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JPH0687393B2 - Method for manufacturing barrier of plasma display panel - Google Patents

Method for manufacturing barrier of plasma display panel

Info

Publication number
JPH0687393B2
JPH0687393B2 JP63321590A JP32159088A JPH0687393B2 JP H0687393 B2 JPH0687393 B2 JP H0687393B2 JP 63321590 A JP63321590 A JP 63321590A JP 32159088 A JP32159088 A JP 32159088A JP H0687393 B2 JPH0687393 B2 JP H0687393B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
barrier
layer
plasma display
display panel
coating
Prior art date
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JP63321590A
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Japanese (ja)
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JPH02165538A (en
Inventor
力也 上村
省三 大友
一成 田中
Original Assignee
株式会社住友金属セラミックス
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社住友金属セラミックス filed Critical 株式会社住友金属セラミックス
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Priority to KR1019890018922A priority patent/KR940006293B1/en
Publication of JPH02165538A publication Critical patent/JPH02165538A/en
Priority to US07/672,765 priority patent/US5209688A/en
Publication of JPH0687393B2 publication Critical patent/JPH0687393B2/en
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 イ.発明の目的 産業上の利用分野 この発明は、プラズマディスプレイパネル用障壁の製造
方法に関し、従来より細幅の障壁を可能とし、かつ大画
面に対応できる製造方法に関する。
Detailed Description of the Invention a. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a barrier for a plasma display panel, and more particularly to a method of manufacturing a barrier that is narrower than before and capable of handling a large screen.

従来の技術 プラズマディスプレイパネルは第3図に示すように、ア
ノード10用基板(前面板11)とカソード12用基板(背面
板13)および障壁14からなり、各々電極は直角に対向し
この交点間の空間に放電を起こすことにより発光させ
る。このとき光のクロストーク(混線)を防ぐため、ま
た画面のコントラストを作るため、黒色の障壁14が設け
られている。この障壁の形状は、幅約100μm、高さ約1
00μm以上であり、A4サイズのパネルの場合、約640本
の障壁が形成されている。従来この障壁は、セラミック
粉末を有機バインダー、溶媒等と混合したペーストを厚
膜印刷法でパターン形成した後、乾燥、焼成して形成さ
れている。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 3, a plasma display panel is composed of a substrate for anode 10 (front plate 11), a substrate for cathode 12 (rear plate 13) and a barrier 14. It emits light by causing a discharge in the space. At this time, a black barrier 14 is provided in order to prevent light crosstalk (crosstalk) and to create a screen contrast. The barrier has a width of about 100 μm and a height of about 1
The size is 00 μm or more, and in the case of an A4 size panel, about 640 barriers are formed. Conventionally, this barrier is formed by patterning a paste in which ceramic powder is mixed with an organic binder, a solvent, etc. by a thick film printing method, and then drying and firing.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、このような製造方法は一般的に以下に示
すような問題点がある。
However, such a manufacturing method generally has the following problems.

(1)厚膜印刷法で形成するために、一回の印刷では形
成可能な厚みはせいぜい十数μmであり、必要な100μ
m以上の高さとするために約10回以上の繰り返し印刷が
必要であった。このため、1回毎の位置合わせが非常に
重要であり、歩留を悪くする要因であった。
(1) Since it is formed by the thick film printing method, the thickness that can be formed by one printing is at most ten and several μm.
Repeated printing about 10 times or more was required to obtain a height of m or more. For this reason, it is very important to perform the alignment every time, which is a factor that deteriorates the yield.

(2)厚膜印刷の繰り返しによる製造であるために、障
壁の幅は100μm程度が限界であり、将来の640本以上の
ファインパターン化(障壁幅100μm以下)への対応が
難しい。
(2) Since it is manufactured by repeating thick film printing, the barrier width is limited to about 100 μm, and it is difficult to cope with future fine patterning of 640 lines (barrier width of 100 μm or less).

(3)ステンレスメッシュを用いた厚膜印刷による製造
であるため印刷面積は、メッシュ原版により制約されA4
サイズを越える大画面化に対応するのが難しくなる。
(3) Since it is manufactured by thick film printing using a stainless mesh, the printing area is restricted by the mesh original plate.
It becomes difficult to deal with large screens that exceed the size.

