JPH08313785A - 顕微鏡の焦準機構 - Google Patents
顕微鏡の焦準機構Info
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- JPH08313785A JPH08313785A JP11732395A JP11732395A JPH08313785A JP H08313785 A JPH08313785 A JP H08313785A JP 11732395 A JP11732395 A JP 11732395A JP 11732395 A JP11732395 A JP 11732395A JP H08313785 A JPH08313785 A JP H08313785A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、小型でスペース性に優れ、価格的に
も安価にでき、しかも被検査物の厚さの変化に対しても
対応することができる焦準機構を提供する。 【構成】粗微動移動による通常のピント合わせは、固定
ネジ１２による移動棒１０の固定を解除しスプリング１
１による押圧力を圧電素子９に与えた状態で、粗動ハン
ドル７あるいは微動ハンドル８の操作によりピニオン
４、ラック３を介して移動台２を光軸方向に移動させる
ことで行い、極微細移動によるピント合わせは、固定ネ
ジ１２によって移動棒１０を顕微鏡本体１に固定した状
態から、圧電素子９に所定の電圧を印加して、この圧電
素子９に伸縮方向の変位を発生させることにより、移動
台２を光軸方向に極微細移動させる。
も安価にでき、しかも被検査物の厚さの変化に対しても
対応することができる焦準機構を提供する。 【構成】粗微動移動による通常のピント合わせは、固定
ネジ１２による移動棒１０の固定を解除しスプリング１
１による押圧力を圧電素子９に与えた状態で、粗動ハン
ドル７あるいは微動ハンドル８の操作によりピニオン
４、ラック３を介して移動台２を光軸方向に移動させる
ことで行い、極微細移動によるピント合わせは、固定ネ
ジ１２によって移動棒１０を顕微鏡本体１に固定した状
態から、圧電素子９に所定の電圧を印加して、この圧電
素子９に伸縮方向の変位を発生させることにより、移動
台２を光軸方向に極微細移動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡の試料台（ステ
ージ）または対物レンズを光軸方向へ移動させ焦点調整
を行うための顕微鏡の焦準機構に関するものである。
ージ）または対物レンズを光軸方向へ移動させ焦点調整
を行うための顕微鏡の焦準機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】通常、顕微鏡におけるピント合わせは、
特公昭５２−４３６８８号公報に開示されるように、粗
動ハンドルあるいは微動ハンドルの回転動作と連動する
ラック・ピニオンにより、試料台（ステージ）あるいは
対物レンズが取付けられた移動台を光軸方向に移動して
行うような焦準機構を採用している。
特公昭５２−４３６８８号公報に開示されるように、粗
動ハンドルあるいは微動ハンドルの回転動作と連動する
ラック・ピニオンにより、試料台（ステージ）あるいは
対物レンズが取付けられた移動台を光軸方向に移動して
行うような焦準機構を採用している。
【０００３】このような焦準機構では、粗動ハンドル１
回転あたりの移動台の移動量は５〜３０ｍｍで、微動ハ
ンドル１回転あたりの移動台の移動量は０．１〜１ｍｍ
程度となっている。
回転あたりの移動台の移動量は５〜３０ｍｍで、微動ハ
ンドル１回転あたりの移動台の移動量は０．１〜１ｍｍ
程度となっている。
【０００４】一方、最近の画像処理技術の発展ととも
に、ピント位置を０．０１〜０．０５μｍきざみで移動
させながら断層像を取り出し、これを画像処理して三次
元像を構築する技術が開発されており、顕微鏡の焦準機
構にも極微細移動が要求されるようになっている。
に、ピント位置を０．０１〜０．０５μｍきざみで移動
させながら断層像を取り出し、これを画像処理して三次
元像を構築する技術が開発されており、顕微鏡の焦準機
構にも極微細移動が要求されるようになっている。
【０００５】ところが、このような極微細な移動を、上
述した焦準機構の粗動ハンドルや微動ハンドルを回転し
て行うことは、分解能、応答性および位置再現性などか
らほとんど困難である。
述した焦準機構の粗動ハンドルや微動ハンドルを回転し
て行うことは、分解能、応答性および位置再現性などか
らほとんど困難である。
【０００６】そこで、従来、特開平６−１０９９６３号
公報に開示されるように、試料台（ステージ）あるいは
対物レンズが取付けられた移動台の移動の精密さを確保
するため、これまでのラック・ピニオンを介さずに、移
動台を圧電素子などの変位発生素子で直接極微細移動さ
せるようにしたものや特開平６−１３８３９５号公報に
開示されるように、移動台の移動量をセンサで検出し、
センサの出力を変位発生素子の制御系に入力し、移動台
を精密に制御するようにしたものなどが考えられてい
る。
公報に開示されるように、試料台（ステージ）あるいは
対物レンズが取付けられた移動台の移動の精密さを確保
するため、これまでのラック・ピニオンを介さずに、移
動台を圧電素子などの変位発生素子で直接極微細移動さ
せるようにしたものや特開平６−１３８３９５号公報に
開示されるように、移動台の移動量をセンサで検出し、
センサの出力を変位発生素子の制御系に入力し、移動台
を精密に制御するようにしたものなどが考えられてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平６−
１０９９６３号公報に開示されているものは、（ａ）焦
準ハンドルの回転によって移動する粗動台を案内する案
内機構と変位発生素子によって移動される微動台を案内
する案内機構が必要になるため、精密な案内を行う案内
機構が二重に必要となって装置が大型で高価となり、
（ｂ）移動台の移動変位が検出されていないため、変位
発生素子は制御されていても、微動機構のガタ、タワミ
等により、微動台が粗動台に対して正確に移動しない可
能性があり、また微動台の移動変位が移動目標値と一致
しているか否かが不明であり、（ｃ）変位発生素子のヒ
ステリシスや微動機構のガタ、タワミ等により、高い位
置再現性が得られないなどの問題点ががある。
１０９９６３号公報に開示されているものは、（ａ）焦
準ハンドルの回転によって移動する粗動台を案内する案
内機構と変位発生素子によって移動される微動台を案内
する案内機構が必要になるため、精密な案内を行う案内
機構が二重に必要となって装置が大型で高価となり、
（ｂ）移動台の移動変位が検出されていないため、変位
発生素子は制御されていても、微動機構のガタ、タワミ
等により、微動台が粗動台に対して正確に移動しない可
能性があり、また微動台の移動変位が移動目標値と一致
しているか否かが不明であり、（ｃ）変位発生素子のヒ
ステリシスや微動機構のガタ、タワミ等により、高い位
置再現性が得られないなどの問題点ががある。
【０００８】また、特開平６−１３８３９５号公報に開
示されているものは、（ａ）粗動機構部と微動機構部に
それぞれ精密な案内を行う案内機構が必要となり、装置
が大型で高価となり、（ｂ）このようなの機構でピント
合わせを行う場合には、まず粗動機構でステージをセン
サの測定範囲内に移動させる必要がある。この場合、微
細移動を検出するセンサとして、静電容量センサや差動
トランス型センサが使用されるが、静電容量センサの測
定範囲は２０〜５００μｍで、差動トランス型センサの
測定範囲は０．５〜２ｍｍと小さい。一方、顕微鏡のピ
ント合わせにおいて、被検査物の厚さによってステージ
と対物レンズの相対位置が異なってくるので、必ずしも
全てのピント合わせが、本機構に使用されるセンサの測
定範囲内で行うことができない。その場合、センサの取
付位置を再調整する等の面倒な操作が必要となるなどの
問題点があった。
示されているものは、（ａ）粗動機構部と微動機構部に
それぞれ精密な案内を行う案内機構が必要となり、装置
が大型で高価となり、（ｂ）このようなの機構でピント
合わせを行う場合には、まず粗動機構でステージをセン
サの測定範囲内に移動させる必要がある。この場合、微
細移動を検出するセンサとして、静電容量センサや差動
トランス型センサが使用されるが、静電容量センサの測
定範囲は２０〜５００μｍで、差動トランス型センサの
測定範囲は０．５〜２ｍｍと小さい。一方、顕微鏡のピ
ント合わせにおいて、被検査物の厚さによってステージ
と対物レンズの相対位置が異なってくるので、必ずしも
全てのピント合わせが、本機構に使用されるセンサの測
定範囲内で行うことができない。その場合、センサの取
付位置を再調整する等の面倒な操作が必要となるなどの
問題点があった。
【０００９】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、小型でスペース性に優れ、価格的にも安価にでき、
さらに、被検査物の厚さの変化に対しても対応すること
ができる焦準機構を提供することを目的とする。
で、小型でスペース性に優れ、価格的にも安価にでき、
さらに、被検査物の厚さの変化に対しても対応すること
