JPH08292573A - 光開始剤、感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 優れた感光特性を示す光開始剤、これを用い
た感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造
法を提供する。 【構成】 （ａ）下記一般式（Ｉ） 【化１】 （式中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ
⁹、Ｒ¹⁰、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は各々独立
に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原
子、トリハロメチル基又は炭素数１〜５のアルコキシ基
を示す）で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾ
ール化合物及び（ｂ）芳香族メルカプト化合物を組み合
わせてなる光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光
材料及びレリーフパターンの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光開始剤、感光性組成
物、感光材料及びレリーフパターンの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ポリイミド又はその前駆体であって、そ
れ自体でフォトパターニング性を兼備しているものは感
光性ポリイミドと呼ばれ、半導体の表面保護膜等に用い
られている。感光性ポリイミドには、いくつかの感光性
付与方式が提案されており、代表的なものとしては、例
えば、ポリアミド酸のヒドロキシアクリレートとのエス
テルとしたもの（特公昭５５−４１４２２号公報）、ポ
リアミド酸にアミノアクリレートのようなものを配合し
感光性基を塩結合で導入するもの（特開昭５４−１４５
７９４号公報）等が知られている。これらの材料は、ポ
リアミド酸自体が剛直なために、スピンコート等によっ
て作製する膜状態では、従来の紫外線硬化塗料やドライ
フィルムレジストと比較して、低感度となる欠点があ
り、特に、硬化後膜厚が５μｍ以上の厚膜用感光性ポリ
イミドにおいては、良好なパターニング性が得られない
問題があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来技術の問題点を解消し、優れた感光特性を示す光
開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料及びレリ
ーフパターンの製造法を提供するものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）下記一
般式（Ｉ）

【化４】 （式中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ
⁹、Ｒ¹⁰、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は各々独立
に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原
子、トリハロメチル基又は炭素数１〜５のアルコキシ基
を示す）で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾ
ール化合物及び（ｂ）芳香族メルカプト化合物を組み合
わせてなる光開始剤に関する。

【０００５】また、本発明は、（ａ）上記一般式（Ｉ）
で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾール化合
物、（ｂ）芳香族メルカプト化合物及び（ｃ）常圧にお
いて１００℃以上の沸点を有する付加重合性化合物を含
有してなる感光性組成物に関する。また、本発明は、
（ａ）上記一般式（Ｉ）で表される芳香族ヘキサアリー
ルビスイミダゾール化合物、（ｂ）芳香族メルカプト化
合物、（ｄ）ポリアミド酸及び（ｅ）化学線により２量
化又は重合可能な炭素炭素二重結合とアミノ基又はその
四級化塩とを有する化合物を含有してなる感光材料に関
する。また、本発明は、前記感光性組成物又は前記感光
材料の塗膜の上から活性光線を像状に照射し、未照射部
を現像除去し、加熱することを特徴とするレリーフパタ
ーンの製造法に関する。

【０００６】本発明の光開始剤は、（ａ）上記一般式
（Ｉ）で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾー
ル化合物及び（ｂ）芳香族メルカプト化合物を必須成分
とする。上記一般式（Ｉ）中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ
⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ⁹、Ｒ¹⁰、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ
¹⁴及びＲ¹⁵は各々独立に、水素原子、炭素数１〜５のア
ルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基又は炭素数
１〜５のアルコキシ基である。ハロゲン原子としては、
フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられ、本発明
の組成物を、半導体、マルチチップモジュール等の層間
絶縁膜、保護膜等に用いた場合、チップに悪影響（例え
ば、イオンになる汚染等）を及ぼさない点からフッ素原
子が好ましい。トリハロメチル基としては、トリフルオ
メチル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基等
が挙げられ、上記と同様の理由からトリフルオメチル基
が好ましい。

【０００７】本発明の光開始剤における、（ａ）上記一
般式（Ｉ）で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダ
ゾール化合物としては、例えば、２，２′，４，４′，
５，５′−ヘキサアリルビスイミダゾール、２，２′−
ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テ
トラフェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−
フルオロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェ
ニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−トリフル
オロメチルフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフ
ェニルビスイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−クロロ
フェニル）−４，４′，５，５′−テトラ−（ｐ−メト
キシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ
−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ−
（ｍ−メトキシフェニル）ビスイミダゾール、２，２′
−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−
テトラ−（３，４−ジメトキシフェニル）ビスイミダゾ
ール等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を
組み合わせて使用される。

