JPH0622060B2 - Optical information processing device - Google Patents
Optical information processing deviceInfo
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- JPH0622060B2 JPH0622060B2 JP11027485A JP11027485A JPH0622060B2 JP H0622060 B2 JPH0622060 B2 JP H0622060B2 JP 11027485 A JP11027485 A JP 11027485A JP 11027485 A JP11027485 A JP 11027485A JP H0622060 B2 JPH0622060 B2 JP H0622060B2
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- optical
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- optical waveguide
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の要約 光と磁気を利用して光磁気ディスクに磁気的にデータを
書込むまたは同ディスクから読出すための装置であり,
書込み,読出し用の第1の光学系と第1の光学系のスポ
ットを光磁気ディスクの案内溝にそわせるためのエラー
検出用の第2の光学系とを備えている。いずれの光学系
も,基板上に形成された光導波路,この光導波路にレー
ザ光を導入するための光源および光導波路を伝播する光
を斜め上方に出射させかつ2次元的に集光するレンズ手
段を備えている。第1の光学系はさらに,斜め上方から
の反射光を受光する少なくとも2つの受光素子と,これ
らの受光素子上に主軸が互いに90゜ずらして配置された
検光子とを備えている。第2の光学系には斜め上方から
反射してくる光を受光してトラッキング・エラーおよび
フォーカシング・エラーを検出するための手段が設けら
れている。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION An apparatus for magnetically writing data to or reading data from a magneto-optical disk by utilizing light and magnetism,
A first optical system for writing and reading and a second optical system for error detection for aligning the spot of the first optical system with the guide groove of the magneto-optical disk are provided. In any of these optical systems, an optical waveguide formed on a substrate, a light source for introducing laser light into the optical waveguide, and lens means for emitting light propagating through the optical waveguide obliquely upward and converging it two-dimensionally Is equipped with. The first optical system further includes at least two light receiving elements that receive reflected light from obliquely above, and an analyzer in which the principal axes of the light receiving elements are offset from each other by 90 °. The second optical system is provided with means for receiving light reflected obliquely from above and detecting tracking error and focusing error.
発明の背景 (1)技術分野 この発明は,きわめて高密度のデータの記録,再生,消
去が自在で将来その実用化が期待されている光磁気ディ
スクにデータを書込む(記録,消去)および/または読
出す(再生)ための光情報処理装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION (1) Technical Field The present invention is capable of recording, reproducing, and erasing extremely high-density data, and writing (recording, erasing) and / or writing data on a magneto-optical disk which is expected to be put to practical use in the future. Further, the present invention relates to an optical information processing device for reading (reproducing).
(2)従来技術 光磁気ディスクは,光ディスクで困難とされていたデー
タの書込み/読出しが自在にできるという特徴を持つた
めに,その研究が盛んに行なわれており,いくつかのタ
イプの記録再生装置が試作されている。(2) Prior art Magneto-optical discs have been actively researched because they have the characteristic of being able to freely write / read data, which has been difficult with optical discs. The device is being prototyped.
光磁気ディスクの記録原理は次のようなものである。光
磁気ディスク等の記録媒体に光を照射して局部的にその
温度を上昇させると同時に外部から磁気を与えて,その
局部の磁化の向きを変える。レーザ光を集光すると温度
を上昇させる領域を直径1μm程度のきわめて小さな範
囲とすることができるので,高密度の記録が可能とな
る。磁気記録に必要な磁界は記録媒体の温度が高くなる
につれて一般に小さくなり,きわめて弱い磁界でも記録
が可能となる。The recording principle of the magneto-optical disk is as follows. A recording medium such as a magneto-optical disk is irradiated with light to locally raise its temperature, and at the same time, magnetism is applied from the outside to change the direction of magnetization of the local portion. When the laser beam is focused, the area where the temperature is raised can be set to an extremely small range of about 1 μm in diameter, which enables high-density recording. The magnetic field required for magnetic recording generally decreases as the temperature of the recording medium increases, and recording is possible even with an extremely weak magnetic field.
現在のところ記録,消去には2つの方式が考えられてい
る。一方は磁界変調方式であり,これはレーザ光を記録
媒体に常に照射しておき,印加する磁界を記録すべきデ
ータに応じて変えるものである。他方は光変調方式で常
に直流磁界を与えておき照射するレーザ光をデータに応
じて点滅するものである。At present, two methods are considered for recording and erasing. One is a magnetic field modulation method, which constantly irradiates a recording medium with laser light and changes the applied magnetic field according to the data to be recorded. The other is a light modulation method in which a direct-current magnetic field is always applied and the laser light to be applied is blinked in accordance with data.
光再生方式には直接光再生方式と間接光再生方式とがあ
るとされている。直接光再生方式は記録場所に直線偏光
を直接に照射し,その反射光(または透過光)の偏光方
向が磁気光学効果によって回転することを利用してい
る。間接光再生方式は記録パターンを磁性薄膜に転写し
たのちこれを光で読出すものである。It is said that the optical reproduction method includes a direct light reproduction method and an indirect light reproduction method. The direct light reproduction method utilizes that the recording location is directly irradiated with linearly polarized light and the polarization direction of the reflected light (or transmitted light) is rotated by the magneto-optical effect. The indirect light reproduction method is a method in which a recording pattern is transferred to a magnetic thin film and then this is read out by light.
いずれにしても,現在までに試作されている光磁気記録
再生装置とくにその再生部分は,光ディスクに照射する
光と光ディスクからの反射光とを分離するアイソレータ
光学系,光ディスクに照射される光を1μm径程度のス
ポットに集束させるビーム集光光学系,フォーカシング
・エラーやトラッキング・エラーを検出するためのエラ
ー検出光学系等を備えており,これらの光学系は,光源
としての半導体レーザ,各種レンズ類,プリズム類,回
折格子,ミラー,1/4波長板,フォト・ダイオード,
偏光子,検光子などの素子を適宜組合せることにより構
成されるので,光学系が複雑で光軸合わせがめんどうで
あるとともに,振動により光軸がずれやすい,部品点数
が多く,組立てに時間がかかる,光学部品が高価である
ために全体としても高価になる,光学部品が大きいため
に光ピックアップ装置も大型となり,光学部品を保持す
る機構も必要であるから全体として重くなる等の問題点
をもっている。In any case, the magneto-optical recording / reproducing device which has been trial-produced up to now, especially the reproducing portion thereof, has an isolator optical system for separating the light irradiated onto the optical disc and the reflected light from the optical disc, and the light irradiated onto the optical disc at 1 μm. It is equipped with a beam focusing optical system that focuses on a spot of a diameter, an error detection optical system for detecting focusing errors and tracking errors, etc. These optical systems include semiconductor lasers as light sources and various lenses. , Prisms, diffraction grating, mirror, quarter-wave plate, photo diode,
Since it is configured by appropriately combining elements such as a polarizer and an analyzer, the optical system is complicated and alignment of the optical axis is troublesome, and the optical axis is easily displaced due to vibration, the number of parts is large, and it takes time to assemble. However, since the optical parts are expensive, the cost is high as a whole, the optical parts are large, the optical pickup device is also large, and a mechanism for holding the optical parts is required. There is.
発明の概要 (1)発明の目的 この発明は,小型かつ軽量でしかも簡単な構成の光情報
処理装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION (1) Object of the Invention An object of the present invention is to provide an optical information processing apparatus that is small in size, lightweight, and has a simple structure.
(2)発明の構成,および効果 この発明による光情報処理装置は,光磁気ディスクへの
データの書込みおよび/または光磁気ディスクからのデ
ータの読出しを行なうための装置であり,書込みおよび
/または読出しのために光磁気ディスク上に焦点を結ぶ
光スポットを投射しかつその反射光を受光する第1の光
学系と,この第1の光学系の光スポットを光磁気ディス
クの案内溝に追従させるためにエラーを検出する第2の
光学系とを有し,第1の光学系が,基板上に形成された
光導波路,光導波路に導入されるレーザ光の光源,光導
波路上に形成され,光導波路を伝播する光を斜め上方に
出射させかつ2次元的に集光するレンズ手段,斜め上方
から反射してくる光を受光する少なくとも2つの受光素
子を有する受光手段,および上記受光素子上に主軸が互
いに90゜ずらして配置された検光子を備え,第2の光学
系が,基板上に形成された光導波路,光導波路に導入さ
れるレーザ光の光源,光導波路上に形成され,光導波路
を伝播する光を斜め上方に出射させかつ2次元的に集光
するレンズ手段,および斜め上方から反射してくる光を
受光する手段を備えていることを特徴とする。(2) Configuration and Effect of the Invention The optical information processing device according to the present invention is a device for writing data to and / or reading data from the magneto-optical disk. A first optical system for projecting a focused light spot on the magneto-optical disk and receiving the reflected light, and for causing the light spot of the first optical system to follow the guide groove of the magneto-optical disk A second optical system for detecting an error, and the first optical system includes an optical waveguide formed on the substrate, a light source of laser light introduced into the optical waveguide, an optical waveguide formed on the optical waveguide, Lens means for emitting light propagating in the waveguide obliquely upward and condensing it two-dimensionally, light receiving means having at least two light receiving elements for receiving light reflected obliquely above, and the above light receiving element A second optical system is provided with an analyzer whose main axes are offset from each other by 90 °, an optical waveguide formed on the substrate, a light source of laser light introduced into the optical waveguide, and an optical waveguide formed on the optical waveguide. It is characterized in that it is provided with lens means for emitting light propagating through the optical waveguide obliquely upward and condensing it two-dimensionally, and means for receiving light reflected from obliquely upward.
この発明は,上述した磁界変調方式および光変調方式の
両方の記録方式に適用可能であり,また直接光再生方式
に適用することができる。記録する場合には磁界を与え
るコイルが設けられるのはいうまでもない。The present invention is applicable to both the magnetic field modulation method and the optical modulation method described above, and can also be applied to the direct optical reproduction method. It goes without saying that a coil for applying a magnetic field is provided for recording.
この発明においては,光学部品としてのレンズ,プリズ
ム,回折格子,ミラー,1/4波長板等が用いられてい
ないので,装置の小型化,軽量化を図ることができる。
とくに,書込み,読出し用の第1の光学系とエラー検出
用の第2の光学系のいずれもが光導波路からレーザ光を
斜め上方に出射させかつ斜め上方からの反射光を受光す
るように構成されているから,アイソレータ光学系を省
略することができる。In the present invention, the lens, the prism, the diffraction grating, the mirror, the quarter-wave plate and the like as the optical parts are not used, so that the size and weight of the device can be reduced.
In particular, both the first optical system for writing and reading and the second optical system for error detection are configured to emit laser light obliquely upward from the optical waveguide and receive reflected light from obliquely upward. Therefore, the isolator optical system can be omitted.
実施例の説明 (1)ヘッドの構成の概要 第1図は光磁気書込み,読取り用ヘッド9の構成の一例
を示している。この図には光学系のみが示され,光磁気
書込みに必要な磁界を発生するコイルは図示されていな
い。Description of Embodiments (1) Outline of Head Configuration FIG. 1 shows an example of the configuration of a magneto-optical writing / reading head 9. Only the optical system is shown in this figure, and the coils that generate the magnetic field necessary for magneto-optical writing are not shown.
まず,フォーカシング・エラーおよびトラッキング・エ
ラー検出用の光学系(第2の光学系)について説明す
る。First, an optical system (second optical system) for detecting focusing error and tracking error will be described.
基台10上に,光源としての半導体レーザ13および基板11
が配置されかつ固定されている。A semiconductor laser 13 as a light source and a substrate 11 are mounted on a base 10.
Are placed and fixed.