ができる焦準機構を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
顕微鏡の試料台または対物レンズを光軸方向へ移動させ
る顕微鏡の焦準機構において、顕微鏡本体と、前記試料
台または対物レンズを設けるとともに前記顕微鏡本体に
対し前記光軸方向に移動自在に支持された移動台と、こ
の移動台に設けられ前記光軸方向に伸縮可能な変位発生
素子と、前記顕微鏡本体に摺動可能に設けられ前記変位
発生素子に前記光軸方向の押圧力を作用させる移動部材
と、この移動部材を前記顕微鏡本体に固定可能にする固
定手段とにより構成している。
顕微鏡の試料台または対物レンズを光軸方向へ移動させ
る顕微鏡の焦準機構において、顕微鏡本体と、前記試料
台または対物レンズを設けるとともに前記顕微鏡本体に
対し前記光軸方向に移動自在に支持された移動台と、こ
の移動台に設けられ前記光軸方向に伸縮可能な変位発生
素子と、前記顕微鏡本体に摺動可能に設けられ前記変位
発生素子に前記光軸方向の押圧力を作用させる移動部材
と、この移動部材を前記顕微鏡本体に固定可能にする固
定手段とにより構成している。
【００１１】また、請求項２記載の発明では、請求項１
記載において、移動部材は、顕微鏡本体に摺動可能に設
けられる移動棒と、この該移動棒を介して前記変位発生
素子に前記光軸方向の押圧力を作用させるスプリングを
有している。
記載において、移動部材は、顕微鏡本体に摺動可能に設
けられる移動棒と、この該移動棒を介して前記変位発生
素子に前記光軸方向の押圧力を作用させるスプリングを
有している。
【００１２】
【作用】この結果、請求項１、２記載の発明によれば、
粗微動移動による通常のピント合わせは、移動部材の固
定を解除しておき、粗動ハンドルや微動ハンドルの操作
により移動台を光軸方向に移動させることで行い、極微
細移動によるピント合わせは、固定手段によって移動部
材を顕微鏡本体に固定し、変位発生素子に所定の変位を
発生させることで、移動台を光軸方向に極微細移動させ
るようになる。
粗微動移動による通常のピント合わせは、移動部材の固
定を解除しておき、粗動ハンドルや微動ハンドルの操作
により移動台を光軸方向に移動させることで行い、極微
細移動によるピント合わせは、固定手段によって移動部
材を顕微鏡本体に固定し、変位発生素子に所定の変位を
発生させることで、移動台を光軸方向に極微細移動させ
るようになる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に従い説明す
る。図１は、同実施例の縦断面図、図２は横断面図をそ
れぞれ示している。図において、１は顕微鏡本体（固定
台）で、この顕微鏡本体１には、試料台（ステージ）ま
たは対物レンズ（いずれも図示せず）が取付けられる移
動台２を光軸Ｏ方向に移動可能に設けている。
る。図１は、同実施例の縦断面図、図２は横断面図をそ
れぞれ示している。図において、１は顕微鏡本体（固定
台）で、この顕微鏡本体１には、試料台（ステージ）ま
たは対物レンズ（いずれも図示せず）が取付けられる移
動台２を光軸Ｏ方向に移動可能に設けている。
【００１４】この場合、顕微鏡本体１側には、ピニオン
４を回転可能に設けるとともに、移動台２側には、ピニ
オン４に噛合されるラック３を固定していて、ピニオン
４の回転をラック４により直線運動に変換し、移動台２
を光軸Ｏ方向に直進移動させるようにしている。
４を回転可能に設けるとともに、移動台２側には、ピニ
オン４に噛合されるラック３を固定していて、ピニオン
４の回転をラック４により直線運動に変換し、移動台２
を光軸Ｏ方向に直進移動させるようにしている。
【００１５】この場合、ラック３とピニオン４の間に
は、後述する微動ハンドル８による移動の精密さを確保
するため一定のガタを設けているのが普通であり、この
ため、これらラック３とピニオン４間は、移動台２と該
移動台２に取付けられたステージまたは対物レンズの重
量が光軸Ｏに沿って垂直方向に作用され、片側に押し付
けられた状態で噛合っている。
は、後述する微動ハンドル８による移動の精密さを確保
するため一定のガタを設けているのが普通であり、この
ため、これらラック３とピニオン４間は、移動台２と該
移動台２に取付けられたステージまたは対物レンズの重
量が光軸Ｏに沿って垂直方向に作用され、片側に押し付
けられた状態で噛合っている。
【００１６】また、顕微鏡本体１と移動台２との間に
は、１対のコロレース５を設けていて、これらコロレー
ス５によりコロ６を介して移動台２の光軸Ｏ方向の移動
をガイドするようにしている。
は、１対のコロレース５を設けていて、これらコロレー
ス５によりコロ６を介して移動台２の光軸Ｏ方向の移動
をガイドするようにしている。
【００１７】７は粗動ハンドル、８は微動ハンドルであ
る。これら粗動ハンドル７および微動ハンドル８は、顕
微鏡本体１を貫通して設けられた粗微動機構部１３に接
続していて、この粗微動機構部１３によりピニオン４の
回転を制御するようにしている。この場合、これら粗動
ハンドル７および微動ハンドル８により操作される粗微
動機構１３の詳細は、特公昭５２−４３６８８号公報に
開示されており、ここでの説明は省略する。
る。これら粗動ハンドル７および微動ハンドル８は、顕
微鏡本体１を貫通して設けられた粗微動機構部１３に接
続していて、この粗微動機構部１３によりピニオン４の
回転を制御するようにしている。この場合、これら粗動
ハンドル７および微動ハンドル８により操作される粗微
動機構１３の詳細は、特公昭５２−４３６８８号公報に
開示されており、ここでの説明は省略する。
【００１８】一方、移動台２には、変位発生素子として
の圧電素子９を光軸Ｏに沿った方向に固定し、この圧電
素子９の端面に顕微鏡本体１側に摺動可能に取付けられ
た移動棒１０に当接している。
の圧電素子９を光軸Ｏに沿った方向に固定し、この圧電
素子９の端面に顕微鏡本体１側に摺動可能に取付けられ
た移動棒１０に当接している。
【００１９】この場合、圧電素子９は、図示しない電圧
印加手段によって所定の電圧を印加することにより、光
軸Ｏ方向に伸縮可能になっている。また、移動棒１０
は、スプリング１１により常時圧電素子９を押圧するよ
うになっている。なお、１２は固定ネジで、移動棒１０
を顕微鏡本体１に固定するものである。
印加手段によって所定の電圧を印加することにより、光
軸Ｏ方向に伸縮可能になっている。また、移動棒１０
は、スプリング１１により常時圧電素子９を押圧するよ
うになっている。なお、１２は固定ネジで、移動棒１０
を顕微鏡本体１に固定するものである。
【００２０】この場合、圧電素子９を作動させない時
に、最も縮んだ状態にしておけば、圧電素子９に電圧を
印加すると、移動台２が上方へ移動することとなる。ま
た、この時、圧電素子９による極微細移動に要求される
移動ストロークは、せいぜい１００〜２００μｍで、前
述したギヤ間のガタで吸収できるので、ラック３とピニ
オン４の噛合わせに影響されることなく、移動台２が圧
電素子９の伸縮により、極微細で精密に移動可能になっ
ている。
に、最も縮んだ状態にしておけば、圧電素子９に電圧を
印加すると、移動台２が上方へ移動することとなる。ま
た、この時、圧電素子９による極微細移動に要求される
移動ストロークは、せいぜい１００〜２００μｍで、前
述したギヤ間のガタで吸収できるので、ラック３とピニ
オン４の噛合わせに影響されることなく、移動台２が圧
電素子９の伸縮により、極微細で精密に移動可能になっ
ている。
【００２１】しかして、このような構成において、ま
ず、粗微動移動による通常のピント合わせを行う場合
は、固定ネジ１２は解除しておき、粗動ハンドル７ある
いは微動ハンドル８を回転することでピニオン４を回動
させ、ラック３を介して移動台２を移動させる。する
と、移動台２は、コロレース５およびコロ６に案内され
て光軸方向に精密に移動するので、移動台２に取付けら
れる図示しない試料台上の試料に対するピント合わせを
行うことができる。
ず、粗微動移動による通常のピント合わせを行う場合
は、固定ネジ１２は解除しておき、粗動ハンドル７ある
いは微動ハンドル８を回転することでピニオン４を回動
させ、ラック３を介して移動台２を移動させる。する
と、移動台２は、コロレース５およびコロ６に案内され
て光軸方向に精密に移動するので、移動台２に取付けら
れる図示しない試料台上の試料に対するピント合わせを
行うことができる。
【００２２】この場合、スプリング１１は、移動台２に
対するカウンタスプリングとして作用するので、粗動ハ
ンドル７および微動ハンドル８による回転操作をスムー
ズに行うこともできる。また、この状態では、固定ネジ
１２は、解除されているので、移動棒１０先端は、スプ
リング１１により圧電素子９に押圧された状態で、粗微
動移動範囲の全範囲にわたって移動するようになる。
対するカウンタスプリングとして作用するので、粗動ハ
ンドル７および微動ハンドル８による回転操作をスムー
ズに行うこともできる。また、この状態では、固定ネジ
１２は、解除されているので、移動棒１０先端は、スプ
リング１１により圧電素子９に押圧された状態で、粗微
動移動範囲の全範囲にわたって移動するようになる。
【００２３】次に、極微細移動によるピント合わせを行
う場合は、まず上述したように粗動ハンドル７または微
動ハンドル８により移動台２に取付けられる図示しない
