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JPH0756014A - Color filter - Google Patents

Color filter

Info

Publication number
JPH0756014A
JPH0756014A JP20050593A JP20050593A JPH0756014A JP H0756014 A JPH0756014 A JP H0756014A JP 20050593 A JP20050593 A JP 20050593A JP 20050593 A JP20050593 A JP 20050593A JP H0756014 A JPH0756014 A JP H0756014A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
protective layer
color filter
black matrix
layer
ozone treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP20050593A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3420799B2 (en
Inventor
Takuya Hamaguchi
卓也 浜口
Katsuhiko Mizuno
克彦 水野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=16425434&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH0756014(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP20050593A priority Critical patent/JP3420799B2/en
Publication of JPH0756014A publication Critical patent/JPH0756014A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3420799B2 publication Critical patent/JP3420799B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
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Abstract

PURPOSE:To provide a color filter which has detergency higher than the detergency by solvent washing, capable of washing without using a solvent and has the high adhesion property between constituting layers and excellent durability by forming a protective layer after executing a UV ozone treatment. CONSTITUTION:The red ink R, green ink G and blue ink B with which a black matrix substrate 12 formed with a black matrix 14 on a transparent substrate 13 is printed in the positions to be formed with patterns are cured to form colored layers 16 consisting of the respective colored patterns 16R, 16G, 16B on the substrate. The protective layer 18 is thereafter so formed as to cover the black matrix 14 and the colored layers 16. The protective layer 18 is formed in the regions to be formed with the protective layer after the regions are subjected to the UV ozone treatment. The UV ozone treatment is capable of removing even the contaminations of a silicon system not removable by surfactant washing of an aq. system and improves the reliability of the color filter by enhancing the adhesion property of the protective layer and the other layers.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルタに係り、
特に構成層間の密着性が高く耐久性に優れたカラーフィ
ルタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter,
In particular, the present invention relates to a color filter having high adhesion between constituent layers and excellent durability.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、フラットディスプレーとして、モ
ノクロあるいはカラーの液晶ディスプレイが注目されて
いる。液晶ディスプレイには、3原色の制御を行うため
にアクティブマトリックス方式および単純マトリックス
方式とがあり、いずれの方式においてもカラーフィルタ
が用いられている。そして、カラーの液晶ディスプレイ
は構成画素部を3原色(R,G,B)とし、液晶の電気
的スイッチングにより3原色の各光の透過を制御してカ
ラー表示を行うものである。
2. Description of the Related Art In recent years, monochrome or color liquid crystal displays have been attracting attention as flat displays. Liquid crystal displays include an active matrix system and a simple matrix system for controlling three primary colors, and a color filter is used in each system. In the color liquid crystal display, the constituent pixel portions have three primary colors (R, G, B), and the transmission of each light of the three primary colors is controlled by electrical switching of the liquid crystal to perform color display.

【0003】このカラーフィルタは、透明基板上に各着
色層と保護層と透明電極(ITO)を形成して構成され
ている。これらの各層の中で保護層は、前記着色層をセ
ル組み工程中での各種溶媒処理等から保護し、またセル
組み後液晶中に着色層から不純物が溶出するのを防ぐ役
割を担っている。加えて、透明電極(ITO)をスパッ
タにより形成中に、高温とITOの応力歪みに耐えて、
クラックやしわが発生しないことが必要である。さら
に、保護層は、着色層表面の凹凸(±0.3〜1.0μ
m)を覆い、カラーフィルタ表面を±0.1μm以下の
平滑面にする機能が必要である。
This color filter is constructed by forming each colored layer, a protective layer and a transparent electrode (ITO) on a transparent substrate. Among these layers, the protective layer plays a role of protecting the colored layer from various solvent treatments in the cell assembling step and preventing impurities from being eluted from the colored layer in the liquid crystal after cell assembling. . In addition, while forming the transparent electrode (ITO) by sputtering, it withstands high temperature and stress distortion of ITO,
It is necessary that cracks and wrinkles do not occur. In addition, the protective layer has irregularities (± 0.3 to 1.0 μm) on the surface of the colored layer.
m) to cover the surface of the color filter so that the surface of the color filter has a smooth surface of ± 0.1 μm or less.

【0004】保護層は、通常光硬化性あるいは、熱硬化
性の樹脂を溶媒等で希釈してスピンコート法で塗布、形
成する。このとき、着色層及びその周囲のガラス表面が
露出している部分の表面が、清浄な状態になっていなけ
ればならない。仮に、保護層塗布前に着色層及びその周
辺部のガラス表面露出部分が汚染されていると、スピン
コート時に溶媒で希釈された保護膜樹脂をはじき、保護
層にピンホールを生じ、保護層としての機能の喪失や、
保護層表面の平滑性が劣化の原因となる。また、比較的
軽度の汚染であって、保護層の下地(着色層及びその周
囲のガラス露出部分)に対する密着性の低下が生じ、透
明電極膜(ITO)形成後に、ITOの応力歪みに保護
層が耐えられず、ITOのしわ、クラックを生じたり、
セル組み工程中に保護層が剥離したりする。
The protective layer is usually formed by diluting a photocurable or thermosetting resin with a solvent or the like and applying it by spin coating. At this time, the surface of the exposed portion of the colored layer and the surrounding glass surface must be in a clean state. If the exposed glass surface of the colored layer and its peripheral portion is contaminated before coating the protective layer, the protective layer resin diluted with the solvent during spin coating is repelled, causing pinholes in the protective layer, resulting in a protective layer. Loss of function of
The smoothness of the surface of the protective layer causes deterioration. Further, since the contamination is relatively mild, the adhesion of the protective layer to the underlying layer (the colored layer and the glass exposed portion around the colored layer) is deteriorated, and after the transparent electrode film (ITO) is formed, the protective layer suffers from stress strain of ITO. Cannot withstand, wrinkles and cracks of ITO,
The protective layer may peel off during the cell assembly process.

【0005】このような理由により、保護層塗布前に、
着色層及びその周囲のガラス露出部は、完璧に汚染が取
り除かれている必要があり、従って、保護層塗布前の着
色層が形成済みのガラス基板の洗浄状態の良否は、極め
て大きな意味を持つ。
For this reason, before applying the protective layer,
The colored layer and the exposed glass portion around the colored layer must be completely decontaminated. Therefore, whether or not the glass substrate on which the colored layer has been formed before cleaning the protective layer has a good cleaning condition is extremely important. .

【0006】従来においては、トリクレン等の溶媒を使
い、保護層形成前に、着色層を形成したガラス基板の溶
媒超音波洗浄等を行ない、ガラス基板の汚染を取り除い
ていて、カラーフィルタを形成した。
Conventionally, a solvent such as trichlene is used, and before the protective layer is formed, the glass substrate on which the colored layer is formed is subjected to ultrasonic cleaning with a solvent to remove the contamination of the glass substrate to form a color filter. .

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】トリクレン等の溶媒に
よる超音波洗浄法の洗浄力はきわめて強力であり、保護
層のピンホール欠陥、密着性不良の原因となるガラス基
板の汚染をほとんど除去することが可能であった。
The cleaning power of the ultrasonic cleaning method using a solvent such as trichlene is extremely strong, and most of the contamination of the glass substrate that causes pinhole defects and poor adhesion of the protective layer should be removed. Was possible.

【0008】しかし、近年、地球環境に対する影響の問
題がクローズアップされつつあり、多量の溶媒を使用し
揮発した溶媒が大気中に放出される恐れの強い上記溶媒
による超音波洗浄法は問題視されている。従って、将来
の環境基準をクリアーし、地球環境に対するダメージを
最小限に抑えるため、現在においては、各種溶媒洗浄は
逐次より環境への影響の少ない水系の界面活性剤洗浄に
きりかわりつつある。
However, in recent years, the problem of the effect on the global environment has been highlighted, and the ultrasonic cleaning method using the above solvent, which uses a large amount of solvent and is highly likely to release the volatilized solvent into the atmosphere, is regarded as a problem. ing. Therefore, in order to meet future environmental standards and minimize damage to the global environment, at present, various solvent washings are gradually replaced with water-based surfactant washings that have less environmental impact.

【0009】ところが、水系の界面活性剤洗浄法は、洗
浄力において、溶媒洗浄法に大きく劣り、非水溶性の油
性系の汚れや高分子樹脂系の汚れがおとしきれず、シリ
コーン系の汚染に至ってはまったく洗浄不能となってし
まい、保護層のピンホール欠陥、密着性不良の原因とな
るという問題があった。
However, the water-based surfactant cleaning method is far inferior in cleaning power to the solvent cleaning method, and water-insoluble oil-based stains and polymer resin-based stains cannot be completely removed, resulting in silicone-based stains. In the end, there is a problem in that cleaning cannot be performed at all, which causes pinhole defects and poor adhesion in the protective layer.

【0010】本発明は、上述のような事情を考慮してな
されたものであり、溶媒洗浄以上の洗浄力を持ち、しか
も溶媒を使用しないことにより、地球環境への影響の少
ない洗浄が可能で、かつ、層構成間の密着性が高く耐久
性に優れたカラーフィルタを提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in consideration of the above-mentioned circumstances, and has a cleaning power more than that of solvent cleaning, and by using no solvent, it is possible to carry out cleaning with less influence on the global environment. It is also an object of the present invention to provide a color filter having high adhesion between layer configurations and excellent durability.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、ガラス基板と、該基板上に形成さ
れた前記ブラックマトリックス層と前記着色層とを覆う
ように設けられた保護層及び透明電極とを備え、前記保
護層は保護層形成領域にUVオゾン処理を行った後に形
成したものであるような構成とした。
In order to achieve such an object, the present invention is provided so as to cover a glass substrate and the black matrix layer and the coloring layer formed on the glass substrate. The protective layer and the transparent electrode were provided, and the protective layer was formed after performing UV ozone treatment on the protective layer forming region.

【0012】[0012]

【作用】ガラス基板上に形成されたブラックマトリック
ス層および着色層を覆うようにして設けられた保護層
は、予めUVオゾン処理を行った後に形成する。上記の
UVオゾン処理は、水系の界面活性剤洗浄では、除去不
可能なシリコーン系の汚染も除去することができる。こ
の処理により、保護層形成時のピンホール欠陥発生率を
大幅に減少することが可能であり、また保護層とブラッ
クマトリックス層、着色層およびその周囲のガラス表面
露出部との密着性も大きく向上し、ITOのしわやクラ
ック欠陥の発生を防止し、セル組み工程中の保護層の剥
離も防ぐことが可能となる。また、溶媒洗浄工程を無く
すことが出来るので、地球環境への影響も最小限に抑え
ることが出来る。
The protective layer provided so as to cover the black matrix layer and the colored layer formed on the glass substrate is formed after the UV ozone treatment is performed in advance. The UV ozone treatment described above can also remove silicone-based contaminants that cannot be removed by washing with a water-based surfactant. This treatment can significantly reduce the pinhole defect occurrence rate when the protective layer is formed, and also greatly improves the adhesion between the protective layer and the black matrix layer, the colored layer and the exposed glass surface around it. However, it is possible to prevent wrinkles and crack defects of ITO and prevent peeling of the protective layer during the cell assembly process. Moreover, since the solvent washing step can be eliminated, the influence on the global environment can be minimized.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明のカラーフィルタを使用し
たアクティブマトリックス方式による液晶ディスプレイ
(LCD)の一例を示す斜視図であり、図2は同じく概
略断面図である。図1および図2において、LCD1は
カラーフィルタ10と透明ガラス基板20とをシール材
30を介して対向させ、その間に捩れネマティック(T
N)液晶からなる厚さ約5〜10μm程度の液晶層40
を形成し、さらに、カラーフィルタ10と透明ガラス基
板20の外側に偏光板50,51が配設されて構成され
ている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix type liquid crystal display (LCD) using the color filter of the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view of the same. 1 and 2, in the LCD 1, the color filter 10 and the transparent glass substrate 20 are opposed to each other with a sealant 30 interposed therebetween, and a twisted nematic (T) is provided therebetween.
N) Liquid crystal layer 40 made of liquid crystal and having a thickness of about 5 to 10 μm
And the polarizing plates 50 and 51 are disposed outside the color filter 10 and the transparent glass substrate 20.