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決すること
であって、即ち、細幅の障壁が確実に形成可能でかつ、
今後の大画面化にも対応できるプラズマディスプレイ用
障壁の形成方法を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, that is, a narrow barrier can be reliably formed, and
It is intended to provide a method of forming a barrier for a plasma display that can cope with future large screens.

ロ.発明の構成 課題を解決するための手段 本発明の第1は、セラミック粉末100重量部に対し紫外
線硬化樹脂量が20〜100重量部からなるスリップをガラ
ス基板上にコーティングし、該コーティング層の非露光
部をマスクし露光する工程と、前記の工程を1回または
数回繰り返して積層し、所要高さの障壁層とし、現像に
よりパターニングし、焼成して形成することを特徴とす
るプラズマディスプレイパネル障壁の製造方法である。
B. Means for Solving the Problems The first aspect of the present invention is to coat a glass substrate with a slip composed of 20 to 100 parts by weight of an ultraviolet-curable resin with respect to 100 parts by weight of ceramic powder, and to coat the non-slip layer of the coating layer. A plasma display panel, which is formed by masking the exposed portion and exposing, and repeating the above steps once or several times to form a barrier layer having a required height, patterning by development, and baking. It is a method of manufacturing a barrier.

本発明の第2は、前記スリップを転写紙上にコーティン
グし、該コーティング層を樹脂でオーバーコートし、転
写紙上に転写用フィルムを作成する工程と、転写紙を水
中で剥離して該転写用フィルムをガラス基板上に転写し
乾燥後、該オーバーコート樹脂を剥離し、非露光部をマ
スクし露光して第1層を形成する工程と、該第1層の直
上に層間接着力強化用の溶剤塗布の工程と、前記の工程
を数回繰り返して積層し、所要高さの障壁層とし、現像
によりパターニングし、焼成して形成してなることを特
徴とするプラズマディスプレイパネル障壁の製造方法で
ある。
A second aspect of the present invention is a step of coating the transfer paper with the slip, overcoating the coating layer with a resin to form a transfer film on the transfer paper, and peeling the transfer paper in water to form the transfer film. Is transferred onto a glass substrate and dried, the overcoat resin is peeled off, a non-exposed portion is masked and exposed to form a first layer, and a solvent for strengthening the interlayer adhesive force is formed directly on the first layer. A method of manufacturing a barrier for a plasma display panel, characterized in that the coating step and the above step are repeated several times to form a barrier layer having a required height, patterning by development, and baking to form the barrier layer. .

作用 先ず、第1の本発明に係るプラズマディスプレイパネル
用障壁の製造方法を、第1図の図A〜Eを用いて説明す
る。
Operation First, a method of manufacturing a barrier for a plasma display panel according to the first aspect of the present invention will be described with reference to FIGS.

図Aにおいて、セラミック粉末、紫外線硬化樹脂および
溶剤を混合したスリップをガラス基板1上にコーティン
グし未露光部のコーティング層2を形成し乾燥する。
In FIG. A, a slip prepared by mixing a ceramic powder, an ultraviolet curable resin and a solvent is coated on a glass substrate 1 to form a coating layer 2 in an unexposed portion and dried.

図Bにおいて、ガラスマスク3を用いて障壁の一部とな
る部分の露光を選択的に行い、コーティング層の露光部
4を形成する。
In FIG. B, the glass mask 3 is used to selectively expose a part of the barrier to form an exposed portion 4 of the coating layer.

図Cにおいて、露光を行った上記コーティング層の上に
第1層と同様に第2層のコーティング層を形成し乾燥
し、露光を行う。
In FIG. C, a second coating layer is formed on the exposed coating layer in the same manner as the first layer, dried, and exposed.

図Dにおいて、図Cの工程を多数回繰り返し行い、コー
ティング層を所要の高さ迄積層形成する。
In FIG. D, the process of FIG. C is repeated many times to form a coating layer to a required height.

図Eにおいて、積層部の一度の現像で非露光部5を選択
的に溶出することによりパターニングが終了する。なお
図Dは4層にて図示したが必要により5層であってもよ
い。
In FIG. E, patterning is completed by selectively eluting the non-exposed area 5 with one development of the laminated area. Although FIG. D shows four layers, it may have five layers if necessary.

図Fにおいて、パターニングされた基板を焼成すること
により、プラズマディスプレイパネル用障壁6が形成さ
れる。
In FIG. F, the barrier 6 for the plasma display panel is formed by baking the patterned substrate.

次に、第2の本発明に係る製造方法を第2図の図A〜H
を用いて説明する。
Next, the manufacturing method according to the second invention will be described with reference to FIGS.
Will be explained.

図Aにおいて、セラミック粉末、紫外線硬化樹脂および
溶剤を混合したスリップを、デキストリンを塗布、乾燥
した台紙となる転写紙7上にコーティング、乾燥し、非
露光部のコーティング層2を形成する。
In FIG. A, a slip obtained by mixing ceramic powder, an ultraviolet curable resin and a solvent is coated on dextrin and dried on a transfer paper 7 serving as a mount, and dried to form a coating layer 2 in the non-exposed portion.

図Bにおいて、上記コーティング層2の直上に剥離型オ
ーバーコート樹脂8をコーティング、乾燥して転写紙上
に転写用フィルム9を形成する。
In FIG. B, the release type overcoat resin 8 is coated directly on the coating layer 2 and dried to form a transfer film 9 on the transfer paper.

図Cにおいて、図Bでできたものを水中浸漬して転写紙
から剥がれた剥離型オーバーコート樹脂8で補強された
コーティング層2をガラス基板1上に転写し乾燥して非
露光部の第1層を形成する。
In FIG. C, the coating layer 2 reinforced by the peelable overcoat resin 8 peeled from the transfer paper by immersing the product formed in FIG. B in water is transferred onto the glass substrate 1 and dried to form the first unexposed portion. Form the layers.

図Dにおいて、オーバーコート樹脂8を剥離した後、ガ
ラスマスク3を用いて障壁の一部となる部分の露光を選
択的に行い露光部4を形成する。
In FIG. D, after peeling off the overcoat resin 8, the glass mask 3 is used to selectively expose a part of the barrier to form an exposed part 4.

図Eにおいて、露光を行った上記第1層直上に層間接着
力強化溶剤(図示せず)を塗布する。第2層は第1層と
同様の工程で第1層上に転写、乾燥後、オーバーコート
を剥離したコーティング層に露光を行い溶剤を塗布す
る。
In FIG. E, an interlayer adhesion strengthening solvent (not shown) is applied directly on the exposed first layer. The second layer is transferred onto the first layer in the same process as the first layer, dried, and then exposed to the coating layer from which the overcoat is peeled off to apply a solvent.

図Fにおいて、図Eの工程を多数回繰り返し行い、所要
厚みまで積層を形成する。なお、当然に最上層の上の層
間接着強化用溶剤塗布は不要である。
In FIG. F, the process of FIG. E is repeated many times to form a stack up to the required thickness. Of course, it is not necessary to apply a solvent for strengthening the interlayer adhesion on the uppermost layer.

図Gにおいて、積層全体の現像を一度に行い、非露光部
を選択的に溶出することによりパターニングを終了す
る。
In FIG. G, the entire stack is developed at one time, and the non-exposed areas are selectively eluted to complete the patterning.

図Hにおいて、パターニングされた基板を焼成すること
により、プラズマディスプレイパネル用障壁6が形成さ
れる。
In FIG. H, the barrier 6 for the plasma display panel is formed by baking the patterned substrate.

本発明の第1と第2は、ガラス基板上にコーティング層
の形成をドクターブレード法とロールコーター法(第1
発明)または転写法(第2発明)で行う相違はあるが、
積層露光を行った後、一度に現像してパターニングする
という基本的な点は共通である。
The first and second aspects of the present invention include forming a coating layer on a glass substrate by a doctor blade method and a roll coater method (first
Invention) or transfer method (second invention),
The common point is that after the multi-layer exposure is performed, it is developed and patterned at one time.

また、本方法によれば、未露光部の間隔の異なるガラス
マスクを用いることにより段差のあるパターンも作成で
きることはいうまでもない。
Further, according to the present method, it is needless to say that a stepped pattern can be formed by using glass masks having different intervals between unexposed portions.

本発明のセラミック粉末としては、焼成後黒色で緻密化
した絶縁性を持つ組成であればよい。
The ceramic powder of the present invention may have a composition that is black and densified after firing and has an insulating property.

以下実施例により、本発明をさらに詳細に説明する。The present invention will be described in more detail with reference to examples below.