試料台上の試料に対するピント合わせを行った後、固定
ネジ１２により移動棒１０を顕微鏡本体１へ固定する。
う場合は、まず上述したように粗動ハンドル７または微
動ハンドル８により移動台２に取付けられる図示しない
試料台上の試料に対するピント合わせを行った後、固定
ネジ１２により移動棒１０を顕微鏡本体１へ固定する。
【００２４】そして、この状態から、圧電素子９に対
し、図示しない電圧印加手段より所定の電圧を印加する
ことにより、圧電素子９を伸縮させるようにする。この
場合、移動棒１０は、顕微鏡本体１に固定ネジ１２によ
り一体的に固定された状態で圧電素子９と接しているの
で、圧電素子９の伸縮量は、顕微鏡本体１に対する移動
量となり、移動台２は、コロレース５およびコロ６に沿
って案内されて圧縮素子９の伸縮量と同じだけ移動され
るようになり、極微細移動によるピント合わせを行うこ
とができるようになる。
し、図示しない電圧印加手段より所定の電圧を印加する
ことにより、圧電素子９を伸縮させるようにする。この
場合、移動棒１０は、顕微鏡本体１に固定ネジ１２によ
り一体的に固定された状態で圧電素子９と接しているの
で、圧電素子９の伸縮量は、顕微鏡本体１に対する移動
量となり、移動台２は、コロレース５およびコロ６に沿
って案内されて圧縮素子９の伸縮量と同じだけ移動され
るようになり、極微細移動によるピント合わせを行うこ
とができるようになる。
【００２５】従って、このような実施例によれば、粗微
動移動による通常のピント合わせは、固定ネジ１２によ
る移動棒１０の固定を解除しスプリング１１による押圧
力を圧電素子９に与えた状態で、粗動ハンドル７あるい
は微動ハンドル８の操作によりピニオン４、ラック３を
介して移動台２を光軸方向に移動させることで行い、極
微細移動によるピント合わせは、固定ネジ１２によって
移動棒１０を顕微鏡本体１に固定した状態から、圧電素
子９に所定の電圧を印加して、この圧電素子９に伸縮方
向の変位を発生させることにより、移動台２を光軸方向
に極微細移動させるようにしている。
動移動による通常のピント合わせは、固定ネジ１２によ
る移動棒１０の固定を解除しスプリング１１による押圧
力を圧電素子９に与えた状態で、粗動ハンドル７あるい
は微動ハンドル８の操作によりピニオン４、ラック３を
介して移動台２を光軸方向に移動させることで行い、極
微細移動によるピント合わせは、固定ネジ１２によって
移動棒１０を顕微鏡本体１に固定した状態から、圧電素
子９に所定の電圧を印加して、この圧電素子９に伸縮方
向の変位を発生させることにより、移動台２を光軸方向
に極微細移動させるようにしている。
【００２６】これにより、移動台２は、粗微移動および
極微細移動のいずれの場合でも共通の案内機構により光
軸方向に案内されるようになるので、小型でスペース性
に優れ、価格の安い焦準機構を得られる。
極微細移動のいずれの場合でも共通の案内機構により光
軸方向に案内されるようになるので、小型でスペース性
に優れ、価格の安い焦準機構を得られる。
【００２７】また、スプリング１１は粗微動ハンドル
７、８を操作する際のカウンタスプリングとして作用す
るので、粗動ハンドル７及び微動ハンドル８の回転を軽
くできる効果もある。
７、８を操作する際のカウンタスプリングとして作用す
るので、粗動ハンドル７及び微動ハンドル８の回転を軽
くできる効果もある。
【００２８】さらに、移動棒１０と圧電素子９は常に接
した状態で移動されるので、例え、試料の厚さが変化し
たような場合でも、移動棒１０を固定ネジ１２により固
定すれば、圧電素子９による極微細移動が可能となり、
試料の厚さの変化に左右されない精度の高いピント合わ
せを行うことができる。
した状態で移動されるので、例え、試料の厚さが変化し
たような場合でも、移動棒１０を固定ネジ１２により固
定すれば、圧電素子９による極微細移動が可能となり、
試料の厚さの変化に左右されない精度の高いピント合わ
せを行うことができる。
【００２９】なお、上述した実施例では、移動棒１０の
固定手段として固定ネジ１２を用いたが、これに代わっ
て電磁ソレノイドや電磁ブレーキなどを用いて電動化す
れば、操作性をさらに向上させることができる。
固定手段として固定ネジ１２を用いたが、これに代わっ
て電磁ソレノイドや電磁ブレーキなどを用いて電動化す
れば、操作性をさらに向上させることができる。
【００３０】また、移動台２側に移動棒１０との相対距
離を検出する位置検出センサを設け、この位置検出セン
サで検出された相対距離を圧電素子９の図示しない電圧
印加手段にフィードバックして閉ループ制御を行う構成
とすれば、より正確な移動台２の位置制御が可能とな
