JPH08216442A - Recording device - Google Patents
Recording deviceInfo
- Publication number
- JPH08216442A JPH08216442A JP4905395A JP4905395A JPH08216442A JP H08216442 A JPH08216442 A JP H08216442A JP 4905395 A JP4905395 A JP 4905395A JP 4905395 A JP4905395 A JP 4905395A JP H08216442 A JPH08216442 A JP H08216442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- dye
- recording material
- material supply
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、記録装置に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording device.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、ビデオカメラ、テレビジョン、コ
ンピュータグラフィクス等の画像記録において、モノカ
ラーの記録は勿論のこと、ハードコピーのカラー化に対
するニーズが高まっている。これに対応して、色々な方
式のプリンタが開発され、様々な分野に展開している。2. Description of the Related Art In recent years, in image recording of video cameras, televisions, computer graphics and the like, there is an increasing need for colorization of hard copy as well as recording of mono color. In response to this, various types of printers have been developed and deployed in various fields.
【0003】これらの記録方式の中で、適当なバインダ
樹脂中に高濃度の転写染料が分散してなるインク層が塗
布されたインクシートと、転写された染料を受容する染
着樹脂がコーティングされた印画紙等の被転写体とを一
定の圧力で密着させ、インクシート上に位置する感熱記
録ヘッドから画像情報に応じた熱を加え、この加熱に応
じてインクシートから染料受容層に転写染料を熱転写さ
せる方式がある。Among these recording methods, an ink sheet coated with an ink layer in which a high-concentration transfer dye is dispersed in a suitable binder resin, and a dyeing resin that receives the transferred dye are coated. The heat-sensitive recording head located on the ink sheet applies heat according to the image information, and the heat-sensitive recording head located on the ink sheet applies heat according to the image information. There is a method of thermal transfer.
【0004】上記の操作を例えば、減法混色の三原色で
あるイエロー、マゼンタ、シアンに分解された画像信号
についてそれぞれ繰り返すことによって、フルカラー画
像を得るようにしたいわゆる熱転写方式は、小型化、保
守が容易で、即時性を備え、銀塩カラー写真並の高品位
な画像を得る優れた技術として注目を集めてはいる。The so-called thermal transfer system, which obtains a full-color image by repeating the above-mentioned operation for each of the image signals decomposed into yellow, magenta, and cyan, which are the three primary colors of subtractive color mixture, is compact and easy to maintain. Therefore, it is attracting attention as an excellent technology that has an immediacy and obtains a high-quality image comparable to a silver salt color photograph.
【0005】図52は、こうした熱転写方式のプリンタの
要部の概略正面図である。このプリンタによれば、感熱
記録ヘッド(以下、サーマルヘッドと称する。)1とプ
ラテンローラ3とが対向し、これらの間に、ベースフィ
ルム12b上にインク層12aを設けたインクシート12と、
紙40b上に染着樹脂層(染料受容層)40aを設けた被記
録紙(被転写体)40とが挟着された状態で、プラテンロ
ーラ3によってサーマルヘッド1に押し付けられる。FIG. 52 is a schematic front view of the main part of such a thermal transfer type printer. According to this printer, a thermal recording head (hereinafter referred to as a thermal head) 1 and a platen roller 3 face each other, and an ink sheet 12 having an ink layer 12a provided on a base film 12b between them,
The recording paper (transferred material) 40 having the dyeing resin layer (dye receiving layer) 40a provided on the paper 40b is sandwiched and pressed against the thermal head 1 by the platen roller 3.
【0006】そして、サーマルヘッド1によって選択的
に加熱されたインク層12a中のインク(転写染料)が被
転写体20の染着樹脂層20aにドット状に転写され、熱転
写記録が遂行される。このような熱転写記録には、一般
に、長手状のサーマルヘッドを被記録紙走行方向に直交
させ固定して配したライン方式や、サーマルヘッドを記
録紙走行方向に直交する方向に往復動させるシリアル方
式が採用されている。Then, the ink (transfer dye) in the ink layer 12a which is selectively heated by the thermal head 1 is transferred in a dot shape to the dyeing resin layer 20a of the transfer target 20, and thermal transfer recording is performed. In such thermal transfer recording, generally, a line system in which a long thermal head is arranged orthogonally to the recording paper traveling direction and fixed and a serial system in which the thermal head reciprocates in a direction orthogonal to the recording paper traveling direction. Has been adopted.
【0007】ところで、本出願人は、上記した如き熱転
写記録方式の利点を生かしつつ、廃棄物及び転写エネル
ギーを低減し、プリンタを小型、軽量化するために、図
53に示すような非接触方式の染料気化型レーザビームプ
リンタを既に提案した。By the way, the applicant of the present invention has been able to reduce the waste and the transfer energy, and to make the printer small and lightweight while taking advantage of the above-mentioned thermal transfer recording system.
We have already proposed a non-contact type dye vaporization type laser beam printer as shown in 53.
【0008】この記録方式によれば、熱溶融性の染料層
22を気化部17に有する記録ヘッド(例えばシリアル型の
プリンタヘッド)40と、気化した(或いは昇華した)染
料32を受容する受容層50aを持つ被記録体(印画紙)50
との間に1μm〜1mmの範囲の微小空隙17aを設けてい
る。According to this recording method, a heat-fusible dye layer
A recording head (printing paper) 50 having a recording head (for example, a serial type printer head) 40 having 22 in the vaporizing section 17 and a receiving layer 50a for receiving the vaporized (or sublimated) dye 32.
A minute gap 17a in the range of 1 μm to 1 mm is provided between and.
【0009】そして、レーザ光Lの照射によって、記録
ヘッド40の気化部17の染料収容部37に収容した液化染料
22をその沸点近傍まで選択的に加熱して気化させ、気化
染料32を空隙17a内で飛翔させて、気化穴23から被記録
体である印画紙50上に転写し、連続的な階調を持つ画像
を得る。この操作を減法混色の三原色であるイエロー、
マゼンタ、シアンに分解された画像信号についてそれぞ
れ繰り返すことによって、フルカラー化を達成できる。Then, by irradiating the laser beam L, the liquefied dye stored in the dye storing portion 37 of the vaporizing portion 17 of the recording head 40.
22 is selectively heated to near its boiling point to be vaporized, the vaporized dye 32 is caused to fly in the void 17a, and transferred from the vaporization hole 23 onto the photographic printing paper 50 which is a recording medium to obtain continuous gradation. Get the image you have. This operation is the three primary colors of subtractive color, yellow,
Full colorization can be achieved by repeating each of the image signals decomposed into magenta and cyan.
【0010】なお、この記録方式では、印画紙50を記録
ヘッド40に対して例えば上方側で対向させ、気化部17の
上面付近に、レーザ18から出射されてレンズ19で集光さ
れたレーザ光Lを照射して気化染料32を上方に飛翔若し
くは移行させるのがよい。In this recording method, the photographic printing paper 50 is opposed to the recording head 40, for example, on the upper side, and the laser light emitted from the laser 18 and condensed by the lens 19 is near the upper surface of the vaporizing section 17. It is advisable to irradiate L to cause the vaporized dye 32 to fly or move upward.
【0011】この場合、転写染料が加熱手段により空隙
17aを移動するためには、気化現象の他に、高出力レー
ザが照射された時にしばしば見られ、染料分子の結合が
効率よく切断されてそのエネルギーを利用して非常に大
きい速度でエッチングされる現象や、沸騰や爆発により
発生したガスのエネルギーを利用して非常に大きい速度
でエッチングされる現象も利用できる(こうした気化機
構以外の転写機構をアブレーションと称する:以下、同
様)。In this case, the transfer dye is emptied by the heating means.
In order to move 17a, in addition to the vaporization phenomenon, it is often seen when irradiated with a high-power laser, and the bonds of dye molecules are efficiently cut and the energy is used to etch at a very high rate. Phenomena and the phenomenon that gas energy generated by boiling or explosion is used to etch at a very high rate can also be used (a transfer mechanism other than such a vaporization mechanism is referred to as ablation: hereinafter the same).
【0012】また、レーザ光透過性のあるヘッドベース
14に染料溜め15を設け、ヘッドベース14上に固定した蓋
体13との間に液化染料22を収容し、ここから染料供給路
27を経て気化部17に液化染料22を供給する。この場合、
気化部17への染料の供給効率及び気化効率の向上のため
に、発熱によって生じる染料の表面張力低下による染料
逃げを防止し、毛細管現象を利用して継続的な染料の供
給及び保持を行うために、小さなビーズ21からなるビー
ズ集合体20を気化部17に設けている。Further, a head base having a laser beam transmitting property.
The dye reservoir 15 is provided on the head 14, and the liquefied dye 22 is housed between the head 13 and the lid 13 fixed on the head base 14.
The liquefied dye 22 is supplied to the vaporizer 17 via 27. in this case,
In order to improve the efficiency of supplying the dye to the vaporizing section 17 and the vaporizing efficiency, to prevent the dye from escaping due to a decrease in the surface tension of the dye caused by heat generation, and to continuously supply and hold the dye by utilizing the capillary phenomenon. Further, a bead aggregate 20 composed of small beads 21 is provided in the vaporization section 17.
【0013】そして、上記の空隙17aを保持し、X方向
(紙面垂直方向)に移動する印画紙50をガイドするため
に、蓋体13上に保護板(図示せず)を固定している。こ
の保護板には、上記の染料の液化状態を保持するための
ヒータが埋設されていてよいが、ここではヒータ26は染
料収容部(上記の通路27)内に配設する。A protective plate (not shown) is fixed on the lid 13 in order to hold the gap 17a and guide the photographic printing paper 50 moving in the X direction (the direction perpendicular to the paper surface). A heater for maintaining the liquefied state of the dye may be embedded in the protective plate. Here, the heater 26 is arranged in the dye containing portion (the passage 27).
【0014】固体染料収納槽41内の固形粉末状の熱溶融
性染料42は、逆止弁44によって供給口43から供給され、
ヒータ26により融解点まで加熱されて溶融(液化)され
る。この液化染料22は、ビーズ集合体20による毛細管現
象によって気化部17のビーズ集合体20の上面に定量ずつ
高速に供給される。The solid powder heat-meltable dye 42 in the solid dye storage tank 41 is supplied from a supply port 43 by a check valve 44,
It is heated to the melting point by the heater 26 and melted (liquefied). The liquefied dye 22 is supplied at a constant rate to the upper surface of the bead aggregate 20 of the vaporization section 17 at a high rate by the capillary phenomenon of the bead aggregate 20.
【0015】また、このプリンタヘッドを含むプリンタ
全体は、例えばフルカラー用として図54に示すように、
イエロー、マゼンタ、シアンの各染料溜め15Y、15M、
15Cをそれぞれ共通のベース14に設けて各染料供給部又
は供給ヘッド部37Y、37M、37Cを構成し、そこから各
色の染料を12〜24個の多数のドットを形成する列状の気
化部17Y、17M、17Cに供給する。Further, the entire printer including this printer head is, for example, for full color as shown in FIG.
Yellow, magenta, and cyan dye reservoirs 15Y, 15M,
15C is provided on each common base 14 to form each dye supply section or supply head section 37Y, 37M, 37C, and from there, 12 to 24 dots of each color dye are formed in rows to form a vaporization section 17Y. , 17M, 17C.
【0016】各気化部に対しては、対応するレーザ(特
に半導体レーザチップ)18を各12〜24個アレイ状に配し
たマルチレーザアレイ30から出射される各レーザ光を多
数の集光レンズ19を配したマイクロレンズアレイ31によ
ってそれぞれ集光する(36はレーザ光Lを直角方向に導
くためのミラー)。For each vaporizing part, a large number of condenser lenses 19 are provided for each laser beam emitted from a multi-laser array 30 in which 12 to 24 corresponding lasers (particularly semiconductor laser chips) 18 are arranged in an array. The light is condensed by the microlens array 31 in which is arranged (36 is a mirror for guiding the laser light L in the perpendicular direction).
【0017】集光レンズとしては、図示したレンズ系で
もよいが、仮想線で示す1枚の径大の集光レンズ38を使
用してよい。このレンズ38は、光入射位置に応じて光出
射位置が上記の各気化部17C、17M、17Yに相当するよ
うに屈折経路が変化するように形成されたものである。
なお、マルチレーザアレイ30は、基板33に設けたコント
ロールIC34によって駆動制御し、またヒートシンク35
によって十分に放熱できるようになっている。As the condenser lens, the illustrated lens system may be used, but a single large-diameter condenser lens 38 indicated by an imaginary line may be used. The lens 38 is formed so that the refraction path changes so that the light emission position corresponds to the vaporization parts 17C, 17M, and 17Y described above according to the light incident position.
The multi-laser array 30 is driven and controlled by the control IC 34 provided on the substrate 33, and the heat sink 35 is also provided.
Is designed to allow sufficient heat dissipation.
【0018】なお、モノカラー印刷の場合は、図55に示
すように、1次元レーザアレイ30を作製し、それぞれの
レーザ素子を独立かつ並列に動作できる構造にすること
によって、簡単にビーム数の一倍以上の印刷速度が得ら
れる(例えば24ビームのレーザアレイを用いれば24倍の
速度となる)。In the case of mono-color printing, as shown in FIG. 55, a one-dimensional laser array 30 is manufactured, and each laser element can be operated independently and in parallel. Printing speeds of more than one time can be obtained (for example, 24 times speed is obtained by using a laser array with 24 beams).
【0019】上記した各プリンタヘッドはいずれも、染
料収容部37を記録ドット数に対応した個数分だけ液化染
料22をドット状に収容すると共に、レーザ18も記録ドッ
ト数の各発光点を有するアレイ状に配したものである。
レーザ18に依らない上記の熱転写方式のプリンタでも、
サーマルヘッド1の加熱部も同様にドット状に配列され
ている。Each of the printer heads described above accommodates as many liquefied dyes 22 as the number of recording dots corresponding to the number of recording dots in the dye accommodating portion 37, and the laser 18 also has an array having light emitting points corresponding to the number of recording dots. It is arranged in a shape.
Even with the above thermal transfer printer that does not rely on the laser 18,
The heating units of the thermal head 1 are also arranged in a dot pattern.
【0020】上記したように、この染料気化型レーザビ
ームプリンタによれば、記録に消費される染料について
は、その失われた分だけを染料溜めから溶融状態で気化
部へ自発的若しくは強制的に流すことにより、或いは、
適当な基体上に連続的に塗布され、その基体が転写部に
移動することにより、気化部へ連続的に供給することが
できる。これは、染料がバインダ樹脂を殆ど含有しない
ために、可能となる。従って、記録に関与する気化部
は、繰り返して多数回使用できるので、上述した熱転写
方式においてはインクシートが1回限りの使い捨てであ
るのに対し、省資源及び環境保護の面で有利である。As described above, according to this dye vaporization type laser beam printer, regarding the dye consumed for recording, only the lost portion is voluntarily or forcibly in the molten state from the dye reservoir to the vaporization part. By pouring, or
It can be continuously applied onto an appropriate substrate, and the substrate can be continuously supplied to the vaporizing unit by moving to the transfer unit. This is possible because the dye contains little binder resin. Therefore, since the vaporizing section involved in recording can be repeatedly used many times, the ink sheet is disposable only once in the above-mentioned thermal transfer method, which is advantageous in terms of resource saving and environmental protection.
【0021】また、気化型又はアブレーション型である
ために、染料層と被記録体(印画紙)とが接触しないで
記録を行え、従って、2回目以降のプリント時に上述し
た熱転写方式でみられるような染料の逆転写、混色は生
じることがないと共に、加熱部分は気化部を含むヘッド
のみとなり、上述した熱転写方式に比べて著しく消費電
力が低減する。同時に、染料の供給に上述したインクシ
ートではなく小体積の染料溜めを使用するために、プリ
ンタを小型、軽量化できる。Further, since it is a vaporization type or an ablation type, recording can be carried out without contact between the dye layer and the recording medium (printing paper), so that it can be seen in the above-mentioned thermal transfer system at the time of the second and subsequent printing. The reverse transfer of the dyes and the color mixture do not occur, and the heating portion is only the head including the vaporizing portion, and the power consumption is remarkably reduced as compared with the above-mentioned thermal transfer method. At the same time, the printer can be made smaller and lighter because a small volume dye reservoir is used for supplying the dye instead of the above-described ink sheet.
【0022】また、この記録方式は、染料の気化又は昇
華を利用したものであるために、上述の熱転写方式のよ
うに被記録体の染料受容層を加熱する必要がなく、イン
クシートと被記録体とを高い圧力で押し付ける必要もな
く、この点でもプリンタの小型化、軽量化に有利であ
る。そして、気化部の染料層と被記録体とが接触しない
ために、それらの間で熱融着が起こり得ないだけではな
く、染料と受容層樹脂の相溶性が小さくても記録可能で
ある。従って、染料及び受容層樹脂の設計、選択の幅が
著しく広がる。Further, since this recording system utilizes vaporization or sublimation of the dye, it is not necessary to heat the dye receiving layer of the recording medium as in the above-mentioned thermal transfer system, and the ink sheet and the recording medium are not recorded. It is not necessary to press the body against the body with high pressure, and this is also advantageous in reducing the size and weight of the printer. Since the dye layer in the vaporized portion and the recording medium do not come into contact with each other, heat fusion cannot occur between them, and recording is possible even if the compatibility between the dye and the receiving layer resin is small. Therefore, the range of design and selection of the dye and the resin for the receiving layer is remarkably expanded.
【0023】また、染料の気化(或いは昇華)のための
熱エネルギー供給源として、光源に半導体レーザ18を用
いることを基本としているが、半導体レーザは電力から
光への変換効率が高く、その上、指向性、集光性に優れ
ているので、染料の熱エネルギー伝達効率も非常に高
い。従って、従来方式(上記のサーマルヘッドによる熱
転写やインクジェット)に比べてトータルのエネルギー
利用効率が格段に高くなり、小型化や省電力化に有利に
なるという特徴も有する。Further, the semiconductor laser 18 is basically used as a light source as a heat energy supply source for vaporizing (or sublimating) the dye, but the semiconductor laser has a high conversion efficiency from electric power to light. Since the dye has excellent directivity and light collecting property, the heat energy transfer efficiency of the dye is also very high. Therefore, the total energy utilization efficiency is markedly higher than that of the conventional method (thermal transfer by the above-mentioned thermal head or ink jet), which is advantageous in downsizing and power saving.
【0024】さらに、従来のインクジェット方式のカラ
ープリンタでは、階調表現が難しいが、半導体レーザは
出力パワーやパルス幅等の制御が容易であるため、上記
の記録方式では簡単に多階調表現が実現できる。即ち、
カラービデオカメラ等で作りだされた電気的な画像を半
導体レーザによって画像信号に応じた染料転写に変換
し、銀塩写真に匹敵する少なくとも1色当たり 128階調
を持つフルカラー画像を形成することができる。Further, in the conventional ink jet type color printer, it is difficult to express gradation, but since the semiconductor laser can easily control the output power, the pulse width and the like, the above recording method can easily express multi gradation. realizable. That is,
An electric image created by a color video camera or the like can be converted into a dye transfer corresponding to an image signal by a semiconductor laser to form a full-color image having at least 128 gradations per color, which is comparable to silver halide photography. it can.
【0025】なお、この染料気化型の記録方法に適した
転写体としてのヘッド40は、転写時に瞬間的に加わる熱
量に対して十分耐える性質と、気化部(転写部)へ毛細
管現象により自発的に液状の染料を供給するための表面
積が大きくかつ転写時にも強固に染料を保持することの
できる構造(図53での20)とを有することが好ましい。
また、適当な保温装置を設けることによって、融点が室
温以上である染料又は染料混合物の使用も可能になる。The head 40, which is a transfer member suitable for the dye vaporization type recording method, has the property of sufficiently withstanding the amount of heat instantaneously applied at the time of transfer, and spontaneously due to the capillary phenomenon to the vaporization part (transfer part). It is preferable to have a structure (20 in FIG. 53) that has a large surface area for supplying a liquid dye and can firmly hold the dye during transfer.
Further, by providing an appropriate heat retaining device, it becomes possible to use a dye or a dye mixture having a melting point of room temperature or higher.
【0026】また、この記録方法に適した転写染料は、
適当な気化速度又はアブレーション速度を有し、単独若
しくは混合状態で 200℃以下において流動状態を示し、
かつ必要十分な耐熱性を具備していれば、どのような染
料でもよい。具体的には、分散染料、油溶性染料、塩基
性染料、酸性染料などが挙げられる。特に、アブレーシ
ョン機構が気化機構よりも優位を占める場合は、直接染
料のように分子量が大きくて気化速度が小さい染料や、
カーボンブラックや顔料でさえも転写は可能である。融
点が室温以上にある染料でも、染料同士を混合すること
により、或いは染料と揮発性の低分子量物質を混合する
ことにより、融点は低下する。A transfer dye suitable for this recording method is
It has an appropriate vaporization rate or ablation rate, and shows a fluid state at 200 ° C or lower in a single or mixed state,
Any dye may be used as long as it has necessary and sufficient heat resistance. Specific examples thereof include disperse dyes, oil-soluble dyes, basic dyes and acid dyes. In particular, when the ablation mechanism is superior to the vaporization mechanism, a dye having a large molecular weight and a low vaporization rate, such as a direct dye,
Even carbon black and pigments can be transferred. Even for a dye having a melting point of room temperature or higher, the melting point is lowered by mixing the dyes with each other or by mixing the dye and a volatile low molecular weight substance.
【0027】また、この記録方法に適した印画紙は、転
写染料と適当な相溶性を有し、転写染料を容易に受容し
て染料本来の発色を促進し、かつ染料を固定する作用が
あれば、どのような印画紙でもよい。例えば、分散染料
に対しては、分散染料と相溶性の良いポリエステル樹
脂、ポリ塩化ビニル樹脂、アセテート樹脂等を表面にコ
ートした紙などが好ましい。印画紙に転写された染料の
定着は、転写後の画像を加温して、表面の転写染料を受
像層内部に浸透させる方式も可能である。Further, the photographic printing paper suitable for this recording method has a proper compatibility with the transfer dye, easily accepts the transfer dye, accelerates the original color development of the dye, and fixes the dye. Any photographic paper can be used. For example, for the disperse dye, a paper having a surface coated with a polyester resin, a polyvinyl chloride resin, an acetate resin, or the like, which has good compatibility with the disperse dye, is preferable. The fixing of the dye transferred onto the printing paper may be performed by heating the transferred image so that the transferred dye on the surface penetrates into the image receiving layer.
【0028】染料転写方式の加熱手段は、大別して、熱
ヘッドによる方法と、レーザ光と、レーザ光の波長領域
を含む波長領域に吸収を示し、光エネルギーを熱エネル
ギーに変換する材料(光熱変換体)(図示せず)とレー
ザ光とを組み合わせる方法とが挙げられる。The heating means of the dye transfer system is roughly classified into a method using a thermal head, a material that absorbs laser light and a wavelength range including the wavelength range of the laser light, and converts light energy into heat energy (photothermal conversion). A method of combining a body (not shown) and laser light can be mentioned.
【0029】レーザ光を使用する場合には、解像度が著
しく向上すると共に、レーザ光密度を光学系で大きくす
ることにより集中的な加熱が可能となり、到達温度が上
がり、この結果、熱効率が向上するという特徴がある。
特に、マルチレーザを使用することによって、1画面を
転写する時間は大幅に短縮される。When a laser beam is used, the resolution is remarkably improved, and by increasing the laser beam density in the optical system, it becomes possible to perform intensive heating, and the ultimate temperature is increased. As a result, the thermal efficiency is improved. There is a feature called.
Particularly, by using the multi-laser, the time for transferring one screen is significantly shortened.
【0030】但し、光熱変換体は、連続的に光エネルギ
ーのレーザ光を吸収するために耐熱性を十分に満足する
ものでなければならない。従って、この方式に用いる光
熱変換体としては、レーザの発光波長に一致する吸収を
示す金属薄膜、金属薄膜と高誘電率を持つセラミック薄
膜との2層膜等の薄膜系光吸収体を直接転写部に設ける
他に、カーボンブラック、金属微粒子等の微粒子系光吸
収体や、フタロシアニン系色素、ナフタロシアニン系色
素、シアニン系色素、アントラキノン系色素等の有機系
色素又は有機金属系色素等の如く耐熱性の優れた染料又
は顔料を転写染料に均一に分散して使用してもよい。However, the photothermal converter must be sufficiently heat resistant in order to continuously absorb the laser light of light energy. Therefore, as the photothermal converter used in this system, a thin film type light absorber such as a metal thin film that exhibits absorption matching the emission wavelength of a laser, or a two-layer film of a metal thin film and a ceramic thin film having a high dielectric constant is directly transferred. In addition to being provided on the part, heat resistance such as fine particle type light absorbers such as carbon black and metal fine particles, organic dyes such as phthalocyanine dyes, naphthalocyanine dyes, cyanine dyes, anthraquinone dyes or organometallic dyes A dye or pigment having excellent properties may be used by uniformly dispersing it in a transfer dye.
【0031】[0031]
【発明に至る経過】また、本出願人は、インクシート及
び感熱ヘッドを必要としないで、省電力、小型化及び低
コストを図った他の昇華型カラービデオプリンタを特願
平5−236541号、特願平4−300587号、特願平5−1124
1 号、特願平5−12106 号等において提案している。Further, the applicant of the present invention has proposed another sublimation type color video printer, which does not require an ink sheet and a thermal head, and which saves power, is small in size, and is low in cost. , Japanese Patent Application No. 4-300587, Japanese Patent Application No. 5-1124
No. 1 and Japanese Patent Application No. 5-12106.
【0032】このプリンタの類似構造を図56〜図61によ
って具体的に説明する(但し、図53のヘッドと共通する
部分には共通符号を付す。)と、ヘッド部60は、分散染
料としての固形粉末状の昇華染料42を収納する染料槽41
と、下側に位置する高強度材からなる耐摩耗性の保護層
61と、中央に位置するスペーサ62と、上側に位置するヘ
ッドベース63とによって構成されている。なお、図57
は、図56とは上下を逆にして示したものである。A similar structure of this printer will be concretely described with reference to FIGS. 56 to 61 (however, common parts to those in the head of FIG. 53 are designated by common reference numerals), and the head part 60 serves as a disperse dye. Dye tank 41 containing solid powder sublimation dye 42
And a wear-resistant protective layer made of high-strength material located underneath
61, a spacer 62 located in the center, and a head base 63 located on the upper side. Fig. 57
Is shown upside down from FIG. 56.
【0033】そして更に、染料収納槽41内の固形粉末状
の昇華染料42を加熱液化して導く液化染料供給路64と、
この液化染料供給路64に沿って所定間隔毎に複数配置さ
れ、この液化染料供給路64から供給された液化分散染料
22を気化熱によって気化させる各気化部17と、この気化
部内にて染料22の液面下に設けた気化用発熱体65と、そ
れを支える断熱材(ブロック)66と、発熱体65上におい
て染料22の保持及び供給を行う多孔性構造体である小柱
体80の群とを有している。断熱材66の両側面には発熱体
の電極65A、65Bが設けられ、図示省略した構造を介し
て取り出されている(但し、ヒータ68との間の絶縁構造
は図示省略)。Further, a liquefied dye supply path 64 for heating and liquefying the solid powder sublimation dye 42 in the dye storage tank 41 to guide it.
A plurality of liquefied disperse dyes supplied from the liquefied dye supply passage 64 are arranged at predetermined intervals along the liquefied dye supply passage 64.
On each vaporization section 17 for vaporizing 22 by the heat of vaporization, a vaporization heating element 65 provided below the liquid surface of the dye 22 in this vaporization section, a heat insulating material (block) 66 for supporting it, and on the heating element 65 And a group of trabecular bodies 80 which are porous structures for holding and supplying the dye 22. Electrodes 65A and 65B of heating elements are provided on both side surfaces of the heat insulating material 66, and are taken out through a structure not shown (however, an insulating structure with the heater 68 is not shown).
【0034】保護層61は、印画紙50に軽圧で接触する際
に各気化部17の気化穴23内に汚れや塵、埃や異物等が混
入するのを防止する機能を有しており、熱伝導率がよ
く、耐熱性、耐摩耗性に優れたタンタル等の金属系やガ
ラス系の材料によって形成されている。また、保護層61
には、各気化部17の気化穴23の一部になる四角柱状の複
数の穴61aをエッチング技術等の微細加工により形成し
てある。The protective layer 61 has a function of preventing dirt, dust, dust, foreign matter, etc. from entering the vaporization holes 23 of each vaporization section 17 when it comes into contact with the photographic printing paper 50 with a light pressure. It is formed of a metal-based or glass-based material such as tantalum, which has good thermal conductivity and excellent heat resistance and wear resistance. In addition, the protective layer 61
In this case, a plurality of square columnar holes 61a which become a part of the vaporization holes 23 of each vaporization part 17 are formed by fine processing such as an etching technique.
【0035】スペーサ62は、例えばガラス系やセラミッ
ク系、ポリエチレン系樹脂、タンタル等の金属系で形成
され、材料や厚み及びその組み合わせにより、液化分散
染料22の溶融温度の調整と、保護層61への伝熱による印
画紙50の染料受容層50aの温度の調整とを行う機能を有
している。The spacer 62 is made of, for example, a glass-based or ceramic-based resin, a polyethylene-based resin, a metal-based resin such as tantalum, etc., and the melting temperature of the liquefied disperse dye 22 is adjusted and the protective layer 61 is adjusted depending on the material, thickness and combination thereof. It has a function of adjusting the temperature of the dye receiving layer 50a of the photographic printing paper 50 by the heat transfer of.
【0036】なお、印画紙50は、実際には、セルロース
系の樹脂などによって形成され、分散染料を吸収する染
料受容層50aと、ベース材50bとからなっている。ベー
ス材50bは、耐熱性が強く、非吸湿性の良いポリプロピ
レン層と、ベース紙と、ポリプロピレン層に対するバラ
ンスをとり、印画紙50が反らないようにするための別の
ポリプロピレン層とが積層された構造になっており、ま
た光吸収層(これは省略可能である。)が設けられてい
てもよい。The photographic printing paper 50 is actually composed of a cellulosic resin or the like, and comprises a dye receiving layer 50a which absorbs disperse dyes, and a base material 50b. The base material 50b is formed by laminating a polypropylene layer having high heat resistance and good non-hygroscopicity, a base paper, and another polypropylene layer for balancing the polypropylene layer and preventing the photographic printing paper 50 from warping. The structure may be different, and a light absorption layer (which can be omitted) may be provided.
【0037】スペーサ62には、図56、図57、図59に示す
ように、各気化部17の気化穴23の一部になる四角柱状の
複数の穴62aをそれぞれ形成していると共に、染料収納
槽41(イエロー用41Y、マゼンタ用41M、シアン用41
C)側からヘッドベース63の他端側に延びて各気化部17
の気化穴23に連通する複数の溝穴(染料供給路)64を形
成している。As shown in FIGS. 56, 57 and 59, the spacer 62 is provided with a plurality of square columnar holes 62a each of which is a part of the vaporizing hole 23 of each vaporizing portion 17, and the dye 62 Storage tank 41 (41Y for yellow, 41M for magenta, 41 for cyan
Each vaporizing portion 17 extends from the C) side to the other end side of the head base 63.
A plurality of slots (dye supply paths) 64 communicating with the vaporization holes 23 are formed.
【0038】更に、保護層61とスペーサ62との間には染
料液止め層67が設けられている。この染料液止め層67
は、耐熱性があって化学的に安定しているフッ素系やシ
リコン系の樹脂材料によって形成され、液化分散染料22
が保護層61の壁面を経由して外部へ漏れて印画紙50の染
料受容層50aに付着するのを防止するものである。Further, a dye solution stopping layer 67 is provided between the protective layer 61 and the spacer 62. This dye liquid stop layer 67
Is a liquefied disperse dye formed of a fluorine-based or silicon-based resin material that is heat resistant and chemically stable.
Is prevented from leaking to the outside through the wall surface of the protective layer 61 and adhering to the dye receiving layer 50a of the photographic printing paper 50.
【0039】また、図56、図57、図58に示すように、液
止め層67には、各気化部17の気化穴23の一部になる四角
柱状の複数の穴67aをそれぞれ形成している。なお、保
護層61と染料液止め層67とスペーサ62とは、耐熱性があ
る接着剤でそれぞれ接着されている。Further, as shown in FIGS. 56, 57 and 58, the liquid stop layer 67 is formed with a plurality of square columnar holes 67a which become a part of the vaporization holes 23 of each vaporization section 17. There is. The protective layer 61, the dye solution stopping layer 67, and the spacer 62 are adhered to each other with a heat-resistant adhesive.
【0040】ヘッドベース63は、融点が高く、熱成形性
がなく、低熱伝導性である例えばガラス、セラミックス
等によってなるべく薄く形成されている。また、図56に
示すように、ヘッドベース63の各染料収納槽41側には、
各液化染料供給路64に連通する供給口(接続穴)43を形
成している。The head base 63 is formed as thin as possible, for example, glass, ceramics or the like having a high melting point, no thermoformability, and low thermal conductivity. Further, as shown in FIG. 56, on the dye storage tank 41 side of the head base 63,
A supply port (connection hole) 43 communicating with each liquefied dye supply path 64 is formed.
【0041】更に、ヘッドベース63の各液化染料供給路
64側の面には、各染料槽41内まで板状のヒータ(発熱
体)68を取り付けている。このヒータ68は、例えばカー
ボン又はシリコン系化合物で形成され、通電により50℃
〜300 ℃の熱を発して固形粉末状の分散染料42を液化す
ると共に、液化状態で保温する機能を有する。Further, each liquefied dye supply path of the head base 63
A plate-shaped heater (heating element) 68 is attached to the surface on the 64 side up to the inside of each dye bath 41. The heater 68 is made of, for example, carbon or a silicon compound, and is heated to 50 ° C.
