JPH07201222A - Conductive paste, ceramic lamination body, and manufacture of ceramic lamination body - Google Patents
Conductive paste, ceramic lamination body, and manufacture of ceramic lamination bodyInfo
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- JPH07201222A JPH07201222A JP35285193A JP35285193A JPH07201222A JP H07201222 A JPH07201222 A JP H07201222A JP 35285193 A JP35285193 A JP 35285193A JP 35285193 A JP35285193 A JP 35285193A JP H07201222 A JPH07201222 A JP H07201222A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明はセラミック積層体の内
部導体層を形成するための導電性ペーストとこの導電性
ペーストを用いて形成したセラミック積層体とこのセラ
ミック積層体の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conductive paste for forming an internal conductor layer of a ceramic laminate, a ceramic laminate formed by using the conductive paste, and a method for producing the ceramic laminate. .
【0002】[0002]
【従来の技術】セラミック積層体としては、積層セラミ
ックコンデンサ、積層インダクタ、多層基板又はこれら
を複合化させた電子部品等が知られている。2. Description of the Related Art As a ceramic laminated body, there are known a laminated ceramic capacitor, a laminated inductor, a multilayer substrate, an electronic component in which these are combined, and the like.
【0003】これらのセラミック積層体のうちで、例え
ば、積層セラミックコンデンサは、誘電体層と内部導体
層とが交互に積層され、各誘電体層が内部導体層によっ
て各々挟持されるような構造になっている。ここで、誘
電体層は未焼成の磁器シート(セラミックグリーンシー
ト)を高温で焼成して焼結させたものからなり、内部導
体層は導電性ペーストを高温で焼成して導電性の金属薄
膜としたものからなる。Of these ceramic laminated bodies, for example, a laminated ceramic capacitor has a structure in which dielectric layers and internal conductor layers are alternately laminated, and each dielectric layer is sandwiched by internal conductor layers. Has become. Here, the dielectric layer is formed by firing an unfired porcelain sheet (ceramic green sheet) at a high temperature and sintering it, and the internal conductor layer is obtained by firing a conductive paste at a high temperature to form a conductive metal thin film. It consists of
【0004】導電性ペーストは、一般に、金属微粉末を
有機バインダ及び有機溶剤によって分散させたものから
なる。ここで、金属微粉末としては、貴金属(Pd,A
g等)の微粉末または卑金属(Ni,Cu等)の微粉末
が使用され、有機バインダとしては、アクリル樹脂、フ
ェノール樹脂、アルキッド樹脂、ロジンエステル、各種
セルロース等が使用され、有機溶剤としては、アルコー
ル系、炭化水素系、エーテル系、エステル系等のものが
使用されている。The conductive paste is generally composed of fine metal powder dispersed with an organic binder and an organic solvent. Here, as the fine metal powder, precious metal (Pd, A
g) or fine powder of base metal (Ni, Cu, etc.), acrylic resin, phenol resin, alkyd resin, rosin ester, various celluloses, etc. are used as the organic binder, and the organic solvent is Alcohol-based, hydrocarbon-based, ether-based, ester-based, etc. are used.
【0005】この導電性ペーストはセラミックグリーン
シートにスクリーン印刷法によって所定パターンで印刷
される。導電性ペーストが所定パターンで印刷されたセ
ラミックグリーンシートは有機溶剤を乾燥させた後、複
数枚が積層・圧着され、サイコロ状に切断された後、1
200〜1400℃程度の高温で焼成される。この焼成
により、導電性ペースト中の有機バインダは燃焼・除去
され、金属微粉末は焼結して膜状の内部導体層となる。This conductive paste is printed on a ceramic green sheet in a predetermined pattern by a screen printing method. The ceramic green sheet on which the conductive paste is printed in a predetermined pattern is dried with an organic solvent, and then a plurality of sheets are stacked and pressure-bonded and cut into dice, and then 1
It is baked at a high temperature of about 200 to 1400 ° C. By this firing, the organic binder in the conductive paste is burned and removed, and the fine metal powder is sintered to form a film-shaped internal conductor layer.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の導電
性ペーストを使用してセラミック積層体を形成した場
合、セラミック層と内部導体層の組成が大幅に異なるの
で、セラミック層と内部導体層との間の結合力が比較的
弱く、焼成の際におけるセラミック層と内部導体層との
膨張・収縮の差からデラミネーションを生ずることがあ
るという問題があった。By the way, when a ceramic laminated body is formed by using a conventional conductive paste, the composition of the ceramic layer and the internal conductor layer is significantly different. There is a problem that the bonding force between the layers is relatively weak and delamination may occur due to the difference in expansion and contraction between the ceramic layer and the internal conductor layer during firing.
【0007】この発明は、セラミック積層体にデラミネ
ーションを生じさせない導電性ペーストを提供するこ
と、デラミネーションを生じないセラミック積層体を提
供すること及びそのようなセラミック積層体を製造する
ための方法を提供すること目的とする。The present invention provides a conductive paste that does not cause delamination in a ceramic laminate, a ceramic laminate that does not cause delamination, and a method for making such a ceramic laminate. The purpose is to provide.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載された導
電性ペーストは、上記課題を解決するため、金属微粉末
と有機バインダと有機溶剤とを少なくとも含有し、セラ
ミック層の間に内部導体層を挟持させた構造を少なくと
も1以上有するセラミック積層体の該内部導体層を形成
させるための導電性ペーストにおいて、該内部導体層の
膜厚以上の粒径のセラミック粒子を含有させた。In order to solve the above-mentioned problems, a conductive paste according to a first aspect of the present invention contains at least fine metal powder, an organic binder and an organic solvent, and an internal conductor between ceramic layers. In a conductive paste for forming the inner conductor layer of a ceramic laminate having at least one structure having layers sandwiched therein, ceramic particles having a particle size equal to or larger than the film thickness of the inner conductor layer were contained.
【0009】また、請求項5に記載されたセラミック積
層体は、上記課題を解決するため、セラミック層の間に
内部導体層を挟持させた構造を少なくとも1以上有する
セラミック積層体において、該内部導体層を介して隣り
合うセラミック層を、該内部導体層を貫通するセラミッ
ク粒子によって連結させた。In order to solve the above-mentioned problems, the ceramic laminated body according to a fifth aspect of the present invention is a ceramic laminated body having at least one structure in which an internal conductor layer is sandwiched between ceramic layers. Ceramic layers adjacent to each other through the layers were connected by ceramic particles penetrating the inner conductor layer.
【0010】請求項9に記載されたセラミック積層体の
製造方法は、上記課題を解決するため、金属微粉末を含
有する導電性ペーストからなる未焼成の内部導体層をセ
ラミック層の上に形成させる工程と、該内部導体層の上
に他のセラミック層を積層する工程とを1回以上繰り返
して未焼成のセラミック積層体を形成し、該未焼成のセ
ラミック積層体を焼成することによって焼成したセラミ
ック積層体を得るセラミック積層体の製造方法におい
て、焼成後の内部導体層の膜厚より粒径の大きなセラミ
ック粒子を前記導電性ペーストに含有させた。In order to solve the above-mentioned problems, a method for manufacturing a ceramic laminate according to a ninth aspect of the present invention forms an unfired internal conductor layer made of a conductive paste containing fine metal powder on the ceramic layer. The step of stacking another ceramic layer on the internal conductor layer is repeated one or more times to form an unfired ceramic laminate, and the unfired ceramic laminate is fired to form a ceramic. In the method for manufacturing a ceramic laminated body for obtaining a laminated body, the conductive paste contains ceramic particles having a particle size larger than the film thickness of the internal conductor layer after firing.
【0011】請求項13に記載されたセラミック積層体
の製造方法は、上記課題を解決するため、金属微粉末を
含有する導電性ペーストからなる未焼成の内部導体層を
セラミック層の上に形成させる工程と、該未焼成の内部
導体層の上にセラミック粉末をまぶす工程と、該内部導
体層の上に他のセラミック層を積層する工程とを繰り返
して未焼成のセラミック積層体を形成し、該未焼成のセ
ラミック積層体を焼成することによって焼成したセラミ
ック積層体を得るセラミック積層体の製造方法であっ
て、前記セラミック粉末の粒径を焼成後の前記内部導体
層の膜厚より大きくした。In order to solve the above-mentioned problems, the method for manufacturing a ceramic laminate according to a thirteenth aspect forms an unfired internal conductor layer made of a conductive paste containing fine metal powder on the ceramic layer. The step, the step of sprinkling ceramic powder on the unsintered internal conductor layer, and the step of laminating another ceramic layer on the internal conductor layer are repeated to form an unsintered ceramic laminate, A method for manufacturing a ceramic laminate, in which a ceramic laminate obtained by firing an unfired ceramic laminate is obtained, wherein a particle diameter of the ceramic powder is larger than a film thickness of the internal conductor layer after firing.
【0012】ここで、前記セラミック粒子の材料として
は、請求項2,6,10及び14に記載したように、前
記セラミック積層体のセラミック層と略同一組成の組成
物が好ましい。Here, as the material of the ceramic particles, as described in claims 2, 6, 10 and 14, a composition having substantially the same composition as the ceramic layer of the ceramic laminate is preferable.
【0013】また、前記セラミック粒子の粒径は、請求
項3,7,11及び15に記載したように、前記セラミ
ック積層体の内部導体層の膜厚の1.0〜3.0倍が好
ましい。セラミック粒子の粒径が内部導体層の膜厚の
1.0倍未満では隣り合うセラミック層を連結すること
ができず、セラミック粒子の粒径が内部導体層の膜厚の
3倍を越えるとセラミック層を形成するグリーンシート
が変形してしまうからである。Further, the particle size of the ceramic particles is preferably 1.0 to 3.0 times the film thickness of the internal conductor layer of the ceramic laminate as described in claims 3, 7, 11 and 15. . If the particle size of the ceramic particles is less than 1.0 times the film thickness of the internal conductor layer, the adjacent ceramic layers cannot be connected, and if the particle size of the ceramic particles exceeds 3 times the film thickness of the internal conductor layer, the ceramic is This is because the green sheet forming the layer is deformed.
【0014】更に、前記セラミック粒子の含有率は、請
求項4,8,12及び16に記載したように、導電性ペ
ースト又は内部導体層に含有される金属微粉末の重量に
対して1〜30重量部が好ましい。セラミック粒子の含
有率が1重量部未満ではデラミネーション防止の効果が
なく、セラミック粒子の含有率が30重量部を越えると
内部導体層の連続性が悪化し、容量設計が困難になるか
らである。Further, the content of the ceramic particles is 1 to 30 with respect to the weight of the fine metal powder contained in the conductive paste or the internal conductor layer, as described in claims 4, 8, 12 and 16. Parts by weight are preferred. This is because if the content of the ceramic particles is less than 1 part by weight, there is no delamination-preventing effect, and if the content of the ceramic particles exceeds 30 parts by weight, the continuity of the internal conductor layer is deteriorated and the capacity design becomes difficult. .
【0015】なお、金属微粉末としては、例えばPd,
Pt,Ag,Au等の貴金属の微粉末や、Ni,Cu等
の卑金属の微粉末を使用することができる。また、有機
バインダとしては、例えばアクリル樹脂、フェノール樹
脂、アルキッド樹脂、ロジンエステル、各種セルロース
等を挙げることができるが、これらに限定されるもので
はなく、これら以外の有機化合物も使用することができ
る。有機溶剤としてはアルコール系、炭化水素系、エー
テル系、エステル系等の溶剤を使用することができる。As the metal fine powder, for example, Pd,
Fine powders of precious metals such as Pt, Ag and Au and fine powders of base metals such as Ni and Cu can be used. Examples of the organic binder include acrylic resin, phenol resin, alkyd resin, rosin ester, various celluloses, etc., but are not limited to these, and organic compounds other than these can also be used. . As the organic solvent, alcohol-based, hydrocarbon-based, ether-based, ester-based solvents and the like can be used.
【0016】また、導電性ペーストには、上述した成分
以外に、添加剤を添加するのが一般的である。添加剤と
しては、BaO,TiO2 等の酸化物、セラミック層と
同質のセラミック粉末、有機ベントナイト等を使用する
ことができる。In addition to the above-mentioned components, it is common to add additives to the conductive paste. As the additive, oxides such as BaO and TiO 2 , ceramic powder of the same quality as the ceramic layer, organic bentonite, and the like can be used.
【0017】[0017]
【作用】請求項1に記載された導電性ペーストは、焼成
後の内部導体層の膜厚以上の粒径のセラミック粒子を含
有しているので、内部導体層を印刷したセラミックグリ
ーンシートを積層・圧着させた場合、セラミック粒子が
内部導体層の表裏面から露出して、この内部導体層を挟
んでいる各セラミック層に食い込み、そして、高温焼成
した場合、このセラミック粒子とセラミック層とが各々
焼結・結合する。Since the conductive paste according to claim 1 contains ceramic particles having a particle size equal to or larger than the film thickness of the internal conductor layer after firing, a ceramic green sheet having the internal conductor layer printed thereon is laminated. When pressure-bonded, the ceramic particles are exposed from the front and back surfaces of the inner conductor layer and penetrate into each ceramic layer sandwiching the inner conductor layer, and when fired at high temperature, the ceramic particles and the ceramic layer are respectively burned. Connect and combine.
【0018】また、請求項2に記載された導電性ペース
トは、セラミック層と略同一組成の組成物からなるセラ
ミック粒子を含有しているので、これを用いてセラミッ
ク積層体を製造した場合、セラミック積層体の電気的特
性がこのセラミック粒子によって影響され難い。Further, since the conductive paste according to the second aspect contains ceramic particles made of a composition having substantially the same composition as the ceramic layer, when a ceramic laminate is manufactured using this, the ceramic paste is The electrical properties of the stack are less affected by the ceramic particles.
【0019】また、請求項3に記載された導電性ペース
トは、内部導体層の膜厚の1.3〜3.0倍の粒径のセ
ラミック粒子を含有しているので、これを用いてセラミ
ック積層体を製造した場合、隣り合うセラミック層がそ
の間に挟んでいるセラミック粒子によって強固に連結さ
れる。Since the conductive paste according to claim 3 contains ceramic particles having a particle diameter of 1.3 to 3.0 times the film thickness of the internal conductor layer, the ceramic paste is used. When a laminated body is manufactured, adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched between them.
【0020】また、請求項4に記載された導電性ペース
トは、前記セラミック粒子の含有率が金属微粉末の重量
に対して1〜30重量部としたので、これを用いてセラ
ミック積層体を製造した場合、隣り合うセラミック層が
その間に挟んでいるセラミック粒子によって強固に連結
される。Further, in the conductive paste according to the present invention, the content of the ceramic particles is 1 to 30 parts by weight with respect to the weight of the fine metal powder. In this case, the adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched between them.
【0021】また、請求項5に記載されたセラミック積
層体は、内部導体層を介して隣り合うセラミック層が、
該内部導体層を貫通するセラミック粒子によって連結さ
せられているので、応力が局部的に作用しても内部導体
層を介して隣り合うセラミック層が離れ難い。In the ceramic laminate according to the present invention, the ceramic layers adjacent to each other with the internal conductor layer interposed therebetween are
Since they are connected by the ceramic particles penetrating the inner conductor layer, it is difficult for adjacent ceramic layers to separate via the inner conductor layer even if stress locally acts.
【0022】また、請求項6に記載されたセラミック積
層体は、セラミック層を連結するセラミック粒子とし
て、セラミック層と略同一組成の組成物を使用している
ので、セラミック積層体の電気的特性がセラミック粒子
によって影響され難い。Further, in the ceramic laminate according to the sixth aspect, the composition having substantially the same composition as that of the ceramic layer is used as the ceramic particles for connecting the ceramic layers, so that the electrical characteristics of the ceramic laminate are Not easily affected by ceramic particles.
【0023】また、請求項7に記載されたセラミック積
層体は、隣り合うセラミック層を連結させている前記セ
ラミック粒子の粒径を、内部導体層の膜厚の1.3〜
3.0倍としたので、隣り合うセラミック層がその間に
挟んでいるセラミック粒子によって強固に連結される。In the ceramic laminate according to the present invention, the particle size of the ceramic particles connecting adjacent ceramic layers is set to 1.3 to the thickness of the internal conductor layer.
Since it is set to 3.0 times, the adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched therebetween.
【0024】また、請求項8に記載されたセラミック積
層体は、隣り合うセラミック層を連結させている前記セ
ラミック粒子の含有率が前記内部導体層に含有される金
属微粉末の重量に対して1〜30重量部としたので、隣
り合うセラミック層が強固に連結される。In the ceramic laminate according to the present invention, the content of the ceramic particles connecting the adjacent ceramic layers is 1 with respect to the weight of the fine metal powder contained in the inner conductor layer. Since the amount is up to 30 parts by weight, the adjacent ceramic layers are firmly connected.
【0025】また、請求項9に記載されたセラミック積
層体の製造方法は、焼成後の内部導体層の膜厚以上の粒
径のセラミック粒子を含有している導電性ペーストを使
用して内部導体層を形成しているので、内部導体層を印
刷したセラミックグリーンシートを積層・圧着させた場
合、セラミック粒子が内部導体層の表裏面から露出し
て、この内部導体層を挟んでいる各セラミック層に食い
込み、そして、高温焼成した場合、このセラミック粒子
とセラミック層とが各々焼結・結合する。Further, in the method for manufacturing a ceramic laminate according to the ninth aspect, an internal conductor is prepared by using a conductive paste containing ceramic particles having a particle size equal to or larger than the film thickness of the internal conductor layer after firing. Since the layers are formed, when the ceramic green sheets printed with the inner conductor layers are laminated and pressure-bonded, the ceramic particles are exposed from the front and back surfaces of the inner conductor layers, and the ceramic layers sandwiching the inner conductor layers are exposed. When it digs into and is fired at a high temperature, the ceramic particles and the ceramic layer are respectively sintered and bonded.
【0026】また、請求項10に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック層と略同一組成の組成
物からなるセラミック粒子を含有している導電性ペース
トを使用しているので、これを用いてセラミック積層体
を製造した場合、セラミック積層体の電気的特性がセラ
ミック粒子によって影響され難い。In the method for manufacturing a ceramic laminate according to the tenth aspect of the present invention, a conductive paste containing ceramic particles made of a composition having substantially the same composition as the ceramic layer is used. When the ceramic laminate is manufactured using the ceramic laminate, the electrical characteristics of the ceramic laminate are not easily affected by the ceramic particles.
【0027】また、請求項11に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、内部導体層の膜厚の1.3〜3.
0倍の粒径のセラミック粒子を含有している導電性ペー
ストを使用しているので、これを用いてセラミック積層
体を製造した場合、隣り合うセラミック層がその間に挟
んでいるセラミック粒子によって強固に連結される。The method for manufacturing a ceramic laminate according to claim 11 has a thickness of the internal conductor layer of 1.3 to 3.
Since the conductive paste containing the ceramic particles of 0 times the particle size is used, when a ceramic laminate is manufactured using this, the ceramic particles sandwiched between the adjacent ceramic layers firmly adhere to each other. Be connected.
【0028】また、請求項12に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック粒子の含有率が金属微
粉末の重量に対して1〜30重量部とした導電性ペース
トを使用しているので、これを用いてセラミック積層体
を製造した場合、隣り合うセラミック層がその間に挟ん
でいるセラミック粒子によって強固に連結される。Further, in the method for producing a ceramic laminate according to the twelfth aspect of the invention, since the conductive paste is used in which the content of the ceramic particles is 1 to 30 parts by weight with respect to the weight of the fine metal powder. When a ceramic laminate is manufactured using this, adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched between them.
【0029】また、請求項13に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、内部導体層の上に他のセラミック
層を積層させる前に、未焼成の内部導体層の上に焼成後
の内部導体層の膜厚より大きい粒径のセラミック粉末を
まぶすので、内部導体層を印刷したセラミックグリーン
シートを積層・圧着させた場合、セラミック粒子が内部
導体層を貫通し、この内部導体層を挟んでいる各セラミ
ック層に食い込み、そして、高温焼成した場合、このセ
ラミック粒子とセラミック層とが各々焼結・結合する。In the method for manufacturing a ceramic laminate according to a thirteenth aspect, the internal conductor after firing is formed on the unfired internal conductor layer before the other ceramic layers are laminated on the internal conductor layer. Since the ceramic powder having a particle size larger than the layer thickness is sprinkled, when the ceramic green sheets printed with the internal conductor layers are laminated and pressure-bonded, the ceramic particles penetrate the internal conductor layers and sandwich the internal conductor layers. When it digs into each ceramic layer and is fired at a high temperature, the ceramic particles and the ceramic layer are respectively sintered and bonded.
【0030】また、請求項14に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック層と略同一組成の組成
物からなるセラミック粒子を使用しているので、これを
用いてセラミック積層体を製造した場合、セラミック積
層体の電気的特性がセラミック粒子によって影響され難
い。Further, in the method for producing a ceramic laminate according to the fourteenth aspect, since the ceramic particles composed of the composition having substantially the same composition as the ceramic layer are used, the ceramic laminate is produced using the same. In this case, the electrical characteristics of the ceramic laminate are not easily affected by the ceramic particles.
【0031】また、請求項15に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、内部導体層の膜厚の1.3〜3.
0倍の粒径のセラミック粒子を使用しているので、これ
を用いてセラミック積層体を製造した場合、隣り合うセ
ラミック層がその間に挟んでいるセラミック粒子によっ
て強固に連結される。The method for manufacturing a ceramic laminate according to the fifteenth aspect is characterized in that the internal conductor layer has a thickness of 1.3 to 3.
Since the ceramic particles of 0 times the particle size are used, when a ceramic laminated body is manufactured using this, adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched therebetween.
【0032】また、請求項16に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック粒子の使用量を導電性
ペースト中に含まれる金属微粉末の重量に対して1〜3
0重量部としたので、これを用いてセラミック積層体を
製造した場合、隣り合うセラミック層がその間に挟んで
いるセラミック粒子によって強固に連結される。Further, in the method for manufacturing a ceramic laminate according to claim 16, the amount of the ceramic particles used is 1 to 3 with respect to the weight of the fine metal powder contained in the conductive paste.
Since it is 0 part by weight, when a ceramic laminate is manufactured using this, adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched therebetween.
【0033】[0033]
実施例1 まず、誘電体層用として形成したチタン酸バリウム系の
セラミック材料を用いて粒径3μmのセラミック粒子を
調製した。そして、このセラミック粒子(10重量
部)、Pd粉末(50重量部)、エチルセルロース(4
重量部)、ブチルカルビトール(70重量部)を3本ロ
ールミルに入れ、充分に混練して内部導体層用の導電性
ペーストを作製した。Example 1 First, ceramic particles having a particle size of 3 μm were prepared using a barium titanate-based ceramic material formed for a dielectric layer. Then, the ceramic particles (10 parts by weight), Pd powder (50 parts by weight), ethyl cellulose (4 parts by weight)
Parts by weight) and butyl carbitol (70 parts by weight) were placed in a three-roll mill and sufficiently kneaded to prepare a conductive paste for the internal conductor layer.
【0034】次に、この導電性ペーストのパターンを誘
電体層用として形成したチタン酸バリウム系のセラミッ
クグリーンシートにスクリーン印刷法で印刷した。そし
て、導電性ペーストが乾燥した後、このセラミックグリ
ーンシートを50層積層し、加圧・圧着し、サイコロ状
に裁断し、これを焼成炉で焼成し、外部電極を焼き付け
て積層セラミックコンデンサを形成した。Next, the pattern of the conductive paste was printed on the barium titanate-based ceramic green sheet formed for the dielectric layer by a screen printing method. After the conductive paste is dried, 50 layers of this ceramic green sheet are laminated, pressed and pressed, cut into dice, baked in a baking furnace, and external electrodes are baked to form a laminated ceramic capacitor. did.
【0035】次に、この積層セラミックコンデンサにつ
いて、その静電容量(μF)を調べた。結果は、表1の
試料番号1に示す通りとなった。また、この積層セラミ
ックコンデンサを内部導体層面に垂直な面で切断して鏡
面研磨し、光学顕微鏡で観察して、積層セラミックコン
デンサ100個中のデラミネーションの数を調べた。結
果は、表1の試料番号1に示す通りとなった。Next, the capacitance (μF) of this laminated ceramic capacitor was examined. The results are as shown in Sample No. 1 in Table 1. Further, this multilayer ceramic capacitor was cut along a plane perpendicular to the surface of the internal conductor layer, mirror-polished, and observed with an optical microscope to examine the number of delaminations in 100 multilayer ceramic capacitors. The results are as shown in Sample No. 1 in Table 1.
【0036】比較例1 セラミック粒子を添加しなかった点を除いて実施例1と
同一の条件で導電性ペーストを調製し、実施例1と同一
の条件で積層セラミックコンデンサを作成し、その静電
容量(μF)及び積層磁器コンデンサ100個中におけ
るデラミネーションの数を調べた。結果は、表1の試料
番号2に示す通りとなった。Comparative Example 1 A conductive paste was prepared under the same conditions as in Example 1 except that ceramic particles were not added, and a multilayer ceramic capacitor was prepared under the same conditions as in Example 1 and its electrostatic The capacity (μF) and the number of delaminations in 100 laminated ceramic capacitors were examined. The results are shown in Table 1, Sample No. 2.
【0037】[0037]
【表1】 [Table 1]
【0038】実施例2 セラミック粒子の粒径を1.0μm〜5.0μmの範囲
で変化させた点を除いて実施例1と同一の条件で導電性
ペーストを調製し、実施例1と同一の条件で積層セラミ
ックコンデンサを作成した。この積層セラミックコンデ
ンサの内部導体層の膜厚は2.0μmであった。そし
て、この積層セラミックコンデンサの静電容量(μF)
及び積層磁器コンデンサ100個中におけるデラミネー
ションの数を調べたところ、表2に示す通りとなった。Example 2 A conductive paste was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the particle size of the ceramic particles was changed in the range of 1.0 μm to 5.0 μm. A laminated ceramic capacitor was prepared under the conditions. The film thickness of the internal conductor layer of this multilayer ceramic capacitor was 2.0 μm. And the electrostatic capacitance (μF) of this multilayer ceramic capacitor
Also, when the number of delaminations in 100 laminated ceramic capacitors was examined, it was as shown in Table 2.
【0039】[0039]
【表2】 [Table 2]
【0040】なお、上記実施例は積層セラミックコンデ
ンサについて述べたが、これに限らず、積層インダク
タ、多層基板又はこれらを複合化させた電子部品にも応
用が可能である。Although the above embodiment has been described with respect to the monolithic ceramic capacitor, the present invention is not limited to the monolithic ceramic capacitor and can be applied to a monolithic inductor, a multi-layer substrate, or an electronic component in which these are combined.
【0041】[0041]
【発明の効果】請求項1に記載の発明によれば、内部導
体層パターンを印刷したセラミックグリーンシートを積
層・圧着させた場合、セラミック粒子が内部導体層パタ
ーンの表裏面から露出して、この内部導体層パターンを
挟んでいる各セラミック層に食い込み、高温焼成した場
合、このセラミック粒子と前記各セラミック層とが各々
焼結・結合し、隣り合うセラミック層がセラミック粒子
により強固に連結された状態になるので、デラミネーシ
ョンを生じ難いセラミック積層体を得ることができると
いう効果がある。According to the invention described in claim 1, when the ceramic green sheets printed with the internal conductor layer pattern are laminated and pressure-bonded, the ceramic particles are exposed from the front and back surfaces of the internal conductor layer pattern. When the ceramic layers that sandwich the internal conductor layer pattern are bitten and fired at a high temperature, the ceramic particles and the ceramic layers are respectively sintered and bonded, and the adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles. Therefore, there is an effect that it is possible to obtain a ceramic laminated body that hardly causes delamination.
【0042】また、請求項2に記載の発明によれば、セ
ラミック積層体の電気的特性がセラミック粒子によって
影響され難いので、電気的特性の良好なセラミック積層
体を得ることができるという効果がある。According to the second aspect of the invention, since the electrical characteristics of the ceramic laminated body are not easily influenced by the ceramic particles, there is an effect that a ceramic laminated body having good electric characteristics can be obtained. .
【0043】また、請求項3に記載の発明によれば、隣
り合うセラミック層がセラミック粒子によって強固に連
結されるので、デラミネーションが更に発生し難いセラ
ミック積層体を得ることができるという効果がある。Further, according to the invention described in claim 3, since the adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles, there is an effect that it is possible to obtain a ceramic laminated body in which delamination is further difficult to occur. .
【0044】また、請求項4に記載の発明によれば、隣
り合うセラミック層がセラミック粒子により強固に連結
させられているので、デラミネーションが更に生じ難い
セラミック積層体を得ることができるという効果があ
る。Further, according to the invention of claim 4, since the adjacent ceramic layers are strongly connected by the ceramic particles, it is possible to obtain a ceramic laminate in which delamination is further difficult to occur. is there.
【0045】また、請求項5に記載の発明によれば、内
部導体層を介して隣り合うセラミック層が、該内部導体
層を貫通するセラミック粒子によって強固に連結させら
れ、応力が局部的に作用しても内部導体層を介して隣り
合うセラミック層が離れ難いので、デラミネーションを
生じ難いセラミック積層体を得ることができるという効
果がある。Further, according to the invention described in claim 5, the ceramic layers adjacent to each other via the internal conductor layer are firmly connected by the ceramic particles penetrating the internal conductor layer, and the stress acts locally. However, since the adjacent ceramic layers are difficult to separate via the internal conductor layer, there is an effect that a ceramic laminated body in which delamination hardly occurs can be obtained.
【0046】また、請求項6に記載の発明によれば、セ
ラミック積層体の電気的特性がセラミック粒子によって
影響され難いので、電気的特性の良好なセラミック積層
体を得ることができるという効果がある。Further, according to the invention described in claim 6, since the electrical characteristics of the ceramic laminated body are not easily influenced by the ceramic particles, there is an effect that a ceramic laminated body having good electric characteristics can be obtained. .
【0047】また、請求項7に記載の発明によれば、隣
り合うセラミック層がセラミック粒子によって強固に連
結されるので、デラミネーションが更に生じ難いセラミ
ック積層体を得ることができるという効果がある。Further, according to the invention described in claim 7, since the adjacent ceramic layers are strongly connected by the ceramic particles, there is an effect that a ceramic laminated body in which delamination is further difficult to occur can be obtained.
【0048】また、請求項8に記載の発明によれば、隣
り合うセラミック層がセラミック粒子により強固に連結
させられているので、デラミネーションを更に生じ難い
セラミック積層体を得ることができるという効果があ
る。Further, according to the invention described in claim 8, since the adjacent ceramic layers are strongly connected by the ceramic particles, it is possible to obtain a ceramic laminated body in which delamination is further difficult to occur. is there.
【0049】また、請求項9に記載された発明は、内部
導体層を印刷したセラミックグリーンシートを積層・圧
着させた場合、セラミック粒子が内部導体層の表裏面か
ら露出して、この内部導体層を挟んでいる各セラミック
層に食い込み、そして、高温焼成した場合、このセラミ
ック粒子とセラミック層とが各々焼結・結合するので、
隣り合うセラミック層がセラミック粒子により強固に連
結させられた、デラミネーションを生じ難いセラミック
積層体を得ることができるという効果がある。Further, in the invention described in claim 9, when the ceramic green sheets printed with the internal conductor layers are laminated and pressure-bonded, the ceramic particles are exposed from the front and back surfaces of the internal conductor layers, and the internal conductor layers are exposed. When it digs into each ceramic layer sandwiching, and when fired at high temperature, the ceramic particles and the ceramic layer are respectively sintered and bonded,
There is an effect that it is possible to obtain a ceramic laminated body in which adjacent ceramic layers are strongly connected by ceramic particles and in which delamination does not easily occur.
【0050】また、請求項10に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック層と略同一組成の組成
物からなるセラミック粒子を含有している導電性ペース
トを使用しているので、これを用いてセラミック積層体
を製造した場合、セラミック積層体の電気的特性がセラ
ミック粒子によって影響され難いという効果がある。In the method for manufacturing a ceramic laminate according to the tenth aspect of the present invention, the conductive paste containing the ceramic particles made of the composition having substantially the same composition as the ceramic layer is used. When the ceramic laminated body is manufactured using the ceramic laminated body, the electrical characteristics of the ceramic laminated body are less likely to be affected by the ceramic particles.
【0051】また、請求項11に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、内部導体層の膜厚の1.3〜3.
0倍の粒径のセラミック粒子を含有している導電性ペー
ストを使用しているので、これを用いてセラミック積層
体を製造した場合、隣り合うセラミック層がその間に挟
んでいるセラミック粒子によって強固に連結されるとい
う効果がある。The method of manufacturing a ceramic laminate according to claim 11 has a thickness of the internal conductor layer of 1.3 to 3.
Since the conductive paste containing the ceramic particles of 0 times the particle size is used, when a ceramic laminate is manufactured using this, the ceramic particles sandwiched between the adjacent ceramic layers firmly adhere to each other. It has the effect of being linked.
【0052】また、請求項12に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック粒子の含有率が金属微
粉末の重量に対して1〜30重量部とした導電性ペース
トを使用しているので、これを用いてセラミック積層体
を製造した場合、隣り合うセラミック層がその間に挟ん
でいるセラミック粒子によって強固に連結されるので、
デラミネーションを生じない積層体を得ることができる
という効果がある。Further, in the method for producing a ceramic laminate according to the twelfth aspect of the invention, since the conductive paste is used in which the content of the ceramic particles is 1 to 30 parts by weight based on the weight of the fine metal powder. , When a ceramic laminate is manufactured using this, since the adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched between them,
There is an effect that it is possible to obtain a laminated body that does not cause delamination.
【0053】また、請求項13に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、内部導体層を印刷したセラミック
グリーンシートを積層・圧着させた場合、セラミック粒
子が内部導体層を貫通し、この内部導体層を挟んでいる
各セラミック層に食い込み、そして、高温焼成した場
合、このセラミック粒子とセラミック層とが各々焼結・
結合するので、デラミネーションを生じ難いセラミック
積層体を得ることができるという効果がある。Further, in the method for manufacturing a ceramic laminate according to the thirteenth aspect, when the ceramic green sheets printed with the internal conductor layers are laminated and pressure-bonded, the ceramic particles penetrate the internal conductor layers, and When it digs into each ceramic layer that sandwiches the layers, and when fired at high temperature, the ceramic particles and the ceramic layer sinter
Since they are bonded, there is an effect that it is possible to obtain a ceramic laminated body that hardly causes delamination.
【0054】また、請求項13に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、導電性ペーストを印刷した後から
セラミック粒子を加えるので、導電性ペーストの印刷性
を犠牲にしなくてすむという効果がある。Further, in the method for manufacturing a ceramic laminate according to the thirteenth aspect, since the ceramic particles are added after printing the conductive paste, there is an effect that the printability of the conductive paste is not sacrificed. .
【0055】また、請求項14に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック層と略同一組成の組成
物からなるセラミック粒子を使用しているので、セラミ
ック積層体の電気的特性がセラミック粒子によって影響
され難いセラミック積層体を得ることができる。Further, in the method for manufacturing a ceramic laminate according to the present invention, since the ceramic particles made of a composition having substantially the same composition as the ceramic layer are used, the electrical characteristics of the ceramic laminate are ceramic particles. It is possible to obtain a ceramic laminate that is not easily affected by.
【0056】また、請求項15に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、内部導体層の膜厚の1.3〜3.
0倍の粒径のセラミック粒子を使用しているので、隣り
合うセラミック層がその間に挟んでいるセラミック粒子
によって強固に連結される。The method for manufacturing a ceramic laminate according to the fifteenth aspect of the present invention is the method for producing a ceramic laminate having a thickness of 1.3 to 3.
Since the ceramic particles of 0 times the particle size are used, the adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched between them.
【0057】また、請求項16に記載されたセラミック
積層体の製造方法は、セラミック粒子の使用量を導電性
ペースト中に含まれる金属微粉末の重量に対して1〜3
0重量部としたので、隣り合うセラミック層がその間に
挟んでいるセラミック粒子によって強固に連結される。In the method for producing a ceramic laminate according to the sixteenth aspect, the amount of the ceramic particles used is 1 to 3 with respect to the weight of the fine metal powder contained in the conductive paste.
Since the amount is 0 parts by weight, the adjacent ceramic layers are firmly connected by the ceramic particles sandwiched therebetween.
Claims (16)
を少なくとも含有し、セラミック層の間に内部導体層を
挟持させた構造を少なくとも1以上有するセラミック積
層体の該内部導体層を形成させるための導電性ペースト
において、該内部導体層の膜厚以上の粒径のセラミック
粒子を含有させたことを特徴とする導電性ペースト。1. To form the internal conductor layer of a ceramic laminate having at least one structure in which at least one fine metal powder, an organic binder and an organic solvent are contained and the internal conductor layer is sandwiched between the ceramic layers. 2. The conductive paste according to item 1, which contains ceramic particles having a particle diameter equal to or larger than the film thickness of the internal conductor layer.
層体のセラミック層と略同一組成の組成物からなること
を特徴とする請求項1記載の導電性ペースト。2. The conductive paste according to claim 1, wherein the ceramic particles are composed of a composition having substantially the same composition as the ceramic layer of the ceramic laminate.
記内部導体層の膜厚の1.0〜3.0倍であることを特
徴とする請求項1又は2記載の導電性ペースト。3. The conductive paste according to claim 1, wherein the particle size of the ceramic particles is 1.0 to 3.0 times the film thickness of the internal conductor layer after firing.
微粉末の重量の1〜30重量部であることを特徴とする
請求項1〜3記載の導電性ペースト。4. The conductive paste according to claim 1, wherein the content of the ceramic particles is 1 to 30 parts by weight of the weight of the fine metal powder.
せた構造を少なくとも1以上有するセラミック積層体に
おいて、該内部導体層を介して隣り合うセラミック層
を、該内部導体層を貫通するセラミック粒子によって連
結させたことを特徴とするセラミック積層体。5. A ceramic laminate having at least one structure in which an internal conductor layer is sandwiched between ceramic layers, wherein ceramic particles adjacent to each other through the internal conductor layer penetrate through the internal conductor layer. A ceramic laminate characterized by being connected by.
層体のセラミック層と略同一組成の組成物からなること
を特徴とする請求項5記載のセラミック積層体。6. The ceramic laminate according to claim 5, wherein the ceramic particles are composed of a composition having substantially the same composition as the ceramic layer of the ceramic laminate.
体層の膜厚の1.0〜3.0倍であることを特徴とする
請求項5又は6記載のセラミック積層体。7. The ceramic laminate according to claim 5, wherein the particle size of the ceramic particles is 1.0 to 3.0 times the film thickness of the internal conductor layer.
導体層に含有されている金属微粉末の重量の1〜30重
量部であることを特徴とする請求項5〜7記載のセラミ
ック積層体。8. The ceramic laminate according to claim 5, wherein the content of the ceramic particles is 1 to 30 parts by weight of the weight of the fine metal powder contained in the internal conductor layer.
らなる未焼成の内部導体層をセラミック層の上に形成さ
せる工程と、該内部導体層の上に他のセラミック層を積
層する工程とを1回以上繰り返して未焼成のセラミック
積層体を形成し、該未焼成のセラミック積層体を焼成す
ることによって焼成したセラミック積層体を得るセラミ
ック積層体の製造方法において、焼成後の内部導体層の
膜厚より粒径の大きなセラミック粒子を前記導電性ペー
ストに含有させたことを特徴とするセラミック積層体の
製造方法。9. A step of forming an unfired inner conductor layer made of a conductive paste containing fine metal powder on the ceramic layer, and a step of laminating another ceramic layer on the inner conductor layer. In the method for producing a ceramic laminate, which comprises repeatedly firing one or more times to form an unfired ceramic laminate and firing the unfired ceramic laminate to obtain a fired ceramic laminate, a film of an internal conductor layer after firing. A method for producing a ceramic laminate, wherein the conductive paste contains ceramic particles having a particle diameter larger than the thickness.
積層体のセラミック層と略同一組成の組成物からなるこ
とを特徴とする請求項9記載のセラミック積層体の製造
方法。10. The method for producing a ceramic laminate according to claim 9, wherein the ceramic particles are made of a composition having substantially the same composition as the ceramic layer of the ceramic laminate.
前記内部導体層の膜厚の1.0〜3.0倍であることを
特徴とする請求項9又は10記載のセラミック積層体の
製造方法。11. The production of a ceramic laminate according to claim 9, wherein the ceramic particles have a particle size of 1.0 to 3.0 times the film thickness of the internal conductor layer after firing. Method.
電性ペーストに含有されている金属微粉末の重量の1〜
30重量部であることを特徴とする請求項9〜11記載
のセラミック積層体の製造方法。12. The content of the ceramic particles is 1 to the weight of the fine metal powder contained in the conductive paste.
It is 30 weight part, The manufacturing method of the ceramic laminated body of Claims 9-11 characterized by the above-mentioned.
からなる未焼成の内部導体層をセラミック層の上に形成
させる工程と、該未焼成の内部導体層の上にセラミック
粉末をまぶす工程と、該内部導体層の上に他のセラミッ
ク層を積層する工程とを繰り返して未焼成のセラミック
積層体を形成し、該未焼成のセラミック積層体を焼成す
ることによって焼成したセラミック積層体を得るセラミ
ック積層体の製造方法であって、前記セラミック粉末の
粒径が焼成後の前記内部導体層の膜厚より大きいことを
特徴とするセラミック積層体の製造方法。13. A step of forming an unsintered inner conductor layer made of a conductive paste containing fine metal powder on the ceramic layer, and a step of sprinkling the unsintered inner conductor layer with the ceramic powder. A step of stacking another ceramic layer on the internal conductor layer is repeated to form an unfired ceramic laminate, and the unfired ceramic laminate is fired to obtain a fired ceramic laminate. A method of manufacturing a ceramic laminate, wherein the particle size of the ceramic powder is larger than the film thickness of the internal conductor layer after firing.
積層体のセラミック層と略同一組成の組成物からなるこ
とを特徴とする請求項13記載のセラミック積層体の製
造方法。14. The method for producing a ceramic laminate according to claim 13, wherein the ceramic particles are made of a composition having substantially the same composition as the ceramic layer of the ceramic laminate.
前記内部導体層の膜厚の1.0〜3.0倍であることを
特徴とする請求項13又は14記載のセラミック積層体
の製造方法。15. The production of a ceramic laminate according to claim 13 or 14, characterized in that the particle size of the ceramic particles is 1.0 to 3.0 times the film thickness of the internal conductor layer after firing. Method.
電性ペーストに含有されている金属微粉末の重量の1〜
30重量部であることを特徴とする請求項13〜15記
載のセラミック積層体の製造方法。16. The amount of the ceramic particles used is 1 to the weight of the fine metal powder contained in the conductive paste.
It is 30 weight part, The manufacturing method of the ceramic laminated body of Claims 13-15 characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35285193A JPH07201222A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Conductive paste, ceramic lamination body, and manufacture of ceramic lamination body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35285193A JPH07201222A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Conductive paste, ceramic lamination body, and manufacture of ceramic lamination body |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07201222A true JPH07201222A (en) | 1995-08-04 |
Family
ID=18426877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35285193A Pending JPH07201222A (en) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Conductive paste, ceramic lamination body, and manufacture of ceramic lamination body |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07201222A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003023233A (en) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | Low temperature fired ceramic circuit board |
EP1536438A2 (en) * | 2003-11-28 | 2005-06-01 | TDK Corporation | Multilayer ceramic capacitor |
US7413699B2 (en) * | 2003-09-25 | 2008-08-19 | Tdk Corporation | Method of making ceramic electronic element |
US7518849B2 (en) | 2006-03-31 | 2009-04-14 | Tdk Corporation | Multilayer electronic device and the production method |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP35285193A patent/JPH07201222A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003023233A (en) * | 2001-07-05 | 2003-01-24 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | Low temperature fired ceramic circuit board |
JP4711158B2 (en) * | 2001-07-05 | 2011-06-29 | 株式会社村田製作所 | Low temperature fired ceramic circuit board |
US7413699B2 (en) * | 2003-09-25 | 2008-08-19 | Tdk Corporation | Method of making ceramic electronic element |
EP1536438A2 (en) * | 2003-11-28 | 2005-06-01 | TDK Corporation | Multilayer ceramic capacitor |
EP1536438A3 (en) * | 2003-11-28 | 2008-08-06 | TDK Corporation | Multilayer ceramic capacitor |
US7518849B2 (en) | 2006-03-31 | 2009-04-14 | Tdk Corporation | Multilayer electronic device and the production method |
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