る。
離を検出する位置検出センサを設け、この位置検出セン
サで検出された相対距離を圧電素子９の図示しない電圧
印加手段にフィードバックして閉ループ制御を行う構成
とすれば、より正確な移動台２の位置制御が可能とな
る。
【００３１】以上、実施例に基づいて説明したが、本発
明中には以下の発明が含まれる。 （１）顕微鏡の試料台または対物レンズを光軸方向へ移
動させる顕微鏡の焦準機構において、顕微鏡本体と、前
記試料台または対物レンズを設けるとともに前記顕微鏡
本体に対し前記光軸方向に移動自在に支持された移動台
と、この移動台に設けられ前記光軸方向に伸縮可能な変
位発生素子と、前記顕微鏡本体に摺動可能に設けられ前
記変位発生素子に前記光軸方向の押圧力を作用させる移
動部材と、この移動部材を前記顕微鏡本体に固定可能に
する固定手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡の焦
準機構。
明中には以下の発明が含まれる。 （１）顕微鏡の試料台または対物レンズを光軸方向へ移
動させる顕微鏡の焦準機構において、顕微鏡本体と、前
記試料台または対物レンズを設けるとともに前記顕微鏡
本体に対し前記光軸方向に移動自在に支持された移動台
と、この移動台に設けられ前記光軸方向に伸縮可能な変
位発生素子と、前記顕微鏡本体に摺動可能に設けられ前
記変位発生素子に前記光軸方向の押圧力を作用させる移
動部材と、この移動部材を前記顕微鏡本体に固定可能に
する固定手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡の焦
準機構。
【００３２】このようにすれば、粗微動移動による通常
のピント合わせは、移動部材の固定を解除しておき、粗
動ハンドルや微動ハンドルの操作により移動台を光軸方
向に移動させることで行い、極微細移動によるピント合
わせは、固定手段によって移動部材を顕微鏡本体に固定
し、変位発生素子に所定の変位を発生させることで、移
動台を光軸方向に極微細移動させるようになるので、移
動台の粗微ピント合わせおよび極微細ピント合わせのい
ずれの移動に対して共通の案内機構により対応でき、小
型でスペース性に優れ、価格的にも安価にでき、さら
に、被検査物の厚さの変化に対しても対応することがで
きる。
のピント合わせは、移動部材の固定を解除しておき、粗
動ハンドルや微動ハンドルの操作により移動台を光軸方
向に移動させることで行い、極微細移動によるピント合
わせは、固定手段によって移動部材を顕微鏡本体に固定
し、変位発生素子に所定の変位を発生させることで、移
動台を光軸方向に極微細移動させるようになるので、移
動台の粗微ピント合わせおよび極微細ピント合わせのい
ずれの移動に対して共通の案内機構により対応でき、小
型でスペース性に優れ、価格的にも安価にでき、さら
に、被検査物の厚さの変化に対しても対応することがで
きる。
【００３３】（２）（１）記載の焦準機構において、移
動部材は、顕微鏡本体に摺動可能に設けられる移動棒
と、この該移動棒を介して前記変位発生素子に前記光軸
方向の押圧力を作用させるスプリングを有する。このよ
うにしても、（１）と同様な効果が得られる。
動部材は、顕微鏡本体に摺動可能に設けられる移動棒
と、この該移動棒を介して前記変位発生素子に前記光軸
方向の押圧力を作用させるスプリングを有する。このよ
うにしても、（１）と同様な効果が得られる。
【００３４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、移動
台の粗微ピント合わせおよび極微細ピント合わせのいず
れの移動に対しても共通の案内機構により対応でき、小
型でスペース性に優れ、価格的にも安価にでき、さら
に、被検査物の厚さの変化に対しても対応することがで
きる焦準機構を提供できる。
台の粗微ピント合わせおよび極微細ピント合わせのいず
れの移動に対しても共通の案内機構により対応でき、小
型でスペース性に優れ、価格的にも安価にでき、さら
に、被検査物の厚さの変化に対しても対応することがで
きる焦準機構を提供できる。
【図１】本発明の一実施例の概略構成を示す縦断面図。
【図２】一実施例の概略構成を示す横断面図。
１…顕微鏡本体（固定台）、 ２…移動台、 ３…ラック、 ４…ピニオン、 ５…コロレース、 ６…コロ、 ７…粗動ハンドル、 ８…微動ハンドル、 ９…圧電素子、 １０…移動棒、 １１…スプリング、 １２…固定ネジ、 １３…粗微動機構部。
Claims (2)
- 【請求項１】 顕微鏡の試料台または対物レンズを光軸
方向へ移動させる顕微鏡の焦準機構において、 顕微鏡本体と、 前記試料台または対物レンズを設けるとともに前記顕微
鏡本体に対し前記光軸方向に移動自在に支持された移動
台と、 この移動台に設けられ前記光軸方向に伸縮可能な変位発
生素子と、 前記顕微鏡本体に摺動可能に設けられ前記変位発生素子
に前記光軸方向の押圧力を作用させる移動部材と、 この移動部材を前記顕微鏡本体に固定可能にする固定手
段とを具備したことを特徴とする顕微鏡の焦準機構。 - 【請求項２】 移動部材は、顕微鏡本体に摺動可能に設
けられる移動棒と、この該移動棒を介して前記変位発生
素子に前記光軸方向の押圧力を作用させるスプリングを
有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡の焦準機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11732395A JPH08313785A (ja) | 1995-05-16 | 1995-05-16 | 顕微鏡の焦準機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11732395A JPH08313785A (ja) | 1995-05-16 | 1995-05-16 | 顕微鏡の焦準機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08313785A true JPH08313785A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=14708906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11732395A Withdrawn JPH08313785A (ja) | 1995-05-16 | 1995-05-16 | 顕微鏡の焦準機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08313785A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6275344B1 (en) | 1999-03-12 | 2001-08-14 | Carl Zeiss | Device for displacing an optical element along the optical axis |
| US6276066B1 (en) | 1998-07-15 | 2001-08-21 | Carl-Zeiss-Stiftung | Positioning device |
| JP2005326692A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
| KR100950708B1 (ko) * | 2007-10-31 | 2010-04-01 | (주)아이티시에스 | 초소형 로봇의 관절용 엑츄에이터 모듈 |
| US9180593B2 (en) | 2008-12-30 | 2015-11-10 | Cella Vision AB | Analyser for optical analysis of a biological specimen |
| CN109491034A (zh) * | 2018-10-11 | 2019-03-19 | 上海荣高电子科技有限公司 | 一种光栅调整机构 |
-
1995
- 1995-05-16 JP JP11732395A patent/JPH08313785A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US9676095B2 (en) | 2008-12-30 | 2017-06-13 | Cellavision Ab | Analyser for optical analysis of a biological specimen |
| US9776322B2 (en) | 2008-12-30 | 2017-10-03 | Cellavision Ab | Analyser for optical analysis of a biological specimen |
| CN109491034A (zh) * | 2018-10-11 | 2019-03-19 | 上海荣高电子科技有限公司 | 一种光栅调整机构 |
| CN109491034B (zh) * | 2018-10-11 | 2023-04-18 | 烟台荣高数字科技有限公司 | 一种光栅调整机构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |