JPH0781978A - ガラス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜 - Google Patents
ガラス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜Info
- Publication number
- JPH0781978A JPH0781978A JP5172182A JP17218293A JPH0781978A JP H0781978 A JPH0781978 A JP H0781978A JP 5172182 A JP5172182 A JP 5172182A JP 17218293 A JP17218293 A JP 17218293A JP H0781978 A JPH0781978 A JP H0781978A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- antireflection film
- film
- water
- repellent
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス製光学部品表面に高性能かつ耐擦傷性
に優れた撥水性を付与する反射防止膜を得る。 【構成】 高真空の真空蒸着装置でガラス基板へ第１層
から成る反射防止膜を蒸着した。撥水層として、第２層
目に、透明フッ素樹脂を形成した。この後、加熱炉に入
れて１８０℃で１時間の硬化を行った。
に優れた撥水性を付与する反射防止膜を得る。 【構成】 高真空の真空蒸着装置でガラス基板へ第１層
から成る反射防止膜を蒸着した。撥水層として、第２層
目に、透明フッ素樹脂を形成した。この後、加熱炉に入
れて１８０℃で１時間の硬化を行った。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、撥水性を有する反射防
止膜に関する。
止膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス表面に金属酸化物，金属フ
ッ化物および金属窒化物等の薄膜からなる反射防止膜を
形成する方法が知られている。この方法は、光学レン
ズ，眼鏡レンズおよびフィルター等の光学部品に用いら
れている。一般に、反射防止膜は真空蒸着法により形成
するものであり、無機ガラスの場合には無機ガラスを加
熱して蒸着することが出来るので無機ガラスと蒸着膜と
の密着性が良く、強固な膜が形成可能である。
ッ化物および金属窒化物等の薄膜からなる反射防止膜を
形成する方法が知られている。この方法は、光学レン
ズ，眼鏡レンズおよびフィルター等の光学部品に用いら
れている。一般に、反射防止膜は真空蒸着法により形成
するものであり、無機ガラスの場合には無機ガラスを加
熱して蒸着することが出来るので無機ガラスと蒸着膜と
の密着性が良く、強固な膜が形成可能である。
【０００３】しかしながら、高湿度下において光学部品
を使用する場合、光学部品表面に水分の付着によるクモ
リが発生したり、人体との接触等により付着する油分が
取れにくいといった問題があった。
を使用する場合、光学部品表面に水分の付着によるクモ
リが発生したり、人体との接触等により付着する油分が
取れにくいといった問題があった。
【０００４】こうした問題点を解決すべく、例えば、類
似技術として特開昭６４−８６１０１号公報に示すよう
に、基板表面に設けた反射防止膜の最表層ＳｉＯ2 の低
屈折率上に有機ケイ素置換基を含む化合物を形成する技
術が提案されている。上記膜構成は、撥水性および撥油
性を有し、反射防止性を損なわないという特徴を持つも
のである。
似技術として特開昭６４−８６１０１号公報に示すよう
に、基板表面に設けた反射防止膜の最表層ＳｉＯ2 の低
屈折率上に有機ケイ素置換基を含む化合物を形成する技
術が提案されている。上記膜構成は、撥水性および撥油
性を有し、反射防止性を損なわないという特徴を持つも
のである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記特開昭
６４−８６１０１号公報記載の撥水膜を施した反射防止
膜の構成では、ガラス基板上に施すには充分な光学特性
が望めない。反射防止膜の最表層ＳｉＯ2 は屈折率が
１．４６と高めであり、加えて撥水層として形成される
有機ケイ素置換基を含む化合物も屈折率がおよそ１．４
５と高めである。
６４−８６１０１号公報記載の撥水膜を施した反射防止
膜の構成では、ガラス基板上に施すには充分な光学特性
が望めない。反射防止膜の最表層ＳｉＯ2 は屈折率が
１．４６と高めであり、加えて撥水層として形成される
有機ケイ素置換基を含む化合物も屈折率がおよそ１．４
５と高めである。
【０００６】これでは、光学部品に施すには充分な光学
特性を得る事は出来ない。また、前記有機ケイ素置換基
を含む化合物を金属フッ化物上に形成して撥水性を有す
る反射防止膜を作成した場合、膜厚にかかわらず、金属
フッ化物と撥水膜との密着性が悪く耐擦傷性に劣るた
め、撥水性に劣化がみられる。
特性を得る事は出来ない。また、前記有機ケイ素置換基
を含む化合物を金属フッ化物上に形成して撥水性を有す
る反射防止膜を作成した場合、膜厚にかかわらず、金属
フッ化物と撥水膜との密着性が悪く耐擦傷性に劣るた
め、撥水性に劣化がみられる。
【０００７】因って、本発明は前記従来技術における欠
点に鑑みて開発されたもので、ガラス製光学部品の表面
に優れた撥水性と耐擦傷性とを有する撥水膜を施した優
れた光学特性を有する反射防止膜を提供することを目的
とする。
点に鑑みて開発されたもので、ガラス製光学部品の表面
に優れた撥水性と耐擦傷性とを有する撥水膜を施した優
れた光学特性を有する反射防止膜を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガラス基板の
表面に形成した反射防止膜上に、透明フッ素樹脂をフッ
素系溶剤等で希釈して光学的膜厚にして１０ｎｍ以下の
所望の膜厚で形成する。反射防止膜を構成する材料は金
属酸化物，金属フッ化物および金属窒化物などであり、
反射防止膜の最上層の低屈折材料は、ＭｇＦ2 ，ＡｌＦ
3 ，ＢａＦ2 ，ＬｉＦ，ＣａＦ2 ，Ｎａ3 ＡｌＦ6 およ
びＮａ5 Ａｌ3 Ｆ14等の金属フッ化物で構成される。
表面に形成した反射防止膜上に、透明フッ素樹脂をフッ
素系溶剤等で希釈して光学的膜厚にして１０ｎｍ以下の
所望の膜厚で形成する。反射防止膜を構成する材料は金
属酸化物，金属フッ化物および金属窒化物などであり、
反射防止膜の最上層の低屈折材料は、ＭｇＦ2 ，ＡｌＦ
3 ，ＢａＦ2 ，ＬｉＦ，ＣａＦ2 ，Ｎａ3 ＡｌＦ6 およ
びＮａ5 Ａｌ3 Ｆ14等の金属フッ化物で構成される。
【０００９】なお、これらの反射防止膜の成膜方法は、
真空蒸着法，イオンプレーティング法およびスパッタリ
ング法などに限定されない。撥水膜として用いるフッ素
樹脂は透明な熱硬化型の特性を持ち、反射防止膜上に光
学的膜厚にして１０ｎｍ以下の所望の膜厚を形成するよ
うにフッ素系溶剤等で希釈した透明フッ素樹脂をディッ
ピング法（浸漬）あるいはスピンナー法において形成し
た後、８０℃以上で加熱することにより硬化させ、所望
の膜厚を形成する。
真空蒸着法，イオンプレーティング法およびスパッタリ
ング法などに限定されない。撥水膜として用いるフッ素
樹脂は透明な熱硬化型の特性を持ち、反射防止膜上に光
学的膜厚にして１０ｎｍ以下の所望の膜厚を形成するよ
うにフッ素系溶剤等で希釈した透明フッ素樹脂をディッ
ピング法（浸漬）あるいはスピンナー法において形成し
た後、８０℃以上で加熱することにより硬化させ、所望
の膜厚を形成する。
【００１０】
【作用】係る構成のガラス製光学部品における撥水性を
有する反射防止膜において、空気側から１層目は透明フ
ッ素樹脂からなる。１０ｎｍ以下の光学的膜厚で構成さ
れた上記撥水層は、加熱前、モノマーの状態で反射防止
膜上に存在するが、８０℃以上の加熱を行うことによ
り、個々で存在したモノマーが結合を成し、強固な非晶
質ポリマーを形成する。同時に、反射防止膜の最表層中
のフッ素と非晶質ポリマーとの架橋反応がおこり、反射
防止膜と撥水膜との密着が化学的に向上されることによ
り耐久性が向上する。
有する反射防止膜において、空気側から１層目は透明フ
ッ素樹脂からなる。１０ｎｍ以下の光学的膜厚で構成さ
れた上記撥水層は、加熱前、モノマーの状態で反射防止
膜上に存在するが、８０℃以上の加熱を行うことによ
り、個々で存在したモノマーが結合を成し、強固な非晶
質ポリマーを形成する。同時に、反射防止膜の最表層中
のフッ素と非晶質ポリマーとの架橋反応がおこり、反射
防止膜と撥水膜との密着が化学的に向上されることによ
り耐久性が向上する。
【００１１】また、反射防止膜の最表層として屈折率の
低い金属フッ化物を用いることにより、優れた光学特性
を得る事が出来る。本撥水性を有する反射防止膜に使用
する透明フッ素樹脂は、フッ素系溶剤等を用いて容易に
希釈できる特性から所望の膜厚にコントロールが可能で
あり、超薄膜での制御が可能である。
低い金属フッ化物を用いることにより、優れた光学特性
を得る事が出来る。本撥水性を有する反射防止膜に使用
する透明フッ素樹脂は、フッ素系溶剤等を用いて容易に
希釈できる特性から所望の膜厚にコントロールが可能で
あり、超薄膜での制御が可能である。
【００１２】従って、上記透明フッ素樹脂を１０ｎｍ以
下の光学的膜厚で構成することにより、撥水性と膜の擦
傷性を損なわず、光学的に影響を及ぼさない成膜が可能
である。この膜厚を越えて厚くなると、撥水膜の耐擦傷
性は劣化し、擦傷により削り取られることから、問題と
なるレベルで初期と異なった光学特性を示す。
下の光学的膜厚で構成することにより、撥水性と膜の擦
傷性を損なわず、光学的に影響を及ぼさない成膜が可能
である。この膜厚を越えて厚くなると、撥水膜の耐擦傷
性は劣化し、擦傷により削り取られることから、問題と
なるレベルで初期と異なった光学特性を示す。
【００１３】
【実施例】以下、本発明のガラス製光学部品における撥
水性を有する反射防止膜を実施例により具体的に説明
し、後に記載する試験にしたがい評価した。
水性を有する反射防止膜を実施例により具体的に説明
し、後に記載する試験にしたがい評価した。
【００１４】
【実施例１】本実施例は、直径３０ｍｍのガラス基板
（ＳＣＨＯＴＴ製 ＢＫ７）をチャンバー径５６０ｍｍ
の真空蒸着装置にセットした後、真空チャンバー内を１
×１０-5Ｔｏｒｒ以下の高真空に排気する。排気系に
は、コールドトラップ付きのディフュージョンポンプあ
るいはクライオポンプを使用する。基板加熱を３００℃
で１時間行い、電子線加熱法により、蒸着速度０．５〜
１．０ｎｍ／ｓｅｃの条件で表１における基板より第１
層から成る反射防止膜を蒸着した。
（ＳＣＨＯＴＴ製 ＢＫ７）をチャンバー径５６０ｍｍ
の真空蒸着装置にセットした後、真空チャンバー内を１
×１０-5Ｔｏｒｒ以下の高真空に排気する。排気系に
は、コールドトラップ付きのディフュージョンポンプあ
るいはクライオポンプを使用する。基板加熱を３００℃
で１時間行い、電子線加熱法により、蒸着速度０．５〜
１．０ｎｍ／ｓｅｃの条件で表１における基板より第１
層から成る反射防止膜を蒸着した。
【００１５】撥水層として、第２層目に、光学的膜厚で
９．５ｎｍの透明フッ素樹脂（旭硝子（株）サイトッ
プ）をスピンナーを用いて形成した。蒸着後充分に洗浄
した基板をスピンナー回転部にセットし、０．００５重
量％に希釈した溶剤をスピンナー回転中心部に０．５ｍ
ｌ滴下し、第１次回転数を３０００ＲＰＭで１ｓｅｃ、
第２次回転数を５０００ＲＰＭで４ｓｅｃ回転させた。
得た基板を加熱炉に入れて１８０℃で１時間の硬化を行
った。こうして表１からなり、分光特性が図１である実
施例１のガラス製光学部品における撥水性を有する反射
防止膜を製造した。
９．５ｎｍの透明フッ素樹脂（旭硝子（株）サイトッ
プ）をスピンナーを用いて形成した。蒸着後充分に洗浄
した基板をスピンナー回転部にセットし、０．００５重
量％に希釈した溶剤をスピンナー回転中心部に０．５ｍ
ｌ滴下し、第１次回転数を３０００ＲＰＭで１ｓｅｃ、
第２次回転数を５０００ＲＰＭで４ｓｅｃ回転させた。
得た基板を加熱炉に入れて１８０℃で１時間の硬化を行
った。こうして表１からなり、分光特性が図１である実
施例１のガラス製光学部品における撥水性を有する反射
防止膜を製造した。
【００１６】
【表１】
【００１７】本実施例の反射防止膜について、撥水性お
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図２に示す。本実施例のガラ
ス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜は、高
い撥水性と優れた耐擦傷性を示し、分光特性にも劣化が
みられなかった。
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図２に示す。本実施例のガラ
ス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜は、高
い撥水性と優れた耐擦傷性を示し、分光特性にも劣化が
みられなかった。
【００１８】
【実施例２】本実施例は、前記実施例１と同様の手法を
用いて表２の膜厚で２層からなる反射防止膜を成膜した
後、撥水層として、第３層目に、０．００６重量％に希
釈した透明フッ素樹脂（旭硝子（株）サイトップ）をス
ピンナーを用いて光学的膜厚で１０ｎｍ形成し、表２か
らなり、分光特性が図３である実施例２のガラス製光学
部品における撥水性を有する反射防止膜を製造した。
用いて表２の膜厚で２層からなる反射防止膜を成膜した
後、撥水層として、第３層目に、０．００６重量％に希
釈した透明フッ素樹脂（旭硝子（株）サイトップ）をス
ピンナーを用いて光学的膜厚で１０ｎｍ形成し、表２か
らなり、分光特性が図３である実施例２のガラス製光学
部品における撥水性を有する反射防止膜を製造した。
【００１９】
【表２】
【００２０】本実施例の反射防止膜について、撥水性お
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図４に示す。前記実施例１と
同様に、本実施例のガラス製光学部品における撥水性を
有する反射防止膜も、高い撥水性と優れた耐擦傷性を示
し、分光特性にも変化がみられなかった。
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図４に示す。前記実施例１と
同様に、本実施例のガラス製光学部品における撥水性を
有する反射防止膜も、高い撥水性と優れた耐擦傷性を示
し、分光特性にも変化がみられなかった。
【００２１】
【実施例３】本実施例は、直径３０ｍｍのガラス基板
（ＳＣＨＯＴＴ製 ＢＫ１１）を前記実施例１と同様の
条件で表３における基板より第１層から第３層の反射防
止膜を蒸着した。撥水層として、第４層目に、７ｎｍの
光学的膜厚で透明フッ素樹脂（旭硝子（株）サイトッ
プ）をディッピングにより形成した。蒸着後充分に洗浄
した基板をホルダーにセットし、０．１重量％に希釈し
た溶剤に浸漬させ、成膜面に平行に６ｃｍ／分で引き上
げる。得た基板を加熱炉にいれ、１８０℃で１時間の硬
化を行った。こうして表３からなり、分光特性が図５で
ある実施例３のガラス製光学部品における撥水性を有す
る反射防止膜を製造した。
（ＳＣＨＯＴＴ製 ＢＫ１１）を前記実施例１と同様の
条件で表３における基板より第１層から第３層の反射防
止膜を蒸着した。撥水層として、第４層目に、７ｎｍの
光学的膜厚で透明フッ素樹脂（旭硝子（株）サイトッ
プ）をディッピングにより形成した。蒸着後充分に洗浄
した基板をホルダーにセットし、０．１重量％に希釈し
た溶剤に浸漬させ、成膜面に平行に６ｃｍ／分で引き上
げる。得た基板を加熱炉にいれ、１８０℃で１時間の硬
化を行った。こうして表３からなり、分光特性が図５で
ある実施例３のガラス製光学部品における撥水性を有す
る反射防止膜を製造した。
【００２２】
【表３】
【００２３】本実施例の反射防止膜について、撥水性お
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図６に示す。前記実施例１と
同様に本実施例のガラス製光学部品における撥水性を有
する反射防止膜も、高い撥水性と優れた耐擦傷性を示
し、分光特性にも変化がみられなかった。
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図６に示す。前記実施例１と
同様に本実施例のガラス製光学部品における撥水性を有
する反射防止膜も、高い撥水性と優れた耐擦傷性を示
し、分光特性にも変化がみられなかった。
【００２４】
【比較例１】実施例１において、撥水膜を形成せず、表
４の膜厚で、分光特性が図７である反射防止膜を比較例
１とする。比較例１の反射防止膜について、撥水性およ
び耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐擦
傷性試験後の分光特性を図８に示す。比較例１の反射防
止膜は、耐擦傷性は良いものの、撥水性を示さなかっ
た。
４の膜厚で、分光特性が図７である反射防止膜を比較例
１とする。比較例１の反射防止膜について、撥水性およ
び耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐擦
傷性試験後の分光特性を図８に示す。比較例１の反射防
止膜は、耐擦傷性は良いものの、撥水性を示さなかっ
た。
【００２５】
【表４】
【００２６】
【比較例２】実施例１と同様の手法を用いて表５の膜厚
で反射防止膜を成膜した後、撥水層として、第３層目に
０．００７重量％に希釈した透明フッ素樹脂（旭硝子
（株）サイトップ）をスピンナーを用いて光学的膜厚で
１０．５ｎｍ形成することにより、図９の分光特性を
得、比較例２のガラス製光学部品における撥水性を有す
る反射防止膜を製造した。
で反射防止膜を成膜した後、撥水層として、第３層目に
０．００７重量％に希釈した透明フッ素樹脂（旭硝子
（株）サイトップ）をスピンナーを用いて光学的膜厚で
１０．５ｎｍ形成することにより、図９の分光特性を
得、比較例２のガラス製光学部品における撥水性を有す
る反射防止膜を製造した。
【００２７】
【表５】
【００２８】比較例２の反射防止膜について、撥水性お
