[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH07181202A - Probe for inspecting substrate and correction method thereof - Google Patents

Probe for inspecting substrate and correction method thereof

Info

Publication number
JPH07181202A
JPH07181202A JP32642493A JP32642493A JPH07181202A JP H07181202 A JPH07181202 A JP H07181202A JP 32642493 A JP32642493 A JP 32642493A JP 32642493 A JP32642493 A JP 32642493A JP H07181202 A JPH07181202 A JP H07181202A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
probe needle
inspection
needle
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP32642493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shingo Kawashima
慎吾 川島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP32642493A priority Critical patent/JPH07181202A/en
Publication of JPH07181202A publication Critical patent/JPH07181202A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable a reduction in repairing time and cost by enabling the returning of the shape of a probe needle to the original state when it is deformed without removal from the apparatus by applying heat of a specified temperature to the probe needle directly or indirectly. CONSTITUTION:A probe needle employs an alloy showing a shape memory effect as material and the probe needle is bent properly in shape to match an inspection device. The probe needle 2a de formed of a probe 1 for inspecting a liquid crystal display body is made to contact a high temperature liquid heat source directly to turn the shape thereof to the original state by the shape memory effect of the alloy. Hot water 12 is selected as heat source. For the hot water is inexpensive. easy to handle and has sufficient heat to return the shape memory alloy to the original state. There is no need for removing the probe 1 from the inspection device and the hot water 12 filling a container 13 kept on the apparatus is made to contact the probe needle 2a deformed directly thereby enabling the returning of the shape thereof to the original state.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示体等に
使用されるガラス基板、プラスチック基板、フレキシブ
ル配線基板、硬質基板等に使用される基板検査用プロー
ブおよびその修正方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate inspection probe used for a glass substrate, a plastic substrate, a flexible wiring substrate, a hard substrate, etc. used for a liquid crystal display or the like, and a method for repairing the probe.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の基板検査装置としては、例えば特
開平1−227078号公報に記載されているようなも
のが知られている。
2. Description of the Related Art As a conventional substrate inspection apparatus, for example, one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-227078 is known.

【0003】上記公報には、点灯欠陥のある液晶表示体
に駆動ICを実装することによる品質並びに歩留の低下
を防止するために、ガラス基板の液晶表示部に形成され
た多数の電極から駆動ICを実装する位置までの導電性
の導通チェックを行うガラス基板検査装置が示されてい
る。
In the above publication, in order to prevent deterioration of quality and yield due to mounting a driving IC on a liquid crystal display having a lighting defect, driving is performed from a large number of electrodes formed on a liquid crystal display of a glass substrate. There is shown a glass substrate inspection device that conducts a conductive continuity check up to a position where an IC is mounted.

【0004】上記公報に示されたガラス基板検査装置
は、例えば2枚のガラス基板を対向配置した微少空間に
液晶を注入し、対向面に格子状に形成された走査信号お
よびデータ信号ラインの交点を画素として電気的に表示
する液晶表示体を検査するものである。
The glass substrate inspecting apparatus disclosed in the above publication, for example, injects liquid crystal into a minute space in which two glass substrates are arranged to face each other, and intersects the scanning signal and data signal lines formed in a lattice on the facing surface. Is to inspect a liquid crystal display that electrically displays as a pixel.

【0005】上記検査装置には、液晶表示体を例えば真
空吸着して支持する戴置台が設けられ、その上方に、液
晶表示体の駆動ICチップを実装する位置に集中して設
けられたリードパターンの一端部を一括して電気的に接
触可能な電極体および、リードパターンの他端部を各々
単独で接触する電極端子例えばプローブ針が装着された
プローブカードが配設されている。
The above inspection apparatus is provided with a mounting table for supporting the liquid crystal display body by vacuum suction, for example, and a lead pattern concentrated above the mounting table is provided at a position where a drive IC chip of the liquid crystal display body is mounted. There is provided an electrode body capable of collectively electrically contacting one end portion thereof and a probe card having an electrode terminal, for example, a probe needle, which individually contacts the other end portion of the lead pattern.