基板11にはたとえばSi結晶が用いられ,この基板11上面
にSiの熱酸化またはSiO2の蒸着もしくはスパッタにより
基板11上面にSiO2バッファ層が形成されたのち,たとえ
ばコーニング7059などのガラスをスパッタすることによ
り光導波層12が形成されている。半導体レーザ13はバッ
ト・エッジ(butt edge)結合法により光導波層12の一
端に光結合している。半導体レーザ13から出射したレー
ザ光はこの光導波層12に入射しかつ伝播する。光導波層
12上にはコリメーティング・レンズ14,カップリング・
レンズ15,漏洩光検知素子16,漏洩光遮断用溝17および
受光部20がこの順序配列で設けられている。コリメーテ
ィング・レンズ14は半導体レーザ13から出射した広がり
をもつレーザ・ビームを平行光に変換するものである。
コリメーティング・レンズには,図示されているような
フレネル・レンズの他に,ブラッグ・グレーティング・
レンズ,ルネブルグ・レンズ,ジオデシック・レンズな
どがある。カップリング・レンズ15は,光導波層12を伝
播してきたレーザ光を斜め上方に出射させるとともに,
2次元的に集光する(フォーカシング)するものであ
る。このカップリング・レンズは,2次元フォーカシン
グ・グレーティング・カプラといわれているもので,1
つのレンズで光の出射機能と2次元集光機能をもつ。こ
れは,光の進行方向に向うほど周期(間隔)が小さくな
る円弧状のグレーティングから構成されている。出射し
たレーザ光が集光してスポット(1μm径程度)を形成
する点がPで示されている。このレーザ・スポットは後
述する読取り,書込み用のレーザ・スポットと同一点に
あり,この点Pが光磁気ディスクの情報記録面上とくに
その案内溝内に位置するように,このヘッド9が配置さ
れる。The substrate 11, for example Si crystal is used, after the SiO 2 buffer layer is formed on the substrate 11 upper surface by vapor deposition or sputtering of the substrate 11 of the top Si thermal oxidation or SiO 2, for example, sputtering a glass such as Corning 7059 By doing so, the optical waveguide layer 12 is formed. The semiconductor laser 13 is optically coupled to one end of the optical waveguide layer 12 by a butt edge coupling method. Laser light emitted from the semiconductor laser 13 enters and propagates in this optical waveguide layer 12. Optical waveguide layer
12 on top of collimating lens 14, coupling
The lens 15, the leak light detecting element 16, the leak light blocking groove 17, and the light receiving section 20 are provided in this order arrangement. The collimating lens 14 is for converting a laser beam having a spread emitted from the semiconductor laser 13 into parallel light.
The collimating lens includes a Fresnel lens as shown and a Bragg grating.
There are lenses, Reneburg lenses, geodesic lenses, etc. The coupling lens 15 emits the laser light propagating through the optical waveguide layer 12 obliquely upward, and
The light is focused two-dimensionally (focusing). This coupling lens is called a two-dimensional focusing grating coupler.
Two lenses have a light emitting function and a two-dimensional condensing function. This is composed of an arc-shaped grating whose period (interval) becomes smaller as it goes in the traveling direction of light. A point P indicates that the emitted laser light is condensed to form a spot (about 1 μm diameter). This laser spot is at the same point as a laser spot for reading and writing which will be described later, and the head 9 is arranged so that this point P is located on the information recording surface of the magneto-optical disk, especially in its guide groove. It
受光部20は,光磁気ディスクの面からの反射光を受光す
るためのものであり,上述のレーザ・スポットPの位置
から斜め下方に反射してくる光を受光できる位置に配置
されている。The light receiving section 20 is for receiving the reflected light from the surface of the magneto-optical disk, and is arranged at a position where the light reflected obliquely downward from the position of the laser spot P can be received.
受光部20は,4つの独立した受光素子21〜24からなる。
受光素子21,22は中央に隣接して配置され,これらの受
光素子21,22の前後に他の受光素子23,24が設けられて
いる。これらの受光素子21〜24を形成すべき部分を,バ
ッファ層および光導波層12を形成するときにマスクで覆
っておいて光導波層12が形成されるのを排除しておく。
そして,この部分に不純物を拡散させてPN接合(フォ
トダイオード)をつくることにより,受光素子21〜24を
構成する。受光素子21〜24の出力信号は基板11上に形成
された配線パターン(図示略)により外部に取出され
る。The light receiving section 20 is composed of four independent light receiving elements 21 to 24.
The light receiving elements 21 and 22 are arranged adjacent to the center, and other light receiving elements 23 and 24 are provided in front of and behind these light receiving elements 21 and 22, respectively. The portions where the light receiving elements 21 to 24 are to be formed are covered with a mask when the buffer layer and the optical waveguide layer 12 are formed, and the formation of the optical waveguide layer 12 is excluded.
Then, the light receiving elements 21 to 24 are constructed by diffusing impurities in this portion to form a PN junction (photodiode). Output signals of the light receiving elements 21 to 24 are taken out by a wiring pattern (not shown) formed on the substrate 11.
光導波層12を伝播する光のすべてがカップリング・レン
ズ15により出射(エア・カップリング)される訳ではな
く,出射されずにレンズ15の位置を通過して受光部20の
方に漏洩する光も存在する。漏洩光検知素子16は,この
漏洩光の強度を検知するものである。光導波層12を伝播
する光の強度変動は漏洩光の強度変動としても現われる
から,漏洩光の強度を検知することにより光導波層12を
伝播する光の強度が間接的に検知される。この検知され
た強度信号は半導体レーザ13の駆動回路(図示略)にフ
ィードバックされ,半導体レーザ13の出力光の安定化が
図られる。検知素子16としてはアモルファス・シリコン
(a−Si),CdTe,CdSなどが用いられ,CVD法,蒸着
法,スパッタ法等により光導波層12上に直接に形成され
る。検知素子16の検知信号は光導波層12上に形成された
配線パターン(図示略)により外部に取出される。Not all of the light propagating through the optical waveguide layer 12 is emitted (air coupled) by the coupling lens 15, but is not emitted and passes through the position of the lens 15 and leaks toward the light receiving unit 20. There is also light. The leaked light detection element 16 detects the intensity of this leaked light. Since the intensity fluctuation of the light propagating through the optical waveguide layer 12 also appears as the intensity fluctuation of the leaked light, the intensity of the light propagating through the optical waveguide layer 12 is indirectly detected by detecting the intensity of the leaked light. The detected intensity signal is fed back to the drive circuit (not shown) of the semiconductor laser 13 to stabilize the output light of the semiconductor laser 13. Amorphous silicon as the sensing element 16
(a-Si), CdTe, CdS or the like is used, and is directly formed on the optical waveguide layer 12 by a CVD method, a vapor deposition method, a sputtering method or the like. The detection signal of the detection element 16 is taken out to the outside by a wiring pattern (not shown) formed on the optical waveguide layer 12.
カップリング・レンズ15からの漏洩光のすべてが検知素
子16で消費されるとは限らない。受光部20は同一基板11
に形成されているから,検知素子16の部分を通過する漏
洩光があればこれを検知してしまうおそれがある。Not all the leaked light from the coupling lens 15 is consumed by the detection element 16. Light receiving part 20 is the same substrate 11
Since it is formed in the above, if there is leaked light that passes through the detecting element 16, it may be detected.
漏洩光遮断用溝17は,検知素子16と受光部20との間に設
けられており,検知素子16の位置を通過して受光部20に
向う光の伝播を,溝17の壁面での光の反射や減衰により
防止する役目をもっている。この溝17は,イオンビーム
加工,電子ビーム加工またはレーザ加工などにより基板
11の光導波層12上に直接に形成すればよい。溝17の長さ
は伝播する光の幅よりも大きい。また溝17の深さは光導
波層12の厚さ程度でよい。The leak light blocking groove 17 is provided between the detecting element 16 and the light receiving section 20, and propagates the light passing through the position of the detecting element 16 toward the light receiving section 20 to the light on the wall surface of the groove 17. It also has the role of preventing it by reflection and attenuation. This groove 17 is formed on the substrate by ion beam processing, electron beam processing or laser processing.
It may be directly formed on the optical waveguide layer 12 of 11. The length of the groove 17 is larger than the width of the propagating light. The depth of the groove 17 may be about the thickness of the optical waveguide layer 12.
光磁気ディスクのデータの書込みおよび読取り用の光学
系(第1の光学系)もまた上述の光学系と同じように,
半導体レーザ33,コリメーティング・レンズ34,カップ
リング・レンズ35,漏洩光検知素子36,漏洩光遮断用溝
17および受光部40を有している。半導体レーザ33からの
出射光はコリメーティング・レンズ34でコリメートされ
たのち,カップリング・レンズ35から空中に出射し,上
述の点Pに焦点を結ぶ。そして,光磁気ディスクの磁気
記録面からの反射光が受光部40で受光される。光検知素
子36および遮断溝37の役割は同16,17のそれと同じであ
る。An optical system (first optical system) for writing and reading data on the magneto-optical disk is also the same as the above-mentioned optical system.
Semiconductor laser 33, collimating lens 34, coupling lens 35, leak light detection element 36, leak light blocking groove
It has 17 and a light receiving section 40. The emitted light from the semiconductor laser 33 is collimated by the collimating lens 34, then emitted from the coupling lens 35 into the air, and focused on the point P described above. Then, the reflected light from the magnetic recording surface of the magneto-optical disk is received by the light receiving section 40. The roles of the light detecting element 36 and the blocking groove 37 are the same as those of the same 16 and 17.
カップリング・レンズ35上には偏光子片38が貼付されて
いる。この偏光子片38はカップリング・レンズ35から出
射する光を直線偏光に変換するものである。A polarizer piece 38 is attached on the coupling lens 35. The polarizer piece 38 converts the light emitted from the coupling lens 35 into linearly polarized light.
受光部40は,多数の受光素子41a,42aを有している(第
2図参照)。これらの受光素子41a,42aもまた受光素子2
1〜24と同じようにしてつくられる。これらの受光素子4
1a,42a上には検光子片41,42がそれぞれ貼付されてい
る。検光子片41と42はそれらの主軸が互いに90゜ずれる
ように配置されている。また,互いに90゜ずれるように
配置された検光子片41,42が交互に設けられている。The light receiving section 40 has a large number of light receiving elements 41a and 42a (see FIG. 2). These light receiving elements 41a and 42a are also the light receiving elements 2
It is made in the same way as 1-24. These light receiving elements 4
Analyzer pieces 41 and 42 are attached on the 1a and 42a, respectively. The analyzer pieces 41 and 42 are arranged such that their principal axes are offset from each other by 90 °. Further, analyzer pieces 41 and 42 arranged so as to be offset from each other by 90 ° are alternately provided.
上記実施例では受光素子21〜24,41a,42aの部分には光導
波層12は形成されていないが,光導波層12上に直接にC
VD法により受光素子となるアモルファス・シリコン(a
−Si)を形成してもよい。受光素子の材料としては,他
にCdTe,CdSなどを用いることができる。In the above embodiment, the optical waveguide layer 12 is not formed in the light receiving elements 21 to 24, 41a, 42a, but C is directly formed on the optical waveguide layer 12.
Amorphous silicon (a
-Si) may be formed. Besides, CdTe, CdS, etc. can be used as the material of the light receiving element.
カップリング・レンズを,平行光を光導波層12上で集束
させる機能をもつフレネル型のグレーティング・レンズ
と,光導波層12を伝播する光を空中に出射させるともに
一直線状に集光する機能をもつチャープ型グレーティン
グ・カプラとの組合せにより構成することもできる。グ
レーティング・カプラは光の進行方向に向って周期(間
隔)が小さくなる直線状のグレーティングである。グレ
ーティング・レンズの焦点とグレーティング・カプラの
焦点とが同一点Pにあれば,光導波層12から出射した光
は点Pで1点に集光する。The coupling lens has a Fresnel type grating lens having a function of focusing parallel light on the optical waveguide layer 12, and a function of emitting light propagating through the optical waveguide layer 12 into the air and condensing it in a straight line. It can also be configured by combining with a chirp type grating coupler. The grating coupler is a linear grating whose period (interval) decreases in the traveling direction of light. If the focal point of the grating lens and the focal point of the grating coupler are at the same point P, the light emitted from the optical waveguide layer 12 is focused at one point P.
第1図においては,1つの基板上に光を空中に出射させ
る光学系と受光光学系とが設けられているが,これらの
光学系をそれぞれ別個の基板に設けてもよい。また,受
光光学系が設けられる基板または基板部分には光導波層
を形成しなくてもよい。In FIG. 1, an optical system for emitting light into the air and a light receiving optical system are provided on one substrate, but these optical systems may be provided on separate substrates. Further, the optical waveguide layer may not be formed on the substrate or the substrate portion on which the light receiving optical system is provided.
さらに基板としてnGaAs結晶を用い,この基板上面にAlG
aAs層を介してpGaAsによる光導波層を形成し,さらに半
導体レーザを基板に一体的に形成してもよい。In addition, nGaAs crystal is used as the substrate, and AlG is
An optical waveguide layer of pGaAs may be formed via the aAs layer, and the semiconductor laser may be formed integrally with the substrate.
さらに,エラー検出用の光学系として第1図には1ビー
ム方式が採用されているが,2ビーム方式,3ビーム方
式としてもよい。この場合には,コリメーティング・レ
ンズ14によって平行化された光を2または3の光ビーム
に分離し,これらを2または3のカップリング・レンズ
によって独立に空中に出射させ,別個の位置に集光させ
ればよい。2または3の光ビームのスポットは,書込
み,読取り用の光学系のスポットPの近傍に形成される
ようにする。3ビームの光学系の一例が,たとえば特願
昭59-184777号に記載されている。この光学系による
と,もちろんフォーカシング・エラーおよびトラッキン
グ・エラーの検出が可能である。Further, as the optical system for error detection, the one-beam system is adopted in FIG. 1, but the two-beam system and the three-beam system may be used. In this case, the light collimated by the collimating lens 14 is split into two or three light beams, which are independently emitted into the air by two or three coupling lenses and placed at separate positions. Just collect it. The spots of the light beam 2 or 3 are formed in the vicinity of the spot P of the optical system for writing and reading. An example of a three-beam optical system is described in, for example, Japanese Patent Application No. 59-184777. With this optical system, of course, focusing error and tracking error can be detected.
(2)書込みおよび読取りの原理 光磁気ディスクのデータの書込みは,磁界変調方式また
は光変調方式に依る。この場合にはレーザ・スポットP
の近傍にコイルが配置される。(2) Principles of writing and reading Writing of data on the magneto-optical disk depends on a magnetic field modulation method or an optical modulation method. In this case, laser spot P
A coil is arranged in the vicinity of.
光磁気ディスクからのデータの読取りは直接光再生方式
に依る。The reading of data from the magneto-optical disk depends on the direct optical reproduction method.
第4図の矢印a,bは検光子片41,42の主軸方向を示し
ている。このように検光子片41,42の主軸の方向は90゜
異なっている。Arrows a and b in FIG. 4 indicate the principal axis directions of the analyzer pieces 41 and 42. Thus, the directions of the principal axes of the analyzer pieces 41, 42 differ by 90 °.
第3図は読取り回路の一例を示している。一方の検光子
片41の下にある受光素子41aの出力信号(端子A1〜A5)
は加算回路51に入力し相互に加算される。他方の検光子
片42の下にある受光素子42aの出力信号(端子B1〜B5)
は加算回路52に入力し,相互に加算される。これらの加
算回路51,52の出力は差動増巾回路53に送られその差が
演算される。FIG. 3 shows an example of the reading circuit. Output signal of the light receiving element 41a below one of the analyzer pieces 41 (terminals A1 to A5)
Are input to the adder circuit 51 and are added to each other. Output signal of the light receiving element 42a under the other analyzer piece 42 (terminals B1 to B5)
Are input to the adder circuit 52 and are added to each other. The outputs of these adder circuits 51 and 52 are sent to the differential amplification circuit 53 and the difference between them is calculated.
カップリング・レンズ35から出射され偏光子38によって
直線偏光に変換された光は光磁気ディスク面に当って反
射し,検光子片41,42を通して受光素子41a,42aによっ
て検知される。第5図(A)における太い実線の矢印c
は,光磁気ディスクのデータの記録されていない部分で
反射した光の偏光方向を示している。検光子片41,42の
主軸方向に対してこの反射光の偏光方向が±45゜傾いて
いるものとする。この場合には加算回路51,52の出力の
大きさは等しく,これをIoとする。光磁気ディスクの磁
気記録部分に光が当ると磁気光学効果(カー効果)によ
って反射光の偏光面がある角度θだけ回転する。このと
きの反射光の偏光方向が第5図(B)に矢印cで示されて
いる。このときの加算回路51,52の出力はそれぞれ(Io
+Aθ),(Io−Aθ)となる。ここでAは定数であ
る。したがって,差動増巾回路53の出力信号は2Aθとな
る。これが読取り信号であり,この信号の大きさは光磁
気ディスクに記録されている信号の大きさに比例してい
る。The light emitted from the coupling lens 35 and converted into linearly polarized light by the polarizer 38 strikes the magneto-optical disk surface and is reflected, and is detected by the light receiving elements 41a and 42a through the analyzer pieces 41 and 42. Thick solid line arrow c in FIG. 5 (A)
Indicates the polarization direction of the light reflected by the portion of the magneto-optical disk where no data is recorded. It is assumed that the polarization direction of this reflected light is inclined ± 45 ° with respect to the principal axis directions of the analyzer pieces 41, 42. In this case, the magnitudes of the outputs of the adder circuits 51 and 52 are equal, and this is set as Io. When the light hits the magnetic recording portion of the magneto-optical disk, the polarization plane of the reflected light rotates by a certain angle θ due to the magneto-optical effect (Kerr effect). The polarization direction of the reflected light at this time is shown by an arrow c in FIG. 5 (B). The outputs of the adder circuits 51 and 52 at this time are (Io
+ Aθ), (Io−Aθ). Here, A is a constant. Therefore, the output signal of the differential amplification circuit 53 becomes 2Aθ. This is a read signal, and the magnitude of this signal is proportional to the magnitude of the signal recorded on the magneto-optical disk.
(3)フォーカシング・エラーの検出 光磁気ディスクの情報記録面にはそのトラックにそって
データの書込み,読取りのガイドとなる案内溝が形成さ
れている。第6図は,光磁気ディスク81と書込み,読取
り用ヘッド9との位置関係を光磁気ディスク81をその周
方向にそって切断して示すものである。カップリング・
レンズ15から出射したレーザ光は光磁気ディスク81の情
報記録面(第6図では案内溝82を含む部分)で反射して
受光部20で受光される。第6図ではより分りやすくする
ために受光素子21〜24がやや突出して描かれている。第
7図は,光磁気ディスク81からの反射光が受光部20を照
射するその範囲を示している。(3) Detection of Focusing Error On the information recording surface of the magneto-optical disk, a guide groove is formed along the track as a guide for writing and reading data. FIG. 6 shows the positional relationship between the magneto-optical disk 81 and the writing / reading head 9 by cutting the magneto-optical disk 81 along its circumferential direction. Coupling·
The laser light emitted from the lens 15 is reflected by the information recording surface of the magneto-optical disk 81 (the portion including the guide groove 82 in FIG. 6) and is received by the light receiving section 20. In FIG. 6, the light receiving elements 21 to 24 are illustrated as slightly projecting for easier understanding. FIG. 7 shows the range in which the reflected light from the magneto-optical disk 81 irradiates the light receiving section 20.
第6図において,実線で示された光磁気ディスク81およ
び案内溝82は,ディスク81とヘッド9との間の距離が最
適であり,出射光のディスク81上へのフォーカシングが
正しく行なわれている様子を示すものである。このとき
の受光部20における反射光の照射領域がQで示されてい
る。この照射領域Qは中央の受光素子21,22上に位置し
ており,他の受光素子23,24には反射光は受光されな
い。In the magneto-optical disk 81 and the guide groove 82 shown by solid lines in FIG. 6, the distance between the disk 81 and the head 9 is optimum, and the outgoing light is correctly focused on the disk 81. It shows the situation. The irradiation area of the reflected light in the light receiving unit 20 at this time is indicated by Q. This irradiation area Q is located on the central light receiving elements 21 and 22, and the other light receiving elements 23 and 24 do not receive the reflected light.
光磁気ディスク81とヘッド9との間の距離が相対的に大
きくまたは小さくなって適切なフォーカシングが行なわ
れない場合のディスク81の位置が第6図に鎖線で示され
ている。ディスク81とヘッド9との間の距離が相対的に
小さくなった場合(−△dの変位)には,反射光の照射
領域(Q1で表わされている)は受光素子23側に寄る。
受光素子23は差動増幅器71の負側に,受光素子24は正側
にそれぞれ接続されているから,この場合には差動増幅
器71の出力は負の値を示し,この値は変位量−△dの大
きさを表わしている。The position of the disk 81 when the distance between the magneto-optical disk 81 and the head 9 is relatively large or small and proper focusing is not performed is shown by a chain line in FIG. When the distance between the disk 81 and the head 9 becomes relatively small (displacement of -Δd), the irradiation area of reflected light (represented by Q1) is closer to the light receiving element 23 side.
Since the light receiving element 23 is connected to the negative side of the differential amplifier 71 and the light receiving element 24 is connected to the positive side thereof, the output of the differential amplifier 71 shows a negative value in this case, and this value is the displacement amount − It represents the size of Δd.
ディスク81とヘッド9との間の距離が相対的に大きくな
った場合(+△dの変位)には,反射光の照射領域(Q
2で表わされている)は受光素子24側に寄る。差動増幅
器71の出力は正の値を示し,かつこの値は変位量+△d
を表わす。When the distance between the disk 81 and the head 9 is relatively large (displacement of + Δd), the reflected light irradiation area (Q
2) is closer to the light receiving element 24 side. The output of the differential amplifier 71 shows a positive value, and this value is the displacement amount + Δd.
Represents
このようにして,ヘッド9からの出射光ビームのフォー
カシングが適切であるかどうか,フォーカシング・エラ
ーが生じている場合にはエラーの方向と大きさが差動増
幅器71の出力から検知される。フォーカシング・エラー
が無い場合には差動増幅器71の出力は零である。In this way, whether the focusing of the light beam emitted from the head 9 is proper, and if a focusing error occurs, the direction and magnitude of the error are detected from the output of the differential amplifier 71. The output of the differential amplifier 71 is zero when there is no focusing error.
(4)トラッキング・エラーの検出 第8図は,光磁気ディスク81に形成された案内溝82と受
光部20の受光素子21,22とを同一平面上に配置して示し
たものであり,いわば光磁気ディスク81をその面方向に
透視して受光素子21,22をみた図である。差動増幅器72
は受光素子21,22との電気的接続関係を明らかにする目
的で図示されている。第8図(A)は,レーザ・ビーム・
スポットPがトラック(案内溝82)の巾方向の中心上に
正確に位置している様子を示している。第8図(B)(C)は
スポットPがトラック(案内溝82)の左右にそれぞれ若
干ずれ,トラッキング・エラーが生じている様子を示し
ている。いずれの場合にも,適切にフォーカシングされ
ているものとする。(4) Detection of tracking error FIG. 8 shows the guide groove 82 formed in the magneto-optical disk 81 and the light receiving elements 21 and 22 of the light receiving section 20 arranged on the same plane. FIG. 3 is a diagram showing the light receiving elements 21 and 22 as seen through the magneto-optical disk 81 in its surface direction. Differential amplifier 72
Are illustrated for the purpose of clarifying the electrical connection relationship with the light receiving elements 21 and 22. Figure 8 (A) shows the laser beam
It shows that the spot P is accurately positioned on the center of the track (guide groove 82) in the width direction. FIGS. 8 (B) and 8 (C) show how the spot P is slightly deviated to the left and right of the track (guide groove 82), and a tracking error occurs. In each case, it is assumed that the object is properly focused.
レーザ・スポットPが光磁気ディスク81の情報記録面に
当たり,その反射光の強度が案内溝82の存在によって変
調される。すなわち案内溝82の存在によって受光部20に
受光される光強度は小さくなる。The laser spot P hits the information recording surface of the magneto-optical disk 81, and the intensity of the reflected light is modulated by the existence of the guide groove 82. That is, the presence of the guide groove 82 reduces the light intensity received by the light receiving unit 20.
受光素子21と22は光軸を境として左右に分割されてい
る。レーザ・スポットPの中心と案内溝82の巾方向の中
心とが一致している場合には,受光素子21と22に受光さ
れる光量は等しく,差動増幅器72の出力は零である。The light receiving elements 21 and 22 are divided into left and right with the optical axis as a boundary. When the center of the laser spot P coincides with the center of the guide groove 82 in the width direction, the amounts of light received by the light receiving elements 21 and 22 are equal, and the output of the differential amplifier 72 is zero.
第8図(B)に示すように,レーザ・スポットPが案内溝8
2の左側にずれた場合には,受光素子21に受光される光
量の方が多くなり,差動増幅器72からは正の出力が発生
する。逆に,第8図(C)に示すように,レーザ・スポッ
トPが案内溝82の右側にずれると差動増幅器72には負の
出力が生じる。As shown in FIG. 8 (B), the laser spot P has a guide groove 8
When it is shifted to the left side of 2, the amount of light received by the light receiving element 21 is larger, and a positive output is generated from the differential amplifier 72. On the contrary, as shown in FIG. 8 (C), when the laser spot P shifts to the right of the guide groove 82, a negative output is produced in the differential amplifier 72.
このようにして,差動増幅器72の出力によりビーム・ス
ポットPがディスク81のトラックに正確に沿っている
か,トラッキング・エラーが生じているか,それは左,
右のどちらにずれたエラーかが検出される。In this way, whether the beam spot P is exactly along the track of the disk 81 due to the output of the differential amplifier 72, or whether a tracking error has occurred, that is, on the left,
It is detected which of the errors is offset to the right.
(5)フォーカシングおよびトラッキング駆動機構 第9図から第11図はフォーカシング駆動機構およびトラ
ッキング駆動機構を示している。(5) Focusing and tracking drive mechanism FIGS. 9 to 11 show the focusing drive mechanism and the tracking drive mechanism.
支持板100の一端部に支持部材101が立設されている。こ
の支持部材101の両側下端部は切欠かれている(符号10
2)。支持板100の他端部上方には可動部材103が位置し
ている。上下方向に弾性的に屈曲しうる4つの板ばね12
1,122の一端は支持部材101の上端両側および下部切欠き
102に固定されており,他端は可動部材103の上端および
下端の両側にそれぞれ固定されている。したがって,可
動部材103はこれらの板ばね121,122を介して上下方向に
運動しうる状態で支持部材101に支持されている。A support member 101 is erected on one end of the support plate 100. Both lower ends of the support member 101 are notched (reference numeral 10).
2). The movable member 103 is located above the other end of the support plate 100. Four leaf springs 12 that can be elastically bent in the vertical direction 12
One end of 1,122 has both upper and lower cutouts of the support member 101.
It is fixed to 102, and the other end is fixed to both sides of the upper end and the lower end of the movable member 103. Therefore, the movable member 103 is supported by the support member 101 via the leaf springs 121 and 122 so as to be movable in the vertical direction.
ヘッド9を載置したステージ110は,上部の方形枠112,
方形枠112の両端から下方にのびた両脚114,115および方
形枠112の中央部から下方にのびた中央脚113から構成さ
れている。方形枠112上にヘッド9が載置固定されてい
る。横方向に弾性的に屈曲しうる4つの板ばね131の一
端は可動部材103の両側上,下部に固定され,他端はス
テージ110の中央脚113の両側上,下部に固定されてい
る。ステージ110は,これらの板ばね131を介して横方向
(第8図の左右方向と一致する)に,運動しうる状態で
支持されている。したがって,ステージ110は,上下方
向(フォーカシング)および横方向(トラッキング)に
移動自在である。The stage 110 on which the head 9 is placed has a rectangular frame 112,
It is composed of both legs 114 and 115 extending downward from both ends of the rectangular frame 112 and a central leg 113 extending downward from a central portion of the rectangular frame 112. The head 9 is placed and fixed on the rectangular frame 112. One end of each of the four leaf springs 131 that can be elastically bent in the lateral direction is fixed to both upper and lower portions of the movable member 103, and the other end is fixed to both upper and lower portions of the central leg 113 of the stage 110. The stage 110 is movably supported in the lateral direction (corresponding to the left-right direction in FIG. 8) via these leaf springs 131. Therefore, the stage 110 is movable in the vertical direction (focusing) and the horizontal direction (tracking).
支持板100,支持部材101,可動部材103およびステージ1
10は非磁性材料,たとえばプラスチックにより構成され
ている。Support plate 100, support member 101, movable member 103, and stage 1
Reference numeral 10 is made of a non-magnetic material such as plastic.
支持部材101および可動部材103の内面にはヨーク104,10
5が固定されている。ヨーク104は,支持部材101に固定
された垂直部分104aと,これと間隔をおいて位置するも
う1つの垂直部分104bと,これらの両部分104a,104bを
それらの下端で結合させる水平部分とから構成されてい
る。ヨーク105もヨーク104と全く同じ形状であり,一定
の間隔をおいて離れた2つの垂直部分105a,105bを備え
ている。The yokes 104 and 10 are provided on the inner surfaces of the support member 101 and the movable member 103.
5 is fixed. The yoke 104 is composed of a vertical portion 104a fixed to the support member 101, another vertical portion 104b spaced apart from the vertical portion 104a, and a horizontal portion connecting both of these portions 104a, 104b at their lower ends. It is configured. The yoke 105 also has exactly the same shape as the yoke 104, and includes two vertical portions 105a and 105b that are separated by a certain distance.
これらのヨーク104,105の垂直部分104a,105aの内面に
は,この内面側をたとえばS極とする永久磁石106がそ
れぞれ固定されている。そして,ヨーク104,105の他方
の垂直部分104b,105bと永久磁石106との間に,ステージ
110の脚114,115がそれらに接しない状態でそれぞれ入り
込んでいる。Permanent magnets 106 having an S-pole on the inner surface side are fixed to the inner surfaces of the vertical portions 104a and 105a of the yokes 104 and 105, respectively. Then, between the other vertical portions 104b and 105b of the yokes 104 and 105 and the permanent magnet 106, the stage
The legs 114 and 115 of the 110 are inserted without touching them.
ステージ110の両脚114,115のまわりにはフォーカシング
駆動用コイル123が水平方向に巻回されている。またこ
れらの脚114,115の一部には,永久磁石106と対向する部
分において上下方向に向う部分を有するトラッキング駆
動用コイル133が巻回されている。A focusing drive coil 123 is horizontally wound around both legs 114 and 115 of the stage 110. Further, a tracking drive coil 133 having a portion facing the vertical direction in a portion facing the permanent magnet 106 is wound around a part of the legs 114, 115.
フォーカシング駆動機構は第10図に最もよく示されてい
る。永久磁石106から発生した磁束Hは鎖線で示されて
いるようにヨーク104,105の垂直部分104b,105bにそれぞ
れ向う。この磁界を横切って水平方向に配設されたコイ
ル123に,たとえば第10図において紙面に向う方向に駆
動電流が流されると,上方に向う力Ffが発生する。こ
の力Ffによってステージ110は上方に移動する。ステ
ージ110の移動量はコイル123に流される電流の大きさに
よって調整することができる。したがって,上述した差
動増幅器71の出力信号に応じてこの駆動電流の方向を切
換えることにより,および電流の大きさを調整するまた
は電流をオン,オフすることにより,フォーカシング制
御を行なうことができる。The focusing drive mechanism is best shown in FIG. The magnetic flux H generated from the permanent magnet 106 is directed to the vertical portions 104b and 105b of the yokes 104 and 105, respectively, as shown by the chain line. When a drive current is applied to the coil 123 arranged horizontally across the magnetic field in the direction toward the paper surface in FIG. 10, a force Ff directed upward is generated. This force Ff moves the stage 110 upward. The amount of movement of the stage 110 can be adjusted by the magnitude of the current passed through the coil 123. Therefore, focusing control can be performed by switching the direction of the drive current according to the output signal of the differential amplifier 71 described above, and adjusting the magnitude of the current or turning the current on and off.