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図１０に示す。比較例２の反
射防止膜は、撥水膜が厚すぎることから、耐擦傷性試験
により膜の剥離が生じ、分光特性において長波長側の反
射率の増加と共にピークが短波長側へシフトするという
問題となるレベルの変化がみられた。
よび耐擦傷性を評価した結果を表６に示すとともに、耐
擦傷性試験後の分光特性を図１０に示す。比較例２の反
射防止膜は、撥水膜が厚すぎることから、耐擦傷性試験
により膜の剥離が生じ、分光特性において長波長側の反
射率の増加と共にピークが短波長側へシフトするという
問題となるレベルの変化がみられた。
【００２９】得られたガラス製光学部品の性能は、以下
の方法に従って試験を行った。 （１）水に対する静止接触角 接触角計を使用し、室温下で直径１．７ｍｍの水滴を針
先に作り、これをガラス基板に触れさせて水滴を作っ
た。この水滴と面との角度をすばやく測定した。 （２）耐擦傷性 スチールウール（♯０００）をおよそ１５０ｇｆ／ｃｍ
2 の圧力で５０往復こすりつけた後、傷の有無と分光特
性の変化を評価した。
の方法に従って試験を行った。 （１）水に対する静止接触角 接触角計を使用し、室温下で直径１．７ｍｍの水滴を針
先に作り、これをガラス基板に触れさせて水滴を作っ
た。この水滴と面との角度をすばやく測定した。 （２）耐擦傷性 スチールウール（♯０００）をおよそ１５０ｇｆ／ｃｍ
2 の圧力で５０往復こすりつけた後、傷の有無と分光特
性の変化を評価した。
【００３０】本発明のガラス製光学部品における撥水性
を有する反射防止膜は、比較例１，２に比べて高い撥水
性と優れた耐擦傷性を示した。なお、反射防止膜の最表
層が前記各実施例以外の金属フッ化物についても、同様
の効果が得られた。また、反射防止膜において最上層を
除く他の材料は、ＳｉＯ2 ，ＳｉＯ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2
Ｏ3 ，ＴｉＯ，ＴｉＯ2 ，Ｔｉ2 Ｏ3 ，Ｙ2 Ｏ3 ，Ｙｂ
2 Ｏ3 ，ＭｇＯ，Ｔａ2 Ｏ5 ，ＣｅＯ2 ，ＨｆＯ2 等の
酸化物、ＭｇＦ2 ，ＡｌＦ3 ，ＢａＦ3 ，ＬｉＦ，Ｃａ
Ｆ2 ，Ｎａ3 ＡｌＦ6 ，Ｎａ5 Ａｌ3 Ｆ14等のフッ化
物、Ｓｉ3 Ｎ4 等の窒化物、あるいはそれら２種以上の
混合物を用いても同様の効果が得られた。
を有する反射防止膜は、比較例１，２に比べて高い撥水
性と優れた耐擦傷性を示した。なお、反射防止膜の最表
層が前記各実施例以外の金属フッ化物についても、同様
の効果が得られた。また、反射防止膜において最上層を
除く他の材料は、ＳｉＯ2 ，ＳｉＯ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2
Ｏ3 ，ＴｉＯ，ＴｉＯ2 ，Ｔｉ2 Ｏ3 ，Ｙ2 Ｏ3 ，Ｙｂ
2 Ｏ3 ，ＭｇＯ，Ｔａ2 Ｏ5 ，ＣｅＯ2 ，ＨｆＯ2 等の
酸化物、ＭｇＦ2 ，ＡｌＦ3 ，ＢａＦ3 ，ＬｉＦ，Ｃａ
Ｆ2 ，Ｎａ3 ＡｌＦ6 ，Ｎａ5 Ａｌ3 Ｆ14等のフッ化
物、Ｓｉ3 Ｎ4 等の窒化物、あるいはそれら２種以上の
混合物を用いても同様の効果が得られた。
【００３１】
【表６】
【００３２】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明に係るガラス
製光学部品における撥水性を有する反射防止膜によれ
ば、反射防止膜の効果を損なうことのない超薄膜の撥水
膜により、ガラス製光学部品表面に高性能かつ耐擦傷性
に優れた撥水性が付与された。表面エネルギーの低下に
より付着したほこりなどは極めて取り易く、表面に触れ
ることにより付着する人体から分泌される汗や油分等の
有機物も容易に拭き取ることができる。ガラス製光学部
品の汚れを除去するにあたって強く払拭する必要がな
く、反射防止膜を傷つけることもない。以上の優れた特
徴を持つ。
製光学部品における撥水性を有する反射防止膜によれ
ば、反射防止膜の効果を損なうことのない超薄膜の撥水
膜により、ガラス製光学部品表面に高性能かつ耐擦傷性
に優れた撥水性が付与された。表面エネルギーの低下に
より付着したほこりなどは極めて取り易く、表面に触れ
ることにより付着する人体から分泌される汗や油分等の
有機物も容易に拭き取ることができる。ガラス製光学部
品の汚れを除去するにあたって強く払拭する必要がな
く、反射防止膜を傷つけることもない。以上の優れた特
徴を持つ。
【図１】実施例１を示すグラフである。
【図２】実施例１を示すグラフである。
【図３】実施例２を示すグラフである。
【図４】実施例２を示すグラフである。
【図５】実施例３を示すグラフである。
【図６】実施例３を示すグラフである。
【図７】比較例１を示すグラフである。
【図８】比較例１を示すグラフである。
【図９】比較例２を示すグラフである。
【図１０】比較例２を示すグラフである。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１２月２２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス製光学部品の表面に形成される反
射防止膜であって、少なくとも１層以上からなり最上層
が金属フッ化物の反射防止膜の上に、透明フッ素樹脂の
希釈溶液をディッピング法あるいはスピンナー法により
塗布し、加熱硬化することによって形成した光学的膜厚
が１０ｎｍ以下である透明フッ素樹脂の撥水層を有する
ことを特徴とするガラス製光学部品における撥水性を有
する反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5172182A JPH0781978A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ガラス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5172182A JPH0781978A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ガラス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0781978A true JPH0781978A (ja) | 1995-03-28 |
Family
ID=15937102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5172182A Withdrawn JPH0781978A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ガラス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781978A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5851674A (en) * | 1997-07-30 | 1998-12-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
| US6277485B1 (en) | 1998-01-27 | 2001-08-21 | 3M Innovative Properties Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
| JP2007019440A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Pentax Corp | 電子光学機器 |
| KR101394764B1 (ko) * | 2003-12-03 | 2014-05-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법, 그리고 광학 부품 |
| US9846371B2 (en) | 2003-06-13 | 2017-12-19 | Nikon Corporation | Exposure method, substrate stage, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP5172182A patent/JPH0781978A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5851674A (en) * | 1997-07-30 | 1998-12-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
| US6277485B1 (en) | 1998-01-27 | 2001-08-21 | 3M Innovative Properties Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
| US9846371B2 (en) | 2003-06-13 | 2017-12-19 | Nikon Corporation | Exposure method, substrate stage, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| KR101394764B1 (ko) * | 2003-12-03 | 2014-05-27 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 장치, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법, 그리고 광학 부품 |
| US10088760B2 (en) | 2003-12-03 | 2018-10-02 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, method for producing device, and optical part |
| JP2007019440A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Pentax Corp | 電子光学機器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4820751B2 (ja) | 皮膜付き光学レンズの仮の最外皮膜層上に別の皮膜層を成膜もしくはそれにより該最外皮膜層を置換する方法 | |
| AU2002313976B2 (en) | Hybrid film, antireflection film comprising it, optical product, and method for restoring the defogging property of hybrid film | |
| KR100971841B1 (ko) | 방오층을 갖는 렌즈 | |
| CA1293655C (en) | Anti-reflection optical article and process for preparation thereof | |
| US6287683B1 (en) | Anti-fogging coating and optical part using the same | |
| JP4197472B2 (ja) | 防汚性表面層を有するレンズ | |
| JP2000308846A (ja) | 防汚層の形成方法 | |
| JP3760528B2 (ja) | 表示素子用フィルター | |
| AU2007230045A1 (en) | Edging process of lens using transparent coating layer for protecting lens | |
| JPS6280603A (ja) | 反射防止性を有する光学物品及びその製造方法 | |
| JPH04338901A (ja) | Ｃｒｔ用フィルター | |
| JPH0781978A (ja) | ガラス製光学部品における撥水性を有する反射防止膜 | |
| JP3787988B2 (ja) | 反射防止フィルタおよびこの反射防止フィルタを用いた文字画像表示装置 | |
| JP4420476B2 (ja) | 表面改質膜用組成物，表面改質膜，表示装置用フィルター，表示装置及び表示装置用フィルターの製造方法 | |
| JP2004126532A (ja) | 光学部材 | |
| JP3449070B2 (ja) | 汚れ防止処理方法 | |
| JPH11320743A (ja) | 透明部材 | |
| JPH07104102A (ja) | ガラス製光学部品の撥水製反射防止膜およびその製造 方法 | |
| JPH10148701A (ja) | 反射防止フィルタおよびその製造方法ならびにこの反射防止フィルタを用いた表示装置 | |
| JPH1184102A (ja) | 防曇性被覆およびこれを用いた光学部品 | |
| JP3079580B2 (ja) | 光学部品用薄膜及びこれを有する光学部品及びその製造方法 | |
| JPH1192177A (ja) | 撥水処理ガラス及びその製造方法 | |
| EP3177455B1 (fr) | Procédé pour diminuer ou éviter la dégradation d'une couche antisalissure d'un article d'optique | |
| JPH0756003A (ja) | 撥水性を有する光学素子 | |
| JPH09326240A (ja) | 表示素子用反射防止フィルター |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |