JPH0740098B2 - Method for manufacturing chiral smectic liquid crystal device - Google Patents
Method for manufacturing chiral smectic liquid crystal deviceInfo
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- JPH0740098B2 JPH0740098B2 JP27535286A JP27535286A JPH0740098B2 JP H0740098 B2 JPH0740098 B2 JP H0740098B2 JP 27535286 A JP27535286 A JP 27535286A JP 27535286 A JP27535286 A JP 27535286A JP H0740098 B2 JPH0740098 B2 JP H0740098B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、液晶表示素子や液晶−光シャッターアレイ等
のカイラルスメクチック液晶素子の製造方法に関し、更
に詳しくは、液晶分子の初期配向状態を改善することに
より、配向欠陥のない均一なモノドメインの液晶相を
得、表示ならびに駆動特性を改善したカラーフィルター
を有する強誘電性カイラルスメクチック液晶素子の製造
方法に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a chiral smectic liquid crystal device such as a liquid crystal display device and a liquid crystal-optical shutter array, and more specifically, to improve the initial alignment state of liquid crystal molecules. The present invention relates to a method for producing a ferroelectric chiral smectic liquid crystal device having a color filter having a uniform monodomain liquid crystal phase having no alignment defect and having improved display and driving characteristics.
[従来の技術] 従来の液晶素子としては、例えばエム・シャット(M.Sc
hadt)とダブリュー・ヘルフリッヒ(W.Helfrich)著
“アプライド・フィジックス・レターズ”(“Applied
Physics Letters")第18巻、第4号(1971年2月15日発
行)、第127頁〜128頁の“ボルテージ・ディペンダント
・オプティカル・アクティビティー・オブ・ア・ツイス
テッド・ネマチック・リキッド・クリスタル(“Voltag
e Dependent Optical Activity of a Twisted Nematic
Liquid Crystal")に示されたツイステッド・ネマチッ
ク(twisted nematic)液晶を用いたものが知られてい
る。このTN液晶は、画素密度を高くしたマトリクス電極
構造を用いた時分割駆動の時、クロストークを発生する
問題点があるため、画素数が制限されていた。[Prior Art] Examples of conventional liquid crystal elements include M.Sc.
hadt) and W. Helfrich's "Applied Physics Letters"("Applied
Physics Letters ") Volume 4, Issue 4 (Published February 15, 1971), pages 127-128," Voltage Dependant Optical Activity of a Twisted Nematic Liquid Crystal " “Voltag
e Dependent Optical Activity of a Twisted Nematic
Liquid crystal ") is known, which uses twisted nematic liquid crystal. This TN liquid crystal is a crosstalk during time-division driving using a matrix electrode structure with high pixel density. However, the number of pixels is limited because of the problem of occurrence of.
また、各画素に薄膜トランジスタによるスイッチング素
子を接続し、各画素毎をスイッチングする方式の表示素
子が知られているが、基板上に薄膜トランジスタを形成
する工程が極めて煩雑な上、大面積の表示素子を作成す
ることが難しい問題点がある。In addition, a display element of a type in which a switching element using a thin film transistor is connected to each pixel and switching is performed for each pixel is known, but a step of forming a thin film transistor on a substrate is extremely complicated, and a large area display element is used. There are problems that are difficult to create.
これらの問題点を解決するものとして、クラーク(Clar
k)等により米国特許第4,367,924号明細書で強誘電性液
晶素子が提案されている。To solve these problems, Clar (Clar
Ferroelectric liquid crystal devices have been proposed in U.S. Pat. No. 4,367,924 by K) et al.
第2図は強誘電性液晶の動作説明のために、セルの例を
模式的に描いたものである。21aと21bは、In2O3、SnO2
やITO(Indium Tin Oxide)等の薄膜からなる透明電極
で被覆された基板(ガラス板)であり、その間に複数の
液晶分子層22がガラス面に垂直になる様に配向したSmC
*相またはSmH*相の液晶が封入されている。太線で示
した線23が液晶分子を表わしており、この液晶分子23
は、その分子に直交した方向に双極子モーメント
(P⊥)24を有している。基板21aと21b上の電極間に一
定の閾値以上の電圧を印加すると、液晶分子23のらせん
構造がほどけ、双極子モーメント(P⊥)24はすべて電
界方向に向くよう、液晶分子23の配向方向を変えること
ができる。液晶分子23は細長い形状を有しており、その
長軸方向と短軸方向で屈折率異方性を示し、従って例え
ばガラス面の上下に互いにクロスニコルの位置関係に配
置した偏光子を置けば、電圧印加極性によって光学特性
が変わる液晶光学変調素子となることは容易に理解され
る。FIG. 2 schematically shows an example of a cell for explaining the operation of the ferroelectric liquid crystal. 21a and 21b are In 2 O 3 and SnO 2
A substrate (glass plate) covered with a transparent electrode made of a thin film such as ITO or Indium Tin Oxide (SmC) in which a plurality of liquid crystal molecular layers 22 are aligned so as to be perpendicular to the glass surface.
* Phase or SmH * phase liquid crystal is enclosed. The thick line 23 represents a liquid crystal molecule.
Has a dipole moment (P ⊥ ) 24 in a direction orthogonal to its molecule. When a voltage above a certain threshold is applied between the electrodes on the substrates 21a and 21b, the helical structure of the liquid crystal molecules 23 is unraveled, and all the dipole moments (P ⊥ ) 24 are oriented in the electric field direction. Can be changed. The liquid crystal molecules 23 have an elongated shape and exhibit refractive index anisotropy in the major axis direction and the minor axis direction thereof. Therefore, for example, if polarizers arranged in a crossed Nicols positional relationship are placed above and below a glass surface, respectively. It is easily understood that the liquid crystal optical modulation element has optical characteristics that change depending on the polarity of voltage application.
