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JPH0618460A - 試験材料の電気抵抗を非接触測定する方法 - Google Patents

試験材料の電気抵抗を非接触測定する方法

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JPH0618460A
JPH0618460A JP3077635A JP7763591A JPH0618460A JP H0618460 A JPH0618460 A JP H0618460A JP 3077635 A JP3077635 A JP 3077635A JP 7763591 A JP7763591 A JP 7763591A JP H0618460 A JPH0618460 A JP H0618460A
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test material
electrodes
total impedance
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Flachglas Wernberg GmbH
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 試験材料の電気抵抗を、高い精度で簡単に非
接触測定できるようにする。 【構成】 2つの結合電極2、3により試験材料1に容
量的に交流電流を供給し、その場合3つの周波数で総合
インピーダンスを測定し、その測定結果から結合電極
2、3間の漂遊容量、結合電極2、3と試験材料1の間
の結合容量及び試験材料1の電気抵抗を計算によって求
める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、2つの結合電極により
試験材料に容量的に交流電流を供給する、特に面に付着
した物質(=試験材料)の電気抵抗(又は導電度)を非
接触測定する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】前記のような方法はいろいろの点で公知
である(ドイツ連邦共和国特許出願公開第223935
9号及び第38150110号明細書、ヨーロッパ特許
出願公開第0192416号及び第0324193号明
細書、及び米国特許第3,408,566号、第3,9
67,191号及び第4,554,493号明細書参
照)。前記のような公知のすべての方法は、電気抵抗
(又は導電度)の測定が十分正確ではないという点で共
通している。
【0003】
【発明の目的】従って本発明の課題は、試験材料の電気
抵抗(又は導電度)が改善した精度で比較的簡単に測定
できるように、初めに基本的に述べた方法を構成しかつ
改善することにあり、特に従来の技術では例えば試験材
料と結合電極の間の距離の変化によって生じる測定誤差
を減少するようにすることにある。
【0004】
【発明の構成】前記課題を解決する本発明による方法
は、まずだいたいにおいて次のような特徴を有する。す
なわち少なくとも3つの周波数において総合インピーダ
ンスを測定し、かつそれにより両方の結合電極間の漂遊
容量、両方の結合電極と試験材料との間の結合容量及び
試験材料の抵抗を判定する。
【0005】本発明はまず次のような周知の事実に基づ
いている。すなわちここでは結合電極と称する2つの導
電面をここでは試験材料と称する導電媒体の近くへ動か
せば、結合電極と試験材料の間にここでは結合容量と称
する容量が生じる。さらに本発明は、これまで測定技術
において考慮されていなかった次のような事実に基づい
ている。すなわち両方の結合電極の間にここでは漂遊容
量と称する容量が生じる。従って結合電極に加えた交流
電圧によって流れる交流電流に対して総合インピーダン
スが作用し、この総合インピーダンスは、漂遊容量、結
合容量及び測定すべき抵抗から成る。その場合漂遊容量
は、結合容量と測定すべき抵抗から成る直列回路に対し
て並列になっている。
【0006】特別な意味を有する本発明による方法の有
利な構成は次のような特徴を有する。すなわち高い周波
数の交流電流により総合インピーダンスを測定し、かつ
