JPH0821712A

JPH0821712A - 非球面形状の干渉測定用ヌル原器

Info

Publication number: JPH0821712A
Application number: JP15599894A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Uehara; 靖弘上原; Ichiji Ohashi; 一司大橋
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1994-07-07
Filing date: 1994-07-07
Publication date: 1996-01-23

Abstract

(57)【要約】【目的】非球面形状の干渉測定装置を簡単かつ安価に
できると共に、測定も容易かつ迅速にできる非球面形状
の干渉測定用ヌル原器を提供する。【構成】ヌル原器４の被検面５ａの測定に対応しない
領域４ｂに反射型の回折格子からなるアライメントパタ
ーン４２を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば光学素子の面
形状、特に非球面形状を干渉計を用いて測定する際に用
いるヌル原器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】非球面の形状を干渉計を用いて測定する
にあたっては、、被検面の非球面量が小さい場合には、
球面測定用干渉計で評価することもできるが、非球面量
が大きくなると測定が困難になるため、何らかの対策が
必要になる。その対策として、例えば、干渉計の光路中
に、非球面波を発生させるヌル原器と呼ばれるものを配
置して、非球面の被検面に垂直に光を入射させるように
したものが従来提案されており、またこの場合のヌル原
器として、ホログラムを利用するホログラム原器と呼ば
れるものや、ゾーンプレートを利用するゾーンプレート
原器と呼ばれるもの等が提案されている。

【０００３】しかし、従来のヌル原器を用いる測定法に
あっては、設計した位置にヌル原器と被検面とを配置
し、干渉縞を見ながら両者の位置を調整するようにして
いるため、調整に時間がかかるという問題がある。

【０００４】このような問題を解決するものとして、ヌ
ル原器のアライメントに被検面を要しない方法が提案さ
れている。例えば、特公平５−１３４４１号公報には、
位置合わせマークを有する調整用ホログラム原器を所定
位置に配置して、アライメント光学系のレチクルの指標
を位置合わせマークに合致させ、その後、調整用ホログ
ラム原器と測定用ホログラム原器とを交換するようにし
たものが提案されている。

【０００５】また、特公平５−１５７５３２号公報に
は、１枚の基板上に、測定用の透過型計算機ホログラム
と位置合わせ用の反射型計算機ホログラムとを形成し、
反射型ホログラムを用いて干渉計に位置合わせした後、
基板を所定量移動させて透過型ホログラムを所定の位置
にセットするようにしたものが提案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
特公平５−１３４４１号公報に記載された方法にあって
は、測定用ホログラム原器の他に、調整用ホログラム原
器を必要とするため、コスト高になるという問題があ
る。また、測定にあたっては、調整用ホログラム原器と
測定用ホログラム原器とを交換する必要があるため、手
間がかかるという問題がある。

【０００７】また、特公平５−１５７５３２号公報に記
載された方法にあっては、反射型ホログラムを用いて位
置合わせした後、基板を高精度に機械的に移動させる機
構が必要となるため、装置が複雑で高価になるという問
題があると共に、折角、光学的手法で高精度に位置合わ
せしても、最終的にはこの機械的移動機構によって全体
の精度が決定されてしまうという問題がある。

【０００８】この発明は、このような従来の問題点に着
目してなされたもので、非球面形状の干渉測定装置を簡
単かつ安価にできると共に、測定も容易かつ迅速にでき
るよう適切に構成した非球面形状の干渉測定用ヌル原器
を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の非球面形状の干渉測定用ヌル原器は、被
検面の測定に対応しない領域に反射型の回折格子からな
るアライメントパターンを形成したことを特徴とするも
のである。

【００１０】前記被検面の測定に対応する領域は、所定
のピッチ分布を持つ同心リングパターンよりなる透過型
の回折格子をもって構成し、その同心リングパターンの
中心と同心的に前記アライメントパターンを形成するの
が、フィゾー型干渉計やトワイマン・グリーン型干渉計
に適用する点で好ましい。

【００１１】前記干渉測定用ヌル原器の少なくとも１つ
の面は、屈折パワーを有するのが、回折格子に入射する
光線の角度を変更して、回折格子のピッチを製作し易い
範囲に調整する点で好ましい。