【0014】図3はカラーフィルタ10の拡大部分断面
図である。図3においてカラーフィルタ10は、透明基
板13上にブラックマトリックス14を形成したブラッ
クマトリックス基板12と、このブラックマトリックス
基板12のブラックマトリックス14間に形成された着
色層16と、このブラックマトリックス14と着色層1
6を覆うように設けられた保護層18および透明電極1
9を備えている。このカラーフィルタ10は透明電極1
9が液晶層40側に位置するように配設されている。そ
して、着色層16は赤色パターン16R、緑色パターン
16G、青色パターン16Bからなり、各着色パターン
の配列は図1に示されるようにモザイク配列となってい
る。尚、着色パターンの配列はこれに限定されるもので
はなく、三角配列、ストライプ配列等としてもよい。
FIG. 3 is an enlarged partial sectional view of the color filter 10. In FIG. 3, the color filter 10 includes a black matrix substrate 12 in which a black matrix 14 is formed on a transparent substrate 13, a coloring layer 16 formed between the black matrices 14 of the black matrix substrate 12, and the black matrix 14 and coloring. Layer 1
Protective layer 18 and transparent electrode 1 provided so as to cover 6
9 is equipped. This color filter 10 is a transparent electrode 1.
9 is arranged so as to be located on the liquid crystal layer 40 side. The colored layer 16 is composed of a red pattern 16R, a green pattern 16G, and a blue pattern 16B, and the array of each colored pattern is a mosaic array as shown in FIG. The arrangement of the coloring pattern is not limited to this, and may be a triangular arrangement, a stripe arrangement, or the like.

【0015】また、透明ガラス基板20上には表示電極
22が各着色パターン16R、16G、16Bに対応す
るように設けられ、各表示電極22は薄膜トランジスタ
(TFT)24を有している。また、各表示電極22間
にはブラックマトリックス14に対応するように走査線
(ゲート電極母線)26aとデータ線26bが配設され
ている。
Display electrodes 22 are provided on the transparent glass substrate 20 so as to correspond to the colored patterns 16R, 16G, 16B, and each display electrode 22 has a thin film transistor (TFT) 24. Further, a scanning line (gate electrode busbar) 26a and a data line 26b are arranged between the respective display electrodes 22 so as to correspond to the black matrix 14.

【0016】このようなLCD1では、各着色パターン
16R、16G、16Bが画素を構成し、偏光板51側
から照明光を照射した状態で各画素に対応する表示電極
をオン、オフさせることで液晶層40がシャッタとして
作動し、着色パターン16R、16G、16Bのそれぞ
れの画素を光が透過してカラー表示が行われる。
In the LCD 1 as described above, each of the colored patterns 16R, 16G and 16B constitutes a pixel, and the display electrode corresponding to each pixel is turned on and off in a state in which the illumination light is irradiated from the polarizing plate 51 side, whereby the liquid crystal is formed. The layer 40 operates as a shutter, and light is transmitted through each pixel of the colored patterns 16R, 16G, and 16B to perform color display.

【0017】カラーフィルタ10を構成するブラックマ
トリックス基板12の透明基板13としては、石英ガラ
ス、低膨張ガラス、ソーダライムガラス等の可撓性のな
いリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂
板等の可撓性を有するフレキシブル材等を用いることが
できる。このなかで、特にコーニング社製7059ガラ
スは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性および高
温加熱処理における作業性に優れ、また、ガラス中にア
ルカリ成分を含まない無アルカリガラスであるため、ア
クティブマトリックス方式によるLCD用のカラーフィ
ルタに適している。
The transparent substrate 13 of the black matrix substrate 12 constituting the color filter 10 is a rigid material such as quartz glass, low expansion glass or soda lime glass, a transparent resin film, an optical resin plate or the like. It is possible to use a flexible material having such flexibility. Among them, Corning 7059 glass is a material with a small coefficient of thermal expansion, has excellent dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and is a non-alkali glass that does not contain an alkali component in the glass. It is suitable for a matrix type LCD color filter.

【0018】ここで、本発明のカラーフィルタ10の製
造例を図4を参照して説明する。図4に示される例にお
いて、先ず透明基板13上にブラックマトリックス14
を形成したブラックマトリックス基板12の赤色パター
ン16Rを形成すべき位置に赤色インキRを印刷する
(図4(A))。この印刷は、例えば、赤色の着色層に
対応した凹部を備えた凹版とブランケットとを用いて凹
版オフセット印刷により行うことができる。
An example of manufacturing the color filter 10 of the present invention will be described with reference to FIG. In the example shown in FIG. 4, the black matrix 14 is first formed on the transparent substrate 13.
The red ink R is printed at the position where the red pattern 16R is to be formed on the black matrix substrate 12 on which the ink has been formed (FIG. 4A). This printing can be performed by intaglio offset printing using, for example, an intaglio having a recess corresponding to the red colored layer and a blanket.

【0019】同様にして、ブラックマトリックス基板1
2の緑色パターン16Gを形成すべき位置に緑色インキ
Gを印刷し、青色パターン16Bを形成すべき位置に青
色インキBを印刷する(図4(B))。
Similarly, the black matrix substrate 1
The green ink G is printed at the position where the second green pattern 16G is to be formed, and the blue ink B is printed at the position where the blue pattern 16B is to be formed (FIG. 4B).

【0020】次に、赤色インキR、緑色インキG、青色
インキBを硬化させて、各着色パターン16R、16
G、16Bからなる着色層16を基板上に形成する(図
4(C)。
Next, the red ink R, the green ink G, and the blue ink B are cured to form the respective colored patterns 16R, 16R.
The colored layer 16 including G and 16B is formed on the substrate (FIG. 4C).

【0021】上記のようにして着色層16を形成した
後、ブラックマトリックス14と着色層16を覆うよう
に保護層18を形成する。本発明のカラーフィルタの保
護層は、保護層形成領域にUVオゾン処理を施した後に
形成されたものであることを特徴とする。
After the colored layer 16 is formed as described above, the protective layer 18 is formed so as to cover the black matrix 14 and the colored layer 16. The protective layer of the color filter of the present invention is characterized in that it is formed after the protective layer forming region is subjected to UV ozone treatment.

【0022】UVオゾン処理の原理は、以下の通りであ
る。
The principle of UV ozone treatment is as follows.

【0023】[0023]

【数1】 上記の反応によって発生した酸素ラジカルが、ガラス基
板上の不純物と反応し、洗浄効果を発現する。また、短
波長紫外線をガラス基板に照射することにより、不純物
が励起、分解され、酸素ラジカルとの反応を促進させ
る。
[Equation 1] Oxygen radicals generated by the above reaction react with impurities on the glass substrate to exert a cleaning effect. Further, by irradiating the glass substrate with short-wavelength ultraviolet light, the impurities are excited and decomposed to accelerate the reaction with oxygen radicals.

【0024】ここで、好適なUVオゾン処理の条件を以
下に示す。 照射光分光特性:184.9nm 、253.7nm の輝線を持つ短波
長紫外線 照射光強度 : 5〜30mW/cm2 照射時間 : 5〜20min 使用ガス :酸素、窒素(不活性ガス)混合気体 酸素含有率 :20〜 100% ガス流量 : 0〜10ml/min 温 度 :15〜50℃ このようなオゾン処理により、溶媒で希釈された保護層
樹脂に対するぬれが向上し、スピンコート時の保護層樹
脂塗布性が大きく改善される。UVオゾン処理時間に対
するガラスの洗浄効果を図5に示す。そのときの各条件
を以下に示す。
Here, the preferable conditions for UV ozone treatment are shown below. Irradiation light spectral characteristics: Short wavelength ultraviolet rays with bright lines of 184.9 nm and 253.7 nm Irradiation light intensity: 5 to 30 mW / cm 2 Irradiation time: 5 to 20 min Working gas: Oxygen, nitrogen (inert gas) mixed gas Oxygen content rate: 20 to 100% Gas flow rate: 0 to 10 ml / min Temperature: 15 to 50 ° C By such ozone treatment, wetting of the protective layer resin diluted with the solvent is improved, and the coating property of the protective layer resin during spin coating is improved. Greatly improved. FIG. 5 shows the effect of cleaning glass on the UV ozone treatment time. The respective conditions at that time are shown below.

【0025】1)UVオゾン処理条件 照射光分光特性:184.9nm 、253.7nm の輝線を持つ短波
長紫外線 照射光強度 :14mW/cm2 照射時間 :0,1,3,5,10,20min 使用ガス :酸素、窒素混合気体 酸素含有率 :20% ガス流量 :0ml/min 温 度 :30℃ 2)試料ガラス作製条件 試料ガラスは、UVオゾン処理前に、最も洗浄除去も困
難な物質の一つである低分子量シロキサ(シリコーン)
皮膜を、下記の方法で形成したものを使用した。
1) UV ozone treatment conditions Spectral characteristics of irradiation light: short wavelength ultraviolet rays having bright lines of 184.9 nm and 253.7 nm Irradiation light intensity: 14 mW / cm 2 Irradiation time: 0,1,3,5,10,20 min Gas used : Oxygen / nitrogen mixed gas Oxygen content: 20% Gas flow rate: 0 ml / min Temperature: 30 ° C 2) Sample glass preparation conditions Sample glass is one of the most difficult substances to remove by cleaning before UV ozone treatment. A low molecular weight siloxa (silicone)
The film formed by the following method was used.

【0026】(シリコーン皮膜形成条件)溶剤超音波洗
浄したガラスに、重合度4〜20の低分子量シロキサン
8000ppm含むシリコーンゴムを10kg/cm2 の圧
力で1秒圧着してシリコーン皮膜形成。
(Conditions for Forming Silicone Film) Silicone rubber containing 8000 ppm of low molecular weight siloxane having a degree of polymerization of 4 to 20 is pressure-bonded to glass subjected to ultrasonic cleaning with solvent at a pressure of 10 kg / cm 2 for 1 second to form a silicone film.

【0027】3)UVオゾン処理による洗浄度測定方法 保護層樹脂塗布溶媒(スピンコート時の希釈溶媒)であ
る、2−エトキシエタノールを使い、上記試料ガラスの
接触角を測定し、試料表面の洗浄度を調べた。通常試料
ガラスの表面が清浄であるほど、2−エトキシエタノー
ルに対する接触角が小さくなる。接触角は、液滴下1m
in後に測定した。ちなみに、上記試料の低分子量シロ
キサン皮膜形成前の溶剤洗浄したガラス表面の接触角
は、7°であった。
3) Method for measuring degree of cleaning by UV ozone treatment Using 2-ethoxyethanol, which is a solvent for coating a resin for protective layer (diluting solvent for spin coating), the contact angle of the sample glass is measured to clean the surface of the sample. I checked the degree. Generally, the cleaner the surface of the sample glass, the smaller the contact angle for 2-ethoxyethanol. Contact angle is 1m below the droplet
It was measured after in. By the way, the contact angle of the solvent-cleaned glass surface of the above sample before forming the low-molecular-weight siloxane film was 7 °.

【0028】図5に示されるように、上記条件で5mi
n以上UVオゾン処理を行うことにより、低分子量シロ
キサン皮膜形成前の溶媒洗浄を行ったガラスと同様な2
−エトキシエタノールに対する塗れ性(洗浄度)が得ら
れていることがわかる。ただし、グラフからは分からな
いが20minより長くUVオゾン処理を行うと、着色
層がUV光によりダメージを受け、ITO形成後に欠陥
を生じる原因となる。これらの具体的な実施例は、後に
示す。
As shown in FIG. 5, 5 mi under the above conditions.
By performing UV ozone treatment for n or more, the same as the glass that was washed with the solvent before the formation of the low molecular weight siloxane film.
-It can be seen that the wettability (cleanability) with respect to ethoxyethanol is obtained. However, although it cannot be seen from the graph, when the UV ozone treatment is performed for more than 20 minutes, the colored layer is damaged by UV light, which causes a defect after ITO formation. Specific examples of these will be shown later.

【0029】以上のようなUVオゾン処理により、保護
層形成領域の保護層樹脂の塗布溶媒に対する接触角が7
°以下となり、スピンコート時の保護膜樹脂の塗れ性が
向上し、ピンホール欠陥が減少し、また、保護層樹脂硬
化後の保護層と下地のブラックマトリックス層、着色層
及びその周囲の基板ガラス露出部との密着性が向上す
る。
By the UV ozone treatment as described above, the contact angle of the protective layer resin in the protective layer forming region with the coating solvent is 7
° C or less, the coating property of the protective film resin during spin coating is improved, pinhole defects are reduced, and the protective layer after curing the protective layer resin, the underlying black matrix layer, the colored layer and the substrate glass around it Adhesion with the exposed part is improved.

【0030】保護層18は、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂、ポリイミド樹脂等の透明樹脂を用いて形成する(図
4(E))。保護層18の厚さは0.5〜50μm程度
が望ましい。このような保護層18により、カラーフィ
ルタ10の表面平滑化、信頼性の向上、および液晶層4
0への汚染防止等が可能となる。
The protective layer 18 is formed by using a transparent resin such as an acrylic resin, an epoxy resin or a polyimide resin (FIG. 4 (E)). The thickness of the protective layer 18 is preferably about 0.5 to 50 μm. With such a protective layer 18, the surface of the color filter 10 is smoothed, reliability is improved, and the liquid crystal layer 4 is provided.
It is possible to prevent pollution to zero.

【0031】次に、上記保護層18上に透明電極(IT
O)19を形成する(図4(F))。この透明電極19
は、酸化インジウムスズ(ITO)膜を、蒸着法、スパ
ッタ法等の公知の方法により形成することができ、厚さ
は、200〜2000Å程度が望ましい。
Next, a transparent electrode (IT
O) 19 is formed (FIG. 4 (F)). This transparent electrode 19
Can form an indium tin oxide (ITO) film by a known method such as a vapor deposition method and a sputtering method, and the thickness is preferably about 200 to 2000 Å.

【0032】次に、具体的な実施例を示して本発明を更
に詳細に説明する。 (実施例)透明基板としてコーニング社製7059ガラ
ス(厚さ=1.1mm)を用い、スピンコート法(回転
数=1600r.p.m.)により下記組成の感光性レジスト
を透明基板上に塗布し、その後、70℃、10分間の条
件で乾燥(プレベーク)して感光性レジスト層(厚さ=
0.6μm)を形成した。
Next, the present invention will be described in more detail by showing specific examples. (Example) 7059 glass (thickness = 1.1 mm) manufactured by Corning Incorporated was used as a transparent substrate, a photosensitive resist having the following composition was applied on the transparent substrate by a spin coating method (rotation speed = 1600 rpm), and then At 70 ° C. for 10 minutes, and dried (prebaked) to form a photosensitive resist layer (thickness =
0.6 μm) was formed.

【0033】 (感光性レジストの組成) ・ポリビニルアルコール4.47重量%水溶液 (日本合成化学工業製ゴーセナールT−330) …1000重量部 ・ジアゾ樹脂5重量%水溶液 (シンコー技研製D−011) …57.1重量部 次に、感光性レジスト層に対してブラックマトリックス
用のフォトマスク(線幅=45μm)を介して露光を行
った。露光装置は大日本スクリーン(株)製のプロキシ
ミティー露光装置を使用し、露光量は50mJ/cm2
とした。その後、常温の水を用いてシャワー現像(現像
時間=45秒間)を行い、その後、100℃、30分間
の熱処理(ポストベーク)を施してブラックマトリック
ス用の線幅45μmのレリーフ画像を形成した。
(Composition of Photosensitive Resist) 4.47% by Weight Polyvinyl Alcohol Aqueous Solution (Nippon Gosei Chemical Co., Ltd. Gohsenal T-330) ... 1000 parts by Weight Diazo Resin 5% by Weight Aqueous Solution (D-011 by Shinko Giken) ... 57.1 parts by weight Next, the photosensitive resist layer was exposed through a photomask (line width = 45 μm) for a black matrix. The exposure apparatus used was a proximity exposure apparatus manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd., and the exposure amount was 50 mJ / cm 2.
And After that, shower development was performed using water at room temperature (development time = 45 seconds), and then heat treatment (post-baking) was performed at 100 ° C. for 30 minutes to form a relief image having a line width of 45 μm for a black matrix.

【0034】次に、この透明基板を塩化パラジウム水溶
液(日本カニゼン製レッドシューマー、5倍希釈液)に
4分間浸漬し、上記のレリーフ画像を触媒含有レリーフ
とした。
Next, this transparent substrate was dipped in an aqueous palladium chloride solution (Red Schumer made by Nippon Kanigen, 5-fold diluted solution) for 4 minutes, and the relief image was used as a relief containing a catalyst.

【0035】その後、この基板をホウ素系還元剤を含む
常温のニッケルメッキ液(奥野製薬製ニッケルメッキ液
トップケミアロイB−1)に4分間浸漬して黒色レリー
フを形成した後、200℃、1時間の熱処理を施してブ
ラックマトリックス基板とした。
Then, this substrate was immersed in a nickel plating solution (nickel plating solution Top Chemialoy B-1 manufactured by Okuno Seiyaku Co., Ltd.) at room temperature containing a boron-based reducing agent for 4 minutes to form a black relief, and then 200 ° C., 1 ° C. A black matrix substrate was obtained by performing heat treatment for a period of time.

【0036】次に、上記のブラックマトリックス基板に
下記のように着色層を形成した。すなわち、版深6μ
m、幅110μmのストライプ状の凹部を有する版、及
びシリコーンブランケットを用い、凹版オフセット印刷
法により、ブラックマトリックス基板上のブラックマト
リックス間に、下記インキ組成物S−1,S−2,S−
3をこの順序で印刷し、それぞれブルー、グリーン、レ
ッドの110μm幅のストライプパターンを印刷形成し
た。その後、前記基板を200℃で30分間加熱するこ
とにより、インキ組成物を熱硬化させて膜厚2〜3μm
の着色層を得た。
Next, a colored layer was formed on the above black matrix substrate as follows. That is, plate depth 6μ
m, a plate having a stripe-shaped recess of 110 μm, and a silicone blanket, by the intaglio offset printing method, the following ink compositions S-1, S-2, S- were formed between the black matrices on the black matrix substrate.
3 was printed in this order to form a 110 μm wide stripe pattern of blue, green and red, respectively. Then, the substrate is heated at 200 ° C. for 30 minutes to thermally cure the ink composition to form a film having a thickness of 2 to 3 μm.
To obtain a colored layer of.

【0037】 インキ組成物(S−1) 顔 料 ・リオノールブルーES (東洋インキ製造(株)C.I.Pigment Blue 15:6)…14.2重量部 ・リオノゲンバイオレットRL (東洋インキ製造(株)C.I.Pigment Violet 23)… 0.8重量部 ワニス ・ポリエステルアクリレート樹脂 (東亜合成化学工業(株)アロニックス M7100)…52.5重量部 ・ジアリルフタレートプレポリマー (ダイソー(株)ダップA) …22.5重量部 モノマー ・トリメチロールプロパントリアクリレートモノマー …10.0重量部 インキ組成物(S−2) 顔 料 ・リオノールグリーン2YS (東洋インキ製造(株)C.I.Pigment Green 36)…15.0重量部 ・セイカファーストイエロー2700 (大日精化(株)C.I.Pigment Yellow 83) … 5.0重量部 ワニス ・ポリエステルアクリレート樹脂 (東亜合成化学工業(株)アロニックス M7100)…47.6重量部 ・ジアリルフタレートプレポリマー (ダイソー(株)ダップA) …20.4重量部 モノマー ・トリメチロールプロパントリアクリレートモノマー …12.0重量部 インキ組成物(S−3) 顔 料 ・クロモフタルレッドA3B (チバ・ガイギー製 C.I.Pigment Red 177) …16.0重量部 ・セイカファストイエロー2700 (大日精化工業(株)C.I.Pigment Yellow 83) … 4.0重量部 ワニス ・ポリエステルアクリレート樹脂 (東亜合成化学工業(株)アロニックス M7100)…46.2重量部 ・ジアリルフタレートポリマー (ダイソー(株)ダップA) …19.8重量部 モノマー ・トリメチロールプロパントリアクリレートモノマー …14.0重量部 次に、着色層とブラックマトリックス層を覆うように保
護層を形成した。
Ink Composition (S-1) Facial Agent-Rionol Blue ES (CIPIment Blue 15: 6) (Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) 14.2 parts by weight-Rionogen Violet RL (Toyo Ink Mfg. Co., Ltd. CI Pigment Violet) 23)… 0.8 parts by weight Varnish ・ Polyester acrylate resin (Toagosei Kagaku Kogyo Aronix M7100)… 52.5 parts by weight ・ Diallyl phthalate prepolymer (Daiso Co., Ltd. DAP A)… 22.5 parts by weight Monomer ・ Trimethylolpropane triacrylate Monomer: 10.0 parts by weight Ink composition (S-2) Facial agent-Rionol Green 2YS (CIPigment Green 36, Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.): 15.0 parts by weight-Seika Fast Yellow 2700 (CIPigment Yellow 83, Dainichi Seika Co., Ltd.) )… 5.0 parts by weight Varnish and polyester acrylate resin (Toagosei Kagaku Kogyo Aronix Co., Ltd.) M7100)… 47.6 parts by weight ・ Diallyl phthalate prepolymer (Dap A Co., Ltd.)… 20.4 parts by weight Monomer ・ Trimethylolpropane triacrylate monomer… 12.0 parts by weight Ink composition (S-3) Facial agent ・ Chlomophthal red A3B (Ciba Geigy CIPigment Red 177) 16.0 parts by weight Seika Fast Yellow 2700 (CIPigment Yellow 83, Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.) 4.0 parts by weight Varnish, polyester acrylate resin (Aronix M7100, Toagosei Co., Ltd.) … 46.2 parts by weight ・ Diallyl phthalate polymer (Dap A Co., Ltd.) 19.8 parts by weight Monomer ・ Trimethylolpropane triacrylate monomer… 14.0 parts by weight Next, a protective layer was formed so as to cover the colored layer and the black matrix layer. ..

【0038】保護層の形成は、まず、下記の条件で処理
時間を0,1,3,5,10,20minと6種類変え
たサンプルを作った。 (UVオゾン処理条件) UVランプ :KYOKKO製 SGL-900HU オゾン 照射光分光特性:184.9nm 、253.7nm の輝線を持つ短波
長紫外線 照射光強度 :14mW/cm2 照射時間 :0,1,3,5,10,20min 使用ガス :酸素、窒素混合系 酸素含有率 :20% ガス流量 :0ml/min 温 度 :30℃ 次に、下記に示される組成の塗布液をスピンコート法
(回転数=1500rpm)により上記のオゾン処理を施
した6種類のサンプルに塗布した。
To form the protective layer, first, samples were prepared under the following conditions, in which the treatment time was changed to 0, 1, 3, 5, 10, and 20 min. (UV ozone treatment conditions) UV lamp: KYOKKO SGL-900HU Ozone Irradiation light Spectral characteristics: Short wavelength ultraviolet rays with bright lines of 184.9 nm and 253.7 nm Irradiation light intensity: 14 mW / cm 2 Irradiation time: 0,1,3,5 , 10,20min Gas used: Oxygen / nitrogen mixed system Oxygen content: 20% Gas flow rate: 0ml / min Temperature: 30 ℃ Next, spin coat method (rotation speed = 1500rpm) with a coating solution with the composition shown below. Was applied to 6 types of samples which were subjected to the above ozone treatment.

【0039】 (保護層形成用の塗布液組成) ・光硬化性アクリレートオリゴマー(o−クレゾールノボラックエポキシ アクリレート(分子量1500〜2000) … 35重量部 ・クレゾールノボラック型エポキシ樹脂 … 15重量部 ・多官能重合性モノマー(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート (日本化薬(株) DPHA) … 50重量部 ・重合開始剤(チバガイギー製 イルガキュアー) … 2重量部 ・エポキシ硬化剤(ゼネラルエレクリトック製 UVE1014)… 2重量部 ・2−エトキシエタノール …200重量部 そして、この塗布膜に対して大日本スクリーン(株)製
のブロキシミティ露光装置を使用し、露光量15mJ/cm
2 で全面露光を行った。その後、180℃、60min の
プリベークを行った。上記の条件で塗布した保護層の硬
化後の厚さは、通常(汚染のない状態)で2.0μmと
なる。
(Composition of coating liquid for forming protective layer) -Photo-curable acrylate oligomer (o-cresol novolac epoxy acrylate (molecular weight 1500 to 2000) ... 35 parts by weight-cresol novolac type epoxy resin ... 15 parts by weight-Polyfunctional polymerization Polymerizable monomer (dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA, Nippon Kayaku Co., Ltd.) ... 50 parts by weight-Polymerization initiator (Irgacure manufactured by Ciba-Geigy) ... 2 parts by weight-Epoxy curing agent (UVE1014 manufactured by General Electric) ... 2 parts by weight Part 2-ethoxyethanol: 200 parts by weight And, for this coating film, a broximity exposure device manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd. was used, and the exposure amount was 15 mJ / cm 2.
The entire surface was exposed at 2 . Then, prebaking was performed at 180 ° C. for 60 minutes. The thickness of the protective layer applied under the above conditions after curing is usually 2.0 μm (without contamination).

【0040】さらに、保護層を形成した6種類のサンプ
ルの保護層上にスパッタリング法により0.4μmのI
TO層を形成し、試料1〜6を得た。次に、上記サンプ
ルを温度250℃で、1時間加熱し、カラーフィルタと
しての信頼性テストを行った。その結果を表1に示す。
Further, I of 0.4 μm was formed on the protective layers of the six kinds of samples on which the protective layer was formed by the sputtering method.
A TO layer was formed and samples 1 to 6 were obtained. Next, the above sample was heated at a temperature of 250 ° C. for 1 hour to perform a reliability test as a color filter. The results are shown in Table 1.

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】(信頼性試験結果)表1に、信頼性試験結
果を示す。UVオゾン処理0min(試料1)のサンプ
ルは、保護層形成時のスピンコート法で保護層樹脂を塗
布した段階で、塗布液を完全にはじいてしまい、保護層
を形成することが出来なかった。これは、着色層形成時
にシリコーン製のブランケットで、印刷を行った時、ブ
ランケットの低分子シロキサンがガラス、及び着色層表
面に転写したためシロキサンの汚染膜が形成され塗布液
に対するぬれ性が極端に低下したことに起因すると推測
される。
(Reliability Test Results) Table 1 shows the reliability test results. For the sample subjected to UV ozone treatment for 0 min (Sample 1), the coating liquid was completely repelled when the protective layer resin was applied by the spin coating method when forming the protective layer, and the protective layer could not be formed. This is a silicone blanket for forming the colored layer. When printing, the low-molecular siloxane of the blanket was transferred to the glass and the surface of the colored layer, forming a siloxane contamination film and drastically reducing the wettability with the coating liquid. It is presumed that this was due to what was done.

【0043】UVオゾン処理1min、3min(試料
2、3)のサンプルも、程度の差はあるが、基板上の汚
染が取り除き切れずに、保護層の塗布性が不良で、欠陥
が多く発生している。また、保護層が塗布可能であった
部分でも保護層と下地の着色層の密着性が不良で、その
ためITO膜形成後の信頼性試験の結果ITO表面にし
わが発生している。
The samples subjected to UV ozone treatment for 1 min and 3 min (Samples 2 and 3), although to some extent, could not completely remove the contamination on the substrate, the coating property of the protective layer was poor, and many defects were generated. ing. Further, even in the portion where the protective layer could be applied, the adhesion between the protective layer and the underlying colored layer was poor, and as a result of the reliability test after forming the ITO film, wrinkles were formed on the ITO surface.

【0044】UVオゾン処理5min、10min(試
料4、5)では、処理により、基板上の汚染がほぼ取り
除かれたために、保護層の塗布性も良好で、また、保護
層と下地のブラックマトリックス層、着色層及びその周
囲のガラス露出部分との密着性も良好でカラーフィルタ
としての信頼性も充分で実用に供するものであった。
When the UV ozone treatment was performed for 5 minutes and 10 minutes (Samples 4 and 5), since the contamination on the substrate was almost removed by the treatment, the coatability of the protective layer was good, and the protective layer and the underlying black matrix layer were excellent. The adhesiveness to the colored layer and the exposed glass portion around the colored layer was good, and the reliability as a color filter was sufficient, so that it was put to practical use.

【0045】UVオゾン処理20min(試料6)で
は、汚染は充分に取り除かれているため、保護層の塗布
性という観点からは、欠陥は生じなかった。しかし、処
理時間が長過ぎ、有機物(アクリル系ポリマー)である
着色層がUV光によりダメージを受け脆くなったため、
その結果ITO形成後の信頼性試験で、ITOのしわが
発生してしまった。
In the UV ozone treatment for 20 minutes (Sample 6), the contamination was sufficiently removed, so that no defect was generated from the viewpoint of coatability of the protective layer. However, the treatment time was too long, and the colored layer, which was an organic substance (acrylic polymer), was damaged by UV light and became brittle.
As a result, wrinkles of ITO were generated in the reliability test after the formation of ITO.

【0046】以上の結果より、本実験の条件において
は、保護層形成前の5min以上20min未満のUV
オゾン処理を行うことにより、必要にして充分な信頼性
を有するカラーフィルタが得られることが分かった。
From the above results, under the conditions of this experiment, UV for 5 minutes or more and less than 20 minutes before the formation of the protective layer.
It was found that a color filter having a necessary and sufficient reliability can be obtained by performing ozone treatment.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば基
板上に形成された着色層及びブラックマトリックス層を
覆うように設けられた保護層は、予めUVオゾン処理を
行った後に形成したものであり、上記UVオゾン処理に
より、保護層形成領域と保護層樹脂の塗布液とのぬれ性
が良好となり、保護層と他の層との密着性が高くなり、
カラーフィルタの信頼性が向上する。また、溶剤洗浄に
より保護層形成前の処理を行っていた従来の方法に比
べ、UVオゾン処理法は、地球環境に対する影響も極め
て小さく、将来の環境基準にも充分対応可能と思われ
る。
As described in detail above, according to the present invention, the protective layer provided so as to cover the colored layer and the black matrix layer formed on the substrate is formed after the UV ozone treatment is performed in advance. The above-mentioned UV ozone treatment improves the wettability between the protective layer forming region and the coating solution of the protective layer resin, and improves the adhesion between the protective layer and other layers.
The reliability of the color filter is improved. Further, the UV ozone treatment method has an extremely small effect on the global environment as compared with the conventional method in which the treatment before forming the protective layer is carried out by solvent washing, and it seems that the UV ozone treatment method can sufficiently meet future environmental standards.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のカラーフィルタを使用したアクティブ
マトリックス方式による液晶ディスプレイの一例を示す
斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an example of an active matrix liquid crystal display using a color filter of the present invention.

【図2】図1に示される液晶ディスプレイの概略断面図
である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of the liquid crystal display shown in FIG.

【図3】図1に示される液晶ディスプレイに用いられて
いるカラーフィルタの拡大部分断面図である。
FIG. 3 is an enlarged partial sectional view of a color filter used in the liquid crystal display shown in FIG.

【図4】本発明のカラーフィルタの製造の一例を説明す
るための工程図である。
FIG. 4 is a process drawing for explaining an example of manufacturing the color filter of the present invention.

【図5】UVオゾン処理時間に対するガラス洗浄効果を
示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a glass cleaning effect with respect to UV ozone treatment time.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…カラーフィルタ 12…ブラックマトリックス基板 13…透明基板 14…ブラックマトリックス 16…着色層 16R,16G,16B…着色パターン 18…保護層 19…透明電極 10 ... Color filter 12 ... Black matrix substrate 13 ... Transparent substrate 14 ... Black matrix 16 ... Colored layer 16R, 16G, 16B ... Colored pattern 18 ... Protective layer 19 ... Transparent electrode

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板と、該基板上に形成された着色層お
よびブラックマトリックスと、前記着色層と前記ブラッ
クマトリックスとを覆うように設けられた保護層および
透明電極とを備え、前記保護層は保護層形成領域にUV
オゾン処理を行った後に形成したものであることを特徴
とするカラーフィルタ。
1. A substrate, a colored layer and a black matrix formed on the substrate, a protective layer and a transparent electrode provided so as to cover the colored layer and the black matrix, and the protective layer. UV in the protective layer formation area
A color filter formed after being subjected to ozone treatment.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0882790A (en) * 1994-09-12 1996-03-26 Japan Storage Battery Co Ltd Removing device of residual film on color filter for liquid crystal display panel
JPH09279026A (en) * 1996-04-12 1997-10-28 Toray Ind Inc Resin solution composition for color filter, method for applying the same, color filter, and liquid crystal display
US6242140B1 (en) 1997-05-23 2001-06-05 Samsung Sdi Co., Ltd. Method for manufacturing color filter
US8082876B2 (en) 2000-08-24 2011-12-27 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Manufacturing method of OLED display and apparatus for manufacturing the OLED display

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