JPH07208939A - レーザー利用測定装置 - Google Patents
レーザー利用測定装置Info
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- JPH07208939A JPH07208939A JP2207094A JP2207094A JPH07208939A JP H07208939 A JPH07208939 A JP H07208939A JP 2207094 A JP2207094 A JP 2207094A JP 2207094 A JP2207094 A JP 2207094A JP H07208939 A JPH07208939 A JP H07208939A
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- laser beam
- laser
- parallel
- lens
- light intensity
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 不均一な光強度分布を有する平行レーザービ
ームを簡単な構成および方法により一様な光強度分布を
有する平行レーザービームに変換し、被測定物の大きさ
を高分解能で測定することができるレーザー利用測定装
置を提供することを目的とする。 【構成】 フィルタを通過した後のレーザービームの光
強度分布が一様となるようなレーザービーム用光学フィ
ルタを作製する。このレーザービーム用光学フィルタ
を、レーザー光源からレーザービームを平行ビームに変
換する手段を有し且つ平行レーザービームの有効利用幅
内に被測定物を位置させて被測定物の大きさを測定する
手段を有するレーザー利用測定装置に配置する。
ームを簡単な構成および方法により一様な光強度分布を
有する平行レーザービームに変換し、被測定物の大きさ
を高分解能で測定することができるレーザー利用測定装
置を提供することを目的とする。 【構成】 フィルタを通過した後のレーザービームの光
強度分布が一様となるようなレーザービーム用光学フィ
ルタを作製する。このレーザービーム用光学フィルタ
を、レーザー光源からレーザービームを平行ビームに変
換する手段を有し且つ平行レーザービームの有効利用幅
内に被測定物を位置させて被測定物の大きさを測定する
手段を有するレーザー利用測定装置に配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平行レーザビームを利
用した非接触による外形（径）計測装置またはセンサ等
として用いられるレーザー利用測定装置に関する。
用した非接触による外形（径）計測装置またはセンサ等
として用いられるレーザー利用測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザビームの断面のビーム形状は、共
振器構造等の相違により１ｍｍ以下のものから３０ｍｍ
角形のものまでの種類が豊富にあり、測定や検知などに
使用される目的により選択される。例えば、レーザビー
ムをスクリーンに投射したパターンを見ると基本モード
である円形パターン、または楕円形やドーナッツ形等の
複雑な形状のマルチモードが形成される。一般に上記し
たビーム形状の光強度分布は、図２に示すように２次元
の非対称性のガウス分布を形成している。このようなレ
ーザビームは、レーザ発振器から出力されたレーザービ
ームを曲げたり、拡げたり、絞ったり、振ったり、変調
したりして各種装置に応用される。
振器構造等の相違により１ｍｍ以下のものから３０ｍｍ
角形のものまでの種類が豊富にあり、測定や検知などに
使用される目的により選択される。例えば、レーザビー
ムをスクリーンに投射したパターンを見ると基本モード
である円形パターン、または楕円形やドーナッツ形等の
複雑な形状のマルチモードが形成される。一般に上記し
たビーム形状の光強度分布は、図２に示すように２次元
の非対称性のガウス分布を形成している。このようなレ
ーザビームは、レーザ発振器から出力されたレーザービ
ームを曲げたり、拡げたり、絞ったり、振ったり、変調
したりして各種装置に応用される。
【０００３】レーザビームを帯状の平行レーザービーム
に変換し、この平行レーザービームの領域内に線材、棒
材などの被測定物を位置させ、被測定物の外形や径を非
接触で測定する装置が知られる。レーザービームを平行
レーザービームに変換する方法として、例えばガルバノ
メータースキャナー、ポリゴンスキャナー、音響光学効
果手段等とｆθレンズを利用してレーザビームを振って
平行レーザービームを形成し、被測定物を測定する走査
型の測定装置が挙げられる。また、シリンドリカルレン
ズ、コリメータレンズ等を利用してレーザビームを拡げ
て平行レーザービームを形成し、被測定物を測定するビ
ーム拡大型の測定装置等が挙げられる。
に変換し、この平行レーザービームの領域内に線材、棒
材などの被測定物を位置させ、被測定物の外形や径を非
接触で測定する装置が知られる。レーザービームを平行
レーザービームに変換する方法として、例えばガルバノ
メータースキャナー、ポリゴンスキャナー、音響光学効
果手段等とｆθレンズを利用してレーザビームを振って
平行レーザービームを形成し、被測定物を測定する走査
型の測定装置が挙げられる。また、シリンドリカルレン
ズ、コリメータレンズ等を利用してレーザビームを拡げ
て平行レーザービームを形成し、被測定物を測定するビ
ーム拡大型の測定装置等が挙げられる。
【０００４】その典型的な例を図３に示す。従来のレー
ザー利用測定装置１は、レーザー光源部２から上記した
方法により射出されたレーザービームを投光レンズ３に
より平行化されて平行レーザービームを形成する。平行
レーザービームの幅方向の領域内に被測定物４を位置さ
せる。被測定物４によって遮られた影以外のビームを受
光レンズ５により受光素子部６に集光させる。このビー
ムの光量を受光素子部６が受け、これに基づく信号をコ
ントローラー７に送り込む。コントローラー７内部に設
けた信号処理部によって信号は演算され、被測定物の大
きさを表示部に表示して使用者に知らせる。
ザー利用測定装置１は、レーザー光源部２から上記した
方法により射出されたレーザービームを投光レンズ３に
より平行化されて平行レーザービームを形成する。平行
レーザービームの幅方向の領域内に被測定物４を位置さ
せる。被測定物４によって遮られた影以外のビームを受
光レンズ５により受光素子部６に集光させる。このビー
ムの光量を受光素子部６が受け、これに基づく信号をコ
ントローラー７に送り込む。コントローラー７内部に設
けた信号処理部によって信号は演算され、被測定物の大
きさを表示部に表示して使用者に知らせる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような測定装置
は、上記した理由によるレーザビーム自体の持つ光強度
分布の他、使用する光学素子、レンズ、アパーチャー等
の影響を受ける。これらを介して形成されたレーザビー
ムの光強度分布は、図４に示すように更に片寄りを生じ
ることになる。即ち光量変化のムラが大きくなり、測定
領域内（有効測定幅）において幅方向の中央部と端部と
の光強度の差が大きくなる。同一の被測定物を測定する
場合であっても、測定位置が変わると装置内の受光器に
よる計測結果が異なる。即ち図４内至図６に示すように
被測定物の測定位置の違いにより影による分布の面積、
つまり光強度が変わってしまい、正確に被測定物の大き
さを測定することができないという欠点があった。この
ような光量変化のムラを減少させるためには、比較的光
強度分布の差が少ない平行レーザービームの幅方向の中
央部付近を常に使用しなければならず、また被測定物の
最大幅にも限界があった。
は、上記した理由によるレーザビーム自体の持つ光強度
分布の他、使用する光学素子、レンズ、アパーチャー等
の影響を受ける。これらを介して形成されたレーザビー
ムの光強度分布は、図４に示すように更に片寄りを生じ
ることになる。即ち光量変化のムラが大きくなり、測定
領域内（有効測定幅）において幅方向の中央部と端部と
の光強度の差が大きくなる。同一の被測定物を測定する
場合であっても、測定位置が変わると装置内の受光器に
よる計測結果が異なる。即ち図４内至図６に示すように
被測定物の測定位置の違いにより影による分布の面積、
つまり光強度が変わってしまい、正確に被測定物の大き
さを測定することができないという欠点があった。この
ような光量変化のムラを減少させるためには、比較的光
強度分布の差が少ない平行レーザービームの幅方向の中
央部付近を常に使用しなければならず、また被測定物の
最大幅にも限界があった。
【０００６】ところで、均一な平行レーザービームを形
成するには、レンズの焦点距離を遠ざけてビーム幅を拡
大し、光強度分布が比較的均一な中央部付近のビームの
みを用い、それ以外の外側領域をアパーチャーや遮蔽板
等によりカットして均一な光強度を有する平行レーザー
ビームを形成させる方法が知られる。しかしながら形成
された平行レーザービームの光強度は弱く、従って、Ｓ
Ｎ比が低下して被測定物の最小測定幅の分解能を悪化さ
せてしまう。このため平行レーザービームの幅を拡大す
ることができず有効利用幅が制限される。
成するには、レンズの焦点距離を遠ざけてビーム幅を拡
大し、光強度分布が比較的均一な中央部付近のビームの
みを用い、それ以外の外側領域をアパーチャーや遮蔽板
等によりカットして均一な光強度を有する平行レーザー
ビームを形成させる方法が知られる。しかしながら形成
された平行レーザービームの光強度は弱く、従って、Ｓ
Ｎ比が低下して被測定物の最小測定幅の分解能を悪化さ
せてしまう。このため平行レーザービームの幅を拡大す
ることができず有効利用幅が制限される。
【０００７】上記した構成の装置において、平行レーザ
ービームの有効幅が１００ｍｍ以上のものがなく、いず
れの場合も５０〜６０ｍｍの幅の装置が最大であった。
また、有効被測定物の大きさは、最大有効利用幅よりか
なり小さいものに限られていた。本発明は、上記した問
題点に鑑みてなされたものであり、光学素子、レンズ、
アパーチャー等の測定装置の設計または配置等を変える
ことなく、簡単な構成により一様な光強度分布を形成
し、且つ光量変化のない平行レーザービームを形成する
ことの可能なレーザー利用測定装置を提供することを課
題とする。
ービームの有効幅が１００ｍｍ以上のものがなく、いず
れの場合も５０〜６０ｍｍの幅の装置が最大であった。
また、有効被測定物の大きさは、最大有効利用幅よりか
なり小さいものに限られていた。本発明は、上記した問
題点に鑑みてなされたものであり、光学素子、レンズ、
アパーチャー等の測定装置の設計または配置等を変える
ことなく、簡単な構成により一様な光強度分布を形成
し、且つ光量変化のない平行レーザービームを形成する
ことの可能なレーザー利用測定装置を提供することを課
題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によるレーザー利用測定装置は、レーザー発
振器から出力されたレーザービームを変換手段により一
定幅の平行な平行レーザービームに変換し、前記平行レ
ーザービームの幅内に被測定物を位置させ、該被測定物
が平行レーザービームを遮断する以外の光量を受光素子
が受光し、受光されたデータから被測定物の大きさを測
定するレーザー利用測定装置において、レーザービーム
の光路上に前記受光素子に到達する間に平行レーザービ
ームの光強度分布が一様になるようなレーザービーム用
光学フィルタを設けることを特徴とする。特には、前記
レーザー利用測定装置がレーザービームを出力するレー
ザー発振器と、出力されたレーザービームを平行レーザ
ービームに変換する第１のレンズと、平行レーザービー
ムの光強度分布を一様にするレーザービーム用光学フィ
ルタと、光強度が一様となった前記平行レーザービーム
を拡大する第２のレンズと、拡大されたレーザービーム
を幅広の平行レーザービームに変換する第３のレンズ
と、前記幅広の平行レーザービームを受光する受光レン
ズと、前記受光量を計測して演算するコントローラとを
有すること特徴とし、さらに、前記第１のレンズがコリ
メータレンズからなり、前記第２および第３のレンズが
シリンドリカルレンズからなることを特徴とする。
め、本発明によるレーザー利用測定装置は、レーザー発
振器から出力されたレーザービームを変換手段により一
定幅の平行な平行レーザービームに変換し、前記平行レ
ーザービームの幅内に被測定物を位置させ、該被測定物
が平行レーザービームを遮断する以外の光量を受光素子
が受光し、受光されたデータから被測定物の大きさを測
定するレーザー利用測定装置において、レーザービーム
の光路上に前記受光素子に到達する間に平行レーザービ
ームの光強度分布が一様になるようなレーザービーム用
光学フィルタを設けることを特徴とする。特には、前記
レーザー利用測定装置がレーザービームを出力するレー
ザー発振器と、出力されたレーザービームを平行レーザ
ービームに変換する第１のレンズと、平行レーザービー
ムの光強度分布を一様にするレーザービーム用光学フィ
ルタと、光強度が一様となった前記平行レーザービーム
を拡大する第２のレンズと、拡大されたレーザービーム
を幅広の平行レーザービームに変換する第３のレンズ
と、前記幅広の平行レーザービームを受光する受光レン
ズと、前記受光量を計測して演算するコントローラとを
有すること特徴とし、さらに、前記第１のレンズがコリ
メータレンズからなり、前記第２および第３のレンズが
シリンドリカルレンズからなることを特徴とする。
【０００９】
【作用】上記した構成により、レーザー発振器から射出
されたレーザービームは、レンズ等の手段により平行レ
ーザービームに変換される。変換された平行レーザービ
ームは、ビーム用光学フィルタを介すことにより一様な
光強度分布を有する平行レーザービームに変換される。
この平行レーザービームの領域内に非測定物を位置さ
せ、被測定物により遮光される光量の信号に基づいて非
