JPH0714341Y2 - Ozone generator - Google Patents
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- JPH0714341Y2 JPH0714341Y2 JP5038189U JP5038189U JPH0714341Y2 JP H0714341 Y2 JPH0714341 Y2 JP H0714341Y2 JP 5038189 U JP5038189 U JP 5038189U JP 5038189 U JP5038189 U JP 5038189U JP H0714341 Y2 JPH0714341 Y2 JP H0714341Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はオゾンを発生させるための放電体に関するもの
である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention relates to a discharge body for generating ozone.
オゾンは乾燥空気中で放電を行うことにより得られるも
ので、強い酸化作用を持ち、脱臭、殺菌、漂白などに使
用されている。Ozone is obtained by discharging in dry air, has a strong oxidizing action, and is used for deodorization, sterilization, bleaching and the like.
このようなオゾンを発生させるための放電体として、特
開昭59-44782号、59-44797号公報に示されているように
セラミックを用いたものが考えられている。As a discharge body for generating such ozone, one using ceramics as disclosed in JP-A-59-44782 and 59-44797 is considered.
これは、第6図、第7図に示すように、2枚の未焼成セ
ラミック板11a、11bを焼成一体化してなるセラミック板
11の表面に線状の放電電極12を、内部に面状の誘導電極
13をそれぞれ形成してなるものであり、前記放電電極12
は端部を通じて裏面に電極取出部12aを備え、誘導電極1
3はスルーホールを通じ、裏面に電極取出部13aを備えて
いる。これらの電極取出部12a、13aに高電圧を印加すれ
ば放電電極12より沿面放電が生じ、オゾンを発生させる
ようになっていた。This is a ceramic plate obtained by firing and integrating two unfired ceramic plates 11a and 11b as shown in FIGS.
11 is a linear discharge electrode on the surface of 11 and a planar induction electrode inside.
13 are formed respectively, and the discharge electrode 12
Is equipped with an electrode lead-out part 12a on the back surface through the end, and the induction electrode 1
3 has an electrode lead-out portion 13a on the back surface through a through hole. When a high voltage is applied to the electrode extraction parts 12a and 13a, a creeping discharge is generated from the discharge electrode 12 and ozone is generated.
また、このようなオゾン発生用放電体は、放電中に、表
面の放電電極12が酸化されて消耗しやすいため、たとえ
ば特開昭57-196703号公報に示されるように、放電領域
にガラスを被覆したり、あるいは本出願人が特願昭63-7
2702号としてすでに提案したように、放電電極12をセラ
ミックスで被覆することが考えられていた。Further, in such an ozone generating discharge body, since the discharge electrode 12 on the surface is easily oxidized and consumed during discharge, for example, as shown in JP-A-57-196703, glass is used in the discharge region. It is coated or applied by the applicant in Japanese Patent Application No. 63-7
As already proposed as No. 2702, it was considered to coat the discharge electrode 12 with ceramics.
ところが、放電領域をガラスで被覆したものでは、やは
りガラス層が放電により浸食されてオゾン発生効率が低
下するため、オゾン発生量を一定に保つためには頻繁に
印加電圧を調整しなければならないという問題点があっ
た。However, in the case where the discharge region is covered with glass, the glass layer is also eroded by the discharge and the ozone generation efficiency is lowered, so that the applied voltage must be frequently adjusted in order to keep the ozone generation amount constant. There was a problem.
また、放電電極12をセラミックスで被覆したものは、放
電電極12の消耗はないが、セラミック被覆層表面の付着
物を除去しにくかった。即ち、これらの放電体は、定期
的にベンジンを浸したガーゼで放電領域を払拭し、付着
物を除去するようにしていたが、セラミック被覆層の表
面は粗面となっているため付着物が除去しにくく、この
付着物によってオゾン発生効率が低下してしまうという
問題点があった。Further, in the case where the discharge electrode 12 was coated with ceramics, the discharge electrode 12 was not consumed, but it was difficult to remove the deposits on the surface of the ceramic coating layer. That is, in these discharge bodies, the discharge area was wiped periodically with gauze soaked with benzine to remove the deposits, but since the surface of the ceramic coating layer is a rough surface, the deposits are There is a problem that it is difficult to remove and the ozone generation efficiency is reduced by this deposit.
