JPH065949A - 圧電体フィルムの製法 - Google Patents
圧電体フィルムの製法Info
- Publication number
- JPH065949A JPH065949A JP4161193A JP16119392A JPH065949A JP H065949 A JPH065949 A JP H065949A JP 4161193 A JP4161193 A JP 4161193A JP 16119392 A JP16119392 A JP 16119392A JP H065949 A JPH065949 A JP H065949A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- piezoelectric
- buret
- electrode
- extrusion molding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 15
- 238000000886 hydrostatic extrusion Methods 0.000 claims description 12
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims description 6
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 238000000462 isostatic pressing Methods 0.000 claims 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 abstract description 8
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 abstract description 8
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Shaping By String And By Release Of Stress In Plastics And The Like (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ポリフッ化ビニリデンなどからなる圧電体フ
ィルムを歩留よく、少ない工程で製造する。 【構成】 金属製のビュレット１の先端付近にポリフッ
化ビニリデンなどからなる帯状の前駆体２を被覆し、こ
れをシリンダ３内に静水圧にて圧入して前駆体２を延伸
するとともにフィルム化し、１軸延伸フィルムを得る。
ついで、このフィルムの外面に電極を蒸着などにより形
成し、この電極とビュレット１との間に直流電圧を印加
してポーリング処理を行う。
ィルムを歩留よく、少ない工程で製造する。 【構成】 金属製のビュレット１の先端付近にポリフッ
化ビニリデンなどからなる帯状の前駆体２を被覆し、こ
れをシリンダ３内に静水圧にて圧入して前駆体２を延伸
するとともにフィルム化し、１軸延伸フィルムを得る。
ついで、このフィルムの外面に電極を蒸着などにより形
成し、この電極とビュレット１との間に直流電圧を印加
してポーリング処理を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ポリフッ化ビニリデ
ンなどの圧電性を有するプラスチックから圧電体フィル
ムを効率よく製造する方法に関する。
ンなどの圧電性を有するプラスチックから圧電体フィル
ムを効率よく製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ポリフッ化ビニリデンなどからなる圧電
体フィルムの製造は、まずポリフッ化ビニリデンなどを
押出成形法によって、シート状またはフィルム状に成形
する。ついで、このものを１００℃以下の温度で１軸延
伸もしくは２軸延伸して、非極性相であるα型を極性相
であるβ型に相転移させる。こののち、この相転移後の
フィルムの両面に蒸着などによって電極を形成し、これ
ら電極間に直流電圧を印加してポーリング処理を行う方
法で行われている。
体フィルムの製造は、まずポリフッ化ビニリデンなどを
押出成形法によって、シート状またはフィルム状に成形
する。ついで、このものを１００℃以下の温度で１軸延
伸もしくは２軸延伸して、非極性相であるα型を極性相
であるβ型に相転移させる。こののち、この相転移後の
フィルムの両面に蒸着などによって電極を形成し、これ
ら電極間に直流電圧を印加してポーリング処理を行う方
法で行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな製法にあっては、延伸時にフィルムにボイドなどの
欠陥が生じやすく、この欠陥によってポーリング処理時
に短絡事故を起すことがある。また、ポーリング処理の
ための２つの電極の形成に手間を必要とするなど工程数
が多いなどの欠点がある。
うな製法にあっては、延伸時にフィルムにボイドなどの
欠陥が生じやすく、この欠陥によってポーリング処理時
に短絡事故を起すことがある。また、ポーリング処理の
ための２つの電極の形成に手間を必要とするなど工程数
が多いなどの欠点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】かかる課題は、圧電性プ
ラスチックの延伸とフィルム化とを静水圧押出成形によ
り同時に行うことで解決でき、また静水圧押出成形の際
に金属製芯材を用いることによって電極形成の手間を半
減できる。
ラスチックの延伸とフィルム化とを静水圧押出成形によ
り同時に行うことで解決でき、また静水圧押出成形の際
