JPH0590433A - Method of forming metal side wall of electronic part package - Google Patents
Method of forming metal side wall of electronic part packageInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体チップ等の電子
部品を収納する電子部品用パッケージの金属からなるメ
タル壁を形成する、電子部品用パッケージのメタル壁形
成方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a metal wall of an electronic component package, which comprises forming a metal wall made of a metal of an electronic component package accommodating an electronic component such as a semiconductor chip.
【0002】[0002]
【従来の技術】電子部品用パッケージとして、従来よ
り、周壁を金属で形成してなるメタルパッケージと呼ば
れるパッケージがある。2. Description of the Related Art Conventionally, as a package for electronic parts, there is a package called a metal package having a peripheral wall made of metal.
【0003】このパッケージのメタル壁を形成するに
は、従来、次の第1、第2の方法により形成している。Conventionally, the metal wall of this package is formed by the following first and second methods.
【0004】第1の方法は、メタル壁を、機械加工によ
り、金属ブロックから一体に削り出す方法である。The first method is a method in which a metal wall is integrally machined from a metal block by machining.
【0005】第2の方法は、方形状をした金属筒体を所
定幅に輪切り切断したり、その金属筒体にセラミック端
子嵌着用等の穴を設けたりして、メタル側壁を形成した
後、そのメタル側壁の下端開口部をメタル底板で封じ
て、そのメタル底板をメタル側壁の下端開口部周縁に気
密にろう付けし、メタル壁を形成する方法である。The second method is to form a metal side wall by forming a metal side wall by cutting a rectangular metal cylinder into a predetermined width, or forming a hole for fitting a ceramic terminal in the metal cylinder. In this method, the lower end opening of the metal side wall is sealed with a metal bottom plate, and the metal bottom plate is hermetically brazed to the peripheral edge of the lower end opening of the metal side wall to form the metal wall.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記第
1の方法により、メタル壁を形成した場合には、金属ブ
ロックからメタル壁を削り出すのに多大な手数と時間を
要した。However, when the metal wall is formed by the first method, it takes a lot of time and labor to cut out the metal wall from the metal block.
【0007】また、上記第2の方法により、メタル壁を
形成した場合には、メタル側壁形成用の金属筒体にセラ
ミック端子嵌着用等の穴を、プレス加工等でなく、放電
加工等により設けなければならず、多大な手数と時間を
要した。Further, when the metal wall is formed by the second method, a hole for fitting a ceramic terminal or the like is formed in the metal cylinder for forming the metal sidewall by electric discharge machining or the like instead of press working or the like. It had to be done, and it took a lot of time and effort.
【0008】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たもので、メタル壁を多大な手数と時間をかけずに容易
かつ迅速に形成できる、電子部品用パッケージのメタル
壁形成方法(以下、メタル壁形成方法という)を提供し
ようとするものである。The present invention has been made in view of the above problems, and a method of forming a metal wall of a package for electronic parts (hereinafter, referred to as "metal wall forming method", which enables a metal wall to be formed easily and quickly without a great deal of trouble and time. It is intended to provide a metal wall forming method).
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第1のメタル壁形成方法は、メタル側壁形
成用の帯板を枠体状に折曲する工程と、その枠体状に折
曲した帯板の両端部を突き合わせて気密に接合する工程
と、前記枠体状に折曲した帯板の下端開口部をメタル底
板で封ずる工程と、そのメタル底板を前記帯板の下端開
口部周縁に気密に接合する工程と、前記枠体状に折曲す
る前の帯板又は前記帯板の下端開口部を封ずる前のメタ
ル底板にセラミック端子嵌着用、リード封着用又は光フ
ァイバー挿通用等の穴を設ける工程とを含むことを特徴
としている。In order to achieve the above object, a first metal wall forming method according to the present invention comprises a step of bending a metal side wall forming strip into a frame shape, and the frame body. The end portions of the strips bent in the shape of a butt and airtightly joined, the step of sealing the lower end opening of the strips bent in the shape of a frame with a metal bottom plate, and the metal bottom plate The step of airtightly joining to the peripheral edge of the lower end opening of the strip, and the ceramic terminal fitting, lead sealing or mounting on the band plate before bending into the frame shape or the metal bottom plate before sealing the lower end opening of the band plate. And a step of forming a hole for inserting an optical fiber or the like.
【0010】本発明の第1のメタル壁形成方法において
は、枠体状に折曲する帯板の折曲箇所内側に溝を刻設す
るようにすることを好適としている。In the first metal wall forming method of the present invention, it is preferable that the groove is formed inside the bent portion of the band plate bent in a frame shape.
【0011】本発明の第2のメタル壁形成方法は、メタ
ル側壁形成用の帯板であって、その下端側縁にメタル底
板を連続して備えてなる帯板をメタル底板を除いて枠体
状に折曲する工程と、その枠体状に折曲する帯板方向に
前記メタル底板を折曲して、そのメタル底板で前記枠体
状に折曲した帯板の下端開口部を封ずる工程と、前記枠
体状に折曲した帯板の両端部を突き合わせて気密に接合
する工程と、前記メタル底板を前記枠体状に折曲した帯
板の下端開口部周縁に気密に接合する工程と、前記枠体
状に折曲する前の帯板又は前記帯板方向に折曲する前の
底板にセラミック端子嵌着用、リード封着用又は光ファ
イバー挿通用等の穴を設ける工程とを含むことを特徴と
している。A second method of forming a metal wall according to the present invention is a strip for forming a metal side wall, in which a strip having a metal bottom plate continuously provided at a lower end side edge thereof except for the metal bottom plate is a frame body. -Shaped bending step, and bending the metal bottom plate in the direction of the band plate that bends into the frame shape, and sealing the lower end opening of the band plate bent into the frame shape with the metal bottom plate A step, a step of abutting both ends of the frame-shaped bent band plate to join them airtightly, and a step of airtightly bonding the metal bottom plate to the peripheral edge of the lower end opening of the frame-shaped bent plate plate And a step of providing a hole for ceramic terminal fitting, lead sealing or optical fiber insertion in the band plate before being bent into the frame shape or the bottom plate before being bent in the direction of the band plate. Is characterized by.
【0012】本発明の第2のメタル壁形成方法において
は、枠体状に折曲する帯板の折曲箇所内側又はメタル底
板を帯板方向に折曲する折曲箇所内側に溝を刻設するよ
うにすることを好適としている。In the second method of forming a metal wall of the present invention, a groove is formed inside the bending portion of the strip that is bent like a frame or inside the bending portion that bends the metal bottom plate in the strip direction. It is preferable to do so.
【0013】本発明の第1、第2のメタル壁形成方法に
おいては、枠体状に折曲する帯板の端部側縁を削除し
て、帯板の両端部の突き合わせ箇所側縁に接合材溜まり
を設けるようにすることを好適としている。In the first and second metal wall forming methods of the present invention, the end side edges of the strip bent in the shape of a frame are deleted and joined to the side edges of the abutting points at both ends of the strip. It is preferable to provide a material pool.
【0014】それと共に、帯板の両端部と、メタル底板
と帯板の下端開口部周縁とを、ろう付けによりそれぞれ
気密に接合するようにすることを好適としている。At the same time, it is preferable that both end portions of the strip plate, and the metal bottom plate and the peripheral edge of the lower end opening portion of the strip plate are airtightly joined by brazing.
【0015】[0015]
【作用】上記工程からなる第1、第2のメタル壁形成方
法においては、金属板から切出す等した帯板を枠体状に
折曲して、メタル側壁を形成している。そのため、金属
ブロックからメタル側壁を削り出したり、金属筒体を輪
切り切断してメタル側壁を形成したりする場合と比べ
て、メタル側壁の形成作業を大幅に容易化、迅速化でき
る。それと共に、メタル側壁を、無駄な金属屑を多量に
排出したり、多大な加工費をかけたりせずに、容易かつ
迅速に形成できる。In the first and second metal wall forming methods including the above steps, the metal side wall is formed by bending the strip plate cut out from the metal plate into a frame shape. Therefore, as compared with the case where the metal side wall is cut out from the metal block or the metal cylindrical body is cut into pieces to form the metal side wall, the work of forming the metal side wall can be significantly facilitated and speeded up. At the same time, the metal side wall can be easily and quickly formed without discharging a large amount of waste metal scraps or incurring a large processing cost.
【0016】また、枠体状に折曲する前の平面状等に広
く展開させた状態にある帯板又は帯板方向に折曲する前
の平面状等に広く展開させた状態にあるメタル底板にセ
ラミック端子嵌着用、リード封着用又は光ファイバー挿
通用等の穴を設けるようにしている。そのため、それら
の穴を、その周辺のメタル側壁形成用の帯板又はメタル
底板に邪魔されずに、容易かつ迅速に設けることができ
る。[0016] Further, the strip plate in a state of being broadly developed in a plane shape before being bent into a frame shape or the metal bottom plate in a state of being widely spread in a plane state before being bent in the direction of the strip plate. A hole for fitting a ceramic terminal, fitting a lead, or inserting an optical fiber is provided. Therefore, those holes can be provided easily and quickly without being disturbed by the strip or the metal bottom plate for forming the metal sidewalls around the holes.
【0017】また、枠体状に折曲する帯板の折曲箇所内
側に溝を刻設したり、メタル底板を帯板方向に折曲する
折曲箇所内側に溝を刻設したりする第1、第2のメタル
壁形成方法にあっては、帯板をその折曲箇所に設けた溝
に沿って帯板内側に容易かつ的確に折曲したり、メタル
底板をその折曲箇所内側に設けた溝に沿って帯板方向に
容易かつ的確に折曲したりできる。Further, a groove is formed inside the bent portion of the band plate that is bent like a frame, or a groove is formed inside the bent portion where the metal bottom plate is bent toward the band plate. In the first and second metal wall forming methods, the strip plate can be easily and accurately bent along the groove provided at the bent portion inside the strip, or the metal bottom plate can be bent inside the bent portion. It can be easily and accurately bent along the provided groove in the strip direction.
【0018】また、枠体状に折曲する帯板の端部側縁を
削除して、帯板の両端部の突き合わせ箇所側縁に接合材
溜まりを設けるようにする第1、第2のメタル壁形成方
法にあっては、帯板の両端部を突き合わせて気密に接合
する際に、接合材を表面張力作用を利用して帯板の両端
部の突き合わせ箇所側縁に設けた接合材溜まりに厚く層
状に付着させることができる。そして、その接合材溜ま
りに付着させた接合材層で帯板の接合箇所に形成されが
ちな気体等のリーク通路を封ずることができる。Further, the first and second metals for removing the side edges of the band plate bent in the shape of a frame so as to form a pool of bonding material at the side edges of the abutting points of both ends of the band plate. In the wall forming method, when the both ends of the strip are butted against each other and airtightly joined, the joining material is formed into a joining material pool provided at the side edges of the butts at both ends of the strip using the surface tension action. It can be applied as a thick layer. Then, the bonding material layer attached to the bonding material reservoir can seal the leak passage of gas or the like that is likely to be formed at the bonding portion of the strip.
【0019】それと共に、帯板の両端部を接合する接合
材を表面張力作用を利用して接合材溜まりに集めて、帯
板の接合箇所外部に接合材が漏れ出して接合箇所周辺表
面に付着することを防止できる。At the same time, the joining material for joining both ends of the strip is collected in the joining material reservoir by utilizing the surface tension action, and the joining material leaks to the outside of the joining portion of the strip and adheres to the surface around the joining portion. Can be prevented.
【0020】[0020]
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に従い説明す
る。図1ないし図6は本発明の第1のメタル壁形成方法
の好適な実施例を示し、詳しくはその形成工程説明図を
示している。以下、この図中のメタル壁形成方法を説明
する。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. 1 to 6 show a preferred embodiment of the first metal wall forming method according to the present invention, and more specifically, are explanatory views of the forming process thereof. The method of forming the metal wall in this figure will be described below.
【0021】図1に示したような、メタル側壁形成用の
帯板10を設けている。A strip 10 for forming a metal side wall is provided as shown in FIG.
【0022】帯板10は、セラミック端子やリード封着
用のガラス部材と熱膨張係数がマッチングするろう材に
濡れやすい、コバール(Fe−Ni−Co合金)、42
アロイ(Fe−Ni合金)等からなる金属板からエッチ
ング加工、プレス加工又はワイヤカット放電加工等によ
り切出している。The strip plate 10 is made of Kovar (Fe-Ni-Co alloy), 42, which is easily wet by a brazing material having a coefficient of thermal expansion matching that of a glass material for ceramic terminals or lead sealing.
A metal plate made of alloy (Fe-Ni alloy) or the like is cut out by etching, pressing, wire-cut electric discharge machining, or the like.
【0023】帯板10には、図2と図3にその拡大断面
図を示したように、その折曲箇所にあたる内側数箇所
(図では、3箇所)に、断面U字状又はV字状をした溝
12を帯板10を横断して刻設している。これらの溝1
2は、ハーフエッチング加工、プレス加工又はワイヤカ
ット放電加工等により帯板10内側に形成している。As shown in the enlarged cross-sectional views of FIGS. 2 and 3, the strip 10 has a U-shaped or V-shaped cross-section at several bending points (three in the figure) inside. A groove 12 having a groove is formed across the strip 10. These grooves 1
2 is formed on the inner side of the strip 10 by a half etching process, a press process, a wire cut electric discharge process or the like.
【0024】帯板10表面の所定部位には、セラミック
端子嵌着用の切欠き穴状の横長の穴20をエッチング加
工、プレス加工又はワイヤカット放電加工等により設け
ている。A notched hole-shaped horizontally long hole 20 for fitting a ceramic terminal is provided at a predetermined portion of the surface of the strip plate 10 by etching, pressing, wire cutting electric discharge, or the like.
【0025】なお、帯板10表面には、それを用いて形
成しようとするメタル壁の構造に合わせて、セラミック
端子嵌着用の穴20に代えて、光ファイバー挿通用又は
リード封着用等の穴を設けたり、セラミック端子嵌着用
の穴20に加えて、光ファイバー挿通用又はリード封着
用等の穴を設けたりしても良い。In accordance with the structure of the metal wall to be formed using the strip plate 10, a hole for inserting an optical fiber or attaching a lead is used instead of the hole 20 for fitting the ceramic terminal. In addition to the holes 20 for fitting or attaching the ceramic terminals, holes for inserting an optical fiber or attaching leads may be provided.
【0026】これらの溝12や穴20は、金属板から帯
板10を切出す際に、同時に帯板10の折曲箇所内側や
帯板10表面の所定部位に設けている。These grooves 12 and holes 20 are provided at the same time when the strip 10 is cut out from the metal plate, at the same time as the inside of the bent portion of the strip 10 and at predetermined portions on the surface of the strip 10.
【0027】なお、溝12や穴20は、金属板から帯板
10を切出す前に、金属板の所定部位に予め設けておい
たり、金属板から帯板10を切出した後に、その帯板1
0に設けたりしても良い。The groove 12 and the hole 20 may be provided in a predetermined part of the metal plate before cutting the band plate 10 from the metal plate, or after cutting the band plate 10 from the metal plate. 1
It may be set to 0.
【0028】次に、図4に示したように、帯板10を、
その折曲箇所内側の数箇所に設けた溝12に沿ってそれ
ぞれ内側に直角に折り曲げて、帯板10を、図5に示し
たように、方形枠体状に折曲している。Next, as shown in FIG. 4, the strip plate 10 is
The strip plate 10 is bent inward at right angles along the grooves 12 provided at several places inside the bent portion, and the strip plate 10 is bent in a rectangular frame shape as shown in FIG.
【0029】そして、その方形枠体状に折曲した帯板1
0の両端部を突き合わせて、それらの両端部を、ろう材
を用いて、ろう付けにより気密に接合している。Then, the strip 1 bent in the shape of a rectangular frame.
The both ends of 0 are abutted, and the both ends are airtightly joined by brazing using a brazing material.
【0030】なお、帯板10の両端部は、シーム溶接又
は接着剤により気密に接合しても良い。Both ends of the strip 10 may be airtightly joined by seam welding or an adhesive.
【0031】それと共に、方形枠体状に折曲した帯板1
0の下端開口部を、メタル底板30で封じている。Along with that, the strip 1 bent into a rectangular frame shape
The bottom opening of 0 is sealed with a metal bottom plate 30.
【0032】メタル底板30は、それに搭載する電子部
品が発する熱をメタル底板30を通してその外部に効率
良く放散させることができるように、高熱伝導性の銅−
タングステン合金等の金属で形成している。メタル底板
30は、例えば図1に示したように、その両脇にメタル
壁を基板等に固定する止めねじを挿通するねじ穴32を
設けた方形平板状等に形成している。メタル底板30表
面には、該底板をろう材に濡れやすくするためのニッケ
ルめっき等の下地めっき(図示せず)を施している。The metal bottom plate 30 is made of copper having a high thermal conductivity so that the heat generated by the electronic components mounted on the metal bottom plate 30 can be efficiently dissipated to the outside through the metal bottom plate 30.
It is made of a metal such as a tungsten alloy. As shown in FIG. 1, for example, the metal bottom plate 30 is formed in a rectangular flat plate shape or the like in which screw holes 32 through which set screws for fixing a metal wall to a substrate or the like are inserted are provided on both sides thereof. The surface of the metal bottom plate 30 is plated with an undercoat (not shown) such as nickel plating for facilitating the wetting of the bottom plate by the brazing material.
【0033】そして、メタル底板30を方形枠体状に折
曲した帯板10の下端開口部周縁に、銀ろう等のろう材
を用いて、ろう付けにより気密に接合している。Then, a brazing material such as silver brazing is used to hermetically bond the metal bottom plate 30 to the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate 10 bent in a rectangular frame shape by brazing.
【0034】なお、メタル底板30は、帯板10の下端
開口部周縁に、接着剤により気密に接合したり、ガラス
部材を用いて気密に接合したりしても良い。The metal bottom plate 30 may be hermetically bonded to the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate 10 with an adhesive agent or a glass member.
【0035】帯板10の両端部並びにメタル底板30と
帯板10の下端開口部周縁とは、帯板10とメタル底板
30とを共に耐熱性のカーボン治具(図示せず)内に組
み込んで、それらを互いに位置決め固定した状態でそれ
らの接合部を高温炉内等で同時にろう付け等により接合
している。Both end portions of the strip plate 10 and the metal bottom plate 30 and the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate 10 are assembled by incorporating the strip plate 10 and the metal bottom plate 30 into a heat-resistant carbon jig (not shown). In the state where they are positioned and fixed to each other, their joints are simultaneously brazed in a high temperature furnace or the like.
【0036】なお、帯板10の両端部並びにメタル底板
30と帯板10の下端開口部周縁とは、同時に接合せず
に、帯板10の両端部をろう付け等により接合した後
に、メタル底板30を帯板10の下端開口部周縁にろう
付け等により接合しても良い。It should be noted that both ends of the strip plate 10 and the metal bottom plate 30 and the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate 10 are not simultaneously joined, but both ends of the strip plate 10 are joined by brazing or the like, and then the metal bottom plate is joined. 30 may be joined to the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate 10 by brazing or the like.
【0037】そして、図6に示したような、コバール、
42アロイ等と銅−タングステン合金等からなるメタル
壁40であって、そのメタル側壁42表面の所定部位に
セラミック端子嵌着用の穴20を設けてなるメタル壁4
0を形成している。Then, as shown in FIG. 6, Kovar,
42 a metal wall 40 made of an alloy or the like and a copper-tungsten alloy or the like, in which a hole 20 for fitting a ceramic terminal is provided in a predetermined portion of the surface of the metal side wall 42.
Forming 0.
【0038】図1ないし図6に示した第1のメタル壁形
成方法は、以上の工程からなる。The first metal wall forming method shown in FIGS. 1 to 6 comprises the above steps.
【0039】図7は、本発明の第1のメタル壁形成方法
の他の好適な実施例を示し、詳しくはその形成工程説明
図を示している。以下、この図中のメタル壁形成方法を
説明する。FIG. 7 shows another preferred embodiment of the first metal wall forming method of the present invention, and more specifically, a drawing explaining the forming process thereof. The method of forming the metal wall in this figure will be described below.
【0040】図のメタル壁形成方法では、帯板10表面
の所定部位に、光ファイバー挿通用の大円形状の穴24
を設けている。メタル底板30表面の所定部位には、リ
ード封着用の小円形状の穴22を複数個設けている。こ
れらの穴24,22は、方形枠体状に折曲する前の平面
状等に広く展開した状態にある帯板10と、方形枠体状
に折曲した帯板10の下端開口部をメタル底板30で封
ずる前の平面状等に広く展開した状態にあるメタル底板
30表面とにそれぞれ備えるようにしている。In the method of forming the metal wall shown in the figure, a large circular hole 24 for inserting an optical fiber is formed at a predetermined portion on the surface of the strip plate 10.
Is provided. A plurality of small circular holes 22 for attaching leads are provided at predetermined portions on the surface of the metal bottom plate 30. These holes 24, 22 are formed by a strip plate 10 in a state of being widely spread in a flat shape before being bent into a rectangular frame body and a lower end opening portion of the strip plate 10 bent in a rectangular frame body. It is provided on the surface of the metal bottom plate 30 which is in a widely expanded state such as a flat surface before being sealed with the bottom plate 30.
【0041】なお、帯板10表面やメタル底板30表面
には、それらを用いて形成しようとするメタル壁の構造
に合わせて、光ファイバー挿通用の穴24やリード封着
用の穴22に代えて、セラミック端子嵌着用等の穴を設
けたり、又は光ファイバー挿通用の穴24やリード封着
用の穴22に加えて、セラミック端子嵌着用等の穴を設
けたりしても良い。On the surface of the strip plate 10 and the surface of the metal bottom plate 30, instead of the hole 24 for inserting an optical fiber and the hole 22 for lead sealing, according to the structure of the metal wall to be formed using them, A hole for fitting a ceramic terminal may be provided, or a hole for fitting a ceramic terminal may be provided in addition to the hole 24 for inserting an optical fiber and the hole 22 for attaching a lead.
【0042】その他は、前述図1ないし図6に示した第
1のメタル壁形成方法と同様にして、帯板10表面とメ
タル底板30表面との所定部位に光ファイバー挿通用の
穴24とリード封着用の穴22とをそれぞれ設けてなる
メタル壁を形成していて、その同一部材には同一符号を
付し、その説明を省略する。Others are the same as in the first metal wall forming method shown in FIGS. 1 to 6, and holes 24 for inserting an optical fiber and lead seals are provided at predetermined portions on the surface of the strip plate 10 and the surface of the metal bottom plate 30. The metal wall is formed with the wearing holes 22 respectively, and the same members are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.
【0043】図8ないし図13は、本発明の第1のメタ
ル壁形成方法のもう一つの好適な実施例を示し、詳しく
はその形成工程説明図を示している。以下、この図中の
メタル壁形成方法を説明する。FIGS. 8 to 13 show another preferred embodiment of the first metal wall forming method of the present invention, and more specifically, are explanatory views of the forming process thereof. The method of forming the metal wall in this figure will be described below.
