JPH0653915U - Optical reading type linear scale device - Google Patents
Optical reading type linear scale deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スケールを温度変化に追従して伸縮させて、
高精度の測定を可能にすることを目的とする。
【構成】 光学読取り式リニアスケールはスケール50
又は光学読取り部66を備えている。スケール50は測
定装置本体52又は移動体68のいずれか一方に設けら
れ、光学読取り部66は測定装置本体52又は移動体6
8のいずれか他方に設けられている。そして、光学読取
り部66でスケール50の目盛を読み取って、移動体6
8の移動量を検知する。この場合、スケール50は中央
部50Aが測定装置本体52又は移動体68のいずれか
一方に固定され、さらにスケールの左右側部が測定装置
本体52又は移動体66のいずれか一方に両面接着テー
プ64を介して接着されている。そして、両面接着テー
プ64でスケール50と測定装置本体52又は移動体6
8のいずれか一方との熱膨張差を吸収する。従って、ス
ケール50が温度変化に追従して伸縮する。
(57) [Summary] [Purpose] Expand and contract the scale by following the temperature changes.
The purpose is to enable highly accurate measurement. [Structure] Optical read linear scale is scale 50
Alternatively, the optical reading unit 66 is provided. The scale 50 is provided on either the measuring device main body 52 or the moving body 68, and the optical reading section 66 is provided on the measuring device main body 52 or the moving body 6.
8 is provided on the other side. Then, the scale of the scale 50 is read by the optical reading unit 66, and the moving body 6
The movement amount of 8 is detected. In this case, in the scale 50, the central portion 50A is fixed to either the measuring device main body 52 or the moving body 68, and the left and right side portions of the scale are attached to either the measuring device main body 52 or the moving body 66 by the double-sided adhesive tape 64. Are glued through. Then, with the double-sided adhesive tape 64, the scale 50 and the measuring device main body 52 or the moving body 6
The difference in thermal expansion with any one of No. 8 is absorbed. Therefore, the scale 50 expands and contracts following the temperature change.
Description
【0001】[0001]
この考案は、光学読取り式リニアスケール装置に係り、特に測定装置本体又は 移動体のいずれか一方の部材にスケールを設けると共に他方の部材に光学読取り 部を設けて光学読取り部でスケールの目盛を読み取って、移動体の移動量を検知 する光学読取り式リニアスケール装置に関する。 The present invention relates to an optical reading linear scale device, and in particular, a scale is provided on one member of a measuring device main body or a moving body and an optical reading unit is provided on the other member, and the scale of the scale is read by the optical reading unit. The present invention also relates to an optical reading type linear scale device that detects the amount of movement of a moving body.
【0002】[0002]
光学読取り式リニアスケール装置は測定装置に設けられていて、測定装置の触 針の移動量を検出するために使用される。すなわち、測定装置の本体には光学読 取り式リニアスケール装置のスケールが設けられていて、触針が設けられた移動 体には光学読取り部が設けられている。光学読取り部は、触針の移動中にスケー ルの目盛を読み取る。これにより、触針の移動の移動量が検知されて被測定物の 形状が測定される。 The optical read linear scale device is provided in the measuring device and is used to detect the amount of movement of the stylus of the measuring device. That is, the scale of the optical read type linear scale device is provided in the main body of the measuring device, and the optical reading unit is provided in the moving body provided with the stylus. The optical reading unit reads the scale scale while the stylus is moving. As a result, the amount of movement of the stylus is detected and the shape of the measured object is measured.
【0003】 さて、スケールと装置本体の材質が異なる場合、それぞれの熱伸縮率を同一に 設定することが困難である。そして、スケールと装置本体の熱伸縮率を同一に設 定することができない場合には、スケールと測定装置本体とをそれぞれ独立させ て熱伸縮させる必要がある。その方法としてゴム等弾性部材を介して測定装置本 体にスケールを取り付ける方法(図5、図6参照)、及び板ばねを介して測定装 置本体にスケールを取り付ける方法(図7、図8参照)が知られている。If the scale and the device body are made of different materials, it is difficult to set the thermal expansion and contraction rates of the respective materials to the same value. If the thermal expansion and contraction rates of the scale and the main body of the device cannot be set to be the same, the scale and the main body of the measurement device need to be expanded and contracted independently. As a method, a scale is attached to the main body of the measuring device via an elastic member such as rubber (see FIGS. 5 and 6), and a scale is attached to the main body of the measuring device via a leaf spring (see FIGS. 7 and 8). )It has been known.
