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JPH07205191A - 樹脂成形用装置 - Google Patents

樹脂成形用装置

Info

Publication number
JPH07205191A
JPH07205191A JP205594A JP205594A JPH07205191A JP H07205191 A JPH07205191 A JP H07205191A JP 205594 A JP205594 A JP 205594A JP 205594 A JP205594 A JP 205594A JP H07205191 A JPH07205191 A JP H07205191A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
runner
resin
mold
lock pin
cavity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP205594A
Other languages
English (en)
Inventor
Isao Yabe
功 矢部
Teruo Nayuki
輝夫 名雪
Masahiko Yoneyama
雅彦 米山
Katsuhiko Igai
勝彦 猪飼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Watch Co Ltd
Original Assignee
Citizen Watch Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Watch Co Ltd filed Critical Citizen Watch Co Ltd
Priority to JP205594A priority Critical patent/JPH07205191A/ja
Priority to PCT/JP1995/000007 priority patent/WO1995019251A1/ja
Priority to EP95905230A priority patent/EP0688650B1/en
Priority to DE69519259T priority patent/DE69519259T2/de
Priority to US08/522,244 priority patent/US5783134A/en
Priority to KR1019950703877A priority patent/KR960700875A/ko
Priority to TW084100145A priority patent/TW268144B/zh
Publication of JPH07205191A publication Critical patent/JPH07205191A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 信頼性の高い樹脂成形用装置を提供する。 【構成】 ピンポイントゲート方式の熱硬化性樹脂成形
金型で、上金型1と下金型7とで形成されるランナー部
には横ランナー部12と縦ランナー部13とを含み、該
縦ランナー部13の上部にキャビティプレート2と固定
側取付板5とでキャビティ4を形成し、前記縦ランナー
部13に連なるゲート部14から樹脂を下方から押し上
げて充填し、前記ランナー部に係止する係止部9aを有
するランナーロックピン9は、外周の一部がランナー部
と直角に交差するように配置され、ノックアウトピン1
0を押し出し、斜面部10aによって前記ランナー部を
押し出すように回転力を与えて、ランナー部とランナー
ロックピン9の係止解除を行う。 【効果】 樹脂かすによる製品不良がなく、生産性・信
頼性が優れている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂成形用装置に関する
もので、更に詳しくはピンポイントゲート方式により、
熱硬化性樹脂で成形する樹脂成形用装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年、ICチップの高密度実装に伴い、
多数の電極を有する樹脂封止型半導体装置が開発されて
いる。その代表的なものとしては、PGA(ピングリッ
ドアレイ)がある。PGAは回路基板の一方の面にIC
チップを搭載して樹脂で封止し、他方の面にはICチッ
プと接続した複数のピンを配置した構造をしている。P
GAはマザーボードに対して着脱可能であるという利点
があるものの、ピンがあるので大型となり小型化が難し
いという問題があった。
【0003】そこで、このPGAに代わる小型の樹脂封
止半導体装置として、ピンの代わりにパッドを配列した
パッド・アレイ・キャリア(以下PACと略す)が開発
されている。一般的に樹脂成形用金型のゲート方式とし
ては、サイドゲート方式とピンポイントゲート方式とが
あり、熱可塑性樹脂成形ではピンポイントゲート方式、
熱硬化性樹脂成形ではサイドゲート方式が比較的広く採
用されている。
【0004】一般的にサイドゲート方式を用いた熱硬化
性樹脂成形について説明すると、図6及び図7はトラン
スファーモールドによるICチップの樹脂封止方法を説
明する断面図及び成形後のICモジュールの外観斜視図
である。図6において、51は下金型であり、その上に
ICチップ52をボンディングした回路基板53が配置
される。54は前記下金型51と合わせてキャビティ5
5を形成する上金型であり、該上金型54にはゲート溝
56とランナー溝57が形成されている。
【0005】この上金型54と下金型51の合わせ面及
び上金型54と回路基板53との合わせ面には、熱硬化
性樹脂58をキャビティ55に導くランナー59及びゲ
ート60が構成され、所謂サイドゲート方式のトランス
ファーモールド方法である。封止部61は、加熱、溶融
した熱硬化性樹脂58をプランジャー62でランナー5
9へ注入し、ゲート60を通った熱硬化性樹脂58をキ
ャビティ55内に充填することによって形成され、更に
熱硬化性樹脂58が硬化したら上金型54を外して封止
部61が形成されたICモジュール63がランナー樹脂
と共に取り出される。
【0006】しかし、取り出されたICモジュール63
はランナー樹脂と切り離される際、図7に示すように封
止部61に連通するゲート残り64が形成されてしま
い、ゲート残り64を取り除く際に配線パターンを破壊
したり、封止部61を形成する樹脂にひび割れを生じた
り、またゲート部の樹脂が回路基板53面に沿って流れ
る構造のため、回路基板53上が樹脂で汚れたりする問
題があった。
【0007】なお半導体の樹脂封止には、溶融樹脂の流
動性が悪く、ワイヤー切れの危険性があり、成形後の封
止信頼性が低い熱可塑性樹脂は不適当であり、樹脂の流
動性が良く、封止後の形状精度及び信頼性の高い熱硬化
性樹脂が最適であることは言うまでもない。
【0008】従って、上記サイドゲート方式の問題を排
除するピンポイントゲート方式に着目し、これをPAC
の熱硬化性樹脂成形に採用した。図8はピンポイントゲ
ート方式のPAC封止用の樹脂成形を説明する6ケ取り
金型の要部断面図、図9はランナーロック解除動作を説
明する断面図である。図8において、可動側型板71に
ICチップ52をボンディングした回路基板53が配置
され、パーティングライン72で位置合わせされた固定
側型板73とでキャビティ74が形成される。75はス
トリッパープレートで、該ストリッパープレート75と
前記固定側型板73とで、カル部76、横ランナー部7
7及び縦ランナー部78からなる樹脂移送経路であるラ
ンナー部が形成され、前記縦ランナー部78の下部はゲ
ート部79で前記キャビティ74に連なっている。
【0009】また前記ストリッパープレート75の上に
は取付板80が載せられ、該取付板80と前記ストリッ
パープレート75とを貫通して、前記カル部76に投入
されたタブレット81を押圧するプランジャーPのガイ
ド部82が、また前記縦ランナー部78に対応してラン
ナーロックピン83がそれぞれ配設されている。上記ラ
ンナーロックピン83の形状は、図10に示すごとく、
端部にアンダーカットmが施され、前記ランナー樹脂と
係止する係止部84が形成されている。
【0010】次に、図8及び図9によりPACのトラン
スファーモールドにおけるピンポイントゲート方式の成
形動作を説明する。所定の温度、例えば165°C程度
に加熱された上金型(取付板80、ストリッパープレー
ト75、固定側型板73)と下金型(可動側型板71)
の間にIC52をボンディングした回路基板53を装着
し、所定の温度に加熱された熱硬化性樹脂タブレット8
1を前記プランジャーPのガイド部82からカル部76
に投入し、前記プランジャーPを押し込んで圧力を加え
ることにより、熱硬化性樹脂をカル部76から横ランナ
ー部77、縦ランナー部78のゲート部79を経てキャ
ビティ74内に流し込む。樹脂の溶解時間は、例えば8
秒間程度である。
【0011】熱硬化性樹脂を充填後、所定の熱硬化時
間、例えば90秒程度保持した後、型開き及びランナー
樹脂の係止解除を行う。即ち図9に示すごとく、先ずス
トリッパープレート75と固定側型板73とを開き、ラ
ンナーロックピン83の係止部84の周囲のランナー樹
脂を引き上げるため、ゲート部79においてランナー樹
脂と樹脂成形された製品であるPACとを切り離す。次
にストリッパープレート75の矢印F方向への作動でラ
ンナーロックピン83の係止部84からピンの軸方向に
カル86、横ランナー87及び縦ランナー88からなる
ランナー樹脂を取り外す。なお85は落下する樹脂かす
を示す。次にパーティングライン72で型を開き、製品
であるPACを取り出す。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たピンポイントゲート方式のPACの熱硬化性樹脂成形
には次のような問題点がある。即ち、特に熱硬化性樹脂
のような硬質樹脂成形においては型開きの際に、ランナ
ーロックピンによるランナー樹脂の係止効果が不十分に
なることから、縦ランナーが型内に残り、製品と分離し
ない、所謂離型不良が発生し易い。また係止効果を十分
にするために、前記ランナーロックピンのアンダーカッ
トmの量を増やすと、離型後のストリッパープレート作
動の際に、係止部分のランナー樹脂の割れ、欠けが発生
し、樹脂かすが固定側型板面を掃除する際にゲート部に
詰まって樹脂の未充填になったり、硬い樹脂かすがキャ
ビティ内に入って、ボンディングワイヤーのワイヤー折
れ、切れ及びショルダータッチが発生する。
【0013】更に、前記ランナーロックピンの係止部に
樹脂が残るようになるため、アンダーカットによる係止
効果が減殺され、次のショットではランナー樹脂の離型
不良が生じる。前記ランナーロックピンのアンダーカッ
ト量を減らすと、係止効果が不十分になり、やはり離型
不良が発生するという悪循環に陥る。また更に上金型と
下金型とを開くとき、回路基板は可動側型板側に載せて
あるので、PACの樹脂封止部が固定キャビティ側に密
着してしまい、製品の取り出しに余計な時間を要するば
かりでなく、また成形トラブルの要因にもなる様々な問
題があった。
【0014】本発明は上記従来の課題に鑑みなされたも
のであり、その目的は、ピンポイントゲート方式におい
て上記問題点を解消し、特に熱硬化性樹脂成形に適し、
信頼性の高い樹脂成形用装置を提供するものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明における樹脂成形用装置は、第1の金型と第
2の金型とでキャビティを形成し、前記一方の金型に設
けられたランナー部には横ランナー部と縦ランナー部と
を含み、該縦ランナー部に連なるゲート部から前記キャ
ビティに樹脂を充填することにより、前記キャビティの
成形樹脂と前記ランナー部のランナー樹脂とを成形し、
かつ前記ランナー樹脂に係止する係止部を有するランナ
ーロックピンによって前記ランナー樹脂を成形樹脂から
切り離すように構成した樹脂成形用装置において、前記
縦ランナー部の上部に前記キャビティを形成したことを
特徴とするものである。
【0016】また、前記ランナーロックピンは外周の一
部がランナー部と交差するように配置され、前記ランナ
ーロックピンの係止部は前記交差部に開口する切欠部を
有し、前記ランナーロックピンの開口方向にランナー樹
脂を押し外すための押し外し手段により、前記ランナー
樹脂と前記ランナーロックピンの係止解除を行うことを
特徴とするものである。
【0017】更に、前記ランナー樹脂と前記ランナーロ
ックピンの係止解除は、ノックアウトピンの押し出しに
よって行われることを特徴とするものである。
【0018】
【作用】従って、本発明により得られる樹脂成形用装置
において、前述したように、熱硬化性樹脂をキャビティ
の下方のランナー部から押し上げるように、縦ランナー
部の上部のゲート部からキャビティに導いて成形し、ノ
ックアウトピンを押し出すことにより、ランナー樹脂を
側方に移動させてこのランナー樹脂とランナーロックピ
ンとの係止解除を行い、ランナー樹脂を容易に取り出す
ことができる。またICチップをボンディングした回路
基板の装着及び製品の取り出しはフラットな回路基板の
下面側を吸着することにより容易であり、また樹脂かす
が落下してもキャビティ内には侵入することがなく、信
頼性の高いPACを製造することが可能である。
【0019】
【実施例】以下図面に基づいて好適な実施例を説明す
る。図1は本発明の実施例で、ピンポイントゲート方式
のPAC封止用の6ケ取りの樹脂成形用装置を示す要部
断面図、図2は図1の樹脂成形用装置による樹脂成形後
の型開き動作を説明する断面図、図3はノックアウトピ
ンで回転力を与えるランナー樹脂の係止解除動作を説明
する平面図、図4はランナーロックピンの斜視図であ
る。まず図1において、第1の金型である上金型1は固
定側型板3と、この固定側型板3と組み合わせてキャビ
ティ4を形成する固定側取付板5と、プランジャーガイ
ド15とよりなり、固定側型板3に形成されたキャビテ
ィ4内にICチップをボンディングした回路基板6が前
記ICチップが下側になるように配置される。
【0020】第2の金型である下金型7の可動側型板8
には後述するランナーロックピン9とノックアウトピン
10が配設される。固定側型板3と可動側型板8とで、
カル部11、横ランナー部12及び縦ランナー部13か
らなる樹脂移送経路であるランナー部が形成される。前
記縦ランナー部13の上部はゲート部14で前記キャビ
ティ4に連なっている。前記カル部11に投入された樹
脂タブレット16を押圧するプランジャーPが上金型1
中央上部に配設される。前記ランナーロックピン9は外
周の一部が横ランナー部12と直角に交差するように配
設され、図4に示すように前記ランナーロックピン9の
係止部9aは前記交差部に開口した切欠部であり、該係
止部9aを含むランナーロックピン9の外周の一部はラ
ンナー部の側壁の一部を構成している。また前記ノック
アウトピン10も斜面部10aが前記ランナー部に当接
するごとく配設されランナー部の側壁の一部を構成して
いる。
【0021】次に、図1及び図2によりPACのトラン
スファーモールドにおけるピンポイントゲート方式の成
形動作を説明する。予め所定の温度、例えば165°C
程度に加熱された前記金型に、また所定の温度に加熱さ
れた熱硬化性樹脂タブレット16を前記プランジャーP
のガイド部15から投入し、前記プランジャーPを押し
込んで圧力を加えることにより、溶融した熱硬化性樹脂
をカル部11から横ランナー部12、縦ランナー部13
のゲート部14を経てキャビティ4内に押し上げる。
【0022】熱硬化性樹脂を充填後、所定の熱硬化時
間、例えば90秒程度保持した後、図2に示すごとく型
開き及びランナーロックピンとランナー樹脂との係止解
除を行う。図2(a)において、先ず可動側型板8を矢
印Aの方向に固定側型板3から開き、ゲート部14にお
いてランナー樹脂と樹脂封止された製品PAC18の成
形樹脂とを切り離す。その際ランナーロックピン9の係
止部9aにより横ランナー部12が係止されていて、ラ
ンナー樹脂は確実に可動側型板8側に保持される。次に
固定側取付板5を矢印B方向に作動して製品であるPA
C18を取り出す。
【0023】次に図2(b)及び図3に示すように、ラ
ンナー樹脂の押し外し手段であるノックアウトピン10
を矢印C方向に押し出すことにより、前記ノックアウト
ピン10に形成した斜面部10aが横ランナー22を矢
印D方向に押して、ランナー樹脂にカル21を中心に矢
印E方向に回転力を与えて、前記ランナー樹脂とランナ
ーロックピン9の係止部9aとの係止解除を行い、ラン
ナー樹脂を取り出しロボット等で容易に型外に取り出す
ことができる。また製品であるPAC18の取り出し
は、回路基板のフラットな下面側が上方に位置している
ので、汎用の吸着パッド等の吸着手段により、あるいは
軽いエヤーの吹き出しを付加するだけで容易に取り出す
ことができる。なお、ランナー樹脂の押し外しはノック
アウトピンによらなくても、例えば取り出しロボットの
一対の平行杆で構成されたツメでランナー樹脂の縦ラン
ナーを挟むことによりランナー樹脂に回転力を与えて行
うこともできる。
【0024】また更に、ランナーロックピンの係止解除
が容易なため樹脂かす19の発生も少ないが、かりに樹
脂かす19が落下してもゲート部14の方に向かわない
ので、前記樹脂かす19はキャビティ4内に侵入するこ
とがなく、樹脂かす19のかす詰まりによる充填不良や
ボンディングワイヤーの折損が発生しない。
【0025】上記のように、図1に示した樹脂成形用装
置は、プランジャーを上金型側に配設した、所謂上プラ
ンジャー方式であるが、他の実施例である図5は、図1
に示した樹脂成形用装置においては、上金型1側にプラ
ンジャーPを配設したのに対して、下金型7側にプラン
ジャーPを配設したもので、所謂下プランジャー方式で
あり、金型の下方から図示しないプランジャーで樹脂を
押圧することができる。他の部材配置は図1と全く同様
であるので説明は省略する。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
特に熱硬化性樹脂成形のような硬質樹脂成形において型
開きの際に、ランナー樹脂とランナーロックピンとの係
止解除が容易であり、ランナー樹脂の離型不良がなくな
り、またランナー樹脂の割れ、欠けもなく、何よりも縦
ランナー部の上部にキャビティを形成することにより、
樹脂かすがゲート部に詰まることによる樹脂の未充填も
なくなり、硬い樹脂かすがキャビティ内に入ることがな
く、従ってボンディングワイヤーが折損することがな
い。製品の取り出しは、回路基板の下面側が上方に位置
しフラットなため、汎用の吸着パッド等の吸着手段によ
り容易に取り出すことができる等生産性も優れ、ピンポ
イントゲート方式において、特に熱硬化性樹脂成形に適
し、信頼性の高い樹脂成形用装置を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例による樹脂成形用装置を示す
要部断面図である。
【図2】本発明の一実施例による成形後の離型動作を示
す要部断面図である。
【図3】本発明の実施例によるランナー樹脂の係止解除
動作を説明する要部平面図である。
【図4】本発明の実施例のランナーロックピンの斜視図
である。
【図5】本発明の他の実施例に係わる樹脂成形用装置を
示す要部断面図である。
【図6】従来技術のサイドゲート方式の半導体の樹脂成
形用装置を示す要部断面図である。
【図7】従来技術のサイドゲート方式により成形したI
Cモジュールの外観斜視図である。
【図8】従来技術のピンポイントゲート方式の樹脂成形
用装置を示す断面図である。
【図9】従来技術による成形後の離型動作を示す断面図
である。
【図10】従来技術のランナーロックピンの形状を示す
正面図である。
【符号の説明】
1 上金型 4 キャビティ 7 下金型 9 ランナーロックピン 9a 係止部 10 ノックアウトピン 10a 斜面部 12 横ランナー部 13 縦ランナー部 14 ゲート部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 猪飼 勝彦 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチズ ン時計株式会社田無製造所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の金型と第2の金型とでキャビティ
    を形成し、前記一方の金型に設けられたランナー部には
    横ランナー部と縦ランナー部とを含み、該縦ランナー部
    に連なるゲート部から前記キャビティに樹脂を充填する
    ことにより、前記キャビティの成形樹脂と前記ランナー
    部のランナー樹脂とを成形し、かつ前記ランナー樹脂に
    係止する係止部を有するランナーロックピンによって前
    記ランナー樹脂を成形樹脂から切り離すように構成した
    樹脂成形用装置において、前記縦ランナー部の上部に前
    記キャビティを配設したことを特徴とする樹脂成形用装
    置。
  2. 【請求項2】 前記ランナーロックピンは外周の一部が
    ランナー部と交差するように配置され、前記ランナーロ
    ックピンの係止部は前記交差部に開口する切欠部を有
    し、前記ランナーロックピンの開口方向にランナー樹脂
    を押し外すための押し外し手段により、前記ランナー樹
    脂と前記ランナーロックピンの係止解除を行うことを特
    徴とする請求項1記載の樹脂成形用装置。
  3. 【請求項3】 前記ランナー樹脂と前記ランナーロック
    ピンとの係止解除は、ノックアウトピンの押し出しによ
    って行われることを特徴とする請求項2記載の樹脂成形
    用装置。
JP205594A 1994-01-13 1994-01-13 樹脂成形用装置 Pending JPH07205191A (ja)

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JP205594A JPH07205191A (ja) 1994-01-13 1994-01-13 樹脂成形用装置
PCT/JP1995/000007 WO1995019251A1 (fr) 1994-01-13 1995-01-06 Procede de soudage par resine de dispositifs semi-conducteurs
EP95905230A EP0688650B1 (en) 1994-01-13 1995-01-06 Method of resin-sealing semiconductor devices
DE69519259T DE69519259T2 (de) 1994-01-13 1995-01-06 Verfahren zum harzversiegeln von halbleiterbauteilen
US08/522,244 US5783134A (en) 1994-01-13 1995-01-06 Method of resin-sealing semiconductor device
KR1019950703877A KR960700875A (ko) 1994-01-13 1995-01-06 반도체 장치의 수지봉지 방법
TW084100145A TW268144B (ja) 1994-01-13 1995-01-10

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07211739A (ja) * 1994-01-18 1995-08-11 Citizen Watch Co Ltd Icを実装した回路基板の樹脂封止方法及びその成形金型
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