【0006】検査時には、戴置台が上昇し、リードパタ
ーンの駆動ICチップの設置位置に集中して配線された
一端部と電極体とを面接触させるとともに、各リードパ
ターンの他端部の端部に各プローブ針を各々独立で接触
させ、このような接触状態で電気的導通検査を実行する
ものである。
At the time of inspection, the mounting table rises to bring one end portion of the lead pattern, which is concentrated on the installation position of the drive IC chip, into surface contact with the electrode body, and the other end portion of each lead pattern. The probe needles are brought into contact with each other independently, and the electrical continuity test is executed in such a contact state.

【0007】上記公報においては、プローブ針の材料に
ついては言及されていないが、一般的には基板検査用プ
ローブのプローブ針材料としては、Be−Cu(ベリリ
ウム銅)合金或いはW(タングステン)等の金属が用い
られている。
In the above publication, the material of the probe needle is not mentioned, but generally, as the probe needle material of the probe for substrate inspection, Be-Cu (beryllium copper) alloy, W (tungsten) or the like is used. Metal is used.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の基板
検査用プローブのプローブ針の材料として用いられてい
たBe−Cu合金やWといった材料は、外力に対して弱
く、簡単に塑性変形し易かった。従って、プローブ針が
変形した場合、プローブを検査装置本体から取り外して
修正するか、或いはプローブ針の交換をしなければなら
ず、手間と費用がかかるという問題があった。
By the way, materials such as Be-Cu alloy and W, which have been used as the material of the probe needle of the conventional substrate inspection probe, are weak against external force and easily plastically deformed. . Therefore, when the probe needle is deformed, it is necessary to remove the probe from the inspection apparatus main body and correct it, or to replace the probe needle, which is troublesome and expensive.

【0009】本発明は、このような従来の基板検査用プ
ローブの課題を解決して、修正の容易な基板検査用プロ
ーブを提供するものである。
The present invention solves the above problems of the conventional board inspection probe and provides a board inspection probe that can be easily corrected.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、基板検査のた
めのプローブ針を備えてなる基板検査用プローブにおい
て、上記プローブ針が形状記憶合金で形成されているこ
とを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a substrate inspecting probe having a probe needle for inspecting a substrate, wherein the probe needle is formed of a shape memory alloy.

【0011】また本発明は、上記基板検査用プローブ
が、基板の駆動信号入力端子と接触するプローブ針と、
該プローブ針の支持体と、検査する基板を駆動するドラ
イバーTAB−ICと、該ドライバーTAB−ICに電
気信号を送り込む中継用フレキシブル配線基板とによっ
て構成されていることを特徴とする。
The present invention also provides a probe needle, wherein the board inspection probe is in contact with a drive signal input terminal of the board,
It is characterized by being constituted by a support of the probe needle, a driver TAB-IC for driving a substrate to be inspected, and a relay flexible wiring substrate for sending an electric signal to the driver TAB-IC.

【0012】また本発明は、プローブ針が、Ni−Ti
(ニチノール)合金もしくはCu−Zn−Al(ベータ
ロイ)合金からなる形状記憶合金で形成されていること
を特徴とする。
According to the present invention, the probe needle is made of Ni-Ti.
It is characterized by being formed of a shape memory alloy composed of a (Nitinol) alloy or a Cu—Zn—Al (Betaloy) alloy.

【0013】さらに本発明は、プローブ針が形状記憶合
金によって形成されている基板検査用プローブの修正方
法であって、所定温度の熱を発生する熱源からの熱を、
変形したプローブ針に直接的あるいは間接的に供給して
元の形状に修正することを特徴とする。
Furthermore, the present invention is a method of repairing a probe for inspecting a substrate, wherein the probe needle is made of a shape memory alloy, wherein heat from a heat source that generates heat of a predetermined temperature is
It is characterized in that it is directly or indirectly supplied to the deformed probe needle to be corrected to the original shape.

【0014】[0014]

【作用】本発明の基板検査用プローブによれば、基板検
査用プローブのプローブ針が変形した場合、基板検査装
置に搭載された基板検査用プローブを基板検査装置から
取り外すことなく、プローブ針の材料である形状記憶合
金の特性を利用して、プローブ針に直接的あるいは間接
的に所定温度の熱を加えることで元の針の形状に戻すこ
とが可能となる。これにより、基板検査用プローブの修
理時間の短縮、修理費用の低減を図ることができる。
According to the substrate inspection probe of the present invention, when the probe needle of the substrate inspection probe is deformed, the material of the probe needle is not removed from the substrate inspection device without removing the substrate inspection probe mounted on the substrate inspection device. It is possible to restore the original shape of the needle by directly or indirectly applying heat of a predetermined temperature to the probe needle by utilizing the characteristic of the shape memory alloy. As a result, it is possible to reduce the repair time and the repair cost of the board inspection probe.