上記に鑑みて本考案は、オゾン発生用放電体において、
セラミック体の表面に形成した放電電極をセラミックス
からなる第1被覆層で覆い、さらに該第1被覆層をガラ
スからなる第2被覆層で覆ったものである。In view of the above, the present invention relates to an ozone generating discharge body,
A discharge electrode formed on the surface of a ceramic body is covered with a first coating layer made of ceramics, and the first coating layer is further covered with a second coating layer made of glass.
以下、本考案実施例に係るオゾン発生用放電体を図によ
って説明する。Hereinafter, an ozone generating discharge body according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図に分解斜視図を、第2図に断面図をそれぞれ示す
ように、本考案のオゾン発生用放電体は、セラミック板
1の表面に線状の放電電極2、内部に面状の誘導電極3
をそれぞれ備え、前記放電電極2を覆うように、セラミ
ックスからなる第1被覆層4を形成し、さらにこの第1
被覆層4を覆うようにガラスからなる第2被覆層を形成
したものである。また、前記放電電極2はセラミック板
1の端部を通じて裏面に電極取出部2aを有し、一方内部
電極3はスルーホールを通じてセラミック板1の裏面に
電極取出部3aを有している。これらの電極取出部2a、3a
を通じて、放電電極2、誘導電極3間に交流電圧を印加
すれば、両電極間に放電が生じるようになっている。こ
のとき、放電電極2にはセラミックスからなる第1被覆
層4が形成されているため放電によって消耗することが
なく、また、この第1被覆層4を覆うようにガラスから
なる第2被覆層5が形成されているため、表面がなめら
かで、付着物が除去しやすく、長期にわたって一定のオ
ゾン発生効率を保つことができる。As shown in the exploded perspective view of FIG. 1 and the sectional view of FIG. 2, the ozone generating discharge body of the present invention has a linear discharge electrode 2 on the surface of a ceramic plate 1 and a planar induction inside. Electrode 3
And a first coating layer 4 made of ceramics is formed so as to cover the discharge electrode 2.
A second coating layer made of glass is formed so as to cover the coating layer 4. The discharge electrode 2 has an electrode lead-out portion 2a on the back surface through the end of the ceramic plate 1, while the internal electrode 3 has an electrode lead-out portion 3a on the back surface of the ceramic plate 1 through a through hole. These electrode extraction parts 2a, 3a
When an AC voltage is applied between the discharge electrode 2 and the induction electrode 3 through the discharge, a discharge is generated between both electrodes. At this time, since the first coating layer 4 made of ceramics is formed on the discharge electrode 2, it is not consumed by the discharge, and the second coating layer 5 made of glass covers the first coating layer 4. Since the surface is formed, the surface is smooth and the deposits are easily removed, and a constant ozone generation efficiency can be maintained for a long period of time.
このようなオゾン発生用放電体の製法は、まず2枚の未
焼成セラミック板1a、1bを用意し、一方のセラミック板
1aには線状の放電電極2を、他方のセラミック板1bには
面状の誘導電極3をそれぞれタングステン、モリブデン
などのペーストを塗布して形成する。次にこれらの未焼
成セラミック板1a、1bを積層し、放電電極2を覆うよう
にセラミックスからなる第1被覆層4を形成して、全体
を焼成一体化した後、ガラスからなる第2被覆層5を形
成すればよい。In order to manufacture such an ozone generating discharge body, first, two unfired ceramic plates 1a and 1b are prepared, and one ceramic plate is prepared.
A linear discharge electrode 2 is formed on 1a, and a planar induction electrode 3 is formed on the other ceramic plate 1b by applying a paste such as tungsten or molybdenum. Next, these unsintered ceramic plates 1a and 1b are laminated, a first coating layer 4 made of ceramics is formed so as to cover the discharge electrode 2, the whole is fired and integrated, and then a second coating layer made of glass. 5 may be formed.
なお、上記セラミック板1は、アルミナ、ジルコニア、
フォルステライトなど誘電率が5〜10程度のセラミック
スを用いる。また、上記第1被覆層4は前記セラミック
板1と同種類のセラミックスまたは同程度の熱膨張係数
を有する絶縁性セラミックスを印刷、吹き付け、PVD
(物理的蒸着)法、CVD(化学的蒸着)法などの手段に
よって形成したものであり、この第1被覆層4は放電電
極2を完全に覆っているだけでなく、誘導電極3よりも
広い範囲に形成されている。さらに、第2被覆層5は、
硼硅酸ガラス等のガラスを、前記第1被覆層4を覆う範
囲にスクリーン印刷した後、焼成することによって形成
したものである。The ceramic plate 1 is made of alumina, zirconia,
Ceramics with a dielectric constant of about 5 to 10 such as forsterite is used. The first coating layer 4 is formed by printing, spraying, or spraying PVD on the same kind of ceramic as the ceramic plate 1 or an insulating ceramic having a similar coefficient of thermal expansion.
