JPH0760474A - Laser beam machining device - Google Patents
Laser beam machining deviceInfo
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- JPH0760474A JPH0760474A JP5214176A JP21417693A JPH0760474A JP H0760474 A JPH0760474 A JP H0760474A JP 5214176 A JP5214176 A JP 5214176A JP 21417693 A JP21417693 A JP 21417693A JP H0760474 A JPH0760474 A JP H0760474A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は空冷式冷却手段を有す
るレーザ加工装置の集塵構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dust collecting structure of a laser processing apparatus having an air cooling type cooling means.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のレーザ加工装置及びその集塵構造
については、図4にその系統図、図5に加工部の構造図
で示した。図に於いてレーザ発振器2よりレーザビーム
が供給されているレーザ加工装置1ではレーザ発振器2
より供給されたレーザビームを加工ヘッド3でレンズ等
により集光レーザビームとしてワーク4に照射される。
図示されていないが加工ヘッド3とワーク4はレーザビ
ーム照射に伴って相対移動駆動され、切断、溶接などの
レーザ加工が実施される。レーザ加工は高エネルギー密
度の熱加工であるためよく知られるように、溶接加工で
はワーク4のレーザ照射側に切断加工では照射側と非照
射(貫通)側にヒュームやスパッター等の粉塵が発生す
る。したがって、加工部の近傍に粉塵の吸引口5を設
け、これにダクト6を接続して集塵装置7により加工部
に発生した粉塵を吸引、排気、集塵するよう構成されて
いる。集塵装置7は単なる送風機のみの場合やフィルタ
ー等を有し脱塵、脱臭能力を備えたものなども使用され
ている。すなわち、レーザ加工対象物が非金属から金属
まで広い範囲に及ぶため場合に応じて適切な集塵手段が
用いられている。2. Description of the Related Art A conventional laser processing apparatus and its dust collecting structure are shown in FIG. 4 and FIG. In the drawing, in the laser processing apparatus 1 in which the laser beam is supplied from the laser oscillator 2, the laser oscillator 2
The workpiece 4 is irradiated with the laser beam supplied from the processing head 3 as a focused laser beam by a lens or the like.
Although not shown, the processing head 3 and the work 4 are driven to move relative to each other by laser beam irradiation, and laser processing such as cutting and welding is performed. Since it is well known that laser processing is high energy density thermal processing, dust such as fume and spatter is generated on the laser irradiation side of the work 4 in welding processing and on the irradiation side and non-irradiation (penetration) side in cutting processing. . Therefore, the dust suction port 5 is provided in the vicinity of the processing unit, and the duct 6 is connected to the suction port 5 to suck, exhaust, and collect the dust generated in the processing unit by the dust collector 7. As the dust collector 7, a mere blower or a dust collector having a filter and the like and having a deodorizing ability is also used. That is, since the object to be laser processed covers a wide range from non-metal to metal, an appropriate dust collecting means is used depending on the case.
【0003】一方レーザ発振器2は加工用レーザとして
はYAGレーザやCO2 レーザがよく知られているがC
O2 レーザの場合を例に説明すると、レーザ発振を効率
よく行うために発振管やレーザ媒質ガスを常温以下の冷
水で冷却している。8は空冷式冷却装置を示し、詳細は
図示していないが通常フロン等の冷媒を用いた圧縮冷凍
サイクルが組込まれていて蒸発器で得た蒸発潜熱で冷水
を冷却、レーザ発振器2へ循環圧送する工程と圧縮され
た冷媒を高圧高温度下に凝縮器において空気により冷却
し液化させる工程を有している。一般に凝縮器はフィン
チューブやプレートフィン式熱交換器となっており、管
側を冷媒がフィン側を空気が流通する構成で空気の圧送
には送風機が用いられている。On the other hand, the laser oscillator 2 is well known as a processing laser such as a YAG laser or a CO 2 laser.
Taking the case of an O 2 laser as an example, the oscillation tube and the laser medium gas are cooled with cold water at room temperature or lower in order to efficiently perform laser oscillation. Reference numeral 8 denotes an air-cooling type cooling device, although not shown in detail, a compression refrigeration cycle using a refrigerant such as CFC is usually incorporated to cool the cold water by the latent heat of vaporization obtained by the evaporator, and circulate it under pressure to the laser oscillator 2. And a step of cooling the compressed refrigerant with air in a condenser under high pressure and high temperature to liquefy it. Generally, the condenser is a fin tube or a plate fin type heat exchanger, and a refrigerant is used on the tube side and air is passed on the fin side, and a blower is used for pressure feeding the air.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ加工機は
以上のように構成されているので、空冷式冷却装置と集
塵装置が夫々別々に設けられ高価であるばかりでなくス
ペースも大きくとられ排風量も大きく運転経費が高いな
どの問題点があった。Since the conventional laser processing machine is constructed as described above, the air-cooling type cooling device and the dust collecting device are separately provided, which is expensive and requires a large space. There were problems such as large amount of exhaust air and high operating cost.
【0005】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、安価で省スペースで運転経費も
安いレーザ加工装置を提供することを目的としている。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a laser processing apparatus which is inexpensive, space-saving, and has low operating cost.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工装置は、レーザ発振器により供給されたレーザビーム
を集光し、集光レーザビームとして被加工物に照射して
被加工物を加工するレーザ加工装置において、上記レー
ザ発振器を冷却する空冷式冷却手段を備え、上記被加工
物の加工中に発生する粉塵を回収する粉塵吸引口を被加
工物の近傍に設け、上記粉塵吸引口に接続された排気ダ
クトを上記空冷式冷却手段の空気吸込口に接続し、上記
空冷式冷却手段に集塵機能を付加したものである。A laser processing apparatus according to the present invention is a laser for processing a workpiece by focusing a laser beam supplied by a laser oscillator and irradiating the workpiece as a focused laser beam. In the processing apparatus, an air-cooling type cooling means for cooling the laser oscillator is provided, and a dust suction port for collecting dust generated during processing of the work piece is provided in the vicinity of the work piece and is connected to the dust suction port. The exhaust duct is connected to the air suction port of the air-cooling cooling means, and a dust collecting function is added to the air-cooling cooling means.
【0007】また、レーザ発振器により供給されたレー
ザビームを集光し、集光レーザビームとして被加工物に
照射して被加工物を加工するレーザ加工装置において、
圧縮冷凍サイクルを構成する蒸発器、圧縮機、及び凝縮
器よりなり、上記レーザ発振器を冷却する空冷式冷却手
段と上記被加工物の加工中に発生する粉塵を回収する粉
塵回収手段とを設け、上記粉塵回収手段は少なくとも回
収された粉塵を集塵する集塵部と粉塵を吸引排気する送
風機とにより構成され、上記粉塵回収手段の集塵部と送
風機との間に上記空冷式冷却手段の凝縮器が配設されて
いるものである。Further, in a laser processing apparatus for processing a workpiece by converging a laser beam supplied from a laser oscillator and irradiating the workpiece as a condensed laser beam,
An evaporator that constitutes a compression refrigeration cycle, a compressor, and a condenser, provided with an air-cooling type cooling means for cooling the laser oscillator and a dust collecting means for collecting dust generated during processing of the workpiece, The dust collecting means is composed of at least a dust collecting portion for collecting the collected dust and a blower for sucking and discharging the dust, and the condensation of the air-cooling cooling means between the dust collecting portion of the dust collecting means and the blower. A container is provided.
【0008】また、上記レーザ加工装置は炭酸ガスレー
ザ加工装置であって、上記粉塵回収手段の集塵部を電気
集塵器としたものである。The laser processing apparatus is a carbon dioxide laser processing apparatus in which the dust collecting portion of the dust collecting means is an electric dust collector.
【0009】[0009]
【作用】この発明におけるレーザ加工装置は粉塵を吸引
する粉塵吸引口を排気ダクトを介して、空冷式冷却手段
の空気吸込口に接続したので、空冷式冷却手段を粉塵回
収手段としても利用することができる。In the laser processing apparatus according to the present invention, since the dust suction port for sucking dust is connected to the air suction port of the air cooling type cooling means through the exhaust duct, the air cooling type cooling means can also be used as the dust collecting means. You can
【0010】また、粉塵回収手段の集塵部と送風機の間
に空冷式冷却手段の一部である凝縮器を組込むことによ
り、粉塵回収手段と空冷式冷却手段を部分的に一体化す
ることができる。Further, by incorporating a condenser, which is a part of the air cooling type cooling means, between the dust collecting part of the dust collecting means and the blower, the dust collecting means and the air cooling type cooling means can be partially integrated. it can.
【0011】また、レーザ加工装置として炭酸ガスレー
ザを使用する場合は、大出力のための加工中多量の粉塵
が発生するため集塵部に電気集塵器を使用し、効率よく
粉塵を処理することができる。When a carbon dioxide laser is used as the laser processing apparatus, a large amount of dust is generated during processing for high output, so an electrostatic precipitator should be used in the dust collecting section to efficiently handle the dust. You can
【0012】[0012]
実施例1.以下この発明の一実施例を図1について説明
する。1はレーザ加工装置で、2はレーザ発振器、3は
加工ヘッドでレーザ発振器2より供給されたレーザビー
ムを加工ヘッド3にてレンズ等により集光し集光レーザ
ビームとしてワークに照射することによりレーザ加工を
実施する。図示されていないが加工ヘッド3とワークは
レーザビームの照射に伴なって相対移動駆動され、切断
溶接などのレーザ加工が行われる。8はレーザ発振器2
を常温以下の冷水で冷却する空冷式冷却装置を示してい
る。空冷式冷却装置8の中には送風機9や図示されてい
ないが圧縮機、蒸発器、凝縮器、冷却水循環ポンプ等が
組み込まれいる。10は空冷式冷却装置8の空気吸込口
である。又5はレーザ加工装置1の加工ヘッド3の加工
部近傍に設けられた粉塵の吸引口であり、6は吸引口5
に接続された排気ダクトである。排気ダクト6の末端は
空冷式冷却装置8の空気吸込口10に接続されており、
レーザ加工により発生した粉塵は吸引口5より排気ダク
ト6を経由して空冷式冷却装置8の空気吸込口10より
送風機9によって吸引排気集塵される。従って、空冷式
冷却装置の送風機能を粉塵回収手段として利用すること
により集塵装置を個別の装置として設置する必要がな
い。Example 1. An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. Reference numeral 1 is a laser processing apparatus, 2 is a laser oscillator, 3 is a processing head, and a laser beam supplied from the laser oscillator 2 is condensed by a lens or the like in the processing head 3 to irradiate a work as a condensed laser beam to a laser. Perform processing. Although not shown, the processing head 3 and the workpiece are driven to move relative to each other with the irradiation of the laser beam, and laser processing such as cutting and welding is performed. 8 is a laser oscillator 2
The figure shows an air-cooling type cooling device that cools water with cold water at room temperature or lower. In the air-cooling type cooling device 8, a blower 9 and a compressor, an evaporator, a condenser, a cooling water circulation pump, etc., which are not shown, are incorporated. Reference numeral 10 denotes an air suction port of the air cooling type cooling device 8. Further, 5 is a dust suction port provided in the vicinity of the processing portion of the processing head 3 of the laser processing apparatus 1, and 6 is a suction port 5
Is an exhaust duct connected to. The end of the exhaust duct 6 is connected to the air intake port 10 of the air-cooling type cooling device 8,
Dust generated by the laser processing is sucked and exhausted by the blower 9 from the air inlet 10 of the air-cooling cooling device 8 through the suction port 5 and the exhaust duct 6. Therefore, it is not necessary to install the dust collecting device as a separate device by utilizing the air blowing function of the air cooling type cooling device as the dust collecting means.
【0013】実施例2.次にこの発明の他の実施例を図
2について説明する。1〜6については実施例1と同様
な構成動作であるので説明は省略する。7は粉塵回収手
段たる集塵装置であり、集塵装置7の吸込口11には排
気ダクト6が接続されている。集塵装置7の中には集塵
部12がありこれは集塵の対象によって単なる金網やフ
ィルターであったり、高級な電気集塵手段であったりす
る。9は送風機である。一点鎖線で画かれた8はレーザ
発振器2の空冷式冷却装置であり、発振器2への冷却水
循環ポンプは図示していないが、圧縮冷凍サイクルを構
成するのは蒸発器15、圧縮機14、凝縮器13であ
る。凝縮器13は空冷式であり、集塵装置7の集塵部1
2と送風機9の間に組込まれるよう構成されている。Example 2. Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Since the operations 1 to 6 are the same as those of the first embodiment, the description thereof will be omitted. Reference numeral 7 denotes a dust collector which is a dust collecting means, and an exhaust duct 6 is connected to a suction port 11 of the dust collector 7. The dust collector 7 has a dust collector 12 which may be a simple wire net or a filter or a high-grade electric dust collector depending on the object of dust collection. 9 is a blower. Reference numeral 8 delineated by a one-dot chain line is an air-cooling type cooling device of the laser oscillator 2, and a cooling water circulation pump to the oscillator 2 is not shown, but it is the evaporator 15, the compressor 14, and the condenser that constitute the compression refrigeration cycle. It is a container 13. The condenser 13 is an air-cooled type, and the dust collecting unit 1 of the dust collecting device 7
2 and the blower 9 are incorporated.
【0014】次に動作について説明する。レーザ加工装
置1での発生粉塵は集塵器7の集塵部12にて吸引集塵
される一方、集塵器7内の送風機9にて冷却される空冷
式凝縮器13は圧縮冷凍サイクルを介して空冷式冷却装
置8としてレーザ発振器2を冷却する。従って、集塵器
7の内部に凝縮器13を取込むことにより省スペースで
あり、運転経費も節約できる。Next, the operation will be described. The dust generated in the laser processing apparatus 1 is suctioned and collected by the dust collecting section 12 of the dust collector 7, while the air-cooled condenser 13 cooled by the blower 9 in the dust collector 7 performs a compression refrigeration cycle. The laser oscillator 2 is cooled through the air-cooling type cooling device 8. Therefore, by incorporating the condenser 13 inside the dust collector 7, space is saved and operating costs can be saved.
【0015】実施例3.一般に加工用レーザとしてYA
Gレーザや炭酸レーザが主流であるが、炭酸ガスレーザ
の場合は大出力のため加工中多量の粉塵が発生する。例
えば容量が1KW級炭酸ガスレーザ加工装置の場合空冷
式冷却装置の容量は約10,000kcal/Hrで凝
縮器の空冷送風容量は約50m3 /分である。従って、
発生する多量の粉塵を集塵器7の集塵部12で処理する
必要があり、集塵部12として電気集塵器を使用するこ
とで効率よく集塵作業を処理することが可能になる。す
なわち放電による電気凝集により粉塵に荷電し粗大化さ
せることでフィルタでの目づまりを少なくし、効果的に
集塵ができる。又、一般のレーザ加工機の場合加工部に
おける粉塵吸引排風量はケースにもよる約10〜50m
3 /分程度であり、空冷用送風量と集塵用排風量の容量
がほぼ一致し、組合わせた時発明効果を大きく発揮でき
るものである。また、電気集塵器の電気凝集による集塵
のしくみの一例を図3に概略的に示す。図において、放
電円盤16と集塵円盤17の間で放電を発生させ、吸込
まれてきた粉塵18に荷電し、粒子を粗大化し、集塵円
盤17の回転により効率よく分離し、粗大化した粒子1
9としてフィルタへ送られる。Example 3. Generally YA as a processing laser
G lasers and carbon dioxide lasers are the mainstream, but carbon dioxide lasers generate a large amount of dust during processing because of their high output. For example, in the case of a 1 KW class carbon dioxide laser processing apparatus, the capacity of the air-cooling type cooling device is about 10,000 kcal / Hr, and the air-cooling blast capacity of the condenser is about 50 m 3 / min. Therefore,
It is necessary to process a large amount of dust generated by the dust collector 12 of the dust collector 7, and by using an electric dust collector as the dust collector 12, it is possible to efficiently handle the dust collecting work. That is, the dust is charged by the electric cohesion due to the discharge and is coarsened, so that the clogging in the filter is reduced and the dust can be effectively collected. Moreover, in the case of a general laser processing machine, the amount of dust suction and exhaust air in the processing section is about 10 to 50 m depending on the case.
It is about 3 / min, and the capacity of the air flow for air cooling and the volume of exhaust air for dust collection are almost the same, and when combined, the effect of the invention can be greatly exerted. Further, an example of a mechanism of dust collection by electric aggregation of the electrostatic precipitator is schematically shown in FIG. In the figure, a discharge is generated between the discharge disk 16 and the dust collecting disk 17, the dust 18 that has been sucked in is charged, the particles are coarsened, and the rotation of the dust collecting disk 17 efficiently separates the coarsened particles. 1
9 is sent to the filter.
【0016】猶この発明の実施例の説明では図1におい
て空冷式冷却装置の集塵能力は送風機9のみの様な説明
を行っているが、凝縮器(たとえばフィンチューブ式熱
交換器)の手前にはフィルター等の集塵手段があっても
良く又図1、図2において集塵器とレーザ加工機、レー
ザ発振器及び空冷式冷却装置、ダクト等が一対一で対応
するよう表記されているが、これにこだわることなく複
雑な系統等でも同様な効果を奏することができる。In the explanation of the embodiment of the present invention, although the dust collection capacity of the air-cooling type cooling device is explained as only the blower 9 in FIG. 1, it is located before the condenser (for example, fin tube type heat exchanger). There may be a dust collecting means such as a filter, and in FIGS. 1 and 2, the dust collector and the laser processing machine, the laser oscillator and the air cooling type cooling device, the duct, etc. are shown to correspond one-to-one. However, the same effect can be obtained even in a complicated system without being particular about this.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば空冷式冷
却装置を有するレーザ加工装置で、加工部における粉塵
吸引口とこれに接続された排気ダクトが空冷式冷却手段
の空気吸込口に接続されるよう構成したので集塵装置を
独立に設置する必要がなくなり、低価格で、省スペース
で運転経費も安いレーザ加工装置が得られる効果があ
る。As described above, according to the present invention, in the laser processing apparatus having the air cooling type cooling device, the dust suction port in the processing section and the exhaust duct connected thereto are connected to the air suction port of the air cooling type cooling means. Since it is configured as described above, it is not necessary to separately install a dust collector, and there is an effect that a low cost, space-saving, and low operating cost laser processing apparatus can be obtained.
【0018】又、空冷式冷却手段を有するレーザ加工装
置で、加工部における粉塵を集塵する粉塵回収手段を設
け、この粉塵回収手段の集塵部と送風機の間に空冷式冷
却手段の凝縮器を組込むよう構成したので、低価格で、
省スペースで運転経費も安いレーザ加工装置が得られる
効果がある。Further, in the laser processing apparatus having the air cooling type cooling means, the dust collecting means for collecting dust in the processing part is provided, and the condenser of the air cooling type cooling means is provided between the dust collecting part of the dust collecting means and the blower. Since it was configured to incorporate, at a low price,
This has the effect of obtaining a laser processing device that saves space and has low operating costs.
【0019】又、レーザ発振器を炭酸ガスレーザ発振器
とした時に集塵部に電気集塵器を使用することにより、
炭酸ガスレーザ加工装置の大出力レーザにより発生する
多量の粉塵を効率よく処理できる効果を奏する。Further, when the carbon dioxide laser oscillator is used as the laser oscillator, by using an electric dust collector in the dust collecting section,
It is possible to efficiently process a large amount of dust generated by the high-power laser of the carbon dioxide laser processing apparatus.
【図1】この発明の実施例1によるレーザ加工装置を示
す系統図である。FIG. 1 is a system diagram showing a laser processing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図2】この発明の実施例2によるレーザ加工装置を示
す系統図である。FIG. 2 is a system diagram showing a laser processing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図3】この発明の実施例3による電気集塵器の概略図
である。FIG. 3 is a schematic diagram of an electrostatic precipitator according to a third embodiment of the present invention.
【図4】従来のレーザ加工装置の系統図である。FIG. 4 is a system diagram of a conventional laser processing apparatus.
【図5】従来のレーザ加工装置の加工部の構造図であ
る。FIG. 5 is a structural diagram of a processing portion of a conventional laser processing device.
1 レーザ加工装置 2 レーザ発振器 3 加工ヘッド 4 ワーク 5 吸引口 6 排気ダクト 7 集塵装置 8 空冷式冷却装置 9 送風機 10 空気吸込口 11 吸込口 12 集塵部 13 凝縮器 14 圧縮機 15 蒸発器 16 放電円盤 17 集塵円盤 18 電気集塵器に供給される粉塵 19 粗大化した粒子 1 Laser Processing Device 2 Laser Oscillator 3 Processing Head 4 Workpiece 5 Suction Port 6 Exhaust Duct 7 Dust Collector 8 Air Cooling Cooler 9 Blower 10 Air Suction Port 11 Suction Port 12 Dust Collection Part 13 Condenser 14 Compressor 15 Evaporator 16 Discharge disk 17 Dust collection disk 18 Dust supplied to the electrostatic precipitator 19 Coarse particles
フロントページの続き (72)発明者 川村 敦彦 名古屋市東区矢田南五丁目1番14号 三菱 電機株式会社名古屋製作所内 (72)発明者 澤井 秀一 名古屋市東区矢田南五丁目1番14号 三菱 電機株式会社名古屋製作所内Front page continuation (72) Inventor Atsuhiko Kawamura 5-14-14 Yada Minami, Higashi-ku, Nagoya Mitsubishi Electric Co., Ltd.Nagoya Works (72) Inventor Shuichi Sawai 5-14 Yada Minami, Higashi-ku, Nagoya Mitsubishi Electric Corporation Company Nagoya Works
Claims (3)
ームを集光し、集光レーザビームとして被加工物に照射
して被加工物を加工するレーザ加工装置において、上記
レーザ発振器を冷却する空冷式冷却手段を備え、上記被
加工物の加工中に発生する粉塵を回収する粉塵吸引口を
被加工物の近傍に設け、上記粉塵吸引口に接続された排
気ダクトを上記空冷式冷却手段の空気吸込口に接続し、
上記空冷式冷却手段に集塵機能を付加したことを特徴と
するレーザ加工装置。1. A laser processing apparatus for processing a workpiece by converging a laser beam supplied by a laser oscillator and irradiating the workpiece as a focused laser beam to cool the workpiece. A dust suction port for collecting dust generated during processing of the work piece is provided in the vicinity of the work piece, and an exhaust duct connected to the dust suction port is an air suction port of the air-cooling cooling means. Connect to
A laser processing apparatus having a dust collecting function added to the air cooling type cooling means.
ームを集光し、集光レーザビームとして被加工物に照射
して被加工物を加工するレーザ加工装置において、圧縮
冷凍サイクルを構成する蒸発器、圧縮機、及び凝縮器よ
りなり、上記レーザ発振器を冷却する空冷式冷却手段と
上記被加工物の加工中に発生する粉塵を回収する粉塵回
収手段とを設け、上記粉塵回収手段は少なくとも回収さ
れた粉塵を集塵する集塵部と粉塵を吸引排気する送風機
とにより構成され、上記粉塵回収手段の集塵部と送風機
との間に上記空冷式冷却手段の凝縮器が配設されている
ことを特徴とするレーザ加工装置。2. A laser processing apparatus for condensing a laser beam supplied from a laser oscillator and irradiating the workpiece as a condensed laser beam to process the workpiece, an evaporator constituting a compression refrigeration cycle, A compressor and a condenser are provided, and an air-cooling type cooling means for cooling the laser oscillator and a dust collecting means for collecting dust generated during processing of the workpiece are provided, and the dust collecting means is at least collected. It is composed of a dust collecting portion that collects dust and a blower that sucks and exhausts the dust, and that the condenser of the air cooling type cooling means is arranged between the dust collecting portion of the dust collecting means and the blower. Characteristic laser processing equipment.
工装置であって、上記粉塵回収手段の集塵部を電気集塵
器としたことを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工
装置。3. The laser processing apparatus according to claim 2, wherein the laser processing apparatus is a carbon dioxide laser processing apparatus, and the dust collecting portion of the dust collecting means is an electric dust collector.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5214176A JP2768230B2 (en) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | Laser processing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5214176A JP2768230B2 (en) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | Laser processing equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0760474A true JPH0760474A (en) | 1995-03-07 |
JP2768230B2 JP2768230B2 (en) | 1998-06-25 |
Family
ID=16651501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP5214176A Expired - Lifetime JP2768230B2 (en) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | Laser processing equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2768230B2 (en) |
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