【００１２】

【作用】干渉測定用ヌル原器の被検面の測定に対応しな
い領域に、反射型の回折格子からなるアライメントパタ
ーンを形成すれば、干渉計本体から出射する光束の一部
は、アライメントパターンに入射し、反射回折を受けて
再び干渉計に戻り、干渉縞を作ることになる。ここで、
ヌル原器の測定用領域とアライメントパターンとは、ヌ
ル原器の基板上に一体的に所定の位置関係をもって形成
されているので、この干渉縞がヌルになるようにヌル原
器の位置を調整すれば、自動的に測定用領域がアライメ
ントされることになる。

【００１３】

【実施例】以下、この発明の実施例について、図面を参
照して説明する。図１は、この発明の第１実施例を示す
もので、フィゾー型干渉計に適用したものである。この
フィゾー型干渉計は、光源１、レンズ群２ａ，２ｂより
なるビームエキスパンダ２、参照レンズ３、ヌル原器
４、ハーフミラー６、瞳結像レンズ７およびスクリーン
８を有し、被検レンズ５の被検面５ａの非球面形状、こ
の実施例では凸面の非球面形状を測定するものである。
光源１は、例えばＨｅ−Ｎｅレーザを用いる。また、参
照レンズ３の参照球面３ａを除く面には、無反射膜をコ
ーティングする。

【００１４】ヌル原器４は、例えば石英等の硝材からな
り、外形的には平行平板状の円形に形成する。このヌル
原器４には、図２（ａ）に平面図をも示すように、その
被検レンズ５側の面で、被検面５ａの測定に対応する測
定用領域４ａに、所定のピッチ分布を持つ同心のリング
パターンよりなる透過型の測定用回折格子４１をヌルレ
ンズとして形成する。この測定用回折格子４１は、好適
には、図２（ｂ）に断面図を示すように、所定の次数の
回折光、例えば１次回折光に対してブレーズ化する。ま
た、測定用領域４ａと同じ面側で、被検面５ａの測定に
対応しない領域４ｂには、測定用回折格子４１の同心リ
ングパターンの中心と同心的に反射型の回折格子からな
るアライメントパターン４２を形成する。このアライメ
ントパターン４２は、好適には、図２（ｃ）に断面図を
示すように、所定の次数の回折光に対してブレーズ化す
ると共に、その表面には、反射率を増加させるために、
例えば、クロム膜や誘電体反射膜等の反射膜４３を蒸着
して設ける。さらに、ヌル原器４の参照レンズ３側の面
４４には、光源光に対する反射防止膜をコーティングす
る。

【００１５】ここで、測定用回折格子４１およびアライ
メントパターン４２をブレーズ形状として製作するにあ
たっては、例えば、基板上にレジスト層を形成し、露光
および現像によりレジスト層に所定の形状を与え、それ
をドライエッチングにより基板に転写する公知の方法を
用いることができる。なお、これら測定用回折格子４１
およびアライメントパターン４２は、図２（ｄ）に示す
ように、断面形状を階段状にしてブレーズ近似すること
もできる。

【００１６】図１に示す構成において、光源１から射出
されたレーザ光は、ビームエキスパンダ２により光束径
が広げられると共に、ほぼ平行な光束に変換されて参照
レンズ３に入射する。参照レンズ３に入射した光束は、
参照球面３ａに垂直に入射して球面波に波面変換され、
測定光としてヌル原器４に入射する。また、参照球面３
ａには、無反射膜がコーティングされていないので、こ
の面で入射光の一部が反射され、この反射光が参照光と
して、レンズ群２ｂ、ハーフミラー６および瞳結像レン
ズ７を経てスクリーン８に投影される。

【００１７】参照レンズ３を経てヌル原器４に入射した
光束のうち、測定用領域４ａ（図２（ａ）参照）に入射
した光束は、測定用回折格子４１による回折作用によ
り、リングパターンの各リングの半径分布に基づいて所
定の波面に変換される。この際、測定用回折格子４１の
各リングの断面形状が、ブレーズ化されていれば、その
回折効率はほぼ１００％となり、ノイズとなる不要光に
よる干渉縞が発生しないので、好ましい。

【００１８】測定用回折格子４１で波面変換された光束
は、被検レンズ５の非球面被検面５ａにほぼ垂直に入射
し、ここで反射された光は、往路と同一光路を辿って、
参照レンズ３、レンズ群２ｂ、ハーフミラー６および瞳
結像レンズ７を経てスクリーン８に投影され、このスク
リーン８上に参照球面３ａで反射された参照光との干渉
縞を形成する。ここで、被検面５ａに形状誤差がある
と、その形状誤差が干渉縞の曲がりとして観測される。
したがって、この実施例において、参照球面３ａは、光
源１からの光を参照光と測定光とに分割すると共に、参
照光と被検面５ａで反射された測定光とを合成して干渉
縞を生じさせるための分割合成素子としても機能する。

【００１９】なお、図示しないが、スクリーン８上に投
影される干渉縞をＴＶカメラで映し出すようにすること
もできる。また、ビームエキスパンダ２のレンズ群２ａ
と参照レンズ３との間に、参照レンズ３を光軸方向に微
小量振る位相シフタを挿入して縞走査を行い、これによ
り干渉縞の位相分布を求めて被検面５ａの形状誤差を求
めることもできる。

【００２０】この実施例においては、上記の被検面５ａ
の形状測定に先立って、まず、ヌル原器４を正しく位置
合わせして配置するために、図１にハッチングを施して
示す測定領域外のアライメント用光束によるヌル原器４
のアライメントパターン４２からの反射光と、参照球面
３ａからの参照光とによる干渉縞を観察し、これがヌル
フリンジとなるように、ヌル原器４を位置調整して配置
する。これにより、自動的に、測定用領域４ａがアライ
メントされる。

【００２１】次に、被検レンズ５を取り付け、被検面５
ａからの反射光と、参照球面３ａからの参照光との干渉
縞を観測しながら、干渉縞が適当な読み易い干渉縞とな
るように図示しない機械的機構により被検レンズ５の位
置を調整する。この被検レンズ５の位置調整は、縞走査
を行う場合には、ヌルフリンジに近くするのが好まし
く、また眼で読む場合には、数本の縦縞にするのが好ま
しい。

【００２２】ここで、参照光に収束光を用いる場合の作
用について、図３を参照して説明する。なお、説明を簡
単にするため、ヌル原器４の基板による屈折の効果は無
視するが、これは以下の説明に本質的な影響を与えるも
のではない。図３において、ヌル原器４の測定用回折格
子４１の格子面に入射する光線と光軸とのなす角度を
θ、格子面から出射する光線と光軸とのなす角度を
θ’、格子間隔をｄ、光源の波長をλ、回折次数をｍと
すると、

【数１】ｄ＝ｍλ／｜ sinθ− sinθ’｜となる。

【００２３】光線Ａのように、θ＝０、すなわち参照光
として平行光を用いた場合、被検面の反射面としてのＮ
Ａを０．５、すなわちθ’＝３０°、測定用回折格子４
１の回折次数を１次（ｍ＝１）、光源の波長をλ＝６３
２．８ｎｍとすると、最外周での格子間隔ｄは、ｄ≒
１．２７μｍとなる。しかし、このｄの値は、実現容易
な値ではない。そこで、格子間隔ｄを大きくするには、
ヌル原器４に入射する参照光の角度θを変えるという方
法が考えられる。例えば、光線Ｂのような収束光（最外
周でのθ＝２５°）を用いた場合、最外周での格子間隔
ｄは、上式よりほぼ８．１８μｍとなり、実現容易な値
となる。

【００２４】その他の方法として、高次回折光を用いる
ことにより、格子間隔ｄを大きくする方法も考えられる
が、この場合には、回折光が高次になるに従って、隣り
合う次数光の間でのθ’の差が小さくなるため、測定用
領域４ａの各リングの断面形状がブレーズ化されていな
い限り、不要な干渉縞がノイズとして発生する恐れがあ
る。しかし、この場合、回折効率が殆ど１００％近い状
態となるように、正確にブレーズ化するのは容易ではな
い。

【００２５】次に、アライメントパターン４２の格子間
隔について考察する。ここでも、簡単のため、ヌル原器
４の基板による屈折の効果は無視することにする。アラ
イメントパターン４２の格子間隔は、参照光のＮＡによ
りほぼ決定される。例えば、アライメント用光束のＮＡ
を０．３９とすると、アライメントパターン４２の最外
周での格子間隔ｄは、ｍ＝１、λ＝６３２．８ｎｍのと
き、ｄ＝ｍλ／２ＮＡから、ほぼ０．８１μｍとなる。
しかし、このｄの値は、実現容易な値ではない。そこ
で、例えば、１０次回折光を用いるようにすれば、最外
周での格子間隔ｄは、同じ条件で、ほぼ８．１μｍとな
り、実現容易な値になる。この場合には、アライメント
用の各リングがブレーズ化されていなくても、隣接次数
光のノイズは、測定には全く影響しないので、多少の干
渉縞ノイズの発生は問題にならない。

【００２６】なお、上記の説明では、被検面５ａを凸面
としたが、凹面の場合も同様にして測定することができ
る。この場合には、図４に示すように、ヌル原器４およ
び被検レンズ５を、参照レンズ３による集光点９に対し
て、干渉計本体とは反対側に配置すればよい。

【００２７】以上のように、この実施例によれば、調整
用のホログラム原器や高精度の機械的移動機構を要する
ことなく、ヌル原器４のアライメントパターン４２から
の反射光と、参照球面３ａからの参照光とによる干渉縞
を観察し、これがヌルフリンジとなるように、ヌル原器
４を位置調整することにより、自動的に測定用の測定用
領域４ａをアライメントすることができるので、干渉測
定装置を簡単かつ安価にできると共に、測定も容易かつ
迅速に行うことができる。また、ヌル原器４の基板とし
て、円形の平行平板を用いているので、基板自体の精度
を高めることができると共に、この基板に回折格子を形
成する際の工程も容易にできる。したがって、ヌル原器
４を簡単かつ安価にできる。

【００２８】図５は、この発明の第２実施例を示すもの
である。この実施例は、ヌル原器１４を、一方の面が凹
面、他方の面が平面の、例えば石英よりなる平凹形状の
基板を用いて構成し、このヌル原器１４をその凹面が干
渉計本体側に位置するように、参照レンズ３による参照
光の集光点９よりも被検レンズ５側に配置して、凹面の
非球面よりなる被検面５ａの形状を測定するようにした
もので、その他の構成は第１実施例と同様である。

【００２９】ヌル原器１４は、外形的に、一方の面を凹
面、他方の面を平面とする点を除いて、第１実施例のヌ
ル原器４と同様に構成する。すなわち、図６に被検レン
ズ５側から見た平面図を示すように、被検面５ａの測定
に対応する測定用領域１４ａに、１次回折光に対してブ
レーズ化して、所定のピッチ分布を持つ同心のリングパ
ターンよりなる透過型の測定用回折格子４１を形成する
と共に、その外側の測定に対応しない輪帯状の領域１４
ｂに、測定用回折格子４１の同心リングパターンの中心
と同心的に、１次回折光に対してブレーズ化して反射型
の回折格子からなるアライメントパターン４２を形成す
る。また、凹面側には、不要反射光の発生を防止するた
めに、反射防止膜をコーティングする。

【００３０】この実施例において、参照レンズ３の参照
球面３ａで生成された球面波は、集光点９に集光したの
ち、ヌル原器１４の凹面に入射して屈折される。このヌ
ル原器１４の凹面で屈折作用を受けた光束のうち、測定
用領域１４ａに入射した光束は、第１実施例におけると
同様に、測定用回折格子４１により波面変換されて、被
検面５ａにほぼ垂直に入射し、ここで反射される光は、
往路と同一光路を辿って干渉計本体に戻り、参照球面３
ａで反射された参照光と干渉して、干渉縞を形成する。
ここで、被検面５ａに形状誤差があると、その誤差が干
渉縞の曲がりとして観測される。

【００３１】一方、ヌル原器１４の凹面で屈折作用を受
けた光束のうち、領域１４ｂに入射した光束は、図５に
ハッチングを施して示すように、アライメントパターン
４２で反射回折され、参照球面３ａで反射された光束と
干渉縞を形成する。したがって、この実施例において
も、第１実施例におけると同様に、被検面５ａの形状測
定に先立って、ヌル原器１４のアライメントパターン４
２からの反射光と、参照球面３ａからの参照光とによる
干渉縞を観察し、これがヌルフリンジとなるように、ヌ
ル原器１４を位置調整して配置することにより、自動的
に、測定用領域１４ａをアライメントすることができ
る。

【００３２】次に、ヌル原器１４を外形的に平凹形状と
した場合の作用について説明する。図７（ａ）は、図１
に示した平行平板状のヌル原器４を用いた場合の入出射
関係を示し、図７（ｂ）は、この実施例の平凹形状のヌ
ル原器１４を用いた場合の入出射関係を示す。図７
（ａ）および（ｂ）において、ヌル原器４の光源側の面
への光束の入射角をθ、出射角をθ’、ヌル原器の被検
面側の出射角をθ”、ヌル原器の屈折率をｎ、空気の屈
折率を１とすると、図７（ａ）の場合には、スネルの法
則、

【数２】sinθ’＝ sinθ／ｎから、θ’＜θとなる。ここで、曲率の大きな被検面５
ａに対応させるためには、θ”を大きくしなければなら
ないため、

【数３】ｄ（ sinθ’− sinθ”）＝ｍλ （ｍ
は、回折次数）によって決まる測定用回折格子の格子間隔ｄが、かなり
小さくなる。

【００３３】これに対して、図７（ｂ）の場合には、凹
面の曲率を適切に選ぶことにより、θ’＞θとすること
ができるので、曲率の大きい被検面５ａに対応するため
のパワーを、凹面と回折格子とで受けもつことが可能と
なり、これにより回折格子の格子間隔ｄを、図７（ａ）
の平行平板状のヌル原器４を用いた場合に比べて、大き
くすることができる。したがって、この実施例によれ
ば、第１実施例に比べて、測定用回折格子の製作が容易
になるという利点がある。

【００３４】図８は、この発明の第３実施例を示すもの
で、トワイマン・グリーン型干渉計に適用したものであ
る。この干渉計は、光源１、レンズ９，１０、参照反射
球面１３ａ、ヌル原器４、ハーフミラー６、瞳結像レン
ズ７およびスクリーン８を有し、被検レンズ５の凸面の
被検面５ａの非球面形状を測定するものである。光源１
は、例えばＨｅ−Ｎｅレーザを用いる。また、ヌル原器
４は、第１実施例におけると同様に、平行平板状の基板
の被検面５ａ側に、被検面５ａに対応する有効径および
リング半径分布を有する測定用の透過型回折格子４１
と、その外側にアライメントパターン４２とを形成した
ものを用いる。

【００３５】この実施例において、光源１から射出した
光束は、レンズ９，１０により所定の径および収束角を
有する球面波に変換されてハーフミラー６に入射し、こ
こで反射光と透過光とに分離される。ハーフミラー６で
の反射光は、参照反射球面１３ａにほぼ垂直に入射し、
この参照反射球面１３ａでの反射光は参照波としてハー
フミラー６を透過し、瞳結像レンズ７によりスクリーン
８に投影される。なお、この参照波の光量を増加させる
場合には、参照反射球面１３ａに金属膜をコートすれば
よい。

【００３６】一方、ハーフミラー６での透過光は、ヌル
原器４に入射し、そのうち測定用の透過型回折格子４１
に入射した光束は、そのリングパターンの半径分布に基
づいて波面変換されて、被検レンズ５の被検面５ａにほ
ぼ垂直に入射する。この被検面５ａで反射される光は、
ハーフミラー６で反射されて、瞳結像レンズ７によりス
クリーン８に投影され、参照反射球面１３ａで反射され
た参照光と干渉して、干渉縞を形成する。ここで、被検
面５ａに形状誤差があると、それが干渉縞の曲がりとし
て観測される。

【００３７】また、ヌル原器４のアライメントパターン
４２に入射した光束は、ここで反射回折され、同様に、
ハーフミラー６で反射されて、瞳結像レンズ７によりス
クリーン８に投影され、参照反射球面１３ａで反射され
た参照光と干渉して、干渉縞を形成する。したがって、
この実施例においても、上述した実施例におけると同様
に、被検面５ａの形状測定に先立って、ヌル原器４のア
ライメントパターン４２からの反射光と、参照反射球面
１３ａからの参照光とによる干渉縞を観察し、これがヌ
ルフリンジとなるように、ヌル原器４を位置調整して配
置すれば、透過型回折格子４１を有する測定用領域につ
いても自動的にアライメントすることができる。

【００３８】なお、この実施例では、被検面５ａの非球
面形状を凸面としたが、凹面の場合も同様にして測定す
ることができる。この場合には、ヌル原器４および被検
レンズ５を、レンズ９，１０により生成される球面波の
集光点に対して、干渉計本体とは反対側に配置すればよ
い。

【００３９】この実施例によれば、トワイマン・グリー
ン型の干渉計を用いているので、光源１から被検面５ａ
までの光路長と、光源１から参照反射球面１３ａまでの
光路長とをほぼ等しくすることができる。したがって、
光源１のコヒーレンス長に対する制限が少なくなるとい
う利点がある。

【００４０】なお、この発明は、上述した実施例にのみ
限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能
である。例えば、ヌル原器の基板材料は、石英に限ら
ず、他の光学材料、例えばＢＳＬ７を用いることもでき
る。また、光源１は、Ｈｅ−Ｎｅレーザに限らず、他の
レーザ、例えばＨｅ−ＣｄレーザやＡｒレーザを用いる
こともでき、その波長に応じてヌル原器や参照レンズ等
を設計することができる。なお、光源の波長は、短い
程、干渉計としての感度を上げる点で好ましいが、ヌル
原器の格子間隔は、短波長になる程、狭くなって製作に
高精度が要求されることになるので、干渉計としての必
要感度とヌル原器の製作性との両方の観点から、使用す
るレーザを選択すればよい。

【００４１】さらに、上述した実施例では、ヌル原器の
アライメント用パターン領域を、測定用領域の外側に輪
帯状に形成したが、例えば、被検面が反射型望遠鏡の主
鏡のように、中心部に開口もしくは光の当たらない領域
があるような場合には、アライメント用パターン領域
を、測定用領域の内側に形成することもできる。

【００４２】付記１．光源と、この光源からの光を参照光と測定光とに分
割すると共に、被検面で反射した測定光と前記参照光と
を合成して干渉縞を生じさせるための分割合成素子と、
この分割合成素子と前記被検面との間に配置された干渉
測定用ヌル原器とを有する非球面測定用干渉計におい
て、前記ヌル原器は、波面変換を行う領域以外の部分
に、反射型回折格子からなるアライメントパターンを有
することを特徴とする非球面測定用干渉計。２．前記１記載の非球面測定用干渉計において、前記光
源から前記被検面に向かう光路中に参照球面を配置し、
この参照球面での反射光を参照光とし、透過光を前記被
検面に向かう測定光として、該参照球面を前記分割合成
素子としても機能させるよう構成したことを特徴とする
非球面測定用干渉計。３．前記１記載の非球面測定用干渉計において、前記分
割合成素子を、前記光源からの光を参照球面に向かう参
照光と、前記被検面に向かう測定光とに分割すると共
に、前記参照球面で反射した参照光と、前記被検面で反
射した測定光とを合成するよう構成したことを特徴とす
る非球面測定用干渉計。４．光源と、この光源からの光を参照光と測定光とに分
割すると共に、被検面で反射した測定光と前記参照光と
を合成して干渉縞を生じさせるための分割合成素子とを
有する干渉計を用いて前記被検面の形状を測定するため
に、前記分割合成素子と前記被検面との間に、波面変換
を行う領域と反射型回折格子からなるアライメントパタ
ーン領域とを有するヌル原器を配置するにあたり、前記
アライメントパターン領域からの反射光と前記参照光と
から得られる干渉縞に基づいて前記ヌル原器の位置を調
整することを特徴とするヌル原器の位置合わせ方法。

【００４３】

【発明の効果】この発明によれば、ヌル原器の被検面の
測定に対応しない領域に、反射型の回折格子からなるア
ライメントパターンを形成したので、調整用のホログラ
ム原器や高精度の機械的移動機構を要することなく、ヌ
ル原器のアライメントパターンからの反射光と参照波と
の干渉縞を観測して、ヌル原器を位置決めすることによ
り、自動的にヌル原器の測定用領域をアライメントする
ことが可能となる。したがって、干渉測定装置を簡単か
つ安価にできると共に、測定も容易かつ迅速に行うこと
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例を示す図である。

【図２】図１に示すヌル原器の構成を説明するための図
である。

【図３】図１の作用を説明するための図である。

【図４】第１実施例の変形例を説明するための図であ
る。

【図５】この発明の第２実施例を示す図である。

【図６】図６に示すヌル原器の構成を説明するための図
である。

【図７】図５の作用を説明するための図である。

【図８】この発明の第３実施例を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１光源２ビームエキスパンダ３参照レンズ３ａ参照球面４ヌル原器４ａ測定用領域４ｂアライメント用パターン領域５被検レンズ５ａ被検面６ハーフミラー７瞳結像レンズ８スクリーン４１測定用回折格子４２アライメントパターン４３反射膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検面の測定に対応しない領域に反射型
の回折格子からなるアライメントパターンを形成したこ
とを特徴とする非球面形状の干渉測定用ヌル原器。
【請求項２】請求項１記載の干渉測定用ヌル原器にお
いて、前記被検面の測定に対応する領域は、所定のピッ
チ分布を持つ同心リングパターンよりなる透過型の回折
格子をもって構成し、その同心リングパターンの中心と
同心的に前記アライメントパターンを形成したことを特
徴とする非球面形状の干渉測定用ヌル原器。
【請求項３】請求項２記載の干渉測定用ヌル原器にお
いて、少なくとも１つの面が屈折パワーを有することを
特徴とする非球面形状の干渉測定用ヌル原器。