【0044】図のメタル壁形成方法では、図8に示した
ように、枠体状に折曲する帯板10の端部側縁を削除し
ている。具体的には、図11や図12に示したように、
帯板10の一方の端部内側縁を、斜めにカットしてい
る。あるいは、図13に示したように、帯板10の一方
の端部内側縁を、コの字状にカットしている。そして、
方形枠体状に折曲した帯板10の両端部を突き合わせて
気密に接合する際に、帯板10の両端部の突き合わせ箇
所側縁に、ろう材、接着剤等の接合材溜まり14を設け
るようにしている。In the method of forming the metal wall shown in the figure, as shown in FIG. 8, the side edges of the end portion of the strip plate 10 which is bent into a frame are removed. Specifically, as shown in FIG. 11 and FIG.
The inner edge of one end of the strip 10 is obliquely cut. Alternatively, as shown in FIG. 13, one end inner edge of the strip 10 is cut in a U-shape. And
When the both ends of the strip plate 10 bent in the shape of a rectangular frame are butted against each other and airtightly joined, a joining material reservoir 14 such as a brazing material or an adhesive agent is provided at the side edges of the butted portions at both ends of the strip plate 10. I am trying.
【0045】次に、その帯板10の両端部の突き合わせ
箇所側縁に設けた接合材溜まり14に、図11に示した
ように、棒状のろう材等の接合材18を嵌入して、高温
炉内等で接合材18を帯板10の両端部の突き合わせ面
間に浸透させ、その浸透させた接合材18で帯板10の
両端部を、図12又は図13に示したように、気密に接
合している。又は、方形枠体状に折曲した帯板10の上
端開口部周縁に搭載したシールリング接合用の薄板状の
ろう材等の接合材(図示せず)を高温炉内等で帯板10
の両端部の突き合わせ面間に浸透させて、その浸透させ
た接合材で帯板10の両端部を、図12又は図13に示
したように、気密に接合している。その際には、帯板1
0の両端部の突き合わせ箇所側縁の接合材溜まり14に
接合材18を表面張力作用を利用して層状に厚く付着さ
せている。そして、帯板10の接合箇所の気密性を確実
なものとしている。それと共に、接合材18を表面張力
作用を利用して接合材溜まり14に集めて、接合材18
が帯板10の接合箇所周辺表面に流出して付着するのを
防いでいる。Next, as shown in FIG. 11, a joining material 18 such as a rod-shaped brazing material is fitted into the joining material reservoir 14 provided on the side edges of the abutting points of both ends of the strip 10 to raise the temperature. The joining material 18 is permeated between the abutting surfaces of both end portions of the strip plate 10 in a furnace or the like, and the both end portions of the strip plate 10 are hermetically sealed by the permeated joint material 18 as shown in FIG. 12 or FIG. Is joined to. Alternatively, a joining material (not shown) such as a thin brazing filler metal for joining the seal ring mounted on the periphery of the upper end opening of the strip 10 bent in the shape of a rectangular frame is provided in the high temperature furnace or the like.
Both ends of the strip plate 10 are permeated between the abutting surfaces of the both ends, and the both ends of the strip plate 10 are airtightly joined as shown in FIG. 12 or FIG. 13. In that case, strip 1
The bonding material 18 is attached thickly in layers in the bonding material reservoir 14 on the side edges of the abutting points at both ends of 0 by utilizing the surface tension effect. And the airtightness of the joint part of the strip 10 is ensured. At the same time, the bonding material 18 is collected in the bonding material reservoir 14 by utilizing the surface tension action, and the bonding material 18
Is prevented from flowing out and adhering to the peripheral surface of the joint portion of the strip 10.
【0046】このようにすれば、帯板10の接合箇所の
気密性を確実なものとすることができるのは、次の理由
に基づく。By doing so, the airtightness of the joint portion of the strip 10 can be ensured for the following reason.
【0047】帯板10を枠体状に折曲した際には、その
折曲箇所全てが帯板10側縁に対して直角に折曲されず
に若干斜めに傾いたり歪んだりして折曲されることが多
い。それと共に、帯板10の両端部の突き合わせ面は、
必ずしも平坦でなく、その各所に凹凸を有していること
が多い。そのような場合には、枠体状に折曲した帯板1
0の両端部を突き合わせた際に、帯板10の両端部の突
き合わせ面間が隙間なく面接触状態で突き合わされずに
線接触又は点接触状態で突き合わせられる。このような
線接触又は点接触状態で突き合わせられた帯板10の両
端部の突き合わせ面間をろう材等の接合材を用いて接合
した場合には、その帯板10の両端部の突き合わせ面間
に接合材が万遍なく均等に浸透せずにまばらに浸透する
こととなる。そして、接合材で接合した帯板10の両端
部の突き合わせ面間の各所にボイド(空隙)が発生し、
そのボイドが連なって帯板10の両端部の突き合わせ面
間に気体等のリーク通路(図示せず)が形成されてしま
う。そして、帯板10の接合箇所の気密性が損なわれて
しまう。When the strip plate 10 is bent into a frame, all the bent portions are not bent at right angles to the side edges of the strip plate 10 but are bent at a slight angle or are distorted. It is often done. At the same time, the abutting surfaces at both ends of the strip 10 are
It is not always flat and often has irregularities at various places. In such a case, the strip 1 bent into a frame shape
When both ends of 0 are abutted, the abutting surfaces of both ends of the strip plate 10 are abutted in a line contact or a point contact state without abutting in a surface contact state without a gap. When the abutting surfaces of both ends of the strip plate 10 that are abutted in such a line contact or point contact state are joined using a joining material such as a brazing material, the abutting faces of both end portions of the strip plate 10 are joined together. The joint material does not evenly and evenly permeate into the sparsely. Then, voids (voids) are generated at various places between the abutting surfaces of both ends of the strip 10 joined by the joining material,
The voids are connected to form a leak passage (not shown) for gas or the like between the abutting surfaces of both ends of the strip 10. Then, the airtightness of the joint portion of the strip 10 is impaired.
【0048】このような難点を解消するために、帯板1
0の両端部の突き合わせ面間を接合する接合材の量を増
やすことが考えられる。In order to eliminate such a difficulty, the strip 1
It is conceivable to increase the amount of the joining material that joins the abutting surfaces of both ends of 0.
【0049】しかし、接合材の量を増やした場合には、
帯板10の両端部の突き合わせ面間に生ずるボイド自体
をなくすことができずに、帯板10の接合箇所表面を厚
く覆う接合材に妨げられて、帯板10の接合箇所のリー
ク通路を発見することが困難となる。加えて、メタル壁
が該壁と接合材との熱膨張係数の差に基づく応力を受け
て歪んだり、帯板10の接合箇所周辺表面に接合材が流
出して付着したりする。However, when the amount of the bonding material is increased,
The void itself generated between the abutting surfaces of both ends of the strip 10 cannot be eliminated, and a leaking path at the joint of the strip 10 is found by being obstructed by the bonding material that thickly covers the surface of the joint of the strip 10. It becomes difficult to do. In addition, the metal wall may be distorted due to the stress caused by the difference in thermal expansion coefficient between the wall and the bonding material, or the bonding material may flow out and adhere to the peripheral surface of the bonding portion of the strip plate 10.
【0050】それに対して、上記のようにして、帯板1
0の両端部の突き合わせ箇所側縁に接合材溜まり14を
設けるようにすれば、枠体状に折曲した帯板10の両端
部を突き合わせてろう材等の接合材で接合した際に、ろ
う材等の接合材が表面張力を受けて帯板10の両端部の
突き合わせ箇所側縁に設けた接合材溜まり14に厚く層
状に付着する。そして、帯板10の両端部の接合箇所の
側部表面を接合材溜まり14に付着した接合材層が隙間
なく覆う。そして、帯板10の両端部の突き合わせ面間
に形成されがちなリーク通路が接合材溜まり14に付着
した接合材層で確実に塞がれる。そして、帯板10の両
端部の接合箇所の気密性が的確に保持されるからであ
る。On the other hand, as described above, the strip 1
If the joining material reservoir 14 is provided on the side edges of the abutting points of both ends of 0, when the both ends of the strip plate 10 bent into a frame shape are abutted and joined with a joining material such as a brazing material, The bonding material such as a bonding material is subjected to surface tension and adheres in a thick layer to the bonding material reservoir 14 provided at the side edges of the abutting locations at both ends of the strip 10. Then, the side surface of the joining portion at both ends of the strip 10 is covered with the joining material layer adhered to the joining material reservoir 14 without any gap. Then, the leak passage, which tends to be formed between the abutting surfaces of both ends of the strip plate 10, is reliably closed by the joining material layer attached to the joining material reservoir 14. This is because the airtightness of the joints at both ends of the strip plate 10 is accurately maintained.