【0015】[0015]

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例に
ついて詳説する。なお、以下の説明では液晶表示体検査
用プローブを例に用いて説明するが、これに限定される
ものではなく、プラスチック基板、フレキシブル配線基
板、硬質基板等の基板に使用される基板検査装置、およ
び微細パターンを有する金属電極を使用したIC等電子
デバイスの検査装置にも適用できることは言うまでもな
い。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the following description, a liquid crystal display inspection probe will be described as an example, but the present invention is not limited to this, and a substrate inspection device used for a substrate such as a plastic substrate, a flexible wiring substrate, or a hard substrate, Needless to say, the present invention can also be applied to an inspection apparatus for electronic devices such as ICs using a metal electrode having a fine pattern.

【0016】図1は、本発明に係る液晶表示体検査用プ
ローブ1の構造を示す外観図である。液晶表示体検査用
プローブ1は、液晶表示体9の駆動信号入力端子と接触
するプローブ針2と、プローブ針2の支持体2’と、検
査する液晶表示体9を駆動するドライバーTAB−IC
3と、ドライバーTAB−IC3に電気信号を送り込む
中継用フレキシブル配線基板4とにより構成されてい
る。
FIG. 1 is an external view showing the structure of a liquid crystal display body inspection probe 1 according to the present invention. The liquid crystal display inspection probe 1 includes a probe needle 2 that contacts a drive signal input terminal of the liquid crystal display 9, a support 2'of the probe needle 2, and a driver TAB-IC that drives the liquid crystal display 9 to be inspected.
3 and a flexible wiring board 4 for relay which sends an electric signal to the driver TAB-IC3.

【0017】上記プローブ針2は、材質としては形状記
憶効果を示す合金が使用され、プローブ針2の形状は検
査装置に合わせて適宜折曲形成される。形状記憶効果を
示す合金は各種確認されているが、本発明においてはN
i−Ti合金或いはCu−Zn−Al合金が好ましい。
何故なら、Ni−Ti合金或いはCu−Zn−Al合金
をプローブ針2に使用した場合、検査用プローブ1の比
抵抗が従来のBe−Cu合金及びWを使用した場合と同
等で検査用プローブとして適しているためである。
As the material of the probe needle 2, an alloy having a shape memory effect is used as a material, and the shape of the probe needle 2 is appropriately bent and formed according to the inspection device. Various alloys showing a shape memory effect have been confirmed, but in the present invention, N
An i-Ti alloy or a Cu-Zn-Al alloy is preferable.
The reason is that when a Ni-Ti alloy or a Cu-Zn-Al alloy is used for the probe needle 2, the specific resistance of the inspection probe 1 is the same as when the conventional Be-Cu alloy and W are used, and the probe is used as an inspection probe. This is because it is suitable.

【0018】なお、本発明における液晶表示体検査用プ
ローブ1は、液晶表示体9の液晶表示素子を駆動するL
SIチップもしくはLSI付きフィルムキャリア等の駆
動装置を接続する前の点灯表示検査に使用し、液晶表示
体9の液晶表示素子を駆動する信号を入力する個々の端
子にコンタクトするものであればよく、液晶表示体検査
用プローブ1の構造は上記構造に限定されるものではな
い。
The probe 1 for inspecting a liquid crystal display according to the present invention is an L for driving the liquid crystal display element of the liquid crystal display 9.
It may be used as a lighting display test before connecting a driving device such as an SI chip or a film carrier with an LSI, and contacting each terminal for inputting a signal for driving a liquid crystal display element of the liquid crystal display body 9, The structure of the liquid crystal display inspection probe 1 is not limited to the above structure.

【0019】図2および図3は、本実施例の液晶表示体
検査用プローブ1を使用した液晶表示体点灯検査装置の
一例を示すもので、図2は平面図、図3は側面図であ
る。これらの図において、プローブ針2が形状記憶合金
で形成されている液晶表示体検査用プローブ1は、プロ
ーブ取り付けボード5に取り付けられている。
2 and 3 show an example of a liquid crystal display body lighting inspection device using the liquid crystal display body inspection probe 1 of this embodiment. FIG. 2 is a plan view and FIG. 3 is a side view. . In these drawings, the liquid crystal display body inspection probe 1 in which the probe needle 2 is formed of a shape memory alloy is attached to the probe attachment board 5.

【0020】プローブ取り付けボード5上には、液晶表
示体検査用プローブ1を介して液晶表示体9に電気信号
を送り込むための駆動装置6が配置されている。このよ
うなプローブ取り付けボード5は、昇降ステージ7に搭
載される。
On the probe mounting board 5, a driving device 6 for sending an electric signal to the liquid crystal display body 9 through the liquid crystal display body inspection probe 1 is arranged. Such a probe mounting board 5 is mounted on the lifting stage 7.

【0021】プローブ取り付けボード5の下側にはバッ
クライト8が配置され、該バックライト8上には検査対
象の液晶表示体9が、プローブ取り付けボード5が降下
した時にプローブ針2の先端と該液晶表示体9の駆動信
号入力端子(図示せず)が確実に接触する位置に戴置さ
れる。
A backlight 8 is arranged below the probe mounting board 5, and a liquid crystal display 9 to be inspected is placed on the backlight 8 and the tip of the probe needle 2 when the probe mounting board 5 descends. The liquid crystal display 9 is placed at a position where a drive signal input terminal (not shown) is surely in contact with it.

【0022】検査時には液晶表示体検査用プローブ1が
取り付けられているプローブ取り付けボード5が降下
し、液晶表示体検査用プローブ1の針2が液晶表示体9
の駆動信号入力端子(図示せず)に接触、該端子より液
晶表示体9の液晶表示素子(図示せず)に駆動信号が入
力され液晶表示体9が点灯する。これにより点灯した液
晶表示体9を見て点灯検査が行なわれる。
At the time of inspection, the probe mounting board 5 to which the probe 1 for inspecting a liquid crystal display is lowered, and the needle 2 of the probe 1 for inspecting a liquid crystal display is moved to the liquid crystal display 9.
A drive signal input terminal (not shown) is contacted, a drive signal is input to the liquid crystal display element (not shown) of the liquid crystal display 9 from the terminal, and the liquid crystal display 9 is turned on. As a result, the lighting inspection is performed by looking at the lit liquid crystal display body 9.

【0023】なお、図2に示した液晶表示体点灯検査装
置は、液晶表示体検査用プローブ1を戴置したプローブ
取り付けボード5が上下して点灯検査を行う構造となっ
ているが、液晶表示体9を戴置している側(図2におけ
るバックライト8側)が上下して検査を行う構造であっ
てもよく、プローブ取り付けボード5及び液晶表示体9
を戴置する側(図2におけるバックライト8側)の両方
が上下して検査を行う構造であってもよい。
The liquid crystal display body lighting inspection apparatus shown in FIG. 2 has a structure in which the probe mounting board 5 on which the liquid crystal display body inspection probe 1 is placed moves up and down to perform the lighting inspection. The structure may be such that the side on which the body 9 is placed (backlight 8 side in FIG. 2) goes up and down for inspection, and the probe mounting board 5 and the liquid crystal display 9
It is also possible to adopt a structure in which both the mounting side (the backlight 8 side in FIG. 2) moves up and down for inspection.

【0024】次に、図4および図5を参照しながら本実
施例の液晶表示装置検査用プローブ1の具体的な修理方
法について説明する。
Next, a specific method for repairing the liquid crystal display device inspection probe 1 of this embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5.

【0025】第一の修理方法は、変形したプローブ針に
対し、熱源より熱風を送風することにより、合金の形状
記憶効果を利用して元の形状に戻す方法である。図4は
熱源の一例として、高温を発しかつ高温を吹き付けるこ
とができるドライヤー10を用いた場合の修正方法を示
したものである。
The first repairing method is a method in which hot air is blown from a heat source to the deformed probe needle to restore the original shape by utilizing the shape memory effect of the alloy. FIG. 4 shows a correction method in the case where a dryer 10 that emits a high temperature and can blow a high temperature is used as an example of a heat source.

【0026】この方法においては、熱源の構造・種類・
性質等によっては、熱源10より発せられた熱が変形し
たプローブ針2a以外の箇所に当たり、プローブ針2の
ピッチ精度に影響を与える恐れがあるので、プローブ針
2のピッチ精度に影響を与えない構造とすることが望ま
しい。
In this method, the structure / type /
Depending on the nature and the like, the heat generated by the heat source 10 may hit a portion other than the deformed probe needle 2a and affect the pitch accuracy of the probe needle 2, so that the pitch accuracy of the probe needle 2 is not affected. Is desirable.

【0027】図4では、ドライヤー10の先端に熱収束
管11を取り付けた構造とした。熱収束管11は、十分
な耐熱性・断熱性を有する材質例えば耐熱プラスチック
を用いて、なおかつ熱を収束することができる形状とす
る。また図4では、熱収束管11の形状を漏斗状にして
いるが、円錐あるいは角錐の形状とし円錐あるいは角錐
の頂点に熱射出部となる穴を設けた構造としてもよい。
円柱または角柱形状として、熱源への取り付け部の反対
側に熱射出部となる穴を設ける構造でもよい。ただしこ
の場合も、円柱または角柱のある箇所に、階段状または
円錐および角錐状に絞り込んだ形状の熱収束部位を設け
先端を所望の細さに形成する等、プローブ針2のピッチ
精度に影響を与えない構造とすることが望ましい。また
熱収束管11を、前記した形状に関係なく、熱収束管1
1のある部分で折曲した構造としてもよい。折曲する方
向・回数・角度は液晶表示装置検査用プローブ1の取り
付け状態を考慮し、修正が容易な形状にすればよく、特
定の方向および数値に限定されない。これにより、変形
したプローブ針2aに対し、さらに集中的に熱を供給す
ることができ、かつ液晶表示体検査用プローブ1のプロ
ーブ針2のピッチ精度に影響を与えることを防止でき
る。
In FIG. 4, the heat focusing tube 11 is attached to the tip of the dryer 10. The heat converging tube 11 is made of a material having sufficient heat resistance and heat insulation, for example, heat resistant plastic, and has a shape capable of converging heat. Further, in FIG. 4, the shape of the heat converging tube 11 is a funnel shape, but a conical shape or a pyramid shape may be used, and a hole serving as a heat emitting portion may be provided at the apex of the cone or the pyramid.
As a columnar or prismatic shape, a structure may be used in which a hole serving as a heat emitting portion is provided on the side opposite to the attachment portion to the heat source. However, also in this case, the pitch accuracy of the probe needle 2 is affected by providing a heat converging portion having a stepped shape, a conical shape, or a pyramid-shaped narrowed shape at a place where a columnar shape or a prismatic shape is formed, and forming the tip to a desired thinness. It is desirable to have a structure that does not give it. In addition, the heat converging tube 11 is replaced by the heat converging tube 1 regardless of the shape described above.
The structure may be bent at a portion of 1. The bending direction, number of times, and angle are not limited to specific directions and numerical values as long as they can be easily modified in consideration of the mounting state of the liquid crystal display device inspection probe 1. This makes it possible to more intensively supply heat to the deformed probe needles 2a and prevent the pitch accuracy of the probe needles 2 of the liquid crystal display inspection probe 1 from being affected.

【0028】また、図2及び図3に示した液晶表示体検
査装置に予めドライヤー等の熱源を取り付けた構造とし
てもよい。この場合、熱源の取り付け位置及び取り付け
方法は、基板検査の支障とならなければ特に制限はな
い。
The liquid crystal display inspecting apparatus shown in FIGS. 2 and 3 may have a structure in which a heat source such as a dryer is attached in advance. In this case, the mounting position and mounting method of the heat source are not particularly limited as long as they do not hinder the board inspection.

【0029】また、プローブ針2の変形を自動的に検出
するセンサーを設置し、該センサーが針部2の変形を検
出した際、自動的にドライヤー10が動作して、変形し
たプローブ針2aの修正を行う機構を備えた構造として
もよい。
Further, a sensor for automatically detecting the deformation of the probe needle 2 is installed, and when the sensor detects the deformation of the needle portion 2, the dryer 10 automatically operates to detect the deformed probe needle 2a. The structure may be provided with a correction mechanism.