本発明において強誘電性液晶素子で好ましく用いられる
液晶セルは、その厚さを充分に薄く(例えば10μ以下)
することができる。このように液晶相が薄くなるにした
がい、第3図に示すように電界を印加していない状態で
も液晶分子のらせん構造はほどけ、非らせん構造とな
り、その双極子モーメントPa又はPbは上向き(34a)又
は下向き(34b)のどちらかの状態をとる。このような
セルに、第3図に示す如く一定の閾値以上の極性の異な
る電界EaまたはEbを付与すると、双極子モーメントは、
電界Ea又はEbの電界ベクトルに対応して上向き34a又
は、下向き34bと向きを変え、それに応じて液晶分子は
第一の安定状態33a、あるいは第二の安定状態33bの何れ
か一方に配向する。The liquid crystal cell preferably used in the ferroelectric liquid crystal device in the present invention has a sufficiently thin thickness (for example, 10 μm or less).
can do. As the liquid crystal phase becomes thinner in this way, as shown in FIG. 3, even when no electric field is applied, the helical structure of the liquid crystal molecules unwinds and becomes a non-helical structure, and the dipole moment Pa or Pb thereof is directed upward (34a ) Or downward (34b). When electric fields Ea or Eb with different polarities equal to or more than a certain threshold value are applied to such a cell as shown in FIG. 3, the dipole moment becomes
Depending on the electric field vector of the electric field Ea or Eb, the direction is changed to the upward direction 34a or the downward direction 34b, and the liquid crystal molecules are aligned in either the first stable state 33a or the second stable state 33b accordingly.
このような強誘電性液晶を光学変調素子として用いるこ
との利点は、先に述べたが2つある。その第1は、応答
速度が極めて速いことであり、第2は液晶分子の配向が
双安定性を有することである。第2の点を、例えば第3
図によって更に説明すると、電界Eaを印加すると液晶分
子は第一の安定状態33aに配向するが、この状態は電界
を切っても安定である。又、逆向きの電界Ebを印加する
と、液晶分子は第二の安定状態33bに配向して、その分
子の向きを変えるが、やはり電界を切ってもこの状態に
留っている。また、与える電界Eaが一定の閾値を越えな
い限り、それぞれの配向状態にやはり維持されている。
このような応答速度の速さと、双安定性が有効に実現さ
れるには、セルとしては出来るだけ薄い方が好ましい。As described above, there are two advantages of using such a ferroelectric liquid crystal as an optical modulation element. The first is that the response speed is extremely fast, and the second is that the alignment of the liquid crystal molecules has bistability. The second point is, for example, the third
Explaining further by the figure, when the electric field Ea is applied, the liquid crystal molecules are aligned in the first stable state 33a, but this state is stable even when the electric field is cut off. When a reverse electric field Eb is applied, the liquid crystal molecules are oriented in the second stable state 33b and the orientation of the molecules is changed. However, even when the electric field is cut off, the liquid crystal molecules remain in this state. Further, as long as the applied electric field Ea does not exceed a certain threshold value, the respective alignment states are maintained.
In order to effectively realize such a high response speed and bistability, it is preferable that the cell is as thin as possible.
この強誘電性液晶素子が所定の駆動特性を発揮するため
には、一対の平行基板間に配置される強誘電性液晶が、
電界の印加状態とは無関係に、上記2つの安定状態の間
での変換が効果的に起こるような分子配列状態にあるこ
とが必要である。例えばカイラルスメクティック相を有
する強誘電性液晶については、カイラルスメクティック
相の液晶分子層が基板面に対して垂直で、したがって液
晶分子軸が基板面にほぼ平行に配列した領域(モノドメ
イン)が形成される必要がある。しかしながら、これま
での強誘電性液晶素子においては、このようなモノドメ
イン構造を有する液晶の配向状態が、必ずしも満足に形
成されなかったために、充分な特性が得られなかった実
情である。In order for this ferroelectric liquid crystal element to exhibit a predetermined driving characteristic, the ferroelectric liquid crystal disposed between the pair of parallel substrates must be
Regardless of the applied state of the electric field, it is necessary that the molecular arrangement is such that conversion between the two stable states described above effectively occurs. For example, regarding a ferroelectric liquid crystal having a chiral smectic phase, a liquid crystal molecular layer of the chiral smectic phase is perpendicular to the substrate surface, and thus a region (monodomain) in which the liquid crystal molecular axes are aligned substantially parallel to the substrate surface is formed. Need to However, in the conventional ferroelectric liquid crystal device, the alignment state of the liquid crystal having such a monodomain structure was not always formed satisfactorily, and therefore, the actual condition was that sufficient characteristics were not obtained.
第4図は従来の強誘電性液晶素子の断面図を表わし、第
5図は従来の強誘電性液晶素子に現われた配向欠陥の状
態を表わす概略説明図である。FIG. 4 shows a cross-sectional view of a conventional ferroelectric liquid crystal element, and FIG. 5 is a schematic explanatory view showing a state of alignment defects appearing in the conventional ferroelectric liquid crystal element.
すなわち、第4図に示す従来の強誘電性液晶素子40は、
一対の平行基板41と42を有しており、基板41と42にはそ
れぞれマトリクス電極構造をなすストライプ状の透明電
極43と44が設けられている。That is, the conventional ferroelectric liquid crystal element 40 shown in FIG.
It has a pair of parallel substrates 41 and 42, and stripe-shaped transparent electrodes 43 and 44 having a matrix electrode structure are provided on the substrates 41 and 42, respectively.
一般に、カラーフィルターは赤(R)、緑(G)、青
(B)の色素またはこれを含む層からなっているが、各
色素層の膜厚はその形成法にかかわらずそれぞれ異なる
ので、2000Å〜1μm程度の段差Aが形成される。この
結果、降温過程を利用して配向制御を行うと、上述の段
差Aが原因となって、その段差Aを境にして強誘電性液
晶47に配向欠陥を生じることになる。また、この段差A
が存在する基板41と42の上にそれぞれ配向制御膜45と46
を設けると、この配向制御膜にも段差Aに応じて形成さ
れた段差Cが画素のほぼ膜厚分で生じ、上述の同様に強
誘電性液晶47に配向欠陥を生じる。Generally, a color filter is composed of red (R), green (G), and blue (B) dyes or a layer containing the dyes. However, since the film thickness of each dye layer is different regardless of the forming method, 2000Å A step A of about 1 μm is formed. As a result, when the alignment control is performed by utilizing the temperature lowering process, the above-mentioned step A causes the alignment defect in the ferroelectric liquid crystal 47 with the step A as a boundary. Also, this step A
On the substrates 41 and 42 on which the alignment control films 45 and 46 are present, respectively.
By providing the step, a step C formed corresponding to the step A also occurs in this alignment control film in the thickness of almost the pixel, and an alignment defect occurs in the ferroelectric liquid crystal 47 in the same manner as described above.
第5図は、上記強誘電性液晶素子をクロスニコルの偏光
顕微鏡で観察した時のスケッチで、図中の白線51は液晶
素子に使用したスペーサー(図示せず)のラインに対応
し、線52及び53は第4図の基板41上の段差Cに対応して
観察されている。また、図中の部分54は対向電極間には
さまれた強誘電性液晶である。偏光顕微鏡中に多数現出
した刃状線55は強誘電性液晶の配向欠陥を表わしてい
る。FIG. 5 is a sketch of the ferroelectric liquid crystal device observed with a crossed Nicols polarization microscope. White lines 51 in the drawing correspond to the lines of the spacer (not shown) used for the liquid crystal device, and the line 52 And 53 are observed corresponding to the step C on the substrate 41 in FIG. Further, a portion 54 in the figure is a ferroelectric liquid crystal sandwiched between opposed electrodes. A large number of blade lines 55 appearing in the polarization microscope represent alignment defects of the ferroelectric liquid crystal.
この様に強誘電性液晶の接する面で1000Å以上の段差が
存在すると、その段差から配向欠陥を生じ、強誘電性液
晶のモノメイン形成は阻害される。If there is a step of 1000 Å or more on the surface in contact with the ferroelectric liquid crystal as described above, an alignment defect is generated from the step and the monomain formation of the ferroelectric liquid crystal is hindered.
[発明が解決しようとする問題点] 本発明者等は、この様な基板上の段差、特に、カラーフ
ィルターの各画素間に生じる間隙の段差が強誘電性液晶
に対する配向欠陥を発生させる原因となっていることを
実験により明らかにした。[Problems to be Solved by the Invention] The inventors of the present invention have found that such a step on the substrate, in particular, a step between the pixels of the color filter causes an alignment defect with respect to the ferroelectric liquid crystal. It became clear by the experiment that it has become.
本発明の目的は、上記の配向欠陥の発生を防止し、強誘
電性液晶素子が本来もっている高速応答性とメモリー効
果特性を充分に発揮することのできる強誘電性カイラル
スメクチック液晶素子を提供することにある。An object of the present invention is to provide a ferroelectric chiral smectic liquid crystal element capable of preventing the occurrence of the above-mentioned alignment defects and sufficiently exhibiting the high-speed response and the memory effect characteristic originally possessed by the ferroelectric liquid crystal element. Especially.
[問題点を解決するための手段] 本発明者等は、とくに強誘電性液晶が等方相(高温状
態)より液晶相(低温状態)へ移行する降温過程におけ
る初期配向性に着目し、強誘電性液晶の双安定性に基づ
く素子の作動特性と液晶層のモノドメイン性を両立し得
る構造を有する強誘電性カイラルスメクチック液晶素子
を見出したものである。[Means for Solving Problems] The inventors of the present invention have focused on the initial orientation in the temperature decreasing process in which the ferroelectric liquid crystal transitions from the isotropic phase (high temperature state) to the liquid crystal phase (low temperature state). The present inventors have found a ferroelectric chiral smectic liquid crystal device having a structure capable of satisfying both the operating characteristics of the device based on the bistability of the dielectric liquid crystal and the monodomain property of the liquid crystal layer.
本発明は、このような知見に基づくものであり、より詳
しくは、液晶層と接する面に段差がなく、つまり液晶層
の膜厚に急激な変化を生じさせなくすることにより降温
過程における初期配向性を良好な状態とし、配向欠陥の
ないモノドメインを形成する点に特徴を有している。The present invention is based on such knowledge, and more specifically, there is no step on the surface in contact with the liquid crystal layer, that is, by preventing abrupt changes in the film thickness of the liquid crystal layer, the initial alignment in the temperature lowering process. It is characterized in that it has a good property and forms a monodomain without alignment defects.
すなわち、本発明は、一対の基板及びカイラルスメクチ
ック液晶を有し、該一対の基板間の間隔をカイラルスメ
クチック液晶のらせん配列構造の形成が抑制されるのに
十分に小さく設定させてなる液晶素子の製造方法におい
て、少なくとも一方の基板上にカラーフィルター単位を
複数配置してカラーフィルター層を形成し、該カラーフ
ィルター層上に熱溶融した熱溶融性樹脂を塗布した後、
加熱加圧して、隣り合うカラーフィルター単位間の該間
隙を熱溶融性樹脂層で埋めると共にカラーフィルター層
の表面を覆い、次いで熱溶融性樹脂層を冷却によって硬
化させ、該硬化した熱溶融性樹脂層の上に透明電極及び
配向制御膜を設けることを特徴とするカイラルスメクチ
ック液晶素子の製造方法である。That is, the present invention relates to a liquid crystal device having a pair of substrates and a chiral smectic liquid crystal, and setting a gap between the pair of substrates small enough to suppress formation of a helical alignment structure of the chiral smectic liquid crystal. In the manufacturing method, a color filter unit is formed by arranging a plurality of color filter units on at least one substrate, and after applying a heat-meltable resin melted on the color filter layer,
By heating and pressurizing, the gap between the adjacent color filter units is filled with the heat-melting resin layer and the surface of the color filter layer is covered, and then the heat-melting resin layer is cured by cooling, and the cured heat-melting resin A method for producing a chiral smectic liquid crystal device, which comprises providing a transparent electrode and an orientation control film on the layer.
以下、本発明を図面に基ずき説明する。Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は本発明のカラーフィルター基板を用いた強誘電
性液晶素子の基本構成を示す断面図である。第1図にお
いて、強誘電性液晶素子1はガラス板またはプラスチッ
ク板などの透明板を用いた基板2と3を有し、その間に
は強誘電性液晶4が挟持されている。各基板2と3には
マトリクス電極構造を形成するストライプ状のパターン
形状の透明電極5と6が配設され、この透明電極の上に
は配向制御膜7及び8が形成されている。R(赤),G
(緑),B(青)の各カラーフィルターをほぼバインドす
る形で熱溶融性樹脂層10が形成され、さらにその上層に
保護膜または平坦化膜9が形成されている。R,G,Bから
なる3つのカラーフィルター単位で1つの画素を構成す
る。FIG. 1 is a sectional view showing the basic structure of a ferroelectric liquid crystal device using the color filter substrate of the present invention. In FIG. 1, a ferroelectric liquid crystal element 1 has substrates 2 and 3 using transparent plates such as glass plates or plastic plates, and a ferroelectric liquid crystal 4 is sandwiched between them. Striped pattern-shaped transparent electrodes 5 and 6 forming a matrix electrode structure are arranged on each of the substrates 2 and 3, and alignment control films 7 and 8 are formed on the transparent electrodes. R (red), G
A heat-melting resin layer 10 is formed so that the (green) and B (blue) color filters are almost bound to each other, and a protective film or a flattening film 9 is further formed thereon. One pixel is composed of three color filter units consisting of R, G, and B.
上記の構成による基板では、カラーフィルターの膜厚及
び画素間の窪みによる段差が熱溶融性樹脂層によって補
正されているため、画素上に透明電極、配向制御膜を順
に形成しても、基板面をほぼ平坦に保つことができる。In the substrate having the above structure, the step due to the thickness of the color filter and the depression between the pixels is corrected by the heat-meltable resin layer. Therefore, even if the transparent electrode and the alignment control film are sequentially formed on the pixel, the substrate surface Can be kept almost flat.
本発明では、前述の平坦化により、カラーフィルター基
板の段差を1000Å以下とすることができるが、好ましく
は500Å以下とするのが望ましい。この段差が1000Åを
こえると、特に1200Å以上で形成された非平坦化層を用
いた液晶素子は、前述の第5図で示した刃状線の配向欠
陥を生じることになる。In the present invention, the step of the color filter substrate can be set to 1000 Å or less by the above-mentioned flattening, but it is preferably set to 500 Å or less. If the step exceeds 1000 Å, the liquid crystal element using the non-planarizing layer formed to have a thickness of 1200 Å or more, in particular, will have the edge line alignment defect shown in FIG.
本発明に用いられる配向制御膜の材料としては、例え
ば、ポリビニルアルコール、ポリイミド、ポリアミドイ
ミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリビニルア
セタール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミ
ド、ポリスチレン、セルロース樹脂、メラミン樹脂、ユ
リア樹脂、アクリル樹脂などの樹脂類、あるいは感光性
ポリイミド、感光性ポリアミド、環状ゴム系フォトレジ
スト、フェノールノボラック系フォトレジストあるいは
電子線フォトレジスト(ポリメチルメタクリレート、エ
ポキシ化−1,4−ポリブタジエンなど)などから選択し
て形成することができる。配向制御膜7は、強誘電性液
晶の膜厚にも依存するが、一般的には10Å〜1μm、好
適には100Å〜3000Åの範囲に設定する。Examples of the material of the alignment control film used in the present invention include polyvinyl alcohol, polyimide, polyamideimide, polyester, polycarbonate, polyvinyl acetal, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyamide, polystyrene, cellulose resin, melamine resin, urea resin. , Resins such as acrylic resin, photosensitive polyimide, photosensitive polyamide, cyclic rubber photoresist, phenol novolac photoresist or electron beam photoresist (polymethylmethacrylate, epoxidized-1,4-polybutadiene, etc.) It can be formed selectively. Although the orientation control film 7 depends on the film thickness of the ferroelectric liquid crystal, it is generally set in the range of 10Å to 1 μm, preferably 100Å to 3000Å.
本発明に用いられるカラーフィルターは、熱溶融性樹脂
の加熱工程(150℃以下)において、変退色、パターン
くずれ、クラック等の問題を生じないものであれば、特
に限定されるものでなく、例えば、アゾ系、アントラキ
ノン系,フタロシアニン系,キナクリドン系,イソイン
ドリノン系,ジオキサジン系,ペリレン系,ペリノン
系,チオインジゴ系,ピロコリン系,フルオルビン系,
キノフタロン系等の色素材料を真空蒸着法により薄膜形
成してつくられるカラーフィルターや、前記色素材料
と、例えば、ゼラチン、カゼイン等の天然タンパク類、
あるいはポリビニルアルコール、ポリイミド、ポリアミ
ドイミド、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリビニ
ルアセタール、ポリアミド、ポリスチレン、セルロース
樹脂、メラミン樹脂、ユリヤ樹脂、アクリル樹脂、ウレ
タン樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂類、あるいは感光性ポ
リイミド、感光性ポリアミド、環状ゴム系フォトレジス
ト、フェノールノボラック系フォトレジスト、電子線フ
ォトレジスト等の感光性樹脂類のバインダーとから形成
されるカラーフィルター等がある。カラーフィルターの
層厚は所望とする分光特性から決定されるが、通常は0.
3〜3μm程度が望ましい。The color filter used in the present invention is not particularly limited as long as it does not cause problems such as discoloration and fading, pattern collapse, and cracks in the heating step (150 ° C. or less) of the heat-meltable resin, for example, , Azo, anthraquinone, phthalocyanine, quinacridone, isoindolinone, dioxazine, perylene, perinone, thioindigo, pyrocholine, fluororubin,
A color filter made by forming a thin film of a quinophthalone-based coloring material by a vacuum deposition method, the coloring material, and, for example, natural proteins such as gelatin and casein,
Alternatively, polyvinyl alcohol, polyimide, polyamideimide, polyester, polycarbonate, polyvinyl acetal, polyamide, polystyrene, cellulose resin, melamine resin, urea resin, acrylic resin, urethane resin, epoxy resin, or other resin, or photosensitive polyimide, photosensitive polyamide , A ring rubber type photoresist, a phenol novolac type photoresist, an electron beam photoresist and the like, and a color filter formed from a binder of a photosensitive resin. Although the layer thickness of the color filter is determined from the desired spectral characteristics, it is usually 0.
About 3 to 3 μm is desirable.
本発明で用いられる熱溶融性樹脂層を形成する熱溶融性
樹脂としては、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル
共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化酢酸ビニル、ポリ
アミド、フェノキシ樹脂、エチルセルロース、ポリイソ
ブチレン、ポリエステル、テルペン樹脂、ロジン及びそ
の誘導体、石油樹脂等が単独で又は混合したもので用い
られる。また、望ましくは透明性の高い樹脂を使うこと
が効果的である。Examples of the heat-melting resin forming the heat-melting resin layer used in the present invention include polyvinyl acetate, ethylene-vinyl acetate copolymer, polyvinyl chloride, polyvinyl chloride acetate, polyamide, phenoxy resin, ethyl cellulose, polyisobutylene. , Polyester, terpene resin, rosin and its derivatives, petroleum resin, etc., either alone or in combination. Further, it is effective to use a resin having high transparency.
熱溶融性樹脂層の形成方法としては、基板上にカラーフ
ィルターパターンを形成した後、熱溶融性樹脂溶液を用
いてスピンコート、ロールコート、ディッピング等の塗
布方法にて、0.5〜5μm程度の膜厚で樹脂層を形成す
る。次いで、熱溶融性樹脂の溶融温度下にて、加熱処理
あるいは熱プレス処理、あるいはエアーブロー等を利用
した方法により、溶融した樹脂をカラーフィルターパタ
ーンの間隙に埋め込むとともに、表面層を平坦化させた
後、常温までもどして固定化する。As a method for forming the heat-melting resin layer, after forming a color filter pattern on the substrate, a coating method such as spin coating, roll coating or dipping using a heat-melting resin solution is used to form a film having a thickness of about 0.5 to 5 μm. A thick resin layer is formed. Next, at the melting temperature of the heat-meltable resin, the melted resin was embedded in the gaps of the color filter pattern and the surface layer was flattened by a method utilizing heat treatment, heat press treatment, air blow, or the like. Then, return to room temperature and fix.
なお、場合によっては、表示特性を向上させる為に遮光
層を、各色カラーフィルターパターン間隙に、クロム、
アルミニウム等の遮光能力をもつ金属膜を蒸着法で、あ
るいは感光性ポリアミノ系樹脂中にカーボンブラック、
複合酸化物黒顔料、金属粉等の遮光能力をもつ材料を分
散させた遮光樹脂層を塗布法で形成することができる。In some cases, a light-shielding layer may be provided between the color filter patterns for each color to improve the display characteristics.
A metal film having a light-shielding ability such as aluminum is deposited by a vapor deposition method or carbon black in a photosensitive polyamino resin,
A light-shielding resin layer in which a material having a light-shielding ability such as a complex oxide black pigment and metal powder is dispersed can be formed by a coating method.
更に、熱溶融性樹脂あるいはカラーフィルター層と下地
の基板間との接着性を更に増す必要がある場合には、基
板上にあらかじめシランカップリング剤で薄く塗布した
後に熱溶融性樹脂あるいはカラーフィルター層を形成す
るか、または、あらかじめ熱溶融性樹脂あるいはカラー
フィルター層中にシランカップリング剤等を少量添加し
たものを用いると一層効果的である。Furthermore, when it is necessary to further increase the adhesiveness between the heat-fusible resin or color filter layer and the underlying substrate, the heat-fusible resin or color filter layer is first applied thinly on the substrate with a silane coupling agent. It is more effective to form the above or use a heat-meltable resin or a color filter layer in which a small amount of a silane coupling agent or the like is added in advance.
また、より各種の環境条件からカラーフィルター層及び
熱溶融性樹脂層を保護することと、さらに表面上をより
平坦化にするために、熱溶融性樹脂層及びカラーフィル
ター層表面に、ポリアミド,ポリイミド,ポリウレタ
ン,ポリカーボネート,シリコン系等の有機樹脂膜をス
ピンコート、ロールコートの塗布法によって、通常は、
0.5〜5μm程度の膜厚範囲で保護膜または平坦化膜と
して設けることができる。In addition, in order to protect the color filter layer and the heat-melting resin layer from various environmental conditions and to further flatten the surface, polyamide, polyimide are added to the heat-melting resin layer and the color filter layer surface. , Polyurethane, polycarbonate, silicon-based organic resin film is usually applied by spin coating or roll coating.
It can be provided as a protective film or a flattening film in a film thickness range of about 0.5 to 5 μm.
本発明で用いる液晶材料として、とくに適したものは双
安定性を有する液晶であって、強誘電性を有するもので
ある。具体的にはカイラルスメクティックC相(Sm
C*),H相(SmH*),I相(SmI*),J相(SmJ*),K相
(SmK*),G相(SmG*)またはF相(SmF*)の液晶を
用いることができる。A particularly suitable liquid crystal material for use in the present invention is a liquid crystal having bistability and having ferroelectricity. Specifically, the chiral smectic C phase (Sm
Use C * ), H phase (SmH * ), I phase (SmI * ), J phase (SmJ * ), K phase (SmK * ), G phase (SmG * ) or F phase (SmF * ) liquid crystal You can
この強誘電性液晶については、“ル・ジュールナル・ド
・フィジーク・ルテール”(“LE JOURNAL DE PHYSIQUE
LETTRES")1975年、36(L−69)号、「フェロエレク
トリック・リキッド・クリスタルス」(「Ferroelectri
c Liquid Crystals」);“アプライド・フィジックス
・レターズ”(“Applied Physics Letters")1980年、
36(11)号、「サブミクロ・セカンド・バイステイブル
・エレクトロオプチック・スイッチング・イン・リキッ
ド・クリスタルス」(「Submicro Second Bistable Ele
ctrooptic Switching in Liquid Crystals」);“固体
物理"1981年 16(141)号、「液晶」等に記載されてお
り、本発明においては、これらに開示された強誘電性液
晶を使用することができる。About this ferroelectric liquid crystal, "LE JOURNAL DE PHYSIQUE
LETTRES ") 1975, 36 (L-69)," Ferroelectric Liquid Crystals "(" Ferroelectri
c Liquid Crystals ");" Applied Physics Letters "1980,
No. 36 (11), “Submicro Second Bistable Electro-Optic Switching In Liquid Crystals” (“Submicro Second Bistable Ele
ctrooptic Switching in Liquid Crystals ");" Solid State Physics ", 1981 16 (141)," Liquid Crystals ", etc., and the ferroelectric liquid crystals disclosed therein can be used in the present invention. .
強誘電性液晶の具体例としては、例えばデシロキシベン
ジリデン−p′−アミノ−2−メチルブチルシンナメー
ト(DOBAMBC)、ヘキシルオキシベンジリデン−p ′
−アミノ−2−クロルプロピルシンナメート(HOBACP
C)、4−o−(2−メチル)−ブチルレゾルシリデン
−4′−オクチルアニリン(MBRA8)が挙げられる。Specific examples of the ferroelectric liquid crystal include, for example, desiloxybenzylidene-p′-amino-2-methylbutylcinnamate (DOBAMBC), hexyloxybenzylidene-p ′.
-Amino-2-chloropropyl cinnamate (HOBACP
C), 4-o- (2-methyl) -butylresorcylidene-4'-octylaniline (MBRA8).
これらの材料を用いて素子を構成する場合、液晶化合物
がカイラルスメクティック相となるような温度状態に保
持するため、必要に応じて素子をヒーターが埋め込まれ
たブロック等により支持することができる。When an element is formed using these materials, since the liquid crystal compound is maintained in a temperature state in which it becomes a chiral smectic phase, the element can be supported by a block or the like in which a heater is embedded, if necessary.
[作 用] 本発明の強誘電性カイラルスメクチック液晶素子は少な
くともカラーフィルターの各素間隙に熱溶融性樹脂層が
設けられいるので、基板の平面性が良好となるために液
晶相と接する面に段差がなくなり、平面性のよい前記基
板に挟持された液晶相は等方相より、液晶相に移行する
降温過程において、徐冷することにより、液晶相領域が
次第に広がり均一なモノドメインの液晶相を形成するよ
うになる。[Operation] In the ferroelectric chiral smectic liquid crystal element of the present invention, since the thermofusible resin layer is provided at least in each gap of the color filter, the flatness of the substrate is improved, so that the surface in contact with the liquid crystal phase is provided. The liquid crystal phase sandwiched between the substrates having no step and having good flatness is gradually changed into a liquid crystal phase region from an isotropic phase to a liquid crystal phase. To form.
例えば、液晶として強誘電性液晶相を示す前述のDOBAMB
Cを例にあげて説明すると、DOBAMBCの等方相より徐冷し
ていくとき、約115℃でスメクティックA相(SmA相)に
相転移する。このとき、基板にラビングあるいはSiO2斜
め蒸着などの配向処理が施されていると、液晶分子の分
子軸が基板に、平行で、かつ一方向に配向したモノドメ
インが形成される。さらに、冷却を進めていくと、液晶
層の厚みに依存する約90〜75℃の間の特定温度でカイラ
ルスメクティックC相(SmC*相)に相転移する。ま
た、液晶層の厚みを約2μm以下とした場合は、SmC*
相のらせんが解け、双安定性を示す。For example, the above-mentioned DOBAMB which shows a ferroelectric liquid crystal phase as a liquid crystal.
Explaining with C as an example, when gradually cooling from the isotropic phase of DOBAMBC, it undergoes a phase transition to a smectic A phase (SmA phase) at about 115 ° C. At this time, when the substrate is subjected to an alignment treatment such as rubbing or SiO 2 oblique vapor deposition, a monodomain in which the molecular axes of liquid crystal molecules are parallel to the substrate and aligned in one direction is formed. Further, as the cooling proceeds, a phase transition to a chiral smectic C phase (SmC * phase) occurs at a specific temperature of about 90 to 75 ° C. depending on the thickness of the liquid crystal layer. If the thickness of the liquid crystal layer is about 2 μm or less, SmC *
The phase spiral unravels and exhibits bistability.
[実施例] 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。[Examples] Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples.
実施例1 第6図(a)〜(f)は、R,G,B3色のカラーフィルター
層と熱溶融性樹脂層を含む第2の形成工程を示す工程図
である。Example 1 FIGS. 6 (a) to 6 (f) are process diagrams showing a second forming process including a color filter layer of R, G, B3 colors and a heat-fusible resin layer.
まず、コーニング社の#7059ガラス基板71上に、所望の
分光特性を得ることのできる青色着色樹脂材[ヘリオゲ
ン ブルー (Heliogen Blue)L7080(商品名,BASF社
製,C.I.No.74160)をPA−1000C(商品名,宇部興産社
製,ポリマー分=10%、溶剤:N−メチル−2−ピロリド
ン、顔料:ポリマー=1:2配合)に分散させ作製した感
光性の着色樹脂材]をスピンナー塗布法により、1.5μ
mの膜厚に塗布して着色樹脂膜72を形成した。(第6図
(a)参照) 次に該着色樹脂膜72に80℃、30分間のプリベークを行な
った後、形成しようとするパターン形状に対応したフォ
トマスク73を介して高圧水銀灯にて露光した。(第6図
(b)参照) 露光終了後、第6図(c)のごとく、光硬化部分72aを
有する着色樹脂層72の未露光部のみを溶解する専用現像
液(N−メチル−2−ピロリドンを主成分とする現像
液)にて超音波を使用して現像し、専用リンス液(例え
ば、イソプロピルアルコールを主成分とするリンス液)
で処理した後、150℃、30分間のポストベークを行な
い、パターン形状を有する青色着色樹脂膜からなる青色
のパターン状着色樹脂層74を形成した。(第6図(d)
参照) 続いて、青色着色パターンの形成されたガラス基板上
に、第2色目として緑色着色樹脂材[リオノール グリ
ーン(Lionol Green)6YK(商品名,東洋インキ社製,C.
I.No.74265)をPA−1000 C(商品名,宇部興産社製,ポ
リマー分=10%、溶剤:N−メチル−2−ピロリドン、顔
料:ポリマー=1:2配合)に分散させ作製した感光性の
着色樹脂材]を用いる以外は、上記と同様にして、緑色
のパターン状着色樹脂層75を基板上の所定の位置に形成
した。First, on a Corning # 7059 glass substrate 71, a blue colored resin material [Heliogen Blue L7080 (trade name, manufactured by BASF, CI No. 74160) that can obtain desired spectral characteristics is PA-1000C. (Commercial name, Ube Industries, Ltd., polymer content = 10%, solvent: N-methyl-2-pyrrolidone, pigment: polymer = 1: 2 blended) to produce a photosensitive colored resin material] spinner coating method Due to 1.5μ
The colored resin film 72 was formed by applying the resin to a thickness of m. (See FIG. 6 (a)) Next, the colored resin film 72 was prebaked at 80 ° C. for 30 minutes, and then exposed with a high pressure mercury lamp through a photomask 73 corresponding to the pattern shape to be formed. . (See FIG. 6 (b)) After the exposure, as shown in FIG. 6 (c), a dedicated developer (N-methyl-2-) that dissolves only the unexposed portion of the colored resin layer 72 having the photo-cured portion 72a. A developing solution containing pyrrolidone as a main component is developed using ultrasonic waves, and a dedicated rinse liquid (for example, a rinse liquid containing isopropyl alcohol as a main component) is used.
Then, post-baking was performed at 150 ° C. for 30 minutes to form a blue colored colored resin layer 74 made of a blue colored resin film having a pattern shape. (Fig. 6 (d)
Next, on the glass substrate on which the blue coloring pattern is formed, as the second color, a green coloring resin material [Lionol Green 6YK (trade name, manufactured by Toyo Ink Co., C.
I.No.74265) was dispersed in PA-1000 C (trade name, manufactured by Ube Industries, Ltd., polymer content = 10%, solvent: N-methyl-2-pyrrolidone, pigment: polymer = 1: 2 blend). A green patterned resin layer 75 was formed at a predetermined position on the substrate in the same manner as above except that a photosensitive colored resin material was used.
さらに、この様にして青色及び緑色パターンの形成され
ている基板上に、第3色目として、赤色着色樹脂材[イ
ルガジン レッド(Irgazin Red)BPT(商品名,チバガ
イギー(Ciba−Geigy)社製,C.I.No.71127)をPA−1000
C(商品名,宇部興産社製,ポリマー分=10%、溶剤:N
−メチル−2−ピロリドン、顔料:ポリマー=1:2配
合)に分散させ作製した感光性の着色樹脂材]を用いる
以外は、上記と同様にして、赤色のパターン状着色樹脂
層76を基板上の所定の位置に形成し、R(赤),G
(緑),B(青)の3色ストライプの着色パターンを得
た。(第6図(e)参照) 次いで、得られたカラーフィルター上にエチレン−酢酸
ビニル共重合体樹脂の酢酸メチル溶液をスピンナーを用
いて1.5μmの層厚に塗布し、約150℃の熱プレスにか
け、カラーフィルター画素間隙に熱溶融性樹脂77を埋め
た後、常温にもどし、カラーフィルターがバインドされ
た層を形成した(第6図(f)参照)。Further, as a third color, a red colored resin material [Irgazin Red BPT (trade name, manufactured by Ciba-Geigy, CINo. .71127) to PA-1000
C (Product name, Ube Industries, Polymer content = 10%, Solvent: N
-Methyl-2-pyrrolidone, pigment: polymer = 1: 2 blended) and prepared in the same manner as described above except that a photosensitive colored resin material is prepared. It is formed at the specified position of R, red, G
A colored pattern of three-color stripes of (green) and B (blue) was obtained. (See FIG. 6 (e)) Next, a methyl acetate solution of ethylene-vinyl acetate copolymer resin was applied on the obtained color filter with a spinner to a layer thickness of 1.5 μm, and heat-pressed at about 150 ° C. Then, the gap between the color filter pixels was filled with the heat-melting resin 77, and then the temperature was returned to room temperature to form a layer to which the color filter was bound (see FIG. 6 (f)).
この様にして得られたカラーフィルターパターン上に、
保護膜または平坦化膜78として着色樹脂材に用いたもの
と同様の透明樹脂材[PA−1000 C(商品名,宇部興産社
製、ポリマー分=10%、溶剤:N−メチル−2−ピロリド
ン)]をスピンナー塗布法により約0.5μmの膜厚にて
形成した。(第6図(f)参照) 以上により、同一平面化されたカラーフィルター基板を
形成することができた。On the color filter pattern obtained in this way,
A transparent resin material similar to that used for the colored resin material as the protective film or the flattening film 78 [PA-1000 C (trade name, manufactured by Ube Industries, Polymer content = 10%, solvent: N-methyl-2-pyrrolidone )] Was formed by a spinner coating method to a film thickness of about 0.5 μm. (See FIG. 6 (f)) As described above, it was possible to form the coplanarized color filter substrate.
次に第1図に示す様に、ITOを500Åの厚さにスパッタリ
ング法により成膜し、透明電極5とした。この上に配向
制御膜7として、ポリイミド形成溶液(日立化成工業
「PIQ」)を3000rpmで回転するスピンナーで塗布し、15
0℃で30分間加熱を行って2000Åのポリイミド被膜を形
成した。しかる後、このポリイミド被膜表面をラビング
処理した。Next, as shown in FIG. 1, ITO was formed into a film with a thickness of 500 Å by a sputtering method to form a transparent electrode 5. A polyimide forming solution (Hitachi Chemical Industries "PIQ") was applied as an orientation control film 7 on this with a spinner rotating at 3000 rpm.
Heating was performed at 0 ° C. for 30 minutes to form a 2000 Å polyimide film. Then, the surface of this polyimide coating film was rubbed.
このようにして形成したカラーフィルター基板と、対向
する基板3を貼り合せてセル組し、強誘電性液晶を注
入、封口して液晶素子を得た。この液晶素子をクロスニ
コルの偏光顕微鏡で観察したところ、内部の液晶分子は
配向欠陥を生じていないことが確認された。The color filter substrate thus formed and the opposing substrate 3 were attached to each other to form a cell set, and a ferroelectric liquid crystal was injected and sealed to obtain a liquid crystal element. When this liquid crystal element was observed with a crossed Nicols polarization microscope, it was confirmed that the liquid crystal molecules inside did not have alignment defects.
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば基板上のカラーフ
ィルター層の膜厚の差及びカラーフィルター画素間隙を
熱溶融性樹脂にて埋めていることにより、大きな段差を
生じることがない上、さらに必要に応じて保護膜・平坦
化膜を設けることにより、カラーフィルター各画素間に
生じる微小な段差をもなくすことが可能となり、また配
向欠陥の発生を防止することができ、強誘電性液晶の特
性を十分に発揮し得るカラーフィルターを有するカイラ
ルスメクチック液晶素子を提供することができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a large step is generated by filling the difference in film thickness of the color filter layer on the substrate and the gap between the color filter pixels with the heat-melting resin. In addition, by providing a protective film / planarizing film as needed, it is possible to eliminate minute steps between the color filter pixels and prevent the occurrence of alignment defects. It is possible to provide a chiral smectic liquid crystal element having a color filter that can sufficiently exhibit the characteristics of a ferroelectric liquid crystal.
第1図は本発明に係わる強誘電性液晶素子の基本構成を
示す示す断面図、第2図及び第3図は本発明に係わる強
誘電性液晶を模式的に表わした斜視図、第4図は従来の
強誘電性液晶素子の断面図、第5図は従来の強誘電性液
晶素子に現われた配向欠陥の状態を表わす概略説明図、
第6図(a)〜(f)は各々本発明の色画素の形成工程
を示す工程図である。 1,40……強誘電性液晶素子 2,3,41,42,61,71……基板 4,47……強誘電性液晶 5,6,43,44……透明電極 7,8,45,46……配向制御膜 9,48,78……保護膜(平坦化膜) 10……熱溶融性樹脂層 77……熱溶融性樹脂FIG. 1 is a sectional view showing the basic constitution of a ferroelectric liquid crystal device according to the present invention, FIGS. 2 and 3 are perspective views schematically showing the ferroelectric liquid crystal according to the present invention, and FIG. Is a cross-sectional view of a conventional ferroelectric liquid crystal element, and FIG. 5 is a schematic explanatory view showing the state of alignment defects appearing in the conventional ferroelectric liquid crystal element.
6 (a) to 6 (f) are process diagrams showing the process of forming the color pixel of the present invention. 1,40 …… Ferroelectric liquid crystal element 2,3,41,42,61,71 …… Substrate 4,47 …… Ferroelectric liquid crystal 5,6,43,44 …… Transparent electrode 7,8,45, 46 …… Orientation control film 9,48,78 …… Protective film (flattening film) 10 …… Heat-melting resin layer 77 …… Heat-melting resin
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田村 美樹 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 村田 辰雄 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 関村 信行 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 菊地 良喜 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−6624(JP,A) 特開 昭61−100728(JP,A) 特開 昭61−166523(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Miki Tamura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Tatsuo Murata 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Incorporated (72) Inventor Nobuyuki Sekimura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Yoshiki Kikuchi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. ( 56) References JP-A-61-16624 (JP, A) JP-A-61-100728 (JP, A) JP-A-61-166523 (JP, A)
Claims (2)
を有し、該一対の基板間の間隔をカイラルスメクチック
液晶のらせん配列構造の形成が抑制されるのに十分に小
さく設定させてなる液晶素子の製造方法において、少な
くとも一方の基板上にカラーフィルター単位を複数配置
してカラーフィルター層を形成し、該カラーフィルター
層上に熱溶融した熱溶融性樹脂を塗布した後、加熱加圧
して、隣り合うカラーフィルター単位間の該間隙を熱溶
融性樹脂層で埋めると共にカラーフィルター層の表面を
覆い、次いで熱溶融性樹脂層を冷却によって硬化させ、
該硬化した熱溶融性樹脂層の上に透明電極及び配向制御
膜を設けることを特徴とするカイラルスメクチック液晶
素子の製造方法。1. A liquid crystal device comprising a pair of substrates and a chiral smectic liquid crystal, wherein the distance between the pair of substrates is set small enough to suppress the formation of a helical arrangement structure of the chiral smectic liquid crystals. In the method, a plurality of color filter units are arranged on at least one substrate to form a color filter layer, and a heat-melted resin which is melted by heat is applied onto the color filter layer, and then heat and pressure are applied to the adjacent colors. The gap between the filter units is filled with a heat-meltable resin layer and the surface of the color filter layer is covered, and then the heat-meltable resin layer is cured by cooling,
A method for producing a chiral smectic liquid crystal device, comprising providing a transparent electrode and an orientation control film on the cured heat-meltable resin layer.
樹脂膜を成膜した後、透明電極を設ける特許請求の範囲
第1項記載のカイラルスメクチック液晶素子の製造方
法。2. The method for producing a chiral smectic liquid crystal device according to claim 1, wherein a transparent electrode is provided after forming an organic resin film on the cured heat-meltable resin layer.
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