【0004】 ゴム等弾性部材を介して測定装置本体にスケールを取り付ける方法は、図5に 示すようにスケール10がスペーサ12、12…を介してビス14、14…で測 定装置本体16に取り付けられている。そして、スケール10の中央部にはビス 14とスケール10間にスペーサ18が挟持されている。これにより、スケール 10の中央部は測定装置本体16に固定されている。また、その他の取付け部に おいてはワッシャ20とスケール10間にゴム等弾性部材22が挟持されている 。従って、スケール10及び測定装置本体16が熱伸縮した際にゴム等弾性部材 22が変形して、それぞれが独立して熱伸縮することができる。尚、図6上で2 4は光学読取り部であり、26は移動体である。As shown in FIG. 5, the scale 10 is attached to the measuring device main body 16 with the screws 14, 14 ... via the spacers 12, 12 ,. Has been. A spacer 18 is sandwiched between the screw 14 and the scale 10 at the center of the scale 10. As a result, the central portion of the scale 10 is fixed to the measuring device body 16. An elastic member 22 such as rubber is sandwiched between the washer 20 and the scale 10 at the other mounting portions. Therefore, when the scale 10 and the measuring device main body 16 are thermally expanded and contracted, the elastic member 22 such as rubber is deformed so that each of them can be thermally expanded and contracted independently. In FIG. 6, 24 is an optical reading unit and 26 is a moving body.
【0005】 また、板ばねを介して測定装置本体にスケールを取り付ける方法は、図7及び 図8に示すようにスケール10の中央部は押え板28でスペーサ30を介して測 定装置本体16に取り付け、その他の部分は長手方向に沿って板バネ29、29 …で押圧して測定装置本体16に取り付ける。この場合、板バネ29、29…の 押圧力は押え板28で直接スケール10を固定する場合の押圧力より小さくなる 。従って、スケール10は板バネ29、29…に対して摺動することができる。 このため、スケール10及び測定装置本体16はそれぞれが独立して熱伸縮する ことができる。尚、図7及び図8上で30はスペーサで、32はスペーサ30を 測定装置本体16に固定するビスである。Further, as shown in FIGS. 7 and 8, the method of attaching the scale to the measuring device main body via the leaf spring is as follows. The other parts are attached by pressing the leaf springs 29, 29 ... In this case, the pressing force of the leaf springs 29, 29 ... Is smaller than the pressing force when the scale 10 is directly fixed by the holding plate 28. Therefore, the scale 10 can slide with respect to the leaf springs 29, 29 ... For this reason, the scale 10 and the measuring device main body 16 can independently expand and contract by heat. 7 and 8, 30 is a spacer, and 32 is a screw for fixing the spacer 30 to the measuring device body 16.
【0006】[0006]
しかしながら、スケール10は測定装置本体16に確実に取り付けておく必要 があるので、ある程度の押圧力でスケール10を測定装置本体16に押し付ける 必要がある。従って、ゴム等弾性部材22の変形抵抗が大きくなり、板バネ29 の摩擦力が大きくなるので、スケール10及び測定装置本体16はそれぞれが独 立して熱伸縮することができない。これにより、スケール10及び測定装置本体 16に熱応力が発生するので、測定装置本体16が変形する場合や、スケール1 0の長さが温度変化に追従できない場合がある。従って、測定装置の測定精度が 低下するという問題がある。 However, since the scale 10 needs to be securely attached to the measuring device body 16, it is necessary to press the scale 10 against the measuring device body 16 with a certain pressing force. Therefore, since the elastic member 22 such as rubber has a large deformation resistance and the leaf spring 29 has a large frictional force, the scale 10 and the measuring device main body 16 cannot independently expand and contract by heat. As a result, thermal stress is generated in the scale 10 and the measuring device body 16, so that the measuring device body 16 may be deformed or the length of the scale 10 may not be able to follow the temperature change. Therefore, there is a problem that the measurement accuracy of the measuring device is reduced.
【0007】 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、高精度の測定が可能な光学 読取り式リニアスケール装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide an optical reading type linear scale device capable of highly accurate measurement.
【0008】[0008]
本考案は、前記目的を達成する為に、測定装置本体又は移動体のいずれか一方 の部材にスケールを設けると共に他方の部材に光学読取り部を設けて光学読取り 部でスケールの目盛を読み取って、移動体の移動量を検知する光学読取り式リニ アスケールにおいて、スケールの中央部を前記一方の部材に固定すると共にスケ ールの左右側部を前記一方の部材に熱伸縮差を吸収する両面付着部材を介して接 着することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a scale on one member of a measuring device main body or a moving body and an optical reading unit on the other member, and reads the scale of the scale by the optical reading unit. In an optical-reading linear scale that detects the amount of movement of a moving body, the center part of the scale is fixed to the one member, and the left and right side parts of the scale are attached to the one member on both sides to absorb the difference in thermal expansion and contraction. It is characterized by being attached via a member.
【0009】[0009]
本考案によれば、光学読取り式リニアスケールはスケール及び光学読取り部を 備えている。スケールは測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材に設けら れ、光学読取り部は測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材に設けられて いる。そして、光学読取り部でスケールの目盛を読み取って、移動体の移動量を 検知する。 According to the present invention, an optical read linear scale comprises a scale and an optical read section. The scale is provided on either one of the measuring device main body and the moving body, and the optical reading unit is provided on one of the measuring device main body and the moving body. Then, the scale of the scale is read by the optical reading unit to detect the moving amount of the moving body.
【0010】 この場合、スケールは中央部が測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材 に固定され、さらにスケールの左右側部が測定装置本体又は移動体のいずれか一 方の部材に両面付着部材を介して接着されている。そして、両面付着部材でスケ ールと測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材との熱伸縮差を吸収する。 従って、スケールと測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材とに熱伸縮 差がある場合でも、スケールが温度変化に追従して伸縮することができ、測定装 置本体の変形を防止することができるので、高精度の測定が可能となる。In this case, the central part of the scale is fixed to one of the measuring device main body and the moving body, and the left and right side parts of the scale are attached to both the measuring device main body and the moving body on both sides. It is adhered via a member. Then, the double-sided adhesive member absorbs the difference in thermal expansion and contraction between the scale and one of the measuring device main body and the movable body. Therefore, even if there is a thermal expansion / contraction difference between the scale and one of the measuring device main body and the moving body, the scale can expand and contract following the temperature change, preventing the deformation of the measuring device main body. As a result, high precision measurement is possible.
【0011】[0011]
以下添付図面に従って本考案に係る光学読取り式リニアスケール装置について 詳説する。図1は本考案に係る光学読取り式リニアスケール装置の正面図、図2 は要部拡大図、図3及び図4はそれぞれ図1のA−A断面図及びB−B断面図で ある。 An optical reading linear scale device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a front view of an optical reading type linear scale device according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged view of a main part, and FIGS. 3 and 4 are AA sectional views and BB sectional views of FIG. 1, respectively.
【0012】 図1に示すように光学読取り式リニアスケール装置のスケール50は中央部5 0Aが装置本体52に固定されている。すなわち、図4に示すように押え板54 は脚部と押部を有していて、それぞれビス56、56を介して下方に押しつけら れている。従って、押え板54の脚部が固定スペーサ58を押圧して、押部がス ケール50の中央部50Aを押圧している。これにより、スケール50の中央部 50Aは押え板54、54を介して固定スペーサ58に固定されている。固定ス ペーサ58はビス60、60を介して装置本体52に固定されているので、スケ ール50の中央部50Aは装置本体52に固定されている。As shown in FIG. 1, the scale 50 of the optical reading type linear scale device has a central portion 50 A fixed to a main body 52 of the device. That is, as shown in FIG. 4, the holding plate 54 has a leg portion and a pushing portion and is pressed downward through the screws 56, 56, respectively. Therefore, the leg portion of the pressing plate 54 presses the fixed spacer 58, and the pressing portion presses the central portion 50A of the scale 50. As a result, the central portion 50A of the scale 50 is fixed to the fixed spacer 58 via the pressing plates 54, 54. Since the fixed spacer 58 is fixed to the apparatus body 52 via the screws 60, 60, the central portion 50A of the scale 50 is fixed to the apparatus body 52.
【0013】 スケール50の中央部50Aからスケール50の長手方向に一定間隔をおいて スペーサ62、62…がそれぞれビス63、63…(図3参照)を介して装置本 体52に固定されている。スペーサ62、62…にはそれぞれ両面接着テープ6 4、64…の下面が接着されていて、両面接着テープ64、64…の上面はスケ ール50に接着されている。Spacers 62, 62, ... Are fixed to the apparatus main body 52 via screws 63, 63, ... (See FIG. 3) at regular intervals in the longitudinal direction of the scale 50 from the central portion 50A of the scale 50. . The lower surfaces of the double-sided adhesive tapes 64, 64 ... Are adhered to the spacers 62, 62, ..., And the upper surfaces of the double-sided adhesive tapes 64, 64 ... Are adhered to the scale 50.
【0014】 また、両面接着テープ64は図2に示すように中央にスポンジ等の弾性部材6 4Aを有していて、弾性部材64Aの両面には接着部64B、64Cが設けられ ている。弾性部材64Aは剪断抵抗が十分に小さく(すなわち、弾性部材64A の変形抵抗が無視できる程度に小さく)設定されていて、かつ、耐熱性に優れて いる。また、接着部64B、64Cの接着力はスケール50の質量を支持するこ とができるように設定されていて、かつ、耐熱性に優れている。As shown in FIG. 2, the double-sided adhesive tape 64 has an elastic member 64A such as a sponge in the center, and adhesive portions 64B and 64C are provided on both surfaces of the elastic member 64A. The elastic member 64A is set to have a sufficiently low shear resistance (that is, the deformation resistance of the elastic member 64A is so small as to be negligible) and has excellent heat resistance. Further, the adhesive strength of the adhesive parts 64B and 64C is set so as to support the mass of the scale 50, and is excellent in heat resistance.
【0015】 従って、スケール50は長手方向に一定間隔をおいて装置本体52に接着支持 されて、さらに、スケール50及び測定装置本体52が熱伸縮した際に弾性部材 64Aが変形してそれぞれが独立して熱伸縮する。 尚、図1上で66は光学読取り部であり、68は移動体である。 前記の如く構成された本考案に係る光学読取り式リニアスケール装置の作用に ついて説明する。Therefore, the scale 50 is adhered to and supported by the device main body 52 at regular intervals in the longitudinal direction, and further, when the scale 50 and the measuring device main body 52 are thermally expanded and contracted, the elastic member 64A is deformed to be independent from each other. And expand and contract with heat. In FIG. 1, 66 is an optical reading unit and 68 is a moving body. The operation of the optical read linear scale device according to the present invention constructed as above will be described.
【0016】 スケール50の熱伸縮量が測定装置本体52の熱伸縮量より大きい場合につい て説明する。スケール50の中央部50Aが装置本体52に固定されているので 、スケール50は中央部50Aから両側に振り分けられて熱伸縮する。この場合 、スケール50は測定装置本体52より熱伸縮量が大きいので、スケール50と 測定装置本体52とにズレが生じる。しかしながら、スケール50は一定間隔を おいて装置本体52に両面接着テープ64、64…で接着されているので、スケ ール50と測定装置本体52とのズレは両面接着テープ64、64…の弾性部材 64Aの変形で吸収される。従って、スケール50は測定装置本体52に拘束さ れずに伸長する。A case where the thermal expansion / contraction amount of the scale 50 is larger than the thermal expansion / contraction amount of the measuring device main body 52 will be described. Since the central portion 50A of the scale 50 is fixed to the apparatus main body 52, the scale 50 is distributed to both sides from the central portion 50A and thermally expands and contracts. In this case, since the scale 50 has a larger amount of thermal expansion and contraction than the measuring device main body 52, a deviation occurs between the scale 50 and the measuring device main body 52. However, since the scale 50 is adhered to the device main body 52 at regular intervals with the double-sided adhesive tape 64, 64, ..., The deviation between the scale 50 and the measuring device main body 52 is due to the elasticity of the double-sided adhesive tapes 64, 64. It is absorbed by the deformation of the member 64A. Therefore, the scale 50 extends without being constrained by the measuring device main body 52.
【0017】 以上、スケール50の熱伸縮量が測定装置本体52の熱伸縮量より大きい場合 について説明したが、スケール50の熱伸縮量が測定装置本体52の熱伸縮量よ り小さい場合についても同様の効果を奏することができる。すなわち、スケール 50の熱伸縮量が測定装置本体52の熱伸縮量より小さい場合、スケール50は 測定装置本体52に拘束されずに収縮する。The case where the thermal expansion / contraction amount of the scale 50 is larger than the thermal expansion / contraction amount of the measuring device main body 52 has been described above. The same applies to the case where the thermal expansion / contraction amount of the scale 50 is smaller than the thermal expansion / contraction amount of the measuring device main body 52. The effect of can be produced. That is, when the thermal expansion / contraction amount of the scale 50 is smaller than the thermal expansion / contraction amount of the measuring device main body 52, the scale 50 contracts without being restricted by the measuring device main body 52.
【0018】[0018]
以上説明したように本考案に係る光学読取り式リニアスケール装置によれば、 スケールは中央部が測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材に固定され、 さらにスケールの左右側部が測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材に両 面付着部材を介して接着されている。そして、両面付着部材でスケールと測定装 置本体又は移動体のいずれか一方の部材との熱伸縮差を吸収する。 As described above, according to the optical-reading linear scale device of the present invention, the center portion of the scale is fixed to one of the measuring device body and the movable body, and the left and right side parts of the scale are the measuring device body. Alternatively, it is adhered to either one of the members of the moving body via the two-sided attachment member. Then, the double-sided adhesive member absorbs the difference in thermal expansion and contraction between the scale and one of the measuring device main body and the moving body.
【0019】 これにより、スケールと測定装置本体とに熱伸縮差がある場合でも、スケール が温度変化に追従して伸縮することができるので、スケールの温度補正が正確に できるとともに、測定装置本体又は移動体のいずれか一方の部材の変形を防止す ることができる。従って、高精度の測定が可能になる。 なお実施例では、スケールはスペーサを介して測定装置本体又は移動体のいず れか一方の部材に取り付けられているので、スケールの読取り値を調整するため にスケールの傾きを調整することができ、さらに、スケールの交換を容易に行う ことができるが、スペーサを介さずスケールを測定装置本体又は移動体のいずれ か一方の部材に直接取り付けることも可能である。Accordingly, even if there is a thermal expansion / contraction difference between the scale and the measuring device body, the scale can expand and contract following the temperature change, so that the temperature of the scale can be accurately corrected and the measuring device body or It is possible to prevent the deformation of one of the members of the moving body. Therefore, highly accurate measurement is possible. In the embodiment, since the scale is attached to either one of the main body of the measuring device or the movable body via the spacer, the inclination of the scale can be adjusted to adjust the reading value of the scale. Further, the scale can be easily replaced, but the scale can be directly attached to either one of the measuring device main body and the moving body without a spacer.
【図1】本考案に係る光学読取り式リニアスケール装置
の側面図FIG. 1 is a side view of an optical reading linear scale device according to the present invention.
【図2】本考案に係る光学読取り式リニアスケール装置
の要部拡大図FIG. 2 is an enlarged view of a main part of an optical reading linear scale device according to the present invention.
【図3】図1のA−A断面図3 is a sectional view taken along the line AA of FIG.
【図4】図1のB−B断面図4 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【図5】従来の光学読取り式リニアスケール装置の側面
図FIG. 5 is a side view of a conventional optical reading type linear scale device.
【図6】図5のA−A断面図6 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図7】従来の光学読取り式リニアスケール装置の他の
実施例の中央部断面図FIG. 7 is a sectional view of a central portion of another embodiment of a conventional optical reading type linear scale device.
【図8】従来の光学読取り式リニアスケール装置の他の
実施例の左右側部断面図FIG. 8 is a left and right side sectional view of another embodiment of the conventional optical reading type linear scale device.
50…スケール 50A…スケールの中央部 52…測定装置本体 64…両面接着テープ(両面付着部材) 66…光学読取り部 68…移動体 50 ... Scale 50A ... Central part of scale 52 ... Measuring device main body 64 ... Double-sided adhesive tape (double-sided adhesive member) 66 ... Optical reading unit 68 ... Moving body
Claims (1)
の部材にスケールを設けると共に他方の部材に光学読取
り部を設けて光学読取り部でスケールの目盛を読み取っ
て、移動体の移動量を検知する光学読取り式リニアスケ
ールにおいて、 スケールの中央部を前記一方の部材に固定すると共にス
ケールの左右側部を前記一方の部材に熱伸縮差を吸収す
る両面付着部材を介して接着することを特徴とする光学
読取り式リニアスケール装置。1. A scale is provided on one of the measuring device main body and the moving body, and an optical reading unit is provided on the other member, and the scale of the scale is read by the optical reading unit to detect the moving amount of the moving body. In the optical reading linear scale, the central portion of the scale is fixed to the one member, and the left and right side portions of the scale are bonded to the one member via double-sided adhesive members that absorb thermal expansion difference. Optical reading type linear scale device.
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JP2550316Y2 JP2550316Y2 (en) | 1997-10-08 |
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- 1992-12-28 JP JP1992089208U patent/JP2550316Y2/en not_active Expired - Fee Related
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