It has a function of liquefying the disperse dye 42 in the form of a solid powder by generating heat of ˜300 ° C. and keeping the temperature in the liquefied state.
【0042】図56に示すように、ヒータ68の一方の端部
は、上方に垂直に折り曲げられて各染料収納槽41内に挿
入されていると共に、その他方の端部は各液化染料供給
路64の終端部側まで伸びている。また、図61に示すよう
に、ヒータ68はヘッドベース63の全面に配置されてお
り、スペーサ62及び保護層61を保温して印画紙50の染料
受容層50aも加熱できるようになっている。As shown in FIG. 56, one end of the heater 68 is bent vertically upward and inserted into each dye storage tank 41, and the other end is connected to each liquefied dye supply path. It extends to the terminal end side of 64. Further, as shown in FIG. 61, the heater 68 is arranged on the entire surface of the head base 63 so that the spacer 62 and the protective layer 61 are kept warm so that the dye receiving layer 50a of the photographic printing paper 50 can also be heated.
【0043】図56〜図61に示した上記のプリンタヘッド
60によれば、図53〜図55に示したプリンタヘッド40で述
べた特長を有している上に、このプリンタヘッド40と比
較すると、以下に述べるような利点を有している。The above-mentioned printer head shown in FIGS. 56 to 61.
According to 60, in addition to having the features described in the printer head 40 shown in FIGS. 53 to 55, it has the following advantages in comparison with the printer head 40.
【0044】まず、各気化部17における気化のための染
料加熱は、レーザ光Lを使用するのではなく、各気化部
に設けた発熱体65の発熱によって行っているので、高価
な半導体レーザ(特に並列に複数本設けるマルチレーザ
アレイ)の代わりに低コストの発熱体の使用が可能とな
り、また、気化効率はレーザの電気光変換効率に依存せ
ずにヒータの発熱を直接利用することになり、全体とし
ての効率が向上する。First, since the heating of the dye for vaporization in each vaporization section 17 is performed not by using the laser light L but by the heat generation of the heating element 65 provided in each vaporization section, an expensive semiconductor laser ( In particular, it is possible to use a low-cost heating element instead of multiple laser arrays that are provided in parallel), and the vaporization efficiency directly uses the heat generated by the heater without depending on the electro-optical conversion efficiency of the laser. , The efficiency as a whole is improved.
【0045】しかしながら、本発明者がプリンタヘッド
60について検討を加えた結果、次に述べるような改善す
べき点が残されていることを見出した。However, the present inventor
As a result of examining 60, it was found that the following points to be improved remain.
【0046】プリンタヘッド60のヘッド構造において、
図50の仮想線部分の拡大図である図51に示すように、液
化染料供給路(溝穴)64と各穴62aとを連通する染料導
入路64aは狭く、溝穴64及び染料導入路64aを経由して
の各穴62aへの染料の供給がスムーズにはなされない。
このため、記録が迅速にはなされないという問題があ
る。In the head structure of the printer head 60,
As shown in FIG. 51, which is an enlarged view of the phantom line portion of FIG. 50, the dye introduction path 64a that connects the liquefied dye supply path (groove hole) 64 and each hole 62a is narrow, and the groove 64 and the dye introduction path 64a The dye is not smoothly supplied to each hole 62a via the.
Therefore, there is a problem that recording is not performed quickly.
【0047】何故なら、プリンタヘッドの構成材料は無
機質であり、これに対して有機質の染料は濡れ性が良好
ではなく、染料が撥かれて染料導入路64aに引き込まれ
難いからである。This is because the constituent material of the printer head is inorganic, whereas the organic dye does not have good wettability, and the dye is repelled and is difficult to be drawn into the dye introducing passage 64a.
【0048】また、固形染料を収納する染料槽41は、カ
ートリッジ方式で交換可能なタイプと、一定量(例えば
1000枚程度の記録に対応する量)を収納してヘッドに固
着し、染料が消費し尽くされるとヘッドと共に廃棄する
タイプとがある。後者のタイプでは、溝穴64の隅に残留
した染料がヘッドと共に廃棄されて無駄となってしま
う。Further, the dye tank 41 for storing the solid dye is a cartridge type replaceable type and a fixed amount (for example,
There is a type that stores a quantity corresponding to the recording of about 1000 sheets) and fixes it to the head, and discards it together with the head when the dye is exhausted. In the latter type, the dye remaining in the corners of the slot 64 is wasted together with the head and is wasted.
【0049】[0049]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑みてなされたものであって、記録部への記録材の供
給がスムーズかつ充分になされて常に順調な記録が遂行
され、かつ、記録に供されない記録材が減少して経済的
な記録装置を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and the recording material is smoothly and sufficiently supplied to the recording portion to always perform smooth recording, and The object is to provide an economical recording apparatus in which the recording material not used for recording is reduced.
【0050】[0050]
【課題を解決するための手段】本発明は、記録材を収容
する記録部と、前記記録材を前記記録部へ導入するため
の導入部を有する記録材供給路とが設けられ、少なくと
も前記導入部及び/又はその近傍に、前記導入部への前
記記録材の供給を促進するための記録材供給促進手段が
設けられている記録装置に係る。According to the present invention, there is provided a recording section for accommodating a recording material, and a recording material supply path having an introduction section for introducing the recording material into the recording section, and at least the introduction section. The present invention relates to a recording apparatus in which a recording material supply promoting means for promoting the supply of the recording material to the introduction section is provided in the section and / or in the vicinity thereof.
【0051】本発明において、記録材供給促進手段が、
毛細管現象を生ずる構造若しくは形状に形成されている
ことが望ましい。In the present invention, the recording material supply promoting means is
It is desirable that it is formed in a structure or shape that causes a capillary phenomenon.
【0052】上記において、記録材供給促進手段を溝状
に形成することができる。In the above, the recording material supply promoting means can be formed in a groove shape.
【0053】また、上記において、記録材供給促進手段
を対の突条部間に形成することができる。Further, in the above description, the recording material supply promoting means can be formed between the pair of ridges.
【0054】また、上記において、記録材供給促進手段
が、記録材導入部側で狭くなっていることが、毛細管現
象を利用して記録材導入部へ記録材を導入する上で望ま
しい。Further, in the above, it is desirable that the recording material supply promoting means is narrowed on the recording material introducing portion side in order to introduce the recording material into the recording material introducing portion by utilizing the capillary phenomenon.
【0055】また、本発明において、記録材供給促進手
段が、記録材に対して濡れ性の良い材料からなっている
ように構成することができる。Further, in the present invention, the recording material supply promoting means can be constituted by a material having good wettability with respect to the recording material.
【0056】また、本発明において、記録材供給促進手
段が粗面によって形成されているように構成することも
できる。Further, in the present invention, the recording material supply promoting means may be formed so as to have a rough surface.
【0057】また、本発明において、記録材供給促進手
段を記録材供給路内に設けるようにすることが望まし
い。Further, in the present invention, it is desirable to provide the recording material supply promoting means in the recording material supply passage.
【0058】上記において、記録部と記録材供給路とが
記録材導入路によって連通し、この記録材導入路に接し
て若しくはその近傍に記録材供給促進手段の先端が位置
するようにすることが望ましい。In the above description, the recording section and the recording material supply path are communicated with each other by the recording material introduction path, and the tip of the recording material supply promoting means is located in contact with or near the recording material introduction path. desirable.
【0059】また、上記において、記録材供給促進手段
が、記録材供給路のうちの記録材導入部と同等のレベル
面に設けられていることが望ましい。Further, in the above description, it is desirable that the recording material supply promoting means is provided on the level surface of the recording material supply path which is equivalent to the recording material introducing portion.
【0060】また、上記において、記録材供給促進手段
が、記録材導入部と同等のレベル面に連続した他の面に
も設けられていることが一層望ましい。Further, in the above, it is more preferable that the recording material supply promoting means is also provided on another surface continuous with the level surface equivalent to the recording material introducing portion.
【0061】また、本発明において、液状記録材が被記
録体へ飛翔して記録がなされるように、記録部が記録材
飛翔用構造体として構成されていることが望ましい。Further, in the present invention, it is desirable that the recording portion is configured as a recording material flying structure so that the liquid recording material can fly to the recording medium to perform recording.
【0062】また、本発明において、記録材供給構造部
上に記録材飛翔用構造体が一体に設けられている構造と
するのが、装置製造上で有利である。Further, in the present invention, it is advantageous in manufacturing the apparatus that the recording material flying structure is integrally provided on the recording material supply structure.
【0063】また、本発明において、記録材飛翔用構造
体が記録材収容部内に取付けられている構造とすること
もできる。Further, in the present invention, the recording material flying structure may be attached to the inside of the recording material accommodating portion.
【0064】また、本発明において、液状記録材を加熱
して飛翔させるたの発熱体が記録材飛翔用構造体に設け
られているように構成することが望ましい。In the present invention, it is desirable that the heating element for heating the liquid recording material to fly is provided in the recording material flying structure.
【0065】また、本発明において、記録材飛翔用構造
体の液状記録材を加熱ビームにより加熱して飛翔させる
ように構成することもできる。In the present invention, the liquid recording material of the recording material flying structure may be heated by a heating beam to fly.
【0066】また、本発明において、毛細管現象によっ
て液状記録材を開口側に供給しかつ保持するように記録
材飛翔用構造体が構成されていることが望ましい。Further, in the present invention, it is desirable that the recording material flying structure is constructed so as to supply and hold the liquid recording material to the opening side by the capillary phenomenon.
【0067】また、本発明において、毛細管現象を生ず
る多孔性構造物が記録材飛翔用構造体に設けられている
ように構成することが望ましい。Further, in the present invention, it is desirable that the recording material flying structure is provided with a porous structure which causes a capillary phenomenon.
【0068】また、本発明において、多孔性構造体が小
柱体の集合体によって形成されていることが望ましい。Further, in the present invention, it is desirable that the porous structure is formed of an aggregate of small pillars.
【0069】また、本発明において、液状記録材が、気
化又はアブレーションして前記液状記録材と非接触状態
で対向配置された被記録体へ飛翔するようにした記録装
置とすることが望ましい。In the present invention, it is desirable that the liquid recording material is vaporized or ablated so as to fly to a recording medium which is arranged so as to face the liquid recording material in a non-contact state.
【0070】[0070]
【実施例】以下、実施例により本発明を詳述するが、本
発明が以下の実施例に限定されるものではないことは勿
論である。EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to Examples, but it goes without saying that the present invention is not limited to the following Examples.
【0071】<第一の実施例>図1はプリンタヘッドの
底面図(図2及び図3のI−I線断面図)、図2は図1
のII−II線断面図、図3は底板を取付ける前のスペーサ
の拡大部分斜視図、図4は底板を一部除去して示すスペ
ーサの平面図である。<First Embodiment> FIG. 1 is a bottom view of the printer head (a sectional view taken along the line I--I of FIGS. 2 and 3), and FIG.
II-II line sectional view of FIG. 3, FIG. 3 is an enlarged partial perspective view of the spacer before the bottom plate is attached, and FIG. 4 is a plan view of the spacer shown by partially removing the bottom plate.
【0072】液化染料22は、染料供給路84から染料導入
口84’を経由して気化部77に供給される。染料供給路84
及び染料導入口84’はスペーサ82に形成されている。The liquefied dye 22 is supplied from the dye supply path 84 to the vaporization section 77 via the dye introduction port 84 '. Dye supply path 84
The dye inlet port 84 'is formed in the spacer 82.
【0073】染料供給路84の底壁面84aには染料導入口
84’に向けて一対の突条185 、185が設けられ、これら
の間に幅狭の溝184 が形成されている。染料供給路84の
側壁面84b、84cは傾斜面となっていて、側壁面84b、
84cにも染料導入口84’に向けて夫々一対の突条285 、
285 が設けられ、これらの間に溝284 が形成されてい
る。突条285(従って、溝284)は底壁面84a上に迄延設さ
れている。溝284 は、染料導入口84’に近付く程幅狭に
なっていて、毛細管作用によって染料22を染料導入口8
4’に導くようにしてある。溝184 も染料導入口84’に
近付く程幅狭にするのが望ましい。A dye inlet is provided on the bottom wall surface 84a of the dye supply passage 84.
A pair of ridges 185, 185 are provided toward 84 ', and a narrow groove 184 is formed between them. The side wall surfaces 84b and 84c of the dye supply passage 84 are inclined surfaces,
84c also has a pair of ridges 285, respectively, toward the dye inlet 84 '.
285 are provided, and a groove 284 is formed between them. The ridges 285 (hence, the grooves 284) are extended to the bottom wall surface 84a. The groove 284 becomes narrower as it gets closer to the dye introducing port 84 ', and the dye 22 is introduced by the capillary action into the dye introducing port 8'.
I am trying to lead to 4 '. It is desirable that the groove 184 is also narrowed as it approaches the dye inlet port 84 '.
【0074】染料22は、スペーサ82に対して濡れ性が良
好でなくても、溝184 、284 による毛細管作用により、
矢印のように染料導入口84’に引き込まれるようにな
り、これに伴って溝の先端周辺の染料も染料導入口84’
に引き込まれるようになる。その結果、染料のスペーサ
に対する濡れ性が見掛け上向上したようになり、染料が
染料導入口84’を経由して気化部77にスムーズに供給さ
れることになる。また、一定量記録後に使い捨てられる
タイプのヘッドにあっては、染料供給路84に残留して廃
棄される染料が僅かになり、染料の無駄が大幅に軽減さ
れる。Even if the dye 22 does not have good wettability with respect to the spacer 82, the dye 22 has a capillary action due to the grooves 184 and 284.
As shown by the arrow, it will be drawn into the dye introducing port 84 ', and along with this, the dye around the tip of the groove will also be drawn into the dye introducing port 84'.
Will be drawn to. As a result, the wettability of the dye with respect to the spacer is apparently improved, and the dye is smoothly supplied to the vaporizing section 77 via the dye introducing port 84 '. Further, in the case of a type of head that is disposable after recording a fixed amount, the amount of dye remaining in the dye supply path 84 and discarded is small, and the waste of dye is greatly reduced.
【0075】このプリンタヘッド70の染料気化部77にお
いては、厚さが20μm以下、例えば6〜15μmのSiO
2 層からなる絶縁板73に染料収容部87が凹状に形成さ
れ、この収容部に絶縁板73の微細加工による幅及び径が
10μm以下(例えば1〜2μm)、間隔が20μm以下
(例えば1〜2μm)、高さが20μm以下(例えば6〜
15μm)の微細な小円柱状の小柱体80の群が気化構造体
101 の一部として設けられている。In the dye vaporization section 77 of the printer head 70, the SiO 2 having a thickness of 20 μm or less, for example, 6 to 15 μm.
The dye containing portion 87 is formed in a concave shape on the insulating plate 73 composed of two layers, and the width and the diameter of the insulating plate 73 by the fine processing are formed in the containing portion.
10 μm or less (eg 1-2 μm), spacing 20 μm or less (eg 1-2 μm), height 20 μm or less (eg 6-m
15 μm) A group of fine small columnar small columns 80 are vaporized structures.
It is provided as part of 101.
【0076】この小柱体80は、収容部87の底面からその
上面に至るまでの高さに設けられ、かつ、各小柱体間に
は微小空隙92を有しており、この空隙によって全体とし
て多孔性構造を構成している。空隙92は、その毛細管作
用によって収容部87内で液化染料22を保持すると同時
に、プリンタの1ドット分の時系列的動作に必要な十分
な量の液化染料22を上方(気化面又は液面)へ供給する
作用をなすものである。The small pillars 80 are provided at a height from the bottom surface of the accommodating portion 87 to the upper surface thereof, and have minute voids 92 between the small pillars, and the voids make the whole. As a porous structure. The void 92 holds the liquefied dye 22 in the accommodating portion 87 by its capillary action, and at the same time, raises a sufficient amount of the liquefied dye 22 necessary for time-series operation of one dot of the printer (vaporization surface or liquid surface). To supply to.
【0077】そして、この小柱体80の群は左右の2つに
分けられ、その中間の小柱体のない領域において染料収
容部87の底面に厚さが例えば1μmの発熱体75が局部的
に矩形状に設けられている。従って、発熱体75は小柱体
80とは別々の領域に互いに分離して設けられている。そ
して、発熱体75は、次のような位置に配されている。The group of the small columns 80 is divided into left and right two groups, and a heating element 75 having a thickness of, for example, 1 μm is locally formed on the bottom surface of the dye accommodating portion 87 in a region where there is no small column in the middle. Are provided in a rectangular shape. Therefore, the heating element 75 is a pillar.
It is provided in a separate area from the area 80. The heating element 75 is arranged at the following position.
【0078】即ち、気化構造体101 において発熱体75
が、ベース材としてのスペーサ82の表面82Aを部分的に
突出させてなる幅細の突出部82Bの上面82Cに設けられ
ている。従って、小柱体80とスペーサ表面82Aとの中間
高さhのレベルに設けられている。突出部分82Bはスペ
ーサ82と一体のものであり、その上面82Cと同じ高さレ
ベルhにおいて発熱体75の一対の電極94、95が設けられ
ている。That is, in the vaporization structure 101, the heating element 75
Is provided on the upper surface 82C of the narrow protruding portion 82B formed by partially protruding the surface 82A of the spacer 82 as the base material. Therefore, it is provided at the level of the intermediate height h between the columnar body 80 and the spacer surface 82A. The protruding portion 82B is integral with the spacer 82, and a pair of electrodes 94 and 95 of the heating element 75 are provided at the same height level h as the upper surface 82C thereof.
【0079】発熱体75はカーボンやポリシリコン等のシ
リコン系化合物で、その両側には一対のアルミニウム電
極94と95が設けられている。The heating element 75 is a silicon compound such as carbon or polysilicon, and a pair of aluminum electrodes 94 and 95 are provided on both sides thereof.
【0080】電極94−95間にマトリックス駆動によって
画像信号に基づく信号電圧が印加され、これによる通電
で発熱体75において50〜500 ℃の発熱を生じ、この熱で
液化染料22を効率良く加熱して気化させるものである。
そして、絶縁板73下に石英ガラスからなるスペーサ82が
一体化して設けられているために、スペーサ82が断熱材
として作用し、上記の発熱体75による熱は効率よく染料
の加熱に用いられる。A signal voltage based on an image signal is applied between the electrodes 94 and 95 by matrix driving, and the energization causes heat to be generated at 50 to 500 ° C. in the heating element 75, and this heat efficiently heats the liquefied dye 22. To vaporize.
Further, since the spacer 82 made of quartz glass is integrally provided under the insulating plate 73, the spacer 82 acts as a heat insulating material, and the heat generated by the heating element 75 is efficiently used for heating the dye.
【0081】スペーサ82には、液化染料22の供給通路84
が形成され、これが染料導入口84’として染料収容部87
の底面に開口している。従って、液化染料22は、連続的
に通路84及び導入口84’を介して染料収容部87内に導入
され、気化構造体101 へ供給されることになる。A supply passage 84 for the liquefied dye 22 is provided in the spacer 82.
Is formed, and this serves as the dye inlet port 84 ′ and the dye containing portion 87.
It has an opening on the bottom of. Therefore, the liquefied dye 22 is continuously introduced into the dye containing portion 87 through the passage 84 and the introduction port 84 ′ and is supplied to the vaporization structure 101.
【0082】スペーサ82上に、多孔性構造体である小柱
体80の群と発熱体75とが互いに分離されてそれぞれ設け
られている(しかも、下地に断熱材としても機能するス
ペーサ82が存在している)ので、発熱体75から生じる熱
は多孔性構造体へは実質的に逃げること(周囲への放熱
又は熱放出が生じること)はなく、また、発熱体75の表
面はその上に多孔性構造体は存在していないために染料
22の加熱に直接用いられ、十分に活用できることにな
る。これによって、発熱体75による染料22に対する加熱
効率を高め、その気化効率を高めて記録性能を向上させ
ることができる。On the spacer 82, a group of small columns 80, which is a porous structure, and a heating element 75 are provided separately from each other (in addition, there is a spacer 82 that also functions as a heat insulating material in the base. Therefore, the heat generated from the heating element 75 does not substantially escape to the porous structure (heat dissipation or heat release to the surroundings does not occur), and the surface of the heating element 75 is above it. Dyes due to the absence of porous structures
It will be used directly for heating 22 and will be fully utilized. As a result, the heating efficiency of the heating element 75 with respect to the dye 22 can be increased, and the vaporization efficiency thereof can be increased to improve the recording performance.
【0083】また、発熱体75が作動しない非加熱時に
は、染料22の熱を多孔性構造体を経由して周囲へ放出で
きるため、効果的に染料22の冷却を行うことができる。Further, when the heating element 75 is not operating and is not heated, the heat of the dye 22 can be released to the surroundings through the porous structure, so that the dye 22 can be effectively cooled.
【0084】そして、多孔性構造体(小柱体80の群)は
発熱体75とは分離されているため、隣接して配されてい
ても、多孔性構造体には加熱による熱的ストレスが実質
的に加わることはなく、その破損が発生せず、信頼性を
向上させることができる。また、多孔性構造体の占有面
積又は量を減らし、その加工等がより容易となる。Since the porous structure (group of small pillars 80) is separated from the heating element 75, even if they are arranged adjacent to each other, thermal stress due to heating is applied to the porous structure. Substantially no addition, no damage occurs, and reliability can be improved. In addition, the occupied area or amount of the porous structure is reduced, and its processing and the like becomes easier.
【0085】上記の多孔性構造体は、小柱体80の群から
なっているので、各小柱体間の毛細管作用で染料22の逃
げを抑制し、染料22を気化領域に効果的に保持及び定量
供給し、熱を効率良く伝えることを可能にし、気化又は
アブレーション効率を向上させることができ、また染料
22の定量供給により気化又はアブレーション量を一定と
して高画質の記録が得られる。Since the above-mentioned porous structure is composed of a group of trabecular bodies 80, the escape of the dye 22 is suppressed by the capillary action between the trabecular bodies, and the dye 22 is effectively retained in the vaporized region. In addition, it is possible to supply heat in a fixed amount, to efficiently transfer heat, and to improve vaporization or ablation efficiency.
High-quality recording can be obtained with a constant vaporization or ablation amount by the constant supply of 22.
【0086】また、発熱体75は、スペーサ82の表面(染
料収容部87の底面)に設けられているので、発熱体75は
多孔性構造体(小柱体80の群)よりも凹んで位置するこ
とになり、この凹み部分(段差部分)110、即ち発熱体75
上に導入口84’からの染料22をスムーズに供給すること
ができる。従って、導入口84’が1箇所であっても染料
22の供給を十分に行える。仮に、図57に示したと同様
に、発熱体75上に小柱体80が一様に設けられている場合
は、染料22を一方側から供給することが困難となり、図
57のように四方から発熱体上に供給したり、或いは染料
導入口や供給用の溝が2箇所以上必要となる。Further, since the heating element 75 is provided on the surface of the spacer 82 (bottom surface of the dye accommodating portion 87), the heating element 75 is recessed from the porous structure (group of small pillars 80). The recessed portion (stepped portion) 110, that is, the heating element 75
The dye 22 from the inlet 84 'can be smoothly supplied to the top. Therefore, even if there is only one inlet 84 ', the dye
Sufficient supply of 22. As shown in FIG. 57, if the pillars 80 are uniformly provided on the heating element 75, it becomes difficult to supply the dye 22 from one side.
As shown in 57, it is necessary to supply the heat from the four sides, or it is necessary to have two or more dye introducing ports and supply grooves.
【0087】また、上記段差部分110 に染料22をスムー
ズに供給し、そこに保持し易くなり、段差部分のパター
ンによっては(例えばその周囲が小柱体80で囲まれる如
くになっていると)、染料の保持を一層十分に行い、そ
の逃げを十分に防止することができる。Further, the dye 22 can be smoothly supplied to the step portion 110 and easily held therein. Depending on the pattern of the step portion (for example, the periphery thereof is surrounded by the pillars 80). In addition, the dye can be retained more sufficiently and its escape can be sufficiently prevented.
【0088】また、発熱体75が作動しない非加熱時に
は、染料22の熱を多孔性構造体を経由して周囲へ放出で
きるため、効果的に染料の冷却を行うことができる。Further, when the heating element 75 is not operating and is not heated, the heat of the dye 22 can be released to the surroundings through the porous structure, so that the dye can be effectively cooled.
【0089】更に、前述したように、発熱体75がスペー
サ82の突出部分82B上に設けられることによって、発熱
体から発生する熱は幅細の突出部分82Bを介してしか伝
達されないので、その熱がスペーサ82側へ伝達される面
積が小さくなっている。発熱体をスペーサ82の表面に直
接設けた場合には、発熱体の熱がスペーサ82(これは断
熱材として作用する。)側へだけでなく横方向にも伝達
されるが、本例の場合は突出部分82Bを介するためにス
ペーサ82側への伝熱量が減少することになる。Further, as described above, since the heating element 75 is provided on the protruding portion 82B of the spacer 82, the heat generated from the heating element is transferred only through the narrow protruding portion 82B. The area transmitted to the spacer 82 side is small. When the heating element is provided directly on the surface of the spacer 82, the heat of the heating element is transferred not only to the side of the spacer 82 (which acts as a heat insulating material) but also in the lateral direction. The amount of heat transferred to the spacer 82 side is reduced because of the interposition of the protruding portion 82B.
【0090】この結果、発熱体75が小柱体80とは分離さ
れて設けられていることによる上述した作用効果(即
ち、小柱体80を通しての放熱がなく、また、小柱体80の
熱的ストレスを抑制すること、及び小柱体80の加工容易
性、その量の削減)が得られるのは勿論であるが、これ
に加えて、上記した突出部分82Bによる伝熱の抑制で、
発熱体75による加熱効率を更に向上させることができ
る。As a result, the above-described operation and effect due to the heat generating element 75 being provided separately from the small pillar body 80 (that is, there is no heat radiation through the small pillar body 80, and the heat of the small pillar body 80 is not generated). It is of course possible to suppress the dynamic stress and to facilitate the processing of the small pillar body 80 and reduce the amount thereof, but in addition to this, by suppressing the heat transfer by the above-mentioned protruding portion 82B,
The heating efficiency by the heating element 75 can be further improved.
【0091】しかも、発熱体75は突出部分82Bの上面82
Cに設けられ、染料22の液面の近くに存在しているた
め、発熱体75の熱は染料気化を直接左右する液面領域を
効率的に加熱することにより、染料22の気化効率を一層
向上させることができる。即ち、発熱体75の表面(熱を
発生する面)を十二分に活用することが可能となる。Moreover, the heating element 75 has the upper surface 82 of the protruding portion 82B.
Since it is provided in C and is present near the liquid surface of the dye 22, the heat of the heating element 75 efficiently heats the liquid surface region that directly influences the vaporization of the dye, thereby further increasing the vaporization efficiency of the dye 22. Can be improved. That is, it becomes possible to fully utilize the surface of the heating element 75 (the surface that generates heat).
【0092】また、上記突出部分82B上には小柱体80と
の間に段差部分110 が存在しているので、ここに染料22
を効果的に保持、供給でき、かつ、段差部分110 へは一
方向からでも染料を供給できるので、その導入口84’も
1つですみ、またその位置もあまり制約されない。Further, since there is a step portion 110 between the pillar portion 80 and the projecting portion 82B, the dye 22 is present here.
Since the dye can be effectively held and supplied, and the dye can be supplied to the step portion 110 from one direction, only one introduction port 84 'is required and its position is not so limited.
【0093】この実施例において上記の発熱体75の幅
(突出部分82Bの幅)w及びその高さhは種々に選択し
てよいが、上記した加熱効率の点で(2/3)h≧w≧
(1/3)hなる関係を満たしているのがよい。例え
ば、h=6μm、w=3μmであってよい。なお、小柱
体80の高さは20μm以下、径は10μm以下、間隙92は20
μm以下としてよい。In this embodiment, the width w of the heating element 75 (width of the protruding portion 82B) and the height h thereof may be variously selected, but in view of the above heating efficiency, (2/3) h ≧ w ≧
It is preferable that the relationship of (1/3) h is satisfied. For example, h = 6 μm and w = 3 μm. The height of the pillars 80 is 20 μm or less, the diameter is 10 μm or less, and the gap 92 is 20 μm or less.
It may be μm or less.
【0094】本例のプリンタヘッド70においては、上記
の絶縁板73はスペーサ82上に一体化されているので、こ
の一体化構造は、絶縁板73又はスペーサ82が単独である
場合に比べて肉厚であって、機械的強度が大きくなって
いる。In the printer head 70 of this example, the insulating plate 73 is integrated on the spacer 82. Therefore, this integrated structure is more effective than the insulating plate 73 or the spacer 82 alone. It is thick and has high mechanical strength.
【0095】従って、染料収容部87や小柱体80、更には
染料通路84等を加工するときの機械的強度が十分とな
り、割れや破壊を生じることなく、取扱い性、加工性及
び信頼性、更には歩留り及びコストパフォーマンスを向
上させることができる。Therefore, the mechanical strength when processing the dye containing portion 87, the columnar body 80, the dye passage 84, etc. is sufficient, and the handling, the workability and the reliability are ensured without cracking or breaking. Furthermore, the yield and cost performance can be improved.
【0096】また、小柱体80及び染料収容部87をスペー
サ82上での絶縁板73のパターニングによって形成し、こ
のパターニング後にそのまま残して気化構造体101 を形
成できるから、これを接着剤等によって個々に固定する
必要はなくなり、パターニング時の位置合わせのみでよ
いために小柱体80及び染料収容部87、更には導入口84’
の位置合わせを容易かつ高精度に行え、記録特性を改善
することができる。Further, since the columnar body 80 and the dye accommodating portion 87 can be formed by patterning the insulating plate 73 on the spacer 82, and the vaporization structure 101 can be formed by leaving it as it is after the patterning, this can be formed by an adhesive or the like. It is not necessary to fix them individually, and only the alignment at the time of patterning is necessary, so the trabecular body 80 and the dye accommodating portion 87, and further the inlet port 84 '.
Can be easily and highly accurately aligned, and the recording characteristics can be improved.
【0097】そして、スペーサ82は更に、石英ガラス板
からなる底板102 に接合、固定されているので、この底
板102 が補強材として作用し、ヘッドの機械的強度が一
層十分となっている。但し、この底板102 は必ずしも設
けなくてよく、スペーサ82の上面には染料収納槽(図示
せず)を直接取り付けてもよい。Further, since the spacer 82 is further joined and fixed to the bottom plate 102 made of a quartz glass plate, the bottom plate 102 acts as a reinforcing material, and the mechanical strength of the head becomes further sufficient. However, the bottom plate 102 does not necessarily have to be provided, and a dye storage tank (not shown) may be directly attached to the upper surface of the spacer 82.
【0098】上記の電極94及び95は発熱体75と共にスペ
ーサ82の上面に設けられるが、それら電極84及び85を含
む上面には、フッ素系又はシリコン系樹脂からなる染料
液止め層97が設けられ、液化染料22の上方への漏れを防
止している。更にこの液止め層97上には、既述した保護
層61と同等のタンタルやガラス等からなる保護層91が設
けられている。各層91、97には気化用の開口91a、97a
が形成されている。The electrodes 94 and 95 are provided on the upper surface of the spacer 82 together with the heating element 75. On the upper surface including the electrodes 84 and 85, a dye solution stopping layer 97 made of fluorine-based or silicon-based resin is provided. The liquefied dye 22 is prevented from leaking upward. Further, a protective layer 91 made of tantalum, glass, or the like, which is the same as the protective layer 61 described above, is provided on the liquid stop layer 97. Each layer 91, 97 has a vaporization opening 91a, 97a.
Are formed.
【0099】上記のように構成された染料気化部77は、
図1及び図2では1ドット分示したが、ヘッド70におい
て実際には、図56〜図61に示したと同様に、フルカラー
用として各色(イエローY、マゼンタM、シアンC)毎
に複数ドットが配置される。従ってこの場合、図4に示
すように、図1及び図2の構造がライン状に配設され
る。これらの各気化部には、各収納槽から染料供給路84
を経て各色の液化染料が供給される。The dye vaporizer 77 having the above-described structure is
Although one dot is shown in FIGS. 1 and 2, in the head 70, a plurality of dots are actually provided for each color (yellow Y, magenta M, cyan C) for full color as in FIGS. 56 to 61. Will be placed. Therefore, in this case, as shown in FIG. 4, the structures of FIGS. 1 and 2 are arranged in a line. Each of these vaporizers has a dye supply path 84 from each storage tank.
The liquefied dye of each color is supplied via the.
【0100】そして、印画紙50をカラー印画する際に、
画像信号に応じて発熱体75により熱が発生する。この気
化熱により、各気化部の染料が気化し、保護層91の穴91
aを通り、印画紙50の受容層50aにY、M、Cの順で転
写される。When color printing the photographic printing paper 50,
Heat is generated by the heating element 75 according to the image signal. Due to this heat of vaporization, the dye in each vaporization portion is vaporized and the holes 91 of the protective layer 91 are
It is transferred to the receiving layer 50a of the photographic printing paper 50 in the order of Y, M, and C through the sheet a.
【0101】本実施例によるプリンタヘッド70は、図56
に示したヘッド60と同様、染料22を加熱して間隙を通し
て印画紙50へ飛翔させる熱転写方式のものであるから、
既述した小型化、保守容易性、即時性、画像の高品位
化、高階調性等の特長を有している。染料の液化、保温
用のヒータ(図56でのヒータ68)等については図示省略
したが、図56で述べたと同様に採用されてよい。The printer head 70 according to this embodiment is shown in FIG.
Similar to the head 60 shown in (4), it is of a thermal transfer system that heats the dye 22 to fly to the printing paper 50 through the gap,
It has the features of miniaturization, ease of maintenance, immediacy, high-quality images, and high gradation described above. Although the illustration of the heater for liquefying the dye and the heat retention (heater 68 in FIG. 56) and the like is omitted, it may be adopted in the same manner as described in FIG.
【0102】なお、小柱体80や各層73、82、102 は、ガ
ラスで形成したが、他の材質でも形成可能である。例え
ば、ポリイミド等の高分子材、セラミックス系、シリコ
ン系、金属系等又はこれらの組み合わせで形成すること
もできる。高分子材を使用できるのは、プリンタヘッド
70を印画紙50に対して押し付けない構造としているた
め、大きな圧力を受けないことに依るものであり、ま
た、発熱体75の作動時に熱放散も少なく、熱的絶縁性が
良好となる。Although the pillars 80 and the layers 73, 82 and 102 are made of glass, they can be made of other materials. For example, a polymer material such as polyimide, a ceramic material, a silicon material, a metal material, or a combination thereof can be used. Polymer materials can be used in printer heads
Since the structure is such that 70 is not pressed against the photographic printing paper 50, it is because a large pressure is not applied, and the heat dissipation is small when the heat generating element 75 is activated, and the thermal insulation is good.
【0103】次に、本実施例によるヘッド70の製造方法
の一例を図5〜図19について説明する。Next, an example of a method of manufacturing the head 70 according to this embodiment will be described with reference to FIGS.
【0104】まず、図5のように、石英ガラス板からな
るスペーサ材82上にCVD(化学的気相成長法)等によ
ってポリシリコン(P−Si)103を厚さ1μm程度に成
膜する。First, as shown in FIG. 5, polysilicon (P-Si) 103 is deposited to a thickness of about 1 μm on a spacer material 82 made of a quartz glass plate by CVD (chemical vapor deposition) or the like.
【0105】次いで、図6のように、ポリシリコン層10
3 をフォトリソグラフィでパターニングして発熱体75を
スペーサ材82上に形成し、更にアルミニウムを真空蒸着
法等によって全面に被着し、これをフォトリソグラフィ
でパターニングして発熱体75の一対のアルミニウム電極
94及び95を形成する(図16参照)。そして更に、全面に
絶縁用にSiO2 膜127 を1μm程度の厚みにスパッタ
する(但し、このSiO2 膜127 は、以下の図では省略
することがある)。Then, as shown in FIG. 6, the polysilicon layer 10 is formed.
3 is patterned by photolithography to form a heating element 75 on the spacer material 82, aluminum is further deposited on the entire surface by a vacuum deposition method or the like, and this is patterned by photolithography to form a pair of aluminum electrodes of the heating element 75.
94 and 95 are formed (see Figure 16). Further, a SiO 2 film 127 for insulation is sputtered on the entire surface to a thickness of about 1 μm (however, this SiO 2 film 127 may be omitted in the following figures).
【0106】次いで、図7のように、発熱体部及び配線
部の選択エッチング用のメタルマスク128 を所定パター
ンに形成する。これは、クロム等を全面にスパッタ等で
成膜し、フォトリソグラフィで加工することによって形
成できる。Then, as shown in FIG. 7, a metal mask 128 for selective etching of the heating element portion and the wiring portion is formed in a predetermined pattern. This can be formed by forming a film of chromium or the like on the entire surface by sputtering or the like and processing it by photolithography.
【0107】次いで、図8及び図17のように、マスク12
8 によってSiO2 膜127 をエッチングすると共に発熱
体75を幅細に加工し、かつ、スペーサ82の表面域もエッ
チングする。これによって、図2に示した突出部分82B
を形成する。Then, as shown in FIGS. 8 and 17, the mask 12
The SiO 2 film 127 is etched by 8 and the heating element 75 is thinly processed, and the surface area of the spacer 82 is also etched. As a result, the protruding portion 82B shown in FIG.
To form.
【0108】次いで、図9及び図18のように、全面にス
パッタ法等によってSiO2 層73を厚さ1〜15μmに成
膜する。Next, as shown in FIGS. 9 and 18, a SiO 2 layer 73 having a thickness of 1 to 15 μm is formed on the entire surface by a sputtering method or the like.
【0109】次いで、図10のように、SiO2 層73上に
真空蒸着法又はスパッタ法等によってクロム等の金属薄
膜104 を全面に被着し、これを所定パターンのフォトレ
ジストをマスクとしてパターニングし、染料収容部とな
るパターン87’と小柱体となるパターン80’とをそれぞ
れ形成する。このパターニング法に代えて、まずフォト
レジストを所定パターンに形成し、この上に金属薄膜10
4 を被着し、リフトオフによって金属薄膜104 を図10の
形状にパターニングしてもよい。Next, as shown in FIG. 10, a metal thin film 104 of chromium or the like is deposited on the entire surface of the SiO 2 layer 73 by a vacuum deposition method or a sputtering method, and this is patterned using a photoresist of a predetermined pattern as a mask. A pattern 87 'serving as a dye containing portion and a pattern 80' serving as a pillar are formed respectively. Instead of this patterning method, first, a photoresist is formed in a predetermined pattern, and then the metal thin film 10 is formed thereon.
4 may be deposited and the metal thin film 104 may be patterned into the shape of FIG. 10 by lift-off.
【0110】次いで、図11のように、パウダービームエ
ッチング(PBE)によってスペーサ材82を裏面から加
工し、染料供給通路84を面方向に形成する。この場合、
スペーサ材82が厚いときには、裏面を研磨して厚みを調
整してから通路84を加工してよい。Next, as shown in FIG. 11, the spacer material 82 is processed from the back surface by powder beam etching (PBE) to form the dye supply passage 84 in the surface direction. in this case,
When the spacer material 82 is thick, the passage 84 may be processed after polishing the back surface to adjust the thickness.
【0111】次いで、図12のように、パウダービームエ
ッチング(PBE)によって染料収容部パターン87’の
位置に染料供給通路84に通じる染料導入穴84’をSiO
2 層73の厚みを貫通して形成する。Then, as shown in FIG. 12, a dye introduction hole 84 'communicating with the dye supply passage 84 is formed at the position of the dye containing portion pattern 87' by SiO 2 by powder beam etching (PBE).
It is formed so as to penetrate the thickness of the two layers 73.
【0112】次いで、図13のように、対の突条185 、18
5 、同285 、285 を設けて溝184 、284 を形成する。突
条185 、185 、285 、285 の形成は、CVD等でSiO
2 の膜180(仮想線で示す)を成膜し、これをパターニン
グすることによってなされる。Then, as shown in FIG. 13, a pair of ridges 185, 18
5, 285, 285 are provided to form the grooves 184, 284. The protrusions 185, 185, 285, 285 are formed by CVD or the like.
This is done by depositing a second film 180 (shown in phantom) and patterning it.
【0113】次いで、マスクメタル128 をエッチングで
除去し、図19に示すように、その上のSiO2 層73の一
部分をリフトオフする。このマスクメタルの除去は必ず
しも行う必要はない。Next, the mask metal 128 is removed by etching, and a part of the SiO 2 layer 73 thereon is lifted off, as shown in FIG. It is not always necessary to remove this mask metal.
【0114】次いで、図14及び図20のように、金属薄膜
104 をマスクとしてリアクティブイオンエッチング(R
IE)を行い、SiO2 層73に染料収容部87と小柱体80
の群とをそれぞれ形成する。この際、小柱体80の群を発
熱体75の両側に発熱体75とは分離させる。また、染料導
入口84’は、染料供給通路84を染料収容部87に開口させ
るようになる。Then, as shown in FIGS. 14 and 20, a metal thin film is formed.
Reactive ion etching (R
IE), and the SiO 2 layer 73 is provided with a dye containing portion 87 and a pillar 80.
And a group of. At this time, the group of small pillars 80 is separated from the heating element 75 on both sides of the heating element 75. Further, the dye introducing port 84 ′ opens the dye supply passage 84 to the dye containing portion 87.
【0115】次いで、図15のように、スペーサ材82の裏
面に石英板からなる底板102 を融着によって固定する。
この固定は、低融点ガラスや接着剤等で行うこともでき
る。この後は、上面に必要な層を形成し、図1のヘッド
を完成する。Then, as shown in FIG. 15, a bottom plate 102 made of a quartz plate is fixed to the back surface of the spacer material 82 by fusion bonding.
This fixing can also be performed by using a low melting point glass or an adhesive. After that, necessary layers are formed on the upper surface to complete the head of FIG.
【0116】以上のように、スペーサ82の上面に設けた
SiO2 層73に対し小柱体80を微細加工し、スペーサ82
の裏面に溝加工して通路84を形成し、更に、微細加工で
厚み方向に穴84’を加工して通路84と連結した構造とす
る加工工程を行うことにより、安定かつ低コストに加工
を行え、また、位置合わせや強度が向上し、精度が良
く、信頼性の高い気化部構造が得られる。また、発熱体
75と小柱体80との段差部分110 は、図8での選択エッチ
ング量と図9のスパッタ量で決めることができる。As described above, the small pillar body 80 is finely processed on the SiO 2 layer 73 provided on the upper surface of the spacer 82, and the spacer 82
A groove is formed on the back surface of the to form a passage 84, and a hole 84 'is formed by fine processing in the thickness direction to form a structure in which it is connected to the passage 84, thereby performing stable and low-cost processing. Further, it is possible to obtain a vaporization part structure which can be performed and is improved in alignment and strength, is highly accurate, and is highly reliable. Also heating element
The step portion 110 between 75 and the small column 80 can be determined by the selective etching amount in FIG. 8 and the sputtering amount in FIG.
【0117】この例では、図13の工程で突条185 、285
を設けているが、染料供給路84を設けた後に突条を設け
ても良い。即ち、図11の工程の次に、図21に示すよう
に、CVD等によってSiO2 の膜180(仮想線で示す)
を成膜し、これをパターニングして突条185 、285 を形
成することができる。In this example, in the process of FIG.
However, the protrusion may be provided after the dye supply path 84 is provided. That is, after the step of FIG. 11, as shown in FIG. 21, a SiO 2 film 180 (shown by a virtual line) is formed by CVD or the like.
The ridges 185 and 285 can be formed by forming a film on the substrate.
【0118】また、図22及び図22の XXIII−XXIII 線断
面図である図23に示すように、各突条185 、285 に、染
料供給路84の底壁面84aから染料導入口84’の内周面に
延設突条385 を延設すると、延設突条385 間に幅狭の溝
384 が形成されて毛細管作用による染料の引込み効果が
更に促進され、気化部77への染料の供給が一層迅速にな
って本例による効果が一層顕著になる。なお、突条とし
て、染料導入口84’内の突条385 のみを設けても、前述
したと同様の作用によって染料供給が促進される。Also, as shown in FIG. 23 and FIG. 23 which is a sectional view taken along the line XXIII-XXIII in FIGS. 22 and 22, each protrusion 185, 285 has a portion from the bottom wall surface 84a of the dye supply passage 84 to the inside of the dye introduction port 84 '. When the extension ridges 385 are extended on the peripheral surface, narrow grooves are formed between the extension ridges 385.
By forming 384, the effect of drawing the dye by the capillary action is further promoted, the supply of the dye to the vaporizing section 77 is further speeded up, and the effect of this example becomes more remarkable. Even if only the protrusion 385 in the dye inlet 84 'is provided as the protrusion, the dye supply is promoted by the same action as described above.
【0119】<第二の実施例>この例では、前記の第一
の実施例における染料供給路の側壁面の突条を省略して
いる。図24は、この例における図3と同様のスペーサの
拡大部分斜視図である。この例のように、染料供給路底
面の対の突条185 による溝184 だけでも、染料導入口8
4’への染料の引込みの効果が奏せられる。この例にあ
っても、図22、図23の例におけると同様に、染料導入口
84’の内周面に延設突条385(仮想線で示す)を延設して
良いことは言う迄もない。<Second Embodiment> In this embodiment, the protrusion on the side wall surface of the dye supply passage in the first embodiment is omitted. FIG. 24 is an enlarged partial perspective view of a spacer similar to FIG. 3 in this example. As shown in this example, only the groove 184 formed by the pair of ridges 185 on the bottom surface of the dye supply path is used.
The effect of drawing the dye into the 4'is exhibited. Even in this example, as in the example of FIGS. 22 and 23, the dye inlet
It goes without saying that an extension ridge 385 (shown in phantom) may be provided on the inner peripheral surface of 84 '.
【0120】<第三の実施例>この例では、図25に示す
ように、対の突条を設けず、染料供給路84の底壁面84
a、側壁面84b、84cに夫々溝84d、84eを凹状に設け
ている。この例にあっても、前記第一の実施例における
と同様の効果が奏せられる。この例にあっては、前記第
一の実施例に較べて、CVD等による成膜の工程が不要
になり、溝の形成が簡単になる。この例にあっても、前
記の各実施例におけると同様に、染料導入口84’の内周
面に溝84d、84eを延設(仮想線で示す)して良い。<Third Embodiment> In this example, as shown in FIG. 25, a pair of protrusions is not provided, and the bottom wall surface 84 of the dye supply path 84 is not provided.
Grooves 84d and 84e are provided in a concave shape on a and the side wall surfaces 84b and 84c, respectively. Even in this example, the same effect as in the first embodiment can be obtained. In this example, as compared with the first embodiment, the step of forming a film by CVD or the like is unnecessary, and the formation of the groove is simplified. In this example as well, similar to the above-described respective examples, the grooves 84d and 84e may be extended (indicated by imaginary lines) on the inner peripheral surface of the dye introducing port 84 '.
【0121】<第四の実施例>この例では、前記第一、
第三の実施例における溝の形成に替えて、図26に示すよ
うに、染料の濡れ性の良好な材料からなる層484 を設け
ている。層484 の材料としては、例えば素焼きのセラミ
ックが好適である。この例では、染料の濡れ性を見掛け
上向上させるのではなく、実際に濡れ性を改善して前記
の各実施例におけると同様の効果を奏せしめている。こ
の例にあっても、染料導入口84’の内周面にも上記の層
484 を設けて良いことは言う迄もない。<Fourth Embodiment> In this example, the first,
Instead of forming the grooves in the third embodiment, as shown in FIG. 26, a layer 484 made of a material having a good dye wettability is provided. A suitable material for layer 484 is, for example, unglazed ceramic. In this example, the wettability of the dye is not apparently improved, but the wettability is actually improved and the same effect as in each of the above-described examples is exhibited. Even in this example, the above-mentioned layer is also formed on the inner peripheral surface of the dye inlet port 84 '.
It goes without saying that 484 may be provided.
【0122】この例における効果を一層顕著ならしめる
ため、図27に示すように、染料供給路底壁面84aの染料
導入口84’の周囲にも上記の層484 を設けることができ
る。In order to make the effect of this example more remarkable, as shown in FIG. 27, the layer 484 can be provided around the dye introducing port 84 'of the bottom wall surface 84a of the dye supplying passage.
【0123】なお、図26、図27の例において、前記の層
484 に替えてこの部分をエッチングにより粗面485 とし
て同様の効果が奏せられる。In the examples of FIGS. 26 and 27, the layers described above are used.
Instead of 484, this portion is etched to obtain a rough surface 485, and the same effect can be obtained.
【0124】<第五の実施例>この例では、図28に示す
ように、発熱体75をスペーサ82の表面に直接形成してい
る。その他の例は、前記第一の実施例におけると同様で
ある。この例にあっては、発熱体75からのスペーサ82へ
の熱エネルギーの放出が前記第一の実施例におけるそれ
よりも大きいが、記録装置の製造工程が簡単になる。何
故なら、スペーサに発熱体形成用の突出部(図1の82
B)を形成する工程が不要になるからである。<Fifth Embodiment> In this example, as shown in FIG. 28, the heating element 75 is formed directly on the surface of the spacer 82. Other examples are the same as those in the first embodiment. In this example, the heat energy emitted from the heating element 75 to the spacer 82 is larger than that in the first embodiment, but the manufacturing process of the recording apparatus is simplified. This is because the spacer has a protruding portion for forming a heating element (82 in FIG. 1).
This is because the step of forming B) becomes unnecessary.
【0125】<第六の実施例>図29に示すように、図1
の例と比べて、発熱体75が蛇行状パターンに形成され、
このパターン間及び周囲に小柱体80が設けられている点
が異なり、他の部分は同様に構成されている。<Sixth Embodiment> As shown in FIG. 29, as shown in FIG.
Compared to the example of, the heating element 75 is formed in a meandering pattern,
The difference is that the pillars 80 are provided between and around the patterns, and the other portions are similarly configured.
【0126】従って、この例にあっても、発熱体75と小
柱体80とは互いに分離して設けられるために、上記した
第三の実施例と同様の作用効果が得られると共に、発熱
体75が蛇行状であることから染料に対する加熱領域を拡
げ、均一な加熱を行うことができる。Therefore, in this example as well, since the heating element 75 and the pillars 80 are provided separately from each other, the same operational effects as those of the third embodiment can be obtained and the heating element can be obtained. Since 75 is meandering, the heating area for the dye can be expanded and uniform heating can be performed.
【0127】<第七の実施例>この例では、図1と同様
の底面図である図30及び図30のXXXI−XXXI線断面図であ
る図31に示すように、図1及び図2並びに図28に示した
例と比べて、染料収容部87において小柱体80の上方に、
気化穴75aを有する発熱体75をブリッジ状に設けている
ことが異なり、他は同様に構成されている。<Seventh Embodiment> In this example, as shown in FIG. 30 which is a bottom view similar to FIG. 1 and FIG. 31 which is a sectional view taken along the line XXXI-XXXI of FIG. Compared to the example shown in FIG. 28, above the trabecular body 80 in the dye containing portion 87,
A heating element 75 having a vaporization hole 75a is provided in the shape of a bridge, except that the heating element 75 has the same structure.
【0128】即ち、発熱体75は小柱体80の上面に、電極
94及び95は絶縁板73の上面に形成されているので、発熱
体75の下部に(これより深い位置に)多孔性構造として
の小柱体80が設けられることになる。従って、この発熱
体75は、収容部87内の液化染料22の表面域において液化
染料22の表面に接するか或いはこの表面下に少なくとも
部分的に浸漬されるが、後者の状態の方が気化及び供給
効率の面で望ましいと言える。That is, the heating element 75 is provided on the upper surface of the columnar body 80 with the electrodes.
Since 94 and 95 are formed on the upper surface of the insulating plate 73, the columnar body 80 as a porous structure is provided below the heating element 75 (at a position deeper than this). Therefore, the heating element 75 is in contact with the surface of the liquefied dye 22 in the surface area of the liquefied dye 22 in the housing portion 87, or at least partially immersed below this surface, but the latter state is vaporized and It can be said that it is desirable in terms of supply efficiency.
【0129】この場合、発熱体75には、小柱体80の間隙
92が存在しない領域に多数の気化穴75aが形成されてお
り、小柱体80の空隙92の毛細管作用に加えて気化穴75a
の毛細管作用も発揮されるため、染料の保持と供給、更
には加熱・気化を効果的に行うことができる。In this case, the heating element 75 has a space between the pillars 80.
A large number of vaporization holes 75a are formed in the area where 92 does not exist, and in addition to the capillary action of the voids 92 of the trabecular body 80, the vaporization holes 75a are formed.
Since the capillary action of is also exhibited, the dye can be effectively retained and supplied, and further heated and vaporized.
【0130】<第八の実施例>この例は、レーザ光照射
による加熱方式のプリンタに関するものであって、図32
及び図33に示すように、図1及び図2に示した例と比べ
て、染料収容部87をスペーサ82に直接設けていること、
及び発熱体を配設せずにレーザ18によるレーザ光Lで加
熱を行うことにおいて異なり、他は同様に構成されてい
る。<Eighth Embodiment> This embodiment relates to a printer of the heating type by laser light irradiation.
33, and as shown in FIG. 33, as compared with the example shown in FIG. 1 and FIG.
The second embodiment is different in that heating is performed by the laser light L from the laser 18 without disposing a heating element, and the other configurations are the same.
【0131】即ち、スペーサ82には、染料供給通路84及
び導入口84’を設けると共に、その上面に染料収容部87
及び小柱体80を形成している。この構造もやはり、スペ
ーサ82自体は肉厚化され、機械的強度が大きくなってい
る。That is, the spacer 82 is provided with the dye supply passage 84 and the inlet 84 ', and the dye containing portion 87 is provided on the upper surface thereof.
And the pillars 80 are formed. In this structure as well, the spacers 82 themselves are thickened, and the mechanical strength is increased.
【0132】従って、染料収容部87や小柱体80、更には
染料通路84等を加工するときの機械的強度が十分とな
り、割れや破壊を生じることなく、取扱い性、加工性及
び信頼性、更には歩留り及びコストパフォーマンスを向
上させることができる。Therefore, the mechanical strength when processing the dye containing portion 87, the columnar body 80, the dye passage 84, etc. is sufficient, and the handling, the workability and the reliability are ensured without causing cracking or breakage. Furthermore, the yield and cost performance can be improved.
【0133】また、小柱体80及び染料収容部87をスペー
サ82のパターニングによって形成できるから、パターニ
ング時の位置合わせのみでよいために小柱体80及び染料
収容部87、更には導入口84’の位置合わせを容易かつ高
精度に行え、記録特性を改善することができる。Further, since the columnar body 80 and the dye accommodating portion 87 can be formed by patterning the spacer 82, only the alignment at the time of patterning is required. Therefore, the columnar body 80 and the dye accommodating portion 87, and further the inlet port 84 '. Can be easily and highly accurately aligned, and the recording characteristics can be improved.
【0134】そして、スペーサ82は更に、石英ガラス板
からなる底板102 に接合、固定されているので、この底
板102 が補強材として作用し、ヘッドの機械的強度が一
層十分となっている。Further, since the spacer 82 is further joined and fixed to the bottom plate 102 made of a quartz glass plate, this bottom plate 102 acts as a reinforcing material, and the mechanical strength of the head becomes further sufficient.
【0135】<第九の実施例>この実施例では、前記の
各実施例とは異なり、先に図56〜図59で説明した気化部
構造と類似の気化部構造としている。即ち、図34〜図36
に示すように、気化部の一部になる四角柱状の複数の穴
62a内に、気化構造体101 を断熱材66と共に取り付けて
いる。<Ninth Embodiment> In this embodiment, unlike each of the above-described embodiments, a vaporizing section structure similar to the vaporizing section structure described above with reference to FIGS. 56 to 59 is used. That is, FIGS.
As shown in, a plurality of square pillar-shaped holes that will be part of the vaporization part
The vaporization structure 101 is attached to the inside of 62a together with the heat insulating material 66.
【0136】各染料供給路64の底壁面には、対の突条18
5 を設け、その染料導入路64aに最も近い箇所に開口 1
85aを設けている。対の突条185 、185 間に形成された
溝184 の毛細管作用により、染料が染料導入路64aを経
由して穴62aに引き込まれ、これに伴って染料供給路64
中の溝外の染料が穴62aに供給される。この例にあって
も、開口 185aから突条185 を、仮想線で示すように染
料導入路64a内に延設して良い。On the bottom wall surface of each dye supply passage 64, a pair of protrusions 18
5 is provided, and an opening is provided at a position closest to the dye introduction path 64a 1
85a is provided. Due to the capillary action of the groove 184 formed between the pair of ridges 185, 185, the dye is drawn into the hole 62a via the dye introduction path 64a, and along with this, the dye supply path 64
The dye outside the inner groove is supplied to the hole 62a. Also in this example, the protrusion 185 may be extended from the opening 185a into the dye introducing passage 64a as shown by an imaginary line.
【0137】この例によるプリンタヘッド70は、図36に
示すように、図57に示した例と比べると、気化部17にお
いて断熱材66及び発熱体75(更には小柱体80の群)から
なる気化構造物101 が形成されている点では同様である
が、基本的に異なることは、小柱体80の群が発熱体75と
は分離して設けられていることである。As shown in FIG. 36, the printer head 70 according to this example is different from the example shown in FIG. 57 in that the heat insulating material 66 and the heating element 75 (and the group of the small pillars 80) in the vaporizing part 17 are removed. The vaporization structure 101 is similar to the above, but the fundamental difference is that the group of small pillars 80 is provided separately from the heating element 75.
【0138】即ち、発熱体75は、断熱材ブロック66の上
面66Aにおいて一方端から他方端にかけて局部的に矩形
状に設けられていると共に、小柱体80の群は発熱体75の
両側において発熱体75とは分離されて設けられている。That is, the heating element 75 is locally provided in a rectangular shape from one end to the other end on the upper surface 66A of the heat insulating material block 66, and the group of small pillars 80 generates heat on both sides of the heating element 75. It is provided separately from the body 75.
【0139】このように構成することによって、上記し
た第一の実施例と同様に、発熱体75の熱は小柱体80を介
して逃げることはなく、効率よく加熱に用いることがで
き、小柱体80の群の毛細管作用による染料の保持及び供
給効率と発熱体75上の段差部分110 での染料の保持効果
によって染料を十二分に気化させ、供給することができ
る。With this structure, as in the first embodiment described above, the heat of the heating element 75 does not escape through the small pillars 80 and can be efficiently used for heating. The dye can be sufficiently vaporized and supplied by the holding and supplying efficiency of the dye by the capillary action of the group of columns 80 and the dye holding effect at the step portion 110 on the heating element 75.
【0140】しかも、発熱体75の熱は小柱体80へ直接伝
わることはないから、小柱体80が熱的ストレスにより破
損することもない。Moreover, since the heat of the heating element 75 is not directly transmitted to the small pillars 80, the small pillars 80 are not damaged by thermal stress.
【0141】なお、小柱体80及び発熱体75のサイズ、間
隔、厚み等は、上記した第一の実施例で述べたものと同
じであってよい。また、この実施例のヘッド70において
は、発熱体75の電極94A、95Aは断熱材66の側面上から
その周辺域へ延び、またそれらの電極94A、95A上には
配線メタル94B、95Bが設けられている。The sizes, intervals, thicknesses, etc. of the small columns 80 and the heating elements 75 may be the same as those described in the first embodiment. Further, in the head 70 of this embodiment, the electrodes 94A and 95A of the heating element 75 extend from the side surface of the heat insulating material 66 to the peripheral region thereof, and the wiring metals 94B and 95B are provided on the electrodes 94A and 95A. Has been.
【0142】また、断熱材ブロック66は接着剤111 によ
って、染料液化用ヒータ68を設けたベース63に固定され
ている。染料収容部17を形成したスペーサ62は接着剤11
2 によってベース63上に固定されるが、染料収容部17内
に気化構造物101 が位置するようにしておく。なお、ス
ペーサ62上には、液止め層67及び保護層61を設けている
点は、図57で述べたと同様である。The heat insulating material block 66 is fixed to the base 63 provided with the dye liquefying heater 68 by the adhesive 111. The spacer 62 on which the dye containing portion 17 is formed is the adhesive 11
It is fixed on the base 63 by means of 2, but the vaporization structure 101 is placed in the dye containing portion 17. Note that the liquid stop layer 67 and the protective layer 61 are provided on the spacer 62, as in the case described with reference to FIG.
【0143】なお、小柱体80や各層62、63は、ガラスで
形成したが、他の材質でも形成可能である。例えば、ポ
リイミド等の高分子材、セラミックス系、シリコン系、
金属系等又はこれらの組み合わせで形成することもでき
る。高分子材を使用できるのは、プリンタヘッド70を印
画紙50に対して押し付けない構造としているため、大き
な圧力を受けないことに依るものであり、また、発熱体
75の作動時に熱放散も少なく、熱的絶縁性が良好とな
る。Although the small pillar 80 and the layers 62 and 63 are made of glass, they can be made of other materials. For example, polymer materials such as polyimide, ceramics, silicon,
It can also be formed of a metal-based material or a combination thereof. The reason why the polymer material can be used is that the printer head 70 is not pressed against the photographic printing paper 50, so that it does not receive a large pressure.
The heat dissipation is small at the time of operation of 75, and the thermal insulation is good.
【0144】また、この例によるプリンタヘッド70によ
れば、気化構造部101 において発熱体75が、下地材とし
ての断熱材ブロック66の表面66Aを部分的に突出させて
なる幅細の突出部66Bの上面66Cに設けられているこ
と、従って、小柱体80と断熱材表面66Aとの中間高さレ
ベルに設けられている。突出部分66Bは断熱材66と一体
のものであり、その上面66Cと同じ高さレベルにおいて
発熱体75の一対の電極94、95が設けられている。Further, according to the printer head 70 of this example, the heating element 75 in the vaporization structure portion 101 partially projects the surface 66A of the heat insulating material block 66 as the base material, and the narrow protruding portion 66B. Is provided on the upper surface 66C, and is therefore provided at an intermediate height level between the columnar body 80 and the heat insulating material surface 66A. The protruding portion 66B is integral with the heat insulating material 66, and the pair of electrodes 94 and 95 of the heating element 75 are provided at the same level as the upper surface 66C thereof.
【0145】このように、発熱体75が断熱材66の突出部
分66B上に設けられることによって、発熱体から発生す
る熱は幅細の突出部分66Bを介してしか伝達されないの
で、その熱が断熱材66側へ伝達される面積が小さくなっ
ている。As described above, since the heating element 75 is provided on the protruding portion 66B of the heat insulating material 66, the heat generated from the heating element is transferred only through the narrow protruding portion 66B, so that the heat is insulated. The area transmitted to the material 66 side is small.
【0146】この結果、発熱体75が小柱体80とは分離さ
れて設けられていることによる上述した作用効果(即
ち、小柱体80を通しての放熱がなく、また、小柱体80の
熱的ストレスを抑制すること、及び小柱体80の加工容易
性、その量の削減)が得られるのは勿論であるが、これ
に加えて、上記した突出部分66Bによる伝熱の抑制で、
発熱体75による加熱効率を更に向上させることができ
る。As a result, the above-described function and effect due to the heating element 75 being provided separately from the small pillar body 80 (that is, there is no heat radiation through the small pillar body 80, and the heat of the small pillar body 80 is not generated). Of course, the mechanical stress of the small pillars 80 can be easily processed, and the amount thereof can be reduced. However, in addition to this, by suppressing the heat transfer by the above-mentioned protruding portion 66B,
The heating efficiency by the heating element 75 can be further improved.
【0147】しかも、発熱体75は突出部分66Bの上面66
Cに設けられ、染料22の液面の近くに存在しているた
め、発熱体75の熱は染料気化を直接左右する液面領域を
効率的に加熱することにより、染料22の気化効率を一層
向上させることができる。即ち、発熱体75の表面(熱を
発生する面)を十二分に活用することが可能となる。Moreover, the heating element 75 is provided on the upper surface 66 of the protruding portion 66B.
Since it is provided in C and is present near the liquid surface of the dye 22, the heat of the heating element 75 efficiently heats the liquid surface region that directly influences the vaporization of the dye, thereby further increasing the vaporization efficiency of the dye 22. Can be improved. That is, it becomes possible to fully utilize the surface of the heating element 75 (the surface that generates heat).
【0148】また、上記突出部分66B上には小柱体80と
の間に段差部分110 が存在しているので、ここに染料22
を効果的に保持、供給でき、かつ、段差部分110 へは一
方向からでも染料を供給できるので、その導入路64aも
1つですみ、またその位置もあまり制約されない。Further, since there is a step portion 110 between the projecting portion 66B and the trabecular body 80, the dye 22 is provided here.
Since the dye can be effectively held and supplied, and the dye can be supplied to the step portion 110 from one direction, only one introduction path 64a is required and its position is not so restricted.
【0149】その他、小柱体80の群による毛細管作用に
よる作用効果も、上記した各実施例と同様に得られる。In addition, the action and effect due to the capillary action of the group of the rods 80 can be obtained in the same manner as in the above-mentioned embodiments.
【0150】この例において、上記の発熱体75の幅(突
出部分66Bの幅)w及びその高さhは種々に選択してよ
いが、上記した加熱効率の点で(2/3)h≧w≧(1
/3)hなる関係を満たしているのがよい。例えば、h
=6μm、w=3μmであってよい。なお、小柱体80の
高さは20μm以下、径は10μm以下、間隙92は20μm以
下としてよい。In this example, the width (width of the projecting portion 66B) w of the heating element 75 and its height h may be variously selected, but in view of the above heating efficiency, (2/3) h ≧ w ≧ (1
/ 3) It is preferable that the relationship h is satisfied. For example, h
= 6 μm and w = 3 μm. The height of the pillars 80 may be 20 μm or less, the diameter may be 10 μm or less, and the gap 92 may be 20 μm or less.
【0151】次に、この例によるヘッド70の製造方法の
一例を図37〜図49について説明する。Next, an example of a method of manufacturing the head 70 according to this example will be described with reference to FIGS.
【0152】まず、図37のように、石英ガラス板66上に
真空蒸着法等によって発熱体となるポリシリコン(P−
Si)75を厚さ1μm程度に成膜する。First, as shown in FIG. 37, a polysilicon (P-
Si) 75 is deposited to a thickness of about 1 μm.
【0153】次いで、図38のように、ポリシリコン層10
3 及び石英ガラス板66をパウダービームエッチングでパ
ターニングし、断熱部としての断熱材66とこの上の発熱
体75とを所定パターンに加工する。Next, as shown in FIG. 38, the polysilicon layer 10
3 and the quartz glass plate 66 are patterned by powder beam etching, and the heat insulating material 66 as a heat insulating portion and the heating element 75 thereon are processed into a predetermined pattern.
【0154】次いで、図39のように、断熱材66の周辺部
に、上記の染料収容部17に対応した凹部113 を有するパ
ターンにフォトレジスト114 を形成した後、アルミニウ
ム115 を真空蒸着法等によって全面に斜め蒸着する。Next, as shown in FIG. 39, a photoresist 114 is formed on the peripheral portion of the heat insulating material 66 in a pattern having a recess 113 corresponding to the dye accommodating portion 17, and then aluminum 115 is deposited by vacuum deposition or the like. Diagonal vapor deposition on the entire surface.
【0155】次いで、図40のように、凹部113 にフォト
レジスト116 を充填して表面を平坦とする。Next, as shown in FIG. 40, the recesses 113 are filled with a photoresist 116 to flatten the surface.
【0156】次いで、図41のように、断熱材66及び発熱
体75を含む表面上にフォトレジスト117 を所定パターン
に形成し、これをマスクにしてパウダービームエッチン
グを行い、アルミニウム層115 のうち余分な部分をフォ
トレジスト116 及び114 の一部と共に除去する。Next, as shown in FIG. 41, a photoresist 117 is formed in a predetermined pattern on the surface including the heat insulating material 66 and the heat generating element 75, and powder beam etching is performed using this as a mask to remove the excess of the aluminum layer 115. That portion is removed along with portions of photoresist 116 and 114.
【0157】次いで、図42のように、レジスト117 、11
6 、114 をすべて除去した後、図43のように、フォトレ
ジスト118 を所定パターンに形成し、これをマスクにア
ルミニウム層115 をエッチングして整形する。Then, as shown in FIG. 42, the resists 117 and 11 are formed.
After removing all 6 and 114, a photoresist 118 is formed in a predetermined pattern as shown in FIG. 43, and the aluminum layer 115 is etched and shaped using this as a mask.
【0158】次いで、図44のように、レジスト118 を除
去し、別のフォトレジスト119 を所定パターンに形成し
た後、全面に配線用のアルミニウム120 をスパッタリン
グによって被着させる。これによって、アルミニウム層
115 上には配線としてのアルミニウム層94B、95Bを形
成する。Next, as shown in FIG. 44, the resist 118 is removed, another photoresist 119 is formed in a predetermined pattern, and then aluminum 120 for wiring is deposited on the entire surface by sputtering. This allows the aluminum layer
Aluminum layers 94B and 95B as wiring are formed on 115.
【0159】次いで、リフトオフによってフォトレジス
ト119 と共にその上のアルミニウム層120 を除去した
後、図45のように、断熱材66上に開口部121 を有するよ
うにフォトレジスト122 を所定パターンに形成し、これ
をマスクにしてアルミニウム層120 及び115 を選択的に
エッチングし、両側にアルミニウム電極94A及び95Aを
分離し、これらの間に発熱体75を露出させる。Then, after removing the photoresist 119 and the aluminum layer 120 thereon by lift-off, a photoresist 122 is formed in a predetermined pattern on the heat insulating material 66 so as to have an opening 121, as shown in FIG. Using this as a mask, the aluminum layers 120 and 115 are selectively etched, the aluminum electrodes 94A and 95A are separated on both sides, and the heating element 75 is exposed between them.
【0160】次いで、図46のように、メタルマスク123
を用いて発熱体75を選択的にエッチングすると共に、そ
の下地の断熱材66の表面もエッチングし、突出部分66B
を形成する。Next, as shown in FIG. 46, the metal mask 123
The heating element 75 is selectively etched by using, and the surface of the heat insulating material 66 underlying the heating element 75 is also etched.
To form.
【0161】次いで、図46のように、フォトレジスト
(ポリビニルアルコール等)124を断熱材66の高さ(実際
にはアルミニウム層120 の高さ)まで充填した後、全面
にスパッタ法等によってSiO2 層125 を厚さ6〜15μ
mに成膜する。Next, as shown in FIG. 46, a photoresist (polyvinyl alcohol, etc.) 124 is filled up to the height of the heat insulating material 66 (actually the height of the aluminum layer 120), and then SiO 2 is deposited on the entire surface by sputtering or the like. Layer 125 with a thickness of 6-15μ
The film is formed on m.
【0162】次いで、図47のように、断熱材66の上方に
おいてSiO2 層125 上に小柱体加工用の微細なメタル
マスク126 を形成する。Next, as shown in FIG. 47, a fine metal mask 126 for processing the pillars is formed on the SiO 2 layer 125 above the heat insulating material 66.
【0163】次いで、SiO2 層125 の余分な部分をエ
ッチングによって除去し、しかる後にレジスト124 を除
去した後、図48のようにマスク126 を用いてSiO2 層
125(いずれも仮想線で示す)をエッチングし、上記し
た小柱体(例えば小円柱体)80を発熱体75の両側に形成
し、気化構造部101 を作製する。[0163] Then, unnecessary portions of the SiO 2 layer 125 is removed by etching, the resist 124 is removed thereafter, the SiO 2 layer by using a mask 126 as shown in FIG. 48
125 (both are shown by imaginary lines) are etched to form the above-mentioned small pillars (for example, small cylinders) 80 on both sides of the heating element 75, and the vaporization structure portion 101 is manufactured.
【0164】次いで、メタルマスク123 を除去した後、
図49のように、気化構造部101 をベース63上に接着剤11
1 等によって固定し、更に、染料収容部17内に気化構造
部101 が位置するように位置合わせしながらスペーサ62
を接着剤112 等によってベース63上に固定する。スペー
サ62には、図34で述べた対の突条185 が予め形成されて
いる。突条185 の形成は、前記の第一の実施例における
と同様に、CVD等によるSiO2 層の形成とそのパタ
ーニングによってなされている。Then, after removing the metal mask 123,
As shown in FIG. 49, attach the vaporization structure 101 to the base 63 with the adhesive 11
1 and the like, and further the spacer 62 while aligning so that the vaporizing structure 101 is located in the dye containing portion 17.
Are fixed on the base 63 with an adhesive 112 or the like. The spacer 62 is preformed with the pair of protrusions 185 described in FIG. The ridges 185 are formed by forming a SiO 2 layer by CVD or the like and patterning the same as in the first embodiment.
【0165】次いで、スペーサ62上に液止め層67及び保
護層61を形成し、図37に示した如きプリンタヘッド70を
完成する。Next, the liquid stop layer 67 and the protective layer 61 are formed on the spacer 62, and the printer head 70 as shown in FIG. 37 is completed.
【0166】このようにして、本実施例によるヘッド70
を再現性良く微細加工によって作製することができる。In this way, the head 70 according to this embodiment is
Can be manufactured by fine processing with good reproducibility.
【0167】なお、この実施例において、図示省略した
が、図28に示したと同様に、発熱体75を断面材ブロック
の表面66Aに直接設けてもよく(突出部66Bを設け
ず)、更に、図29に示したと同様に、発熱体75を蛇行さ
せて設けてもよい。Although not shown in this embodiment, as in the case shown in FIG. 28, the heating element 75 may be directly provided on the surface 66A of the cross-section material block (without the protrusion 66B). As in the case shown in FIG. 29, the heating element 75 may be provided in a meandering manner.
【0168】前記第三の実施例による濡れ性の良好な層
484 や粗面485 は、例えば図3の溝184 、284 、図24の
溝184 、図25の溝84d、84e、図34の溝184 内に設ける
と、毛細管作用と濡れ性改善との相乗効果により、染料
供給促進効果が顕著になる。例えば、上記の各溝の幅が
大きくて毛細管作用が弱くなったとしても、染料供給が
充分に促進され、溝形成の寸法制度が緩やかになって生
産性が向上する。Layer having good wettability according to the third embodiment
When the 484 and the rough surface 485 are provided in, for example, the grooves 184 and 284 of FIG. 3, the grooves 184 of FIG. 24, the grooves 84d and 84e of FIG. 25, and the grooves 184 of FIG. 34, a synergistic effect of the capillary action and the improvement of wettability. Thereby, the effect of promoting the dye supply becomes remarkable. For example, even if the width of each groove is large and the capillary action is weakened, the dye supply is sufficiently promoted, the dimensional accuracy of groove formation is moderated, and the productivity is improved.
【0169】上記した第一〜第九の実施例による各ヘッ
ド70を有するカラービデオプリンタ200 は、図50に示す
ように、縦方向(X方向)の紙送りと、X方向と直交方
向のヘッドの横方向(Y方向)スキャンとによって、印
刷を行うものであり、これらの縦方向の紙送りと横方向
のヘッドスキャンは交互に行うように構成されている。As shown in FIG. 50, the color video printer 200 having the heads 70 according to the above-described first to ninth embodiments has a vertical (X direction) paper feed and a head in the direction orthogonal to the X direction. The horizontal scanning (Y direction) is used for printing, and the paper feeding in the vertical direction and the head scanning in the horizontal direction are alternately performed.
【0170】このプリンタ200 において、各色のヘッド
部Y、M、Cからなるプリンタヘッド70は、シリアル型
ヘッドとして、送りねじ機構からなるヘッド送り軸201
とヘッド支軸202 により印画紙50の紙送り方向Xと直交
するヘッド送り方向Yに往復移動自在にしてある。In this printer 200, the printer head 70 including the head portions Y, M, and C of each color is a serial type head, and a head feed shaft 201 including a feed screw mechanism.
The head support shaft 202 allows the print paper 50 to reciprocate in the head feed direction Y which is orthogonal to the paper feed direction X.
【0171】また、ヘッド70に対して、印画紙50を挟む
ように支持する紙送りローラ203 が回転自在に設けられ
ている。なお、ヘッド70は、フレキシブルハーネス204
を介してヘッド駆動回路基板(図示せず)等に接続され
ている。Further, a paper feed roller 203 for supporting the printing paper 50 so as to sandwich the printing paper 50 is rotatably provided to the head 70. In addition, the head 70 is a flexible harness 204
Is connected to a head drive circuit board (not shown) or the like.
【0172】1ラインの印画が終了したら、ヘッド支え
を兼ねた紙送り駆動ローラ203 で印画紙50を1ライン分
送る。印画スタートは1色毎に順次に行われるが、3ド
ット以降は同時に印画される。なお、複数の第一発熱体
75がある場合は、交互に稼働させ、選択された発熱体75
は印画に供される一方、非印画の発熱体75は余熱を利用
して染料の液化や保温に使用し、温度をコントロールす
ることができる。When the printing of one line is completed, the printing paper 50 is fed by one line by the paper feed drive roller 203 which also serves as a head support. Printing is started sequentially for each color, but after 3 dots, printing is performed simultaneously. In addition, a plurality of first heating elements
If there are 75, run them alternately and select the heating element 75
Is used for printing, while the non-printing heating element 75 can control the temperature by utilizing the residual heat to liquefy the dye and keep it warm.
【0173】図51は、ライン型に構成されたヘッド70を
有するカラービデオプリンタ200 を示すものであり、印
画紙50の幅方向に亘って各色のヘッド部Y、M、Cが並
置されている。FIG. 51 shows a color video printer 200 having a head 70 of a line type, in which head portions Y, M and C of respective colors are arranged side by side in the width direction of the photographic printing paper 50. .
【0174】以上、本発明の実施例を説明したが、上述
の実施例は本発明の技術的思想に基づいて更に変形が可
能である。Although the embodiments of the present invention have been described above, the above embodiments can be further modified based on the technical idea of the present invention.
【0175】例えば、溝や濡れ性改善のための層や面の
配置は、液状染料の引込みを良好にする適宜の配置を採
用して良い。For example, as the arrangement of the groove and the layer or surface for improving the wettability, an appropriate arrangement may be adopted to make the drawing of the liquid dye good.
【0176】また、上述した発熱体(ヒータ)75の形
状、材質、サイズ等については、種々のもの或いは組み
合わせを採用することができ、ポリ−Siの層とメタル
配線とを両用することや適宜SiNやSiO2 等の絶縁
膜を付着して保護膜を形成することもできる。ベース材
をアルミニウム、セラミックス等の高熱伝導材で形成
し、発熱体75、断熱材、ベース材によってヘッドの熱特
性を調整してもよい。The shape, material, size, etc. of the above-mentioned heating element (heater) 75 may be various or in combination, and the poly-Si layer and the metal wiring may be used together or appropriately. An insulating film such as SiN or SiO 2 may be attached to form the protective film. The base material may be formed of a high heat conductive material such as aluminum or ceramics, and the thermal characteristics of the head may be adjusted by the heating element 75, the heat insulating material, and the base material.
【0177】また、気化部に形成すべき多孔性構造は、
上述したものに限らず、例えば柱体の場合はその高さ、
平面又は断面形状、密度等を変化させてよいし、また、
その形成箇所も微細パターン化又は多孔質化、或いは表
面積の拡大等が要求される箇所であれば適用可能であ
る。多孔性構造体としては、柱状体以外にも、壁状体
や、図53に示したビーズ集合体、繊維体等で形成したも
のであってもよい。Further, the porous structure to be formed in the vaporization part is
Not limited to the above, for example, in the case of a pillar, its height,
The plane or sectional shape, density, etc. may be changed, and
The formation location is also applicable as long as it is required to form a fine pattern or be porous, or to increase the surface area. In addition to the columnar body, the porous structure may be a wall-shaped body, a bead aggregate shown in FIG. 53, a fibrous body, or the like.
【0178】また、染料気化型の転写方式に限らず、既
述したアブレーションによる転写方式も可能であり、い
ずれの場合も染料又は記録材が飛翔して転写されるもの
である。Further, not only the dye vaporization type transfer system but also the transfer system by ablation described above is possible, and in any case, the dye or recording material is transferred by flying.
【0179】また、記録材(染料)を収容する記録材収
容部の数やドット数、及びこれに対応した発熱体や気化
部の数は種々変更してよいし、その配列形状やサイズ等
も上述したものに限定されることはない。Further, the number of recording material storage portions for storing the recording material (dye) and the number of dots, and the corresponding number of heating elements and vaporization portions may be variously changed, and the arrangement shape and size thereof may be changed. It is not limited to the above.
【0180】また、染料収容部、染料供給通路をはじ
め、ヘッドやプリンタの構造や形状は、前記以外の適宜
の構造、形状としてよく、ヘッドを構成する各部分の材
料には、他の適宜の材料を使用してよい。記録染料につ
いても、マゼンタ、イエロー、シアンの3色として(更
には、黒を加えた)フルカラーの記録を行うほか、2色
印刷、1色のモノカラー又は白黒の記録を行うことがで
きる。Further, the structure and shape of the head and the printer, including the dye containing portion and the dye supply passage, may be an appropriate structure and shape other than those described above, and the material of each part constituting the head may be any other suitable material. Materials may be used. With respect to the recording dyes, full-color recording can be performed with three colors of magenta, yellow, and cyan (further, black is added), and two-color printing, one-color monocolor, or monochrome recording can be performed.
【0181】また、染料の加熱に発熱体とレーザとを組
み合わせることもできる。この場合は、各加熱手段のパ
ワーを下げても良好に気化を実現することができる。A heating element and a laser may be combined to heat the dye. In this case, vaporization can be satisfactorily realized even if the power of each heating means is reduced.
【0182】また、上述の例のように、固体染料を一旦
液状にし、これを気化させて記録を行う他、固体染料を
レーザ光によって加熱して直接気化(即ち、昇華)させ
て記録を行うことができるし、染料溜めに液化染料(室
温にて液状)を収容することができる。上述したプリン
タにおいて、ヘッド上方からレーザ光を照射してその下
側に位置する被記録紙に記録を行ってもよいし、この逆
方向(下から上)に記録を行ってもよい。発熱体75を用
いる場合も同様である。Further, as in the above-mentioned example, the solid dye is once made into a liquid and vaporized to perform recording, or the solid dye is heated by laser light to directly vaporize (that is, sublimate) to perform recording. In addition, a liquefied dye (liquid at room temperature) can be stored in the dye reservoir. In the printer described above, the laser beam may be irradiated from above the head to perform recording on the recording paper located below the head, or the recording may be performed in the opposite direction (from bottom to top). The same applies when the heating element 75 is used.
【0183】なお、本発明は、記録材とこの記録材を溶
解若しくは分散させかつ加熱により体積膨張する物質
(即ち、キャリア)とを含有する記録液を供給し、加熱
により前記記録液の状態を変化させて液滴を生成させ、
この液滴を前記記録ヘッドと対向配置された被記録体へ
移行させるインクジェット方式にも適用可能である。In the present invention, a recording liquid containing a recording material and a substance (that is, a carrier) that dissolves or disperses the recording material and that expands in volume by heating is supplied, and the state of the recording liquid is changed by heating. Change to create droplets,
It can also be applied to an ink jet system in which the liquid droplets are transferred to a recording medium arranged opposite to the recording head.
【0184】[0184]
【発明の作用効果】本発明は、記録材を記録部へ導入す
るための導入部を有し、少なくともこの導入部及び/又
はその近傍に、この導入部への前記記録材の供給を促進
する記録材供給促進手段が設けられているので、この記
録材供給促進手段によって前記記録材が前記導入部へ導
入され易くなる。従って、前記記録材の前記導入部を経
由しての前記記録部への供給がスムーズにかつ充分にな
され、その結果、記録が常に順調に遂行され、高品質の
記録が保証される。The present invention has an introducing portion for introducing the recording material into the recording portion, and promotes the supply of the recording material to the introducing portion at least in the introduction portion and / or in the vicinity thereof. Since the recording material supply promoting means is provided, the recording material supply promoting means facilitates the introduction of the recording material into the introducing portion. Therefore, the supply of the recording material to the recording unit via the introduction unit is smoothly and sufficiently performed, and as a result, recording is always performed smoothly and high quality recording is guaranteed.
【0185】更に、特に、一定量の記録材を収納し、こ
の収納された記録材が消費された後は廃棄される方式の
記録装置の場合には、前記導入部を有する記録材供給路
中の記録材は、実質的に総て前記導入部を経由して記録
部へ供給され、記録装置廃棄時に前記記録材供給路に残
留して廃棄される記録材は僅かであり、記録材の無駄が
大幅に減少して経済的である。Further, in particular, in the case of a recording apparatus of a type in which a fixed amount of recording material is stored and the stored recording material is discarded after being consumed, the recording material supply path having the introduction portion Substantially all of the recording materials are supplied to the recording section via the introduction section, and when the recording apparatus is discarded, a small amount of the recording material remains in the recording material supply path and is discarded. Is significantly reduced and economical.
【図1】本発明の第一の実施例によるプリンタヘッドの
主要部の底面図である。FIG. 1 is a bottom view of a main part of a printer head according to a first embodiment of the present invention.
【図2】図1のII−II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.
【図3】同スペーサの拡大部分斜視図である。FIG. 3 is an enlarged partial perspective view of the spacer.
【図4】同スペーサを示すプリンタヘッドの一部破砕平
面図である。FIG. 4 is a partially crushed plan view of a printer head showing the spacer.
【図5】同プリンタヘッドの主要部の作製工程の一段階
を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing one stage of a manufacturing process of a main part of the printer head.
【図6】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図7】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図8】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図9】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図10】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図11】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図12】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図13】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing another stage of the manufacturing process.
【図14】同作製工程の他の段階を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing another stage of the same manufacturing process.
【図15】同作製工程の更に他の段階を示す斜視図であ
る。FIG. 15 is a perspective view showing still another stage of the same manufacturing process.
【図16】同作製工程の一段階を示す平面図及び断面図
(断面はB−B線断面図:以下、同様)である。16A and 16B are a plan view and a cross-sectional view (a cross-sectional view taken along the line BB: the same applies below) showing one stage of the manufacturing process.
【図17】同作製工程の他の段階を示す平面図及び断面図
である。FIG. 17 is a plan view and a cross-sectional view showing another stage of the same manufacturing process.
【図18】同作製工程の他の段階を示す平面図及び断面図
である。FIG. 18 is a plan view and a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図19】同作製工程の他の段階を示す平面図及び断面図
である。FIG. 19 is a plan view and a cross-sectional view showing another stage of the same manufacturing process.
【図20】同作製工程の更に他の段階を示す平面図及び断
面図である。FIG. 20 is a plan view and a cross-sectional view showing still another stage of the manufacturing process.
【図21】図9の工程に変形を加えた図9と同様の斜視図
である。21 is a perspective view similar to FIG. 9 in which the process of FIG. 9 is modified.
【図22】第一の実施例に変形を加えた図1と同様のプリ
ンタヘッドの主要部の底面図である。FIG. 22 is a bottom view of the main part of the printer head similar to FIG. 1 in which the first embodiment is modified.
【図23】図22の XXIII−XXIII 線断面図である。23 is a sectional view taken along line XXIII-XXIII of FIG. 22.
【図24】本発明の第二の実施例によるスペーサの拡大部
分斜視図である。FIG. 24 is an enlarged partial perspective view of a spacer according to a second embodiment of the present invention.
【図25】本発明の第三の実施例によるスペーサの拡大部
分斜視図である。FIG. 25 is an enlarged partial perspective view of a spacer according to a third embodiment of the present invention.
【図26】本発明の第四の実施例によるスペーサの拡大部
分平面図である。FIG. 26 is an enlarged partial plan view of a spacer according to a fourth embodiment of the present invention.
【図27】図26に変形を加えたスペーサの拡大部分平面図
である。FIG. 27 is an enlarged partial plan view of the spacer obtained by modifying FIG. 26.
【図28】本発明の第五の実施例によるプリンタヘッドの
主要部の断面図である。FIG. 28 is a sectional view of a main part of a printer head according to a fifth embodiment of the present invention.
【図29】本発明の第六の実施例によるプリンタヘッドの
主要部の底面図である。FIG. 29 is a bottom view of the main part of the printer head according to the sixth embodiment of the present invention.
【図30】本発明の第七の実施例によるプリンタヘッドの
主要部の底面図である。FIG. 30 is a bottom view of the main part of the printer head according to the seventh embodiment of the present invention.
【図31】図30のXXXI−XXXI線断面図である。31 is a sectional view taken along line XXXI-XXXI of FIG. 30.
【図32】本発明の第八の実施例によるプリンタヘッドの
主要部の底面図である。FIG. 32 is a bottom view of the main part of the printer head according to the eighth embodiment of the present invention.
【図33】図32のXXXIII−XXXIII線断面図である。33 is a sectional view taken along the line XXXIII-XXXIII in FIG. 32.
【図34】本発明の第九の実施例によるプリンタヘッドの
主要部の拡大部分斜視図である。FIG. 34 is an enlarged partial perspective view of a main part of a printer head according to a ninth embodiment of the present invention.
【図35】同プリンタヘッドの概略断面図である。FIG. 35 is a schematic cross-sectional view of the printer head.
【図36】同プリンタヘッドの主要部の断面斜視図であ
る。FIG. 36 is a cross-sectional perspective view of a main part of the printer head.
【図37】同プリンタヘッドの主要部の作製工程の一段階
を示す断面図(図36のC−C線断面図:以下、同様)で
ある。FIG. 37 is a cross-sectional view (cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 36: the same applies hereinafter) showing a step in the manufacturing process of the main part of the printer head.
【図38】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 38 is a cross-sectional view showing another stage of the same manufacturing process.
【図39】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 39 is a cross-sectional view showing another stage of the same manufacturing process.
【図40】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 40 is a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図41】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 41 is a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図42】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 42 is a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図43】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 43 is a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図44】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 44 is a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図45】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 45 is a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図46】同プリンタヘッドの主要部の作製工程の他の段
階を示す断面図、平面図及び断面図(この断面は同平面
図のD−D線断面図:以下、同様)である。FIG. 46 is a cross-sectional view, a plan view, and a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process of the main part of the printer head (this cross-section is taken along the line D-D of the plan view: the same hereinafter).
【図47】同作製工程の他の段階を示す断面図、平面図及
び断面図である。FIG. 47 is a cross-sectional view, a plan view, and a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図48】同作製工程の他の段階を示す断面図、平面図及
び断面図である。FIG. 48 is a cross-sectional view, a plan view, and a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.
【図49】同作製工程の更に他の段階を示す断面図、平面
図及び断面図である。FIG. 49 is a cross-sectional view, a plan view, and a cross-sectional view showing still another stage of the manufacturing process.
【図50】本発明の実施例によるプリンタヘッドを有する
プリンタの概略斜視図である。FIG. 50 is a schematic perspective view of a printer having a printer head according to an embodiment of the present invention.
【図51】同プリンタヘッドを有する他のプリンタの概略
斜視図である。FIG. 51 is a schematic perspective view of another printer having the printer head.
【図52】従来の感熱記録ヘッドを用いたプリンタの要部
正面図である。FIG. 52 is a front view of the main parts of a printer using a conventional thermal recording head.
【図53】本発明の完成前に案出されたプリンタの概略断
面図である。FIG. 53 is a schematic sectional view of a printer devised before the completion of the present invention.
【図54】同プリンタのヘッドの分解斜視図である。FIG. 54 is an exploded perspective view of the head of the printer.
【図55】同他のプリンタのヘッドの分解斜視図である。FIG. 55 is an exploded perspective view of the head of the other printer.
【図56】本発明の案出前に出願されたプリンタの概略断
面図である。FIG. 56 is a schematic cross-sectional view of a printer filed before the invention of the present invention.
【図57】同プリンタのヘッドの主要部分の拡大断面斜視
図である。FIG. 57 is an enlarged cross-sectional perspective view of the main part of the head of the printer.
【図58】同プリンタのヘッドの一部分の斜視図である。FIG. 58 is a perspective view of a part of the head of the printer.
【図59】同プリンタのヘッドの他の一部分の斜視図であ
る。FIG. 59 is a perspective view of another part of the head of the printer.
【図60】図59の部分拡大図である。FIG. 60 is a partially enlarged view of FIG. 59.
【図61】同プリンタヘッドの一部分の平面図である。FIG. 61 is a plan view of a part of the printer head.
18・・・半導体レーザ 22・・・液化染料 32・・・気化染料 50・・・印画紙 62、82・・・スペーサ 62a・・・染料収容部(穴) 64、84・・・染料供給路 64a、84’・・・染料導入口 66・・・断熱材 70・・・プリンタヘッド 73・・・絶縁板 75・・・発熱体 77・・・気化部 80・・・小柱体 84a・・・底壁面 84b、84c・・・側壁面 84d、84e、184 、284 、384 ・・・溝 91・・・保護層 92・・・空隙 94、95・・・電極 101 ・・・気化構造体 185 、285 、385 ・・・突条 185a・・・突条の開口 200 ・・・プリンタ 484 ・・・濡れ性改善層 485 ・・・粗面 L・・・レーザ光 18 ... Semiconductor laser 22 ... Liquefied dye 32 ... Vaporized dye 50 ... Printing paper 62, 82 ... Spacer 62a ... Dye storage part (hole) 64, 84 ... Dye supply path 64a, 84 '... Dye inlet 66 ... Insulation material 70 ... Printer head 73 ... Insulation plate 75 ... Heating element 77 ... Vaporizer 80 ... Small pillar 84a ...・ Bottom wall surface 84b, 84c ... Side wall surface 84d, 84e, 184, 284, 384 ... Groove 91 ... Protective layer 92 ... Void 94, 95 ... Electrode 101 ... Vaporization structure 185 285, 385 ridges 185a ridge openings 200 ・ ・ ・ printer 484 ・ ・ ・ wettability improving layer 485 ・ ・ ・ rough surface L ・ ・ ・ laser light
Claims (22)
を前記記録部へ導入するための導入部を有する記録材供
給路とが設けられ、少なくとも前記導入部及び/又はそ
の近傍に、前記導入部への前記記録材の供給を促進する
ための記録材供給促進手段が設けられている記録装置。1. A recording section for accommodating a recording material, and a recording material supply path having an introducing section for introducing the recording material to the recording section are provided, and at least the introducing section and / or its vicinity, A recording apparatus provided with a recording material supply promoting means for promoting the supply of the recording material to the introduction section.
ずる構造若しくは形状に形成されている、請求項1に記
載された記録装置。2. The recording apparatus according to claim 1, wherein the recording material supply promoting means is formed in a structure or shape that causes a capillary phenomenon.
いる、請求項2に記載された記録装置。3. The recording apparatus according to claim 2, wherein the recording material supply promoting means is formed in a groove shape.
成されている、請求項3に記載された記録装置。4. The recording apparatus according to claim 3, wherein the recording material supply promoting means is formed between the pair of protrusions.
で狭くなっている、請求項3に記載された記録装置。5. The recording apparatus according to claim 3, wherein the recording material supply promoting means is narrowed on the recording material introducing portion side.
濡れ性の良い材料からなっている、請求項1に記載され
た記録装置。6. The recording apparatus according to claim 1, wherein the recording material supply promoting means is made of a material having good wettability with respect to the recording material.
少なくともこの溝状の部分が記録材に対して濡れ性の良
い材料からなっている、請求項1に記載された記録装
置。7. A recording material supply promoting means is formed in a groove shape,
The recording apparatus according to claim 1, wherein at least the groove-shaped portion is made of a material having good wettability with respect to the recording material.
されている、請求項1に記載された記録装置。8. The recording apparatus according to claim 1, wherein the recording material supply promoting means is formed by a rough surface.
少なくともこの溝状の部分が粗面によって形成されてい
る、請求項1に記載された記録装置。9. A recording material supply promoting means is formed in a groove shape,
The recording apparatus according to claim 1, wherein at least this groove-shaped portion is formed by a rough surface.
設けられている、請求項1に記載された記録装置。10. The recording apparatus according to claim 1, wherein the recording material supply promoting means is provided in the recording material supply passage.
によって連通し、この記録材導入路に接して若しくはそ
の近傍に記録材供給促進手段の先端が位置している、請
求項1に記載された記録装置。11. The recording material and the recording material supply passage communicate with each other through a recording material introduction passage, and the tip of the recording material supply promoting means is located in contact with or near the recording material introduction passage. Recording device described in.
うちの記録材導入部と同等のレベル面に設けられてい
る、請求項1に記載された記録装置。12. The recording apparatus according to claim 1, wherein the recording material supply promoting means is provided on a level surface of the recording material supply path that is equivalent to the recording material introducing portion.
同等のレベル面に連続した他の面にも設けられている、
請求項12に記載された記録装置。13. The recording material supply promoting means is also provided on another surface continuous with the level surface equivalent to the recording material introducing portion,
The recording device according to claim 12.
を行う記録材飛翔用構造体が記録部に設けられている、
請求項1に記載された記録装置。14. A recording material flying structure for flying a liquid recording material to a recording medium to perform recording is provided in a recording section.
The recording device according to claim 1.
体が一体に設けられている、請求項14に記載された記録
装置。15. The recording apparatus according to claim 14, wherein the recording material flying structure is integrally provided on the recording material supply structure portion.
取付けられている、請求項14に記載された記録装置。16. The recording apparatus according to claim 14, wherein the recording material flying structure is mounted in the recording material accommodation portion.
発熱体が記録材飛翔用構造体に設けられている、請求項
14に記載された記録装置。17. The recording material flying structure is provided with a heating element for heating and flying the liquid recording material.
Recording device described in 14.
ビームにより加熱して飛翔させるようになっている、請
求項14に記載された記録装置。18. The recording apparatus according to claim 14, wherein the liquid recording material of the recording material flying structure is heated by a heating beam to fly.
供給しかつ保持する記録材飛翔用構造体が設けられてい
る、請求項14に記載された記録装置。19. The recording apparatus according to claim 14, further comprising a recording material flying structure that supplies and holds the liquid recording material to the opening side by a capillary phenomenon.
材飛翔用構造体に設けられている、請求項19に記載され
た記録装置。20. The recording apparatus according to claim 19, wherein a porous structure that causes a capillary phenomenon is provided in the recording material flying structure.
形成されている、請求項20に記載された記録装置。21. The recording apparatus according to claim 20, wherein the porous structure is formed by an assembly of pillars.
て前記液状記録材と非接触状態で対向した被記録体へ飛
翔するようにした、請求項1に記載された記録装置。22. The recording apparatus according to claim 1, wherein the liquid recording material is vaporized or ablated to fly to a recording medium facing the liquid recording material in a non-contact state.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4905395A JPH08216442A (en) | 1995-02-13 | 1995-02-13 | Recording device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4905395A JPH08216442A (en) | 1995-02-13 | 1995-02-13 | Recording device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08216442A true JPH08216442A (en) | 1996-08-27 |
Family
ID=12820348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4905395A Pending JPH08216442A (en) | 1995-02-13 | 1995-02-13 | Recording device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08216442A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015196374A (en) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 孝博 工藤 | electronic stamp |
-
1995
- 1995-02-13 JP JP4905395A patent/JPH08216442A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015196374A (en) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | 孝博 工藤 | electronic stamp |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3575103B2 (en) | Recording method | |
US5699098A (en) | Recording unit structure and recording device | |
EP0700787B1 (en) | Recording device and recording method | |
US5561451A (en) | Sublimation type printer and photographic paper therefor | |
JPH08216442A (en) | Recording device | |
JPH08197760A (en) | Recording apparatus | |
JPH08197757A (en) | Recording apparatus and production thereof | |
JPH08207445A (en) | Recording device | |
JPH08156433A (en) | Recording device | |
JPH08258298A (en) | Recording method and apparatus | |
JPH08197758A (en) | Recording apparatus | |
JPH08142359A (en) | Recording apparatus and production thereof | |
JPH08276608A (en) | Recording method and apparatus | |
JPH08336992A (en) | Recording device and manufacture thereof | |
JPH08258297A (en) | Recording apparatus | |
JPH08258301A (en) | Recording apparatus and its manufacture | |
KR100325401B1 (en) | Recording head and recording device | |
US6409309B1 (en) | Recording apparatus having high resolution recording function | |
JPH08197761A (en) | Recording apparatus | |
JPH0851100A (en) | Forming method of fine structure, manufacture of recording device, and etching mask | |
JP3637629B2 (en) | Recording method | |
JPH0885201A (en) | Recorder and its manufacture | |
JPH08230222A (en) | Recording apparatus and method | |
JPH0885221A (en) | Recorder and its manufacture | |
JPH08300702A (en) | Method and apparatus for recording |