【0051】その他は、前述図1ないし図6に示した第
1のメタル壁形成方法と同様にしてメタル壁を形成して
いて、その同一部材には同一符号を付し、その説明を省
略する。Other than that, the metal wall is formed in the same manner as the first metal wall forming method shown in FIGS. 1 to 6, and the same members are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted. ..
【0052】図14は、本発明の第2のメタル壁形成方
法の好適な実施例を示し、詳しくはその形成工程説明図
を示している。以下、この図中のメタル壁形成方法を説
明する。FIG. 14 shows a preferred embodiment of the second metal wall forming method of the present invention, and more specifically shows a drawing for explaining the forming process thereof. The method of forming the metal wall in this figure will be described below.
【0053】図14に示したような、前述図1に示した
帯板10と同様な帯板100であって、その下端側縁中
途部にメタル底板300を連続して備えた帯板100を
設けている。メタル底板300両脇には、メタル壁を基
板等に固定する止めねじを挿通する切欠き穴状のねじ穴
320を設けている。これらの帯板100とメタル底板
300とは、コバール、42アロイ等の金属板からプレ
ス加工、エッチング加工又はワイヤカット放電加工等に
より一体に切出している。As shown in FIG. 14, there is provided a strip plate 100 similar to the strip plate 10 shown in FIG. 1 described above, which is provided with a metal bottom plate 300 continuously in the middle of the lower end side edge thereof. It is provided. On both sides of the metal bottom plate 300, a notched hole-shaped screw hole 320 for inserting a set screw for fixing the metal wall to the substrate or the like is provided. The strip plate 100 and the metal bottom plate 300 are integrally cut out from a metal plate such as Kovar or 42 alloy by press working, etching working or wire cut electric discharge working.
【0054】帯板100の折曲箇所にあたる内側数箇所
(図では、4箇所)には、前述帯板10と同様にして、
断面U字状又はV字状をした溝120を帯板100を横
断してそれぞれ刻設している。メタル底板300と帯板
100との境界部であって、メタル底板300の折曲箇
所内側には、断面U字状又はV字状をした溝340をそ
の境界部を縦断して刻設している。これらの溝120,
340は、帯板100内側やメタル底板300と帯板1
00との境界部内側に、ハーフエッチング加工又はプレ
ス加工等により設けている。At several inner points (four points in the figure) corresponding to the bent portions of the strip plate 100, in the same manner as the strip plate 10 described above,
Grooves 120 having a U-shaped or V-shaped cross section are engraved across the strip plate 100, respectively. At the boundary between the metal bottom plate 300 and the strip plate 100, inside the bent portion of the metal bottom plate 300, a groove 340 having a U-shaped or V-shaped cross section is formed by cutting the boundary vertically. There is. These grooves 120,
340 is the inside of the strip 100 or the metal bottom plate 300 and the strip 1
It is provided on the inner side of the boundary with 00 by half etching or pressing.
【0055】帯板100表面の所定部位には、セラミッ
ク端子嵌着用の横長の穴200を、プレス加工、エッチ
ング加工等により設けている。A laterally long hole 200 for fitting a ceramic terminal is provided in a predetermined portion of the surface of the strip plate 100 by press working, etching working or the like.
【0056】なお、帯板100表面には、それを用いて
形成しようとするメタル壁の構造に合わせて、セラミッ
ク端子嵌着用の穴200に代えて、リード封着用又は光
ファイバー挿通用等の穴を設けたり、セラミック端子嵌
着用の穴200に加えて、リード封着用又は光ファイバ
ー挿通用等の穴を設けたりしても良い。Incidentally, in accordance with the structure of the metal wall to be formed using the strip plate 100, instead of the hole 200 for fitting the ceramic terminal, a hole for lead sealing or insertion of an optical fiber is formed. In addition to the holes 200 for mounting the ceramic terminals, holes for mounting the leads or inserting the optical fiber may be provided.
【0057】これらの溝120,340と穴200と
は、金属板から帯板100をメタル底板300と共に切
出す際に、同時に帯板100内側中途部や帯板100表
面の所定部位に設けている。These grooves 120 and 340 and the hole 200 are provided at the same time as the inner part of the strip 100 or a predetermined portion of the surface of the strip 100 when the strip 100 is cut out together with the metal bottom plate 300 from the metal plate. ..
【0058】なお、溝120,340と穴200とは、
金属板から帯板100をメタル底板300と共に切出す
前に、金属板の所定部位に予め設けておいたり、金属板
から帯板100をメタル底板300と共に切出した後
に、その帯板100の所定部位と帯板100とメタル底
板300との境界部内側とに設けたりしても良い。The grooves 120 and 340 and the hole 200 are
Before cutting the strip 100 from the metal plate together with the metal bottom plate 300, it is provided in advance at a predetermined portion of the metal plate, or after cutting the strip 100 from the metal plate together with the metal bottom plate 300, the predetermined portion of the strip 100. It may be provided inside the boundary between the strip 100 and the metal bottom plate 300.
【0059】そして、帯板100を、それらの数箇所の
折曲箇所内側に設けた溝120に沿ってそれぞれ内側に
直角に折り曲げて、帯板100を、メタル底板300を
除いて、方形枠体状に折曲している。Then, the strip 100 is bent at a right angle inward along the grooves 120 provided inside the bent portions of the several strips, and the strip 100 is removed except for the metal bottom plate 300. It is bent into a shape.
【0060】それと共に、帯板100下端側縁中途部に
連続して備えたメタル底板300を、方形枠体状に折曲
する帯板100方向に直角に折り曲げている。具体的に
は、メタル底板300を、メタル底板300と帯板10
0との境界部内側に設けた溝340に沿って帯板100
方向に直角に折り曲げている。そして、方形枠体状に折
曲した帯板100の下端開口部をメタル底板300で封
じている。At the same time, the metal bottom plate 300 continuously provided in the middle of the lower edge side edge of the strip plate 100 is bent at a right angle to the strip plate 100 which is bent in the shape of a rectangular frame. Specifically, the metal bottom plate 300 is composed of the metal bottom plate 300 and the strip plate 10.
The strip 100 along the groove 340 provided on the inner side of the boundary with 0
It is bent at a right angle to the direction. Then, the lower end opening of the strip plate 100 bent in the shape of a rectangular frame is sealed by the metal bottom plate 300.
【0061】次に、方形枠体状に折曲した帯板100の
両端部を突き合わせて、それらの両端部を、銀ろう等の
ろう材を用いて、ろう付けにより気密に接合している。Next, both end portions of the strip plate 100 bent in the shape of a rectangular frame are butted against each other, and the both end portions are airtightly joined by brazing using a brazing material such as silver brazing.
【0062】なお、帯板100の両端部は、シーム溶接
又は接着剤等により気密に接合しても良い。Both ends of the strip 100 may be airtightly joined by seam welding or an adhesive.
【0063】それと共に、メタル底板300を方形枠体
状に折曲した帯板100の下端開口部周縁に、銀ろう等
のろう材を用いて、ろう付けにより気密に接合してい
る。At the same time, a brazing material such as silver brazing is used to hermetically join the metal bottom plate 300 to the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate 100 which is bent in the shape of a rectangular frame.
【0064】なお、メタル底板300は、帯板100の
下端開口部周縁に、シーム溶接又は接着剤等により気密
に接合しても良い。The metal bottom plate 300 may be hermetically joined to the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate 100 by seam welding or an adhesive.
【0065】帯板100の両端部並びにメタル底板30
0と帯板100の下端開口部周縁とは、帯板100とメ
タル底板300とを共に耐熱性のカーボン治具(図示せ
ず)内に組み込んで、それらを互いに位置決め固定した
状態で高温炉内等で同時にろう付け等により接合してい
る。Both ends of the strip 100 and the metal bottom plate 30
0 and the peripheral edge of the lower end opening of the strip 100 are incorporated in a heat-resistant carbon jig (not shown) together with the strip 100 and the metal bottom plate 300, and they are positioned and fixed to each other in the high temperature furnace. At the same time, they are joined by brazing.
【0066】なお、帯板100の両端部並びにメタル底
板300と帯板100の下端開口部周縁とは、同時に接
合せずに、帯板100の両端部をろう付け等により接合
した後に、メタル底板300を帯板100の下端開口部
周縁にろう付け等により接合しても良い。It should be noted that both ends of the strip 100 and the metal bottom plate 300 and the lower end opening peripheral edge of the strip 100 are not simultaneously joined, but both ends of the strip 100 are joined by brazing or the like, and then the metal bottom plate is joined. 300 may be joined to the peripheral edge of the lower end opening of the strip 100 by brazing or the like.
【0067】そして、コバール、42アロイ等からなる
メタル壁であって、そのメタル側壁表面の所定部位にセ
ラミック端子嵌着用の穴200を設けてなるメタル壁を
形成している。Then, a metal wall made of Kovar, 42 alloy or the like is formed, in which a hole 200 for fitting a ceramic terminal is provided at a predetermined portion of the metal side wall surface.
【0068】図14に示した第2のメタル壁形成方法
は、以上の工程からなる。The second metal wall forming method shown in FIG. 14 comprises the above steps.
【0069】図15は本発明の第2のメタル壁形成方法
の他の好適な実施例を示し、詳しくはその形成工程説明
図を示している。以下、この図中のメタル壁形成方法を
説明する。FIG. 15 shows another preferred embodiment of the second metal wall forming method of the present invention, and more specifically shows a drawing for explaining the forming process thereof. The method of forming the metal wall in this figure will be described below.
【0070】図のメタル壁形成方法では、メタル底板3
00を帯板100方向に折曲する前に、メタル底板30
0表面の所定部位に、リード封着用の小円形状の穴22
0を複数個設けている。そして、帯板100表面に、セ
ラミック端子嵌着用等の穴を設けないようにしている。In the method of forming the metal wall shown in the figure, the metal bottom plate 3
Before bending 00 into the strip 100 direction, the metal bottom plate 30
0 A small circle-shaped hole 22 for attaching a lead in a predetermined area on the surface
A plurality of 0s are provided. The surface of the strip 100 is not provided with holes for fitting ceramic terminals.
【0071】なお、メタル底板300表面には、形成し
ようとするメタル壁の構造に合わせて、リード封着用の
穴220に代えて、光ファイバー挿通用又はセラミック
端子嵌着用等の穴を設けたり、又はリード封着用の穴に
加えて、光ファイバー挿通用又はセラミック端子嵌着用
等の穴を設けたりしても良い。In accordance with the structure of the metal wall to be formed, the surface of the metal bottom plate 300 may be provided with a hole for inserting an optical fiber or for fitting a ceramic terminal, instead of the hole 220 for fitting the lead. In addition to the hole for attaching the lead, a hole for inserting an optical fiber or attaching a ceramic terminal may be provided.
【0072】その他は、前述図14に示した第2のメタ
ル壁形成方法と同様にして、メタル底板300表面の所
定部位にリード挿通用の穴220を設けてなるメタル壁
を形成していて、その同一部材には同一符号を付し、そ
の説明を省略する。Others are the same as the second metal wall forming method shown in FIG. 14, and the metal wall is formed by forming the lead insertion hole 220 in a predetermined portion of the surface of the metal bottom plate 300. The same members are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【0073】図16ないし図22は本発明の第2のメタ
ル壁形成方法のもう一つの好適な実施例を示し、詳しく
はその形成工程説明図を示している。以下、この図中の
メタル壁形成方法を説明する。FIGS. 16 to 22 show another preferred embodiment of the second metal wall forming method of the present invention, and more specifically, are explanatory views of the forming process thereof. The method of forming the metal wall in this figure will be described below.
【0074】図のメタル壁形成方法では、前述図8ない
し図13に示した第1のメタル壁形成方法と同様にし
て、方形枠体状に折曲する帯板100の端部側縁を削除
している。具体的には、図18や図19又は図20に示
したように、帯板100の一方又はその両方の端部内側
縁を斜めにカットしている。あるいは、図21又は図2
2に示したように、帯板100の一方又はその両方の端
部内側縁をコの字状にカットしている。そして、方形枠
体状に折曲した帯板100の両端部を突き合わせて気密
に接合する際に、帯板100の両端部の突き合わせ箇所
側縁に、ろう材、接着剤等の接合材溜まり140を設け
るようにしている。In the metal wall forming method shown in the figure, the side edges of the end portion of the strip plate 100 which is bent into a rectangular frame shape are deleted in the same manner as the first metal wall forming method shown in FIGS. 8 to 13. is doing. Specifically, as shown in FIG. 18, FIG. 19 or FIG. 20, one or both end inner edges of the strip 100 are obliquely cut. Alternatively, FIG. 21 or FIG.
As shown in FIG. 2, one or both end inner edges of the strip 100 are cut in a U-shape. Then, when both ends of the strip plate 100 bent in the shape of a rectangular frame are butted against each other and airtightly joined, a joining material reservoir 140 such as a brazing material or an adhesive agent is provided on the side edges of the butted portions at both ends of the strip plate 100. Is provided.
【0075】次に、その帯板100の両端部の突き合わ
せ箇所側縁に設けた接合材溜まり140に、図18に示
したように、棒状のろう材等の接合材180を嵌入し
て、高温炉内等で接合材180を帯板100の両端部の
突き合わせ面間に浸透させ、その浸透させた接合材18
0で帯板100の両端部を気密に接合している。又は、
方形枠体状に折曲した帯板100の上端開口部周縁に搭
載したシールリング接合用の薄板状のろう材等の接合材
(図示せず)を高温炉内等で帯板100の両端部の突き
合わせ面間に浸透させて、その浸透させた接合材で帯板
100の両端部を気密に接合している。その際には、帯
板100の両端部の突き合わせ箇所側縁の接合材溜まり
140に接合材180を表面張力作用を利用して層状に
厚く付着させている。そして、帯板100の接合箇所の
気密性を確実なものとしている。それと共に、接合材1
80を表面張力作用を利用して接合材溜まり140に集
めて、接合材180が帯板100の接合箇所周辺表面に
流出して付着するのを防止している。Next, as shown in FIG. 18, a joining material 180 such as a rod-shaped brazing material is fitted into the joining material reservoir 140 provided at the side edges of the abutting points of both ends of the strip 100, and a high temperature is applied. In the furnace or the like, the bonding material 180 is permeated between the abutting surfaces of both ends of the strip 100, and the permeated bonding material 18
At 0, both ends of the strip plate 100 are airtightly joined. Or
A joint material (not shown) such as a thin brazing filler metal for sealing ring, which is mounted on the periphery of the upper end opening of the strip plate 100 bent in the shape of a rectangular frame, is applied to both end portions of the strip plate 100 in a high temperature furnace or the like. The strips 100 are permeated between the abutting surfaces, and both end portions of the strip 100 are hermetically joined by the permeated joining material. At this time, the bonding material 180 is thickly attached in layers in the bonding material reservoir 140 on the side edges of the abutting locations at both ends of the strip 100 by utilizing the surface tension effect. And the airtightness of the joining part of the strip 100 is ensured. Along with that, the bonding material 1
80 is collected in the bonding material reservoir 140 by utilizing the surface tension effect, and the bonding material 180 is prevented from flowing out and adhering to the peripheral surface of the bonding portion of the strip plate 100.