It is formed by means of a (physical vapor deposition) method, a CVD (chemical vapor deposition) method, etc. The first coating layer 4 not only completely covers the discharge electrode 2 but is wider than the induction electrode 3. It is formed in the range. Further, the second coating layer 5 is
It is formed by screen-printing glass such as borosilicate glass in a range covering the first coating layer 4 and then firing it.
また、前記第1被覆層4の膜厚t1が15μmより小さいと
ピンホールが生じて、電極が早期に酸化してしまうた
め、第1被覆層4の膜厚t1は15μm以上としたものが優
れていた。一方、第2被覆層5の膜厚t2については、表
面をなめらかにするためには5μm以上としたものが優
れていた。さらに、これら第1被覆層4、第2被覆層5
の膜厚の和t1+t2が、両電極間の距離Tの1/2より大き
いと、放電しにくくなり、オゾン発生効率が極端に悪く
なってしまうため、これらの膜厚の和t1+t2は電極間の
距離Tの1/2以下としたものが優れていた。Further, if the thickness t 1 of the first coating layer 4 is smaller than 15 μm, pinholes are generated and the electrodes are oxidized at an early stage. Therefore, the thickness t 1 of the first coating layer 4 is set to 15 μm or more. Was excellent. On the other hand, the film thickness t 2 of the second coating layer 5 was 5 μm or more in order to smooth the surface, which was excellent. Furthermore, these first coating layer 4 and second coating layer 5
The film is the sum t 1 + t 2 thick, 1/2 and larger than the distance T between the electrodes, less likely to discharge, since the ozone generation efficiency becomes extremely poor, the sum t 1 of thickness It was excellent that + t 2 was 1/2 or less of the distance T between the electrodes.
次に本考案の他の実施例を説明する。Next, another embodiment of the present invention will be described.
第3図(a)(b)に示すオゾン発生用放電体は、セラ
ミック板1の表面に櫛状の放電電極2、内部に誘導電極
3を備えたもので、この放電電極2をセラミックスから
なる第1被覆層4で覆い、さらにガラスからなる第2被
覆層5で覆ったものである。The ozone generating discharge body shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b) has a comb-shaped discharge electrode 2 on the surface of a ceramic plate 1 and an induction electrode 3 inside, and the discharge electrode 2 is made of ceramics. It is covered with the first coating layer 4 and further covered with the second coating layer 5 made of glass.
また、第4図(a)(b)に示すオゾン発生用放電体
は、円板状のセラミック板1の表面にリング状の放電電
極2を、内部に誘導電極3を備え、それぞれの電極取出
部2a,3aを放電電極2側の表面に形成したものであり、
該放電電極2をセラミックスからなる第1被覆層4で覆
い、この上にガラスからなる第2被覆層5を形成したも
のである。Further, the ozone generating discharge body shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b) is provided with a ring-shaped discharge electrode 2 on the surface of a disk-shaped ceramic plate 1 and an induction electrode 3 inside, and each electrode is taken out. Parts 2a, 3a are formed on the surface of the discharge electrode 2 side,
The discharge electrode 2 is covered with a first coating layer 4 made of ceramics, and a second coating layer 5 made of glass is formed on the first coating layer 4.
さらに第5図(a)(b)に示すオゾン発生用放電体
は、放電電極2、誘導電極3を櫛状とし、共にセラミッ
ク板1の同一面上に形成したものであり、これらの電極
をすべてセラミックスからなる第1被覆層4で覆い、該
第1被覆層4をガラスからなる第2被覆層5で覆ってあ
る。Furthermore, in the ozone generating discharge body shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b), the discharge electrode 2 and the induction electrode 3 are formed in a comb shape, and both are formed on the same surface of the ceramic plate 1. It is covered with a first coating layer 4 made entirely of ceramics, and the first coating layer 4 is covered with a second coating layer 5 made of glass.
このように、セラミック板1や各電極の形状は自由に変
化させることができるが、いずれのものでもセラミック
スからなる第1被覆層4により放電電極2の消耗を防止
でき、かつガラスからなる第2被覆層5により表面をな
めらかな面とできるため、付着物の除去を容易にするこ
とができる。As described above, the shapes of the ceramic plate 1 and the electrodes can be freely changed, but any of them can prevent the discharge electrode 2 from being consumed by the first coating layer 4 made of ceramics, and the second coating made of glass. Since the surface can be made smooth by the coating layer 5, it is possible to easily remove the deposit.
ここで、実際に第1図、第2図に示した本考案のオゾン
発生用放電体を試作して、試験を行った。セラミック体
1はAl2O3含有量92%で、残部がMgO,SiO2,CaO,等からな
るアルミナセラミックスにより形成し、両電極間の距離
Tを0.5mmとした。また放電電極2、誘導電極3はいず
れもタングステンにより、厚み10μmに形成し、第1被
覆層4はセラミック板1と同じ成分のアルミナセラミッ
クスを用いて膜厚t1を17μm、第2被覆層5は硼珪酸ガ
ラスを用いて、膜厚T2を6μmとした。Here, the ozone-generating discharge device of the present invention shown in FIGS. 1 and 2 was actually manufactured and tested. The ceramic body 1 was made of alumina ceramics having an Al 2 O 3 content of 92% and the balance being MgO, SiO 2 , CaO, etc., and the distance T between both electrodes was 0.5 mm. The discharge electrode 2 and the induction electrode 3 are both made of tungsten and have a thickness of 10 μm. The first coating layer 4 is made of alumina ceramics having the same composition as that of the ceramic plate 1, and the thickness t 1 is 17 μm, and the second coating layer 5 is formed. Was made of borosilicate glass and had a thickness T 2 of 6 μm.
さらに比較例として、全く同一形状、材質でアルミナセ
ラミックスの被覆層のみを形成したもの、およびガラス
の被覆層のみを形成したものをそれぞれ用意した。Further, as comparative examples, those having exactly the same shape and material, in which only the alumina ceramic coating layer was formed, and those in which only the glass coating layer was formed were prepared.
これらの本考案実施例、比較例のオゾン発生用放電体に
対し、オゾン発生量の初期値が0.11ppmとなるように調
整した高周波電圧を加え、温度6℃、湿度40%の雰囲気
中で3ケ月間使用した後のオゾン発生量を調べ、続いて
放電領域をベンジンを浸したガーゼを用いて手で払拭し
た後のオゾン発生量を調べた。結果は第1表の通りであ
る。A high-frequency voltage adjusted so that the initial value of the ozone generation amount was 0.11 ppm was applied to the ozone generating discharge bodies of the examples of the present invention and the comparative example, and the temperature was set to 6 ° C. and the humidity of 40%. The amount of ozone generated after being used for a month was examined, and subsequently, the amount of ozone generated after manually wiping the discharge region with gauze soaked with benzine was examined. The results are shown in Table 1.
第1表より、ガラスからなる被覆層のみしか形成してい
ない比較例2-1〜2-3は、3ケ月後のオゾン発生量が初期
値に対して35〜43%減少し、払拭によってかなり回復す
るものの、それでも初期値に対し18〜22%程度低いもの
であった。また、払拭後の表面を観察すると、ガラス層
の一部が放電のため熔解しており、このためにオゾン発
生効率が低下したものと考えられる。 From Table 1, in Comparative Examples 2-1 to 2-3 in which only the coating layer made of glass was formed, the ozone generation amount after 3 months was reduced by 35 to 43% from the initial value, and it was considerably wiped. Although it recovered, it was still 18 to 22% lower than the initial value. Further, when the surface after wiping is observed, it is considered that a part of the glass layer is melted due to the electric discharge, and thus the ozone generation efficiency is lowered.
さらに、セラミックスからなる被覆層のみしか形成して
いない比較例3-1〜3-3は、3ケ月後のオゾン発生量が初
期値に対して22〜25%程度の減少であったが、払拭して
もあまり回復せず、初期値に対し12〜15%減少した値で
あった。また、第1表には示していないが、このあと放
電体を取り出して超音波洗浄を行い、再びオゾン発生量
を測定したところ、初期値と全く同じレベルまで回復し
た。即ち、比較例3-1〜3-3については、ガーゼで表面を
払拭する程度では付着物が除去しきれず、残った付着物
のためにオゾン発生効率が低下したものと考えられる。Furthermore, in Comparative Examples 3-1 to 3-3 in which only the coating layer made of ceramics was formed, the ozone generation amount after 3 months was reduced by about 22 to 25% from the initial value, Even though it did not recover much, it was 12 to 15% less than the initial value. Further, although not shown in Table 1, the discharge body was taken out after this, ultrasonic cleaning was carried out, and the ozone generation amount was measured again. As a result, it was restored to the same level as the initial value. That is, in Comparative Examples 3-1 to 3-3, it is considered that the adhered matter could not be removed completely by wiping the surface with gauze, and the ozone generation efficiency decreased due to the remaining adhered matter.
