JPH07305786A - 弁駆動用アクチュエータ - Google Patents
弁駆動用アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH07305786A JPH07305786A JP12080594A JP12080594A JPH07305786A JP H07305786 A JPH07305786 A JP H07305786A JP 12080594 A JP12080594 A JP 12080594A JP 12080594 A JP12080594 A JP 12080594A JP H07305786 A JPH07305786 A JP H07305786A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rack
- gear
- actuator
- power cylinder
- output shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
ン制御の安定性を確保し、リニアリティ精度を確保し、
エネルギー効率を向上すること。 【構成】 弁駆動用アクチュエータ10において、パワ
ーシリンダ22の作動軸24と出力軸27との間に歯車
減速装置30を配設したものであり、歯車減速装置30
が、パワーシリンダ22の作動軸24に取付けられる可
動ラック31と、アクチュエータ10のハウジング21
に固定される固定ラック32と、可動ラック31と固定
ラック32とに挟まれてそれらの可動ラック31と固定
ラック32とに噛合うギヤ33、34と、ギヤ33、3
4を枢支するとともに出力軸27が連結される可動子3
5とを有してなるもの。
Description
調節弁等を駆動するための空気式アクチュエータ等に関
する。
ける高温高圧調節弁等の空気式アクチュエータは、弁本
体内の制御流体圧力が広範囲に変動するため、(1) ポジ
ション制御の安定性、(2) リニアリティ精度の確保、
(3) エネルギー効率の向上が望まれる。
の圧力変動に対しアクチュエータのスラストが十分であ
ること、(b) ポジションの変位に対しアクチュエータの
スラストが一定であって、各ポジションでの出力速度が
一定であること、(c) アクチュエータ出力軸の単位スト
ロークに対し必要とされるパワーシリンダのストローク
が比較的大きいこと等によって確保される。
度指令の変化に対しアクチュエータ出力軸の変化がリニ
アであることを意味する。このリニアリティ精度が確保
されると、弁流量特性がアクチュエータ出力軸の変位に
対して定められている弁において、弁キャリブレーショ
ン時に流量変化に対する指令変化率を直ちに、補正する
ことなく定めることができる。
て、特開平4-312274号公報、或いは、実開昭63-37879号
公報に記載の如くのものがある。
ワーシリンダのスラストにより出力軸を直線駆動する弁
駆動用アクチュエータにおいて、弁を空気圧で開き、圧
縮ばねで閉じるとともに、弁全閉時にテコにより駆動力
を増大する機構を備えたものである。
体圧力を受けるダイヤフラムの変位により弁棒を直接駆
動する弁駆動用アクチュエータにおいて、弁棒の途中
に、ダイヤフラムの変位より弁体の移動を大きくする行
程増加機構を設けたものである。
312274号公報に記載の従来技術には、下記、の問題
点がある。
であるため、アクチュエータは負荷側のスラストに各ポ
ジションにおけるスプリング圧力が加わり、結果とし
て、負荷側へ出力する実質的な有効スラストがポジショ
ン位置により大きく変化し、一定の出力が得られず、ポ
ジション制御の安定に欠ける。また、ポジションによっ
ては、アクチュエータの駆動力がほとんどスプリングを
圧縮するために費やされ、エネルギー効率が非常に悪
い。
置により出力スラストが一定でなく、またポジション制
御上のリニアリティ精度の確保が難しい。
技術は、弁体のストロークを増加させるものであるか
ら、当然スラストが減少し、またアクチュエータ出力軸
の単位ストロークに対し必要とされるパワーシリンダの
ストロークは小さくなり、ポジション制御の安定性が悪
い。
て、ポジション制御の安定性を確保し、リニアリティ精
度を確保し、エネルギー効率を向上することを目的とす
る。
は、パワーシリンダのスラストにより出力軸を直線駆動
する弁駆動用アクチュエータにおいて、パワーシリンダ
の作動軸と出力軸との間に歯車減速装置を配設したもの
であり、歯車減速装置が、パワーシリンダの作動軸に取
付けられる可動ラックと、アクチュエータのハウジング
に固定される固定ラックと、可動ラックと固定ラックと
に挟まれてそれらの可動ラックと固定ラックとに噛合う
ギヤと、ギヤを枢支するとともに出力軸が連結される可
動子とを有してなるようにしたものである。
載の本発明において更に、前記歯車減速装置を構成する
ギヤが、可動ラックと噛合う第1段ギヤと、該第1段ギ
ヤと同軸一体で固定ラックと噛合う第2段ギヤとからな
るようにしたものである。
2に記載の本発明において更に、前記可動ラックをパワ
ーシリンダの動力源喪失時に手動ハンドル操作によりパ
ワーシリンダ軸方向に可動としてなるようにしたもので
ある。
2に記載の本発明において更に、前記固定ラックをパワ
ーシリンダの動力源喪失時に手動ハンドル操作によりパ
ワーシリンダ軸方向に可動としてなるようにしたもので
ある。
の作用がある。 パワーシリンダのストロークが減速装置により減速さ
れてアクチュエータの出力ストロークとなる。従って、
アクチュエータの出力スラストは負荷側の圧力変動に対
し十分に大となる。
ョンの変位に対するアクチュエータの出力スラストは一
定であり、各ポジションでの出力速度は一定となる。
により減速されてアクチュエータの出力ストロークとな
る。従って、アクチュエータ出力軸の単位ストロークに
対し必要とされるパワーシリンダのストロークを比較的
大きくとることができるものとなる。
性を確保できる。 減速装置の減速比は一定であり、弁開度指令の変化に
対するアクチュエータ出力軸の変化をリニアとし、リニ
アリティ精度を確保できる。
アクチュエータの出力スラストをTaとするとき、Ta
=Ts×1/R×η(R:減速比、η:伝達効率)であ
り、ηは単純なラックとギヤとの組み合わせであるた
め、0.9 以上の高効率であり、エネルギー効率は良い。
作用がある。 歯車減速装置の可動ラックと固定ラックとがギヤを介
して連結されているために1/2 の基準減速比を確保でき
る。更に、可動ラックと固定ラックとの間に介装される
ギヤを2段として更に減速することにより、小スペース
で大きな減速比が得られる。
ク、固定ラック及び可動ラックと固定ラックとの間に介
装されるギヤからなる減速装置にて第1段減速装置、第
2段減速装置の如くを構成し、第1段減速装置の出力軸
を第2段減速装置の可動ラックに導く如く複数段とし
て、更なる減速比を確保するように構成しても良い。
作用がある。 可動ラックを手動ハンドル操作により可動としたか
ら、パワーシリンダの動力源喪失時に直ちに復旧でき
る。
作用がある。 固定ラックを手動ハンドル操作により可動としたか
ら、パワーシリンダの動力源喪失時に直ちに復旧でき
る。このとき、パワーシリンダ側はむしろロック状態の
ままとし、パワーシリンダの上下室を導通する均圧弁を
設けること、及びその開操作が不要となる。
の一実施例を示す縦断面図、図2は図1のII-II 線に沿
う断面図、図3は図1のIII-III 線に沿う断面図、図4
は図1のIV-IV 線に沿う矢視図、図5は調節弁の一例を
示す模式図、図6はポジショナを示す模式図である。
弁11を駆動する。調節弁11は、図5に示す如く、入
口流路12及び出口流路13並びに弁室14を備えるケ
ーシング15と、ケーシング15の弁室14に形成され
る弁座16と、ケーシング15に移動可能に支持されて
弁体17を備える弁棒18とを有している。
1のケーシング15上に取付けられるハウジング21を
備え、このハウジング21の上部に空気式パワーシリン
ダ22を備えている。シリンダ22は、ピストン23と
作動軸24とを有し、後述するポジショナ50がピスト
ン23の上室25と下室26のそれぞれに加える制御空
気圧C1 、C2 に起因するスラストによって作動軸24
を上下動する。Sは供給空気圧である。
18が接続される出力軸27を備え、パワーシリンダ2
2の作動軸24と出力軸27との間に歯車減速装置30
を配設し、シリンダ22のスラストにより出力軸27を
上下に直線駆動するものとしている。
く、パワーシリンダ22の作動軸24に取付けられる可
動ラック31と、アクチュエータ10のハウジング21
に固定される固定ラック32と、可動ラック31と固定
ラック32とに挟まれてそれらの可動ラック31と固定
ラック32とに噛合うギヤ33、34と、ギヤ33、3
4を枢支するとともに出力軸27が連結される可動子3
5とを有している。ここで、ギヤ33とギヤ34は同軸
一体であり、ギヤ33は可動ラック31と噛合う第1段
ギヤ、ギヤ34は固定ラック32と噛合う第2段ギヤを
構成する。
動ラック31が左右両面にラック歯を有し、可動ラック
31回りで180 度間隔をなす2位置に固定ラック32、
32を設け、可動ラック31と各固定ラック32の間に
ギヤ33、34を設けた。即ち、この減速装置30は、
可動ラック31を太陽(中心ラック)、ギヤ33、34
を遊星ギヤとみれば、あたかも直線動遊星歯車減速装置
という如くのものである。
31と噛合うピニオン41をハウジング21に枢支し、
ハウジング21外に突出するピニオン軸41Aに手動ハ
ンドル42を固定している。パワーシリンダ22の動力
源喪失時に、手動ハンドル42に加える回転操作によ
り、可動ラック31をパワーシリンダ軸方向に可動し、
調節弁11を復旧可能とするものである。この手動ハン
ドル42の回転操作に先立ち、パワーシリンダ22の上
室25と下室26とが均圧弁43により導通される。
ワーシリンダ22のピストン23の位置制御)は、図6
のポジショナ50によって行なわれる。即ち、ポジショ
ナ50は2つの相反する力がバランスする原理でできて
いる。アクチュエータ10の位置は、これらの力の大き
さで決まり、その位置が維持される。ローディングベロ
ーズ51による上方へ働く力のモーメントが、ポジショ
ニングスプリング52によって下方に働く力のモーメン
トに等しくなったときにポジショナ50はバランスす
る。ローディングベローズ51の力は、システムから送
られてくる制御信号圧力Pによって決まる。ポジショニ
ングスプリング52の力はピストン23の位置(弁棒1
8、出力軸27の位置と同じ)とポジショニングカム5
3の形で決まる。ポジショナドライブアーム54はポジ
ショナドライブロッド55に接続され、ピストン23の
各位置に対応する位置をとる。ドライブアーム54はポ
ジショニングカム53と歯車56で連結されている。カ
ム53はスプリングビーム57とカムフォロア58のア
センンブリを動かし、ポジショニングスプリング52に
強弱の張力を与える。従って、スプリング52の張力は
ピストン23の位置によって決まる。カム53はピスト
ン位置とスプリング張力の関係を決め、制御信号圧力P
とピストン位置の関係が希望する特性にあるように選択
される。ローディングベローズ51とポジショニングス
プリング52の力とがバランスしているときは、バラン
スビーム59はパイロットバルブステム61をバランス
位置に保ち、それぞれのポートに負荷側と釣り合うに必
要な圧力差を発生させ、ピストン23の位置を一定に保
つ。パイロットバルブステム61が中立位置にあるとき
は、ステムの球部がパイロットポートの中央に位置して
いるから、それぞれのポートに等しい圧力を発生させ、
ピストン23の両側に等しい圧力を与える。制御システ
ムが制御信号圧力Pを変化させ、アクチュエータ10を
操作することを指示したときには、ローディングベロー
ズ51によってバランスビーム59に働く力が増減す
る。これによってバランスビーム59とパイロットバル
ブステム61が上下し、ピストン23の一方の側の制御
圧力を増加させ、他の側の圧力を減少させる。ピストン
23がこの圧力差で動くと、ポジショニングスプリング
52の張力は、ベローズ51によるモーメントに等しく
なり、パイロットバルブステム61が再びバランス位置
に戻り、ピストン23が指示された新しい位置に止まる
ことになる。
る。 ポジショナ50は上位システムからの弁開度指令と、
アクチュエータ出力軸27からの開度フィードバック信
号を受け、現状開度が指令開度となるように、シリンダ
22の上下両室25、26の圧力を調整する。
度にて100 %)を示すが、上位システムからの閉方向動
作指令(例えば開度指令50%等)に基づきピストン上部
の圧力を上昇するとともに下部の圧力を下降させ、結果
として作動軸24に下方の推力が発生する。
ラック31と固定ラック32とが同軸一体のギヤ33、
34を介して連結されていることにより、その速度を1/
2 に減速されるとともに、ギヤ33とギヤ34の歯数比
(本実施例では1.6 とする)により更に1/1.6 に減速さ
れる。従って、ギヤ33、34のキャリアである可動子
35に連結されている出力軸27上では、合計1/3.2 の
減速比となり、アクチュエータ10の出力スラストをT
a、パワーシリンダ22のスラストをTsとすると、T
a=Ts×3.2 ×η(伝達効率)が得られる。ここで、
伝達効率はηは単純なラック31、32とギヤ33、3
4との組み合わせであるため、0.9 以上の高効率とな
る。
指令に一致するとアクチュエータ10はバランス状態と
なり、負荷側のスラストと遊星減速装置30を介した駆
動側のスラストが釣り合うようポジショナ50によりシ
リンダ22の上下両室25、26の圧力が調節される。
り、弁全閉指令となると、更に出力軸27が降下し、弁
11側のシート位置にて下降動作が拘束されると、ポジ
ショナ50内の信号ヒステリシスによりシリンダ22の
上室25の圧力を供給圧力とほぼ同圧まで上昇させると
ともに、下室26の圧力を大気解放とし、最大スラスト
が出力軸27に発生することになる。この最大スラスト
により弁11の締め切りが確保される。
が喪失した場合には、均圧弁43を開き、シリンダ22
の上室25と下室26をバイパスし、手動ハンドル42
を操作することによって手動ハンドル軸(ピニオン軸4
1A)に一体のピニオン41を介し、シリンダ22の可
動軸24を駆動し出力軸27を所要の位置まで移動する
ことが可能となる。
ンダ22の動力源喪失対策として、固定ラック32を手
動ハンドル操作によりパワーシリンダ軸方向に可動とし
ても良い。固定ラック32をアクチュエータハウジング
に設けたスライド溝内に保持するとともに、手動ハンド
ル軸に固定のピニオンを固定ラック32の背面に設けた
ラック歯に噛合わせて該固定ラック32を上記スライド
溝内にて可動とする如くの構造となる。
り減速されてアクチュエータ10の出力ストロークとな
る。従って、アクチュエータ10の出力スラストは負荷
側の圧力変動に対し十分に大となる。
ジションの変位に対するアクチュエータ10の出力スラ
ストは一定であり、各ポジションでの出力速度は一定と
なる。
装置30により減速されてアクチュエータ10の出力ス
トロークとなる。従って、アクチュエータ出力軸27の
単位ストロークに対し必要とされるパワーシリンダ22
のストロークを比較的大きくとることができるものとな
る。
性を確保できる。 減速装置30の減速比は一定であり、弁開度指令の変
化に対するアクチュエータ出力軸27の変化をリニアと
し、リニアリティ精度を確保できる。
し、アクチュエータ10の出力スラストをTaとすると
き、Ta=Ts×1/R×η(R:減速比、η:伝達効
率)であり、ηは単純なラック31、32とギヤ33、
34との組み合わせであるため、0.9 以上の高効率であ
り、エネルギー効率は良い。
定ラック32とがギヤ33、34を介して連結されてい
るために1/2 の基準減速比を確保できる。更に、可動ラ
ック31と固定ラック32との間に介装されるギヤ3
3、34を2段として更に減速することにより、小スペ
ースで大きな減速比が得られる。
ヤ33、34を中心ラック(可動ラック31)回りで18
0 度間隔をなす2位置に2分して配置したから、各ギヤ
33、34を小型化できる。尚、可動ラック31と固定
ラック32との間のギヤは、中心ラック(可動ラック3
1)回りで90度間隔をなす4位置に4分して配置されて
も良く、60度間隔をなす6位置に6分して配置されても
良い。
1を中心に位置し、可動ラック31回りの両側2位置
(もしくは上述した4位置、6位置等)にギヤ33、3
4、固定ラック32を左右対称の如くに設けたから、ア
クチュエータ10の中心軸回りに作用する力が静的にバ
ランスし、曲げ応力が働くことがない。
により可動としたから、パワーシリンダ22の動力源喪
失時に直ちに復旧できる。
り可動としたから、パワーシリンダ22の動力源喪失時
に直ちに復旧できる。このとき、パワーシリンダ22側
はむしろロック状態のままとし、パワーシリンダ22の
上下室25、26を導通する均圧弁43を設けること、
及びその開操作が不要となる。
たが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変
更等があっても本発明に含まれる。例えば、可動ラック
とギヤと固定ラックは中心ラック(可動ラックを中心ラ
ックとするばかりでなく、固定ラックを中心ラックとし
ても良い)の両側に線対称をなす如くに配置されて直線
動遊星歯車減速装置の如くを構成することに限らず、中
心ラックの片側にのみ配置されるものであっても良い。
設されるギヤはただ1個であっても良い。
アクチュエータにおいて、ポジション制御の安定性を確
保し、リニアリティ精度を確保し、エネルギー効率を向
上することができる。
一実施例を示す縦断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 パワーシリンダのスラストにより出力軸
を直線駆動する弁駆動用アクチュエータにおいて、 パワーシリンダの作動軸と出力軸との間に歯車減速装置
を配設したものであり、 歯車減速装置が、パワーシリンダの作動軸に取付けられ
る可動ラックと、アクチュエータのハウジングに固定さ
れる固定ラックと、可動ラックと固定ラックとに挟まれ
てそれらの可動ラックと固定ラックとに噛合うギヤと、
ギヤを枢支するとともに出力軸が連結される可動子とを
有してなることを特徴とする弁駆動用アクチュエータ。 - 【請求項2】 前記歯車減速装置を構成するギヤが、可
動ラックと噛合う第1段ギヤと、該第1段ギヤと同軸一
体で固定ラックと噛合う第2段ギヤとからなる請求項1
記載の弁駆動用アクチュエータ。 - 【請求項3】 前記可動ラックをパワーシリンダの動力
源喪失時に手動ハンドル操作によりパワーシリンダ軸方
向に可動としてなる請求項1又は2記載の弁駆動用アク
チュエータ。 - 【請求項4】 前記固定ラックをパワーシリンダの動力
源喪失時に手動ハンドル操作によりパワーシリンダ軸方
向に可動としてなる請求項1又は2記載の弁駆動用アク
チュエータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6120805A JP2715258B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 弁駆動用アクチュエータ |
CN95100670A CN1042763C (zh) | 1994-05-11 | 1995-03-11 | 阀驱动用促动器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6120805A JP2715258B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 弁駆動用アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07305786A true JPH07305786A (ja) | 1995-11-21 |
JP2715258B2 JP2715258B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=14795422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6120805A Expired - Lifetime JP2715258B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 弁駆動用アクチュエータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2715258B2 (ja) |
CN (1) | CN1042763C (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009103318A (ja) * | 2002-06-14 | 2009-05-14 | Kitz Corp | 空気圧アクチュエータ |
CN103791143A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-05-14 | 江苏远望仪器有限公司 | 设有故障反馈结构的阀门液压执行器 |
CN104180049A (zh) * | 2014-09-05 | 2014-12-03 | 上海诺特飞博燃烧设备有限公司 | 一种慢开快关安全阀的驱动装置及其驱动方法 |
CN104564887A (zh) * | 2015-01-13 | 2015-04-29 | 沈传良 | 液压升降机用下行流量自控调节阀 |
KR101658170B1 (ko) * | 2015-04-14 | 2016-09-22 | 주식회사 오토마인터내셔널 | 공기압을 이용한 적층 실린더형 구동장치 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100390449C (zh) * | 2002-05-10 | 2008-05-28 | 株式会社泰可诺高槻 | 多方向性切换阀 |
CN104048093B (zh) * | 2013-03-15 | 2016-03-23 | 湖南鸿远高压阀门有限公司 | 一种复合阀驱动机构和硬密封复合阀 |
CN104358915B (zh) * | 2014-10-14 | 2016-11-23 | 许环繁 | 一种双动气控开关 |
CN107420619B (zh) * | 2017-09-14 | 2023-01-17 | 东莞力嘉塑料制品有限公司 | 一种无源机械循环式压力释放执行装置 |
CN110410561B (zh) * | 2019-07-24 | 2020-12-29 | 武汉理工大学 | 一种变速开阀装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06241344A (ja) * | 1993-02-16 | 1994-08-30 | Vat Holding Ag | アクチュエータ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU1813960C (ru) * | 1991-02-19 | 1993-05-07 | Центральное конструкторское бюро арматуростроения Ленинградского научно-производственного объединения арматуростроения "Знамя труда" им.И.И.Лепсе | Клапан |
-
1994
- 1994-05-11 JP JP6120805A patent/JP2715258B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-03-11 CN CN95100670A patent/CN1042763C/zh not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06241344A (ja) * | 1993-02-16 | 1994-08-30 | Vat Holding Ag | アクチュエータ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009103318A (ja) * | 2002-06-14 | 2009-05-14 | Kitz Corp | 空気圧アクチュエータ |
CN103791143A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-05-14 | 江苏远望仪器有限公司 | 设有故障反馈结构的阀门液压执行器 |
CN103791143B (zh) * | 2013-11-25 | 2016-05-25 | 江苏远望仪器有限公司 | 设有故障反馈结构的阀门液压执行器 |
CN104180049A (zh) * | 2014-09-05 | 2014-12-03 | 上海诺特飞博燃烧设备有限公司 | 一种慢开快关安全阀的驱动装置及其驱动方法 |
CN104564887A (zh) * | 2015-01-13 | 2015-04-29 | 沈传良 | 液压升降机用下行流量自控调节阀 |
KR101658170B1 (ko) * | 2015-04-14 | 2016-09-22 | 주식회사 오토마인터내셔널 | 공기압을 이용한 적층 실린더형 구동장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1042763C (zh) | 1999-03-31 |
JP2715258B2 (ja) | 1998-02-18 |
CN1113302A (zh) | 1995-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5487527A (en) | Valve actuator | |
US8201580B2 (en) | High flow capacity positioner | |
US5240041A (en) | Synthesized flow-control servovalve | |
JP4772091B2 (ja) | 複動型ロータリーバルブアクチュエータ | |
JP2715258B2 (ja) | 弁駆動用アクチュエータ | |
WO2013119240A1 (en) | Electro-hydraulic servo valve | |
JPS60147588A (ja) | 可変流体ポンプのトルク制御装置 | |
EP0164347B1 (en) | A fluid actuator for stepwise regulation of valves | |
US4882977A (en) | Rotary actuator | |
JP2000516885A (ja) | 電気油圧式の制御装置 | |
US3266379A (en) | Electro-pneumatic process controller | |
US4464976A (en) | Two-stage pneumatic servomotor | |
US3087471A (en) | Proportional positioning using hydraulic jet | |
JPS5977926A (ja) | 動力補助装置 | |
US3125000A (en) | Airfoil controlling actuator | |
CN116906394A (zh) | 一种双压电环自传感弯驱型两级滑阀式电液伺服阀 | |
JPS63203904A (ja) | 電気液圧式制御装置 | |
US4510846A (en) | Pneumatic actuator device | |
EP0370070B1 (en) | Synthetisized flow-control servovalve | |
US3216331A (en) | Electric-pneumatic process controller | |
JPH0463241B2 (ja) | ||
US4784039A (en) | Electric and pneumatic valve positioner | |
CN100402899C (zh) | 精密流量调节阀 | |
JP2892451B2 (ja) | 電気―空気サーボアクチュエータ | |
JP2003056633A (ja) | 減衰係数切替型油圧ダンパ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971007 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 11 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 11 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091107 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101107 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 Year of fee payment: 16 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |