JPH06213619A

JPH06213619A - 干渉計

Info

Publication number: JPH06213619A
Application number: JP5272992A
Authority: JP
Inventors: Voirin Guy; ギュイ・ボワラン; Farko Lucien; ルシアン・ファルコ
Original assignee: C S Uu M Centre Swiss Electron E De Mikurotekuniku SA Rech E Dev; Centre Suisse dElectronique et Microtechnique SA CSEM
Current assignee: C S Uu M Centre Swiss Electron E De Mikurotekuniku SA Rech E Dev; Centre Suisse dElectronique et Microtechnique SA CSEM
Priority date: 1992-10-06
Filing date: 1993-10-06
Publication date: 1994-08-05
Also published as: FR2696546A1; ATE157162T1; EP0591912B1; EP0591912A3; FR2696546B1; EP0591912A2; DE69313231D1

Abstract

(57)【要約】【目的】温度等に対して安定な干渉計を提供する。【構成】組込ユニット（４２）と、測定部（４６）に
よってこの組込ユニットから分離された反射ユニット
（４４）とを有する。本干渉計は、測定光束（４８）お
よび基準光束（５０）が上記測定部を通過し、上記反射
ユニットによって反射され、上記ユニット内のこれら２
つの光束の光学距離が、実質的に等しいことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、組込ユニツトと、少な
くとも１つの測定部によつてこの組込ユニツトから分離
され測定光束を反射するミラーとを含む干渉計に関す
る。この干渉計は、特に、距離の測定および測定部に充
填された媒体の屈折率の変化の測定に使用する。更に、
この干渉計は、例えば、レーザダイオードから放射され
た光束の波長を上記媒体中で安定化するのに使用され
る。

【０００２】図１に示した、本出願人の研究所で最近開
発した干渉計は、本発明の目的の開示に利用できる。こ
の図１に、組込ユニツト２と、測定部６によつて組込ユ
ニツト２から分離された測定ミラー４とを含む。ここ
で、組込ユニツトとは、相互に動作するように結合さ
れ、１つのモジユールで支持された各種要素を統合する
ユニツトを意味する。

【０００３】図１に示した干渉計は、マッハ−ツェンダ
型である。組込ユニツト２は、光学的入力ガイド１０を
表面に被覆した基板８と、第１分岐１２ａおよび第２分
岐１２ｂを含む光学的測定ガイドと、第１分岐１４ａお
よび第２分岐１４ｂを含む光学的基準ガイドとから形成
される。この組込ユニツト２は、更に、測定ガイドの分
岐１２ｂおよび基準ガイドの分岐１４ｂに入力を接続し
た位相復調器１６を含む。この復調器１６の出力には、
それぞれ、別個に４つの出力ガイド１８ａ〜１８ｄを介
して検知器（図示してない）に伝達される４つの別個の
光学信号が得られる。

【０００４】この場合、光学的測定ガイドの波長は、実
質的に、光学的基準ガイドの波長に等しい。基板８の１
つの側面２０には、上記組込ユニツト２と上記測定部６
との間に、伝達レンズ２２および２４が設けてある。こ
れらのレンズ２２および２４は、測定光束２８を伝播さ
せ得る測定光路２６中に位置する。

【０００５】第１レンズ２２は、測定ガイド内を伝播す
る測定光束２８のコリメーシヨン（平行化）に役立つ。
第２レンズは、光束２８が測定ミラー４で反射された
後、測定ガイドの分岐１２ｂに上記測定光束２８をフオ
ーカシング（焦点合わせ）するのに役立つ。この測定ミ
ラー４は、レンズ２４の光軸と一致する方向へ上記レン
ズへ向つて測定光束を反射するよう設置されている。測
定ミラー４は中空立方体のコーナの形の後方反射鏡から
形成され、伝達レンズ２２および２４は屈折率勾配を有
するオートフオーカシングレンズＧＲＩＮから形成され
る。

【０００６】光学的基準ガイドの２つの分岐１４ａ、１
４ｂは、基板８の側面２０によつて決定される平面で再
統合される。この部分には基準ミラー３０が設けてあ
る。この場合、光学的基準ガイドの分岐１４ａおよび１
４ｂは、基準ミラー３０とともに、基準光束３４のため
の基準光路３２を形成する。上記基準光束は、測定光束
２８の形成にも役立つ入力光束３６から得られる。

【０００７】上述の装置には、測定部６において実施で
きる測定の精度に関して問題がある。実際、この種の干
渉計によつて実施されるすべての測定は、測定光路２６
によつて決定される測定光学距離と基準光路３２によつ
て決定される基準光学距離との間の光学距離の差にもと
づく。

【０００８】従って、測定部６外で、測定光学距離と基
準光学距離との間の光学距離の差が変化すると、必ず、
上記測定部において実施した測定が不正確となる。上述
の装置の場合、この種の変化は、各種の現象（例えば、
組込ユニツト２の基板８の温度変化）にもとづき、生ず
る。なぜならば、組込ユニツト２の測定光学距離は、伝
達レンズ２２、２４の存在にもとづき、上記組込ユニツ
トの基準光学距離と異なるからである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
欠点を排除することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】従って、本発明は、組込
ユニツトと、上記組込ユニツトに関して所定方向に配列
された測定ミラーとを組合わせて備え、測定部が、少な
くとも部分的に、上記組込ユニツトと上記測定ミラーと
の間に位置する干渉計である。上記組込ユニツトは、基
準光路を部分的に形成する基準ガイドと、上記測定ミラ
ーに接する測定光路を部分的に形成する測定ガイドとを
含む。その測定光路および基準光路は、それぞれ測定光
学距離および基準光学距離を定め、基準光束および測定
光束が、それぞれ上記基準光路および測定光路を伝播す
る。上記組込ユニツトは、さらに上記測定ガイドおよび
上記基準ガイドに接続する入力の位相復調器と、上記測
定光路に設けられた、上記測定光束を測定ガイドから放
射させる伝達手段とを備えている。その伝達手段によっ
て上記測定光束が測定部へ送られ、測定部を伝播した測
定光束は、次いで、上記伝達手段によつて測定ガイドに
再び入射する。本干渉計は、上記組込ユニツトが、上記
組込ユニツトの基準光束および上記組込ユニツトの測定
光路によつてそれぞれ定められる基準光学距離および測
定光学距離の等化手段を含むことを特徴とする。

【００１１】上記特徴にもとづき、測定光路と基準光路
との間の光学距離の差は、上記組込ユニツト外のこれら
２つの光路の間の光学距離の差のみによつて決定され
る。従って、測定部の光学距離の差のみに依存する干渉
結果が得られる。

【００１２】本発明の主実施例によれば、上記等化手段
は上記組込ユニツトの外面に形成される。本干渉計は、
上記組込ユニツトに対して第２所定方向へ一定距離をお
いて上記外面に対して少なくとも部分的に対向させて設
けた基準ミラーを含む。上記基準ミラーは、上記等化手
段および上記基準ガイドとともに上記基準光路の形成に
役立つ。上記等化手段によって形成される上記基準光束
のための光学距離は、上記測定光束のために上記伝達手
段によつて形成される光学距離と実質的に等しく、上記
基準ガイドおよび上記測定ガイドは、それぞれ実質的に
等しい物理的性質および長さとなる。

【００１３】特に、上記伝達手段は実質的に等しい第
１、第２レンズによつて形成されるとともに、上記等化
手段は、上記第１、第２レンズに実質的に等しい第３レ
ンズから形成される。上記基準ミラーは、上記第３レン
ズによつて形成される外面に配される。

【００１４】この主実施例の特徴によれば、組込ユニツ
ト内の測定光路と基準光路との間の光学距離の差は、例
えば、組込ユニツトの温度に関係なくゼロに保持され
る。従って、測定部において実施した任意の測定につい
て、大きい信頼性が得られる。本発明の特殊な実施例に
よれば、安価な手段によつて実施した測定において上記
の大きい信頼性を得ることができ、この場合、唯一つの
レンズを干渉計に加えれるだけでよい。本発明の別の特
徴および利点は、実施例を示す添付の図面を参照した以
下の説明から明らかであろう。

【００１５】

【実施例】以下において、図２を参照して、本発明に係
る干渉計の実施例を説明する。この干渉計は、マッハ−
ツェンダ型である。図２に示したように、干渉計は、組
込ユニツト５２と、測定ミラー５４とを含み、測定部５
６は、少なくとも部分的に、測定ミラー５４と組込ユニ
ツト５２との間に設置される。測定ミラー５４は、例え
ば、中空の後方反射鏡から形成される。

【００１６】組込ユニツト５２は、光学的入力ガイド６
０を表面に設けた基板５８と、第１、第２分岐６２ａ、
６２ｂを含む光学的測定ガイド６２と、第１、第２分岐
６４ａ、６４ｂを含む光学的基準ガイド６４とから形成
される。測定ガイド６２および基準ガイド６４は、位相
復調器６６の入力６５に接続され、測定ガイド６２の分
岐６２ｂおよび基準ガイド６４の分岐６４ｂをそれぞれ
伝播できる測定光束６８と基準光束７０との間にこの復
調器で干渉が生ずる。第１伝達レンズ７２および第２レ
ンズ７４からなる伝達手段が、基板５８の側面７６に設
けてある。上記伝達レンズ７２、７４は、上記測定ガイ
ド６２とレンズ７２、７４と測定ミラー５４とによつて
形成された測定光路７８中に設置されている。この測定
ミラーは、組込ユニツト５２に対して所定方向へ配列さ
れ、この方向はレンズ７２の光軸の方向に平行であり、
レンズ７２からその光軸の方向へ出る入射光束がレンズ
７４の光軸の方向へ反射されるように定められている。

【００１７】上記組込ユニツト５２において、上記組込
ユニツトの測定光路７８によつて定められる測定光学距
離および上記組込ユニツトの基準光路８０によつて定め
られる基準光学距離を等化する手段は、光軸８３を定め
る等化レンズ８２と、基準ミラー８６に対向する外面８
４とから形成される。従って、基準光路８０は、光学的
基準ガイド６４と、等化レンズ８２と、基準ミラー８６
とによつて定められる。一般に、基準ミラー８６は、光
軸８３の方向へ配列し、外面８４から一定距離に設置
し、上記方向は、レンズ８２の光軸８３に平行な方向へ
伝播する入射光束が平行な方向へ反射されるよう、定め
るだけでよい。

【００１８】基準ガイド６４の分岐６４ａと分岐６４ｂ
とを光学的に接続するために、基板５８の面７６の上記
各分岐の端部は、光軸８３に関して角度的に僅かにずら
し、分岐６４ａから出た光束が、基準ミラー８６で反射
された後、分岐６４ｂに再び導入されるようになってい
る。上述のレンズは、別の実施例（図示してない）で
は、基板５８の測定ガイドおよび基準ガイドの延長部に
直接に形成できる。この場合、用語「レンズ」は、光束
がランダムに且つ相反的に伝播する媒体へ光学的ガイド
から光束を通過させることができる伝達手段のための一
般的用語である。更に、この伝達手段は、別の実施例
（図示してない）では、コリメーシヨン（平行化）機能
を有する回折格子から形成している。

【００１９】光学的測定ガイド６２および基準ガイド６
４の形状は、１つのガイドの長さが実質的に別のガイド
の長さと等しくなるよう定めてある。レンズ７２、７
４、８２は実質的に同一であるので、組込ユニツト５２
内の基準光学距離と上記組込ユニツトの測定光学距離と
は、実質的に等しく、測定ガイドおよび基準ガイドの物
理的性質は同一である。

【００２０】実際、測定ガイド６２および基準ガイド６
４が形成される分離点９０の以降において、測定ガイド
６２の分岐６２ａ、６２ｂは、それぞれ、光学的基準ガ
イド６４の分岐６４ａ、６４ｂに関して実質的に対称な
形状を有する。更に、測定光束６８は、組込ユニツト５
８から出る際、レンズ７２を通過し、測定ミラー５４で
反射された後に組込ユニツト５２に再び入射する際、レ
ンズ７４を通過する。一方、基準光束７０は、組込ユニ
ツト５２の光学距離等化手段として役立つレンズ８２を
二方向へ通過する。

【００２１】上述の本発明に係る干渉計には、組込ユニ
ツト５２の温度変化、基板５８の膨張、基板の表面状態
の変化などに不感であるという利点がある。更に、組込
ユニツト５２の光学距離等化手段としてレンズ７２、７
４と実質的に同一のレンズ８２を使用しても、本発明に
係る干渉計の構成に、何らかの技術的問題が生ずること
はない。本発明の上記実施例の変形例（図示してない）
では、レンズ７２、７４およびレンズ８２を含むレンズ
・マトリツクスを設けることができる。この種のマトリ
ツクスの場合、必要なレンズユニツトを、特に、２つの
ユニツトの各レンズの相互間隔に関して、高精度で加工
できる。この種の装置のために、当業界で公知のすべて
のレンズ・マトリツクス製造法を考慮できる。

【００２２】更に、図２の場合、４つの出力ガイド９２
ａ、９２ｂ、９２ｃ、９２ｄが、復調器６６の出力に設
けてあり、出力信号は、測定光束６８と基準光束７０と
の間の干渉結果を検知ユニツト（図２には示してない）
に伝達するため、上記出力ガイド９２ａ〜９２ｄ内を伝
播できる。

【００２３】以下に、図３、４を参照して、図２の位相
復調器６６を更に詳細に説明する。図３、４に示した復
調器６６の実施例は、限定的ではない。「Ｔｅｃｈｎｉ
ｓｃｈｅｓＭｅｓｓｅｎ」誌５８（１９９１）４、ｐ
１５２〜１５７の論文「Ｉｎｔｅｇｒｉｅｒｔｏｐｔ
ｉｓｃｈｅｓＭｉｃｈｅｌｓｏｎ-Ｉｎ-ｔｅｒｆｅｒ
ｏｍｅｔｅｒｍｉｔＱｕａｄｒａｔｕｒｄｅｍｏｄｕ
ｌａｔｉｎｉｍＧｌａｓｚｕｒＭｅｓｓｕｎｇｖ
ｏｎＶｅｒｓｃｈｉｅｂｅｗｅｇｅｎ」には、別の実
施例が記載されている。この論文には、上述の組込ユニ
ツトの製造技術および先行技術のマイケルソン干渉計が
記載されている。

【００２４】図３に示した如く、位相復調器６６は、巾
Ｗおよび長さＬを有する、実質的に長方形の平面波ガイ
ドからなる。この平面波ガイドは、入射光分布から多重
像を形成する性質を有するマルチモードガイドである。
図３、４にした実施例の場合、基準ガイド６４の分岐６
４ｂを伝播する光束７０は、位相復調器６６の入力６５
において、光度分布Ｉ１を有し、一方、測定ガイド６２
の分岐６２ｂを伝播する光束６８は、上記復調器６６の
入力６５において、光分布Ｉ２を有する。測定ガイド６
２および基準ガイド６４を伝播する上記光束は、各光度
分布Ｉ１、Ｉ２が、距離Ｌにおいて、低光度ＩＳの４つ
の像を形成するよう、復調器６６の入力６５の特殊な箇
所に入射される。

【００２５】距離Ｌは、復調器６６を形成するマルチモ
ードガイドの帯域巾Ｗ、上記平面波ガイドを形成する媒
体の屈折率Ｎおよび光束６８、７０の波長λ0 によつて
定められる。これらの各パラメータに長さＬを関係づけ
る数学的関係は、Ｌ＝ＮＷ²／λ0 で与えられる。距離
Ｌにおいて、２つの入射光束Ｉ１、Ｉ２は、それぞれ、
別の４つの像に重畳する４つの像を形成し、かくして、
２つの入射光束の間の移相度ψの関数である強度を有す
る４つの特殊な干渉ＩＦ１、ＩＦ２、ＩＦ３、ＩＦ４が
形成される。

【００２６】図４には、更に、復調器６６内の伝播時に
誘起される２つの光度分布Ｉ１、Ｉ２の位相差ＤＦが示
してある。復調器６６によつて誘起されるこの位相差Ｄ
Ｆは、９０°の倍数である。４５°回転して、三角法の
通常の基準軸を変更すれば、干渉ＩＦ１は、（１＋ｃｏ
ｓψ）（式中、ψは、２つの入射光束の間の移相度を表
す）にもとづき変化する光度を与え、一方、干渉ＩＦ
２、ＩＦ３、ＩＦ４は、それぞれ、（１−ｓｉｎψ）、
（１＋ｓｉｎψ）および（１−ｃｏｓψ）にもとづき変
化する光度を与える。

【００２７】干渉ＩＦ１および干渉ＩＦ２の測定強度
は、干渉縞の移動の追跡および方向の決定に十分であ
る。しかしながら、４つの重畳像を利用することによつ
て、干渉結果のコントラストを増大でき、ゼロに等しい
平均値で処理した結果が得られる

【００２８】以下に、図５を参照して、本発明に係る２
つの干渉計を含む装置を説明する。この装置は、可動対
象ＯＭの位置を精密に測定するのに使用する。図５に示
した装置は、測定部５６において極めて精密な距離を測
定するのに使用する。このため、装置は、測定部５６に
充填された屈折率可変の媒体内で作用光束１０２の波長
を安定化する本発明に係る第１干渉計１００と、組込ユ
ニツト１１４に対する対象ＯＭの位置を測定する本発明
に係る第２干渉計１０４とを含む。この場合、この対象
ＯＭは、干渉計１０４の測定ミラー５４ｂに関連させさ
れ、測定ミラー５４ｂの配列方向に対応する移動軸線１
０８に沿つて移動ささせられる。