実施例1. 重量%でSiO215%、Al2O320%、Fe2O310%、Cr2O3
%、MnO7%、CoO2%、PbO35%、B2O38%からなる黒色
のセラミック粉末100重量部に、第1表に示すように紫
外線硬化樹脂5〜140重量部および溶剤を混合し、スリ
ップを作成した。
Example 1. Weight% SiO 2 15%, Al 2 O 3 20%, Fe 2 O 3 10%, Cr 2 O 3 3.
%, MnO7%, CoO2%, PbO35%, to 100 parts by weight of ceramic powder of black consisting of B 2 O 3 8%, 5~140 parts by weight ultraviolet curable resin and a mixture of solvents as shown in Table 1, the slip It was created.

紫外線硬化樹脂としては、LR-350R(サンノプコ株式会
社製)を用いた。本発明において、使用する紫外線硬化
剤としては、光開始剤によって紫外線硬化し得る機能を
有する樹脂成分に光開始剤を配合し、さらに必要に応じ
て各種の添加剤を加えた樹脂組成物を使用する。
LR-350R (manufactured by San Nopco Ltd.) was used as the ultraviolet curable resin. In the present invention, as the ultraviolet curing agent to be used, a resin composition obtained by blending a photoinitiator with a resin component having a function capable of being ultraviolet-cured by a photoinitiator, and further adding various additives as necessary is used. To do.

溶剤としては、ブチルセルソルブアセテートを用いた
が、エチルセルソルブ等の溶剤でもよい。
Although butyl cellosolve acetate was used as the solvent, a solvent such as ethyl cellosolve may be used.

このスリップをガラス基板上で乾燥後30〜50μm厚にな
るようにコーティング膜の第1層を形成した。コーティ
ング方法はドクターブレード法、ロールコーター法のい
ずれの方法でもよい。
After the slip was dried on a glass substrate, the first layer of the coating film was formed so as to have a thickness of 30 to 50 μm. The coating method may be either a doctor blade method or a roll coater method.

次に、予め第1層の非露光部をガラスマスクにより露光
を防いだ後、高圧水銀灯を用いて紫外線照射を行い、露
光部を硬化させた。照射量は、使用する紫外線硬化樹脂
の種類により異なるが、コーティング層の底部迄硬化す
る程度に行えば十分である。
Next, after exposing the non-exposed portion of the first layer with a glass mask in advance, it was irradiated with ultraviolet rays using a high pressure mercury lamp to cure the exposed portion. The irradiation amount varies depending on the type of the ultraviolet curable resin used, but it is sufficient that the irradiation amount is such that the bottom of the coating layer is cured.

次いで、第2層〜第5層のコーティング、乾燥、露光を
繰り返し行い、乾燥厚150〜200μmの形成層を得た。次
に上記形成層の現像を一度に行い、非露光部を溶出する
ことにより、パターニングが終了する。
Then, coating, drying and exposure of the second to fifth layers were repeated to obtain a forming layer having a dry thickness of 150 to 200 μm. Next, the patterning is completed by developing the above-mentioned formation layer at once and eluting the non-exposed areas.

現像液としては、トリクロルエタンを用いたが、紫外線
硬化樹脂の種類により選択すればよい。
Although trichloroethane was used as the developing solution, it may be selected depending on the kind of the ultraviolet curable resin.

次にパターニングされたガラス基板を10℃/mmで昇温
し、580℃で焼成することにより、100〜120μmの厚み
プラズマディスプレイパネル用障壁を形成した。焼成温
度は、使用するセラミック粉末およびガラス基板の材質
により異なるが、絶縁ぺーストが黒色しかつ十分緻密化
する温度であればよい。セラミック粉末に対する紫外線
硬化樹脂の量は第1表に示すように、20%未満ではパタ
ーニング時に露光硬化部の剥離が起こり、パターニング
不能であった。また紫外線樹脂量が100%を越える場
合、焼成の際に膨れを生じ、障壁形成が不可能であっ
た。このためセラミック粉末100重量部に対し、配合す
る紫外線硬化樹脂量を20〜100重量部とした。
Next, the patterned glass substrate was heated at 10 ° C./mm and baked at 580 ° C. to form a barrier for a plasma display panel having a thickness of 100 to 120 μm. The firing temperature varies depending on the ceramic powder used and the material of the glass substrate, but may be any temperature at which the insulating paste is black and sufficiently densified. As shown in Table 1, when the amount of the ultraviolet curable resin with respect to the ceramic powder was less than 20%, peeling of the exposed cured portion occurred during patterning, and patterning was impossible. Further, when the amount of the UV resin exceeds 100%, swelling occurs during firing, and it is impossible to form a barrier. Therefore, the amount of the ultraviolet curable resin to be blended is set to 20 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder.

形成幅については、第1表に示すようにガラスマスク幅
(紫外線通過幅)が100μmの場合、ライン幅(障壁
幅)は110μm、また同じく50μmの場合60μmと使用
したガラスマスク幅に対して若干の拡大があったが、従
来の最小幅100μmの技術に対し約1/2の幅の障壁が形成
できた。さらに従来のフォトリソグラフィ技術ではセラ
ミック粉末を混合した場合、アスペクト比(高さ/幅)
が約1:1以下に限定されたが、本発明によりアスペクト
比が1以上のパターンの形成が可能となった。
Regarding the formation width, as shown in Table 1, when the glass mask width (ultraviolet ray passage width) is 100 μm, the line width (barrier width) is 110 μm, and when it is 50 μm, it is 60 μm, which is slightly smaller than the used glass mask width. However, a barrier with a width of about 1/2 of the conventional minimum width of 100 μm could be formed. Furthermore, in the conventional photolithography technology, when ceramic powder is mixed, the aspect ratio (height / width)
However, the present invention made it possible to form a pattern having an aspect ratio of 1 or more.

実施例2 実施例1と同一のスリップを厚膜印刷法によって、転写
紙上に印刷乾燥し、30〜50μmのセラミック粉末と紫外
線硬化樹脂からなるコーティング層を形成した。コーテ
ィング方法としては、ロールコーター法、ドクターブレ
ード法等のいずれでもよい。
Example 2 The same slip as in Example 1 was printed and dried on a transfer paper by a thick film printing method to form a coating layer consisting of 30 to 50 μm ceramic powder and an ultraviolet curable resin. The coating method may be a roll coater method, a doctor blade method, or the like.

転写紙は、吸水紙上にデキストリンを約20〜30μm塗
布、乾燥したものを使用した。次にコーティング層直上
にオーバーコート樹脂を約100〜150μm塗布、乾燥し、
転写用フィルムとした。
As the transfer paper, water-absorbent paper coated with dextrin of about 20 to 30 μm and dried was used. Next, apply an overcoat resin of approximately 100 to 150 μm directly on the coating layer and dry it.
It was used as a transfer film.

水中浸漬して、上記転写用フィルムを転写紙から剥離
し、ガラス基板上に転写し、乾燥する。さらに該転写用
フィルムからオーバーコート樹脂を剥離した後、ガラス
マスクにより、非露光部の露光を防ぎ、紫外線照射を行
ないコーティング層を硬化させた。転写を行う際には、
各層間に溶剤を塗布した。これは、層間の接着強度の向
上を図るためで、溶剤塗布しないものは、現像の際に層
間でラインの剥離がみられた。なおこの溶剤として、ア
セトンやメチルエチルケトン等が用いられる。
It is immersed in water, the transfer film is peeled off from the transfer paper, transferred onto a glass substrate, and dried. Further, after removing the overcoat resin from the transfer film, the glass mask was used to prevent the non-exposed areas from being exposed to light, and the coating layer was cured by irradiation with ultraviolet rays. When performing the transfer,
A solvent was applied between the layers. This is for the purpose of improving the adhesive strength between the layers, and in the case of those not coated with a solvent, line peeling was observed between the layers during development. As the solvent, acetone, methyl ethyl ketone or the like is used.

第2層〜第5層の転写、乾燥、オーバーコート樹脂剥
離、溶剤塗布を繰り返し行い、乾燥厚150〜200μmの形
成層を得た。
The transfer of the second layer to the fifth layer, drying, peeling of the overcoat resin, and solvent coating were repeated to obtain a forming layer having a dry thickness of 150 to 200 μm.

オーバーコート樹脂としては、紫外線硬化樹脂層を溶解
しなければよく、本実施例では三菱レーヨン製LR−701
およびLR−702を用いた。
As the overcoat resin, it is sufficient if it does not dissolve the ultraviolet curable resin layer, and in this embodiment, LR-701 manufactured by Mitsubishi Rayon.
And LR-702 were used.