【０００８】本発明の光開始剤における、（ｂ）芳香族
メルカプト化合物としては、ベンゼン又は複素環を母核
とし、メルカプト基を１つ又は２つ有するもの等が挙げ
られ、メルカプト基を２つ有する場合には、一方のメル
カプト基が、アルキル、アラルキル又はフェニル置換さ
れていてもよく、また、アルキレン基を介在した二量体
又はジスルフィドの形をとった二量体でもよい。このよ
うな（ｂ）芳香族メルカプト化合物としては、例えば、
２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベン
ゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール等
が好ましいものとして挙げられる。これらは単独で又は
２種類以上を組み合わせて使用される。

【０００９】本発明の光開始剤における（ａ）成分の配
合量は、特に制限はなく、（ａ）成分及び（ｂ）成分の
総量１００重量部に対して、５〜９５重量部とすること
が好ましい。この配合量が、５重量部未満では、感度が
劣る傾向があり、９５重量部を超えると、現像液に不溶
となる傾向がある。また、本発明の光開始剤における
（ｂ）成分の配合量としては、特に制限はなく、（ａ）
成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して、５〜
９５重量部とすることが好ましい。この配合量が、５重
量部未満では、未露光部でも現像液に不溶となる傾向が
あり、９５重量部を超えると、感度が劣る傾向がある。

【００１０】本発明の感光性組成物は、前記本発明の光
開始剤及び（ｃ）常圧において１００℃以上の沸点を有
する付加重合性化合物を必須成分とする。

【００１１】本発明の感光性組成物における、（ｃ）付
加重合性化合物は、常圧において１００℃以上の沸点を
有するものである必要がある。常圧において沸点が１０
０℃未満のものでは、系内に含有する溶剤を乾燥等によ
り除去する際又は活性光線を照射する際に、前記付加重
合性化合物が揮散してしまう。

【００１２】本発明の感光性組成物における、（ｃ）常
圧において１００℃以上の沸点を有する付加重合性化合
物としては、例えば、多価アルコールとα，β−不飽和
カルボン酸とを縮合して得られる化合物等が挙げられ
る。このような化合物としては、例えば、エチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート（ジアクリレート又はジ
メタクリレートの意味、以下同じ）、トリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
ジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（メタ）アクリレート、１，２−プロピレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、ジ（１，２−プロピレングリ
コール）ジ（メタ）アクリレート、トリ（１，２−プロ
ピレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、テトラ
（１，２−プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレ
ート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジ
エチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルア
ミノプロピル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノプ
ロピル（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオール
ジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メ
タ）アクリレート、スチレン、ジビニルベンゼン、４−
ビニルトルエン、４−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルピロ
リドン、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、
１，３−（メタ）アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシ
プロパン、メチレンビスアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド等
が挙げられ、これらは単独で又は２種類以上を組み合わ
せて使用される。

【００１３】また、（ｃ）常圧において１００℃以上の
沸点を有する付加重合性化合物は、光開始剤等と均一な
組成物とするために、通常用いられる有機溶剤に可溶な
ものであることが好ましい。有機溶剤としては、例え
ば、アセトン、メチルエチルケトン、トルエン、クロロ
ホルム、メタノール、エタノール、１−プロパノール、
２−プロパノール、１−ブタノール、２−ブタノール、
ｔ−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、キシレン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、Ｎ，
Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムア
ミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクト
ン、ジメチルスルホキシド、エチレンカーボネート、プ
ロピレンカーボネート、スルホラン等が挙げられ、これ
らは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００１４】本発明の感光性組成物における前記本発明
の光開始剤の配合量は、特に制限はなく、前記本発明の
光開始剤及び（ｃ）成分の総量１００重量部に対して、
１〜１５重量部とすることが好ましい。この配合量が、
１重量部未満では、感度が劣る傾向があり、１５重量部
を超えると、感度が劣る傾向があり、現像性が劣る傾向
がある。また、本発明の感光性組成物における（ｃ）成
分の配合量は、特に制限はなく、前記本発明の光開始剤
及び（ｃ）成分の総量１００重量部に対して、８５〜９
９重量部とすることが好ましい。この配合量が、８５重
量部未満では、感度が劣る傾向があり、現像性が劣る傾
向がある。また、９９重量部を超えると、感度が劣る傾
向がある。