これらに対し、本考案実施例1-1〜1-3のものは、3ケ月
後のオゾン発生量が、初期値に対して20〜23%減少した
程度であり、しかも払拭後は初期値に対し0〜4%減少
した値にまで回復し、優れた結果を示した。On the other hand, in Examples 1-1 to 1-3 of the present invention, the ozone generation amount after 3 months was about 20 to 23% less than the initial value, and after wiping, it was the initial value. On the other hand, it was recovered to a value decreased by 0 to 4%, and excellent results were shown.
(考案の効果) 叙上のように本考案によれば、オゾン発生用放電体にお
いて、セラミック体の表面に形成した放電電極をセラミ
ックスからなる第1被覆層で覆い、さらに該第1被覆層
をガラスからなる第2被覆層で覆ったことによって、放
電による電極の消耗を防止し、かつ表面がなめらかな面
となるため、払拭するだけで容易に付着物を除去できる
ことから、長期にわたって一定のオゾン発生効率を維持
することができ、長期使用が可能となるなどの特長をも
ったオゾン発生用放電体を提供することができる。(Effect of the Invention) As described above, according to the present invention, in the ozone-generating discharge body, the discharge electrode formed on the surface of the ceramic body is covered with the first coating layer made of ceramics, and the first coating layer is further formed. By covering the electrode with the second coating layer made of glass, the electrode is prevented from being consumed by the discharge and the surface becomes a smooth surface, so that the adhered matter can be easily removed only by wiping, so that the ozone is kept constant over a long period of time. It is possible to provide an ozone-generating discharge body having features such that generation efficiency can be maintained and long-term use is possible.
第1図は本考案実施例に係るオゾン発生用放電体を示す
分解斜視図、第2図は第1図中のA-A線断面図である。 第3図(a)、第4図(a)、第5図(a)はそれぞれ
本考案の他の実施例を示す斜視図、第3図(b)は同図
(a)中のB-B線断面図、第4図(b)は同図(a)中
のC-C線断面図、第5図(b)は同図(a)中のD-D線断
面図である。 第6図は従来のオゾン発生用放電体を示す分解斜視図、
第7図は第6図中のE-E線断面図である。 1:セラミック板、2:放電電極 3:誘導電極、4:第1被覆層 5:第2被覆層FIG. 1 is an exploded perspective view showing a discharge body for ozone generation according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 3 (a), 4 (a), and 5 (a) are perspective views showing another embodiment of the present invention, and FIG. 3 (b) is a line BB in FIG. 3 (a). FIG. 4B is a sectional view taken along line CC in FIG. 4A, and FIG. 5B is a sectional view taken along line DD in FIG. FIG. 6 is an exploded perspective view showing a conventional discharge body for ozone generation,
FIG. 7 is a sectional view taken along the line EE in FIG. 1: Ceramic plate, 2: Discharge electrode 3: Induction electrode, 4: First coating layer 5: Second coating layer
Claims (1)
ゾン発生用放電体において、前記放電電極をセラミック
スからなる第1被覆層で覆うとともに、さらに該第1被
覆層をガラスからなる第2被覆層で覆ったことを特徴と
するオゾン発生用放電体。1. A discharge body for ozone generation having a discharge electrode on the surface of a ceramic body, wherein the discharge electrode is covered with a first coating layer made of ceramics, and the first coating layer is made of a second coating made of glass. A discharge body for ozone generation characterized by being covered with a layer.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5038189U JPH0714341Y2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Ozone generator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5038189U JPH0714341Y2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Ozone generator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02142436U JPH02142436U (en) | 1990-12-03 |
JPH0714341Y2 true JPH0714341Y2 (en) | 1995-04-05 |
Family
ID=31568877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5038189U Expired - Fee Related JPH0714341Y2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Ozone generator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0714341Y2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2526706Y2 (en) * | 1991-10-14 | 1997-02-19 | 東陶機器株式会社 | Ozonizer |
JP2009042317A (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Sharp Corp | Ion generation element, method for manufacturing ion generation element, electrifying device and image forming apparatus |
JP2013060327A (en) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Murata Mfg Co Ltd | Ozone-generating element |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP5038189U patent/JPH0714341Y2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02142436U (en) | 1990-12-03 |
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