次に、上記形成層の現像を一度に行い、非露光部を溶出
することによりパターニングが終了する。パターニング
されたガラス基板を580℃で1時間焼成して100〜120μ
mの厚みのプラズマディスプレイパネル用障壁を形成し
た。なお紫外線硬化樹脂量およびライン幅については、
実施例1と同様であった。
Next, the formation layer is developed at one time, and the non-exposed portions are eluted to complete the patterning. The patterned glass substrate is baked at 580 ℃ for 1 hour to 100-120μ
An m-thick barrier for a plasma display panel was formed. Regarding the UV curable resin amount and line width,
This was the same as in Example 1.

ハ.発明の効果 本発明により、従来技術では困難である細い幅のパター
ニングおよび従来の紫外線硬化技術でも不可能であった
高アスペクト比のパターニングが可能となった。またラ
イン形成にフォトリソグラィー法を用いるため印刷法の
ようなメッシュ原版の制約を受けず大画面化対応も可能
となった。
C. EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, patterning with a narrow width, which is difficult with the conventional technique, and patterning with a high aspect ratio, which has been impossible even with the conventional ultraviolet curing technique, have become possible. In addition, since the photolithography method is used for line formation, it is possible to deal with large screens without being restricted by the mesh original plate like the printing method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、本発明の第1の製造方法の一例をA〜Fで図
示したものである。第2図は本発明の第2の製造方法の
一例をA〜Hで図示したものである。第3図は、プラズ
マディスプレイの構造の一例である。 1.ガラス基板、2.コーティング層(未露光部)、3.ガラ
スマスク、4.コーティング層(露光部)、5.コーティン
グ層(非露光部)、6.障壁、7.転写紙、8.剥離型オーバ
ーコート樹脂、9.転写用フイルム、10.アノード、11.前
面板、12.カソード、13.背面板、14.障壁。
FIG. 1 shows an example of the first manufacturing method of the present invention in A to F. FIG. 2 shows an example of the second manufacturing method of the present invention in A to H. FIG. 3 is an example of the structure of a plasma display. 1.Glass substrate, 2.Coating layer (unexposed part), 3.Glass mask, 4.Coating layer (exposed part), 5.Coating layer (non-exposed part), 6.Barrier, 7.Transfer paper, 8. Release type overcoat resin, 9. Transfer film, 10. Anode, 11. Front plate, 12. Cathode, 13. Back plate, 14. Barrier.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】セラミック粉末100重量部に対し紫外線硬
化樹脂量が20〜100重量部からなるスリップをガラス基
板上にコーティングし、該コーティング層の非露光部を
マスクし露光する工程と、前記の工程を1回または数回
繰り返して積層し、所要高さの障壁層とし、現像により
パターニングし、焼成して形成することを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル障壁の製造方法。
1. A step of coating a glass substrate with a slip comprising an ultraviolet curable resin amount of 20 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of a ceramic powder, masking an unexposed portion of the coating layer, and exposing the same. A method of manufacturing a barrier for a plasma display panel, which comprises stacking the steps one or several times to form a barrier layer having a required height, patterning by development, and baking to form a barrier layer.
【請求項2】請求項1記載のスリップを転写紙上にコー
ティングし、該コーティング層を樹脂でオーバーコート
し、転写紙上に転写用フィルムを作成する工程と、転写
紙を水中で剥離して該転写用フィルムをガラス基板上に
転写し乾燥後、該オーバーコート樹脂を剥離し、非露光
部をマスクし露光して第1層を形成する工程と、該第1
層の直上に層間接着力強化用の溶剤塗布の工程と、前記
の工程を数回繰り返して積層し、所要高さの障壁層と
し、現像によりパターニングし、焼成して形成してなる
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル障壁の製
造方法。
2. A step of coating the slip according to claim 1 on a transfer paper, overcoating the coating layer with a resin to form a transfer film on the transfer paper, and peeling the transfer paper in water to perform the transfer. After transferring the film for use on a glass substrate and drying, peeling off the overcoat resin, exposing the non-exposed portion with a mask to form a first layer, and
It is characterized in that it is formed by repeating a step of applying a solvent for strengthening interlayer adhesion and a step of repeating the above steps several times to form a barrier layer having a required height immediately above the layer, patterning by development, and baking. A method for manufacturing a plasma display panel barrier.
JP63321590A 1988-12-19 1988-12-19 Method for manufacturing barrier of plasma display panel Expired - Fee Related JPH0687393B2 (en)

Priority Applications (3)

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