【００１５】本発明の感光性組成物において、前記本発
明の光開始剤の（ａ）成分及び（ｂ）成分の配合順番と
しては、（ａ）成分及び（ｂ）成分を予め混合してか
ら、（ｃ）成分に添加し、配合することができ、また、
（ｃ）成分に（ａ）成分を添加した後、別途（ｂ）成分
を添加し、配合することもでき、また、（ｃ）成分に
（ｂ）成分を添加した後、別途（ａ）成分を添加し、配
合することもできる。

【００１６】本発明の感光性組成物には、必要に応じ
て、他の光開始剤を含有することができる。他の光開始
剤としては、例えば、ミヒラーズケトン、ベンゾインメ
チルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイン
イソプロピルエーテル、２−ｔ−ブチルアントラキノ
ン、２−エチルアントラキノン、４，４′−ビス（ジエ
チルアミノ）ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾ
フェノン、チオキサントン、２，２−ジメトキシ−２−
フェニルアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシ
ルフェニルケトン、２−メチル−［４−（メチルチオ）
フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、ベン
ジル、ジフェニルジスルフィド、フェナンスレンキノ
ン、２−イソプロピルチオキサントン、リボフラビンテ
トラブチレート、Ｎ−フェニルジエタノールアミン、２
−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシイミノ−１，３−
ジフェニルプロパンジオン、１−フェニル−２−（ｏ−
エトキシカルボニル）オキシイミノプロパン−１−オ
ン、３，３′，４，４′−テトラ（ｔ−ブチルパーオキ
シカルボニル）ベンゾフェノン、Ｎ−（ｐ−シアノフェ
ニル）グリシン、Ｎ−（ｐ−メチルスルホニルフェニ
ル）グリシン等が挙げられ、これらは単独で又は２種類
以上を組み合わせて使用される。

【００１７】他の光開始剤の配合量は、特に制限はな
く、前記本発明の光開始剤及び（ｃ）成分の総量１００
重量部に対して、１〜１０重量部とすることが好まし
い。

【００１８】また、本発明の感光性組成物には、基体へ
の接着性、耐薬品性、フィルム性等の特性を改良するた
めに、必要に応じて、高分子量有機重合体を含有するこ
とができる。高分子量有機重合体としては、例えば、
（イ）コポリエステル（多価アルコール（ジエチレング
リコール、トリエチレングリコール、テトラエチレング
リコール、トリメチロールプロパン、ネオペンチルグリ
コール等）と多価カルボン酸（テレフタル酸、イソフタ
ル酸、セバシン酸、アジピン酸等）から製造したコポリ
エステル）、（ロ）ビニルポリマ（メタクリル酸、アク
リル酸、メタクリル酸又はアクリル酸のアルキルエステ
ル（メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アク
リレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキ
シエチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アク
リレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２−ジメチ
ルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキ
シル（メタ）アクリレート等のビニル単量体のホモポリ
マ又はコポリマ））、（ハ）ポリホルムアルデヒド、
（ニ）ポリウレタン、（ホ）ポリカーボネート（ヘ）ポ
リアミド酸（ト）セルロースエステル（メチルセルロー
ス、エチルセルロース等）などが挙げられ、これらは単
独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００１９】高分子量有機重合体の重量平均分子量（例
えば、ＧＰＣ測定し、ポリスチレン換算したもの）は、
１０，０００〜７００，０００であることが好ましい。
この重量平均分子量が、１０，０００未満では、膜の強
度、耐熱性等が低下する傾向があり、７００，０００を
超えると、現像性、作業性等が低下する傾向がある。

【００２０】高分子量有機重合体の配合量としては、本
発明の感光性組成物の総量の、２０〜８０重量％とする
ことが好ましい。この配合量が、２０重量％未満では、
現像性、塗膜性等が劣る傾向があり、８０重量％を超え
ると、感度、耐熱性等が劣る傾向がある。