【0030】また、検査工程での作業において、所定回
数、或いは所定時間の検査毎に自動的に修正工程を入れ
るようなシステムとしてもよい。
Further, in the work in the inspection process, the system may be such that a correction process is automatically inserted every predetermined number of times or every inspection of a predetermined time.

【0031】続いて、第二の修理方法について説明す
る。液晶表示体検査用プローブ1の変形したプローブ針
2aを、高温を有する液体の熱源に直接接触させ、合金
の形状記憶効果によって元の形状に戻すという修正方法
である。図5に具体例を示す。ここでは熱源として熱湯
12を選択した。熱湯を選択した理由は、入手し易くか
つ安価であり、取り扱いも容易であること、及び形状記
憶合金を元の状態に戻すに足りる熱を有していることに
よる。従って、他の液体であっても同様の性質を有する
ものであれば熱源として使用することができる。
Next, the second repair method will be described. This is a correction method in which the deformed probe needle 2a of the liquid crystal display body inspection probe 1 is brought into direct contact with a heat source of a liquid having a high temperature to restore the original shape by the shape memory effect of the alloy. A specific example is shown in FIG. Here, hot water 12 was selected as the heat source. The reason for selecting hot water is that it is easily available, inexpensive, easy to handle, and has sufficient heat to restore the shape memory alloy to its original state. Therefore, other liquids can be used as a heat source as long as they have similar properties.

【0032】図5において、液晶表示体検査用プローブ
1は検査装置から取り外す必要はなく、液晶表示体検査
用プローブ1を検査装置に搭載した状態で、容器13に
満たした熱湯12を変形したプローブ針2aに直接接触
させることで元の針形状に戻すことができる。容器13
は熱湯の温度に応じた耐熱性・耐久性を有する材質の容
器であればよく、本例では特に金属製容器であれば耐熱
性・耐久性に優れ好ましい。また、直接熱湯の入った容
器をもって来るのではなく、離れた場所に熱源を置き、
パイプの中を循環させてプローブの所まで熱湯を搬送
し、プローブ針の部分にだけ熱が加わるようにしてもよ
い。
In FIG. 5, it is not necessary to remove the liquid crystal display body inspection probe 1 from the inspection device, and the probe 12 obtained by deforming the hot water 12 filled in the container 13 in a state where the liquid crystal display body inspection probe 1 is mounted in the inspection device. The original needle shape can be restored by directly contacting the needle 2a. Container 13
Is a container made of a material having heat resistance and durability according to the temperature of hot water, and in this example, a metal container is particularly preferable because it is excellent in heat resistance and durability. Also, instead of directly bringing a container containing hot water, place the heat source in a remote place,
The hot water may be circulated in the pipe to convey the hot water to the probe so that heat is applied only to the probe needle portion.

【0033】他の熱源を使用する場合も同様で、熱源の
温度に応じた耐熱性・耐久性を有する容器であればよ
い。容器13の形状は問わない。熱湯12の温度は形状
記憶合金が元の状態に戻る温度、本発明においては針が
元の形状に戻るに足りる温度であればよいが、前述した
形状記憶合金Ni−Ti合金もしくはCu−Zn−Al
合金を使用する場合、上記目的を達成するためには湯温
90℃前後であることが好ましい。液晶表示体検査用プ
ローブ1のプローブ針2に形状記憶合金Ti−Al合金
およびCu−Zn−Al合金を使用した場合、湯温90
℃の状態でTi−Al合金およびCu−Zn−Al合金
のいずれも修復時間は1秒であり、目的を達成するのに
十分な結果が得られた。
The same applies when other heat sources are used, as long as the container has heat resistance and durability depending on the temperature of the heat source. The shape of the container 13 does not matter. The temperature of the hot water 12 may be a temperature at which the shape memory alloy returns to its original state, or in the present invention, a temperature sufficient for the needle to return to its original shape. However, the shape memory alloy Ni-Ti alloy or Cu-Zn- described above is used. Al
When an alloy is used, the hot water temperature is preferably around 90 ° C. to achieve the above object. When a shape memory alloy Ti-Al alloy and Cu-Zn-Al alloy are used for the probe needle 2 of the liquid crystal display inspection probe 1, the hot water temperature is 90
The repair time was 1 second for both the Ti-Al alloy and the Cu-Zn-Al alloy in the state of ° C, and sufficient results were obtained to achieve the purpose.

【0034】なお、上記以外の材料であっても、同様の
結果を得られる形状記憶合金であれば、プローブ1のプ
ローブ針2の材料として使用可能である。
It should be noted that materials other than the above can be used as the material of the probe needle 2 of the probe 1 as long as they are shape memory alloys that can obtain the same result.

【0035】以上本発明に係る液晶表示体検査用プロー
ブ1の修正方法を説明したが、本発明に係る基板検査用
プローブの修正方法は以上の具体例に示した方法に限定
されるものではなく、所定温度の熱を発生する熱源を直
接或いは間接的に供給して変形した針部2aを修正する
方法であれば如何なる方法でもよい。熱源も上記に例示
した熱源に限定されるものではないことは勿論である。
Although the method for repairing the probe 1 for inspecting a liquid crystal display according to the present invention has been described above, the method for repairing the probe for inspecting a substrate according to the present invention is not limited to the method shown in the above specific examples. Any method may be used as long as it is a method of directly or indirectly supplying a heat source that generates heat of a predetermined temperature to correct the deformed needle portion 2a. Needless to say, the heat source is not limited to the heat source exemplified above.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明の基板用プローブおよびその修正
方法によれば、針先が変形した基板検査用プローブを装
置に搭載したまま修理が行えるので、修理に要する時間
を短縮することができる。
According to the substrate probe and the method of repairing the same of the present invention, since the repair can be performed while the substrate inspection probe having a deformed needle tip is mounted in the apparatus, the time required for the repair can be shortened.

【0037】また、装置の非稼働時間が短くなるため生
産性が向上する。
Further, since the non-operation time of the apparatus is shortened, the productivity is improved.

【0038】さらに、プローブ針を容易に修正できるの
で、修正費用の低減を図ることができる。
Further, since the probe needle can be easily corrected, the cost for correction can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る基板検査用プローブを示す外観図
である。
FIG. 1 is an external view showing a substrate inspection probe according to the present invention.

【図2】本発明に係る基板検査用プローブを使用した液
晶表示体点灯検査装置の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of a liquid crystal display body lighting inspection device using the substrate inspection probe according to the present invention.

【図3】本発明に係る基板検査用プローブを使用した液
晶表示体点灯検査装置の側面図である。
FIG. 3 is a side view of a liquid crystal display body lighting inspection device using the substrate inspection probe according to the present invention.

【図4】本発明に係るプローブ針を、熱源としてドライ
ヤーを用いて修正する方法を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a method for correcting a probe needle according to the present invention by using a dryer as a heat source.

【図5】本発明に係るプローブ針を、熱源として熱湯を
用いて修正する方法を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a method for correcting the probe needle according to the present invention by using hot water as a heat source.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板検査用プローブ 2 プローブ針 2’ プローブ針支持体 2a 変形したプローブ針 3 ドライバーTAB−IC 4 中継用フレキシブル配線基板 5 プローブ取り付けボード 6 ドライバーTAB−IC駆動装置 7 昇降ステージ 8 バックライト 9 検査対象の基板 10 ドライヤー 11 熱収束管 12 液体の熱源 13 容器 1 board inspection probe 2 probe needle 2'probe needle support 2a deformed probe needle 3 driver TAB-IC 4 flexible wiring board for relay 5 probe mounting board 6 driver TAB-IC driver 7 lift stage 8 backlight 9 inspection target Substrate 10 Dryer 11 Heat converging tube 12 Liquid heat source 13 Container

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板検査のためのプローブ針を備えてな
る基板検査用プローブにおいて、 上記プローブ針が形状記憶合金で形成されていることを
特徴とする基板検査用プローブ。
1. A substrate inspection probe comprising a probe needle for inspecting a substrate, wherein the probe needle is made of a shape memory alloy.
【請求項2】 上記基板検査用プローブが、基板の駆動
信号入力端子と接触するプローブ針と、該プローブ針の
支持体と、検査する基板を駆動するドライバーTAB−
ICと、該ドライバーTAB−ICに電気信号を送り込
む中継用フレキシブル配線基板とによって構成されてい
ることを特徴とする請求項1記載の基板検査用プロー
ブ。
2. The board inspection probe comprises a probe needle that comes into contact with a drive signal input terminal of the board, a support for the probe needle, and a driver TAB- that drives the board to be inspected.
2. The board inspection probe according to claim 1, wherein the board inspection probe comprises an IC and a relay flexible wiring board that sends an electric signal to the driver TAB-IC.
【請求項3】 上記プローブ針が、Ni−Ti(ニチノ
ール)合金もしくはCu−Zn−Al(ベータロイ)合
金からなる形状記憶合金で形成されていることを特徴と
する請求項1記載の基板検査用プローブ。
3. The substrate inspection according to claim 1, wherein the probe needle is formed of a shape memory alloy made of a Ni—Ti (Nitinol) alloy or a Cu—Zn—Al (Betaloy) alloy. probe.
【請求項4】 プローブ針が形状記憶合金によって形成
されている基板検査用プローブの修正方法であって、所
定温度の熱を発生する熱源からの熱を、変形したプロー
ブ針に直接的あるいは間接的に供給して元の形状に修正
することを特徴とする基板検査用プローブの修正方法。
4. A method for modifying a probe for inspecting a substrate, wherein the probe needle is made of a shape memory alloy, wherein heat from a heat source generating heat of a predetermined temperature is directly or indirectly applied to the deformed probe needle. A method for repairing a probe for board inspection, which comprises supplying the same to an original shape to correct the original shape.
JP32642493A 1993-12-24 1993-12-24 Probe for inspecting substrate and correction method thereof Pending JPH07181202A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32642493A JPH07181202A (en) 1993-12-24 1993-12-24 Probe for inspecting substrate and correction method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32642493A JPH07181202A (en) 1993-12-24 1993-12-24 Probe for inspecting substrate and correction method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07181202A true JPH07181202A (en) 1995-07-21

Family

ID=18187644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32642493A Pending JPH07181202A (en) 1993-12-24 1993-12-24 Probe for inspecting substrate and correction method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07181202A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101301517B1 (en) * 2008-02-21 2013-09-04 엘지디스플레이 주식회사 Substrate test apparatus for LCD and substrate test method using the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101301517B1 (en) * 2008-02-21 2013-09-04 엘지디스플레이 주식회사 Substrate test apparatus for LCD and substrate test method using the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20070080231A (en) Repair device and repair method
JPH07181202A (en) Probe for inspecting substrate and correction method thereof
KR20000064315A (en) Inspection device of liquid crystal display panel, inspection method of liquid crystal display panel and manufacturing method of liquid crystal panel
JPH0782032B2 (en) Display panel probe and its assembly method
KR100487429B1 (en) Method For Repairing A Defect Of Liquid Crystal Display Device And Liquid Crystal Display Device
JPH1019991A (en) Test head for circuit board tester
US7068337B2 (en) Apparatus for inspecting liquid crystal panel
KR101242372B1 (en) Bump-type probe, glass block panels for testing
JP3069360B2 (en) Display panel probe
JP2011106867A (en) Inspection tool for board inspection
KR100899978B1 (en) Probe Unit and needle
KR100746884B1 (en) Connecting apparatus, semiconductor chip inspecting apparatus, and method for manufacturing the semiconductor device
JP5048942B2 (en) Probe pin, probe card and probe device
JP4487519B2 (en) Electronic device functional inspection device
KR20060023250A (en) Probe block of lcd inspection system
KR100992930B1 (en) Probe block inspection apparatus and test coverage
JP2828558B2 (en) Display panel inspection equipment
JP3314703B2 (en) Method of cleaning contact pin of probe device and cleaning device
KR20110104780A (en) Film type probe block of probe unit for flat panel display visual inspection
KR102377600B1 (en) Probe card
KR20070109357A (en) Liquid crystal display panel testing device and testing method thereof
CN113945864B (en) Jig, detection system and substrate detection method
JP2010008996A (en) Device and method for forming contactless contact of conductive structure, particularly, thin film transistor liquid crystal display
JP2000323833A (en) Method and apparatus of inspecting soldering of mounting board
JP2003066067A (en) Probe unit, inspection device, inspection method of electro-optical panel board, and manufacturing method of electro-optical apparatus