それにより両方の結合電極の間の漂遊容量を判定し、低
い周波数の交流電流により総合インピーダンスを測定
し、かつそれにより漂遊容量を考慮しながら両方の結合
電極と試験材料との間の結合容量を判定し、かつ高い周
波数と低い周波数の間にある周波数の交流電流により総
合インピーダンスを測定し、かつそれにより漂遊容量と
結合容量を考慮しながら試験材料の抵抗を判定する。こ
の時本発明は次のことを利用する。すなわち漂遊容量が
結合容量に対して小さくなるように、結合電極を構成し
かつ距離を実現することができる。すなわちこの時次の
ことが成り立つ。
【0007】比較的高い周波数において総合インピーダ
ンスは、だいたいにおいて高い周波数で低抵抗の漂遊容
量によって決まり、加えた交流電圧と流れた交流電流の
間の位相シフトはほぼ90°であり、比較的低い周波数
において総合インピーダンスは、だいたいにおいて低い
周波数で高抵抗の結合容量によって決まり、加えた交流
電圧と流れた交流電流の間の位相シフトはこの場合にも
ほぼ90°になる。
【0008】高い周波数と低い周波数の間には、加えた
交流電圧と流れた交流電圧の間の位相シフトが最小値に
なる周波数が存在する。それ故に総合インピーダンスの
実部は、位相シフト最小値が現われる周波数の交流電流
によって測定すると有利である。
【0009】この時本発明により行うべき3つの測定に
より、すなわち高い周波数の交流電流による総合インピ
ーダンスの測定、低い周波数の交流電流による総合イン
ピーダンスの測定及び高い周波数と低い周波数の間にあ
る周波数の交流電流による総合インピーダンスの測定に
よって、漂遊容量、結合容量及び測定すべき抵抗が判定
でき、しかも次式によって判定できる。
【0010】
【数1】 その際 Z=総合インピーダンス XI=総合インピーダンスの虚部 XR=総合インピーダンスの実部 CS=漂遊容量 CK=結合容量 R=抵抗 その場合式(1)、(2)及び(3)は、本発明による
方法の基礎となる等価回路の正確な換算の結果得られた
ものである。式(4)、(5)及び(6)は、周波数を
ω1≫ω2≫ω3とした近似に基づくものであり、その際
ω2は、位相シフト最小の範囲にある。
【0011】本発明による方法を、例えば固定設置した
結合電極によって実施すれば、漂遊容量及び/又は結合
容量は1度の測定によって得ることができるので、この
時試験材料の抵抗の検出のためには2つの周波数又は1
つの周波数でさらに続けて測定を行うだけでよい。
【0012】
【実施例】詳細に述べれば、本発明による方法を構成し
かつ改善する種々の方法がある。これについては一方に
おいて特許請求の範囲第1項に続く請求項、他方におい
て次に図面に関連して説明する有利な実施例を参照され
たい。
【0013】図1と図2は、本発明による方法、従って
試験材料1の電気抵抗(又は導電度)を非接触測定する
方法を実施する装置の有利な構成の機械的構造を示して
おり、ここでは2つの結合電極2、3によって試験材料
1に交流電流が容量的に供給される。その点において図
1及び図2は、結合電極2、3を同じ面に構成しかつ2
つの結合電極2、3に加えてなおデカップリング電極4
を設けたものとして、本発明による方法を実施する装置
の有利な構成を示している。
【0014】図3は、本発明による方法の基礎となる等
価回路を示している。この等価回路には、まず抵抗Rが
含まれており、これは、本発明による方法により非接触
で測定すべき試験材料1の電気抵抗である。図3に示し
た回路にはその他に2つの部分結合容量CK、1及びCK、2
が含まれており、これらは、結合電極2と試験材料1の
間又は結合電極3と試験材料1の間の容量である。両方
の部分結合容量CK、1及びCK、2はいっしょになって結合
容量CKを形成する。さらに図3に示した回路には漂遊
容量CSが含まれており、これは、両方の結合電極2と
3の間の容量である。
【0015】前にすでに説明したように、図示した実施
例では両方の結合電極2と3の間になおデカップリング
電極4が設けられている。このデカップリング電極4
は、漂遊容量CSの影響を減らすために使われ、かつア
ース電位になっており、すなわちこのデカップリング電
極4により漂遊容量CSを介して流れる電流の一部が取
除かれる。図3に示す電気回路においてデカップリング
