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JPH0763862B2 - レーザ加工用ビームベンダ - Google Patents

レーザ加工用ビームベンダ

Info

Publication number
JPH0763862B2
JPH0763862B2 JP62231855A JP23185587A JPH0763862B2 JP H0763862 B2 JPH0763862 B2 JP H0763862B2 JP 62231855 A JP62231855 A JP 62231855A JP 23185587 A JP23185587 A JP 23185587A JP H0763862 B2 JPH0763862 B2 JP H0763862B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
bender
inner ring
outer ring
laser processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62231855A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6475194A (en
Inventor
武二 新井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FANUC Corp
Original Assignee
FANUC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FANUC Corp filed Critical FANUC Corp
Priority to JP62231855A priority Critical patent/JPH0763862B2/ja
Priority to EP19880907819 priority patent/EP0334964A4/en
Priority to US07/348,038 priority patent/US4910378A/en
Priority to KR1019890700820A priority patent/KR920003586B1/ko
Priority to PCT/JP1988/000894 priority patent/WO1989002337A1/ja
Publication of JPS6475194A publication Critical patent/JPS6475194A/ja
Publication of JPH0763862B2 publication Critical patent/JPH0763862B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
    • G02B7/1824—Manual alignment
    • G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/042—Automatically aligning the laser beam

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザビームの方向を変えるレーザ加工用ビー
ムベンダに関し、特にベンダミラーの中心点を移動させ
ずに傾きのみを変化させるようにしたレーザ加工用ビー
ムベンダに関する。
〔従来の技術〕
レーザ加工機ではレーザ発振器で発生したレーザを一旦
ビームベンダで偏向させて、レンズでレーザビームを絞
りワークに照射する。ビームベンダの角度の調整はミラ
ーホルダを３乃至４個のマイクロメータを使用して角度
の調整を行う。
〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、ミラーホルダの調整は相当の熟練を必要とし
て、一旦角度を調整してもベンダミラーの位置がずれ
て、偏向されたレーザビームの照射される位置がずれる
等の問題点があり、ベンダミラーの角度と位置の両者を
正確に調整することは非常に困難であった。
本発明の目的は上記問題点を解決し、ベンダミラーの中
心点を移動させずに傾きのみを変化させるようにしたレ
ーザ加工用ビームベンダを提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明では上記の問題点を解決するために、 レーザビームの方向を変えるレーザ加工用ビームベンダ
において、レーザビームが通過する導光路部材を有し、
該導光路部材に固定され、ベンダミラーの方向を調整す
る微調機構を有するミラーホルダであって、内部にミラ
ー保持部材を有し、該ミラー保持部材は内輪に嵌合さ
れ、該内輪の外面は球面であり、直接或いは球を介し
て、外輪と結合し、外輪の内面は球面であり、内輪は外
輪に対して内輪の中心軸上の点を中心に球面的に回転可
能とし、該点をベンダミラーの反射表面の中心と一致さ
せた、ことを特徴とするレーザ加工用ビームベンダが、
提供される。
〔作用〕
ベンダミラーを保持するミラー保持部材は内輪に嵌合さ
れており、内輪はベンダミラーの反射表面の中心点を中
心として、回転運動を行うように外輪によって規制され
る。従って、ベンダミラーの反射表面の中心は動かず、
ベンダミラーの傾斜角度のみを調整することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のビームベンダの構成図を示
す。図において、１はベースであり、中央にレーザビー
ムが通過する穴を有する。２はフランジであり、ネジ18
によって、ベース１にネジ止めされており、その側面2a
は後述の導光路部材がスライドできるようになってい
る。フランジ２の上部には部材３があり、マイクロメー
タ４が固定されている。５は導光路部材であり、図のよ
うに内部が中空になっており、内部をレーザビーム20が
通過する。導光路部材５はフランジ２の側面2aと接する
面が上下にスライドできるようになっており、マイクロ
メータ４によって、上下にスライドする。
導光路部材５にはミラーホルダ６が固定されている。ミ
ラーホルダ６は内部にベンダミラー７が置かれている。
ミラーホルダ６はマイクロメータ８及び９によって、導
光路部材５に対して、角度を微調整できるようになって
おり、これによってベンダミラー７の角度を調整して、
レーザビーム20の導光路を調整することができる。
ミラーホルダ６の内部にはミラー保持部材10があり、そ
の下側の面にベンダミラー７がＯリング11で固定されて
いる。ミラー保持部材10は自動調心軸受13の内輪に嵌合
している。また、一方の端はバネ12に接しており、マイ
クロメータ８を回転することにより、マイクロメータ８
の軸方向に動く。しかし、ミラー保持部材10は自動調心
軸受13の内輪14に嵌合し、球15a及び15bを介して、外輪
16に内接しているので、その動きは後述のように、外輪
の内球面に沿った動きになる。すなわち、ベンダミラー
７の反射表面の中心Ａ点を中心として、ベンダミラー７
の傾斜角を変化させることができる。
従って、マイクロメータ８とマイクロメータ９を調整す
ることによって、Ａ点を中心としてベンダミラー７を紙
面の平面上でその傾斜角を調整することができる。
この詳細を第２図に示す。図において、第１図と同一部
材には同一の符号が付してあり、その説明は省略する。
ベンダミラー７がマイクロメータ８によって動くと、そ
の動きは自動調心軸受13の固定された外輪16によって規
制され、内輪14の動きは球15a及び15bを介して、外輪16
の内球面に沿った動きとなり、結局球の中心Ａを中心と
した円運動になる。これは紙面と同一平面のみでなく、
紙面と垂直の面でも同様である。7aはベンダミラー７の
反射面が変化した時の位置を示す。
一方、図示されていないが、マイクロメータ８及び９と
同様のマイクロメータが２個所紙面の垂直の方向に設け
られており、紙面と垂直の平面上での傾斜角を変えるこ
とができるように構成されている。
このようにして、ベンダミラー７はその中心位置Ａを変
化させずに、紙面と同一の平面上の傾斜角及び紙面と垂
直な平面上の角度を調整することができるので、ベンダ
ミラー７の角度の傾斜角の調整には十分である。
ベンダミラー７の位置を調整した場合は、例えばマイク
ロメータ４によって、ミラーホルダ６全体を上下させる
ことができる。
このように、ベンダミラーの傾斜角の調整をベンダミラ
ーの位置を変化させずに行うことができるので、ベンダ
ミラーの調整が簡単になる。
なお、17はベース１の下部に設けられたフランジであ
り、ネジ19によって、ベース１に固定されている。な
お、ベンダミラー７の冷却構造については省略してあ
る。
上記の説明では、ミラー保持部材の動きを、一点を中心
とした同心円運動にするために、自動調心軸受を使用す
ることで説明したが、勿論自動調心軸受に限定するもの
ではなく、ミラー保持部材が同様の動きをする構造であ
ればよい。例えば、内輪と外輪を球を介さず直接接触さ
せて、摺動させることもできる。
また、マイクロメータは４個ではなく、３個で構成する
ことも可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明では、ベンダミラーを保持す
るミラー保持部材は外輪の内球面に規制されて、ベンダ
ミラーの反射表面の中心点を回転中心として動くように
構成したので、ベンダミラーの表面の１点は移動せず、
この点を中心にしてベンダミラーの傾斜角のみ調整でき
るので、調整が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例のビームベンダの構成図、 第２図はベンダミラーの傾斜角の変化の詳細を示す図で
ある。 １……ベース ２……フランジ ６……ミラーホルダ ７……ベンダミラー ８……マイクロメータ ９……マイクロメータ 10……ミラー保持部材 13……自動調心軸受 14……内輪 16……外輪 20……レーザビーム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】レーザビームの方向を変えるレーザ加工用
    ビームベンダにおいて、 レーザビームが通過する導光路部材を有し、 該導光路部材に固定され、ベンダミラーの方向を調整す
    る微調機構を有するミラーホルダであって、内部にミラ
    ー保持部材を有し、 該ミラー保持部材は内輪に嵌合され、 該内輪の外面は球面であり、直接或いは球を介して、外
    輪と結合し、外輪の内面は球面であり、内輪は外輪に対
    して内輪の中心軸上の点を中心に球面的に回転可能と
    し、 該点をベンダミラーの反射表面の中心と一致させた、 ことを特徴とするレーザ加工用ビームベンダ。
  2. 【請求項２】前記内輪、前記球及び前記外輪を自動調心
    軸受で構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
    記載のレーザ加工用ビームベンダ。
JP62231855A 1987-09-16 1987-09-16 レーザ加工用ビームベンダ Expired - Lifetime JPH0763862B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62231855A JPH0763862B2 (ja) 1987-09-16 1987-09-16 レーザ加工用ビームベンダ
EP19880907819 EP0334964A4 (en) 1987-09-16 1988-09-03 RIGHT ANGLE BEAM DEVIATOR FOR LASER BEAM MACHINING.
US07/348,038 US4910378A (en) 1987-09-16 1988-09-03 Beam bender for use in a laser-beam machining apparatus
KR1019890700820A KR920003586B1 (ko) 1987-09-16 1988-09-03 레이저 가공용 비임벤더
PCT/JP1988/000894 WO1989002337A1 (en) 1987-09-16 1988-09-03 Beam bender for laser beam machining

Applications Claiming Priority (1)

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Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6475194A JPS6475194A (en) 1989-03-20
JPH0763862B2 true JPH0763862B2 (ja) 1995-07-12

Family

ID=16930074

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JP62231855A Expired - Lifetime JPH0763862B2 (ja) 1987-09-16 1987-09-16 レーザ加工用ビームベンダ

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EP (1) EP0334964A4 (ja)
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KR (1) KR920003586B1 (ja)
WO (1) WO1989002337A1 (ja)

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EP0334964A4 (en) 1990-02-20
WO1989002337A1 (en) 1989-03-23
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