トラッキング駆動機構は第11図に最もよく表わされてい
る。コイル133の磁界Hを上下方向に横切って配設され
た部分に,たとえば第11図で紙面に向う方向に(第9図
で下方に向って)駆動電流を流すと,第11図において上
方に向う力(第9図において横方向に向う力)Ftが発
生し,ステージ110は同方向に移動する。上述した差動
増幅器72の出力信号に応じてコイル133に流す電流をオ
ン,オフしたり,電流の方向,必要ならばその大きさを
調整することにより,トラッキング制御を行なうことが
できる。The tracking drive mechanism is best represented in FIG. When a drive current is applied to a portion of the coil 133 which is disposed across the magnetic field H in the vertical direction, for example, in the direction toward the paper surface in FIG. 11 (downward in FIG. 9), the drive current is moved upward in FIG. A facing force (a lateral force in FIG. 9) Ft is generated, and the stage 110 moves in the same direction. Tracking control can be performed by turning on and off the current flowing through the coil 133 according to the output signal of the differential amplifier 72 described above, and adjusting the direction of the current and, if necessary, its magnitude.
第1図は光磁気書込み,読取り用ヘッドを示す斜視図で
ある。 第2図は読取り用受光部の構成を示す平面図である。 第3図は読取り回路を示している。 第4図は検光子片の主軸の方向を示す図,第5図は反射
光の基準偏光方向および磁気光学効果によって回転され
た偏光方向を示す図である。 第6図は,光磁気ディスクと光磁気書込み読取りヘッド
との位置関係を示す断面図である。 第7図は,受光部上におけるフォーカシング・エラーの
検出原理を示す図である。 第8図は,トラッキング・エラーの検出原理を示す図で
ある。 第9図から第11図は,フォーカシングおよびトラッキン
グ駆動機構を示すもので,第9図は斜視図,第10図は第
9図のX−X線にそう断面図,第11図はヘッドを除去し
て示す平面図である。 9……光磁気書込み読取りヘッド,11……基板, 12……光導波路,13,33……半導体レーザ, 14,34……コリメーティング・レンズ, 15,35……カップリング・レンズ, 20,40……受光部,21〜24,41a,42a……受光素子, 41,42……検光子片,104,105……ヨーク, 106……永久磁石,110……ステージ, 121,122,131……板ばね, 123……フォーカシング駆動用コイル, 133……トラッキング駆動用コイル。FIG. 1 is a perspective view showing a magneto-optical writing / reading head. FIG. 2 is a plan view showing the structure of the reading light receiving section. FIG. 3 shows the reading circuit. FIG. 4 is a diagram showing the direction of the principal axis of the analyzer piece, and FIG. 5 is a diagram showing the reference polarization direction of the reflected light and the polarization direction rotated by the magneto-optical effect. FIG. 6 is a sectional view showing the positional relationship between the magneto-optical disk and the magneto-optical writing / reading head. FIG. 7 is a diagram showing the principle of detecting a focusing error on the light receiving portion. FIG. 8 is a diagram showing the principle of tracking error detection. 9 to 11 show a focusing and tracking driving mechanism. FIG. 9 is a perspective view, FIG. 10 is a sectional view taken along line XX of FIG. 9, and FIG. 11 shows a head removed. FIG. 9 ... Magneto-optical writing / reading head, 11 ... Substrate, 12 ... Optical waveguide, 13,33 ... Semiconductor laser, 14,34 ... Collimating lens, 15,35 ... Coupling lens, 20 , 40 …… light receiving part, 21 to 24,41a, 42a …… light receiving element, 41,42 …… analyzer piece, 104,105 …… yoke, 106 …… permanent magnet, 110 …… stage, 121,122,131 …… leaf spring, 123 …… Focusing drive coil, 133 …… Tracking drive coil.
Claims (1)
/または光磁気ディスクからのデータの読出しを行なう
ための光情報処理装置であり, 書込みおよび/または読出しのために光磁気ディスク上
に焦点を結ぶ光スポットを投射しかつその反射光を受光
する第1の光学系と, この第1の光学系の光スポットを光磁気ディスクの案内
溝に追従させるためにエラーを検出する第2の光学系と
を有し, 第1の光学系が, 基板上に形成された光導波路, 光導波路に導入されるレーザ光の光源, 光導波路上に形成され,光導波路を伝播する光を斜め上
方に出射させかつ2次元的に集光するレンズ手段, 斜め上方から反射してくる光を受光する少なくとも2つ
の受光素子を有する受光手段,および 上記受光素子上に主軸が互いに90゜ずらして配置された
検光子を備え, 第2の光学系が, 基板上に形成された光導波路, 光導波路に導入されるレーザ光の光源, 光導波路上に形成され,光導波路を伝播する光を斜め上
方に出射させかつ2次元的に集光するレンズ手段,およ
び 斜め上方から反射してくる光を受光する手段を備えてい
る, 光情報処理装置。1. An optical information processing apparatus for writing data to a magneto-optical disk and / or reading data from a magneto-optical disk, wherein a focus is placed on the magneto-optical disk for writing and / or reading. A first optical system that projects a connecting light spot and receives the reflected light, and a second optical system that detects an error so that the light spot of the first optical system follows the guide groove of the magneto-optical disk. And the first optical system has an optical waveguide formed on the substrate, a light source of laser light introduced into the optical waveguide, and light formed on the optical waveguide and propagating through the optical waveguide obliquely upward. Lens means for converging and two-dimensionally converging, light receiving means having at least two light receiving elements for receiving light reflected obliquely from above, and the main axes are arranged on the light receiving element so that their main axes are offset from each other by 90 °. The second optical system is provided with an optical analyzer formed on the substrate, a second optical system is provided with an optical waveguide formed on the substrate, a light source of laser light introduced into the optical waveguide, and light propagating through the optical waveguide that is obliquely upward. An optical information processing apparatus, comprising: a lens unit that emits light to and that collects light in a two-dimensional manner; and a unit that receives light reflected obliquely from above.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11027485A JPH0622060B2 (en) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | Optical information processing device |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP11027485A JPH0622060B2 (en) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | Optical information processing device |
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ID=14531528
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---|---|---|---|
JP11027485A Expired - Lifetime JPH0622060B2 (en) | 1985-05-24 | 1985-05-24 | Optical information processing device |
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JP (1) | JPH0622060B2 (en) |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
EP0483438B1 (en) * | 1990-10-30 | 1996-01-17 | International Business Machines Corporation | Integrated optical head structure |
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1985
- 1985-05-24 JP JP11027485A patent/JPH0622060B2/en not_active Expired - Lifetime
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