に金属製芯材を用いることによって電極形成の手間を半
減できる。
【０００５】以下、本発明を図面に基づいて詳しく説明
する。図１は、本発明における静水圧押出成形の一例を
示すもので、図中符号１はビュレットである。このビュ
レット１は、銅、銅合金、鋼などの金属からなる円柱状
の棒状物である。ビュレット１の一方の先端は、面とり
加工が施されている。このビュレット１の先端付近にポ
リフッ化ビニリデンなどの圧電性を示すプラスチックか
らなる帯状の前駆体２が環状に被覆されている。この前
駆体２は、ビュレット１を用いたアウトサート成形法な
どの射出成形あるいはモールド成形によって形成された
ものであって、厚みが１〜１０ｍｍ程度、幅が１０〜５
０ｍｍ程度のものである。
する。図１は、本発明における静水圧押出成形の一例を
示すもので、図中符号１はビュレットである。このビュ
レット１は、銅、銅合金、鋼などの金属からなる円柱状
の棒状物である。ビュレット１の一方の先端は、面とり
加工が施されている。このビュレット１の先端付近にポ
リフッ化ビニリデンなどの圧電性を示すプラスチックか
らなる帯状の前駆体２が環状に被覆されている。この前
駆体２は、ビュレット１を用いたアウトサート成形法な
どの射出成形あるいはモールド成形によって形成された
ものであって、厚みが１〜１０ｍｍ程度、幅が１０〜５
０ｍｍ程度のものである。
【０００６】また、図１において、符号３はシリンダで
ある。このシリンダ３は、その内径がビュレット１の外
径よりも微かに大きくなっており、図示しないピストン
により、ビュレット１をその先端からシリンダ３内に圧
入できるようになっている。また、これらビュレット１
およびシリンダ３は図示しない耐圧容器内に水、油など
の圧力媒体４とともに封入されている。
ある。このシリンダ３は、その内径がビュレット１の外
径よりも微かに大きくなっており、図示しないピストン
により、ビュレット１をその先端からシリンダ３内に圧
入できるようになっている。また、これらビュレット１
およびシリンダ３は図示しない耐圧容器内に水、油など
の圧力媒体４とともに封入されている。
【０００７】この状態において、圧力媒体４を５０〜１
００℃に加熱するとともに加圧することにより、ビュレ
ット１をシリンダ３内に圧入してゆく。これによって、
ビュレット１に設けられた前駆体２が、シリンダ３の内
面とビュレット１の外面との間で剪断力によって引き延
ばされてゆき、ビュレット１の長手方向に１軸延伸され
ることになる。これにより、図２に示すように、ビュレ
ット１の長手方向に延びた圧電性プラスチックからなる
１軸延伸フィルム５がビュレット１の表面に密着した状
態で得られることになる。
００℃に加熱するとともに加圧することにより、ビュレ
ット１をシリンダ３内に圧入してゆく。これによって、
ビュレット１に設けられた前駆体２が、シリンダ３の内
面とビュレット１の外面との間で剪断力によって引き延
ばされてゆき、ビュレット１の長手方向に１軸延伸され
ることになる。これにより、図２に示すように、ビュレ
ット１の長手方向に延びた圧電性プラスチックからなる
１軸延伸フィルム５がビュレット１の表面に密着した状
態で得られることになる。
【０００８】この静水圧押出成形において、１軸延伸フ
ィルム５の延伸倍率、厚み等は、前駆体２の厚み、ビュ
レット１とシリンダ３とのクリアランス、周囲温度など
によって調節できる。
ィルム５の延伸倍率、厚み等は、前駆体２の厚み、ビュ
レット１とシリンダ３とのクリアランス、周囲温度など
によって調節できる。
【０００９】次に、ビュレット１の外面に形成された１
軸延伸フィルム５の表面に蒸着法などによって一方の電
極となるアルミニウム膜などの金属膜を形成し、この電
極とビュレット１との間に常法により直流電圧を印加
し、周知のポーリング処理を施し、ついで、このフィル
ムを切り開いて展開すれば、目的とする圧電体フィルム
が得られる。
軸延伸フィルム５の表面に蒸着法などによって一方の電
極となるアルミニウム膜などの金属膜を形成し、この電
極とビュレット１との間に常法により直流電圧を印加
し、周知のポーリング処理を施し、ついで、このフィル
ムを切り開いて展開すれば、目的とする圧電体フィルム
が得られる。
【００１０】このような製法によれば、静水圧押出成形
を用いているので、一工程で延伸とフィルム化とが同時
に行え、作業性が向上する。また、静水圧押出成形で
は、一方向のみに延伸されるだけでなく、同時にフィル
ム５をビュレット１の中心軸方向に締めつけるような力
が作用するため、得られた１軸延伸フィルム５には欠陥
が生じにくいものとなり、その厚みも均一となる。さら
に、１軸延伸フィルム５は、ビュレット１の外表面に強
固に密着した状態で得られるため、ビュレット１がポー
リング処理のための一方の電極として機能し、電極形成
のための工程が半減する。
を用いているので、一工程で延伸とフィルム化とが同時
に行え、作業性が向上する。また、静水圧押出成形で
は、一方向のみに延伸されるだけでなく、同時にフィル
ム５をビュレット１の中心軸方向に締めつけるような力
が作用するため、得られた１軸延伸フィルム５には欠陥
が生じにくいものとなり、その厚みも均一となる。さら
に、１軸延伸フィルム５は、ビュレット１の外表面に強
固に密着した状態で得られるため、ビュレット１がポー
リング処理のための一方の電極として機能し、電極形成
のための工程が半減する。
【００１１】以下、具体例を示す。 （実施例）直径２０ｍｍの銅製のビュレットの先端付近
に厚さ１ｍｍ、幅１０ｍｍのポリフッ化ビニリデンから
なる前駆体を溶融成形法により形成した。このビュレッ
トを内径１９．９ｍｍの銅製シリンダに、温度８０℃で
