JPH0696474B2 - Seal mechanism - Google Patents
Seal mechanismInfo
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- JPH0696474B2 JPH0696474B2 JP63185880A JP18588088A JPH0696474B2 JP H0696474 B2 JPH0696474 B2 JP H0696474B2 JP 63185880 A JP63185880 A JP 63185880A JP 18588088 A JP18588088 A JP 18588088A JP H0696474 B2 JPH0696474 B2 JP H0696474B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、メカニカルシールまたはフローティングシー
ルなどで使用されるシール機構に関する。更に詳細に
は、本発明はメカニカルシールまたはフローティングシ
ールなどで使用され、負荷変動時の摩擦特性が安定なシ
ール機構に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a seal mechanism used in a mechanical seal, a floating seal, or the like. More specifically, the present invention relates to a seal mechanism which is used in a mechanical seal, a floating seal or the like and has stable friction characteristics when a load changes.
[従来の技術] 高温、高圧下で高速度の回転をする軸の部分からの漏れ
を止めると共に、外部からの水、泥、砂等の異物の侵入
を止める機構として、軸に固定され、軸と一緒に回転す
る回転環(従動リング)と、これに相対している固定環
(シートリング)との会合面を摺り合せて漏れないよう
にしたメカニカルシールやフローティングシールなどの
シール機構が、ポンプ、内燃機駆動変速機、装軌式車両
の覆帯を案内する上下の案内ローラ、誘導輪、走行用減
速機等において広く使用されている。[Prior Art] As a mechanism to prevent leakage from the part of the shaft that rotates at high speed under high temperature and pressure and to prevent foreign matter such as water, mud, and sand from entering from the outside, the shaft is fixed to the shaft. A seal mechanism such as a mechanical seal or a floating seal, in which a rotating ring (driven ring) that rotates together with the fixed ring (seat ring) that faces the rotating ring slide against each other to prevent leakage, is used. It is widely used in internal combustion engine driven transmissions, upper and lower guide rollers for guiding the sash of tracked vehicles, guide wheels, speed reducers for traveling, and the like.
このような従来のシール機構の一例として、油圧ショベ
ル等の走行用下転輪に用いられるフローティングシール
を第4図により説明する。As an example of such a conventional sealing mechanism, a floating seal used for a lower traveling wheel such as a hydraulic excavator will be described with reference to FIG.
図において、1は油圧ショベル等のフレーム3にネジ穴
5を介してボルト7により固着される円筒状の固定側ケ
ーシングである。固定側ケーシング1の他端側には回転
側ケーシング9が配設されており、回転側ケーシングの
外周面には覆帯のトラックリンク11が当接される。覆帯
が駆動されると、回転側ケーシング9は軸13の周りを転
動する。回転側ケーシング9の内部には潤滑油15を貯留
するための空間16が設けられている。また、回転側ケー
シング9と軸13との界面には耐摩耗性のスリーブ17が挿
入されている。In the figure, reference numeral 1 denotes a cylindrical stationary casing fixed to a frame 3 of a hydraulic excavator or the like with a bolt 7 through a screw hole 5. A rotating side casing 9 is disposed on the other end side of the stationary side casing 1, and a track link 11 as a cover is brought into contact with the outer peripheral surface of the rotating side casing. When the bandage is driven, the rotating casing 9 rolls around the shaft 13. A space 16 for storing the lubricating oil 15 is provided inside the rotating casing 9. A wear-resistant sleeve 17 is inserted at the interface between the rotating casing 9 and the shaft 13.
さらに、19は前記各ケーシング1,9の相対向する端部1B,
9Bの内周側に装着されたフローティングシールで、該シ
ール19は各ケーシング1,9内の潤滑油が外部に漏洩する
のを防止すると共に、土砂、汚水および雨水等が各ケー
シング1,9内に浸入するのを防止している。Further, 19 is an end portion 1B of each of the casings 1 and 9 facing each other,
A floating seal mounted on the inner peripheral side of 9B. The seal 19 prevents the lubricating oil in each casing 1, 9 from leaking to the outside, and keeps dirt, sewage, rainwater, etc. in each casing 1, 9 To prevent it from entering.
本発明者らは、先に、第5図に示されるようなシール装
置を考案し、出願した(実願昭60−140577号参照)。The present inventors have previously devised and applied for a sealing device as shown in FIG. 5 (see Japanese Utility Model Application No. 60-140577).
図において、21,21は各ケーシング1,9の端部1B,9B内面
側に配設されたシールリングで、該各シールリング21は
アルミニウム合金、亜鉛合金等の耐食性軽合金材料によ
って形成され、軸方向で相対向する面には外周側寄りに
位置して断面コ字形に形成された環状溝21A,21Aが設け
られている。そして、該各環状溝21Aには、SiC,Al2O3,Z
rO,Si3N4等の耐食性、耐摩耗性を有するセラミックス材
料から形成された摺動部材22が弾性接着剤23によって接
合され、摺動シール面を構成するようになっている。ま
た、該各シールリング21の外周面21Bは凹湾曲状で、か
つ軸方向外向きに傾斜して形成され、各ケーシング1,9
の内周面1C,9Cとの間で各Oリング25を挟持したとき、
該各Oリング25の弾性力によって前記各摺動シール面に
押付力を付与し、シール性を与えるようになっている。
このOリングはまた、密接させた摺動シール面に対して
軸振れが伝わるのを緩衝する機能も有する。In the figure, 21 and 21 are seal rings arranged on the inner surface side of the end portions 1B and 9B of the respective casings 1 and 9, and each seal ring 21 is formed of a corrosion resistant light alloy material such as an aluminum alloy and a zinc alloy, On the surfaces facing each other in the axial direction, annular grooves 21A, 21A formed in a U-shaped cross section are provided near the outer peripheral side. Then, in each of the annular grooves 21A, SiC, Al 2 O 3 , Z
A sliding member 22 made of a ceramic material having corrosion resistance and wear resistance such as rO and Si 3 N 4 is joined by an elastic adhesive 23 to form a sliding seal surface. Further, the outer peripheral surface 21B of each seal ring 21 is formed in a concave curved shape and inclined outward in the axial direction.
When each O-ring 25 is sandwiched between the inner peripheral surface 1C and 9C of
By the elastic force of each O-ring 25, a pressing force is applied to each sliding seal surface to provide sealing property.
This O-ring also has a function of buffering the transmission of shaft runout to the closely contacted sliding seal surfaces.
このようなセラミックス製の摺動部材を有するシールリ
ングは、従来のモリブデンやバナジウム等の高級材料を
添加した特殊鋳鉄材製シールリングに比べて、製作費が
安価であり、かつ、摺動面を常時面接触状態に維持でき
る利点がある。A seal ring having such a sliding member made of ceramics is less expensive to manufacture than a seal ring made of a special cast iron material to which a high-grade material such as molybdenum or vanadium is added, and the sliding surface is There is an advantage that the surface contact state can be maintained at all times.
[発明が解決しようとする課題] しかし、セラミックス摺動部材は、高負荷変動、衝撃的
負荷および初期負荷時の異常摩擦による発熱、焼付およ
び摺動面の局部的欠損並びに相手部材の損傷等により使
用範囲が限定されている。[Problems to be Solved by the Invention] However, ceramic sliding members are subject to heat generation due to high load fluctuation, shock load and abnormal friction at initial load, seizure and local loss of sliding surface, and damage to mating member. Limited range of use.
セラミックは高硬度、低弾性、低靱性の微粒子の焼結体
であり、一般的に第6図に示すような断面形状を有す
る。図示されているように、セラミックの表面はミクロ
的には空隙と凹凸が多数存在し、波打ちもある非平滑面
である。Ceramic is a sintered body of fine particles having high hardness, low elasticity and low toughness, and generally has a cross-sectional shape as shown in FIG. As shown in the figure, the surface of the ceramic is a non-smooth surface having a large number of voids and irregularities and also waviness in a microscopic view.
従って、各摺動部材を摺接させると、第7図に示される
ように、回転側摺動部材と固定側摺動部材との摺接面
は、凸部分同士が突き当ったり、凸部が凹部に嵌合した
りする事態となる。このため、負荷により摩擦係数が変
動するので、初期摩擦特性および負荷変動時の摩擦特性
が不安定で、高い摩擦力が局部的に発生し、回転ムラを
起こす。Therefore, when the respective sliding members are brought into sliding contact with each other, as shown in FIG. 7, the sliding contact surfaces of the rotary side sliding member and the fixed side sliding member have convex portions abutting each other or convex portions. It will be fitted into the recess. For this reason, since the friction coefficient fluctuates depending on the load, the initial friction characteristic and the friction characteristic when the load fluctuates are unstable, a high frictional force is locally generated, and uneven rotation occurs.
更に、局部的負荷時に、セラミックの低靱性により、微
細な欠損粒が発生することがあり、これが、摺動シール
面に入ると局部負荷が著しく増大し、時として相手部材
をも損傷させる原因となる。また、セラミックは一般に
低熱伝導物体なので、局部的高摩擦により発生した熱が
拡散または放散し難く、摺動特性の低下や焼付きを起こ
すばかりでなく、Oリングが熱老化し、変形することも
ある。Furthermore, due to the low toughness of the ceramic when locally loaded, fine deficient grains may occur, which causes a significant increase in local load when it enters the sliding seal surface, sometimes causing damage to the mating member. Become. In addition, since ceramics are generally low heat-conducting materials, the heat generated by localized high friction is less likely to diffuse or dissipate, which not only causes deterioration of sliding characteristics and seizure, but also causes the O-ring to be aged and deformed. is there.
従って、本発明の目的は負荷変動時の摩擦特性が安定な
シール機構を提供することである。Therefore, an object of the present invention is to provide a seal mechanism having stable friction characteristics when the load changes.
[課題を解決するための手段] 前記目的を達成するために、本発明のシール機構は、相
対的に回転するケーシングの内面側にそれぞれ配設さ
れ、軸方向で相対向する面が摺動シール面となる一対の
シールリングと、前記シールリングの少なくとも一方に
押圧力を付与する手段とからなるシール機構において、
前記シールリングの少なくとも一方の摺動シール面は、
セラミックス系耐摩耗性摺動部材に無電解メッキ法によ
り鍍着された金属膜により形成されており、前記鍍着金
属膜の膜厚は前記摺動部材の摺動面粗さRmaxの0.5〜3
倍の範囲内である。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned object, the seal mechanism of the present invention is arranged on the inner surface side of a relatively rotating casing, and the surfaces opposed to each other in the axial direction are sliding seals. In a seal mechanism consisting of a pair of seal rings that form a surface, and means for applying a pressing force to at least one of the seal rings,
At least one sliding seal surface of the seal ring,
It is formed of a metal film plated on a ceramics wear-resistant sliding member by an electroless plating method, and the thickness of the plated metal film is 0.5 to 3 of the sliding surface roughness Rmax of the sliding member.
It is in the double range.
本発明のシール機構はメカニカルシールおよび/または
フローティングシールに使用することが好ましい。The seal mechanism of the present invention is preferably used for mechanical seals and / or floating seals.
[作用] 前記のように、本発明のシール機構はセラミック系耐摩
耗性摺動部材の摺動面に金属膜が鍍着されているので、
鍍着基板となるセラミック摺動部材が本来的に有する高
耐負荷性、高耐摩耗性、低摩擦性および高耐食性等の基
本的特性を十分に発揮しながら、高靱性、高潤滑性、高
耐食性で高熱伝導性の金属膜により摺動特性、耐シール
性、耐久性および信頼性が飛躍的に向上される。[Operation] As described above, in the sealing mechanism of the present invention, the metal film is plated on the sliding surface of the ceramic wear-resistant sliding member.
While fully exhibiting the basic characteristics such as high load resistance, high wear resistance, low friction and high corrosion resistance that the ceramic sliding member that serves as the plating substrate originally possesses, high toughness, high lubricity, and high The corrosion resistance and high thermal conductivity of the metal film dramatically improve sliding characteristics, sealing resistance, durability and reliability.
金属膜を無電解メッキ法で形成することが特に好まし
い。無電解メッキされた金属は非晶質のため、セラミッ
クス摺動部材表面への充填・結合性が優れており、しか
も低温度における“なじみ性”の点でも申し分のないこ
とが発見された。無電解メッキ法自体は周知の周知のメ
ッキ方法であるが、シールリングのようなセラミックス
系摺動部材の摺動面に金属膜を形成させる手段として有
効であることは本発明者等により初めて発見された。実
際、従来から金属のセラミック基板への鍍着手段として
無電解メッキ法が使用されてきたのは電気的用途に限ら
れており、摺動部材への適用は本発明が始めてである。It is particularly preferable to form the metal film by electroless plating. It has been discovered that the electrolessly plated metal is amorphous and therefore has excellent filling and bonding properties on the surface of the ceramic sliding member, and is also satisfactory in terms of "compatibility" at low temperatures. The electroless plating method itself is a known and well-known plating method, but it was first discovered by the present inventors that it is effective as a means for forming a metal film on the sliding surface of a ceramic-based sliding member such as a seal ring. Was done. In fact, the electroless plating method has conventionally been used as a plating means for a metal on a ceramic substrate only for electrical applications, and the present invention is the first to be applied to sliding members.
特開昭63−246505号公報には、セラミック製部材の摺動
面に金属被膜潤滑層を形成した摺動部材が開示されてい
る。しかし、この金属被膜潤滑層は、セラミックと金属
との摺動において金属製摺動部材の摺動面の金属がセラ
ミック製部材に移着して形成されるものである。この移
着による金属被膜潤滑層の形成を確実に行わせるため
に、使用する金属摺動部材はMo.Co,Ti,Wを1種類以上、
しかも所定量以上含有しなければならず、また、高温環
境における使用が求められている。従って、この発明で
は「セラミックス部材/移着金属被膜潤滑層/金属摺動
部材」以外の構成は実施不可能である。本発明の「金属
膜」は無電解メッキ法により形成され、移着により形成
されるものではない。従って、特定の組成を有する金属
摺動部材の使用は全く不要である。また、移着を促進す
る必要がないので低温環境でも十分に使用でき、「セラ
ミックス部材/無電解メッキ金属膜/セラミックス部
材」または「セラミックス部材/無電解メッキ金属膜/
金属摺動部材」の何方の構成も可能である。Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 63-246505 discloses a sliding member in which a metal film lubricating layer is formed on the sliding surface of a ceramic member. However, the metal coating lubrication layer is formed by transferring the metal on the sliding surface of the metal sliding member to the ceramic member during sliding between the ceramic and the metal. In order to ensure the formation of the metal coating lubrication layer by this transfer, the metal sliding member used is one or more of Mo.Co, Ti, W,
Moreover, it must be contained in a predetermined amount or more, and is required to be used in a high temperature environment. Therefore, according to the present invention, a structure other than "ceramics member / transfer metal coating lubrication layer / metal sliding member" cannot be implemented. The "metal film" of the present invention is formed by the electroless plating method and is not formed by transfer. Therefore, it is completely unnecessary to use a metal sliding member having a specific composition. Further, since it is not necessary to promote the transfer, it can be sufficiently used in a low temperature environment, and can be used as "ceramics member / electroless plating metal film / ceramics member" or "ceramics member / electroless plating metal film /
Either configuration of "metal sliding member" is also possible.
更に、前記公報の摺動部材において、金属摺動部材とセ
ラミックス製部材とを初めて摺動させる場合、セラミッ
クス製部材の表面には未だ金属被膜潤滑層が形成されて
いない。このため、初期摺動による“かじり”などを防
止するため、セラミックス製部材摺動面の平均表面粗さ
を0.2μm、金属摺動面の平均表面粗さを0.1〜0.2μm
程度にまで仕上げなければならない。本発明の無電解メ
ッキ金属膜は表面を平坦化させるための仕上加工処理は
必須条件ではなく、そのまま使用することもでき、その
表面粗さは6.6〜8.9μm程度であってもよい。同様に、
この発明の摺動部材では初期摺動による“かじり”発生
の防止のために、定常負荷で1kgf/cm2程度の低負荷でし
か使用できない。本発明のシール部材は5kgf/cm2程度の
高負荷でも使用できる。Further, in the sliding member of the above publication, when the metal sliding member and the ceramic member are slid for the first time, the metal film lubricating layer is not yet formed on the surface of the ceramic member. Therefore, in order to prevent "galling" etc. due to initial sliding, the average surface roughness of the ceramic member sliding surface is 0.2 μm, and the average surface roughness of the metal sliding surface is 0.1 to 0.2 μm.
You have to finish to a certain degree. The electroless plating metal film of the present invention does not require a finishing treatment for flattening the surface and can be used as it is, and its surface roughness may be about 6.6 to 8.9 μm. Similarly,
The sliding member of the present invention can be used only at a low load of about 1 kgf / cm2 at a steady load in order to prevent the occurrence of "galling" due to initial sliding. The seal member of the present invention can be used even under a high load of about 5 kgf / cm2.