電極4は、2つの部分デカップリング容量CA、1及びC
A、2によって考慮されている。
【0016】図3に示した回路において、抵抗R、2つ
の部分結合容量CK、1とCK、2又は結合容量CK、及び漂
遊容量CSが総合インピーダンスZを形成している。付
加的になお測定抵抗5が設けられている。
【0017】本発明による方法のために考えられる評価
回路は図4に示してあり、しかもブロック図の形で示し
てある。図4に示したブロック図の上部に、両方の結合
電極2と3及びデカップリング電極4がまとめて設けら
れている。その他に評価回路は、高い周波数の交流電圧
用の給電部6、低い周波数の交流電圧用の給電部7、及
び高い周波数と低い周波数の間にある可変周波数を有す
る交流電圧用の給電部8を有する。それぞれの給電部
6、7、8には、発振器9、10、11、レギュレータ
12、13、14、及びフィルタ15、16、17が含
まれている。最後になお詳細に評価を行う計算機18が
設けられている。
【0018】本発明によれば次のような処理が行われ
る。すなわち第1ステップにおいて高い周波数の交流電
流により総合インピーダンスZの虚部XIが測定され、
かつそれにより両方の結合電極2と3の間の漂遊容量C
Sが判定され、しかも式(4)によって判定され、それ
から第2ステップにおいて低い周波数の交流電流によっ
て総合インピーダンスの虚部XI が測定され、かつそ
れにより漂遊容量CSを考慮しながら両方の結合電極2
又は3と試験材料1との間の結合容量CKが判定され、
しかも式(5)によって判定され、かつ最後に第3ステ
ップにおいて高い周波数と低い周波数の間にある周波数
の交流電流によって、すなわち位相シフト最小値が生じ
る周波数の交流電流によって、総合インピーダンスの実
部XRが測定され、かつそれにより漂遊容量CSと結合容
量CKを考慮しながら試験材料1の抵抗Rが判定され、
しかも式(6)によって判定される。
【0019】図には示していないが、測定精度をさらに
高めるために、試験材料1に対して所定の異なった距離
を有する2つの同じ電極装置によって測定を行うことが
できる。
【0020】結合電極の形成及び/又は結合電極と試験
材料の間の距離に依存して、電気力線の収縮が生じ、そ
の結果、結合電極の有効面積の変化が生じ、従って測定
した抵抗の付加的な変化が生じる。この作用の校正、す
なわち漂遊容量CS対結合容量CKの比の関数として抵抗
Rに対する校正曲線を形成すること、及び効果的な修正
は、漂遊容量と結合容量の測定値の評価によって行うこ
とができる。
【0021】その他に結合電極の距離に対する容量値の
関数は距離調整のために使用でき、その場合衝突の危険
なしにわずかな距離で(=高い測定精度で)非接触測定
を行うことができる。それ以上の利点は、さもなければ
不可欠な距離センサが省略できる点にある。
【0022】前に述べたように、図3に示した等価回路
にはさらに測定抵抗5が設けられている。交流電圧は、
電極装置と測定抵抗5から成る直列回路に加えられる。
流れる交流電流の尺度として測定抵抗5における電圧降
下が利用される。その場合測定抵抗5は、測定抵抗5に
おける電圧降下が全体に加えられた交流電圧に対して小
さいような値になっている。
【0023】図5と図6は、加えた交流電圧の周波数が
比較的高い場合に、加えた交流電圧と流れた交流電流の
間の位相シフトがほぼ90°であること、及び加えた交
流電圧の周波数が比較的低い場合に、加えた交流電圧と
流れた交流電流の間の位相シフトが同様にほぼ90°で
あることを非常にはっきりと示している。図5と図6
は、高い周波数と低い周波数の間に、加えた交流電圧と
流れた交流電流の間の位相シフトが最小値になる周波数
が存在することも非常にはっきりと示している。
【0024】図7から明らかなように、漂遊容量CS
考慮しない場合に生じる測定誤差はかなりのものであ
る。この測定誤差は、低い周波数でほぼ30%であり、
かつ位相シフト最小値が生じる周波数ではほぼ40%で
あり、位相シフト最小値が生じる周波数以上で相対測定
誤差は極めて急速に100%へと増加する。
【0025】その他に図5〜図7は、漂遊容量CSが1
PF、結合容量CKが55PF、かつ抵抗Rが250k
Ωの場合の状態を示している。
【0026】本発明による方法は、種々の材料の電気抵
抗(又は導電度)の非接触測定のために利用でき、例え
ばプラスチックフィルム、紙シート等の電気抵抗(又は
導電度)の非接触測定のために利用でき、ほぼ10〜1
6Ω/cm2の範囲の抵抗の判定に適している。
【0027】本発明による方法は、図8と図10に概略
的に示した自動車の窓ガラス18のワイパの制御のため
にも特に良好に利用できる。従って自動車の窓ガラス1
8のワイパを制御する制御装置も本発明の対象である。
図8〜図11に全体的に示すような制御装置には、少な
くとも2つの結合電極19、20から成るセンサ21、
少なくとも2つの接触素子22、23及び接触素子2
2、23に接続した評価回路24が含まれている。
【0028】原則的に結合電極は接触素子に直流的に結
合できる。どのような規則においても自動車の窓ガラス
18は、外側ガラス板25、内側ガラス板26及び外側
ガラス板25と内側ガラス板26の間に設けられた安全
フィルム27を有する合わせガラスとして構成されてい
る。この時自動車の窓ガラス18のワイパを制御する制
御装置の図8〜図11に全体的に示した構成は望ましい
ものであり、この構成は次のような特徴を有する。すな
わち結合電極19、20は、外側ガラス板25と安全フ
ィルム27の間に設けられており、外側ガラス板25と
安全フィルム27の間に2つの接触電極28、29が設
けられており、結合電極19、20は接触電極28、2
9に直流的に結合されており、かつ接触素子22、23
は、接触電極28、29に付属し、かつ安全フィルム2
7から離れた方の内側ガラス板26の側に設けられてい
る。従ってここでは接触電極28、29と接触素子2
2、23の間に容量結合が構成されている。このような
容量結合の代りに誘導結合を構成してもよい。原則的に
は、窓ガラスを合わせガラスとして構成した場合、結合
電極を接触素子に直流的に結合することもできる。
【0029】自動車の窓ガラスのワイパを制御する本発
明による制御装置は、少なくとも3つの異なった周波数
で2つ又はそれ以上の結合電極の間の複素総合インピー
ダンスを検出することに基づいている。交流電流の容量
結合による供給は、窓ガラス上の水によって影響を受け
る。一方において水の誘電特性により結合電極の間の測
定可能な容量が増加する。他方において水膜と結合電極
の間に付加的な容量が生じ、その結果水膜を通して交流
電流が流れる。複素総合インピーダンスの判定の場合、
総合インピーダンスの容量性性虚部と総合インピーダン
スの実部は、すでに前に説明したように検出される。
【0030】自動車の窓ガラス上の水の分類のため、水
は極端な場合の組合わせにより簡単化して表現できる。
すなわち a)均一に分散した厚い水膜、 b)均一に分散した薄い水膜、 c)つながっていない大きな点状水滴、及び d)つながっていない小さな点状水滴。
【0031】この時窓ガラス上にある水に関して総合イ
ンピーダンスの容量性虚部と総合インピーダンスの実部
との間に次の関係が観察される。すなわち a)均一に分散した水膜は、水膜の厚さにほぼ双曲線状
に依存する低いオーム性抵抗を生じる。それに対して点
状の水滴は高オーム性抵抗を生じる。
【0032】b)結合電極の漂遊容量は、主として電界
内の水量によって変化し、かつだいたいにおいて水量が
水膜の形で存在するか又はつながっていない点状水滴の
形で存在するかには関係ない。
【0033】c)水が水膜として存在する場合にだけ、
結合電極と水の間で結合容量が有効になる。
【0034】この時ワイパの制御のために、水量の測定
値の他に水の分散、すなわち水膜か又は水滴かに関する
情報も入手すると望ましい。そのため異なった周波数に
よる3度の測定によって、漂遊容量と結合容量と抵抗の
値が検出されるのである。容量値と抵抗値及びその時間
的変化を利用すれば、この時窓ガラス上に存在する水に
関する情報、すなわち水量及び水膜又は点状水滴に関す
る情報が得られ、この情報は、それからワイパの制御に
利用される。
【0035】図8〜図10による制御装置に対する図1
1に示した等価回路は、だいたいにおいて図1及び図2
による装置に対する図3に示した等価回路と同じであ
る。ここではなお付加的に接触素子22、23と接触電
極28、29の間に部分結合容量CK、3とCK、4が記入し
てある。
【0036】自動車の窓ガラスの1つ又は複数のワイパ
の制御に本発明による方法を適用する場合、なるべく2
00Hz〜5MHzの間の5つの異なった周波数で総合
インピーダンスを測定すると有利である。
【0037】自動車の窓ガラスのワイパの制御に本発明
による方法を適用する際にセンサは常に水で均一にぬれ
ているわけではないので、図5〜図7に示した曲線の不
鮮明な点が現われる。それ故に測定値は次のようにして
評価される。すなわち一方においてすべての測定点にお
ける総合インピーダンスの虚部と総合インピーダンスの
実部が計算され、他方において検出された値又は検出さ
れた曲線が既知の値又は既知の曲線と比較される。
【0038】その他に4つのぬれ形式を区別することは
望ましい。すなわち a)乾燥、 b)わずかにしぶきがかかっている、 c)水滴、 d)連続した水膜。
【0039】その場合次のことが確認される。
【0040】a)乾燥:全周波数範囲において一定の小
さな容量値、オーム性インピーダンスはない。
【0041】b)わずかにしぶきがかかっている:低い
周波数範囲で大きな容量、高い周波数範囲で小さな容
量、中間の周波数範囲で大きなオーム性インピーダン
ス、高い周波数範囲で小さなオーム性インピーダンス。
【0042】c)水滴:低い周波数及び中間の周波数で
中間の容量、高い周波数範囲でオーム性インピーダンス
上昇。
【0043】d)連続した水膜:低い周波数及び中間の
周波数で大きな容量、高い周波数範囲でオーム性インピ
ーダンス上昇。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による方法を実施する装置の有利な構成
を示す横断面図である。
【図2】図1による装置の平面図である。
【図3】測定抵抗を補充した図1及び図2による装置の
等価回路を示す図である。
【図4】本発明による方法に使用できる評価回路のブロ
ック図である。
【図5】周波数に関する総合インピーダンスと位相シフ
トの値を示すグラフである。
【図6】周波数に関する総合インピーダンス、総合イン
ピーダンスの虚部、総合インピーダンスの実部及び位相
シフトの値を示すグラフである。
【図7】漂遊容量を考慮しない場合に生じる測定誤差を
示すグラフである。
【図8】本発明による方法に基づいてワイパを制御する
制御装置を備えた自動車の窓ガラスの略図である。
【図9】図8による制御装置を図8より拡大し一部斜視
図で示す図である。
【図10】図8による装置を図8より拡大して示す線X
−Xに沿った断面図である。
【図11】図8〜図10による制御装置の等価回路の図
である。
【符号の説明】
1 試験材料 2 結合電極 3 結合電極 4 デカップリング電極 5 測定抵抗 6 給電部 7 給電部 8 給電部 9 発振器 10 発振器 11 発振器 12 レギュレータ 13 レギュレータ 14 レギュレータ 15 フィルタ 16 フィルタ 17 フィルタ 18 窓ガラス 19 結合電極 20 結合電極 21 センサ 22 接触素子 23 接触素子 24 評価回路 25 外側ガラス板 26 内側ガラス板 27 安全フィルム 28 接触電極 29 接触電極
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年9月6日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
フロントページの続き (72)発明者 ハンス、ハー、ノルテ ドイツ連邦共和国、4650、ゲルゼンキルヒ ェン、ベートホーフェンシュトラーセ、29

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2つの結合電極により試験材料に容量的
    に交流電流を供給する、特に面に付着した物質(=試験
    材料)の電気抵抗(又は導電度)を非接触測定する方法
    において、少なくとも3つの周波数において総合インピ
    ーダンスを測定し、かつそれにより両方の結合電極間の
    漂遊容量、両方の結合電極と試験材料との間の結合容量
    及び試験材料の抵抗を判定することを特徴とする、試験
    材料の電気抵抗を非接触測定する方法。
  2. 【請求項2】 高い周波数の交流電流により総合インピ
    ーダンスを測定し、かつそれにより両方の結合電極の間
    の漂遊容量を判定し、低い周波数の交流電流により総合
    インピーダンスを測定し、かつそれにより漂遊容量を考
    慮しながら両方の結合電極と試験材料との間の結合容量
    を判定し、かつ高い周波数と低い周波数の間にある周波
    数の交流電流により総合インピーダンスを測定し、かつ
    それにより漂遊容量と結合容量を考慮しながら試験材料
    の抵抗を判定する、請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 位相シフト最小値(加えた交流電圧と供
    給された交流電流の間の位相シフト)が生じる周波数の
    交流電流により総合インピーダンスの実部を測定する、
    請求項2記載の方法。
  4. 【請求項4】 結合電極を定置に配置し、漂遊容量及び
    /又は結合容量を1度だけ判定する、請求項1記載の方
    法。
  5. 【請求項5】 試験材料への交流電流の容量的供給を、
    同じ面の2つの結合電極によって行う、請求項1〜4の
    1つに記載の方法。
  6. 【請求項6】 試験材料への交流電流の容量的供給を、
    同じリングとして構成した2つの結合電極によって行
    う、請求項1〜5の1つに記載の方法。
  7. 【請求項7】 漂遊容量の影響を減らすため、結合電極
    の間にある例えばアース電位に接続したデカップリング
    電極を介して、漂遊容量を介して流れる電流の一部を取
    出す、請求項1〜6の1つに記載の方法。
  8. 【請求項8】 測定精度を高めるため、試験材料に対し
    て所定の異なった距離を有する同一の2つの電極装置に
    よって測定を行う、請求項1〜7の1つに記載の方法。
  9. 【請求項9】 複数の同心リングを有する電極装置によ
    って測定を行い、かつこれら同心リングを選択的に結合
    電極として又はアースリングとして接続し、又は接触し
    ない、請求項1〜8の1つに記載の方法。
  10. 【請求項10】 接触した又は非接触の温度測定装置を
    組込んだ電極装置によって測定を行い、かつ測定した温
    度によって温度の作用を補償する、請求項1〜9の1つ
    に記載の方法。
  11. 【請求項11】 漂遊容量及び/又は結合容量の測定値
    を、電極装置と試験材料の間の距離の調整のために利用
    する、請求項1〜10の1つに記載の方法。
  12. 【請求項12】 自動車窓ガラスのワイパの制御のため
    に使用する、請求項1〜10の1つに記載の方法。
  13. 【請求項13】 特に200Hz〜5MHzの5つの異
    なった周波数で総合インピーダンスを測定する、請求項
    12記載の方法。
  14. 【請求項14】 少なくとも2つの結合電極(19、2
    0)から成るセンサ(21)、少なくとも2つの接触素
    子(22、23)、及び接触素子(22、23)に接続
    された評価回路(24)が設けられていることを特徴と
    する、自動車窓ガラスのワイパを制御する制御装置。
  15. 【請求項15】 結合電極が接触素子に直流的に結合さ
    れている、請求項14記載の制御装置。
  16. 【請求項16】 窓ガラスが、外側ガラス板、内側ガラ
    ス板及び外側ガラス板と内側ガラス板の間に設けられた
    安全フィルムを有する合わせガラスとして構成されてお
    り、その場合結合電極(19、20)が、外側ガラス板
    (25)と安全フィルム(27)の間に設けられてお
    り、外側ガラス板(25)と安全フィルム(27)の間
    に2つの接触電極(28、29)が設けられており、結
    合電極(19、20)は接触電極(28、29)に直流
    的に結合されており、かつ接触素子(22、23)は、
    接触電極(28、29)に付属し、安全フィルム(2
    7)から離れた方の内側ガラス板(26)の側に設けら
    れている、請求項14記載の制御装置。
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