測定物の大きさを測定する。
されたレーザービームは、レンズ等の手段により平行レ
ーザービームに変換される。変換された平行レーザービ
ームは、ビーム用光学フィルタを介すことにより一様な
光強度分布を有する平行レーザービームに変換される。
この平行レーザービームの領域内に非測定物を位置さ
せ、被測定物により遮光される光量の信号に基づいて非
測定物の大きさを測定する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面を参照と
して説明する。図１に本発明による帯状の平行レーザー
ビームを用いたレーザー利用測定装置の一例を示す。レ
ーザー利用測定装置１０は、レーザービームを射出する
レーザーダイオード１１、コリメータレンズ１２、アパ
ーチャー１３を含むレーザー光源部１４を有する。レー
ザー光源部１４からのレーザービームの射出方向に向か
って、光強度分布を一様にするためのレーザービーム用
光学フィルタ１５とレーザービームの拡大用としてシリ
ンドリカルレンズ１６と余分なレーザービームをカット
するアパーチャー１７と投光レンズとしてのシリンドリ
カルレンズ１８と受光レンズとしてのシリンドリカルレ
ンズ１９と受光レンズにより集束された全光量を感知す
る受光素子部２０とコントローラ２１とから構成され
る。コントローラ２１は、レーザー光源部１４への信号
を送る内部発振器と受光素子部２０からの信号を演算す
る信号処理部と演算後の計測を使用者に表示する表示部
とから構成される。
して説明する。図１に本発明による帯状の平行レーザー
ビームを用いたレーザー利用測定装置の一例を示す。レ
ーザー利用測定装置１０は、レーザービームを射出する
レーザーダイオード１１、コリメータレンズ１２、アパ
ーチャー１３を含むレーザー光源部１４を有する。レー
ザー光源部１４からのレーザービームの射出方向に向か
って、光強度分布を一様にするためのレーザービーム用
光学フィルタ１５とレーザービームの拡大用としてシリ
ンドリカルレンズ１６と余分なレーザービームをカット
するアパーチャー１７と投光レンズとしてのシリンドリ
カルレンズ１８と受光レンズとしてのシリンドリカルレ
ンズ１９と受光レンズにより集束された全光量を感知す
る受光素子部２０とコントローラ２１とから構成され
る。コントローラ２１は、レーザー光源部１４への信号
を送る内部発振器と受光素子部２０からの信号を演算す
る信号処理部と演算後の計測を使用者に表示する表示部
とから構成される。
【００１１】次に上記したレーザー利用測定装置１０に
おけるレーザービームの動きについて説明する。コント
ローラ２１からの出力信号を受けて、レーザーダイオー
ド１１からレーザービームが射出される。射出されたレ
ーザービームは、コリメータレンズ１２により平行なレ
ーザービームを形成する。また、コリメータレンズ１２
の収差を受けたレーザービームは、アパーチャー１３に
より遮断され測定に必要なレーザービームのみを射出す
る。この平行レーザービームは、一様な光強度分布を形
成させるレーザービーム用光学フィルタ１５を介すこと
により均一な光強度を有する平行レーザービームにな
る。次いで、シリンドリカルレンズ１６を通過して一軸
方向に幅を持つレーザービームに拡大される。さらに測
定領域を限定するためのアパーチャー１７を介し、投光
レンズとしてのシリンドリカルレンズ１８により幅Ｄを
有する一様な光強度分布を持つ平行レーザービームが形
成される。この平行レーザービームは、所定の距離を置
いて受光レンズであるシリンドリカルレンズ１９により
集光され、受光素子部２０により光強度としての信号を
得る。
おけるレーザービームの動きについて説明する。コント
ローラ２１からの出力信号を受けて、レーザーダイオー
ド１１からレーザービームが射出される。射出されたレ
ーザービームは、コリメータレンズ１２により平行なレ
ーザービームを形成する。また、コリメータレンズ１２
の収差を受けたレーザービームは、アパーチャー１３に
より遮断され測定に必要なレーザービームのみを射出す
る。この平行レーザービームは、一様な光強度分布を形
成させるレーザービーム用光学フィルタ１５を介すこと
により均一な光強度を有する平行レーザービームにな
る。次いで、シリンドリカルレンズ１６を通過して一軸
方向に幅を持つレーザービームに拡大される。さらに測
定領域を限定するためのアパーチャー１７を介し、投光
レンズとしてのシリンドリカルレンズ１８により幅Ｄを
有する一様な光強度分布を持つ平行レーザービームが形
成される。この平行レーザービームは、所定の距離を置
いて受光レンズであるシリンドリカルレンズ１９により
集光され、受光素子部２０により光強度としての信号を
得る。
【００１２】被測定物の測定方法として、上記したシリ
ンドリカルレンズ１８と１９との間に形成された平行レ
ーザービームの幅Ｄの領域内に被測定物２２を位置させ
る。被測定物２２によって遮断された平行レーザービー
ムの影に相当する光量が減少する。光量の減少に伴う信
号を受光素子部２０が受け、コントローラ２１の信号処
理部が被測定物の幅を演算して表示部に表示する。
ンドリカルレンズ１８と１９との間に形成された平行レ
ーザービームの幅Ｄの領域内に被測定物２２を位置させ
る。被測定物２２によって遮断された平行レーザービー
ムの影に相当する光量が減少する。光量の減少に伴う信
号を受光素子部２０が受け、コントローラ２１の信号処
理部が被測定物の幅を演算して表示部に表示する。
【００１３】尚、上記したレーザービーム用光学フィル
タ１５は、受光素子部２０までの間に配置すれば良く、
その配置場所において限定はない。また、レーザービー
ム用光学フィルタ１５は、透明または半透明のガラス基
板上に鉄、アルミニウム等の金属もしくは数種の特殊な
金属合金、または合成樹脂等の薄膜層を蒸着またはスパ
ッタリング等の手段により形成してなる。基板材料とし
ては、透明または半透明なプラスチック等を使用するこ
ともできる。また、前記の他、写真用のフィルム上に光
強度分布を記録したものや基板上に有機染料を塗布した
ものも使用することができる。
タ１５は、受光素子部２０までの間に配置すれば良く、
その配置場所において限定はない。また、レーザービー
ム用光学フィルタ１５は、透明または半透明のガラス基
板上に鉄、アルミニウム等の金属もしくは数種の特殊な
金属合金、または合成樹脂等の薄膜層を蒸着またはスパ
ッタリング等の手段により形成してなる。基板材料とし
ては、透明または半透明なプラスチック等を使用するこ
ともできる。また、前記の他、写真用のフィルム上に光
強度分布を記録したものや基板上に有機染料を塗布した
ものも使用することができる。
【００１４】また、本実施例において、レーザー利用測
定装置は、ビーム拡大型の測定装置について説明した
が、走査型の測定装置においても好適に使用することが
できる。
定装置は、ビーム拡大型の測定装置について説明した
が、走査型の測定装置においても好適に使用することが
できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、不均一な光強度分布を有する
平行レーザービーム等の光源を利用するレーザー利用測
定装置等において、装置の設計また配置等を変更せずに
平行レーザービームの不均一な光強度分布の分布データ
の逆数の光透過分布をフィルタ基板に記録させ、レーザ
ービーム用光学フィルタとして補正することにより、一
様な光強度を有する平行レーザービームを形成すること
により高精度で高分解能を有する測定装置を提供するこ
とができる。
平行レーザービーム等の光源を利用するレーザー利用測
定装置等において、装置の設計また配置等を変更せずに
平行レーザービームの不均一な光強度分布の分布データ
の逆数の光透過分布をフィルタ基板に記録させ、レーザ
ービーム用光学フィルタとして補正することにより、一
様な光強度を有する平行レーザービームを形成すること
により高精度で高分解能を有する測定装置を提供するこ
とができる。
【００１６】実施例において、出力された平行レーザー
ビームの分布変化率は、有効測定領域内で従来のものよ
り小さくできる。このため従来では同一測定位置でリミ
ット設定的（ＧＯ、ＬＯＷ、ＨＩ）な使用のみに限定さ
れていたが、本発明により有効測定幅の任意の測定位置
における被測定物の検出または測定が可能となった。
ビームの分布変化率は、有効測定領域内で従来のものよ
り小さくできる。このため従来では同一測定位置でリミ
ット設定的（ＧＯ、ＬＯＷ、ＨＩ）な使用のみに限定さ
れていたが、本発明により有効測定幅の任意の測定位置
における被測定物の検出または測定が可能となった。
【００１７】また、従来においては、一様な光強度分布
を得るためにレーザービームの中央部付近の分布変化の
少ない部分を用いてレーザー利用測定装置を設計してい
るため、レーザー出力をもっと高くして受光感度を上げ
る必要があった。しかしながら、本発明によれば出力さ
れたレーザービームの利用率がほぼ１００％であるた
め、高出力のレーザービームを必要とせず、即ちレーザ
ービームの出力が小さくても従来のものと同等の光強度
を得ることができた。
を得るためにレーザービームの中央部付近の分布変化の
少ない部分を用いてレーザー利用測定装置を設計してい
るため、レーザー出力をもっと高くして受光感度を上げ
る必要があった。しかしながら、本発明によれば出力さ
れたレーザービームの利用率がほぼ１００％であるた
め、高出力のレーザービームを必要とせず、即ちレーザ
ービームの出力が小さくても従来のものと同等の光強度
を得ることができた。
【００１８】
【図１】 本発明による実施例の一例を示す図。
【図２】 レーザービーム形状の光強度分布を示す図。
【図３】 従来のレーザー利用測定装置を示す図。
【図４】 従来のレーザー利用測定装置の光強度分布を
示す図。
示す図。
【図５】 従来のレーザー利用測定装置の光強度分布を
示す図。
示す図。
【図６】 従来のレーザー利用測定装置の光強度分布を
示す図。
示す図。
１０ レーザー利用測定装置 １１ レーザーダイオード １２ コリメータレンズ １３ アパーチャー １４ レーザー光源部 １５ レーザービーム用光学フィルタ １６ シリンドリカルレンズ １７ アパーチャー １８ シリンドリカルレンズ １９ シレンドリカルレンズ ２０ 受光素子部 ２１ コントローラ
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザー発振器から出力されたレーザー
ビームを変換手段により一定幅の平行な平行レーザービ
ームに変換し、前記平行レーザービームの幅内に被測定
物を位置させ、該被測定物が平行レーザービームを遮断
する以外の光量を受光素子が受光し、受光されたデータ
から被測定物の大きさを測定するレーザー利用測定装置
において、レーザービームの光路上に前記受光素子に到
達する間に平行レーザービームの光強度分布が一様にな
るようなレーザービーム用光学フィルタを設けることを
特徴とするレーザー利用測定装置。 - 【請求項２】 前記レーザー利用測定装置がレーザービ
ームを出力するレーザー発振器と、出力されたレーザー
ビームを平行レーザービームに変換する第１のレンズ
と、平行レーザービームの光強度分布を一様にするレー
ザービーム用光学フィルタと、光強度が一様となった前
記平行レーザービームを拡大する第２のレンズと、拡大
されたレーザービームを幅広の平行レーザービームに変
換する第３のレンズと、前記幅広の平行レーザービーム
を受光する受光レンズと、前記受光量を計測して演算す
るコントローラとを有すること特徴とする請求項１記載
のレーザー利用測定装置。 - 【請求項３】 前記第１のレンズがコリメータレンズか
らなり、前記第２および第３のレンズがシリンドリカル
レンズからなることを特徴とする請求項１または２記載
のレーザー利用測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207094A JPH07208939A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | レーザー利用測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2207094A JPH07208939A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | レーザー利用測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07208939A true JPH07208939A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=12072637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2207094A Pending JPH07208939A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | レーザー利用測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07208939A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001267626A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-28 | Keyence Corp | 光学装置 |
| US7034284B2 (en) | 2002-12-25 | 2006-04-25 | Keyence Corporation | Optical sensor having light projecting prism |
| WO2011108173A1 (ja) * | 2010-03-03 | 2011-09-09 | 三菱電機株式会社 | ロープ検査装置 |
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