前記公報によれば、金属摺動部材はセラミックス製部材
との摺動により厚さ0.5μm程度以上の移着金属被膜潤
滑層を形成し続けなければならず、その間、金属摺動部
材は継続的に摩耗し続ける。このため、エンジン部材な
どの金属摺動部材の寿命は比較的短く、頻繁に交換しな
ければならない。本発明では所望の厚さの金属膜を無電
解メッキ法により即座に容易に形成でき、金属摺動部材
の摩耗を必要としないので、金属摺動部材の寿命が損な
われることはない。According to the above publication, the metal sliding member must continue to form a transfer metal coating lubricating layer having a thickness of about 0.5 μm or more by sliding with the ceramic member, while the metal sliding member is continuously Continue to wear. For this reason, the life of metal sliding members such as engine members is relatively short and must be replaced frequently. In the present invention, a metal film having a desired thickness can be immediately and easily formed by the electroless plating method, and no wear of the metal sliding member is required, so that the life of the metal sliding member is not impaired.
前記のように、特開昭63−246505号公報に記載された摺
動部材と本発明のシール機構とは全く異なる。As described above, the sliding member described in JP-A-63-246505 is completely different from the sealing mechanism of the present invention.
[実施例] 以上、図面を参照しながら本発明のシール機構の一例に
ついて更に詳細に説明する。なお、下記の実施例におい
て、前述した第4図、第5図に示す従来技術と同一の構
成要素には同一の符号を使用する。Embodiment An example of the seal mechanism of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. In the following embodiments, the same components as those of the prior art shown in FIGS. 4 and 5 are designated by the same reference numerals.
第1図は本発明のシール機構で使用されるシール部材の
一例の概要断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of an example of a seal member used in the seal mechanism of the present invention.
図示されているように、環状のシールリング21の軸方向
で相対向する面に、断面が略コ字形に形成された環状溝
21Aが設けられていて、この溝内に、弾性接着剤23を介
して平板なリング状の摺動部材22が接合されている。こ
の摺動部材の摺動シール面には金属膜27が鍍着されてい
る。また、シールリング21の外周面21Bは凹湾曲状で、
かつ、軸方向外向きに傾斜して形成されている。As shown in the drawing, an annular groove having a substantially U-shaped cross section is formed on the surfaces of the annular seal ring 21 which face each other in the axial direction.
21A is provided, and a flat ring-shaped sliding member 22 is joined to this groove via an elastic adhesive 23. A metal film 27 is plated on the sliding seal surface of this sliding member. Further, the outer peripheral surface 21B of the seal ring 21 is concavely curved,
Moreover, it is formed so as to be inclined outward in the axial direction.
シールリングの材質自体は本発明の必須要件ではない。
アルミニウム合金、亜鉛合金、ダイキャスト、ステンレ
ス等の常用の耐食性金属材料から構成することができ
る。従来のシールリングの形成材料である特殊鋳鉄や鋼
なども使用できる。その他、強化プラスチックまたはエ
ンジニアリングプラスチック等も使用可能である。The material of the seal ring itself is not an essential requirement of the present invention.
It can be composed of a commonly used corrosion-resistant metal material such as an aluminum alloy, a zinc alloy, die cast, and stainless. Special cast iron or steel, which is a conventional seal ring forming material, can also be used. Besides, reinforced plastics or engineering plastics can also be used.
摺動部材はSiC,Al2O3,ZrO,Si3N4,サイアロン等の耐食
性、耐摩耗性を有するセラミックス材料から形成されて
いる。セラミックス材料に限らず、その他の耐摩耗性材
料も使用できるが、価格および製造容易性の点からセラ
ミックスが最も好ましい。The sliding member is made of a ceramic material such as SiC, Al 2 O 3 , ZrO, Si 3 N 4 and sialon, which has corrosion resistance and wear resistance. Not only ceramic materials but also other wear resistant materials can be used, but ceramics are most preferable in terms of price and ease of manufacture.
摺動部材をシールリングに接合させるための接着剤は例
えば、シリコン系の弾性接着剤等が使用できる。この接
着剤は、摺動部材が受ける荷重応力に応じて弾性変形す
ることができる。シリコン系以外の弾性接着剤も当然使
用できる。このような接着剤は当業者に周知である。本
発明で使用する接着剤は弾性の他に、耐油性および耐熱
性も有することが好ましい。弾性接着剤の使用による効
果は前掲の実願昭60−140577号明細書に詳細に説明され
ている。As the adhesive for joining the sliding member to the seal ring, for example, a silicone-based elastic adhesive or the like can be used. This adhesive can be elastically deformed according to the load stress applied to the sliding member. Elastic adhesives other than silicone adhesives can of course be used. Such adhesives are well known to those skilled in the art. The adhesive used in the present invention preferably has oil resistance and heat resistance in addition to elasticity. The effect of using the elastic adhesive is described in detail in the above-mentioned Japanese Patent Application No. 60-140577.
金属膜は無電解メッキ法により摺動部材表面に鍍着する
ことが好ましい。無電解メッキ法とは、電気エネルギー
を用いずに金属塩水溶液中の金属イオンを置換反応ある
いは酸化還元反応により、支持体表面に析出させる方法
である。例えば、Ni塩類水溶液中に還元剤を添加し、そ
の還元力によりNiを析出させることができる。Niの他、
Co、Pd、Au、Ag、Sn、Cu、Znなどの金属類も析出させる
ことができる。The metal film is preferably plated on the surface of the sliding member by electroless plating. The electroless plating method is a method of depositing metal ions in a metal salt aqueous solution on the surface of a support by a substitution reaction or a redox reaction without using electric energy. For example, a reducing agent can be added to the aqueous solution of Ni salt, and Ni can be precipitated by its reducing power. Other than Ni,
Metals such as Co, Pd, Au, Ag, Sn, Cu and Zn can also be deposited.
還元法無電解メッキにより金属を鍍着すると、母材また
は基板の形状如何に拘わらず、ピンホールのない、しか
も、厚さが殆ど均一であり、耐食性および耐摩耗性に富
む膜が形成される。セラミックス等の不導体および粉末
冶金による製品にも鍍着可能である。金属は前記のよう
な単体金属ばかりでなく、合金類も鍍着させることがで
きる。When a metal is plated by the reduction method electroless plating, a film having no pinhole and having a substantially uniform thickness and excellent in corrosion resistance and abrasion resistance is formed regardless of the shape of the base material or the substrate. . It can also be applied to non-conductors such as ceramics and products made by powder metallurgy. As the metal, not only the single metal as described above, but also alloys can be plated.
還元法無電解メッキの浴組成は金属塩、還元剤、緩衝剤
の3種類から構成されている。金属塩としては、金属の
塩化物、硫酸塩、炭酸塩、硝酸塩、シアン化物などを使
用できる。還元剤としては、次亜リン酸ソーダ、次亜硫
酸ソーダ、無水亜硫酸ソーダ、塩化ヒドラジン、ハイド
ロキノン、ホルマリンなどが使用される。また、緩衝剤
としては、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、乳酸、
グリコール酸、酒石酸、クエン酸、コハク酸、マロン
酸、グルタル酸、アジピン酸、ギ酸などのアルカリ塩類
の組合せが使用される。これらの濃度に関しては、浴の
操作条件と被メッキ材質に左右されるので、その都度、
最適な濃度を決定する必要がある。The reducing electroless plating bath composition is composed of three kinds of metal salts, a reducing agent, and a buffering agent. As metal salts, metal chlorides, sulfates, carbonates, nitrates, cyanides and the like can be used. As the reducing agent, sodium hypophosphite, sodium hyposulfite, anhydrous sodium sulfite, hydrazine chloride, hydroquinone, formalin and the like are used. Further, as the buffer, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, lactic acid,
Combinations of alkali salts such as glycolic acid, tartaric acid, citric acid, succinic acid, malonic acid, glutaric acid, adipic acid, formic acid are used. Regarding these concentrations, it depends on the operating conditions of the bath and the material to be plated.
It is necessary to determine the optimum concentration.
鍍着金属膜の厚さは使用条件によって最適値が決まる
が、一般的には、使用される摺動部材の摺動面粗さRmax
の0.5倍〜3倍の範囲内の厚さであることが好ましい。
鍍着金属膜の厚さが、Rmaxの0.5倍末端である場合、摺
動時に温度が上がり、噛り気味になるので好ましくな
い。一方、鍍着金属膜の厚さが、Rmaxの3倍超の場合、
金属膜の耐久性が低下してくる。The optimum value of the thickness of the plated metal film is determined by the operating conditions, but in general, the sliding surface roughness Rmax of the sliding member used is
It is preferable that the thickness is within a range of 0.5 times to 3 times.
When the thickness of the plated metal film is 0.5 times the Rmax at the end, the temperature rises during sliding and it is likely to bite, which is not preferable. On the other hand, when the thickness of the plated metal film is more than 3 times Rmax,
The durability of the metal film decreases.
第1図のシール部材は、例えば、第2図(a)に示され
るようなシール機構において左右一対で使用される。図
示されているように、鍍着金属膜27,27同士が摺接され
てシール性を確保している。押圧手段としてのOリング
25は金属、プラスチック、アスベスト、合成ゴムまたは
四フッ化エチレン樹脂等から製造されている。図示され
た例では、両方のシールリングとも鍍着金属膜を有する
が、使用条件によっては固定側また回転側の何れか一方
のリングのみが鍍着金属膜を有するシール機構も実施で
きる。The seal members shown in FIG. 1 are used as a left and right pair in a seal mechanism such as that shown in FIG. 2 (a). As shown in the figure, the plated metal films 27, 27 are in sliding contact with each other to ensure the sealing property. O-ring as pressing means
25 is made of metal, plastic, asbestos, synthetic rubber or tetrafluoroethylene resin. In the illustrated example, both seal rings have a plated metal film, but a sealing mechanism in which only one of the fixed side ring and the rotating side ring has a plated metal film can be implemented depending on the usage conditions.
シールリングの押圧手段は第2図(a)に示されたよう
なOリング形式に限定されない。例えば、第2図(b)
に示されるようなスプリング30で従動リング31を押圧す
ることもできる。このため、回転軸32にはスプリング30
用のストッパー33が螺着されている。図中、34はケーシ
ング、35は固定側シートリング、36および37はパッキン
である。The pressing means of the seal ring is not limited to the O-ring type as shown in FIG. 2 (a). For example, FIG. 2 (b)
The driven ring 31 can be pressed by the spring 30 as shown in FIG. Therefore, the spring 30 is attached to the rotary shaft 32.
A stopper 33 for use is screwed on. In the figure, 34 is a casing, 35 is a fixed seat ring, and 36 and 37 are packings.
また、第2図(c)に示されるように、ベローズ38で従
動リング31を押圧することもできる。ベローズ38はスト
ッパー39との間でリングバネ40により固定されている。
ベローズの材質は合成ゴム、四フッ化エチレン樹脂、金
属などである。第2図(b)および(c)に図示された
ものは従動リングを押圧しているが、固定側のシールリ
ング35を押圧することもできる。押圧手段としては、そ
の他、磁力、流体圧力等も使用できる。Further, as shown in FIG. 2C, the driven ring 31 can be pressed by the bellows 38. The bellows 38 is fixed to the stopper 39 by a ring spring 40.
The material of the bellows is synthetic rubber, tetrafluoroethylene resin, metal or the like. Although those shown in FIGS. 2B and 2C press the driven ring, the seal ring 35 on the fixed side can also be pressed. In addition, magnetic force, fluid pressure, etc. can be used as the pressing means.
第2図(a)〜(c)に示されたように、本発明のシー
ル機構で使用されるシール部材の形状は用途および/ま
たはシール機構の具体的構成に応じて適宜変更すること
ができる。メカニカルシールの分類については、鷲田彰
著「新・メカニカルシール」,日刊工業新聞社,昭和57
年12月25日発行,p.6〜p.27に詳細に記載されているので
参照されたい。As shown in FIGS. 2 (a) to 2 (c), the shape of the seal member used in the seal mechanism of the present invention can be appropriately changed depending on the application and / or the specific configuration of the seal mechanism. . Regarding classification of mechanical seals, Akira Washida “New Mechanical Seals”, Nikkan Kogyo Shimbun, Showa 57
Please refer to the details on December 6 of the year, p.6 to p.27.
第2図(a)に示された本発明のシール機構の摺動部の
温度変化の状況を測定した。The condition of temperature change of the sliding portion of the seal mechanism of the present invention shown in FIG. 2 (a) was measured.
Al2O3からなるリング状セラミック板(厚さ:1.5mm)4
枚にNiを無電解メッキした。メッキ浴の組成は硫酸Ni30
g/1,次亜リン酸ソーダ12g/1,酢酸ソーダ60g/1,温度95〜
98℃,pH5.6であった。メッキ結果を下記の表1に要約し
て示す。Ring-shaped ceramic plate made of Al 2 O 3 (thickness: 1.5 mm) 4
The sheets were electrolessly plated with Ni. The composition of the plating bath is Ni30 sulfate
g / 1, Sodium hypophosphite 12g / 1, Sodium acetate 60g / 1, Temperature 95〜
It was 98 ° C and pH 5.6. The plating results are summarized in Table 1 below.
No.1および2のセラミックス板に鍍着された金属膜の膜
厚は摺動面粗さ(Rmax)の約2.15倍〜0.93倍であり、本
発明の範囲内である。これに対して、No.3および4のセ
ラミックス板に鍍着された金属膜の膜厚は摺動面粗さ
(Rmax)の約0.38倍〜0.32倍であり、本発明の範囲外で
ある。従って、No.1および2のセラミックス板を組合わ
せて第2図(a)に示されるような本発明のシール機構
を構成し、No.3および4のセラミックス板を組合わせて
比較例のシール機構を構成した。ケーシング間の間隙が
4.0mm、負荷面圧が0.4〜0.5MPa、相対回転速度が1.3m/s
の試験条件下で18時間にわたってシール試験を実施し
た。シールリングの外周面側からセラミックス板に達す
る孔を穿設し、熱電対の先端がセラミックス板に当接さ
れるように、この孔内に熱電対を挿入することにより回
転中の摺動面の温度変化を測定した。測定結果を下記の
表2に要約して示す。 The thickness of the metal film plated on the No. 1 and No. 2 ceramic plates is about 2.15 to 0.93 times the sliding surface roughness (Rmax), which is within the range of the present invention. On the other hand, the thickness of the metal film plated on the No. 3 and No. 4 ceramic plates is about 0.38 to 0.32 times the sliding surface roughness (Rmax), which is outside the scope of the present invention. Therefore, the No. 1 and No. 2 ceramic plates are combined to form the sealing mechanism of the present invention as shown in FIG. 2 (a), and the No. 3 and No. 4 ceramic plates are combined to make a comparative seal. The mechanism was constructed. The gap between the casings
4.0 mm, load surface pressure 0.4 to 0.5 MPa, relative rotation speed 1.3 m / s
The seal test was performed for 18 hours under the test conditions of. A hole is formed from the outer peripheral surface side of the seal ring to reach the ceramic plate, and the thermocouple is inserted into this hole so that the tip of the thermocouple comes into contact with the ceramic plate. The temperature change was measured. The measurement results are summarized in Table 2 below.
表2に示された結果から明らかなように、本発明のシー
ル機構で使用されるシール部材の鍍着金属膜のメッキ厚
さ8および14μmであり、鍍着後に鍍着金属膜表面の平
坦化仕上げ処理が施されていないので、メッキ表面粗さ
Rmax6.6および8.9μmであり、その摺動面の平坦度が40
および18μmと相当に悪いにも拘わらず、試験終了時点
で油漏れ、焼付き、その他の損傷が全く無く、メッキ膜
も摺動面全体に亙って残存していた。また、試験開始直
後から急激な温度上昇が無く、最大約3.0℃の変動で安
定的に上昇し、僅か2時間40分で定常状態に入ってい
る。これに対して、比較例のシール部材はメッキ膜厚が
1.5μmと薄く、セラミックス摺動部材の表面の凹凸を
カバーできないため、試験開始直後から6時間に亙って
短時間内の温度上昇に加え、長時間(1〜1.5時間)の
温度変化が見られる。しかし、メッキ膜を有しない板同
士のシール部材に見られるような急激な温度変化(約15
0〜200℃)がなく、比較的に小幅な変動にとどまってい
る。これは、1.5μm厚ではあるが、セラミックス摺動
部材の凹凸部全面に亙ってほぼ均一にメッキされている
ため、局部的な当接の防止および熱拡散が行われ、更
に、負荷による接触面の変化に対応しているためと思わ
れる。試験開始初期時に凸部接触面のメッキ金属が摩耗
し、凹部に入ったものと思われる。摩耗金属粉が小さ
く、比較的柔らかいため、接触面の損傷を防ぎ、試験時
間の経過とともに接触面が拡大し、6時間程度で安定状
態に至ったと推定される。 As is clear from the results shown in Table 2, the plating thickness of the plated metal film of the seal member used in the sealing mechanism of the present invention was 8 and 14 μm, and the surface of the plated metal film was flattened after plating. Since no finishing treatment is applied, the plating surface roughness
Rmax is 6.6 and 8.9 μm, and the flatness of the sliding surface is 40
And 18 μm, which was considerably bad, there was no oil leakage, seizure, or other damage at the end of the test, and the plating film remained on the entire sliding surface. Also, there is no sudden temperature rise immediately after the start of the test, the temperature rises steadily with a maximum fluctuation of about 3.0 ° C, and the steady state is reached in just 2 hours and 40 minutes. On the other hand, the sealing member of the comparative example has a plating film thickness of
Since it is as thin as 1.5 μm and cannot cover the irregularities on the surface of the ceramic sliding member, it is possible to see the temperature change for a long time (1 to 1.5 hours) in addition to the temperature rise within a short time for 6 hours immediately after the start of the test. To be However, the rapid temperature change (about 15
(0-200 ℃), the fluctuation is relatively small. Although this is 1.5 μm thick, it is plated almost evenly over the entire surface of the ceramic sliding member, so local contact is prevented and heat is diffused. It seems that it corresponds to the change of the surface. It is probable that the plated metal on the contact surface of the convex part was worn at the beginning of the test and entered the concave part. It is presumed that the wear metal powder was small and relatively soft, so damage to the contact surface was prevented, the contact surface expanded with the elapse of the test time, and reached a stable state in about 6 hours.
前記の試験では負荷条件が一定であるが、急激な高面圧
や回転運動に際しては、局所摺動面の高面圧を防止でき
ないことも予想されるので、ある程度のメッキ厚が必要
と推定される。しかし、平均的な高面圧、高速摺動に対
するセラミックスの特性を生かすためには、メッキ厚さ
はできるだけ薄いほうが好ましい。Although the load condition is constant in the above test, it is estimated that a high surface pressure on the local sliding surface cannot be prevented during a sudden high surface pressure or rotational movement, so it is estimated that a certain amount of plating thickness is required. It However, it is preferable that the plating thickness is as thin as possible in order to take advantage of the characteristics of ceramics against an average high surface pressure and high-speed sliding.
前記のNo.1およびNo.2の本発明のシール部材からなるシ
ール機構と、メッキ膜を有しないAl2O3セラミックス摺
動部材からなるシール部材を用いたシール機構とを第4
図に示されるようなフローティングシールとして使用
し、摺動面の温度変化を測定した。温度の測定方法は前
記の試験と同じ方法を使用した。ケーシングの基準間隔
は3mmであり、シールセット荷重は80〜100kg、回転速度
は240rpmとした。これを、5分間正転−5分間逆転−5
分間逆転−5秒間停止−5分間正転のサイクルで10時間
に亙って繰り返した。測定結果を第3図に示す。A sealing mechanism comprising the above-mentioned sealing member of No. 1 and No. 2 of the present invention and a sealing mechanism using a sealing member made of an Al 2 O 3 ceramics sliding member having no plating film are provided.
It was used as a floating seal as shown in the figure and the temperature change of the sliding surface was measured. The method for measuring the temperature was the same as that used in the above test. The reference interval of the casing was 3 mm, the seal set load was 80 to 100 kg, and the rotation speed was 240 rpm. 5 minutes forward-5 minutes reverse-5
A cycle of reverse rotation for 5 minutes, stop for 5 seconds, and forward rotation for 5 minutes was repeated for 10 hours. The measurement results are shown in FIG.
図から明らかなように、本発明のシール部材を使用した
フローティングシールの場合、試験開始後、異常な温度
変化などを示すことなくスムーズにサチュレート温度
(97.5℃)に達する。これに対して、メッキ膜を有しな
い対照例のシール部材からなるフローティングシールの
場合、試験開始直後からシャリシャリという摩擦音が出
始め、急激な温度上昇が起こり、145℃にまで達した。
この間、ずっとシャリシャリという摩擦音が継続し、温
度の低下につれてこの摩擦音も消えていった。その後、
徐々にサチュレート温度(97.5℃)に達した。As is clear from the figure, in the case of the floating seal using the seal member of the present invention, the saturating temperature (97.5 ° C) is smoothly reached after the start of the test without showing any abnormal temperature change. On the other hand, in the case of the floating seal composed of the seal member of the control example having no plating film, a fricative noise started to be heard immediately after the start of the test, and a rapid temperature rise occurred, reaching 145 ° C.
During this time, the creaking noise continued all the time, and as the temperature dropped, this creaking noise also disappeared. afterwards,
The saturating temperature (97.5 ° C) was gradually reached.
なお、前記実施例ではシールリングに無電解メッキを施
すことを中心に説明してきたが、セラミックスベアリン
グに無電解メッキを施して摺動特性を改善させることも
できる。It should be noted that in the above-mentioned embodiment, the description has been centered on the electroless plating of the seal ring, but the sliding characteristics can be improved by electroless plating of the ceramic bearing.
[発明の効果] 以上説明したように、本発明のシール機構はセラミック
スのような耐摩耗性材からなる摺動部材の表面に無電解
メッキ法により金属膜を鍍着させ、この鍍着金属膜を摺
動シール面として使用する。このため、鍍着基板となる
セラミックス摺動部材が本来的に有する高耐負荷性、高
耐摩耗性、低摩擦性および高耐食性等の基本的特性を十
分に発揮しながら、高靱性、高潤滑性、高耐食性で高熱
伝導性の金属膜により摺動特性、耐シール性、耐久性お
よび信頼性が飛躍的に向上される。[Effects of the Invention] As described above, in the sealing mechanism of the present invention, a metal film is plated on the surface of a sliding member made of a wear resistant material such as ceramics by an electroless plating method, and this plated metal film is deposited. Is used as a sliding seal surface. Therefore, while exhibiting the basic characteristics such as high load resistance, high wear resistance, low friction resistance, and high corrosion resistance that the ceramic sliding member that serves as the plating substrate originally possesses, high toughness and high lubrication are achieved. The metal film having high heat resistance, high corrosion resistance and high thermal conductivity dramatically improves sliding characteristics, sealing resistance, durability and reliability.
このような無電解メッキ金属膜を有するシール部材はそ
の表面の平坦度が悪くても摺動特性を著しく向上させる
ことができる。従って、本発明ではメッキ後の鍍着金属
膜表面の平坦化仕上加工処理を省略することができる。The seal member having such an electroless plated metal film can remarkably improve the sliding characteristics even if the surface flatness is poor. Therefore, in the present invention, it is possible to omit the flattening finishing treatment of the plated metal film surface after plating.
セラミックス摺動部材の表面はミクロ的には微小な空隙
や凹凸が多数存在する。従来のセラミックス摺動部材だ
けからなるシール部材は、このセラミックス表面の空隙
や凹凸により摺動特性が劣化されていた。本発明では無
電解メッキによりこのセラミックス表面の空隙を充填
し、更に、凸部をメッキ膜中に埋没させてしまう。On the surface of the ceramic sliding member, there are many microscopically small voids and irregularities. A conventional sealing member composed of only a ceramics sliding member has deteriorated sliding characteristics due to voids and irregularities on the surface of the ceramics. In the present invention, the voids on the surface of the ceramic are filled by electroless plating, and the projections are buried in the plating film.
このため、本発明のシール機構は泥水中など、使用条件
が過酷な場所におけるメカニカルシールあるいはフロー
ティングシールに使用することが好ましい。特に、フロ
ーティングシールはケーシングの隙間から異物が侵入し
やすい。一旦摺動面に入った異物は長時間に亙って摺動
面を荒らすこととなる。これに対して、本発明のシール
部材では、万一、微小な異物がケーシングの隙間からメ
ッキ膜の摺動シール面に侵入しても、異物に比べてメッ
キ膜の方が軟質なので、異物はメッキ膜中に埋め込まれ
てしまい摺動面を荒らす恐れが軽減される。Therefore, the sealing mechanism of the present invention is preferably used for a mechanical seal or a floating seal in a place where the usage conditions are severe, such as muddy water. In particular, in the floating seal, foreign matter is likely to enter through the gap between the casings. The foreign matter once entering the sliding surface will roughen the sliding surface for a long time. On the other hand, in the seal member of the present invention, even if a minute foreign matter enters the sliding sealing surface of the plating film through the gap of the casing, the foreign matter is foreign to the plated film because it is softer than the foreign matter. The risk of the sliding surface being roughened by being embedded in the plating film is reduced.
特に実験より確認されたわけではないが、本発明のシー
ル機構は潤滑性に優れているので、宇宙空間における無
潤滑摺動面に最適に使用することができるであろう。Although not particularly confirmed by experiments, since the seal mechanism of the present invention has excellent lubricity, it can be optimally used for a non-lubricated sliding surface in outer space.
第1図は本発明のシール機構で使用されるシール部材の
一例を示す概要断面図であり、第2図(a)は本発明の
シール機構の一例を示す概要断面図であり、第2図
(b)および第2図(c)は本発明のシール機構の別の
例をそれぞれ示す概要断面図であり、第3図は本発明の
シール機構で使用されるシール部材と対照例のシール部
材の摺動時の各摺動面の温度変化を示す特性図であり、
第4図はフローティングシールを使用した装置の一例を
示す部分切欠断面図であり、第5図は本発明者が先に考
案シール装置の一例を示す概要断面図であり、第6図は
セラミックス摺動部材の拡大概要断面図であり、第7図
はセラミックス摺動部材の各摺動面の摺接状態を示す拡
大概要断面図である。 1,9……ケーシング、1C,9C……内周面、25……Oリン
グ、 21……シールリング、21A……環状溝、21B……外周面、 22……セラミックス摺動部材、23……弾性接着剤、27…
…鍍着金属膜FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a seal member used in the seal mechanism of the present invention, and FIG. 2 (a) is a schematic cross-sectional view showing an example of the seal mechanism of the present invention. (B) and FIG. 2 (c) are schematic cross-sectional views respectively showing another example of the seal mechanism of the present invention, and FIG. 3 is a seal member used in the seal mechanism of the present invention and a seal member of a comparative example. Is a characteristic diagram showing the temperature change of each sliding surface when sliding,
4 is a partially cutaway sectional view showing an example of an apparatus using a floating seal, FIG. 5 is a schematic sectional view showing an example of a sealing apparatus devised by the present inventor earlier, and FIG. 6 is a ceramic slide. FIG. 7 is an enlarged schematic sectional view of the moving member, and FIG. 7 is an enlarged schematic sectional view showing a sliding contact state of each sliding surface of the ceramics sliding member. 1,9 …… Casing, 1C, 9C …… Inner peripheral surface, 25 …… O ring, 21 …… Seal ring, 21A …… Annular groove, 21B …… Outer peripheral surface, 22 …… Ceramics sliding member, 23… … Elastic adhesive, 27…
... Plating metal film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−246505(JP,A) 特開 昭63−103884(JP,A) 特開 昭63−95183(JP,A) 特開 昭51−11807(JP,A) 実開 昭59−80460(JP,U) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (56) Reference JP-A-63-246505 (JP, A) JP-A-63-103884 (JP, A) JP-A-63-95183 (JP, A) JP-A 51- 11807 (JP, A) Actually opened Sho 59-80460 (JP, U)
Claims (3)
れぞれ配設され、軸方向で相対向する面が摺動シール面
となる一対のシールリングと、前記シールリングの少な
くとも一方に押圧力を付与する手段とからなるシール機
構において、 前記シールリングの少なくとも一方の摺動シール面は、
セラミックス系耐摩耗性摺動部材に無電解メッキ法によ
り鍍着された金属膜により形成されており、 前記鍍着金属膜の膜厚は前記摺動部材の摺動面粗さRmax
の0.5〜3倍の範囲内であることを特徴とするシール機
構。1. A pair of seal rings, which are respectively disposed on the inner surface sides of relatively rotating casings and whose axially opposite surfaces are sliding seal surfaces, and a pressing force is applied to at least one of the seal rings. In a seal mechanism consisting of a means for applying, at least one sliding seal surface of the seal ring,
It is formed of a metal film plated on a ceramics wear-resistant sliding member by electroless plating, and the thickness of the plated metal film is the sliding surface roughness Rmax of the sliding member.
The seal mechanism is characterized by being in the range of 0.5 to 3 times.
特徴とする請求項1記載のシール機構。2. The seal mechanism according to claim 1, which is used as a mechanical seal.
とを特徴とする請求項記載のシール機構。3. The seal mechanism according to claim 1, wherein the seal mechanism is used as a floating seal.
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