圧入し、静水圧押出成形を行い、ビュレット外表面に厚
さ１２０μｍ、長さ８０ｍｍの１軸延伸フィルムを形成
した。この１軸延伸フィルムの外面にアルミニウムを蒸
着して一方の電極とし、銅製ビュレットを他方の電極と
して、絶縁油中、８０℃で７Ｋｖの直流電圧を３０分間
印加し、室温まで冷却してから電圧印加を停止した。
に厚さ１ｍｍ、幅１０ｍｍのポリフッ化ビニリデンから
なる前駆体を溶融成形法により形成した。このビュレッ
トを内径１９．９ｍｍの銅製シリンダに、温度８０℃で
圧入し、静水圧押出成形を行い、ビュレット外表面に厚
さ１２０μｍ、長さ８０ｍｍの１軸延伸フィルムを形成
した。この１軸延伸フィルムの外面にアルミニウムを蒸
着して一方の電極とし、銅製ビュレットを他方の電極と
して、絶縁油中、８０℃で７Ｋｖの直流電圧を３０分間
印加し、室温まで冷却してから電圧印加を停止した。
【００１２】（比較例）溶融押出成形法により厚さ１２
０μｍのポリフッ化ビニリデンフィルムを作製し、この
フィルムを１軸延伸機で、温度９０℃にて３０％延伸
し、１軸延伸フィルムとした。このものの両面にアルミ
ニウムを蒸着して電極を形成し、絶縁油中、８０℃で７
Ｋｖの直流電圧を３０分間印加し、室温まで冷却してか
ら電圧印加を停止した。
０μｍのポリフッ化ビニリデンフィルムを作製し、この
フィルムを１軸延伸機で、温度９０℃にて３０％延伸
し、１軸延伸フィルムとした。このものの両面にアルミ
ニウムを蒸着して電極を形成し、絶縁油中、８０℃で７
Ｋｖの直流電圧を３０分間印加し、室温まで冷却してか
ら電圧印加を停止した。
【００１３】このようにして製造された２種の圧電体フ
ィルムの圧電定数とポーリング処理時の歩留を求めたと
ころ、次の表１に示すような結果が得られた。
ィルムの圧電定数とポーリング処理時の歩留を求めたと
ころ、次の表１に示すような結果が得られた。
【００１４】
【表１】
【００１５】上表の結果から明らかなように、本発明方
法では、延伸時の欠陥の発生が少なく、ポーリング処理
の際に短絡事故を起す割合が減少し、歩留が向上するこ
とがわかる。また、得られる圧電体フィルムの圧電性は
従来のものとかわりないことがわかる。
法では、延伸時の欠陥の発生が少なく、ポーリング処理
の際に短絡事故を起す割合が減少し、歩留が向上するこ
とがわかる。また、得られる圧電体フィルムの圧電性は
従来のものとかわりないことがわかる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の圧電体
フィルムの製法は、圧電性プラスチックを静水圧押出成
形して延伸とフィルム化を同時に行い、ついでポーリン
グ処理するものであるので、延伸時に欠陥が生ずること
が少なく、ポーリング処理時の歩留が向上する。また、
厚みが均一なものが得られる。さらに、金属製芯体を用
いて静水圧押出成形を行えば、この芯体をそのままポー
リング処理のための電極とすることができるなどの効果
を得ることができる。
フィルムの製法は、圧電性プラスチックを静水圧押出成
形して延伸とフィルム化を同時に行い、ついでポーリン
グ処理するものであるので、延伸時に欠陥が生ずること
が少なく、ポーリング処理時の歩留が向上する。また、
厚みが均一なものが得られる。さらに、金属製芯体を用
いて静水圧押出成形を行えば、この芯体をそのままポー
リング処理のための電極とすることができるなどの効果
を得ることができる。
【図１】 本発明での静水圧押出成形の例を示す説明図
である。
である。
【図２】 本発明での静水圧押出成形で得られた１軸延
伸フィルムの状態を示す図である。
伸フィルムの状態を示す図である。
１…ビュレット、２…前駆体、３…シリンダ、４…圧力
媒体、５…１軸延伸フィルム
媒体、５…１軸延伸フィルム
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電性プラスチックを静水圧押出成形し
て延伸とフィルム化を同時に行い、ついでポーリング処
理することを特徴とする圧電体フィルムの製法。 - 【請求項２】 圧電性プラスチックを金属製芯材上に被
覆し、このものをついで静水圧押出成形して延伸とフィ
ルム化を同時に行ったのち、圧電性プラスチックフィル
ムの外周に電極を形成し、金属製芯材と電極との間に直
流電圧を印加してポーリング処理することを特徴とする
圧電体フィルムの製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4161193A JPH065949A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 圧電体フィルムの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4161193A JPH065949A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 圧電体フィルムの製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065949A true JPH065949A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15730356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4161193A Pending JPH065949A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 圧電体フィルムの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065949A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007534562A (ja) * | 2003-12-19 | 2007-11-29 | バルワー エス．アー．エス． | 流体投与装置 |
| US9125819B2 (en) | 2005-04-29 | 2015-09-08 | Tomizo Yamamoto | Activated foam |
-
1992
- 1992-06-19 JP JP4161193A patent/JPH065949A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007534562A (ja) * | 2003-12-19 | 2007-11-29 | バルワー エス．アー．エス． | 流体投与装置 |
| JP4664310B2 (ja) * | 2003-12-19 | 2011-04-06 | バルワー エス．アー．エス． | 流体投与装置 |
| US9125819B2 (en) | 2005-04-29 | 2015-09-08 | Tomizo Yamamoto | Activated foam |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4670074A (en) | Piezoelectric polymer transducer and process of manufacturing the same | |
| US4715098A (en) | Method of making coaxial cable | |
| AT391473B (de) | Monoaxial verstreckter formkoerper aus polytetrafluoraethylen und verfahren zu seiner herstellung | |
| DE2123316B2 (de) | Poröses Material aus einem Tetrafluoräthylenpolymeren und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE3013828A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines pyroelektrischen und piezoelektrischen elementes | |
| DE1416028B2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines als Dickenscherungsschwinger wirkender Wandlers | |
| US4015765A (en) | Formation and utilization of compound billet | |
| US2947078A (en) | Solid-phase bonding of metals | |
| DE3026614A1 (de) | Verfahren zur herstellung polarisierender flaechenerzeugnisse | |
| JPS58157183A (ja) | 圧電重合体材料からなるウエ−ハの作製方法及び圧電重合体変換器の作製方法 | |
| JPH065949A (ja) | 圧電体フィルムの製法 | |
| JP2003103327A (ja) | 中空部材の製造方法 | |
| GB2150346A (en) | Piezoelectric coaxial cable | |
| US5232901A (en) | Method of producing superconducting ceramic wire having protective metal coating thereon | |
| JPS62193812A (ja) | β相ポリ弗化ビニリデンフイルムの製法 | |
| CN1776847A (zh) | 固体电解电容器阴极制造方法 | |
| JPH086160B2 (ja) | 円錐筒状部材の製造方法 | |
| JPH026412B2 (ja) | ||
| CH423559A (de) | Verfahren zur Herstellung von mit einer thermoplatischen Kunststoffschicht überzogenen Aluminiumgegenständen | |
| US1163659A (en) | Method of producing electric heaters. | |
| JP2733105B2 (ja) | 金属化フィルムコンデンサの製造方法 | |
| RU2021150C1 (ru) | Способ получения фольгированного полиимида | |
| JPS61263114A (ja) | 熱的に安定したプラスチツクフイルムキヤパシタの製造方法 | |
| JPH0387208A (ja) | セラミックス製品の製造方法 | |
| WO2023170110A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur herstellung von filamenten |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080210 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |