrodes 30, 31 ... Extraction electrodes 41 ... Piezoelectric resonators 42a, 42b ... First resonance electrodes 43a, 43b ... Second resonance electrodes 51, 53 ... First resonance electrodes 52, 54 ... Second resonance Electrode 61 ... Piezoelectric resonator 62, 63 ... Dynamic vibration absorbing portion 71 ... Piezoelectric resonator 72a, 72b ... Rectangular surface 91 ... Member 92 ... Piezoelectric thin film 101 ... Piezoelectric plate 102 ... First resonance electrode 105 ... Piezoelectric resonator 111 ... Piezoelectric Filters 115, 116 ... First and second holding portions 119 ... Input electrodes 120 ... Output electrodes 121 ... Common resonance electrodes 122 ... Piezoelectric plates 123, 124 ... First and second connecting portions 122-124 ... Extraction electrodes 131 ... Pressure Filters 132, 133, 134, 135 ... Electrodes 136 to 139 ... Extraction electrodes 141 ... Piezoelectric filters 142 ... Input electrodes 143a, 143b ... Output electrodes 147 ... Common resonance electrodes 160 ... Laminated bodies 161 to 164 ... External electrodes 171 ... Dual mode Piezoelectric filters 172, 173 ... First and second piezoelectric vibrating portions 174, 177 ... Piezoelectric plate 180 ... Connecting portions 181, 183 ... First and second connecting portions 182, 184 ... First and second holding portions 185 ... 188 ... Extraction electrodes 175, 176, 178, 179 ... Resonance electrodes 191, 192 ... First and second spacers 194, 195 ... First and second case substrates 205 ... Chip type dual mode piezoelectric filter

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 対向する一対の矩形の面と、一対の矩形
の面を結ぶ4つの側面とを有する圧電振動部と、 前記圧電振動部の前記一対の矩形面上に形成された第
1,第2の共振電極とを備え、 前記矩形面の短辺の長さをa、長辺の長さをb、圧電振
動部を構成する材料のポアソン比をσとしたときに、比
b/aが、 【数1】 を満たす値を中心として±10%の範囲内とされてお
り、圧電横効果を利用して2n次(但し、nは整数)の
屈曲モードの振動を励振させるように構成されている、
圧電共振子。
1. A piezoelectric vibrating section having a pair of rectangular surfaces facing each other and four side surfaces connecting the pair of rectangular surfaces, and first and second piezoelectric vibrating sections formed on the pair of rectangular surfaces. A second resonance electrode, wherein the length of the short side of the rectangular surface is a, the length of the long side is b, and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric vibrating portion is σ, the ratio b / a However, It is set within a range of ± 10% with a value satisfying the condition as the center, and is configured to excite 2n-order (where n is an integer) bending mode vibration by utilizing the piezoelectric lateral effect.
Piezoelectric resonator.
【請求項2】 前記圧電振動部の側面のうち、前記矩形
面の短辺に沿う側面の一端側に連結された連結部をさら
に備え、該連結部により保持されるように構成されてい
る、請求項1に記載の圧電共振子。
2. The piezoelectric vibrating portion further includes a connecting portion connected to one end side of a side surface along a short side of the rectangular surface, the holding portion being configured to be held by the connecting portion. The piezoelectric resonator according to claim 1.
【請求項3】 前記圧電振動部の矩形面の第1の短辺に
沿う第1の側面の一端側部分に第1の連結部が連結され
ており、第1の連結部が連結されている部分に対して対
角線方向において反対側の位置となるように、第2の短
辺に沿う第2の側面の一端側部分に第2の連結部が連結
されている、請求項2に記載の圧電共振子。
3. The first connecting portion is connected to one end side portion of the first side surface along the first short side of the rectangular surface of the piezoelectric vibrating portion, and the first connecting portion is connected. The piezoelectric element according to claim 2, wherein the second connecting portion is connected to one end side portion of the second side surface along the second short side so as to be located on the opposite side in the diagonal direction with respect to the portion. Resonator.
【請求項4】 前記連結部に、圧電共振子を機械的に保
持するための保持部が連結されている、請求項2または
3に記載の圧電共振子。
4. The piezoelectric resonator according to claim 2, wherein a holding portion for mechanically holding the piezoelectric resonator is connected to the connecting portion.
【請求項5】 前記保持部に引き出し電極が形成されて
おり、該引き出し電極が前記第1または第2の共振電極
に電気的に接続されている、請求項4に記載の圧電共振
子。
5. The piezoelectric resonator according to claim 4, wherein an extraction electrode is formed on the holding portion, and the extraction electrode is electrically connected to the first or second resonance electrode.
【請求項6】 前記第1,第2の共振電極が、前記第
1,第2の連結部が連結されている側のコーナー部を結
ぶ対角線に略沿うように延びるように、前記圧電振動部
の矩形面上に形成されている、請求項3に記載の圧電共
振子。
6. The piezoelectric vibrating portion so that the first and second resonant electrodes extend substantially along a diagonal line connecting the corners on the side where the first and second connecting portions are connected. The piezoelectric resonator according to claim 3, wherein the piezoelectric resonator is formed on the rectangular surface of.
【請求項7】 前記第1,第2の共振電極が、前記第
1,第2の連結部が連結されている部分近傍において、
それぞれ、前記矩形面上に形成されている、請求項3に
記載の圧電共振子。
7. The first and second resonant electrodes, in the vicinity of a portion where the first and second connecting portions are connected,
The piezoelectric resonator according to claim 3, each of which is formed on the rectangular surface.
【請求項8】 前記連結部と前記保持部との間に設けら
れた動吸振部をさらに備える、請求項2に記載の圧電共
振子。
8. The piezoelectric resonator according to claim 2, further comprising a dynamic vibration absorbing portion provided between the connecting portion and the holding portion.
【請求項9】 請求項1に記載の圧電共振子と、 前記圧電共振子の一対の矩形面上に振動部分の振動を妨
げない空間を有するようにして貼り合わされた第1,第
2のケース基板とを有する、チップ型圧電共振部品。
9. The piezoelectric resonator according to claim 1, and first and second cases bonded to each other so as to have a space that does not hinder vibration of a vibrating portion on a pair of rectangular surfaces of the piezoelectric resonator. A chip-type piezoelectric resonance component having a substrate.
【請求項10】 前記圧電共振子が、前記圧電振動部の
矩形面の短辺側の両側面に連結された第1,第2の連結
部及び第1,第2の保持部を有し、 前記保持部に、前記第1,第2のケース基板が貼り合わ
されている、請求項9に記載のチップ型圧電共振部品。
10. The piezoelectric resonator has first and second connecting portions and first and second holding portions connected to both side surfaces on a short side of a rectangular surface of the piezoelectric vibrating portion, The chip type piezoelectric resonance component according to claim 9, wherein the first and second case substrates are attached to the holding portion.
【請求項11】 前記圧電共振子の圧電振動部の長辺側
の両側に、前記圧電振動部の振動を妨げないための空隙
を隔てて第1,第2のスペーサ板が結合されている、請
求項10に記載のチップ型圧電共振部品。
11. A first spacer plate and a second spacer plate are coupled to both sides of a long side of a piezoelectric vibrating portion of the piezoelectric resonator with a gap for preventing vibration of the piezoelectric vibrating portion. The chip type piezoelectric resonance component according to claim 10.
【請求項12】 前記圧電共振子及び第1,第2のスペ
ーサ板が一体の部材で構成されている、請求項11に記
載のチップ型圧電共振部品。
12. The chip type piezoelectric resonance component according to claim 11, wherein the piezoelectric resonator and the first and second spacer plates are formed as an integral member.
【請求項13】 前記第1の共振電極が、一対の電極か
らなり、該一対の電極の一方を入力電極、他方を出力電
極とする単一モード圧電フィルタである、請求項1に記
載の圧電共振子。
13. The piezoelectric according to claim 1, wherein the first resonance electrode is a single mode piezoelectric filter including a pair of electrodes, one of the pair of electrodes being an input electrode and the other being an output electrode. Resonator.
【請求項14】 前記圧電振動部が、第1,第2の圧電
振動部により構成されており、第1,第2の圧電振動部
を、各圧電振動部の矩形面の短辺側の側面同士を連結す
る連結部により連結されており、それによって2重モー
ド圧電フィルタが構成されている、請求項1に記載の圧
電共振子。
14. The piezoelectric vibrating section is composed of first and second piezoelectric vibrating sections, and the first and second piezoelectric vibrating sections are provided on a side surface on a short side of a rectangular surface of each piezoelectric vibrating section. The piezoelectric resonator according to claim 1, wherein the piezoelectric resonators are connected by a connecting portion that connects them to each other, thereby forming a dual mode piezoelectric filter.
JP06171136A 1994-07-22 1994-07-22 Piezoelectric resonator Expired - Lifetime JP3077517B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06171136A JP3077517B2 (en) 1994-07-22 1994-07-22 Piezoelectric resonator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP06171136A JP3077517B2 (en) 1994-07-22 1994-07-22 Piezoelectric resonator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0837441A true JPH0837441A (en) 1996-02-06
JP3077517B2 JP3077517B2 (en) 2000-08-14

Family

ID=15917659

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP06171136A Expired - Lifetime JP3077517B2 (en) 1994-07-22 1994-07-22 Piezoelectric resonator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3077517B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP3077517B2 (en) 2000-08-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3141723B2 (en) Resonator and resonance component using width mode
US5648746A (en) Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator
JP2000134060A (en) Energy confinement type piezoelectric resonator, and energy confinement type piezoelectric resonator component
JPH07154195A (en) Ladder filter
KR100397724B1 (en) Thickness Extensional Vibration Mode Piezoelectric Resonator, Ladder-Type Filter and Piezoelectric Resonator Component
JPH07336184A (en) Energy confining type piezoelectric resonator
JP3077517B2 (en) Piezoelectric resonator
JPH077361A (en) Resonator utilizing width extension mode
JP3139289B2 (en) Piezoelectric resonance components
JP3114521B2 (en) Ladder type filter
JP3077523B2 (en) Piezoelectric resonator
JPH10215140A (en) Piezoelectric resonator and electronic component using the resonator
JP3114485B2 (en) Piezo filter
JP3139274B2 (en) Oscillator, resonator, and resonating component using width expansion mode
JP3271538B2 (en) Piezoelectric resonator and electronic component using the same
JP3077551B2 (en) Piezoelectric resonance components
JP3485114B2 (en) Thickness vertical piezoelectric resonator and piezoelectric resonant component
JP3161231B2 (en) Piezo filter
JPH0837442A (en) Ladder filter
JP3114519B2 (en) Ladder type filter
JPH06244673A (en) Energy sealing piezoelectric resonator
JP2002009586A (en) Dual mode piezoelectric filter
JP2002368567A (en) Piezoelectric resonating component utilizing longitudinal thickness vibrating mode and frequency control method for the same
JP2000165181A (en) Piezoelectric resonator, electronic component and communication equipment
JP2002164764A (en) Composite material vibrating device

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 8

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080616

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090616

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090616

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 13

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616

EXPY Cancellation because of completion of term