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JPH06223905A - Micropin package - Google Patents

Micropin package

Info

Publication number
JPH06223905A
JPH06223905A JP4357643A JP35764392A JPH06223905A JP H06223905 A JPH06223905 A JP H06223905A JP 4357643 A JP4357643 A JP 4357643A JP 35764392 A JP35764392 A JP 35764392A JP H06223905 A JPH06223905 A JP H06223905A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
micropin
guide
micro
bottom plate
aligned
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4357643A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Tsukiyama
昭 築山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Augat Inc
Original Assignee
Augat Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Augat Inc filed Critical Augat Inc
Priority to JP4357643A priority Critical patent/JPH06223905A/en
Publication of JPH06223905A publication Critical patent/JPH06223905A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components

Landscapes

  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Multi-Conductor Connections (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a micro-pin package by which the number of input and output lines between an LSI chip, etc. and a substrate can remarkably be increased. CONSTITUTION: This micro-pin package is composed of a plurality of micro-pin sheets, each of which is produced by uniting a carrier 19, a plurality of micro- pins 12, a pair of supporting posts, and a supporting frame 20 which supports the micro-pin sheets 10 arranged at prescribed intervals. The supporting frame 20 is composed of a bottom plate 21 having a rectangular aperture 21a and a plurality of guide plates 25 layered on the bottom plates and a plurality of guide grooves 25b are formed in opposed two sides of the rectangular apertures 25a of the guide plates 25 to give a plurality of continuous guide grooves 25b connected vertically to one another. Supporting posts 11 are inserted into the guide grooves 25b and micro-pin sheets 10 are installed. The micro-pins 12 are supported on the supporting frame 20 while being arranged in an array state.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、IC,LSIチップ等
の電子部品をプリント基板等に実装するときに用いられ
るマイクロピンパッケージに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micropin package used for mounting electronic parts such as IC and LSI chips on a printed circuit board or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来におけるこのような電子部品の基板
への実装方式としては、図13(A)に示すように、基
板Bの端子Pとこの上に載置された電子部品Eの端子部
とを金線Wにより接続させる方式(Wire Bonding)が一般
的に良く知られている。また最近においては、TAB(T
ape Automated Bonding)方式と称される実装方式も実用
化されている。この方式は、図13(B)に示すよう
に、基板Pの端子Pと電子部品Eの端子部とをフィルム
リードFにより接続させるようになっている。上記いず
れの方式の場合も、IC,LSIチップ等(電子部品)
と基板との接続は、これらチップの4つの周縁部におい
て行われるものである。このため、これら入出力ライン
の数(金線の数もしくはリードの数)はチップの周縁長
さに対応し、配設できる入出力ラインの最大数はチップ
の周縁長さによって定まる。
2. Description of the Related Art As a conventional mounting method of such an electronic component on a substrate, as shown in FIG. 13 (A), a terminal P of a substrate B and a terminal portion of an electronic component E mounted thereon are provided. A method (Wire Bonding) in which the and are connected by a gold wire W is generally well known. Recently, TAB (T
A mounting method called ape Automated Bonding method has also been put into practical use. In this method, as shown in FIG. 13B, the terminal P of the substrate P and the terminal portion of the electronic component E are connected by a film lead F. In any of the above methods, IC, LSI chip, etc. (electronic parts)
The connection between the substrate and the substrate is made at the four peripheral portions of these chips. Therefore, the number of these input / output lines (the number of gold wires or the number of leads) corresponds to the peripheral length of the chip, and the maximum number of input / output lines that can be arranged is determined by the peripheral length of the chip.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近におい
てLSIチップ等の集積化は飛躍的に進んでおり、これ
に応じてチップと基板とを接続する入出力ラインの必要
数も増加する傾向にある。このため、上記のような従来
のワイヤボンディング方式や、TAB方式では入出力ラ
イン数が不足するという問題が生じるようになってきて
いる。
By the way, recently, the integration of LSI chips and the like has been dramatically advanced, and the number of input / output lines for connecting the chip and the substrate tends to increase accordingly. . Therefore, the conventional wire bonding method and TAB method as described above have a problem that the number of input / output lines is insufficient.

【0004】本発明はこのような問題に鑑みたもので、
電子部品(IC,LSIチップ等)と基板との入出力ラ
イン数を飛躍的に増加させることが可能なマイクロピン
パッケージを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of these problems.
It is an object of the present invention to provide a micropin package capable of dramatically increasing the number of input / output lines between an electronic component (IC, LSI chip, etc.) and a substrate.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このような目的達成のた
め、本発明に係るマイクロピンパッケージは、導電性金
属板の切断加工により作られて幅方向に延びるキャリア
部、このキャリア部の側端部から同一方向に整列状態で
延びた複数のマイクロピン部およびこれらマイクロピン
部の両側に位置してこれらと同一方向に延びた左右一対
の支持ポスト部を一体に有してなるマイクロピンシート
と、このマイクロピンシートを、マイクロピン部を同一
方向に向けて整列させるとともに厚さ方向に所定間隔を
おいて複数枚並べた状態で支持する支持フレームとから
構成される。なお、各マイクロピンの先端にはハンダロ
ウが付着形成される。
In order to achieve such an object, a micropin package according to the present invention is provided with a carrier portion formed by cutting a conductive metal plate and extending in the width direction, and a side end of the carrier portion. A plurality of micropin portions extending in the same direction in an aligned state from each other, and a pair of left and right support post portions that are located on both sides of the micropin portions and extend in the same direction as these, as a unit. A supporting frame for supporting the micropin sheet in a state where a plurality of micropin portions are aligned in the same direction and a plurality of micropin sheets are arranged at predetermined intervals in the thickness direction. Solder solder is attached and formed on the tip of each micro pin.

【0006】さらに、この支持フレームは、同一方向に
向いて整列した状態のマイクロピン部と対向する矩形状
開口を有したボトムプレートと、このボトムプレートの
上に重ねられた複数枚のガイドプレートとから構成され
る。各ガイドプレートにはボトムプレートの矩形状開口
と同一の矩形状開口が形成されるとともにこれら矩形状
開口が上下に一致して重なるようにボトムプレートの上
にガイドプレートが重ねられるとともに互いに接合され
る。各ガイドプレートの矩形状開口の対向する二辺に
は、マイクロピンシートの整列間隔、すなわち、上記所
定間隔と同一のピッチで複数のガイド溝が形成されてお
り、ガイドプレートがボトムプレートの上に重ねられて
接合された状態で、上下に繋がったガイド溝が形成され
る。そして、このガイド溝に支持ポスト部を挿入して支
持フレームにマイクロピンシートが取り付けられ、マイ
クロピン部がアレイ状に整列した状態で支持フレームに
より支持されるように構成されている。
Further, the support frame includes a bottom plate having a rectangular opening facing the micropin portions aligned in the same direction, and a plurality of guide plates stacked on the bottom plate. Composed of. A rectangular opening identical to the rectangular opening of the bottom plate is formed in each guide plate, and the guide plates are overlapped and joined to each other so that these rectangular openings are vertically aligned and overlapped. . On each of two opposite sides of the rectangular opening of each guide plate, a plurality of guide grooves are formed at an alignment interval of the micropin sheets, that is, at the same pitch as the above-mentioned predetermined interval, and the guide plate is placed on the bottom plate. A guide groove that is vertically connected is formed in a state where the guide grooves are overlapped and joined. The support post portion is inserted into the guide groove, the micropin sheet is attached to the support frame, and the micropin portion is supported by the support frame in a state of being aligned in an array.

【0007】[0007]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の好ましい実施
例について説明する。本発明に係るマイクロピンパッケ
ージ1を図1に示している。このマイクロピンパッケー
ジ1は、矩形枠状の支持フレーム20と、この支持フレ
ーム20により厚さ方向に並んで整列状態で支持された
複数のマイクロピンシート10とから構成される。この
ように整列支持されたマイクロピンシート10のマイク
ロピン12の先端部12aにはハンダロウが付着形成さ
れている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. A micropin package 1 according to the present invention is shown in FIG. The micropin package 1 includes a support frame 20 having a rectangular frame shape and a plurality of micropin sheets 10 supported by the support frame 20 side by side in the thickness direction in an aligned state. Solder solder is adhered to the tips 12a of the micro pins 12 of the micro pin sheet 10 aligned and supported in this manner.

【0008】支持フレーム20は、矩形状開口21aを
有した矩形枠状に形成された所定厚さのボトムプレート
21と、このボトムプレート21の上に重ねて接合され
た複数枚の薄板からなる支持プレート25とから構成さ
れ、ボトムプレート20からはガイドピン22が突出し
ている。なお、各支持プレート25もボトムプレート2
5と同一の矩形状開口が形成されて、矩形枠状に形成さ
れている。
The support frame 20 is composed of a bottom plate 21 having a rectangular frame-like shape having a rectangular opening 21a and having a predetermined thickness, and a plurality of thin plates superposed on and joined to the bottom plate 21. A guide pin 22 projects from the bottom plate 20. In addition, each support plate 25 is also the bottom plate 2
The same rectangular opening as 5 is formed to have a rectangular frame shape.

【0009】マイクロピンシート10は、導電性金属板
を切断加工して作られる。この加工は、図2に示すよう
に、金属板Sを切断加工し、それぞれ上下両側に形成さ
れたキャリア部19に繋がって支持された一対の支持ポ
スト11と多数のマイクロピン12とからなる複数のシ
ートMSを形成する。この金属板Sとしては、例えば、
Fe−Ni−Co合金の板材が用いられる。各シートM
Sにおいては、図3に拡大して示すように、左右両端に
支持ポスト11が位置するとともにこれら支持ポストの
間に等ピッチで整列してマイクロピン12が形成され
る。これら、支持ポスト11およびマイクロピン12は
両端部がそれぞれキャリア部19に繋がっている。な
お、キャリア部19には左右両側にガイド孔15が形成
されている。また、キャリア部19は左右両側において
隣のキャリア部19に繋がる。
The micropin sheet 10 is made by cutting a conductive metal plate. As shown in FIG. 2, this processing is performed by cutting a metal plate S, and a plurality of supporting posts 11 and a plurality of micropins 12 are connected to and supported by carrier portions 19 formed on both upper and lower sides. Sheet MS is formed. As the metal plate S, for example,
A plate material of Fe-Ni-Co alloy is used. Each sheet M
In S, as shown in an enlarged manner in FIG. 3, the support posts 11 are located at both left and right ends, and the micro pins 12 are formed between these support posts at equal pitches. Both ends of the support post 11 and the micro pin 12 are connected to the carrier portion 19. The carrier portion 19 has guide holes 15 formed on both left and right sides. Further, the carrier portion 19 is connected to the adjacent carrier portion 19 on both left and right sides.

【0010】このマイクロピン12はIC,LSIチッ
プ等と基板との接続に用いられるものであり非常に小さ
なものである。例えば、各マイクロピン12の長さは
1.05mm、径0.06mm、ピンピッチ0.2mmであ
り、金属板Sの板厚は0.06mmである。このため、機
械的な切断加工では正確な加工を行えず、レーザービー
ム、電子ビーム等による切断加工が行われる。図2に示
す切断加工が完了すると、2.5μmの厚さのニッケル
下地メッキおよび0.5μmの金メッキが施される。
The micro pin 12 is used for connecting an IC, an LSI chip and the like to a substrate and is very small. For example, the length of each micro pin 12 is 1.05 mm, the diameter is 0.06 mm, the pin pitch is 0.2 mm, and the plate thickness of the metal plate S is 0.06 mm. Therefore, the mechanical cutting process cannot be performed accurately, and the cutting process is performed using a laser beam, an electron beam, or the like. When the cutting process shown in FIG. 2 is completed, a nickel undercoat having a thickness of 2.5 μm and a gold plating having a thickness of 0.5 μm are applied.

【0011】次に、図3に示す第1カットラインCL1
に沿ってこの金属板Sが切断され、上下からキャリア部
19により支持されるとともに左右に連続して繋がるメ
タルシートMSに分割される。さらに、第2カットライ
ンCL2に沿って一方のキャリア部19が切り離され、
図4に示すように、幅方向(左右方向)に延びるキャリ
ア部19の上端部から上方向に延びた支持ポスト11お
よびマイクロピン12を整列状態で一体に有してなるマ
イクロピンシート10が形成される。この状態では、複
数のマイクロピンシート10がキャリア部19において
繋がり左右に連続して繋がった状態となっているが、パ
ッケージ組立時には各シート10毎に切り離される。な
お、上記カットラインCL1,CL2に沿った切断は切
断工具を用いて機械的に行われたり、レーザービーム、
電子ビーム等により行われたりする。但し、金属板Sの
表面および裏面にカットラインCL1,CL2に沿って
予め溝を形成しておき、この溝において折り曲げて切断
するようにしても良い。なお、このとき同時に、下記に
示すように支持ロッド11は所定寸法となるようにカッ
トされる。
Next, the first cut line CL1 shown in FIG.
This metal plate S is cut along and is divided into metal sheets MS which are supported by the carrier portion 19 from above and below and are continuously connected to the left and right. Further, one carrier portion 19 is cut off along the second cut line CL2,
As shown in FIG. 4, a micropin sheet 10 is formed which integrally has a support post 11 and a micropin 12 extending upward from an upper end of a carrier portion 19 extending in the width direction (horizontal direction) in an aligned state. To be done. In this state, the plurality of micropin sheets 10 are connected to each other in the carrier portion 19 and continuously connected to the left and right, but each of the sheets 10 is separated during package assembly. The cutting along the cut lines CL1 and CL2 is performed mechanically by using a cutting tool, a laser beam,
It is performed by an electron beam or the like. However, a groove may be formed in advance on the front surface and the back surface of the metal plate S along the cut lines CL1 and CL2, and the metal plate S may be bent and cut at the groove. At this time, at the same time, the support rod 11 is cut into a predetermined size as shown below.

【0012】このように形成されたマイクロピンシート
10における各マイクロピン12の先端12aに、図4
に示すように、ロウ材ワイヤ14のロウを超音波、電磁
波等により溶かしてハンダロウ13をそれぞれ付着形成
させる。このハンダロウ13の付着形成方法はこれに限
られるものではなく、ハンダペーストの印刷により形成
してもよい。
The tip 12a of each micropin 12 in the micropin sheet 10 formed in this manner is attached to the tip of FIG.
As shown in FIG. 5, the solder of the brazing material wire 14 is melted by ultrasonic waves, electromagnetic waves, etc., and the soldering solder 13 is attached and formed. The method for depositing and forming the solder solder 13 is not limited to this, and may be formed by printing solder paste.

【0013】一方、支持プレーム20は、矩形状開口2
1aを有した矩形枠状のボトムプレート21の上に、同
一矩形状開口25aを有した複数枚の金属薄板からなる
ガイドプレート25が、図7に示すように、矩形状開口
21a,25aが上下に揃って位置するようにして重ね
られるとともに熱圧着接合されて作られている。このよ
うに金属薄板からなるガイドプレート25を重ねること
により、1種類のガイドプレート25を用いるだけで、
このガイドプレート25の全体高さを任意の高さに調節
することが容易である。
On the other hand, the support frame 20 has a rectangular opening 2
On the bottom plate 21 having a rectangular frame shape having 1a, a guide plate 25 made of a plurality of thin metal plates having the same rectangular opening 25a is provided, as shown in FIG. It is made by stacking and thermocompression bonding so that they are aligned with each other. By stacking the guide plates 25 made of thin metal plates in this way, using only one type of guide plate 25,
It is easy to adjust the overall height of the guide plate 25 to an arbitrary height.

【0014】各ガイドプレート25には、その矩形状開
口25aを形成する4辺のうちの対向する二辺に所定間
隔で複数のガイド溝25bが形成されている(図7、図
5参照)。このガイド溝25bは全ガイドプレート25
において同一位置に同一形状で形成されており、ガイド
プレート25がボトムプレート21の上に重ねられた状
態で、各溝25bが重なってそれぞれ1つの溝を形成す
る。これにより、複数枚重ねられた状態のガイドプレー
ト25の矩形状開口25aにおける対向する二辺には、
上下の延びる複数の溝25bが形成される。
Each guide plate 25 has a plurality of guide grooves 25b formed at predetermined intervals on two opposing sides of the four sides forming the rectangular opening 25a (see FIGS. 7 and 5). This guide groove 25b is used for all guide plates 25.
In the state where the guide plate 25 is formed in the same position with the same shape, and the guide plate 25 is superposed on the bottom plate 21, the respective grooves 25b are overlapped with each other to form one groove. As a result, the two opposite sides of the rectangular opening 25a of the guide plate 25 in a state where a plurality of sheets are stacked are
A plurality of vertically extending grooves 25b are formed.

【0015】なお、これらガイド溝25bは非常に正確
に形成する必要があるため、エッチング加工もしくはレ
ーザービーム、電子ビーム加工等により形成される。各
ガイド溝25bは、マイクロピンシート10における支
持ポスト11の断面と同一形状に形成されており、図7
に示すように、各ガイド溝25b内に支持ポスト11が
ぴったり嵌入させることができるようになっている。
Since these guide grooves 25b need to be formed very accurately, they are formed by etching, laser beam, electron beam processing or the like. Each of the guide grooves 25b is formed in the same shape as the cross section of the support post 11 in the micropin sheet 10, as shown in FIG.
As shown in, the support posts 11 can be fitted exactly in the respective guide grooves 25b.

【0016】このようにして、複数のマイクロピンシー
ト10および支持フレーム20が作られると、次に、図
5および図6に示す接合装置30を用いて、複数のマイ
クロピンシート10を順次、支持フレーム20の上にロ
ウ付けして取り付ける。この接合装置30は、支持ベー
ス台31と、この支持ベース31の上にローラ36を介
して水平移動自在に配設された水平移動台35と、この
水平移動台35を水平(矢印B方向)移動させる水平移
動機構37と、マイクロピンシート10を保持し、これ
の供給を行うシート供給装置38とを備える。
When the plurality of micropin sheets 10 and the support frame 20 are manufactured in this manner, the plurality of micropin sheets 10 are then sequentially supported by using the joining device 30 shown in FIGS. 5 and 6. It is attached by brazing on the frame 20. The joining device 30 includes a support base 31, a horizontal mover 35 provided on the support base 31 so as to be horizontally movable via rollers 36, and the horizontal mover 35 is horizontal (direction of arrow B). A horizontal moving mechanism 37 for moving and a sheet feeding device 38 for holding the micro pin sheet 10 and feeding the micro pin sheet 10 are provided.

【0017】まず、図6に示すように、水平移動第35
の上に支持フレーム20を取り付け、次に、シート供給
装置38によりマイクロピンシート10を1個ずつ挟持
してこれを支持フレーム20の上に取り付ける。このと
き、マイクロピンシート10の左右一対の支持ポスト1
1を支持フレーム20の左右対向するガイド溝25b内
に嵌入させるようにして取り付ける。
First, as shown in FIG.
The support frame 20 is mounted on the support frame 20, and the micro pin sheets 10 are sandwiched by the sheet supply device 38 one by one, and the micro pin sheets 10 are mounted on the support frame 20. At this time, the pair of left and right support posts 1 of the micropin sheet 10
1 is fitted into the guide grooves 25b of the support frame 20 which are opposed to each other on the left and the right.

【0018】これにより、図7および図8に示すよう
に、支持ポスト11をガイド溝25b内に嵌入させた状
態で、マイクロピンシート10が支持フレーム20に取
り付けられ、所定位置に位置決めされて取り付けられ
る。このとき、支持ポスト11の下端面がガイド溝25
bの底面をなすボトムプレート21の上面に当接し、上
下方向に位置決めもなされる。そして、支持ポスト11
の下端面がボトムプレート21の上面にロウ付けされて
マイクロピンシート10が支持フレーム20に固定され
る。
As a result, as shown in FIGS. 7 and 8, the micropin sheet 10 is attached to the support frame 20 in a state where the support post 11 is fitted in the guide groove 25b, and the micropin sheet 10 is positioned and attached at a predetermined position. To be At this time, the lower end surface of the support post 11 is guided by the guide groove 25.
It comes into contact with the upper surface of the bottom plate 21 forming the bottom surface of b, and is also positioned in the vertical direction. And the support post 11
The lower end surface of the micro pin sheet 10 is brazed to the upper surface of the bottom plate 21, and the micro pin sheet 10 is fixed to the support frame 20.

【0019】なお、上記のように、ガイド溝25bは所
定間隔をおいて等間隔で形成されており、上記のように
してマイクロピンシート10を順次取り付ける、マイク
ロピンシート10は厚さ方向に所定間隔をおいて整列し
て支持フレーム20に取り付けられる。また、ガイドプ
レート25の高さが支持ポスト11の切り欠き11aの
位置と一致する高さに設定されている。
As described above, the guide grooves 25b are formed at regular intervals and at equal intervals, and the micropin sheets 10 are sequentially attached as described above. The micropin sheets 10 are predetermined in the thickness direction. It is attached to the support frame 20 in line with a space. Further, the height of the guide plate 25 is set so as to match the position of the notch 11a of the support post 11.

【0020】なお、支持ベース31には、マイクロピン
シート10のガイド孔15の間隔と同一ピッチで水平に
延びる一対のガイドロッド32が取り付けられている。
このため、上記のようにして支持フレーム20にガイド
溝25bにより位置決めされてマイクロピンシート10
が取り付けられると、水平移動機構35により水平移動
第35が移動され、ガイド孔15内にガイドロッド32
の先端32aが挿入され、ガイドロッド32によりマイ
クロピンシート10が支持される。このようにして、全
てのガイド溝25b内にマイクロピンシート10を嵌入
させて取り付けると、マイクロピンパッケージ1の組立
が完了する。
The support base 31 is provided with a pair of guide rods 32 extending horizontally at the same pitch as the distance between the guide holes 15 of the micropin sheet 10.
Therefore, the micro pin sheet 10 is positioned in the support frame 20 by the guide groove 25b as described above.
Is attached, the horizontal movement mechanism 35 moves the horizontal movement No. 35 to guide the guide rod 32 into the guide hole 15.
The tip 32 a of the micropin sheet 10 is inserted, and the microrod sheet 10 is supported by the guide rod 32. In this way, when the micropin sheet 10 is fitted and attached in all the guide grooves 25b, the assembly of the micropin package 1 is completed.

【0021】このようにして製造されたマイクロピンパ
ッケージ1の使用方法について簡単に説明する。このマ
イクロピンパッケージ1の各マイクロピン12がその先
端12aのハンダロウ13を用いてLSIチップ50の
裏面の端子に直接接続される。この接続のため、図9に
示すような、LSIチップ50を載置するチップ保持溝
41と、支持フレーム20のガイドピン22を受容する
ガイド孔42とが形成された取付治具40が用いられ
る。
A method of using the micropin package 1 manufactured in this way will be briefly described. Each micro pin 12 of the micro pin package 1 is directly connected to the terminal on the back surface of the LSI chip 50 by using the solder solder 13 at the tip 12a thereof. For this connection, a mounting jig 40 having a chip holding groove 41 for mounting the LSI chip 50 and a guide hole 42 for receiving the guide pin 22 of the support frame 20 as shown in FIG. 9 is used. .

【0022】図示のように、LSIチップ50をチップ
保持溝41内に載置した後、ガイドピン22をガイド孔
42内に挿入させてマイクロピンパッケージ1を取付治
具40の上に取り付けると、各マイクロピン12の先端
がLSIチップ50の表面に当接する。なお、LSIチ
ップ50にはこのマイクロピン12が当接する箇所にそ
れぞれ入出力端子が形成されている。このように各マイ
クロピン12の先端がLSIチップ50の入出力端子と
当接した状態で、全体が加熱炉内で加熱され、マイクロ
ピン12の先端のロウ13を溶かしてこのロウ13によ
り各マイクロピン12をチップ50の表面に接合させ
る。
As shown in the figure, after the LSI chip 50 is placed in the chip holding groove 41, the guide pin 22 is inserted into the guide hole 42 and the micropin package 1 is mounted on the mounting jig 40. The tip of each micro pin 12 contacts the surface of the LSI chip 50. Input / output terminals are formed on the LSI chip 50 at the positions where the micro pins 12 abut. In this manner, with the tip of each micropin 12 in contact with the input / output terminal of the LSI chip 50, the whole is heated in the heating furnace, and the wax 13 at the tip of the micropin 12 is melted and each micropin is heated by this wax 13. The pin 12 is bonded to the surface of the chip 50.

【0023】この場合に、上述のように各マイクロピン
12は支持フレーム20に接合されるときにガイド溝2
5bによって正確に位置決めされているため、ガイドピ
ン22を利用してLSIチップ50に対する支持フレー
ム20の位置決めを正確に行うだけで、各マイクロピン
12をチップ50の対応する入出力端子と正確に当接接
続させることが可能である。
In this case, as described above, each micro pin 12 is bonded to the support frame 20 when the guide groove 2 is formed.
Since the positioning of the support frame 20 with respect to the LSI chip 50 is performed accurately by using the guide pins 22, the micro pins 12 can be accurately aligned with the corresponding input / output terminals of the chip 50. It is possible to make a direct connection.

【0024】次いで、図10に示すように各マイクロピ
ン12をキャリア部19から切り離せば、チップ50の
表面に多数のマイクロピン12が整列して接合された状
態となる。なお、このときの切り離しが容易となるよう
に、ガイドプレート25の高さがガイド溝25bに嵌入
された支持ポスト11の切り欠き部11aと同一となる
ようにされており、キャリア部19を折り曲げることに
より、簡単にキャリア部19を切り離せるようにしてい
る。そして、図11に示すように、各マイクロピン12
の先端を基板Pにロウ付けすれば、マイクロピン12を
介してLSIチップ50を基板Pに接続させることがで
きる。
Next, as shown in FIG. 10, when each micropin 12 is separated from the carrier portion 19, a large number of micropins 12 are aligned and joined to the surface of the chip 50. In order to facilitate the separation at this time, the height of the guide plate 25 is made to be the same as the notch portion 11a of the support post 11 fitted in the guide groove 25b, and the carrier portion 19 is bent. By doing so, the carrier portion 19 can be easily separated. Then, as shown in FIG. 11, each micro pin 12
By brazing the tip of the substrate to the substrate P, the LSI chip 50 can be connected to the substrate P via the micro pins 12.

【0025】この場合に、マイクロピン12による接続
はチップ50の全表面を用いて行われるため、マイクロ
ピン12の数を非常に多くすることができ、入出力ライ
ンの数を多くすることができる。このため、LSIチッ
プの集積化が進んで多くの入出力ラインを必要とする場
合でも、十分な入出力ライン数を確保することができ
る。
In this case, since the connection by the micropins 12 is performed using the entire surface of the chip 50, the number of the micropins 12 can be extremely increased and the number of input / output lines can be increased. . Therefore, a sufficient number of input / output lines can be secured even when a large number of input / output lines are required due to the progress of integration of LSI chips.

【0026】また、このようにして基板Pに取り付けた
チップ50を使用しているときに、周囲温度が上昇する
と、基板Pとチップ50の熱膨張率の差により、チップ
50におけるマイクロピン12の一端の接合位置ピッチ
と基板Pにおけるマイクロピン12の他端の接合位置ピ
ッチとがずれる。しかしながら、このずれが発生して
も、マイクロピン12がわずかに傾くだけであり、マイ
クロピン12とチップ50もしくは基板Pとの接合にほ
とんど影響はなく、マイクロピン12を介しての接続信
頼性が低下することがない。
Further, when the chip 50 mounted on the substrate P in this way is used, if the ambient temperature rises, the difference in the coefficient of thermal expansion between the substrate P and the chip 50 causes the micropins 12 of the chip 50 to move. The joining position pitch at one end and the joining position pitch at the other end of the micro pin 12 on the substrate P are deviated. However, even if this deviation occurs, the micropins 12 are only slightly tilted, and there is almost no effect on the bonding between the micropins 12 and the chip 50 or the substrate P, and the connection reliability via the micropins 12 is high. It never drops.

【0027】マイクロピンパッケージ1の各マイクロピ
ン12をLSIチップ50の裏面の端子に直接接続する
場合に、図12に示すような取り付け治具140を用い
てもよい。この治具140においては、LSIチップ5
0をチップ保持溝141に取り付けた状態で、LSIチ
ップ50が上方にはみ出るようになっている。一方、支
持フレーム20にガイドピン22がなく、ボトムプレー
ト21の矩形状開口21aがLSIチップ50の側面5
0aの形状に対応する寸法に形成されている。このた
め、矩形状開口21a内にLSIチップ50を嵌入させ
ることにより、両者の位置決めを行うことができ、各マ
イクロピン12をチップ50の対応する入出力端子と正
確に当接接続させることができる。
When each micro pin 12 of the micro pin package 1 is directly connected to the terminal on the back surface of the LSI chip 50, a mounting jig 140 as shown in FIG. 12 may be used. In this jig 140, the LSI chip 5
The LSI chip 50 protrudes upward with 0 attached to the chip holding groove 141. On the other hand, the support frame 20 does not have the guide pin 22, and the rectangular opening 21 a of the bottom plate 21 is formed on the side surface 5 of the LSI chip 50.
It has a size corresponding to the shape of 0a. Therefore, by inserting the LSI chip 50 into the rectangular opening 21a, both can be positioned and each micro pin 12 can be accurately brought into contact with and connected to the corresponding input / output terminal of the chip 50. .

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
各ガイドプレートの矩形状開口の対向する二辺には、マ
イクロピンシートの整列間隔、すなわち、上記所定間隔
と同一のピッチで複数のガイド溝が形成されており、ガ
イドプレートがボトムプレートの上に重ねられて接合さ
れた状態で、上下に繋がったガイド溝が形成されてお
り、このガイド溝に支持ポスト部を挿入して支持フレー
ムにマイクロピンシートが取り付けられ、マイクロピン
部がアレイ状に整列した状態で支持フレームにより支持
されてマイクロピンパッケージが構成されている。この
ため、ガイド溝に支持ポストを嵌入させて各マイクロピ
ンシートを順次支持フレームに取り付けるだけで、簡単
に、各マイクロピンシートを正確に位置決めして取り付
けることができる。
As described above, according to the present invention,
On each of two opposite sides of the rectangular opening of each guide plate, a plurality of guide grooves are formed at an alignment interval of the micropin sheets, that is, at the same pitch as the above-mentioned predetermined interval, and the guide plate is placed on the bottom plate. In the state of being overlapped and joined, a guide groove that is vertically connected is formed.The support post is inserted into this guide groove, the micropin sheet is attached to the support frame, and the micropins are arranged in an array. The micropin package is supported by the support frame in this state. Therefore, each micropin sheet can be easily accurately positioned and attached simply by fitting the support post into the guide groove and sequentially attaching each micropin sheet to the support frame.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係るマイクロピンパッケージを示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a micropin package according to the present invention.

【図2】複数のマイクロピンシートが切断加工された金
属板を示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing a metal plate obtained by cutting and processing a plurality of micropin sheets.

【図3】切断加工されたマイクロピンシートを示す正面
図である。
FIG. 3 is a front view showing a cut micropin sheet.

【図4】切断加工されたマイクロピンシートを示す正面
図である。
FIG. 4 is a front view showing the cut micropin sheet.

【図5】接合装置を用いてマイクロピンシートを支持フ
レームに取り付ける工程を説明する斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view illustrating a step of attaching a micropin sheet to a support frame using a joining device.

【図6】接合装置を用いてマイクロピンシートを支持フ
レームに取り付ける工程を説明する正面図である。
FIG. 6 is a front view illustrating a step of attaching a micropin sheet to a support frame using a joining device.

【図7】支持フレーム上にマイクロピンシートを取り付
けた状態を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing a state in which a micropin sheet is attached on a support frame.

【図8】支持フレーム上にマイクロピンシートを取り付
けた状態を示す断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state in which a micropin sheet is attached on a support frame.

【図9】取付治具を用いてマイクロピンパッケージをL
SIチップに接合する工程を示す断面図である。
[Fig. 9] L of the micropin package using a mounting jig
It is sectional drawing which shows the process of joining to an SI chip.

【図10】LSIチップに接合されたマイクロピンから
キャリア部を切り離す工程を示す断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a step of separating the carrier portion from the micropins joined to the LSI chip.

【図11】別の取付治具を用いてマイクロピンパッケー
ジをLSIチップに接合する工程を示す断面図である。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing a step of joining a micropin package to an LSI chip using another mounting jig.

【図12】本発明に係るマイクロピンを用いてLSIチ
ップを基板に取り付けた状態を示す断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a state in which an LSI chip is attached to a substrate using the micropin according to the present invention.

【図13】従来での電子部品の基板への取付方式を示す
断面図である。
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a conventional method of attaching an electronic component to a substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 マイクロピンパッケージ 10 マイクロピンシート 11 支持ポスト 12 マイクロピン 19 キャリア部 20 支持フレーム 21 ボトムプレート 22 ガイドピン 25 ガイドプレート 30 接合装置 40 取付治具 50 LSIチップ 1 Micro Pin Package 10 Micro Pin Sheet 11 Support Post 12 Micro Pin 19 Carrier Part 20 Support Frame 21 Bottom Plate 22 Guide Pin 25 Guide Plate 30 Joining Device 40 Mounting Jig 50 LSI Chip

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電性金属板の切断加工により作られ、
幅方向に延びるキャリア部と、このキャリア部の側端部
から同一方向に整列状態で延びた複数のマイクロピン部
と、これらマイクロピン部の両側に位置してこれらマイ
クロピン部と同一方向に延びた支持ポスト部とを一体に
有してなるマイクロピンシートと、 複数のこのマイクロピンシートを、前記マイクロピン部
を同一方向に向けて整列させるとともに厚さ方向に所定
間隔をおいて並んだ状態で支持する支持フレームとから
なるマイクロピンパッケージであって、 この支持フレームが、同一方向に向いて整列した状態の
前記マイクロピン部と対向する矩形状開口を有したボト
ムプレートと、このボトムプレートの上に重ねられた複
数枚のガイドプレートとから構成され、 これら各ガイドプレートには前記ボトムプレートの矩形
状開口と同一の矩形状開口が形成されるとともにこれら
矩形状開口が上下に一致して重なるように前記ボトムプ
レートの上に前記ガイドプレートが重ねられるとともに
互いに接合されて配設されており、 前記各ガイドプレートの前記矩形状開口の対向する二辺
には、前記所定間隔と同一のピッチで複数のガイド溝が
形成されており、 前記ガイドプレートが前記ボトムプレートの上に重ねら
れて接合された状態で、上下に繋がった前記ガイド溝に
前記支持ポスト部を挿入して、前記支持フレームにより
前記マイクロピンシートを前記マイクロピン部がアレイ
状に整列した状態で支持するように構成されていること
を特徴とするマイクロピンパッケージ。
1. Made by cutting a conductive metal plate,
A carrier portion that extends in the width direction, a plurality of micropin portions that extend from the side end portion of the carrier portion in an aligned state in the same direction, and a plurality of micropin portions that are located on both sides of the micropin portion and that extend in the same direction as the micropin portions. A state in which a plurality of micro pin sheets integrally having a supporting post portion and a plurality of the micro pin sheets are aligned with the micro pin portions facing in the same direction and at a predetermined interval in the thickness direction. A micropin package consisting of a support frame supported by a bottom plate having a rectangular opening facing the micropin portion aligned in the same direction and facing each other, and a bottom plate of the bottom plate. It is composed of a plurality of guide plates stacked on top of each other, and each of these guide plates has the same rectangular opening as the bottom plate. Rectangular guide openings are formed, and the guide plates are placed on the bottom plate so as to overlap with each other so that the rectangular openings are vertically aligned and overlapped with each other. A plurality of guide grooves are formed on the two opposite sides of the rectangular opening at the same pitch as the predetermined interval, and the guide plate is vertically joined in a state in which the guide plate is superposed on and joined to the bottom plate. The support post portion is inserted into the guide groove connected to, and the support frame is configured to support the micropin sheet with the micropin portions aligned in an array. Micro pin package.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3813108A1 (en) * 1987-04-20 1988-11-03 Nippon Oils & Fats Co Ltd COMPOSITE BODY MADE OF AMORPHEM METAL AND METAL AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME
US8175700B2 (en) 2006-11-09 2012-05-08 Greatbatch Ltd. Capacitor and inductor elements physically disposed in series whose lumped parameters are electrically connected in parallel to form a bandstop filter
JP2016051637A (en) * 2014-09-01 2016-04-11 矢崎総業株式会社 Chain terminal and connector manufacturing method

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