【００２１】また、本発明の感光性組成物には、必要に
応じて、染料、顔料等の着色物質を含有することができ
る。着色物質としては、例えば、フクシン、クリスタル
バイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー２Ｂ、ビ
クトリアピュアブルー、マラカイトグリーン、ナイトグ
リーンＢ、スピロンブルー等が挙げられ、これらは単独
で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２２】また、本発明の感光性組成物には、必要に
応じて、増感色素を含有することができる。増感色素と
しては、例えば、７−ジエチルアミノクマリン、３，
３′−カルボニルビス（７−ジエチルアミノ）クマリ
ン、３，３′−カルボニルビス（７−ジメトキシ）クマ
リン、３−チエニルカルボニルー７ージエチルアミノク
マリン、３−ベンゾイルクマリン、３−ベンゾイル−７
−メトキシクマリン、３−（４′−メトキシベンゾイ
ル）クマリン、３，３′−カルボニルビス−５，７−
（ジメトキシ）クマリン、ベンザルアセトフェノン、
４′−ジメチルアミノベンザルアセトフェノン、４′−
アセトアミノベンザル−４−メトキシアセトフェノン等
が挙げられ、これらは単独で又は２種類以上を組み合わ
せて使用される。

【００２３】本発明の感光性組成物には、必要に応じ
て、有機溶剤（前記したもの）可塑剤、接着促進剤、重
合禁止剤等の感光性樹脂組成物に用いることが知られて
いる他の添加物を含有することができる。

【００２４】本発明の感光材料は、前記本発明の光開始
剤及び（ｄ）ポリアミド酸、（ｅ）化学線により２量化
又は重合可能な炭素炭素二重結合とアミノ基又はその四
級化塩とを有する化合物を必須成分とする。

【００２５】本発明の感光材料における、（ｄ）ポリア
ミド酸は、例えば、テトラカルボン酸二無水物とジアミ
ン化合物を材料とした付加重合等によって得ることがで
きる。

【００２６】テトラカルボン酸二無水物としては、例え
ば、ピロメリット酸二無水物、３，３′，４，４′−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３′，
４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、１，
２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水
物、２，３，５，６−ピリジンテトラカルボン酸二無水
物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二
無水物、４，４′−スルホニルジフタル酸二無水物、ｍ
−ターフェニル−３，３″，４，４″−テトラカルボン
酸二無水物、ｐ−ターフェニル−３，３″，４，４″−
テトラカルボン酸二無水物、４，４′−オキシジフタル
酸二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ
−２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）プロ
パン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフ
ェニル）プロパン二無水物、２，２−ビス（３，４−ジ
カルボキシフェニル）プロパン二無水物、１，１，１，
３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２′−ビス［４−
（２，３−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパ
ン二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ
−２，２′−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノ
キシ）フェニル］プロパン二無水物等が挙げられ、これ
らは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２７】ジアミン化合物としては、例えば、芳香族
ジアミン〔ｐ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジ
アミン、ｐ−キシリレンジアミン、ｍ−キシリレンジア
ミン、１，５−ジアミノナフタレン、ベンジジン、３，
３′−ジメチルベンジジン、３，３′−ジメトキシベン
ジジン、４，４′（又は３，４′−、３，３′−、２，
４′−）−ジアミノジフェニルメタン、４，４′（又は
３，４′−、３，３′−、２，４′−）−ジアミノジフ
ェニルエーテル、４，４′（又は３，４′−、３，３′
−、２，４′−）−ジアミノジフェニルスルフォン、
４，４′（又は３，４′−、３，３′−、２，４′−）
−ジアミノジフェニルスルフィド、４，４′−ベンゾフ
ェノンジアミン、３，３′−ベンゾフェノンジアミン、
４，４′−ジ（４−アミノフェノキシ）フェニルスルフ
ォン、４，４′−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェ
ニル、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼ
ン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビ
ス（４−アミノフェニル）プロパン、２，２−ビス［４
−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、３，
３−ジメチル−４，４′−ジアミノジフェニルメタン、
３，３′，５，５′−テトラメチル−４，４′−ジアミ
ノジフェニルメタン、４，４′−ジ（３−アミノフェノ
キシ）フェニルスルホン、３，３′−ジアミノジフェニ
ルスルホン、２，２′−ビス（４−アミノフェニル）プ
ロパン等〕、複素環式ジアミン〔２，６−ジアミノピリ
ジン、２，４−ジアミノピリミジン、２，４−ジアミノ
−ｓ−トリアジン、２，７−ジアミノベンゾフラン、
２，７−ジアミノカルバゾール、３，７−ジアミノフェ
ノチアジン、２，５−ジアミノ−１，３，４−チアジア
ゾール、２，４−ジアミノ−６−フェニル−ｓ−トリア
ジン等〕、脂肪族ジアミン〔トリメチレンジアミン、テ
トラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、２，
２−ジメチルプロピレンジアミン、下記に示すジアミノ
ポリシロキサン等〕などが挙げられ、これらは単独で又
は２種類以上を組み合わせて使用される。

【化５】 （式中、ｍ及びｎは各々独立に、１〜１０の整数であ
る）

【００２８】本発明の感光材料における、（ｅ）化学線
により２量化又は重合可能な炭素炭素二重結合とアミノ
基又はその四級化塩とを有する化合物としては、例え
ば、

【化６】 等が挙げられ、これらは単独で又は２種類以上を組み合
わせて使用される。

【００２９】本発明の感光材料には、（ｄ）ポリアミド
酸の有するカルボキシル基１モルに対して、（ｅ）化学
線により２量化又は重合可能な炭素炭素二重結合とアミ
ノ基又はその四級化塩とを有する化合物１モルとなる量
で用いることが好ましい。

【００３０】本発明の感光材料における前記本発明の光
開始剤の配合量は、特に制限はなく、（ｄ）ポリアミド
酸１００重量部に対して、１〜３００重量部とすること
が好ましく、１０〜２０重量部とすることがより好まし
い。この配合量が、１重量部未満では、光反応性が低下
し、感度が劣る傾向があり、３００重量部を超えると、
保存安定性が劣る傾向がある。

【００３１】本発明の感光材料におけて、（ａ）成分、
（ｂ）成分、（ｄ）成分及び（ｅ）成分の配合順番とし
ては、（ｄ）成分に、他の（ａ）成分、（ｂ）成分及び
（ｅ）成分をいずれの順番で配合してもよく、また、
（ｅ）成分に、他の（ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｄ）
成分をいずれの順番で配合してもよい。

【００３２】本発明の感光材料には、（ｆ）ビスアジド
化合物を含有させることが好ましい。（ｆ）ビスアジド
化合物としては、例えば、

【化７】

【化８】 等が挙げられる。

【００３３】（ｆ）成分の配合量としては、特に制限は
なく、ポリアミド酸１００重量部に対して、０．０１〜
１０重量部とすることが好ましい。この配合量が、０．
０１重量部未満では、感度が劣る傾向があり、１０重量
部を超えると、保存安定性が劣る傾向がある。

【００３４】本発明の感光材料には、必要に応じて、前
記本発明の感光性組成物に使用できる他の光開始剤を含
有することができる。

【００３５】本発明におけるレリーフパターンは、本発
明の感光性組成物又は本発明の感光材料を用いて得られ
た塗膜の上から、活性光線又は化学線を像状に照射し、
未照射部を現像除去することにより製造できる。

【００３６】塗膜は、浸漬法、スプレー法、スクリーン
印刷法、回転塗布法等の方法により、シリコーンウエー
ハ、金属基板、ガラス基板、セラミック基板等の基材上
に塗布し、溶剤の大部分を加熱乾燥することにより得ら
れる。照射する活性光線又は化学線としては、例えば、
紫外線、遠紫外線、可視光、電子線、Ｘ線等が挙げられ
る。未照射部を現像除去する現像液としては、Ｎ，Ｎ−
ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミ
ド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等の良溶媒やこれらと
低級アルコール、水、芳香族炭化水素等の貧溶媒との混
合溶媒が使用できる。また、現像後は、必要に応じて、
貧溶媒等でリンスを行い、１００℃前後で乾燥し、パタ
ーンを安定なものとすることができる。

【００３７】

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。 実施例１〜６及び比較例１〜３ ４，４′−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリット
酸二無水物とを等モルで常法により反応させて得られ
た、ポリアミド酸のＮ−メチル−２−ピロリドン溶液１
０ｇ（固形分２０重量％）、ジメチルアミノエチルメタ
クリレート１．８ｇ、表１に示した芳香族ビスイミダゾ
ール化合物、表１に示した芳香族メルカプト化合物及び
表１に示したビスアジド化合物を配合した後、攪拌混合
し、感光材料を得た。

【００３８】得られた感光材料を、フィルタで濾過した
後、シリコンウエハ上に回転塗布し、次いで、ホットプ
レート上で１００℃で２００秒間加熱し、溶剤を乾燥さ
せて、膜厚が２０ミクロンの感光性塗膜を得た。得られ
た感光性塗膜上に、フォトマスクを介し、超高圧水銀灯
を光源とするミラープロジェクション露光機でパターン
露光を行った。このときの露光量は、１００mJ/cm²であ
った。

【００３９】露光後、Ｎ−メチル−２−ピロリドンとメ
チルアルコールの混合溶液（容積比４／１）で浸漬現像
を行い、さらに、エタノールでリンスした。現像後のパ
ターン形状を拡大鏡にて観察し、結果を表１に示した。
また、得られた残膜率（膜厚を初期の膜厚で割った値）
と最小開口スルーホール径（開口径）を表１に合わせて
示した。残膜率は、大きい程効果性等の特性が優れ、最
小開口スルーホール径が小さい程解像度等の特性が優れ
る。

【００４０】

【表１】

【００４１】表１の結果より、実施例に示された本発明
の感光性組成物は、比較例の感光性組成物と比較して、
感光特性に優れたものである。

【００４２】実施例７ 実施例４で得られた現像後のパターンを、窒素雰囲気下
で１００℃で１５分間、２００℃で２０分間、３５０℃
で６０分間加熱し、膜厚が１０ミクロンの、良好なポリ
イミドのレリーフパターンが得られた。

【００４３】

【発明の効果】請求項１記載の光開始剤は、優れた光開
始能に基づく感光特性を示し、感光性組成物及び感光材
料に好適である。請求項２記載の感光性組成物は、優れ
た感光特性を示す。請求項３記載の感光材料は、耐熱
性、形状等の特性に優れたレリーフパターンを得ること
ができる。請求項４記載の感光材料は、請求項３記載の
感光材料の効果を奏し、さらに高い感度、機械特性に優
れたレリーフパターンを得ることができる。請求項５記
載のレリーフパターンの製造法は、耐熱性、形状等の特
性が良好なレリーフパターンを製造することができる。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）下記一般式（Ｉ） 【化１】 （式中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ
   ⁹、Ｒ¹⁰、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は各々独立
   に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原
   子、トリハロメチル基又は炭素数１〜５のアルコキシ基
   を示す）で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾ
   ール化合物及び（ｂ）芳香族メルカプト化合物を組み合
   わせてなる光開始剤。
2. 【請求項２】 （ａ）下記一般式（Ｉ） 【化２】 （式中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ
   ⁹、Ｒ¹⁰、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は各々独立
   に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原
   子、トリハロメチル基又は炭素数１〜５のアルコキシ基
   を示す）で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾ
   ール化合物、（ｂ）芳香族メルカプト化合物及び（ｃ）
   常圧において１００℃以上の沸点を有する付加重合性化
   合物を含有してなる感光性組成物。
3. 【請求項３】 （ａ）下記一般式（Ｉ） 【化３】 （式中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、Ｒ⁵、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸、Ｒ
   ⁹、Ｒ¹⁰、Ｒ¹¹、Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴及びＲ¹⁵は各々独立
   に、水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原
   子、トリハロメチル基又は炭素数１〜５のアルコキシ基
   を示す）で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾ
   ール化合物、（ｂ）芳香族メルカプト化合物、（ｄ）ポ
   リアミド酸及び（ｅ）化学線により２量化又は重合可能
   な炭素炭素二重結合とアミノ基又はその四級化塩とを有
   する化合物を含有してなる感光材料。
4. 【請求項４】 さらに、（ｆ）ビスアジド化合物を含有
   する請求項３記載の感光材料。
5. 【請求項５】 請求項２記載の感光性組成物又は請求項
   ３若しくは４記載の感光材料の塗膜の上から活性光線を
   像状に照射し、未照射部を現像除去し、加熱することを
   特徴とするレリーフパターンの製造法。