【0076】このようにすれば、帯板100の接合箇所
の気密性を確実なものとすることができるのは、前述図
8ないし図13に示した第1のメタル壁形成方法の際に
述べた理由と同じである。By doing so, it is possible to ensure the airtightness of the joint portion of the strip plate 100 in the first metal wall forming method shown in FIGS. 8 to 13. The reason is the same.
【0077】その他は、前述図14又は図15に示した
第2のメタル壁形成方法と同様にしてメタル壁を形成し
ていて、その同一部材には同一符号を付し、その説明を
省略する。Other than that, the metal wall is formed in the same manner as the second metal wall forming method shown in FIG. 14 or FIG. 15, the same members are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. ..
【0078】なお、上述第1、第2のメタル壁形成方法
において、帯板10,100や帯板100に連なるメタ
ル底板300が厚い場合等には、帯板10,100中途
部の折曲箇所外側や帯板100とメタル底板300との
境界部外側にも、図2と図3とに破線で示したように、
底浅のサブ溝16を刻設して、帯板10,100中途部
の折曲箇所や帯板100とメタル底板300との境界部
を薄く形成し、それらの帯板10,100の折曲箇所や
帯板100とメタル底板300との境界部に沿って帯板
10,100やメタル底板300を帯板10,100内
側や帯板100方向に折曲しやすくすると良い。In the first and second metal wall forming methods described above, when the strips 10, 100 and the metal bottom plate 300 connected to the strips 100 are thick, etc., the bent portions of the strips 10, 100 in the middle thereof are bent. As shown by the broken lines in FIGS. 2 and 3, on the outside and also on the outside of the boundary between the strip 100 and the metal bottom plate 300,
Sub-grooves 16 with a shallow bottom are engraved to form a thin bent portion between the strips 10 and 100 and the boundary between the strip 100 and the metal bottom plate 300, and the strips 10 and 100 are bent. It is preferable that the strips 10 and 100 and the metal bottom plate 300 be easily bent inwardly of the strips 10 and 100 or toward the strip 100 along the location or the boundary between the strip 100 and the metal bottom plate 300.
【0079】また、帯板10,100又は帯板100に
連なるメタル底板300が薄くて折曲しやすい場合等に
は、帯板10,100中途部の折曲箇所内側又は帯板1
00とメタル底板300との境界部内側に溝12,12
0又は溝340を設けずに、帯板10,100中途部の
折曲箇所又は帯板100とメタル底板300との境界部
に沿って曲げ金型等を用いて帯板10,100又はメタ
ル底板300を帯板10,100内側又は帯板100方
向に折曲しても良い。When the strips 10, 100 or the metal bottom plate 300 connected to the strips 100 are thin and easily bent, the strips 10 and 100 inside the bent portion or the strip 1 are formed.
00 and the metal bottom plate 300 have grooves 12 and 12 inside the boundary.
0 or the groove 340 is not provided, and the strip plate 10, 100 or the metal bottom plate is formed by using a bending die or the like along the bent portion of the strip plate 10, 100 in the middle or along the boundary between the strip plate 100 and the metal bottom plate 300. 300 may be bent inside the strips 10, 100 or toward the strip 100.
【0080】また、帯板10,100は、図4ないし図
6、図8ないし図10に示したように、帯板10,10
0の両端部が枠体状に折曲する帯板10,100のコー
ナー部に来るように折曲しても良く、又は図16と図1
7に示したように、帯板10,100の両端部が枠体状
に折曲する帯板10,100のコーナー部間の平面状を
なす部位に来るように折曲しても良い。Further, the strip plates 10 and 100 are, as shown in FIGS.
The ends of 0 may be bent so that they come to the corners of the strips 10 and 100 that are bent like a frame, or FIGS.
As shown in FIG. 7, both ends of the strips 10 and 100 may be bent so as to come to a flat portion between the corners of the strips 10 and 100 that are bent like a frame.
【0081】また、図23に示したように、帯板10,
100の両端部内側に当て板50を当てがうようにし
て、当て板50と共に帯板10,100の両端部をろう
付け等により確実に気密に接合しても良い。Further, as shown in FIG. 23, the strips 10,
The contact plates 50 may be applied to the insides of both end portions of the strip 100, and both end portions of the strip plates 10 and 100 may be joined together with the contact plate 50 reliably and airtightly.
【0082】又は、図24に示したように、帯板10,
100の両端部先端縁に帯板10,100内側とその外
側とを向く段差60a,60bをハーフエッチング加工
等によりそれぞれ形成して、それらの互いに逆方向を向
く段差60a,60bを隙間なく重ね合わせた状態で、
帯板10,100の両端部をろう付け等により広く確実
に気密に接合しても良い。Alternatively, as shown in FIG. 24, the strip plate 10,
Steps 60a and 60b facing the inside and the outside of the strips 10 and 100 are formed at the front end edges of both ends of 100 by half-etching or the like, respectively, and the steps 60a and 60b facing the opposite directions are superposed without a gap. With the
The both ends of the strips 10 and 100 may be widely and surely joined in a hermetic manner by brazing or the like.
【0083】また、帯板10,100の両端部を予めス
ポット溶接等により仮接合して帯板10,100の両端
部を正確に位置決めした後、それらの両端部をろう付け
等により気密に接合しても良い。そして、帯板10,1
00の両端部を常に正確に位置決め固定した状態でろう
付け等により接合できるようにしても良い。Further, both ends of the strips 10 and 100 are temporarily joined in advance by spot welding or the like to accurately position both ends of the strips 10 and 100, and then both ends thereof are hermetically joined by brazing or the like. You may. And the strips 10, 1
The both ends of 00 may be joined by brazing or the like in a state where both ends are always accurately positioned and fixed.
【0084】また、本発明の第1、第2のメタル壁形成
方法は、帯板を3角形、6角形、8角形等の多角形枠体
状に折曲して、メタル側壁を形成するメタル壁形成方法
にも利用可能である。In the first and second metal wall forming methods of the present invention, a metal for forming a metal side wall is formed by bending a strip plate into a polygonal frame shape such as a triangle, a hexagon, or an octagon. It can also be used as a wall forming method.
【0085】[0085]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の第1、第
2のメタル壁形成方法によれば、電子部品用パッケージ
のメタル側壁を、手数と時間をかけずに容易かつ迅速に
形成できる。それと共に、メタル側壁を形成する際に、
無駄な金属屑を多量に排出したり、多大な加工費をかけ
たりせずに、メタル側壁を容易かつ迅速に形成できる。As described above, according to the first and second metal wall forming methods of the present invention, the metal side wall of the electronic component package can be formed easily and quickly without taking time and labor. .. Along with that, when forming the metal side wall,
It is possible to easily and quickly form the metal side wall without discharging a large amount of waste metal scraps and incurring a large processing cost.
【0086】また、メタル壁形成用の帯板又はメタル底
板を平面状等に広く展開させた状態でそれらの帯板又は
メタル底板にセラミック端子嵌着用、リード封着用又は
光ファイバー挿通用等の穴を、その周辺のメタル側壁形
成用の帯板又はメタル底板に邪魔されずに、プレス加工
等により容易かつ迅速に設けることができる。Further, in a state where the strip or the metal bottom plate for forming the metal wall is widely spread in a flat shape or the like, holes are formed in the strip or the metal bottom plate for fitting ceramic terminals, lead sealing, or inserting an optical fiber. , And can be easily and quickly provided by press working without being disturbed by the strip or the metal bottom plate for forming the metal side wall in the periphery thereof.
【図1】本発明の第1のメタル壁形成方法の形成工程を
示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a forming step of a first metal wall forming method of the present invention.
【図2】図1の溝周辺の拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view around the groove of FIG.
【図3】図1の溝周辺の拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view around the groove of FIG.
【図4】本発明の第1のメタル壁形成方法の形成工程を
示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a forming step of the first metal wall forming method of the present invention.
【図5】本発明の第1のメタル壁形成方法の形成工程を
示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a forming step of the first metal wall forming method of the present invention.
【図6】本発明の第1のメタル壁形成方法により形成し
たメタル壁の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a metal wall formed by the first metal wall forming method of the present invention.
【図7】本発明の第1のメタル壁形成方法の形成工程を
示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing a forming step of the first metal wall forming method of the present invention.
【図8】本発明の第1のメタル壁形成方法の形成工程を
示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a forming step of the first metal wall forming method of the present invention.
【図9】本発明の第1のメタル壁形成方法の形成工程を
示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a forming step of the first metal wall forming method of the present invention.
【図10】本発明の第1のメタル壁形成方法により形成
したメタル壁の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of a metal wall formed by the first metal wall forming method of the present invention.
【図11】本発明の第1のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the joining portion of the strips according to the first metal wall forming method of the present invention.
【図12】本発明の第1のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of a joint portion of a strip plate according to the first metal wall forming method of the present invention.
【図13】本発明の第1のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 13 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of a joint portion of a strip plate according to the first metal wall forming method of the present invention.
【図14】本発明の第2のメタル壁形成方法の形成工程
を示す平面図である。FIG. 14 is a plan view showing a forming step of the second metal wall forming method of the present invention.
【図15】本発明の第2のメタル壁形成方法の形成工程
を示す平面図である。FIG. 15 is a plan view showing a forming step of a second metal wall forming method of the present invention.
【図16】本発明の第2のメタル壁形成方法の形成工程
を示す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing a forming step of a second metal wall forming method of the present invention.
【図17】本発明の第2のメタル壁形成方法の形成工程
を示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing a forming step of the second metal wall forming method of the present invention.
【図18】本発明の第2のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 18 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of a joint portion of a strip plate according to the second metal wall forming method of the present invention.
【図19】本発明の第2のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 19 is an enlarged cross-sectional view around a joint portion of a strip plate according to the second metal wall forming method of the present invention.
【図20】本発明の第2のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 20 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of a joint portion of the strips according to the second metal wall forming method of the present invention.
【図21】本発明の第2のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 21 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of a joint portion of a strip plate according to the second metal wall forming method of the present invention.
【図22】本発明の第2のメタル壁形成方法の帯板の接
合箇所周辺の拡大断面図である。FIG. 22 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of a joint portion of a strip plate according to the second metal wall forming method of the present invention.
【図23】本発明の第1、第2のメタル壁形成方法の形
成工程を示す平面図である。FIG. 23 is a plan view showing the forming steps of the first and second metal wall forming methods of the present invention.
【図24】本発明の第1、第2のメタル壁形成方法の形
成工程を示す平面図である。FIG. 24 is a plan view showing a forming step of the first and second metal wall forming methods of the present invention.
10 帯板 12 溝 14 接合材溜まり 16 サブ溝 18 接合材 20、22、24 穴 30 メタル底板 40 メタル壁 42 メタル側壁 100 帯板 120 溝 140 接合材溜まり 180 接合材 200 穴 300 メタル底板 340 溝 10 band plate 12 groove 14 bonding material reservoir 16 sub-groove 18 bonding material 20, 22, 24 holes 30 metal bottom plate 40 metal wall 42 metal sidewall 100 band plate 120 groove 140 bonding material pool 180 bonding material 200 hole 300 metal bottom plate 340 groove
Claims (6)
する工程と、その枠体状に折曲した帯板の両端部を突き
合わせて気密に接合する工程と、前記枠体状に折曲した
帯板の下端開口部をメタル底板で封ずる工程と、そのメ
タル底板を前記帯板の下端開口部周縁に気密に接合する
工程と、前記枠体状に折曲する前の帯板又は前記帯板の
下端開口部を封ずる前のメタル底板にセラミック端子嵌
着用、リード封着用又は光ファイバー挿通用等の穴を設
ける工程とを含むことを特徴とする電子部品用パッケー
ジのメタル壁形成方法。1. A step of bending a band plate for forming a metal side wall into a frame shape, a step of abutting both ends of the band plate bent into the frame shape and joining them in an airtight manner, and the frame shape. A step of sealing the lower end opening of the bent strip plate with a metal bottom plate, a step of hermetically joining the metal bottom plate to the peripheral edge of the lower end opening part of the strip plate, and a band before being bent into the frame shape. Plate or the metal bottom plate before sealing the lower end opening of the strip plate, the step of providing a hole for ceramic terminal fitting, lead sealing or optical fiber insertion, etc. Forming method.
溝を刻設するようにする請求項1記載の電子部品用パッ
ケージのメタル壁形成方法。2. The method for forming a metal wall of an electronic component package according to claim 1, wherein a groove is formed inside the bent portion of the band plate bent into a frame shape.
下端側縁にメタル底板を連続して備えてなる帯板をメタ
ル底板を除いて枠体状に折曲する工程と、その枠体状に
折曲する帯板方向に前記メタル底板を折曲して、そのメ
タル底板で前記枠体状に折曲した帯板の下端開口部を封
ずる工程と、前記枠体状に折曲した帯板の両端部を突き
合わせて気密に接合する工程と、前記メタル底板を前記
枠体状に折曲した帯板の下端開口部周縁に気密に接合す
る工程と、前記枠体状に折曲する前の帯板又は前記帯板
方向に折曲する前のメタル底板にセラミック端子嵌着
用、リード封着用又は光ファイバー挿通用等の穴を設け
る工程とを含むことを特徴とする電子部品用パッケージ
のメタル壁形成方法。3. A band plate for forming a metal side wall, wherein a band plate having a metal bottom plate continuously provided at a lower end side edge thereof is bent into a frame shape except for the metal bottom plate, and the frame. Bending the metal bottom plate in the direction of the strip that bends into a body, and closing the lower end opening of the strip bent into the frame with the metal bottom plate; and bending into the frame Abutting both ends of the formed strip to join them airtightly, joining the metal bottom plate to the periphery of the lower end opening of the strip bent into the frame, and bending it into the frame Of the electronic component package, including the step of providing a ceramic terminal fitting attachment, lead sealing attachment or optical fiber insertion hole, etc. in the band plate before bending or in the metal bottom plate before bending in the direction of the band plate. Metal wall formation method.
はメタル底板を帯板方向に折曲する折曲箇所内側に溝を
刻設するようにする請求項3記載の電子部品用パッケー
ジのメタル壁形成方法。4. The electronic component according to claim 3, wherein a groove is formed on the inside of the bent portion of the strip that is bent into a frame or inside the bent portion that bends the metal bottom plate in the strip direction. Method for forming metal wall of packaging.
して、帯板の両端部の突き合わせ箇所側縁に接合材溜ま
りを設けるようにする請求項1、2、3又は4記載の電
子部品用パッケージのメタル壁形成方法。5. The bonding material reservoir is provided on the side edges of the abutting points of both ends of the strip by removing the side edges of the strip bent into a frame shape. Alternatively, the method for forming a metal wall of a package for electronic parts according to item 4.
端開口部周縁とを、ろう付けによりそれぞれ気密に接合
するようにする請求項1、2、3、4又は5記載の電子
部品用パッケージのメタル壁形成方法。6. The electron according to claim 1, wherein both end portions of the strip plate and the metal bottom plate and the peripheral edge of the lower end opening of the strip plate are airtightly joined by brazing. Method of forming metal wall of component package.
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP19494291 | 1991-07-08 | ||
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0590433A true JPH0590433A (en) | 1993-04-09 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP4084779A Pending JPH0590433A (en) | 1991-05-16 | 1992-03-06 | Method of forming metal side wall of electronic part package |
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Country | Link |
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