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JPH0794797A - Piezoelectric device actuator - Google Patents

Piezoelectric device actuator

Info

Publication number
JPH0794797A
JPH0794797A JP5233671A JP23367193A JPH0794797A JP H0794797 A JPH0794797 A JP H0794797A JP 5233671 A JP5233671 A JP 5233671A JP 23367193 A JP23367193 A JP 23367193A JP H0794797 A JPH0794797 A JP H0794797A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
main body
piezoelectric element
refrigerant
housing
element actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5233671A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoji Ishikawa
友二 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP5233671A priority Critical patent/JPH0794797A/en
Publication of JPH0794797A publication Critical patent/JPH0794797A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To circulate coolant to cool the center part of the main body of a piezoelectric device actuator without requiring a pump, etc., by a method wherein a first linkage path is provided on the upper end side of the main body and a second linkage path is provided on the lower end side of the main body and a coolant circulation path between the inside space of the main body and around the outer circumference of the main body. CONSTITUTION:The inside space 15 of the main body 1 of a piezoelectric device actuator is composed of the inner holes of respective piezoelectric devices 1a. The inside space 15 and the predetermined space 3 outside the main body 1 are linked with each other by the first linkage path 5c of a first shim 5 and the second linkage path 6c of a second shim 6. A circulation path through which insulating oil in the inside space 15 is circulated and returned to the inside space 15 is composed of the first linkage path 5c, the predetermined space 3 and the second linkage path 6c. Two valves 11 and 12 which can be opened in the direction of the circulation are provided in the circulation path. If heat is generated in the main body 1 of the piezoelectric device actuator, the insulating oil is circulated by the expansion and contraction of the main body 1 and the center part is cooled to make the temperature distribution uniform.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子アクチュエー
タに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric element actuator.

【0002】[0002]

【従来の技術】電圧を印加することで伸縮する圧電素子
は、応答性に優れたアクチュエータとして内燃機関の燃
料噴射弁等に利用することがすでに提案されている。こ
のような圧電素子アクチュエータは、その温度に応じて
変位量が変化するために、作動時の発熱に対して冷却が
実行されると共に、駆動制御には一般的に温度補正が実
行される。この温度補正を含む駆動制御を正確なものと
するためには、圧電素子アクチュエータは均一温度分布
を有するように冷却されなければならず、このための冷
却方法として実開平2−54253号には圧電素子回り
に形成された冷却液体通路にポンプ等を利用して冷却液
体を流すものが記載されている。
2. Description of the Related Art It has already been proposed that a piezoelectric element that expands and contracts when a voltage is applied is used as a highly responsive actuator in a fuel injection valve of an internal combustion engine. Since the displacement amount of such a piezoelectric element actuator changes in accordance with the temperature thereof, cooling is performed for heat generated during operation, and temperature correction is generally performed for drive control. In order to make the drive control including this temperature correction accurate, the piezoelectric element actuator must be cooled so as to have a uniform temperature distribution. There is described one in which a cooling liquid is caused to flow through a cooling liquid passage formed around an element by using a pump or the like.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術におい
て、圧電素子は一般的に熱伝達率が低いために、その外
周部は均一に冷却されるが中央部はあまり冷却されず、
圧電素子アクチュエータにおける十分な均一温度分布冷
却を実現することはできない。さらに、冷却液体を供給
するためのポンプ等の供給手段が設けられるために、か
なりのコストアップを必要とする。
In the above-mentioned prior art, since the piezoelectric element generally has a low heat transfer coefficient, its outer peripheral portion is cooled uniformly, but its central portion is not cooled so much.
It is not possible to realize sufficient uniform temperature distribution cooling in the piezoelectric actuator. Further, since a supply means such as a pump for supplying the cooling liquid is provided, a considerable increase in cost is required.

【0004】従って、本発明の目的は、ポンプ等を必要
とせず冷媒を循環させて、その中央部を含み均一温度に
冷却可能な圧電素子アクチュエータを提供することであ
る。
Therefore, an object of the present invention is to provide a piezoelectric element actuator which can circulate a refrigerant without requiring a pump or the like and cool it to a uniform temperature including its central portion.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明による圧電素子ア
クチュエータは、リング状の圧電素子を積層して形成さ
れる圧電素子アクチュエータの本体と、前記本体をその
外周部回りに所定隙間を形成するように取り囲み前記本
体の上端部を支持するハウジングと、前記本体の軸線方
向に前記ハウジングを貫通して前記本体の下端部に当接
するプランジャと、前記ハウジング内に充填された冷媒
と、前記冷媒が前記本体の内部空間から前記所定隙間を
通り前記内部空間に戻る冷媒循環通路を形成するための
前記本体の上端部側の第一連通路及び前記本体の下端部
側の第二連通路、とを具備し、前記冷媒循環通路に設置
された少なくとも二つの同方向逆止弁を使用して前記本
体の伸縮に伴いその容積が増減する区画を形成すること
を特徴とする。
A piezoelectric element actuator according to the present invention has a body of a piezoelectric element actuator formed by laminating ring-shaped piezoelectric elements, and a predetermined gap is formed around the outer periphery of the body. A housing surrounding the upper end of the main body, supporting the upper end of the main body, a plunger penetrating the housing in the axial direction of the main body and contacting the lower end of the main body, a refrigerant filled in the housing, and the refrigerant. A first series passage on the upper end side of the main body and a second communication passage on the lower end side of the main body for forming a refrigerant circulation passage that returns from the inner space of the main body to the inner space through the predetermined gap. However, at least two same-direction check valves installed in the refrigerant circulation passage are used to form a section whose volume increases and decreases as the main body expands and contracts.

【0006】[0006]

【作用】前述の圧電素子アクチュエータは、圧電素子ア
クチュエータの本体の上端部側の第一連通路及び下端部
側の第二連通路によって、ハウジング内に充填された冷
媒が本体の内部空間からその外周部回りの所定隙間を通
りこの内部空間に戻る冷媒循環通路が形成され、この冷
媒循環通路に設置された少なくとも二つの同方向逆止弁
を使用して本体の伸縮に伴いその容積が増減する区画が
形成されるために、この区画の容積減少時には一方の逆
止弁を介してこの区画から他の区画へ冷媒が排出され、
この区画の容積増加時には他方の逆止弁を介して他の区
画からこの区画へ冷媒が供給されるために、冷媒が本体
の伸縮を利用して冷媒循環通路に沿って循環する。
In the above-mentioned piezoelectric element actuator, the refrigerant filled in the housing is moved from the inner space of the main body to the outer periphery thereof by the first series passage on the upper end side of the piezoelectric element actuator and the second communication passage on the lower end side. A refrigerant circulation passage is formed that returns to the internal space through a predetermined gap around the section, and the volume of the refrigerant circulation passage increases and decreases as the main body expands and contracts by using at least two same-direction check valves installed in the refrigerant circulation passage. Therefore, when the volume of this compartment is reduced, the refrigerant is discharged from this compartment to the other compartment through one check valve,
When the volume of this section increases, the refrigerant is supplied from this section to the section via the other check valve, so that the refrigerant circulates along the refrigerant circulation passage by utilizing the expansion and contraction of the main body.

【0007】[0007]

【実施例】図1は本発明による圧電素子アクチュエータ
の断面図である。1はリング状の圧電素子(例えばPZ
T)1aが積層して形成された圧電素子アクチュエータ
の本体であり、2はこの本体1をその外周部回りの所定
隙間3が形成されるように取り囲むハウジングである。
ハウジング2の下端部には貫通穴部2aが形成され、こ
の貫通穴部2aを通して油密にシールされたプランジャ
4が挿入されている。本体1の上端部は、第一シム5を
介してハウジング2の内部上壁に当接し、また下端部は
第二シム6介してプランジャ4の上部に設けられた位置
調整用プレート7に当接している。
1 is a sectional view of a piezoelectric element actuator according to the present invention. 1 is a ring-shaped piezoelectric element (for example, PZ
T) is a main body of the piezoelectric element actuator formed by laminating 1a, and 2 is a housing that surrounds the main body 1 so that a predetermined gap 3 around the outer periphery thereof is formed.
A through hole 2a is formed at the lower end of the housing 2, and an oiltightly sealed plunger 4 is inserted through the through hole 2a. The upper end of the main body 1 contacts the inner upper wall of the housing 2 via the first shim 5, and the lower end contacts the position adjusting plate 7 provided on the upper portion of the plunger 4 via the second shim 6. ing.

【0008】8a及び8bは、圧電素子アクチュエータ
の本体1に電圧を供給するための絶縁被覆されたリード
線であり、ハウジング2外部へ油密にシールされて延在
し制御装置(図示せず)を介してバッテリ(図示せず)
に接続される。リード線8a及び8bの圧電素子側端部
は、絶縁被覆が除去されており、ハウジング2に対する
絶縁を維持するために、圧電素子アクチュエータの本体
1回りには、絶縁層9が形成されると共に、ハウジング
2内部にはシリコンオイル等の絶縁油が充填されてい
る。
Reference numerals 8a and 8b denote lead wires covered with an insulating material for supplying a voltage to the main body 1 of the piezoelectric element actuator. Via battery (not shown)
Connected to. Insulating coatings are removed from the ends of the lead wires 8a and 8b on the piezoelectric element side, and in order to maintain insulation with respect to the housing 2, an insulating layer 9 is formed around the main body 1 of the piezoelectric element actuator. The inside of the housing 2 is filled with insulating oil such as silicone oil.

【0009】第一シム5には、リング状の圧電素子1a
の内側穴部と同心で略同一内径を有する貫通穴5aが形
成され、さらにハウジング2側表面には、それより大き
な内径を有するざぐり穴5bと、このざくり穴5bと前
述の所定隙間3とを連通するために、複数の放射状通路
から構成される第一連通路5cが設けられている。第二
シム6には、第一シム5と同様な貫通穴6a及び位置調
整用プレート7側表面の第二連通路6cが設けられてい
る。
The first shim 5 has a ring-shaped piezoelectric element 1a.
Is formed with a through hole 5a which is concentric with the inner hole portion and has substantially the same inner diameter, and further has a counterbore hole 5b having a larger inner diameter, and the counterbore hole 5b and the above-mentioned predetermined gap 3 on the surface of the housing 2 side. To communicate with each other, a first series of passages 5c composed of a plurality of radial passages is provided. The second shim 6 is provided with a through hole 6a similar to the first shim 5 and a second communication passage 6c on the surface of the position adjusting plate 7 side.

【0010】第一シム5のざぐり穴5bと対向してハウ
ジング2にはざぐり穴2bが形成され、このざぐり穴2
bには第一シム5のざぐり穴5b内において貫通穴5a
を閉鎖するように第一スプリング10により付勢された
ポペット状の第一弁体11が挿入されている。第一弁体
11の壁部には貫通穴11aが設けられ、絶縁油がハウ
ジング2のざぐり穴2b内に確実に侵入するようになっ
ている。
A counterbore hole 2b is formed in the housing 2 so as to face the counterbore hole 5b of the first shim 5, and the counterbore hole 2 is formed.
b is a through hole 5a in the counterbore 5b of the first shim 5
A poppet-shaped first valve body 11 urged by a first spring 10 so as to close is inserted. A through hole 11a is provided in the wall portion of the first valve body 11 so that the insulating oil can surely enter the counterbore hole 2b of the housing 2.

【0011】また、第二シム6の位置調整用プレート7
側表面には段部6dが形成され、板状の第二弁体12
は、その穴明底板が第二スプリング13によってこの段
部6dの上面に当接するように付勢されると共に、その
筒状側板がハウジング2の内側側壁と略同一の外径を有
してそれに接触するように配置されている。以上の組み
立てを可能にするために、ハウジング2は貫通穴部2a
を有する底部と基部に分割されており、両者はハウジン
グ2を取り囲む一対の雄ねじ部材14aと雌ねじ部材1
4bとの嵌合によって確実に連結されている。
The position adjusting plate 7 of the second shim 6
A step portion 6d is formed on the side surface, and the plate-shaped second valve body 12 is formed.
Is urged by the second spring 13 so that the perforated bottom plate abuts the upper surface of the step 6d, and the tubular side plate has an outer diameter substantially the same as the inner side wall of the housing 2 It is placed in contact. In order to enable the above assembly, the housing 2 has a through hole 2a.
Is divided into a bottom portion and a base portion, each of which has a pair of male screw member 14a and female screw member 1 that surround the housing 2.
It is surely connected by fitting with 4b.

【0012】圧電素子アクチュエータは、例えば、内燃
機関の燃料噴射弁のための非常に応答性の優れたアクチ
ュエータとして使用される。燃料噴射が停止される時に
は、圧電素子アクチュエータの本体1に数100V程度
の設定正電圧が印加され、個々の圧電素子1aが充電さ
れて伸張するために、燃料噴射弁側に設けられたスプリ
ング(図示せず)に逆らってプランジャ4が図1に示す
位置に押し下げられ、燃料噴射弁を閉弁させる。一方、
燃料噴射が開始される時には、設定負電圧の印加又は電
圧印加中止により圧電素子1aの放電が実現されて収縮
するために、プランジャ4が図1に示す位置から前述の
スプリングによって押し上げられ、燃料噴射弁を開弁さ
せる。
Piezoelectric actuators are used, for example, as very responsive actuators for fuel injection valves in internal combustion engines. When fuel injection is stopped, a set positive voltage of about several hundred volts is applied to the main body 1 of the piezoelectric element actuator, and each piezoelectric element 1a is charged and expanded, so that a spring (provided on the fuel injection valve side ( (Not shown), the plunger 4 is pushed down to the position shown in FIG. 1 to close the fuel injection valve. on the other hand,
When the fuel injection is started, the piezoelectric element 1a is discharged by the application of the set negative voltage or the application of the voltage is stopped, and the piezoelectric element 1a contracts. Therefore, the plunger 4 is pushed up from the position shown in FIG. Open the valve.

【0013】本実施例の圧電素子アクチュエータは、前
述したように、各圧電素子1aの内側穴部によって形成
される圧電素子アクチュエータの本体1における内部空
間15とこの本体1の外側の所定隙間3とが、第一シム
5の第一連通路5c及び第二シム6の第二連通路6cに
よって互いに連通されて、内部空間15内の絶縁油が、
第一連通路5c、所定隙間3、及び第二連通路6cを通
って内部空間15に戻るような循環を可能にする循環通
路が形成され、この循環通路にはこの循環方向にだけ開
弁可能な二つの弁体11及び12が配置されている。
In the piezoelectric element actuator of this embodiment, as described above, the internal space 15 in the main body 1 of the piezoelectric element actuator formed by the inner hole of each piezoelectric element 1a and the predetermined gap 3 outside the main body 1 are provided. Are communicated with each other by the first series passage 5c of the first shim 5 and the second communication passage 6c of the second shim 6, so that the insulating oil in the internal space 15 becomes
A circulation passage is formed which allows circulation to return to the internal space 15 through the first series passage 5c, the predetermined gap 3, and the second communication passage 6c, and the circulation passage can be opened only in this circulation direction. Two valve bodies 11 and 12 are arranged.

【0014】これらの二つの弁体11及び12によって
分割される循環通路における本体1の内部空間を含む第
一区画は、本体1のプランジャ4側端部近傍を含むため
に、その大きな変位を利用することにより、前述の本体
1の伸縮に応じてその容積を顕著に増減させることが可
能であり、本実施例において、板状の第二弁体12がこ
の変位を有効に利用する手段として使用される。
Since the first compartment including the internal space of the main body 1 in the circulation passage divided by these two valve bodies 11 and 12 includes the vicinity of the end of the main body 1 on the plunger 4 side, its large displacement is utilized. By doing so, it is possible to remarkably increase or decrease the volume according to the expansion and contraction of the main body 1. In the present embodiment, the plate-shaped second valve body 12 is used as a means for effectively utilizing this displacement. To be done.

【0015】圧電素子アクチュエータの本体1が収縮す
る時、それに伴い第二スプリング13によって第二弁体
12が上昇するために、前述の第一区画の容積は増大す
ると共に、もう一方の第二区画の容積は減少する。それ
により第一区画内の絶縁油圧力は低下すると共に第二区
画内の圧力は高まり、この第二スプリング13のバネ定
数は比較的小さく設定されているために、第二弁体12
は、両区画の圧力差によって容易に開弁され、第二区画
から第一区画へ第二弁体12を介して絶縁油が流れ、両
区画がほぼ同一圧力となった時に、第二スプリング13
によって閉弁される。この時、第一弁体11にも同様な
圧力差が作用するが、第二区画側の圧力の方が高いため
に、それが開弁されることはない。
When the main body 1 of the piezoelectric element actuator contracts, the second spring 13 raises the second valve body 12 accordingly, so that the volume of the first compartment increases and the second compartment of the other compartment increases. The volume of is reduced. As a result, the pressure of the insulating oil in the first compartment decreases and the pressure in the second compartment increases, and the spring constant of the second spring 13 is set to be relatively small.
Is easily opened by the pressure difference between the two compartments, the insulating oil flows from the second compartment to the first compartment through the second valve body 12, and when the two compartments have almost the same pressure, the second spring 13
Closed by. At this time, a similar pressure difference acts on the first valve body 11, but it is not opened because the pressure on the second partition side is higher.

【0016】この状態から、圧電素子アクチュエータの
本体1が伸張する時には、それに伴い第二弁体12が下
降するために、前述の第一区画の容積は減少すると共
に、もう一方の第二区画の容積は増大する。それにより
第一区画内の絶縁油圧力は高まると共に第二区画内の圧
力は低下し、第一スプリング10のバネ定数も比較的小
さく設定されているために、第一弁体11は、両区画の
圧力差によって容易に開弁され、第一区画から第二区画
へ第一弁体11を介して絶縁油が流れ、両区画がほぼ同
一圧力となった時に、第一スプリング10によって閉弁
される。この時、第二弁体12にも同様な圧力差が作用
するが、第一区画側の圧力の方が高いために、それが開
弁されることはない。
From this state, when the main body 1 of the piezoelectric element actuator expands, the second valve body 12 descends accordingly, so that the volume of the first compartment decreases and the volume of the other second compartment increases. The volume increases. As a result, the insulating oil pressure in the first compartment increases and the pressure in the second compartment decreases, and the spring constant of the first spring 10 is set to be relatively small. Is easily opened by the pressure difference between the first compartment and the insulating oil flows from the first compartment to the second compartment through the first valve element 11, and when both compartments have almost the same pressure, the first spring 10 closes the valve. It At this time, a similar pressure difference acts on the second valve body 12, but it is not opened because the pressure on the first partition side is higher.

【0017】このように、圧電素子アクチュエータの本
体1の伸縮によって、絶縁油は、内部空間15から、第
一連通路5c、所定隙間3、及び第二連通路6cを通っ
て内部空間15に戻る循環通路に沿って循環するため
に、作動時に発熱する圧電素子アクチュエータの本体1
は、このように循環する絶縁油によって、その中心部を
含み均一温度分布を有するように冷却される。それによ
り、その温度に応じて変位量が変化する圧電素子アクチ
ュエータに対して一般的に実行される温度補正を含む駆
動制御を正確なものとすることができる。また、このよ
うな均一温度分布を実現することにより、圧電素子1a
内に熱応力が発生することは防止され、その耐久性を向
上させることができる。
As described above, due to the expansion and contraction of the main body 1 of the piezoelectric element actuator, the insulating oil returns from the internal space 15 to the internal space 15 through the first series passage 5c, the predetermined gap 3 and the second communication passage 6c. Main body 1 of the piezoelectric element actuator that generates heat during operation because it circulates along the circulation passage
The insulating oil thus circulated is cooled so as to have a uniform temperature distribution including its central portion. As a result, it is possible to make accurate drive control including temperature correction, which is generally executed for the piezoelectric element actuator whose displacement amount changes according to the temperature. Further, by realizing such a uniform temperature distribution, the piezoelectric element 1a
It is possible to prevent thermal stress from being generated inside and improve its durability.

【0018】本実施例は、このような圧電素子アクチュ
エータの本体1の冷却を実現する冷媒(絶縁油)の循環
が、本体1の伸縮によって自動的に行われるようになっ
ており、電動ポンプ等を使用しないために、装置自身が
簡素化されると共にコストアップすることはない。
In this embodiment, the circulation of the refrigerant (insulating oil) for cooling the main body 1 of the piezoelectric element actuator is automatically performed by the expansion and contraction of the main body 1, such as an electric pump. Since the device is not used, the device itself is simplified and the cost is not increased.

【0019】本実施例において、第二弁体12は本体1
の伸縮に応じて上下動するように構成され、前述の第一
区画の容積を変化させるのに使用されるが、これは本発
明を特に限定するものではなく、例えば、所定隙間3の
特定高さ位置における全周を閉鎖可能なリードバルブに
置き換えるこも可能であり、この場合において、前述の
第一区画に相当する区画の容積は、例えば本体1の断面
積とプランジャ4の断面積との差を利用することによ
り、本体1の伸張時に減少又は増加させ、収縮時に増加
又は減少させることができ、もう一方の区画に特に逆の
容積変化を発生させなくても同様な冷媒の循環を実現さ
せることが可能である。
In this embodiment, the second valve body 12 is the main body 1
It is configured to move up and down according to the expansion and contraction of the first partition, and is used to change the volume of the above-mentioned first section, but this does not particularly limit the present invention, and for example, the specific height of the predetermined gap 3 is It is also possible to replace the reed valve that can close the entire circumference in the S position, and in this case, the volume of the section corresponding to the above-mentioned first section is, for example, the difference between the sectional area of the main body 1 and the sectional area of the plunger 4. By using, it is possible to decrease or increase when the main body 1 extends and increase or decrease when the main body 1 contracts, and to realize similar refrigerant circulation without causing the opposite volume change in the other compartment. It is possible.

【0020】また、二つの弁体11及び12の循環通路
における位置は、本実施例の位置に限定されず、これら
が同一方向に開弁するようになっていて、これらにより
分割される区画の容積が、圧電素子アクチュエータの本
体1の伸縮に応じて増減するようになっていれば、自由
に配置することが可能である。また、本実施例におい
て、冷媒として絶縁油を利用したが、絶縁層9による絶
縁を完全なものとすることにより、さらに良好な冷却性
能を有する冷媒を使用することも可能である。
Further, the positions of the two valve bodies 11 and 12 in the circulation passage are not limited to the positions of this embodiment, and they are designed to open in the same direction, and the positions of the sections divided by them are divided. If the volume is increased or decreased according to the expansion and contraction of the main body 1 of the piezoelectric element actuator, the piezoelectric element actuator can be freely arranged. Further, although the insulating oil is used as the refrigerant in the present embodiment, it is possible to use the refrigerant having the better cooling performance by completely insulating the insulating layer 9.

【0021】[0021]

【発明の効果】このように本発明による圧電素子アクチ
ュエータによれば、圧電素子アクチュエータの本体の上
端部側の第一連通路及び下端部側の第二連通路によっ
て、ハウジング内に充填された冷媒が本体の内部空間か
らその外周部回りの所定隙間を通りこの内部空間に戻る
冷媒循環通路が形成され、この冷媒循環通路に設置され
た少なくとも二つの同方向逆止弁を使用して本体の伸縮
に伴いその容積が増減する区画が形成されるために、こ
の区画の容積減少時には一方の逆止弁を介してこの区画
から他の区画へ冷媒が排出され、この区画の容積増加時
には他方の逆止弁を介して他の区画からこの区画へ冷媒
が供給されるために、圧電素子アクチュエータのコスト
アップ及び複雑化をもたらす電動ポンプ等を使用するこ
となく、冷媒が本体の伸縮を利用して冷媒循環通路に沿
って循環して、圧電素子アクチュエータの中央部と外周
部とを均一温度に冷却することができる。
As described above, according to the piezoelectric element actuator of the present invention, the refrigerant filled in the housing by the first series passage on the upper end side and the second communication passage on the lower end side of the body of the piezoelectric element actuator. A refrigerant circulation passage is formed from the internal space of the main body to the internal space through a predetermined gap around the outer periphery of the main body, and at least two same-direction check valves installed in the refrigerant circulation passage are used to expand and contract the main body. As a result, a compartment whose volume increases and decreases is formed, so when the volume of this compartment decreases, the refrigerant is discharged from this compartment to the other compartment via one check valve, and when the volume of this compartment increases, the other Refrigerant is supplied from other compartments to this compartment through a stop valve, so that the refrigerant can be supplied to the main body without using an electric pump or the like that increases the cost and complexity of the piezoelectric actuator. By using the stretch circulated along the refrigerant circulation passage, it is possible to cool the central portion and the peripheral portion of the piezoelectric element actuator uniform temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明による圧電素子アクチュエータの断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a piezoelectric element actuator according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…圧電素子アクチュエータの本体 2…ハウジング 3…所定隙間 4…プランジャ 5…第一シム 5c…第一連通路 6…第二シム 6c…第二連通路 11…第一弁体 12…第二弁体 15…内部空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Main body of piezoelectric element actuator 2 ... Housing 3 ... Predetermined gap 4 ... Plunger 5 ... First shim 5c ... First series passage 6 ... Second shim 6c ... Second communication passage 11 ... First valve body 12 ... Second valve Body 15 ... Internal space

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 リング状の圧電素子を積層して形成され
る圧電素子アクチュエータの本体と、前記本体をその外
周部回りに所定隙間を形成するように取り囲み前記本体
の上端部を支持するハウジングと、前記本体の軸線方向
に前記ハウジングを貫通して前記本体の下端部に当接す
るプランジャと、前記ハウジング内に充填された冷媒
と、前記冷媒が前記本体の内部空間から前記所定隙間を
通り前記内部空間に戻る冷媒循環通路を形成するための
前記本体の上端部側の第一連通路及び前記本体の下端部
側の第二連通路、とを具備し、前記冷媒循環通路に設置
された少なくとも二つの同方向逆止弁を使用して前記本
体の伸縮に伴いその容積が増減する区画を形成すること
を特徴とする圧電素子アクチュエータ。
1. A main body of a piezoelectric element actuator formed by stacking ring-shaped piezoelectric elements, and a housing surrounding the main body so as to form a predetermined gap around the outer peripheral portion thereof and supporting an upper end portion of the main body. A plunger that penetrates the housing in the axial direction of the main body and contacts the lower end of the main body; a refrigerant filled in the housing; and the refrigerant passing through the predetermined gap from the internal space of the main body A first series passage on the upper end side of the body and a second communication passage on the lower end side of the body for forming a refrigerant circulation passage returning to the space; and at least two installed in the refrigerant circulation passage. A piezoelectric element actuator, wherein two same-direction check valves are used to form a section whose volume increases and decreases as the main body expands and contracts.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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