【００２９】一方、干渉計１００の測定ミラー５４ａ
は、この干渉計の組込ユニット１１２に対して不動に設
置されている。上記実施例の場合、干渉計１００の組込
ユニット１１２および干渉計１０４の組込ユニット１１
４は、唯一つの組込ユニットを形成する。更に、２つの
組込ユニット１１２、１１４は、一体とされた基板１１
６で支持される。作用光束１０２は、まず、干渉計１０
４の入力ガイド６０ｂ内を伝播し、一方、コントロール
光束１１８は、まず、干渉計１００の入力ガイド６０ａ
内を伝播する。作用光束１０２およびコントロール光束
１１８は、何れも１つの光源１０５から来る。

【００３０】干渉計１００、１０４は、それぞれ、基板
１１６に２つの組込ユニット１１２、１１４を支持した
点以外は、図２に示した本発明に係わる干渉計の実施例
に対応する。この場合、簡略化のため、図２に示した部
材については、説明しない。第１干渉計１００の位相復
調器６６ａから出た出力信号群１２０は、第１検知系１
２２に伝達される。この検知系１２２は、次いで、復調
器６６ａにおける第１干渉計１００の測定光束６８ａ基
準光束７０ａとの間の干渉結果をあらわす少なくとも１
つの電気信号１２３を、レーザ源１０５から放射された
作用光束１０２の波長を測定部５６において安定化する
ユニット１２４に伝達する。上記装置において、レーザ
源１０５は、レーザダイオードから構成される。

【００３１】安定化ユニット１２４は、第１調整信号１
２６をレーザ源１０５の給電ユニット１２８に伝達し、
第２信号をレーザ源１０５の温度調節ユニット１３２に
伝達するよう構成されており、第１信号１２６は、レー
ザ源１０５の給電値の調節に役立ち、第２信号１３０
は、測定部５６の作用光束１０２の合成波長値が経済的
に一定であるようレーザ源１０５の温度を調整するのに
役立つ。

【００３２】干渉計１０４の位相復調器６６ｂの光学的
出力信号群１３６は、第２伝達系１３８に伝達される。
この検知系は、復調器６６ａ内の干渉結果を表す少なく
とも１つの電気信号１４０を可動ミラー５４ｂの変位の
測定ユニット１４２に伝達する。可動ミラーの変位のこ
の測定ユニット１４２は、距離測定に使用する干渉計１
０４内を伝播する測定光束６８ｂと基準光束７０ｂとの
間の位相差の変化を追跡できるように構成されている。
次いで、光束６８ｂ、７０ｂの間の位相差の変化は、干
渉計１００によって安定化された作用光束１０２の波長
の数値によってメートル値に変換される。

【００３３】検知系１２２、１３８およびレーザダイオ
ード１０５は、基板１１６の側面１５０に対向させて設
置してある。更に、第５図の装置に含まれるレンズ群
は、レンズマトリックスの形に構成されている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本出願人の先願の干渉計の図面である。

【図２】本発明に係わる干渉計の実施例の略図である。

【図３】図２の実施例に設置する如き位相復調器の形状
を示す略図である。

【図４】図３の位相復調器の機能を示すグラフである。

【図５】本発明に係わる２つの干渉計、即ち、距離測定
に使用する第１干渉計と、距離測定に使用される光束の
波長の安定化に使用する第２干渉計とを組合わせて含む
装置の図面である。

【符号の説明】

５２・・組込ユニット５４・・測定ミラー５６・・測定部６２・・測定ガイド６４・・基準ガイド６６・・位相復調器６８・・測定光束７０・・基準光束７２、７４・・伝達手段７８・・測定光路、８０・・基準光路８２・・等化手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ルシアン・ファルコスイス国シイエイチ−2088 クレッシ・ルドブラン・15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】組込ユニツト（５２）と、上記組込ユニ
ツトに対して所定方向（５５）に配列された測定ミラー
（５４）とを組合わせて含み、測定部（５６）が少なく
とも部分的に上記組込ユニツトと上記測定ミラーとの間
に位置し、上記組込ユニツトが、基準光路（８０）を部
分的に形成する基準ガイド（６４）と、上記測定ミラー
に接する測定光路（７８）を部分的に形成する測定ガイ
ド（６２）とを含み、上記測定光路および基準光路が、
それぞれ、測定光学距離および基準光学距離を定め、基
準光束（７０）および測定光束（６８）が、それぞれ、
上記基準光路および測定光路を伝播でき、上記組込ユニ
ツトが、上記測定ガイドおよび上記基準ガイドに接続す
る入力（６５）の位相復調器（６６）と、上記測定光路
中に設けてあり上記測定光束を上記測定ガイドから放射
させ得る伝達手段（７２、７４）とを含み、上記測定光
束が、上記測定部を伝播して、上記伝達手段によつて測
定ガイドに再び入射させ得る干渉計であって、上記組込
ユニツトが、上記組込ユニツトの基準光束および上記組
込ユニツトの測定光路によつてそれぞれ定められる基準
光学距離および測定光学距離の等化手段（８２）を含む
ことを特徴とする干渉計。
【請求項２】上記等化手段（８２）が、上記基準光路
（８０）に設けてあることを特徴とする請求項１の干渉
計。
【請求項３】上記等化手段（８２）が、上記組込ユニ
ツト（５２）の外面（８４）に対して少なくとも部分的
に対向させて且つ一定距離を置いて設けた基準ミラー
（８６）を含み、その基準ミラーが上記等化手段および
上記基準ガイド（６４）とともに上記基準光路（８０）
を形成し、上記基準光束のために上記等化手段によって
形成される光学的距離が、上記測定光束（６８）のため
に上記伝達手段（７２、７４）によつて形成される光学
距離と実質的に等しくして、上記基準ガイド（６４）お
よび上記測定ガイド（６２）が、それぞれ、実質的に等
しい物理的性質および長さを有することを特徴とする請
求項２の干渉計。
【請求項４】上記基準ミラー（８６）が、上記外面
（８４）に対向されていることを特徴とする請求項３の
干渉計。
【請求項５】上記伝達手段（７２、７４）が、上記測
定光路に設けた相互に実質的に等しい第１、第２レンズ
（７２、７４）から形成され、第１レンズが、上記組込
ユニツト（５２）から出た光束（６８）のコリメーシヨ
ンに役立ち、一方、上記第２レンズが、上記測定ミラー
（５４）で反射された後に上記組込ユニツトに入射する
上記測定光束のフオーカシングに役立つことを特徴とす
る請求項１〜４のいずれか１つに記載の干渉計。
【請求項６】上記等化手段が、上記第１、第２レンズ
（７２、７４）と実質的に等しい第３レンズ（８２）か
ら形成され、上記基準ミラー（８６）が、上記第２所定
方向を定める上記第３レンズの光軸（８３）に垂直に配
置してあることを特徴とする請求項５の干渉計。
【請求項７】請求項１〜６のいずれか１つに記載の干
渉計であつて、上記測定部（５６）の充填媒体中で、上
記干渉計に配した光源（１０５）から放射された作用光
束（１０２）の波長を安定化するのに使用するものにお
いて、該干渉計が、更に、上記測定部（５６）の充填媒
体の屈折率の変化に依存して上記光源（１０５）の放射
周波数を調節する等化手段（１０２、１２４、１２８、
１３２）と組合わされていることを特徴とする干渉計。
【請求項８】上記光源（１０５）が、レーザダイオー
ドであり、上記等化手段（１２２、１２４、１２８、１
３２）が、上記波長の数値を経時的に一定に保持するた
めにレーザダイオード（１０５）の供給電流および温度
を調節する手段（１２４）を含むことを特徴とする請求
項７の干渉計。
【請求項９】請求項１〜６のいずれか１つに記載の干
渉計であつて、上記組込ユニツト（１１４）に対して所
定方向へ可動な対象（ＯＭ）の位置を測定するのに使用
ため、上記対象が上記測定ミラー（５４ｂ）に関連させ
られ、その干渉計が、更に、上記位相復調器（６６ｂ）
内で行われた干渉の結果を評価して、この結果に対応し
上記対象の位置を表すメートル値を与える手段（１３
８、１４２）を含むことを特徴とする干渉計。
【請求項１０】請求項７または８に記載の第１干渉計
（１００）と請求項９に記載の第２干渉計（１０４）と
を組合わせて含み、第１、第２干渉計が、何れも、上記
光源（１０５）から光の供給を受け、上記作用光束（１
０２）が、上記測定光束（６８ｂ）の形成のため上記第
２干渉計（１０４）に供給され、上記第２干渉計の上記
光束（７０ｂ）が、上記対象（ＯＭ）の位置の測定に役
立つことを特徴とする装置。