JPH08122180A - Capacitance type pressure sensor - Google Patents
Capacitance type pressure sensorInfo
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- JPH08122180A JPH08122180A JP25494094A JP25494094A JPH08122180A JP H08122180 A JPH08122180 A JP H08122180A JP 25494094 A JP25494094 A JP 25494094A JP 25494094 A JP25494094 A JP 25494094A JP H08122180 A JPH08122180 A JP H08122180A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、圧力を検出する静電容
量型圧力センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a capacitance type pressure sensor for detecting pressure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、静電容量型圧力センサして、
図２に示すものが知られている。この静電容量型圧力セ
ンサは、発振回路１と、これに接続されているスイッチ
トキャパシタ回路２と、これに接続されている整流回路
３とを具備している。2. Description of the Related Art Conventionally, as a capacitance type pressure sensor,
The one shown in FIG. 2 is known. The electrostatic capacitance type pressure sensor includes an oscillating circuit 1, a switched capacitor circuit 2 connected to the oscillating circuit 1, and a rectifying circuit 3 connected to the oscillating circuit.
【０００３】前記スイッチトキャパシタ回路２は、オペ
アンプ４と、このオペアンプ４の反転入力端子と前記発
振回路１との間に接続されている感圧コンデンサ５と、
前記オペアンプ４の反転入力端子と出力端子の間に接続
されている増幅度設定用のコンデンサ６と、このコンデ
ンサ６に並列に接続されていると共に前記発振回路１に
接続されているアナログスイッチ７と、前記オペアンプ
４の反転入力端子に接続されている基準コンデンサ８
と、この基準コンデンサ８と前記発振回路１の間に接続
されているインバータ９とを有する。The switched capacitor circuit 2 includes an operational amplifier 4, a pressure-sensitive capacitor 5 connected between the inverting input terminal of the operational amplifier 4 and the oscillator circuit 1.
An amplification degree setting capacitor 6 connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier 4, and an analog switch 7 connected in parallel to the capacitor 6 and connected to the oscillation circuit 1. , A reference capacitor 8 connected to the inverting input terminal of the operational amplifier 4
And an inverter 9 connected between the reference capacitor 8 and the oscillation circuit 1.
【０００４】この静電容量型圧力センサにおいては、前
記アナログスイッチ７を発振回路１と同期してスイッチ
ングさせると、感圧コンデンサ５と基準コンデンサ８の
静電容量の差に比例した半波の振幅変調の出力が得られ
る。この場合に、前記感圧コンデンサ５とコンデンサ６
と基準コンデンサ８の静電容量をそれぞれＣs 、Ｃiお
よびＣr とすると、出力電圧Ｖout は，次の数１で表さ
れる。In this capacitance type pressure sensor, when the analog switch 7 is switched in synchronism with the oscillation circuit 1, a half-wave amplitude proportional to the difference in capacitance between the pressure sensitive capacitor 5 and the reference capacitor 8 is obtained. The output of the modulation is obtained. In this case, the pressure sensitive capacitor 5 and the capacitor 6
When the electrostatic capacities of the reference capacitor 8 and the reference capacitor 8 are Cs, Ci and Cr, respectively, the output voltage Vout is expressed by the following equation 1.
【０００５】[0005]
【数１】 この数１において、Ｖp は感圧コンデンサと基準コンデ
ンサへの印加電圧である。[Equation 1] In this equation 1, Vp is the voltage applied to the pressure sensitive capacitor and the reference capacitor.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】従来の静電容量型圧力
センサにおいては、ダイアフラムの変位が印加圧力に比
例するから、感圧コンデンサ５の静電容量Ｃs が次の数
２で表される。In the conventional capacitance type pressure sensor, since the displacement of the diaphragm is proportional to the applied pressure, the capacitance Cs of the pressure sensitive capacitor 5 is expressed by the following equation 2.
【０００７】[0007]
【数２】 この数２において、ｗ（p)は印加電圧に対するダイヤフ
ラムの変位量を示し、εは空気の誘電率を示し、Ｓはダ
イヤフラムの面積を示し、ｄはダイヤフラムのギャップ
長を示している。[Equation 2] In Equation 2, w (p) represents the displacement of the diaphragm with respect to the applied voltage, ε represents the permittivity of air, S represents the area of the diaphragm, and d represents the gap length of the diaphragm.
【０００８】従来の静電容量型圧力センサにおいては、
前記数１および数２から明らかなように、出力電圧Ｖｏ
ｕｔは、印加圧力に比例しないという問題がある。In the conventional capacitance type pressure sensor,
As is clear from the equations 1 and 2, the output voltage Vo
There is a problem that ut is not proportional to the applied pressure.
【０００９】本発明の目的は、出力電圧が印加圧力に比
例する静電容量型圧力センサを提供することにある。It is an object of the present invention to provide a capacitance type pressure sensor whose output voltage is proportional to the applied pressure.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、発振回路と、この発振回路の出力端子に
接続されているスイッチトキャパシタ回路とを具備し、
前記スイッチトキャパシタ回路は、オペアンプと、この
オペアンプの反転入力端子と前記発振回路との間に接続
されている基準コンデンサと、前記オペアンプの反転入
力端子と出力端子の間に接続されている感圧コンデンサ
と、この感圧コンデンサに並列に接続されていると共に
前記発振回路に接続されているアナログスイッチとを有
することを特徴とする。In order to solve the above problems, the present invention comprises an oscillator circuit and a switched capacitor circuit connected to the output terminal of the oscillator circuit,
The switched capacitor circuit includes an operational amplifier, a reference capacitor connected between the inverting input terminal of the operational amplifier and the oscillation circuit, and a pressure-sensitive capacitor connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier. And an analog switch connected in parallel to the pressure-sensitive capacitor and connected to the oscillation circuit.
【００１１】[0011]
【実施例】次に、本発明の１実施例を図面に基いて詳細
に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【００１２】図１に示すように、本発明の静電容量型圧
力センサは、発振回路１と、この発振回路１の出力端子
に接続されているスイッチトキャパシタ回路１０と、こ
のスイッチトキャパシタ回路１０の出力端子に接続され
ているサンプルホールド回路１１と、前記発振回路１の
出力端子と前記サンプルホールド回路１１との間に接続
されているモノステーブルマルチバイブレータ１２と、
前記サンプルホールド回路１１の出力端子に接続されて
いる増幅器１３とを具備している。As shown in FIG. 1, an electrostatic capacitance type pressure sensor of the present invention includes an oscillating circuit 1, a switched capacitor circuit 10 connected to an output terminal of the oscillating circuit 1, and a switched capacitor circuit 10. A sample hold circuit 11 connected to the output terminal, a monostable multivibrator 12 connected between the output terminal of the oscillator circuit 1 and the sample hold circuit 11,
An amplifier 13 connected to the output terminal of the sample hold circuit 11.
【００１３】前記スイッチトキャパシタ回路１１は、オ
ペアンプ４と、このオペアンプ４の反転入力端子と前記
発振回路１との間に接続されている基準コンデンサ８
と、前記オペアンプ４の反転入力端子と出力端子の間に
接続されている感圧コンデンサ５と、この感圧コンデン
サ５に並列に接続されていると共に前記発振回路１に接
続されているアナログスイッチ７とを有する。前記感圧
コンデンサ５は、外部から印加される圧力に応じてダイ
アフラムが変形しこのダイアフラムの変位に比例して静
電容量が変化するものである。The switched capacitor circuit 11 includes an operational amplifier 4 and a reference capacitor 8 connected between the inverting input terminal of the operational amplifier 4 and the oscillator circuit 1.
A pressure-sensitive capacitor 5 connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier 4, and an analog switch 7 connected in parallel to the pressure-sensitive capacitor 5 and connected to the oscillation circuit 1. Have and. The diaphragm of the pressure-sensitive capacitor 5 is deformed according to the pressure applied from the outside, and the electrostatic capacitance is changed in proportion to the displacement of the diaphragm.
【００１４】前記アナログスイッチ７を発振回路１と同
期してスイッチングさせると、感圧コンデンサ５と基準
コンデンサ８の静電容量の差に比例した半波の振幅変調
の出力が得られる。この出力電圧Ｖout は，次の数３で
表される。When the analog switch 7 is switched in synchronization with the oscillation circuit 1, a half-wave amplitude-modulated output proportional to the difference in electrostatic capacitance between the pressure sensitive capacitor 5 and the reference capacitor 8 is obtained. This output voltage Vout is expressed by the following equation 3.
【００１５】[0015]
【数３】 (Equation 3)
【００１６】前記発振回路１の出力信号を受けるモノス
テーブルマルチバイブレータ１２は、タイミングパルス
を生成して前記サンプルホールド回路１１に与える。こ
のサンプルホールド回路１１は、タイミングパルスを受
けた時点のオペアンプ４の出力を保持して増幅器１３に
与える。前記感圧コンデンサ５への圧力が零である時と
所定の圧力の印加時の静電容量にばらつきがあっても、
前記増幅器１３のゲインとオフセットを調整すれば所定
の出力が得られる。The monostable multivibrator 12 which receives the output signal of the oscillation circuit 1 generates a timing pulse and supplies it to the sample hold circuit 11. The sample hold circuit 11 holds the output of the operational amplifier 4 at the time of receiving the timing pulse and supplies it to the amplifier 13. Even if there is a variation in the electrostatic capacitance when the pressure to the pressure sensitive capacitor 5 is zero and when the predetermined pressure is applied,
A predetermined output can be obtained by adjusting the gain and offset of the amplifier 13.
【００１７】[0017]
【発明の効果】本発明の静電容量型圧力センサは、出力
電圧が印加圧力に比例している。According to the capacitance type pressure sensor of the present invention, the output voltage is proportional to the applied pressure.
【図１】本発明の１実施例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】従来の静電容量型圧力センサを示すブロック図
である。FIG. 2 is a block diagram showing a conventional capacitance type pressure sensor.
１ 発振回路 ２ スイッチトキャパシタ回路 ３ 整流回路 ４ オペアンプ ５ 感圧コンデンサ ６ コンデンサ ７ アナログスイッチ ８ 基準コンデンサ ９ インバータ １０ スイッチトキャパシタ回路 １１ サンプルホールド回路 １２ モノステーブルマルチバイブレータ １３ 増幅器 1 Oscillation Circuit 2 Switched Capacitor Circuit 3 Rectifier Circuit 4 Operational Amplifier 5 Pressure Sensitive Capacitor 6 Capacitor 7 Analog Switch 8 Reference Capacitor 9 Inverter 10 Switched Capacitor Circuit 11 Sample Hold Circuit 12 Monostable Multivibrator 13 Amplifier
Claims (2)
接続されているスイッチトキャパシタ回路とを具備し、
前記スイッチトキャパシタ回路は、オペアンプと、この
オペアンプの反転入力端子と前記発振回路との間に接続
されている基準コンデンサと、前記オペアンプの反転入
力端子と出力端子の間に接続されている感圧コンデンサ
と、この感圧コンデンサに並列に接続されていると共に
前記発振回路に接続されているアナログスイッチとを有
することを特徴とする静電容量型圧力センサ。1. An oscillator circuit, and a switched capacitor circuit connected to an output terminal of the oscillator circuit,
The switched capacitor circuit includes an operational amplifier, a reference capacitor connected between the inverting input terminal of the operational amplifier and the oscillation circuit, and a pressure-sensitive capacitor connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier. And an analog switch connected in parallel to the pressure-sensitive capacitor and connected to the oscillation circuit.
接続されているスイッチトキャパシタ回路と、このスイ
ッチトキャパシタ回路の出力端子に接続されているサン
プルホールド回路と、前記発振回路の出力端子と前記サ
ンプルホールド回路との間に接続されているモノステー
ブルマルチバイブレータとを具備し、前記スイッチトキ
ャパシタ回路は、オペアンプと、このオペアンプの反転
入力端子と前記発振回路との間に接続されている基準コ
ンデンサと、前記オペアンプの反転入力端子と出力端子
の間に接続されている感圧コンデンサと、この感圧コン
デンサに並列に接続されていると共に前記発振回路に接
続されているアナログスイッチとを有することを特徴と
する静電容量型圧力センサ。2. An oscillation circuit, a switched capacitor circuit connected to an output terminal of the oscillation circuit, a sample hold circuit connected to an output terminal of the switched capacitor circuit, an output terminal of the oscillation circuit, and the output terminal of the oscillation circuit. A monostable multivibrator connected to a sample hold circuit, the switched capacitor circuit includes an operational amplifier, and a reference capacitor connected between the inverting input terminal of the operational amplifier and the oscillation circuit. A pressure-sensitive capacitor connected between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier, and an analog switch connected in parallel to the pressure-sensitive capacitor and connected to the oscillation circuit. Capacitive pressure sensor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP25494094A JP3218448B2 (en) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | Capacitive pressure sensor |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25494094A JP3218448B2 (en) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | Capacitive pressure sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122180A true JPH08122180A (en) | 1996-05-17 |
| JP3218448B2 JP3218448B2 (en) | 2001-10-15 |
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|---|---|---|---|
| JP25494094A Expired - Fee Related JP3218448B2 (en) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | Capacitive pressure sensor |
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| JP (1) | JP3218448B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004017036A2 (en) * | 2002-08-16 | 2004-02-26 | Rosemount Inc. | Pressure measurement device including a capacitive pressure sensor in an amplifier feedback path |
| KR101108091B1 (en) * | 2006-02-07 | 2012-02-06 | 파이오니아 가부시키가이샤 | Electrostatic capacity detection device |
| JP2012233730A (en) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Seiko Epson Corp | Physical quantity detector and electronic apparatus |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100949565B1 (en) | 2008-04-02 | 2010-03-25 | (주)엠아이디티 | Capacitive Extraction Circuit of Capacitive Input Sensor |
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1994
- 1994-10-20 JP JP25494094A patent/JP3218448B2/en not_active Expired - Fee Related
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| WO2004017036A2 (en) * | 2002-08-16 | 2004-02-26 | Rosemount Inc. | Pressure measurement device including a capacitive pressure sensor in an amplifier feedback path |
| WO2004017036A3 (en) * | 2002-08-16 | 2004-03-25 | Rosemount Inc | Pressure measurement device including a capacitive pressure sensor in an amplifier feedback path |
| US6828802B2 (en) | 2002-08-16 | 2004-12-07 | Rosemount Inc. | Pressure measurement device including a capacitive sensor in an amplifier feedback path |
| DE10393130B4 (en) | 2002-08-16 | 2019-01-24 | Rosemount Inc. | A pressure measuring device with a capacitive pressure sensor in an amplifier feedback path |
| KR101108091B1 (en) * | 2006-02-07 | 2012-02-06 | 파이오니아 가부시키가이샤 | Electrostatic capacity detection device |
| US8164352B2 (en) | 2006-02-07 | 2012-04-24 | Pioneer Corporation | Capacitance detecting apparatus |
| JP2012233730A (en) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Seiko Epson Corp | Physical quantity detector and electronic apparatus |
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|---|---|
| JP3218448B2 (en) | 2001-10-15 |
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